KR101334175B1 - 렌즈 덕트를 구비하는 외부 공진기형 면발광 레이저 - Google Patents

렌즈 덕트를 구비하는 외부 공진기형 면발광 레이저 Download PDF

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Abstract

본 발명은 펌프 레이저에서 방출된 펌프 빔을 렌즈 덕트를 이용하여 레이저칩에 제공하는 외부 공진기형 면발광 레이저에 관한 것이다. 본 발명에 따른 외부 공진기형 면발광 레이저는, 광펌핑 방식에 의해 제 1 파장의 광을 방출시키는 레이저칩; 상기 레이저칩의 전면과 대향하고 있는 외부 미러; 상기 레이저칩에 제 2 파장의 광펌핑용 광을 제공하는 펌프 레이저; 및 상기 펌프 레이저에 대향하는 광입사면과 상기 레이저칩의 배면에 대향하는 광출사면을 갖는 것으로, 상기 펌프 레이저에서 방출된 광을 전반사 방식으로 상기 레이저칩으로 가이드 하는 렌즈 덕트;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

렌즈 덕트를 구비하는 외부 공진기형 면발광 레이저{Vertical external cavity surface emitting laser having lens duct}
도 1은 종래의 후방 광펌핑 방식의 외부 공진기형 면발광 레이저의 구조를 개략적으로 도시한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 렌즈 덕트를 구비하는 외부 공진기형 면발광 레이저의 개략적인 구조를 도시한다.
도 3은 본 발명에 따른 외부 공진기형 면발광 레이저에서 사용되는 렌즈 덕트의 한 예를 도시하는 측면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 외부 공진기형 면발광 레이저에서 사용되는 렌즈 덕트의 한 예를 도시하는 정면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 외부 공진기형 면발광 레이저에서 사용되는 렌즈 덕트의 다른 예를 도시하는 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 외부 공진기형 면발광 레이저에서 사용되는 렌즈 덕트의 다른 예를 도시하는 측면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 외부 공진기형 면발광 레이저의 개략적인 구조를 도시한다.
도 8은 도 7의 히트싱크와 펌프 레이저 부분을 도시하는 측단면도이다.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ※
20.....외부 공진기형 면발광 레이저 21.....펌프 레이저
22.....렌즈 덕트 23.....히트싱크
24.....열확산소자 25.....레이저칩
26.....SHG 결정 27.....외부 미러
본 발명은 외부 공진기형 면발광 레이저(vertical external cavity surface emitting laser; VECSEL)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 펌프 레이저에서 방출된 펌프 빔(pump beam)을 렌즈 덕트(lens duct)를 이용하여 레이저칩에 제공하는 외부 공진기형 면발광 레이저에 관한 것이다.
일반적으로, 외부 공진기형 면발광 레이저(VECSEL)는 수직 공진기형 면발광 레이저(vertical cavity surface emitting laser; VCSEL)의 상부 미러를 외부의 미러로 대체하여 이득 영역(gain region)을 증가시킴으로써 수~수십W 이상의 고출력을 얻도록 하는 레이저 소자이다.
도 1은 일반적인 후방 광펌핑(end-pumped) 방식의 외부 공진기형 면발광 레이저(10)의 개략적인 구조를 도시한다. 도 1을 참조하면, 상기 종래의 외부 공진기형 면발광 레이저(10)는 개략적으로, 펌프 레이저(11), 콜리메이팅 렌즈(12), 포커싱 렌즈(13), 히트싱크(14), 열확산소자(15), 레이저칩(16), SHG(Second Harmonic Generation) 결정(17) 및 외부 미러(18)를 포함하고 있다.
펌프 레이저(11)는 레이저칩(16)에 광펌핑용 펌프 빔을 제공하기 위한 것으로, 예컨대, 약 808nm 의 파장을 갖는 광을 방출하는 레이저 다이오드를 사용할 수 있다. 히트싱크(heat sink)(14) 위에 배치된 열확산소자(15) 위에 부착되는 레이저칩(16)은 펌프 빔에 의해 여기되어, 예컨대, 900nm 내지 1100nm 사이의 적외선 영역의 광을 발생시킨다. 히트싱크(14)와 열확산소자(15)는 레이저칩(16)을 냉각시키는 역할을 한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 히트싱크(14)의 중심부에는 펌프 레이저(11)에서 방출된 펌프 빔이 통과할 수 있도록 개구가 형성되어 있다. 또한, 열확산소자(15)는, 예컨대, 다이아몬드와 같이 우수한 열전도성과 광투과성을 갖는 재료를 사용한다. 한편, SHG 결정(17)은 입사광의 파장을 1/2로 만드는 것으로, 예컨대, 레이저칩(16)에서 발생한 적외선 영역의 광을 가시광선 영역의 광으로 바꿀 수 있다.
이러한 구조의 외부 공진기형 면발광 레이저(10)에서, 펌프 레이저(11)로부터 방출된 펌프 빔은 콜리메이팅 렌즈(12)에 의해 평행 빔으로 바뀐 후, 포커싱 렌즈(13)에 의해 레이저칩(16) 위에 포커싱된다. 그러면, 펌프 빔에 의해 여기된 레이저칩(16)이 광을 발생시킨다. 상기 레이저칩(16)에서 방출된 광은 외부 미러(18)와 레이저칩(16) 내부의 분산 브래그 반사층(도시되지 않음) 사이에서 공진을 하게 된다. 이 과정에서, SHG 결정(17)에 의해 파장이 바뀐 광이 외부 미러(18)를 투과하여 외부로 출력된다. 레이저칩(16)에서 발생한 광이, 예컨대, 적외선 영역의 광인 경우, 외부 미러(18)를 통해 출력되는 레이저 빔은 녹색 또는 청색을 갖는 가시 광선 영역의 광일 수 있다.
그런데, 상술한 종래의 외부 공진기형 면발광 레이저(10)의 경우, 초점 거리가 서로 다른 두 개의 렌즈(12,13)를 사용하기 때문에, 펌프 레이저(11)의 크기가 커질 뿐만 아니라, 두 개의 렌즈(12,13)를 정확하게 정렬해야 하는 어려움이 발생한다. 또한, 렌즈(12,13)를 정확하게 정렬하여 조립한 후에도, 외부의 충격 등으로 인해 정렬 상태가 흐트러지기 쉽다.
더욱이, 포커싱 렌즈(13)의 초점 거리에 따라서 포커싱 렌즈(13)와 레이저칩(16) 사이에 일정한 거리를 유지해야 하기 때문에, 외부 공진기형 면발광 레이저(10)의 전체적인 크기가 커지게 된다.
또한, 렌즈(12,13) 자체로 인한 펌프 빔의 광손실로 인하여 레이저(10)의 출력이 감소할 수 있다. 이를 보상하기 위해, 펌프 레이저(11)의 출력을 증가시킬 경우, 렌즈(12,13)의 재료로서 고가의 재료를 사용하여야 하기 때문에 전체적인 제조 비용이 증가할 수 있다.
본 발명은 상술한 종래의 문제점을 개선하기 위한 것이다. 따라서, 본 발명의 목적은 렌즈를 사용하지 않고 펌프 빔의 결합 효율(coupling efficiency)을 극대화 시킬 수 있으며, 종래에 비하여 구조가 간단하고 크기가 작은 외부 공진기형 면발광 레이저를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 추가적인 목적은 조립이 쉽고 안정성이 있는 외부 공진기형 면발광 레이저를 제공하는 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 양호한 실시예에 따른 외부 공진기형 면발광 레이저는, 광펌핑 방식에 의해 제 1 파장의 광을 방출시키는 레이저칩; 상기 레이저칩의 전면과 대향하고 있는 외부 미러; 상기 레이저칩에 제 2 파장의 광펌핑용 광을 제공하는 펌프 레이저; 및 상기 펌프 레이저에 대향하는 광입사면과 상기 레이저칩의 배면에 대향하는 광출사면을 갖는 것으로, 상기 펌프 레이저에서 방출된 광을 전반사 방식으로 상기 레이저칩으로 가이드 하는 렌즈 덕트;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 상기 렌즈 덕트는 광입사면이 광출사면보다 더 넓은 원뿔형 또는 다각뿔형의 형상을 가질 수 있다.
또한, 상기 렌즈 덕트의 광입사면과 광출사면 중에서 적어도 하나의 면은 평면일 수 있다.
또한, 상기 렌즈 덕트의 광입사면이 곡률을 갖도록 형성될 수도 있다.
또한, 상기 렌즈 덕트의 광출사면이 구면 렌즈 또는 실린더 렌즈의 형상을 갖도록 형성될 수도 있다.
본 발명에 따르면, 제 2 파장의 광펌핑용 광에 대한 반사방지 코팅이 상기 렌즈 덕트의 광입사면에 형성되는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명에 따른 외부 공진기형 면발광 레이저는, 상기 레이저칩을 냉각시키기 위하여 상기 레이저칩의 배면에 배치된 히트싱크를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 외부 공진기형 면발광 레이저는, 상기 레이저칩의 열 을 히트싱크로 전달하기 위하여 상기 히트싱크와 레이저칩 사이에 배치된 열확산소자를 더 포함할 수도 있다.
본 발명에 따르면, 상기 렌즈 덕트의 형상과 일치하는 형태의 개구가 상기 히트싱크 내에 형성되어 있으며, 상기 히트싱크의 개구 내에는 상기 렌즈 덕트가 장착되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 히트싱크는 상기 펌프 레이저를 냉각시킬 수 있도록 상기 펌프 레이저를 적어도 부분적으로 둘러싸도록 형성될 수도 있다.
한편, 상기 펌프 레이저의 광방출면이 상기 렌즈 덕트의 광입사면에 밀착되도록 배치될 수도 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 입사광의 파장을 1/2로 만드는 SHG 결정이 상기 레이저칩과 외부 미러 사이에 더 배치될 수도 있다.
또한, 상기 펌프 레이저는 다수의 레이저 소자들의 어레이로 구성될 수도 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명의 양호한 실시예에 따른 외부 공진기형 면발광 레이저의 구성 및 동작에 대해 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 렌즈 덕트를 구비하는 외부 공진기형 면발광 레이저(20)의 개략적인 구조를 도시한다. 도 2를 참조하면, 본 발명의 양호한 실시예에 따른 외부 공진기형 면발광 레이저(20)는, 광펌핑 방식으로 광을 발생시키는 레이저칩(25), 상기 레이저칩(25)의 전면과 대향하고 있는 외부 미러(27), 상기 레이저칩(25)에 광펌핑용 광을 제공하기 위한 펌프 레이저(21), 및 상기 펌프 레이저(21)에서 방출된 광을 전반사 방식으로 레이저칩(25)에 가이드 하는 렌즈 덕트(lens duct)(22)를 포함하고 있다.
종래의 기술과 마찬가지로, 레이저칩(25)에 광펌핑용 펌프 빔을 제공하는 펌프 레이저(21)는, 예컨대, 약 808nm 의 파장을 갖는 광을 방출하는 레이저 다이오드일 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 외부 공진기형 면발광 레이저(20)의 출력을 높이기 위해, 다수의 레이저 소자들의 어레이로 구성된 펌프 레이저(21)를 사용할 수도 있다. 이러한 펌프 레이저(21)는 도 2에 도시된 바와 같이 렌즈 덕트(22)에 밀착하여 배치될 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 레이저칩(25)은 상기 레이저칩(25)을 냉각시키는 역할을 하는 히트싱크(23) 위에 장착될 수 있다. 그리고, 상기 히트싱크(23)와 레이저칩(25) 사이에는 레이저칩(25)의 열을 히트싱크(23)로 전달하기 위한 열확산소자(24)를 더 추가할 수 있다. 상기 열확산소자(24)는, 예컨대, 광투과성과 열전도성이 우수한 다이아몬드와 같은 재료로 이루어질 수 있다. 비록 상세히 도시되지는 않았지만, 공지된 바와 같이, 상기 레이저칩(25)은 기판 위에 분산 브래그 반사기(Distributed Bragg Reflector; DBR)와 활성층이 순차적으로 적층된 구조를 갖는다. 활성층은, 예컨대 RPG(resonant periodic gain) 구조를 갖는 다중 양자우물 구조로서, 펌프 빔에 의해 여기되어 소정의 파장을 갖는 광을 방출한다. 예컨대, 레이저칩(25)의 활성층은 펌프 빔에 의해 여기되어 900nm 내지 1100nm 사이의 적외선 영역의 광을 발생시킬 수 있다.
한편, 상기 레이저칩(25)과 외부 미러(27) 사이에는 입사광의 파장을 1/2로 만드는 SHG 결정(26)이 더 배치될 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이, 상기 SHG 결정(26)은, 예컨대, 레이저칩(25)에서 발생한 적외선 영역의 광을 가시광선 영역의 광으로 바꿀 수 있다.
펌프 레이저(21)에서 방출된 광을 레이저칩(25)으로 가이드 하는 역할을 하는 렌즈 덕트(22)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 펌프 레이저(21)의 광방출면과 레이저칩(25)의 배면 사이에 배치되어 있다. 상기 렌즈 덕트(22)는 펌프 레이저(21)와 대향하는 광입사면을 통해 입사한 광을 전반사시켜, 레이저칩(25)과 대향하는 광출사면으로 출사시키는 구조를 갖는다.
이를 위하여, 상기 렌즈 덕트(22)는, 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 광입사면(22a)이 광출사면(22b)보다 더 넓은 원뿔형 또는 다각뿔형의 형상을 갖는 것이 바람직하다. 따라서, 렌즈 덕트(22)는 경사진 외부 표면을 갖게 된다. 예컨대, 도 3의 측면도 및 도 4의 정면도에 도시된 바와 같이, 상기 렌즈 덕트(22)는 사각뿔형의 형태를 가질 수 있다. 또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 렌즈 덕트(22)는 원뿔형의 형태를 가질 수도 있다. 이러한 렌즈 덕트(22)의 형상은 설계에 따라 적당히 선택하는 것이 가능하다.
한편, 도 3 내지 도 5에서는, 상기 렌즈 덕트(22)의 광입사면(22a)과 광출사면(22b)이 평면인 것으로 도시되어 있다. 그러나, 도 6에 도시된 바와 같이, 필요에 따라 렌즈 덕트(22)의 광입사면(22a)과 광출사면(22b)을 곡률을 갖는 면으로 만들 수도 있다. 예컨대, 광입사면(22a)의 경우, 펌프 레이저(21)로부터 방출된 광을 손실 없이 렌즈 덕트(22) 내부로 입사시키고, 렌즈 덕트(22) 내에 입사한 광이 전 반사 조건을 만족할 수 있도록 소정의 곡률을 갖도록 형성될 수 있다. 특히, 펌프 레이저(21)가 다수의 레이저 소자들의 어레이로 구성되는 경우, 렌즈 덕트(22)의 광입사면(22a)이 곡률을 갖는 것이 좋다. 또한, 광출사면(22b)의 경우, 상기 렌즈 덕트(22)의 내부를 진행하여 광출사면(22b)으로 출사되는 광이 레이저칩(25)에서 포커싱될 수 있도록, 예컨대, 구면 렌즈 또는 실린더 렌즈의 형상으로 형성될 수 있다.
이러한 렌즈 덕트(22)의 재료로는, 예컨대, 일반적인 유리(glass)를 사용하거나, 또는 광 손실을 줄이기 위하여 TPX(plymethylpentane)와 같이 광투과율이 보다 우수한 재료를 사용할 수도 있다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 광 손실을 더욱 감소시키기 위하여, 렌즈 덕트(22)의 광입사면(22a)에 펌프 빔에 대한 반사방지 코팅을 형성할 수도 있다.
다시 도 2를 참조하면, 상기 렌즈 덕트(22)는 레이저칩(25)을 냉각시키는 히트싱크(23) 내에 장착되는 것이 바람직하다. 이를 위하여, 상기 히트싱크(23) 내에는 렌즈 덕트(22)의 형상과 일치하는 형태의 개구가 형성되어 있다. 이 경우, 조립시에 히트싱크(23)의 개구 내에 상기 렌즈 덕트(22)를 삽입함으로써, 매우 간단하게 렌즈 덕트(22)를 설치할 수 있다. 또한, 렌즈들을 사용하는 종래의 경우와 달리, 별도의 정렬 과정이 요구되지 않는다.
이러한 구조의 본 발명에 따른 외부 공진기형 면발광 레이저(20)의 동작을 살펴보면, 먼저, 펌프 레이저(21)로부터 방출된 펌프 빔이 렌즈 덕트(22)의 광입사면(22a)을 통해 렌즈 덕트(22)의 내부로 입사한다. 앞서 설명한 바와 같이, 상기 펌프 레이저(21)는 다수의 레이저 소자 어레이로 구성될 수 있다. 이 경우, 다수의 레이저 소자들로부터 방출된 다수의 펌프 빔들이 렌즈 덕트(22)의 내부로 입사한다. 렌즈 덕트(22)의 내부로 입사한 펌프 빔은 경사진 외부 표면에서 전반사된다. 따라서, 펌프 빔은 렌즈 덕트(22)의 광출사면(22b)을 통해 출사될 때까지 외부로 빠져나가지 않는다. 도 2에는 이러한 펌프 빔들의 광경로들이 실선으로 표시되어 있다. 그런 후, 펌프 빔은 렌즈 덕트(22)의 광출사면(22b)을 통해 출사된 후, 열확산소자(24)를 투과하여 레이저칩(25)에 입사한다. 이때, 앞서 설명한 바와 같이, 렌즈 덕트(22)의 광출사면(22b)이 구면 렌즈 또는 실린더 렌즈의 형태로 형성되어 있는 경우, 펌프 빔이 레이저칩(25)에 포커싱 될 수 있다.
펌프 빔이 레이저칩(25)에 입사하면, 레이저칩(25) 내의 활성층이 펌프 빔에 의해 여기되어 광을 발생시킨다. 상기 레이저칩(25)의 활성층에서 방출된 광은 외부 미러(27)와 레이저칩(25) 내부의 분산 브래그 반사기 사이에서 공진을 하게 된다. 이 과정에서, SHG 결정(26)에 의해 파장이 바뀐 광이 외부 미러(27)를 투과하여 외부로 출력된다. 예컨대, 레이저칩(25)에서 발생한 광이 적외선 영역의 광인 경우, 상기 외부 미러(27)를 통해 출력되는 레이저 빔은 녹색 또는 청색을 갖는 가시광선 영역의 광일 수 있다.
도 2에 도시된 실시예의 경우, 종래의 경우와 마찬가지로 히트 싱크(23)가 레이저칩(25)만을 냉각시키도록 형성되어 있다. 그러나, 본 발명에 따르면, 렌즈 덕트(22)가 히트 싱크(23)의 내부에 삽입되어 공간이 절약되므로, 도 7에 도시된 바와 같이, 펌프 레이저(21)를 히트 싱크(23)에 부착하여 펌프 레이저(21)를 함께 냉각시키는 것도 가능하다. 도 7을 참조하면, 히트 싱크(23) 내에 펌프 레이저(21)가 렌즈 덕트(22)와 함께 삽입되어 있다. 따라서, 본 실시예에 따르면, 상기 히트 싱크(23)는 레이저칩(25)과 펌프 레이저(21)를 동시에 냉각시킬 수 있다. 또한, 렌즈 덕트(22)의 정렬과 동시에, 렌즈 덕트(22)의 광입사면(22a)에 밀착되도록 펌프 레이저(21)를 정렬하는 작업도 쉽게 이루어질 수 있다.
여기서, 상기 히트 싱크(23)는 펌프 레이저(21) 전체를 둘러쌀 필요는 없으며, 단지 부분적으로만 펌프 레이저(21)와 접촉할 수도 있다. 예컨대, 도 8의 측단면도와 같이, 상기 히트싱크(21)는 펌프 레이저(21)의 저면에만 접촉하도록 연장될 수 있다. 또한, 펌프 레이저(21)의 세 개의 면과 접촉하도록 히트싱크(21)를 형성하는 것도 가능하다.
본 발명의 양호한 실시예에 따르면, 렌즈들을 사용하는 종래의 구조에 비하여, 렌트 덕트를 사용할 경우 결합 효율이 크게 향상될 수 있다. 또한, 렌즈에 의한 광 손실을 줄일 수 있어서, 펌프 레이저에서 방출된 광의 거의 100% 를 레이저칩에 전달하는 것이 가능하다.
또한, 본 발명에 따르면, 단지 하나의 렌즈 덕트만을 사용하므로 외부 공진기형 면발광 레이저의 전체적인 크기를 감소시킬 수 있다. 특히, 히트싱크의 개구에 렌즈 덕트를 삽입하는 구조이므로, 종래의 경우에 비해 정렬이 크게 용이하게 된다. 더욱이, 렌즈를 사용하는 경우 정렬 오차가 크면 결합 효율이 크게 떨어지지만, 렌즈 덕트의 경우 정렬 오차에 따른 결합 효율의 차이가 크지 않기 때문에, 대 량 생산이 용이하고 제조 비용을 감소시킬 수 있다.
또한, 작은 크기의 콜리메이팅 렌즈와 포커싱 렌즈의 가격이 렌즈 덕트에 비하여 매우 높이 때문에, 본 발명에 따르면 외부 공진기형 면발광 레이저의 제조 비용을 추가적으로 저감시킬 수 있다.
지금까지, 본원 발명의 이해를 돕기 위하여 몇몇의 모범적인 실시예가 설명되고 첨부된 도면에 도시되었다. 그러나, 이러한 실시예들은 단지 발명을 예시하기 위한 것이고 이를 제한하지 않는다는 점이 이해되어야 할 것이다. 그리고 본 발명은 도시되고 설명된 설명에 국한되지 않는다는 점이 이해되어야 할 것이며, 이는 다양한 다른 변형이 본 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일어날 수 있기 때문이다.

Claims (13)

  1. 광펌핑 방식에 의해 제 1 파장의 광을 방출시키는 레이저칩;
    상기 레이저칩의 전면과 대향하고 있는 외부 미러;
    상기 레이저칩에 제 2 파장의 광펌핑용 광을 제공하는 펌프 레이저; 및
    상기 레이저칩을 냉각시키기 위하여 상기 레이저칩의 배면에 배치된 히트싱크;
    상기 펌프 레이저에 대향하는 광입사면과 상기 레이저칩의 배면에 대향하는 광출사면을 갖는 것으로, 상기 펌프 레이저에서 방출된 광을 전반사 방식으로 상기 레이저칩으로 가이드 하는 렌즈 덕트;를 포함하며,
    상기 렌즈 덕트의 형상과 일치하는 형태의 개구가 상기 히트싱크 내에 형성되어 있으며, 상기 히트싱크의 개구 내에 상기 렌즈 덕트가 장착되는 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 면발광 레이저.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 렌즈 덕트는 광입사면이 광출사면보다 더 넓은 원뿔형 또는 다각뿔형의 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 면발광 레이저.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 렌즈 덕트의 광입사면과 광출사면 중에서 적어도 하나의 면은 평면인 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 면발광 레이저.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 렌즈 덕트의 광입사면이 곡률을 갖는 것을 특징으로 하는 외부 공진기 형 면발광 레이저.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 렌즈 덕트의 광출사면이 구면 렌즈 또는 실린더 렌즈의 형상인 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 면발광 레이저.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    제 2 파장의 광펌핑용 광에 대한 반사방지 코팅이 상기 렌즈 덕트의 광입사면에 형성된 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 면발광 레이저.
  7. 삭제
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 레이저칩의 열을 히트싱크로 전달하기 위하여 상기 히트싱크와 레이저칩 사이에 배치된 열확산소자를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 면발광 레이저.
  9. 삭제
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 히트싱크는 상기 펌프 레이저를 냉각시킬 수 있도록 상기 펌프 레이저를 적어도 부분적으로 둘러싸는 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 면발광 레이저.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 펌프 레이저의 광방출면이 상기 렌즈 덕트의 광입사면에 밀착되어 있는 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 면발광 레이저.
  12. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    입사광의 파장을 1/2로 만드는 SHG 결정이 상기 레이저칩과 외부 미러 사이에 더 배치되는 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 면발광 레이저.
  13. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 펌프 레이저는 다수의 레이저 소자들의 어레이로 구성된 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 면발광 레이저.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR19990075092A (ko) * 1998-03-17 1999-10-05 이종수 고체 레이저장치
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JP2006261194A (ja) 2005-03-15 2006-09-28 Jtekt Corp ファイバレーザ発振器

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