KR101331802B1 - Rubbing apparatus and method of adjusting humidification of rubbing apparatus - Google Patents

Rubbing apparatus and method of adjusting humidification of rubbing apparatus Download PDF

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Abstract

본 발명은 액정표시장치의 배향막을 러빙하는 러빙장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 러빙장치는, 기판을 러빙하는 러빙롤러와, 상기 러빙롤러에 수분을 분사하는 분사장치; 및 상기 분사장치를 제어하여 습도를 조절하는 제어장치를 포함한다.The present invention relates to a rubbing device for rubbing an alignment film of a liquid crystal display device. The rubbing device according to the present invention includes: a rubbing roller for rubbing a substrate, and a spraying device for spraying water onto the rubbing roller; And a control device for controlling the humidity to control the injection device.

습도, 정전기, 러빙롤러 Humidity, Static Electricity, Rubbing Roller

Description

러빙장치와 러빙장치의 습도조절방법{RUBBING APPARATUS AND METHOD OF ADJUSTING HUMIDIFICATION OF RUBBING APPARATUS}RUBBING APPARATUS AND METHOD OF ADJUSTING HUMIDIFICATION OF RUBBING APPARATUS}

도 1은 액정표시장치의 단면을 개략적으로 나타낸 단면도.1 is a cross-sectional view schematically showing a cross section of a liquid crystal display device.

도 2는 본 발명에 따른 러빙장치를 나타낸 사시도.2 is a perspective view showing a rubbing device according to the present invention.

도 3은 도 2의 러빙장치를 나타낸 단면도.3 is a cross-sectional view of the rubbing device of FIG.

도 4는 본 발명에 따른 러빙장치의 분사구의 제1실시예를 나타낸 평면도로, 러빙롤러의 일측에 점형태의 분사구를 가진 분사장치를 도시한 것. Figure 4 is a plan view showing a first embodiment of the injection port of the rubbing device according to the present invention, showing a spray device having a point-shaped injection port on one side of the rubbing roller.

도 5는 본 발명에 따른 러빙장치의 분사구의 제2실시예를 나타낸 평면도로, 러빙롤러의 일측에 슬릿형태의 분사구를 가진 분사장치를 도시한 것.Figure 5 is a plan view showing a second embodiment of the injection port of the rubbing device according to the present invention, showing an injection device having a slit-shaped injection port on one side of the rubbing roller.

도 6은 본 발명에 따른 러빙장치의 분사구의 제3실시예를 나타낸 평면도로, 러빙롤러의 일측에 러빙롤러의 길이보다 좁은 영역에 수분입자를 분사하는 것을 도시한 것.Figure 6 is a plan view showing a third embodiment of the injection port of the rubbing device according to the present invention, showing the injection of water particles in a region narrower than the length of the rubbing roller on one side of the rubbing roller.

도 7은 본 발명에 따른 러빙장치의 제어장치를 나타낸 개념도.7 is a conceptual view showing a control device of a rubbing device according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

100 : 러빙장치 101 : 기판100: rubbing device 101: substrate

102 : 배향막 103 : 러빙롤러102 alignment film 103 rubbing roller

104 : 테이블 105 : 러빙포104: Table 105: Loving Can

110 : 분사장치 120 : 흡입장치110: injection device 120: suction device

130 : 수분저장장치 131 : 배관130: water storage device 131: piping

C10 : 제어부C10: control unit

본 발명은 러빙롤러의 러빙장치에 관한 것으로, 좀더 자세하게는 러빙롤러에 수분을 공급하여 러빙 중 발생하는 정전기를 감소시키는 러빙장치 및 러빙장치의 습도조절방법에 관한 것이다.The present invention relates to a rubbing device of a rubbing roller, and more particularly to a rubbing device and a humidity control method of the rubbing device to reduce the static electricity generated during rubbing by supplying moisture to the rubbing roller.

근래, 핸드폰(Mobile Phone), PDA, 컴퓨터, 대형 TV와 같은 각종 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 평판표시장비(Flat Panel Display Device)에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. Recently, with the development of various electronic devices such as mobile phones, PDAs, computers, and large TVs, the demand for flat panel display devices that can be applied thereto is gradually increasing.

이러한 평판표시장치로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등이 활발히 연구되고 있지만, 양산화 기술, 구동수단의 용이성, 고화질의 구현이라는 이유로 인해 현재에는 액정표시장치(LCD)가 각광을 받고 있다.Such flat panel displays are being actively researched, such as LCD (Liquid Crystal Display), PDP (Plasma Display Panel), FED (Field Emission Display), VFD (Vacuum Fluorescent Display), but mass production technology, ease of driving means, Liquid crystal displays (LCDs) are in the spotlight for reasons of implementation.

도 1은 액정표시장치의 단면을 개략적으로 나타낸 단면도이다. 1 is a cross-sectional view schematically illustrating a cross section of a liquid crystal display device.

도면에 도시한 바와 같이, 액정표시장치(1)는 제1기판(5)과 제2기판(3) 및 상기 제1기판(5)과 제2기판(3) 사이에 형성된 액정층(7)으로 구성되어 있다. As shown in the figure, the liquid crystal display device 1 includes a liquid crystal layer 7 formed between the first substrate 5 and the second substrate 3 and between the first substrate 5 and the second substrate 3. It consists of.

상기 액정층(7)을 형성하는 액정은 광학적 이방성을 가진 물질로서, 인가되 는 전압에 따라 배향성이 달라지므로, 광투과율을 조절할 수 있다. 따라서 액정층의 광투과율에 따라 이에 대응되어 정지된 화상이나 움직이는 화상이 액정표시장치(1) 상에 표현된다. The liquid crystal forming the liquid crystal layer 7 is a material having optical anisotropy, and since the orientation varies depending on the applied voltage, light transmittance may be adjusted. Accordingly, a still image or a moving image corresponding to the light transmittance of the liquid crystal layer is represented on the liquid crystal display device 1.

제1기판(5)은 구동소자인 박막트랜지스터(TFT : Thin Film Transistor)가 형성된 기판으로서, 도면에는 도시하지 않았지만 복수의 화소가 형성되어 있다. 각각의 화소에는 박막트랜지스터가 형성되어 있다. The first substrate 5 is a substrate on which a thin film transistor (TFT), which is a driving element, is formed. Although not illustrated, a plurality of pixels are formed. Each pixel is formed with a thin film transistor.

상부 기판(3)은 컬러필터(Color Filter)기판으로서, 컬러를 구현하기 위한 컬러필터층이 형성되어 있다. 또한, 상기 제1기판(5) 및 제2기판(3)에는 각각 화소전극 및 공통전극이 형성되어 있으며 액정층(7)의 액정분자를 배향하기 위한 배향막(10)이 도포되어 있다.The upper substrate 3 is a color filter substrate, and a color filter layer for realizing color is formed. In addition, a pixel electrode and a common electrode are formed on the first substrate 5 and the second substrate 3, respectively, and an alignment film 10 for aligning liquid crystal molecules of the liquid crystal layer 7 is coated.

상기 제1기판(5) 및 제2기판(3)은 실링재(Sealing material)(9)에 의해 합착되어 있으며, 그 사이에 액정층(7)이 형성되어 상기 제1기판(5)에 형성된 박막트랜지스터에 의해 액정분자를 구동하여 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써 정보를 표시하게 된다.The first substrate 5 and the second substrate 3 are bonded by a sealing material 9, and a liquid crystal layer 7 is formed therebetween to form a thin film formed on the first substrate 5. The information is displayed by controlling the amount of light that passes through the liquid crystal layer by driving the liquid crystal molecules by the transistor.

상기한 바와 같은 액정표시장치를 제조하는 공정에 있어서, 액정분자를 일정한 방향으로 배향시키기 위해 러빙공정을 수행한다. 러빙공정이란 러빙포에 의하여 액정이 일정한 방향으로 배열되도록 소성된 고분자막을 일정한 방향으로 분자를 배열하는 공정으로, 벨벳 등과 같은 러빙포(rubbing cloth)를 러빙롤러에 감아 배향막 표면을 문지르는 과정을 거친다. 상기 과정을 거쳐 배향막에 선경사각(pretilt angle)을 갖는 배향막을 형성한다.In the process of manufacturing the liquid crystal display device as described above, a rubbing process is performed to orient the liquid crystal molecules in a predetermined direction. The rubbing process is a process of arranging molecules in a certain direction in a polymer film fired so that the liquid crystals are arranged in a predetermined direction by a rubbing cloth. A rubbing cloth such as velvet is wound around a rubbing roller to rub the surface of the alignment film. Through the above process, an alignment layer having a pretilt angle is formed on the alignment layer.

이때, 러빙공정은 러빙포를 배향막 표면에 마찰시키는 과정이기 때문에 정전기가 쉽게 발생하는 문제점이 있다. At this time, since the rubbing process is a process of rubbing the rubbing cloth on the alignment layer surface, there is a problem in that static electricity is easily generated.

정전기는 물체가 마찰을 일으켰을 때나 서로 다른 물체가 접촉 분리하였을 때, 전하의 분리가 일어나고 전하가 축적되어 물체가 대전되는 현상을 말한다. 정전기는 접촉면적, 압력, 마찰 빈도 등에 의해 대전의 크기가 결정된다.Static electricity refers to a phenomenon in which an electric charge is separated and an electric charge is accumulated when an object causes friction or when different objects are separated by contact. The magnitude of the static electricity is determined by the contact area, pressure, friction frequency, and the like.

문제는 이러한 정전기가 방전을 일으키는 경우인데, 방전 시 2,000V가 넘는 스파크가 일어나기도 하기 때문에, 미세한 회로의 열화나 파괴의 원인이 된다는 것이다. 액정표시장치에는 미세한 배선이나 박막트랜지스터 등이 형성되어 있으므로정전기에 의해 영향을 받아 단선 등 불량이 발생할 수 있다.The problem is that such static electricity causes a discharge, and since the spark may generate more than 2,000 V during discharge, it may cause deterioration or destruction of minute circuits. Since fine wires, thin film transistors, and the like are formed in the liquid crystal display, defects such as disconnection may occur due to the influence of static electricity.

종래의 기술에 따라 액정표시장치를 제조하는 과정에 있어서, 기판을 러빙처리할 때, 배향막뿐만 아니라 배향막의 하부에 형성된 보호막이나 전극도 동시에 러빙된다. 배향막이나 보호막 또는 전극은 각각 러빙포에 대한 대전열이 다르기 때문에 마찰되는 물질마다 대전상황이 다르게 되며 이에 따라 받는 영향도 다르게 된다. 이뿐만 아니라 러빙롤러가 대전되어 있는 경우 이물이 전기적 인력에 의해 쉽게 부착되는 문제도 생길 수 있다.In the process of manufacturing the liquid crystal display device according to the related art, when rubbing the substrate, not only the alignment film but also the protective film or the electrode formed under the alignment film are rubbed simultaneously. Since the alignment heat, the protective film, or the electrodes have different charging heat for the rubbing cloth, the charging situation is different for each material to be rubbed, and thus the influence of the alignment film, the protective film, or the electrode is different. In addition to this, when the rubbing roller is charged, there may be a problem in that foreign matter is easily attached by the electric attraction.

그런데 정전기는 습도와 관련이 있으며, 습도가 높으면 정전기 발생율이 떨어지는 효과가 있다. 습도는 절연물질이나 정전기 방전 보호재 등의 도전율(Conductivity)에 큰 영향을 미치기 때문인데, 수분은 통상적으로 약간의 전도성을 띠므로 대전된 물체에서 전하를 뺏는 방식으로 도전율에 영향을 미친다.However, static electricity is related to humidity, and high humidity has an effect of decreasing the rate of static electricity generation. Humidity has a great influence on the conductivity of an insulating material or an electrostatic discharge protection material. Since moisture generally has a slight conductivity, it affects the conductivity by taking away electric charges from a charged object.

일반적으로, 상대습도가 60% 이상이 되면 물체가 습기를 흡수하여 도전성이 좋아져 정전기가 쉽게 축적되지 않으며, 상대습도가 20∼30% 이하가 되면 물체가 습기를 잃어 정전기가 소멸되지 않고 그대로 축적된다. In general, when the relative humidity is 60% or more, the object absorbs moisture and the conductivity is improved, so that static electricity is not easily accumulated. When the relative humidity is 20-30% or less, the object loses moisture and the static electricity is accumulated without being destroyed. .

따라서, 정전기 방지를 위해 특히 정전기가 많이 발생하는 러빙공정에서 적절한 습도를 유지하는 것이 중요하다.Therefore, in order to prevent static electricity, it is particularly important to maintain proper humidity in a rubbing process in which a lot of static electricity is generated.

그러나, 러빙롤에서 발생하는 정전기 제거하기 위하여 설비 전체에 습도 조절 시스템 설치하는 것은 비효율적이며 장비 전체 공간의 습도 조절에는 한계가 있는 문제점이 있다. 또한 장비 전체에 대해 습도를 조절한다고 해서 러빙롤러 자체에 대한 습도를 조절할 수 있는 것은 아닌 문제점이 있다.However, in order to remove static electricity generated from the rubbing roll, installation of a humidity control system in the entire facility is inefficient and there is a problem in that the humidity control of the entire space of the equipment is limited. In addition, controlling the humidity of the entire equipment does not have the problem that can not control the humidity on the rubbing rollers themselves.

상기한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 러빙장치에 있어서 습도를 조절하여 러빙공정시 정전기를 방지한 러빙장치를 제공함에 있다.An object of the present invention for solving the above problems is to provide a rubbing device that prevents static electricity during the rubbing process by adjusting the humidity in the rubbing device.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 러빙장치는, 기판을 러빙하는 러빙롤러와, 상기 러빙롤러에 수분을 분사하는 분사장치; 및 상기 분사장치를 제어하여 습도를 조절하는 제어장치를 포함한다.A rubbing device according to the present invention for achieving the above object, a rubbing roller for rubbing a substrate, the injection device for injecting moisture to the rubbing roller; And a control device for controlling the humidity to control the injection device.

상기 분사장치는 상기 러빙롤러의 상부에 상기 러빙롤러와 이격되어 구비되며, 물을 미세한 수분입자로 형성하기 위한 발산노즐 또는 초음파장치 등의 형성수단과, 형성된 수분입자를 공기 중으로 분사하기 위한 분사구를 포함하여 구성된다. 이때, 상기 분사장치는 수분입자의 분사속도를 조절하는 가속노즐을 더 포함할 수 있다.The injection apparatus is provided on the upper part of the rubbing roller and spaced apart from the rubbing roller, forming means such as a diverging nozzle or ultrasonic apparatus for forming water into fine water particles, and a spray hole for injecting the formed water particles into the air. It is configured to include. At this time, the injection device may further include an acceleration nozzle for controlling the injection speed of the water particles.

상기 분사구의 기판으로부터의 높이는 러빙롤러의 직경과 같거나 크다.The height of the injection port from the substrate is equal to or larger than the diameter of the rubbing roller.

상기 분사장치에는 수분을 공급하는 수분공급장치가 연결되며, 상기 수분공급장치는 저장장치와 배관으로 구성된다.A water supply device for supplying water is connected to the injection device, and the water supply device includes a storage device and a pipe.

본 발명에 따른 러빙장치는 분사장치에 대응하는 위치에 이격되어 구비된 흡입장치를 더 구비할 수 있으며, 상기 흡입장치는 분사장치에서 분사된 수분의 일부를 흡입하기 위한 흡입구를 포함하여 구성된다.The rubbing device according to the present invention may further include a suction device spaced apart from the position corresponding to the injection device, the suction device comprises a suction port for sucking a part of the water injected from the injection device.

상기 분사장치와 흡입장치는 러빙롤러의 상부의 외주면에 접하는 선에 평행한 위치에 배치되며, 상기 러빙롤러와 평행하게 이동시키는 평행이동수단을 더 포함할 수 있다.The injection device and the suction device may be disposed at a position parallel to a line in contact with the outer circumferential surface of the upper portion of the rubbing roller, and may further include parallel moving means for moving in parallel with the rubbing roller.

한편, 러빙롤러의 적어도 일측단에 상기 러빙롤러를 회전시키는 구동수단을 더 포함할 수 있다.On the other hand, at least one end of the rubbing roller may further include a driving means for rotating the rubbing roller.

상기 제어장치는, 상기 제어장치는 습도를 측정하는 센서와, 상기 센서가 측정한 습도에 따라 수분량을 조절하는 제어부, 및 상기 조절된 수분량에 따라 개폐되는 유량계와 상기 조절된 수분량에 따라 기판으로부터의 분사장치의 높이를 조절하는 이동장치 및 흡입장치의 흡입량을 조절하는 흡입량조절장치 중 적어도 하나를 포함하여 구성된다.The control device, the control device is a sensor for measuring the humidity, a control unit for controlling the amount of moisture in accordance with the humidity measured by the sensor, a flow meter which is opened and closed in accordance with the adjusted amount of moisture and from the substrate according to the adjusted amount of moisture And at least one of a moving device for adjusting the height of the injection device and a suction amount adjusting device for adjusting the suction amount of the suction device.

본 발명은 러빙롤러 습도조절방법을 포함하며, 본 발명에 따른 러빙롤러 습도조절방법은, 러빙롤러를 준비하는 단계와, 센서로 습도데이터를 측정하는 단계와, 상기 습도데이터를 이용해 분사량을 산출하는 단계와, 상기 분사량에 따라 유량계를 개폐하거나 분사장치의 높이를 조절하거나 흡입량을 조절하는 단계 및 러 빙롤러에 수분을 분사하는 단계를 포함하여 구성된다.The present invention includes a rubbing roller humidity control method, the rubbing roller humidity control method according to the present invention, preparing a rubbing roller, measuring the humidity data with a sensor, and calculating the injection amount using the humidity data And opening and closing the flow meter, adjusting the height of the injection device, or adjusting the suction amount according to the injection amount, and spraying water on the rubbing roller.

이때, 상기 습도데이터를 이용해 분사량을 산출하는 단계는, 상기 습도데이터를 입력하는 단계와, 상기 입력된 습도데이터로 습도를 산출하는 단계, 및 상기 산출된 습도를 규정 습도와 비교하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.At this time, the step of calculating the injection amount using the humidity data, the step of inputting the humidity data, calculating the humidity with the input humidity data, and comparing the calculated humidity with the specified humidity It is characterized by.

일반적으로, 액정표시장치는, 제1기판과 제2기판 및 상기 제1기판과 제2기판 사이에 형성된 액정층으로 구성되며, 상기 제1기판에 형성된 구동소자에 의해 액정분자를 구동하여 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써 정보를 표시하게 된다. 그리고, 상기 제1기판과 제2기판의 마주보는 면에는 액정분자들의 배향을 조절하기 위해 일정한 선경사각(pretilt angle)을 가지는 배향막이 형성된다. In general, a liquid crystal display device includes a liquid crystal layer formed between a first substrate and a second substrate and between the first substrate and the second substrate, and the liquid crystal layer is driven by driving liquid crystal molecules by a driving element formed on the first substrate. Information is displayed by controlling the amount of light that passes through the light. In addition, an alignment layer having a predetermined pretilt angle is formed on the opposite surface of the first substrate and the second substrate to control the alignment of the liquid crystal molecules.

상기한 바와 같이 액정표시장치의 제작 공정에는 배향막이 형성는데, 상기 배향막은 일정한 선경사각을 가질 필요가 있으므로, 러빙(rubbing)공정을 거치게 된다. 러빙공정이란 러빙포에 의하여 액정이 일정한 방향으로 배열되도록 소성된 고분자막을 일정한 방향으로 분자를 배열하는 공정이다. 보통 벨벳 등과 같은 러빙포(rubbing cloth)를 러빙롤러에 감아 배향막 표면을 문지르며, 상기 과정을 거쳐 배향막은 선경사각을 갖게 된다.As described above, an alignment layer is formed in the manufacturing process of the liquid crystal display, and since the alignment layer needs to have a predetermined pretilt angle, it is subjected to a rubbing process. The rubbing process is a process of arranging molecules in a fixed direction in a polymer film fired so that liquid crystals are arranged in a predetermined direction by a rubbing cloth. Usually, a rubbing cloth such as velvet or the like is wrapped around the rubbing roller to rub the surface of the alignment layer, and through the above process, the alignment layer has a pretilt angle.

그런데 러빙공정에서는 기판과 러빙포 사이에 마찰이 계속 일어나기 때문에 마찰에 의한 대전이 일어나 정전기가 자주 발생한다. 정전기는 습도와 반비례하는 연관성이 있으므로 습도를 조절함으로써 정전기를 감소시킬 수 있다. 본 발명은 액정표시장치에 있어서, 러빙공정에서의 러빙에 의한 정전기를 방지하기 위해 수분을 공급하기 위한 습도조절장치가 구비된 러빙장치와 러빙장치의 습도조절방법에 관한 것이다. However, in the rubbing process, since friction occurs continuously between the substrate and the rubbing cloth, charging by friction occurs and static electricity frequently occurs. Since static electricity is inversely related to humidity, it can be reduced by controlling humidity. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device, wherein the rubbing device and the humidity control method of the rubbing device are provided with a humidity control device for supplying moisture to prevent static electricity from rubbing in the rubbing process.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 러빙장치에 대해 설명한다.Hereinafter, a rubbing device according to the present invention will be described with reference to the drawings.

도 2는 본 발명에 따른 러빙장치를 나타낸 사시도이다. 2 is a perspective view showing a rubbing device according to the present invention.

도 3은 도 2의 러빙장치를 나타낸 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating the rubbing device of FIG. 2.

도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 러빙장치(100)는 기판(101)이 안착되는 테이블(104)과, 상기 기판(101) 상에 배치되어 기판(101)을 러빙하는 중심축과 외주면을 가지는 원기둥 형태의 러빙롤러(103), 및 상기 러빙롤러(103)의 상부에 이격되어 구비된 습도조절장치(110)를 포함한다.Referring to FIG. 2, the rubbing device 100 according to the present invention includes a table 104 on which the substrate 101 is seated, a central axis and an outer circumferential surface disposed on the substrate 101 to rub the substrate 101. Branches include a cylindrical-shaped rubbing roller 103, and the humidity control device 110 is provided spaced on top of the rubbing roller 103.

테이블(104)은 단변과 장변을 가진 대략 사각형의 형상을 가진 판상으로 마련되며, 상부에 배향막(102)이 형성된 기판(101)이 안착된다. 배향막(102)은 기판(101) 위에 폴리이미드(polyimide) 또는 폴리아믹산(polyamic acid) 계열의 물질을 슬릿코터나 인쇄롤러로 도포하는 방식 등으로 형성된다. The table 104 is provided in a plate shape having a substantially rectangular shape having short sides and long sides, and the substrate 101 having the alignment layer 102 formed thereon is mounted thereon. The alignment layer 102 is formed on the substrate 101 by applying a polyimide or polyamic acid-based material with a slit coater or a printing roller.

도시하지는 않았으나 테이블(104)의 하부에는 테이블(104)을 이동시킬 수 있는 구동수단 및/또는 높이 조절수단이 구비될 수 있으며, 이러한 경우 테이블(104)이 설정된 방향으로 수평/상하 이동하게 된다.Although not shown, a driving means and / or height adjusting means for moving the table 104 may be provided below the table 104, and in this case, the table 104 may move horizontally and vertically in a set direction.

러빙롤러(103)는 중심축과 외주면을 가진 원기둥의 형태로 마련된다. 러빙롤러(103)는 배향막(102)이 형성된 기판(101)을 러빙해야 하므로 기판(101)의 상부에 접하여 배치된다. The rubbing roller 103 is provided in the form of a cylinder having a central axis and an outer circumferential surface. Since the rubbing roller 103 should rub the substrate 101 on which the alignment film 102 is formed, the rubbing roller 103 is disposed in contact with the upper portion of the substrate 101.

러빙롤러(103)의 외주면에는 러빙포(105)가 권포되어, 기판(101)의 배향막(102)을 러빙하게 된다. 러빙포(105)은 벨벳이나 융과 같은 직조된 천의 일 종으로, 경사 및 위사로 직조된 원단 조직에 레이온이나 나일론 계통의 섬유를 파일사로서 짜 넣은 것이다. 러빙포(105)는 선경사각을 형성하는 역할을 한다.A rubbing cloth 105 is wound around the outer circumferential surface of the rubbing roller 103 to rub the alignment film 102 of the substrate 101. The rubbing cloth 105 is a kind of woven fabric such as velvet or velvety, and weaves rayon or nylon-based fibers as pile yarns in a fabric texture woven with warp and weft yarns. The rubbing cloth 105 serves to form a pretilt angle.

러빙롤러(103)의 적어도 일측단에는 상기 러빙롤러(103)을 회전시키는 구동모터가 구비되어 러빙롤러(103)을 기판(101)위에서 회전시키게 된다. 이때, 도시하지는 않았지만, 러빙롤러(103)를 지지하는 지지대가 구비될 수 있으며, 상기 구동수단은 지지대 상에 구비될 수 있다.At least one end of the rubbing roller 103 is provided with a driving motor for rotating the rubbing roller 103 to rotate the rubbing roller 103 on the substrate 101. At this time, although not shown, a support for supporting the rubbing roller 103 may be provided, and the driving means may be provided on the support.

일반적으로 러빙롤러(103)가 고정된 상태에서 회전하는 가운데 기판(101)이 안착된 테이블(104)이 하부에서 설정된 방향으로 이동하면서 러빙이 이루어진다. 그러나, 테이블(104)이 고정된 상태에서 상기 러빙롤러(103)가 이동하면서 러빙이 이루어질 수도 있다.In general, while the rubbing roller 103 is rotated in a fixed state, rubbing is performed while the table 104 on which the substrate 101 is seated moves in a direction set from the bottom. However, rubbing may be performed while the rubbing roller 103 moves while the table 104 is fixed.

러빙롤러(103)의 상부에는 러빙롤러(103)에서 이격되어 습도조절장치(110)가 구비된다. The upper portion of the rubbing roller 103 is spaced apart from the rubbing roller 103 is provided with a humidity control device (110).

습도조절장치(110)는 수분공급장치(118)와, 분사장치(111), 흡입장치(115) 및 습도를 제어할 수 있는 제어장치를 포함하여 구성된다. 제어장치는 습도를 측정하는 센서(113)와, 센서(113)가 측정한 습도에 따라 수분량을 조절하는 제어부(C10), 제어부에 의해 조절된 수분량에 따라 개폐되는 유량계(114)와 분사장치(111)의 기판(101)으로부터의 높이를 조절하는 이동장치(미도시) 및 흡입장치의 흡입량을 조절하는 흡입량조절장치(미도시)를 포함하여 구성된다. 제어장치는 후술한다.Humidity control device 110 is configured to include a moisture supply device 118, the injection device 111, the suction device 115 and a control device for controlling the humidity. The control device includes a sensor 113 for measuring humidity, a control unit C10 for adjusting the amount of water according to the humidity measured by the sensor 113, a flow meter 114 for opening and closing according to the amount of water controlled by the control unit, and an injection device ( It comprises a moving device (not shown) for adjusting the height from the substrate 101 of the 111 and the suction amount adjusting device (not shown) for adjusting the suction amount of the suction device. The control device will be described later.

분사장치(111)는 수분공급장치(118)에서 공급된 수분을 미세수분입자로 만들 어 러빙롤러(103)의 상부에 분사하고 흡입장치(115)는 미세수분입자의 일부를 흡입하는 구조로 구성된다. 분사장치(111)에는 배관(119)을 통해 수분저장장치(118)가 연결되어 있어 분사장치(111)에 수분을 공급한다.Injector 111 is made of the water supplied from the water supply device 118 to the fine water particles to spray on the top of the rubbing roller 103, and the suction device 115 is configured to suck a part of the fine water particles. do. The water injection device 111 is connected to the injection device 111 through a pipe 119 to supply water to the injection device 111.

분사장치(111)는 러빙롤러(103)에 발생하는 정전기를 방지하기 위해 수분을 공급하는 장치로, 설비 전체를 가습할 필요없이 효율적으로 러빙롤러(103)의 정전기를 제거하기 위하여 러빙롤러(103)의 근처에 구비된다. 좀더 자세하게는, 러빙롤러(103)의 상부의 일측에 구비된다. The injection device 111 is a device for supplying moisture to prevent static electricity generated in the rubbing roller 103. The rubbing roller 103 is used to efficiently remove static electricity from the rubbing roller 103 without the need to humidify the entire facility. ) Is provided near. More specifically, it is provided on one side of the upper portion of the rubbing roller 103.

상기 분사장치(111)는 내부에 구비된 물을 미세수분입자로 형성하기 위한 형성수단(미도시)과, 형성된 미세수분입자를 공기 중으로 분사하기 위한 분사구(112)를 포함하여 구성된다. The injection device 111 includes a forming means (not shown) for forming water provided therein into fine moisture particles, and an injection hole 112 for injecting the formed fine moisture particles into the air.

상기 형성수단은 수분입자 형성량의 조절이 가능한 것이 바람직하며, 보다 바람직하게는 발산노즐이 적합하다. 발산노즐은 고압의 액체를 분출시킬 때 분출단면적을 작게 한 노즐을 말한다. 발산노즐을 이용하여 액체를 분사하면, 액체에 가해지는 압력에너지가 속도에너지로 바뀌어 속도를 가지는 미세한 액체입자로 분사되게 된다. 분무기가 대표적인 발산노즐의 예이며, 본 발명에서는 속도를 가진 수분입자를 만들기 위해 적용이 가능하다.The forming means is preferably capable of adjusting the amount of water particles formed, more preferably a diverging nozzle. The diverging nozzle refers to a nozzle having a small jet cross-sectional area when ejecting a high pressure liquid. When the liquid is sprayed using the diverging nozzle, the pressure energy applied to the liquid is converted into velocity energy and sprayed into fine liquid particles having a velocity. A nebulizer is an example of a representative diverging nozzle, and the present invention is applicable to make a water particle with a speed.

그러나, 미세수분입자 형성수단은 이에 한정되는 것은 아니며, 공지의 것이라도 무방하다. 예를 들어 초음파 장치가 구비될 수 있다. 초음파 장치는 물에 초음파를 가하면 표면에 있는 물분자들이 진동에 의해 떨어져 나가게 되는 현상을 이용한 것이다. 또한 열을 가하여 수증기를 형성하는 방법도 가능할 것이다.However, the means for forming the fine moisture particles is not limited thereto, and may be known. For example, an ultrasonic device may be provided. The ultrasonic device utilizes a phenomenon in which water molecules on the surface are separated by vibration when ultrasonic waves are applied to the water. It would also be possible to apply heat to form water vapor.

분사장치(111)에는 러빙롤러(103)가 느끼는 실질 습도량을 조절하기 위해 분사속도를 조절할 수 있는 별도의 가속노즐이 더 마련될 수 있다. 수분입자의 분사속도가 크면 퍼짐성이 낮으며, 분사속도가 작으면 퍼짐성이 커지므로 별도의 가속노즐로 수분과 관계없는 기체를 함께 분사함으로써 분사속도를 조절한다. 이때, 가속노즐은 분사구(112)에 함께 마련되는 것이 바람직하며, N2 등의 기체를 수분입자과 함께 블로잉(blowing)함으로써 수분입자의 속도를 조절할 수 있다.The injection device 111 may be further provided with a separate acceleration nozzle that can adjust the injection speed in order to control the actual amount of humidity felt by the rubbing roller 103. If the injection speed of the water particles is large, the spreadability is low. If the injection speed is small, the spreadability is increased. Therefore, the injection speed is controlled by injecting a gas irrelevant to moisture with a separate acceleration nozzle. At this time, the acceleration nozzle is preferably provided together with the injection hole 112, it is possible to control the speed of the water particles by blowing (gas) such as N 2 and the water particles (blowing).

상기 형성수단에서 형성된 수분입자는 분사구(112)를 통해 공기 중으로 분사된다. 분사구(112)는 분사장치(111)의 일측에 구비되되, 러빙롤러(103)쪽으로 기판(101) 및 테이블(104)과 평행하게 수분입자가 분사되도록 배치된다.Moisture particles formed in the forming means is injected into the air through the injection hole (112). The injection hole 112 is provided at one side of the injection device 111, and disposed to spray water particles in parallel with the substrate 101 and the table 104 toward the rubbing roller 103.

이때, 분사구(112)에서 분사된 수분입자가 러빙롤러(103)에 직접적으로 닿지 않도록, 분사구(112)의 기판(101)으로부터의 높이(H)는 러빙롤러(103)의 직경(D)보다 같거나 큰 것이 바람직하다. 분사구(112)가 위치하는 높이(H)가 러빙롤러(103)의 직경(D)보다 작게 되면 분사구(112)에서 방출된 수분입자는 러빙롤러(103)의 외주면의 러빙포(105)에 직접적으로 도달하게 된다. 이렇게 수분입자가 러빙포(105) 상에 액적으로 맺히게 되면, 이물로 작용하여 또 다른 불량을 야기할 수 있기 때문에, 분사구(112)에서 분사된 수분입자가 러빙롤러(103)의 상부 외주면에 접하거나, 접하는 선과 평행하게 분사되도록 분사구(112)는 분사장치(111)의 측면의 러빙롤러(103) 방면에 배치된다. At this time, the height H from the substrate 101 of the injection hole 112 is larger than the diameter D of the rubbing roller 103 so that the water particles injected from the injection hole 112 do not directly contact the rubbing roller 103. It is preferable to be equal or larger. When the height H at which the injection hole 112 is located is smaller than the diameter D of the rubbing roller 103, the water particles emitted from the injection hole 112 are directly at the rubbing cloth 105 of the outer circumferential surface of the rubbing roller 103. Will be reached. Thus, when the water particles form droplets on the rubbing cloth 105, they may act as a foreign material and cause another defect. Therefore, the water particles sprayed from the injection hole 112 may contact the upper outer circumferential surface of the rubbing roller 103. Or, the injection hole 112 is disposed in the direction of the rubbing roller 103 of the side of the injection device 111 so as to be sprayed in parallel with the contact line.

분사구(112)는 수분입자 형성수단에 따라 변동될 수 있으나, 러빙롤러(103) 의 전영역에 골고루 수분을 공급할 수 있도록 여러 개가 배치될 수 있으며, 슬릿 형상으로 길게 형성될 수도 있다. The injection holes 112 may vary depending on the means for forming the water particles, but a plurality of injection holes 112 may be arranged to supply water evenly to the entire area of the rubbing roller 103, and may be formed to have a slit shape.

도 4 내지 도 6는 본 발명에 따른 러빙장치의 분사구의 제1 내지 제3실시예를 나타낸 평면도로, 설명의 편의를 위해 러빙롤러와 분사장치 및 흡입장치만을 나타낸 것이다. 설명이 생략되거나 요약된 부분은 도 2와 3에 도시된 실시예를 따른다. 그리고 설명의 편의를 위하여 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 도면부호로 설명한다.4 to 6 is a plan view showing the first to third embodiments of the injection port of the rubbing device according to the present invention, it shows only the rubbing roller, the injection device and the suction device for the convenience of description. Portions omitted or summarized follow the embodiments shown in FIGS. 2 and 3. For the convenience of description, the same components will be described with the same reference numerals.

도면을 참조하면, 도 4는 본 발명에 따른 분사구의 제1실시예를 나타낸 것으로, 러빙롤러(103)의 일측에 점형태의 분사구(112')를 가진 분사장치(111)를 도시한 것이다. 이러한 점형태의 분사구(112')는 발산노즐을 사용하는 경우 적용이 가능하며, 분사된 수분입자가 러빙롤러(103)에 골고루 퍼지도록 분사구(112')를 적절한 개수로 조절할 수 있다. Referring to the drawings, FIG. 4 shows a first embodiment of the injection hole according to the present invention, and shows the injection device 111 having the injection hole 112 'in the form of a point on one side of the rubbing roller 103. As shown in FIG. This point-shaped injection hole 112 'can be applied when using a diverging nozzle, it is possible to adjust the injection hole 112' to an appropriate number so that the sprayed water particles evenly spread on the rubbing roller 103.

도 5는 본 발명에 따른 분사구의 제2실시예를 나타낸 것으로, 러빙롤러(103)의 일측에 슬릿형 분사구(112")를 가진 분사장치(111)를 도시한 것이다. 슬릿형 분사구(112")를 통해 러빙롤러(103) 상에 수분입자가 공급되며, 슬릿형 분사구(112")은 러빙롤러(10의 중심축과 평행하게 형성된 것이 바람직하다. 또한 슬릿형 분사구(112")의 길이는 러빙롤러(103)의 길이에 맞도록 조절이 가능하며, 필요에 따라 여러 개의 슬릿형 분사구(112")을 배열하는 것도 가능할 것이다. Fig. 5 shows a second embodiment of the injection hole according to the present invention, and shows the injection device 111 having a slit injection hole 112 " on one side of the rubbing roller 103. The slit injection hole 112 " Moisture particles are supplied to the rubbing roller 103 through the (), and the slit-shaped injection hole 112 "is preferably formed in parallel with the central axis of the rubbing roller 10. Also, the length of the slit-type injection hole 112" is It can be adjusted to fit the length of the rubbing roller 103, it may be possible to arrange a plurality of slit-type injection holes (112 ") as needed.

도 6은 본 발명에 따른 분사구의 제3실시예를 나타낸 것으로, 러빙롤러(103)의 일측에 러빙롤러(103)의 길이보다 좁은 영역에 수분입자를 분사하는 분사장치(111)를 도시한 것이다. 본 실시예에서는 분사된 수분입자가 러빙롤러(103)의 일부 영역에만 수분을 공급하므로, 분사장치(111)를 러빙롤러(103)와 평행한 방향으로 이동시키는 평행이동수단(미도시)을 더 포함하여 구성된다. 상기 평행이동수단에 의해 분사장치(111)는 스캔하듯이 러빙롤러(103)의 일단에서 타단까지 왕복하게 된다.6 shows a third embodiment of the injection hole according to the present invention, and shows an injection device 111 for injecting water particles into a region narrower than the length of the rubbing roller 103 on one side of the rubbing roller 103. . In this embodiment, since the sprayed water particles supply water only to a part of the rubbing rollers 103, a parallel moving means (not shown) for moving the injector 111 in a direction parallel to the rubbing rollers 103 is further provided. It is configured to include. The injection device 111 is reciprocated from one end to the other end of the rubbing roller 103 by the parallel movement means.

도 4 내지 도 6의 분사장치(111)에 대응하는 위치에는 흡입장치(115)가 배치된다. 이때, 도 6의 실시예에서는 분사장치(111)와 같은 방식으로 평행이동수단에 의해 러빙롤러(103)의 일단에서 타단까지 왕복하는 흡입장치(115')가 마련될 수 있다. 한편, 도 2와 도 3을 참조하면, 러빙롤러(103)를 사이에 두고 분사장치(111)와 대응하는 위치에는 흡입장치(115)가 구비된다. 상기 흡입장치(115)는 진공헤드(vacuum head)를 포함한 흡입량을 조절할 수 있는 진공흡입기인 것이 바람직하나, 수분입자를 적절히 흡입할 수 있는 것이라면 이에 한정되지 않는다.A suction device 115 is disposed at a position corresponding to the injection device 111 of FIGS. 4 to 6. At this time, in the embodiment of Figure 6 may be provided with a suction device 115 'for reciprocating from one end to the other end of the rubbing roller 103 by the parallel moving means in the same manner as the injection device (111). Meanwhile, referring to FIGS. 2 and 3, the suction device 115 is provided at a position corresponding to the injection device 111 with the rubbing roller 103 interposed therebetween. The suction device 115 is preferably a vacuum suction device capable of adjusting the suction amount including a vacuum head, but is not limited thereto if the suction device 115 can properly suck water particles.

흡입장치(115)는 분사된 수분입자를 흡수하여 분사된 가습량을 조절하고 설비 전체로 분사되는 것을 방지하기 위하여 구비된다. 흡입장치(115)는 설비 전체에 수분 입자가 공급되는 경우 습도에 민감한 공정 장비에 불량을 야기할 수 있는 점을 차단한다.The suction device 115 is provided to absorb the sprayed water particles to control the amount of sprayed humidification and to prevent the sprayed to the entire facility. Inhalation device 115 blocks the point that can cause a failure in the process equipment sensitive to humidity when water particles are supplied throughout the installation.

흡입장치(115)는 분사장치(111)와 일정거리 이격되어 배치되며, 이격거리는 필요에 따라 조절할 수 있다. 이때, 흡입장치(115)는 분사장치(111)에서 배출된 수분을 적절하게 흡수하기 위하여 분사장치와 함께 기판과 평행한 선에 배치되는 것이 바람직하다.The suction device 115 is disposed spaced apart from the injection device 111 by a predetermined distance, the separation distance can be adjusted as needed. At this time, the suction device 115 is preferably disposed in a line parallel to the substrate with the injection device in order to properly absorb the water discharged from the injection device (111).

상기한 바와 같은 구조에서는 분사구(111)를 통해 분사된 수분입자는 테이블(104) 또는 기판(101)과 평행한 방향으로 러빙롤러(103)의 상부를 통과하며, 그 일부가 흡입구(116)로 흡입된다. In the structure as described above, the water particles injected through the injection port 111 passes through the upper portion of the rubbing roller 103 in a direction parallel to the table 104 or the substrate 101, a part of which is directed to the suction port 116 Is inhaled.

한편, 흡입구(116)는 분사구(112)보다 단면적을 넓게 형성하는 것이 바람직하다. 특히 분사구(112)에서 배출된 수분입자는 공기 중에 퍼져 분산되므로 넓은 범위의 수분입자를 효율적으로 흡수하기 위함이다.On the other hand, the suction port 116 is preferably formed to have a wider cross-sectional area than the injection port 112. In particular, since the water particles discharged from the injection hole 112 is dispersed in the air to effectively absorb a wide range of water particles.

상기한 구성요소 외에, 본 발명에 따른 러빙장치(100)는 습도를 조절하기 위한 제어장치를 포함하여 구성된다. In addition to the above components, the rubbing device 100 according to the present invention comprises a control device for adjusting the humidity.

도 2를 참조하면, 제어장치는 러빙롤러(103)의 근처에 배치되어 습도를 측정하는 센서(113)와, 상기 센서(113)가 측정한 습도에 따라 수분량을 제어하는 제어부(C10), 및 상기 조절된 수분량에 따라 개폐되는 유량계(114)와 상기 조절된 수분량에 따라 분사장치(111)의 기판(101)으로부터의 높이를 조절하는 이동장치(미도시) 및 흡입장치(115)의 흡입량을 조절하는 흡입량조절장치(미도시) 중 적어도 하나를 포함하여 구성된다.Referring to FIG. 2, the control device includes a sensor 113 disposed near the rubbing roller 103 to measure humidity, a controller C10 to control the amount of moisture according to the humidity measured by the sensor 113, and The suction amount of the flow meter 114 which is opened and closed according to the adjusted water amount and the moving device (not shown) and the suction device 115 which adjust the height from the substrate 101 of the injector 111 according to the adjusted water amount is determined. It is configured to include at least one of adjusting the suction amount control device (not shown).

도 7은 본 발명에 따른 러빙장치에 있어서 제어장치를 나타낸 개념도로, 이하 도 2와 도 7을 참조하여 설명한다.7 is a conceptual view illustrating a control device in a rubbing device according to the present invention, which will be described below with reference to FIGS. 2 and 7.

제어부(C10)는 센서(113)가 측정한 데이터에 따라 이후 분사장치(111)의 분사량을 제어하는 역할을 한다. 제어부(C10)는 상기 센서(113)에서 측정한 데이터가 입력되는 데이터입력부(C11)와, 상기 데이터입력부(C11)에 입력된 데이터로 습도를 산출하는 습도산출부(C12)와, 상기 산출된 습도를 규정된 습도와 비교하는 습도비 교부(C13), 및 상기 비교된 습도로부터 분사량을 산출하는 분사량산출부(C14)를 포함하여 구성된다.The controller C10 controls the injection amount of the injector 111 afterwards according to the data measured by the sensor 113. The control unit C10 may include a data input unit C11 to which data measured by the sensor 113 is input, a humidity calculation unit C12 for calculating humidity based on data input to the data input unit C11, and the calculated value. And a humidity comparison section C13 for comparing the humidity to a prescribed humidity, and an injection amount calculation section C14 for calculating the injection amount from the compared humidity.

이때, 상기 센서(113)는 습도를 측정할 수 있는 것이면 특별히 한정되지 않으며, 센서(113)가 측정한 데이터는 데이터입력부(C11)에 입력된다. 그 다음, 입력된 데이터는 연산의 과정을 거쳐 습도산출부(C12)에서 절대 습도, 또는 상대 습도값으로 산출된다. 상기 산출된 습도는 습도비교부(C13)에서 러빙롤러의 정전기 방지에 적절한 미리 규정된 습도값과 비교되어 규정된 습도값보다 높은지 낮은지 판단된다. 상기 습도비교부(C13)에서 판단된 비교값에 따라, 분사량산출부(C14)에서는 규정된 습도값보다 높거나 낮으면 그 차이에 해당하는 만큼의 분사량을 규정하여 분사량을 산출한다.In this case, the sensor 113 is not particularly limited as long as it can measure humidity, and the data measured by the sensor 113 is input to the data input unit C11. Then, the input data is calculated as an absolute humidity or a relative humidity value in the humidity calculation unit C12 through a calculation process. The calculated humidity is compared with a predetermined humidity value suitable for preventing static electricity of the rubbing roller in the humidity comparison unit C13, and it is determined whether it is higher or lower than the prescribed humidity value. According to the comparison value determined by the humidity comparison unit C13, the injection amount calculation unit C14 calculates the injection amount by defining the injection amount corresponding to the difference when it is higher or lower than the prescribed humidity value.

산출된 분사량은 수분량에 따라 개폐되는 유량계(114)와 분사장치(111)의 높이를 조절하는 이동장치 중 적어도 하나에 연결되어, 유량계(114)를 개폐하거나, 분사장치(111)의 높이를 높이거나 낮추는 방법 또는 흡입장치(115)의 흡입량을 늘리거나 낮추는 방법으로 습도를 조절한다.The calculated injection amount is connected to at least one of the flowmeter 114 that opens and closes according to the amount of water, and a moving device that adjusts the height of the injection device 111 to open or close the flow meter 114 or increase the height of the injection device 111. Humidity is controlled by increasing or decreasing the method of increasing or decreasing the suction amount of the suction device 115 or lowering or lowering.

이때, 이동장치는 분사장치(111)의 높이에 따라 러빙롤러(103)에 실질적으로 미치는 습도량을 조절하기 위한 것이다. 러빙롤러(103)에 더 많은 수분입자를 공급하기 위해서는 분사장치(111)의 높이를 낮추어 러빙롤러(103)에 가깝게 배치시키며, 적은 양의 수분입자를 공급하기 위해서는 높이를 상향조정하여 러빙롤러(103)에서 멀게 배치한다.At this time, the moving device is for adjusting the amount of humidity substantially affecting the rubbing roller 103 according to the height of the injection device (111). In order to supply more water particles to the rubbing roller 103, the height of the injection device 111 is lowered and placed close to the rubbing roller 103, and in order to supply a small amount of water particles, the height of the rubbing roller is adjusted upward. 103) away from it.

상기 이동장치는 분사장치(111)와 대응되는 위치에 구비된 흡입장치(115)에 도 구비될 수 있다. 이때, 상기 분사장치(111)와 흡입장치(115)에 구비되는 이동장치는 분사장치(111) 및 흡입장치(115)와 함께 일체로 구비될 수 있으며, 각각 구비될 수 있다. 분사장치(111)나 흡입장치(115)의 이동장치가 각각 구비될 경우에는 두 장치가 유기적으로 작동하도록 구성된다. 이때, 두 이동장치를 동시에 구동하거나 각각 구동하여 별개로 높이를 조절할 수 있음은 물론이다.The moving device may also be provided in the suction device 115 provided at a position corresponding to the injection device 111. In this case, the moving device provided in the injection device 111 and the suction device 115 may be integrally provided together with the injection device 111 and the suction device 115, may be provided respectively. When each of the injection device 111 or the moving device of the suction device 115 is provided, the two devices are configured to operate organically. At this time, it is of course that the height can be adjusted separately by driving the two moving devices or driving each.

상기한 습도조절장치(110)를 이용한 러빙롤러(103)의 습도조절 방법을 도 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다.The humidity control method of the rubbing roller 103 using the humidity control device 110 will be described with reference to FIG. 2 as follows.

먼저 테이블(104)에 배향막(102)이 형성된 기판(101)이 안착되면, 러빙롤러(103)가 기판(101) 상에 접촉하여 배치된다. 이 단계는 테이블(104)을 하방이동시켜 기판(101)을 안착한 다음, 고정된 러빙롤러(103)에 접하도록 테이블을 상방이동시키는 방법으로 실시될 수 있다. 이와는 달리, 반대로 기판(101)이 안착된 고정된 테이블(104)에 러빙롤러(103)를 이동시켜 기판(103) 상에 배치시키는 방법으로 실시될 수도 있다. First, when the substrate 101 having the alignment layer 102 formed on the table 104 is seated, the rubbing roller 103 is disposed on the substrate 101 in contact with the substrate 101. This step may be performed by moving the table 104 downward to seat the substrate 101 and then moving the table upward to contact the fixed rubbing roller 103. On the contrary, the rubbing roller 103 may be moved to the fixed table 104 on which the substrate 101 is seated and disposed on the substrate 103.

그 다음 배향막(102)이 형성된 기판(101)을 러빙하기 위해 러빙롤러(103)를 회전시킨다. 러빙롤러(103)는 일정한 압력으로 기판(101)을 압착하면서 회전함으로써 기판(101)을 러빙한다.Then, the rubbing roller 103 is rotated to rub the substrate 101 on which the alignment layer 102 is formed. The rubbing roller 103 rubs the substrate 101 by rotating while pressing the substrate 101 at a constant pressure.

한편, 습도조절장치(110)은 먼저 센서(113)로 러빙롤러(103) 근처의 습도를 측정한다. 그 다음 센서(103)가 측정한 습도데이터를 이용하여 제어부(C10)가 분사량을 산출한다. 이후, 산출된 분사량에 따라 유량계(114)를 개폐하거나 이동장치를 이용하여 분사장치(111)의 높이를 조절한다. On the other hand, the humidity control device 110 first measures the humidity near the rubbing roller 103 by the sensor 113. Then, the control unit C10 calculates the injection amount using the humidity data measured by the sensor 103. Thereafter, the flow meter 114 is opened or closed according to the calculated injection amount or the height of the injection device 111 is adjusted using a moving device.

이때, 상기 습도데이터가 입력되면, 입력된 습도데이터로 습도를 산출하고, 산출된 습도를 규정 습도와 비교하는 단계를 거친다. 산출된 습도가 규정습도보다 낮은 경우에는 유량계(114)를 열거나, 이동장치를 이용하여 분사장치(111)의 높이를 낮추거나, 흡입량 조절장치의 흡입량을 증가시킨다. 반대로, 규정습도보다 높으면 유량계(114)를 닫거나 분사장치(111)의 높이를 높이거나, 흡입량조절장치의 흡입량을 감소시키게 된다. 유량계와 이동장치 및 흡입량조절장치는 각각 별개로 또는 동시에 구동될 수 있다. 마지막으로 분사장치(111)에서 러빙롤러(111)에 수분을 분사하는 단계가 수행된다.In this case, when the humidity data is input, the humidity is calculated using the input humidity data, and the calculated humidity is compared with the specified humidity. When the calculated humidity is lower than the specified humidity, the flow meter 114 is opened, the height of the injection device 111 is lowered by using a moving device, or the suction amount of the suction amount control device is increased. On the contrary, when higher than the specified humidity, the flow meter 114 is closed or the height of the injector 111 is increased, or the suction amount of the suction amount control device is reduced. The flow meter, the moving device and the suction control device can be driven separately or simultaneously. Finally, the step of injecting water to the rubbing roller 111 in the injection device 111 is performed.

이때, 러빙롤러(103)는 상부에서 수분이 분사되는 동안 계속 회전하기 때문에 러빙롤러(103)의 전 외주면에 적절한 수분이 공급된다.At this time, since the rubbing roller 103 continues to rotate while water is injected from the top, appropriate moisture is supplied to the entire outer circumferential surface of the rubbing roller 103.

상기한 바와 같이 러빙롤러의 표면에 적절한 수분이 공급되면 기판을 러빙하는 동안 정전기가 감소하는 효과가 있다. As described above, when adequate moisture is supplied to the surface of the rubbing roller, static electricity is reduced while rubbing the substrate.

본 발명은 상기한 바와 같은 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 상술한 실시예는 본 발명을 설명하기 위한 하나의 예에 불과한 것이다. 따라서, 본 발명의 권리의 범위는 상술한 상세한 설명에 의해 정의되는 것이 아니라 첨부한 특허청구범위에 의해 정의되어야만 할 것이다.The present invention is not limited to the above embodiments. The above-described embodiment is only one example for explaining the present invention. Accordingly, the scope of the present invention should not be defined by the above detailed description, but should be defined by the appended claims.

상술한 바와 같이, 러빙장치에 있어서 습도조절장치를 구비하여, 러빙롤러 근처의 습도를 적절하게 조절함으로써 러빙공정시 정전기 발생을 방지한 러빙장치를 제공할 수 있다. As described above, the rubbing device is provided with a humidity control device, it is possible to provide a rubbing device that prevents the generation of static electricity during the rubbing process by appropriately adjusting the humidity near the rubbing roller.

Claims (16)

기판을 러빙하는 러빙롤러;A rubbing roller for rubbing the substrate; 상기 러빙롤러와 이격되어 상기 러빙롤러의 상부 외주면에 접하는 선에 평행하도록 배치되고, 상기 러빙롤러가 회전할 때 상기 러빙롤러의 상부 일부 영역에 수분을 분사하는 분사장치; An injection device spaced apart from the rubbing roller and disposed parallel to a line contacting the upper outer circumferential surface of the rubbing roller, and spraying water to a part of the upper part of the rubbing roller when the rubbing roller rotates; 상기 러빙롤러와 이격되어 상기 분사장치와 평행하도록 대응 배치되고, 상기 러빙롤러의 상부에서 상기 분사장치가 분사한 수분을 흡입하는 흡입장치; A suction device spaced apart from the rubbing roller so as to be parallel to the injection device, and configured to suck water sprayed by the injection device from an upper portion of the rubbing roller; 감지된 습도량에 따라 상기 분사장치의 분사량을 제어하거나 또는 상기 흡입장치의 흡입량을 제어하여 습도를 조절하는 제어장치; 및A control device for controlling the injection amount of the injector according to the sensed humidity amount or controlling the intake amount of the inhalation device to adjust the humidity; And 상기 분사장치와 상기 흡입장치를 함께 상기 러빙롤러와 평행한 방향으로 상기 러빙롤러의 일단에서 타단까지 왕복 이동시키는 평행이동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 러빙장치.And rubbing means for reciprocating the injector and the suction device together from one end to the other end of the rubbing roller in a direction parallel to the rubbing roller. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 분사장치는 물을 미세한 수분입자로 형성하기 위한 형성수단과, 형성된 수분입자를 공기 중으로 분사하기 위한 분사구를 포함하는 것을 특징으로 하는 러빙장치.The injector comprises rubbing means for forming water into fine water particles, and a spray hole for injecting the formed water particles into the air. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 형성수단은 발산노즐 또는 초음파장치인 것을 특징으로 하는 러빙장치.The forming means is a rubbing device, characterized in that the diverging nozzle or ultrasonic apparatus. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 분사구의 기판으로부터의 높이는 러빙롤러의 직경과 같거나 큰 것을 특징으로 하는 러빙장치.A rubbing device, characterized in that the height of the injection port from the substrate is equal to or larger than the diameter of the rubbing roller. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 분사장치는 수분입자의 분사속도를 조절하는 가속노즐을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 러빙장치.The injector is a rubbing device, characterized in that it further comprises an acceleration nozzle for controlling the injection speed of the water particles. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 분사장치에 수분을 공급하는 수분공급장치를 더 포함하며, 상기 수분공급장치는 저장장치와 배관으로 구성되는 것을 특징으로 하는 러빙장치.And a water supply device for supplying water to the injection device, wherein the water supply device comprises a storage device and a pipe. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 흡입장치는 분사장치에서 분사된 수분의 일부를 흡입하기 위한 흡입구를 포함하는 것을 특징으로 하는 러빙장치.And the suction device includes a suction port for sucking a part of the water injected from the injection device. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 러빙롤러의 적어도 일측단에 상기 러빙롤러를 회전시키는 구동수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 러빙장치.And a driving means for rotating the rubbing roller at at least one end of the rubbing roller. 제1항에 있어서, 상기 제어장치는, The method of claim 1, wherein the control device, 습도를 측정하는 센서와,Sensor for measuring humidity, 상기 센서가 측정한 습도에 따라 수분량을 조절하는 제어부, 및 A control unit for controlling the amount of water according to the humidity measured by the sensor, and 상기 조절된 수분량에 따라 개폐되는 유량계와 상기 조절된 수분량에 따라 기판으로부터의 상기 분사장치의 높이를 조절하는 이동장치 및 흡입장치의 흡입량을 조절하는 흡입량조절장치 중 적어도 하나를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 러빙장치.And at least one of a flowmeter which opens and closes according to the adjusted water amount, a moving device that adjusts the height of the injection device from the substrate, and a suction amount adjusting device that adjusts the suction amount of the suction device according to the adjusted water amount. Rubbing device. 제13항에 있어서, 상기 제어부는, 14. The apparatus of claim 13, 상기 센서에서 측정한 데이터가 입력되는 데이터 입력부;A data input unit to which data measured by the sensor is input; 상기 데이터입력부에 입력된 데이터로 습도를 산출하는 습도산출부;A humidity calculator configured to calculate humidity based on data input to the data input unit; 상기 산출된 습도를 규정된 습도와 비교하는 습도비교부; 및A humidity comparison unit for comparing the calculated humidity with a prescribed humidity; And 상기 비교된 습도로부터 분사량을 산출하는 분사량산출부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 러빙장치.A rubbing device comprising a spray amount calculating unit for calculating the spray amount from the compared humidity. 러빙롤러와, 상기 러빙롤러와 이격되어 상기 러빙롤러의 상부 외주면에 접하는 선과 평행하도록 배치된 분사장치 및 흡입장치를 준비하는 단계;Preparing a rubbing roller, an injection device and a suction device spaced apart from the rubbing roller so as to be parallel to a line contacting an upper outer circumferential surface of the rubbing roller; 센서로 습도데이터를 측정하는 단계;Measuring humidity data with a sensor; 상기 습도데이터로부터 습도를 산출하고, 산출된 습도를 규정 습도와 비교하여 수분의 분사량을 산출하는 단계;Calculating humidity from the humidity data, and calculating the injection amount of moisture by comparing the calculated humidity with a prescribed humidity; 상기 분사량에 따라 유량계를 개폐하거나 상기 분사장치의 높이를 조절하거나 또는 상기 흡입장치의 흡입량을 조절하는 단계; 및Opening or closing a flow meter, adjusting the height of the injection device, or adjusting the suction amount of the suction device according to the injection amount; And 평행이동수단에 의해 상기 분사장치와 상기 흡입장치가 함께 상기 러빙롤러와 평행한 방향으로 상기 러빙롤러의 일단에서 타단까지 왕복 이동하면서 상기 러빙롤러의 상부에 수분을 분사하여 습도를 조절하는 단계를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 러빙롤러 습도조절방법.Controlling the humidity by spraying water on the upper part of the rubbing roller while the injector and the suction device move together from one end to the other end of the rubbing roller in a direction parallel to the rubbing roller by a parallel moving means. Rubbing roller humidity control method characterized in that configured. 삭제delete
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