KR101327144B1 - Substrate coating apparatus - Google Patents

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KR101327144B1 KR1020110100442A KR20110100442A KR101327144B1 KR 101327144 B1 KR101327144 B1 KR 101327144B1 KR 1020110100442 A KR1020110100442 A KR 1020110100442A KR 20110100442 A KR20110100442 A KR 20110100442A KR 101327144 B1 KR101327144 B1 KR 101327144B1
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Abstract

본 발명은 기판 코터 장치에 관한 것으로, 피처리 기판을 거치시키는 기판 스테이지와; 상기 기판 스테이지의 양측에서 일방향을 따라 왕복 이동하는 한 쌍의 슬라이더와; 상기 기판 스테이지를 가로질러 상기 한 쌍의 슬라이더를 연결하는 지지바와; 상기 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 약액 노즐과; 상기 약액 노즐을 고정하고, 상기 약액 노즐과 함께 상하로 이동 가능하게 설치되는 크로스 바와; 상기 기판 스테이지보다 하측에 위치하여 상기 크로스바를 상하 방향으로 이동 구동하는 구동수단을; 포함하여 구성되어, 약액 노즐의 이송 과정에서 발생되는 피칭 방향의 모멘트 성분을 최소화할 수 있고, 이에 따라 보다 빠른 속도로 약액 노즐을 이동 구동하면서도 정확하게 위치 제어를 할 수 있는 기판 코터 장치를 제공한다.The present invention relates to a substrate coater apparatus, comprising: a substrate stage for mounting a substrate to be processed; A pair of sliders reciprocating along one direction on both sides of the substrate stage; A support bar connecting the pair of sliders across the substrate stage; A chemical liquid nozzle for applying a chemical liquid to a surface of the substrate to be processed; A cross bar fixed to the chemical liquid nozzle and installed to move upward and downward with the chemical liquid nozzle; Drive means positioned below the substrate stage to move the crossbar in a vertical direction; It is configured to include, it is possible to minimize the moment component in the pitching direction generated during the transport of the chemical liquid nozzle, thereby providing a substrate coater device that can accurately control the position while moving and driving the chemical liquid nozzle at a higher speed.

Description

기판 코터 장치 {SUBSTRATE COATING APPARATUS} Board Coater Device {SUBSTRATE COATING APPARATUS}

본 발명은 기판 코터 장치에 관한 것으로, 기판 스테이지에 거치된 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하기 위하여 약액 노즐을 이동시키는 동안에 피칭 성분의 모멘트를 최소화하여, 보다 빠른 속도로 약액 노즐을 이동 구동하면서도 정확한 위치 제어를 가능하게 하는 기판 코터 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate coater device, while minimizing the moment of the pitching component while moving the chemical liquid nozzle for applying the chemical liquid to the surface of the substrate to be processed on the substrate stage, while moving the chemical liquid nozzle at a faster speed A substrate coater device that enables accurate position control.

LCD 등 플랫 패널 디스플레이를 제조하는 공정에서는 유리 등으로 제작된 피처리 기판의 표면에 레지스트액 등의 약액을 도포하는 코팅 공정이 수반된다. LCD의 크기가 작았던 종래에는 피처리 기판의 중앙부에 약액을 도포하면서 피처리 기판을 회전시키는 것에 의하여 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 스핀 코팅 방법이 사용되었다. In the process of manufacturing flat panel displays, such as LCD, the coating process of apply | coating chemical liquids, such as a resist liquid, to the surface of the to-be-processed substrate made from glass etc. is accompanied. Conventionally, when the size of the LCD was small, a spin coating method was used in which the chemical was applied to the surface of the substrate by rotating the substrate while applying the chemical to the center of the substrate.

그러나, LCD 화면의 크기가 대형화됨에 따라 스핀 코팅 방식은 거의 사용되지 않으며, 피처리 기판의 폭에 대응하는 길이를 갖는 슬릿 형태의 슬릿 노즐과 피처리 기판을 상대 이동시키면서 슬릿 노즐로부터 약액을 피처리 기판의 표면에 도포하는 방식의 코팅 방법이 사용되고 있다. However, as the size of the LCD screen becomes larger, the spin coating method is scarcely used, and a slit-shaped slit nozzle having a length corresponding to the width of the substrate to be processed and a slit nozzle A coating method of coating the surface of the substrate is used.

도1은 종래의 기판 코터 장치(1)를 개략적으로 도시한 도면이다. 도1에 도시된 바와 같이, 종래의 기판 코터 장치(1)는 피처리 기판(G)을 기판 스테이지(10)상에 거치시킨 상태에서, 피처리 기판(G)의 폭에 대응하는 토출구를 구비한 약액 노즐(40)을 40d로 표시된 방향으로 이동시키면서 약액을 피처리 기판(G)의 표면에 도포한다. 1 is a view schematically showing a conventional substrate coater apparatus 1. As shown in FIG. 1, the conventional substrate coater apparatus 1 has a discharge port corresponding to the width of the substrate G in a state where the substrate G is mounted on the substrate stage 10. FIG. The chemical liquid is applied to the surface of the substrate G while moving one chemical liquid nozzle 40 in the direction indicated by 40d.

이 때, 약액 노즐(40)은 기판 스테이지(10)의 양측에 배열되는 이동 레일(미도시)을 따라 이동하는 한 쌍의 슬라이더(20)에 의해, 기판 스테이지(10)에 거치된 피처리 기판(G)의 상측을 이동하게 된다. 약액 노즐(40)은 약액 공급 펌프(50)에 충전된 포토레지스트 등의 약액(PR)을 약액 공급 통로(51)를 거처 일정 양만큼씩 피처리 기판(G)의 표면에 토출한다. At this time, the chemical liquid nozzle 40 is mounted on the substrate stage 10 by a pair of sliders 20 moving along a moving rail (not shown) arranged on both sides of the substrate stage 10. The upper side of (G) is moved. The chemical liquid nozzle 40 discharges the chemical liquid PR such as photoresist filled in the chemical liquid supply pump 50 to the surface of the substrate G by a predetermined amount via the chemical liquid supply passage 51.

보다 구체적으로는, 도2 및 도3에 도시된 바와 같이, 기판 코터 장치(1)는 에어 베어링(20B)에 지지되어 기판 스테이지(20)를 따라 왕복 이동하는 한 쌍의 슬라이더(20)에는 지지바(30)가 연결 설치되고, 지지바(30)에 대하여 상하 방향(45z)으로 왕복 이동하는 크로스 바(45)가 설치된다. 여기서, 상하 방향으로 배열된 리드스크류봉(43)은 구동 모터(42)에 의해 회전 구동되고, 리드스크류봉(43)과 맞물리는 이동 블록(44L)은 리드스크류봉(43)의 정,역 방향의 회전에 따라 가이드 레일(44R)을 따라 상하로 이동하며, 이동 블록(44L)의 이동에 따라 이동 블록(44L)에 고정된 매개 블록(44)은 크로스바(45)를 상하 방향(45z)으로 이동시킨다. More specifically, as shown in FIGS. 2 and 3, the substrate coater device 1 is supported by the air bearing 20B and supported by a pair of sliders 20 reciprocating along the substrate stage 20. The bar 30 is connected, and the cross bar 45 which reciprocates in the up-and-down direction 45z with respect to the support bar 30 is provided. Here, the lead screw rods 43 arranged in the up and down direction are rotationally driven by the drive motor 42, and the moving block 44L engaged with the lead screw rod 43 is the forward and reverse of the lead screw rod 43. The intermediate block 44 fixed to the moving block 44L according to the movement of the moving block 44L moves up and down along the guide rail 44R according to the rotation of the direction, and moves the crossbar 45 up and down direction 45z. Move to.

이에 따라, 크로스 바(45)는 상하 방향으로 이동 구동되며, 이에 따라 약액 노즐(40)은 상하 방향으로 이동된다. 이와 같이 약액 노즐(40)은 상하 방향으로 이동 구동되어, 예비 토출 공정 및 토출구 주변을 세정하는 공정을 행할 수 있게 된다. Accordingly, the cross bar 45 is driven to move in the vertical direction, and thus the chemical liquid nozzle 40 is moved in the vertical direction. In this way, the chemical liquid nozzle 40 is driven to move in the vertical direction, so that the preliminary ejection process and the process of cleaning the periphery of the ejection opening can be performed.

그러나, 상기와 같이 구성된 종래의 기판 코터 장치(1)는 약액 노즐(40)을 기판 스테이지(10)의 일방향 및 상하 방향으로 이동시키는 장치가 지지바(30)의 상측에 위치하여 무게 중심이 높게 형성된다. 이에 따라, 약액 노즐(40)을 기판 스테이지(10)의 일방향으로 이동시키면, 무게 중심이 높게 형성됨에 따라 관성의 영향이 커져 이동 방향으로 쏠려 회전하려는 피칭(99) 성분의 모멘트가 크게 작용하는 문제가 야기된다. 이에 의해, 약액 노즐(40)의 위치를 정교하게 제어하기 위해서는 약액 노즐(40)의 이동 속도를 낮춰야 하므로, 피처리 기판(G)의 약액 도포 공정이 지연되는 현상을 야기하였다.However, in the conventional substrate coater apparatus 1 configured as described above, the apparatus for moving the chemical liquid nozzle 40 in one direction and the vertical direction of the substrate stage 10 is positioned above the support bar 30 so that the center of gravity is high. Is formed. Accordingly, when the chemical liquid nozzle 40 is moved in one direction of the substrate stage 10, as the center of gravity is formed high, the influence of inertia increases, so that the moment of the pitching component 99 to be rotated and moved in the moving direction is large. Is caused. As a result, in order to precisely control the position of the chemical liquid nozzle 40, the moving speed of the chemical liquid nozzle 40 must be lowered, which causes a phenomenon that the chemical liquid coating process of the substrate G to be processed is delayed.

이에 따라, 도3에 도시된 바와 같이, 종래의 기판 코터 장치(1)의 지지바(30)는 관성의 영향에 의한 피칭 성분에 의한 모멘트를 상쇄시키기 위하여 슬라이더(20)의 상측에 고정되는 고정 부재(25)가 상부 길이보다 하부 길이를 L2만큼 표시된 것만큼 길게 형성해야 하는 고육지책을 채용해왔다. 그러나, 고정 부재(25)의 형상을 도3에 도시된 바와 같이 크게 형성하는 것은 그 만큼 중량이 더 커질 뿐만 아니라, 고정 부재(25)의 연장된 길이(L2)만큼 슬라이더(20)의 폭(w)도 그만큼 증대되어야 하므로, 슬라이더(20)에 탑재되는 중량이 더욱 더 커지게 되고, 따라서 피칭 성분(99)의 모멘트가 더욱 더 커지는 문제가 야기된다.Accordingly, as shown in FIG. 3, the support bar 30 of the conventional substrate coater device 1 is fixed to the upper side of the slider 20 to cancel the moment due to the pitching component due to the inertia effect. The member 25 has adopted a rigid countermeasure in which the lower length should be formed longer than the upper length by L2. However, forming the shape of the fixing member 25 largely as shown in FIG. 3 not only increases the weight but also increases the width of the slider 20 by the extended length L2 of the fixing member 25. Since w) must be increased accordingly, the weight mounted on the slider 20 becomes even larger, thus causing a problem that the moment of the pitching component 99 becomes even larger.

따라서, 약액 노즐(40)을 이동 구동하는 데 있어서 피칭 성분(99)의 모멘트를 억제하여, 보다 빠르게 제어할 수 있으면서 약액 노즐(40)의 위치를 보다 정확하게 제어할 수 있는 구조의 필요성이 크게 대두되고 있다.
Therefore, there is a great need for a structure that can control the position of the chemical liquid nozzle 40 more accurately while suppressing the moment of the pitching component 99 in moving the chemical liquid nozzle 40 in a moving manner. It is becoming.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판 스테이지에 거치된 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하기 위하여 약액 노즐을 이동시키는 동안에 피칭 현상을 억제하여, 보다 빠른 속도로 이동 구동하면서도 정확한 위치 제어를 가능하게 하는 기판 코터 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention is to solve the above problems, to suppress the pitching phenomenon during the movement of the chemical liquid nozzle for applying the chemical liquid to the surface of the substrate to be processed on the substrate stage, to move at a faster speed and accurate positioning It is an object of the present invention to provide a substrate coater device that enables control.

또한, 본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하면서도 한 쌍의 슬라이더에 탑재되는 구조물의 중량을 보다 줄임에 따라, 경량화된 기판 코터 장치를 구현하는 것을 다른 목적으로 한다.In addition, the present invention to achieve the above object, while reducing the weight of the structure mounted on the pair of sliders, another object to implement a lightweight substrate coater device.

본 발명은 상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 피처리 기판을 거치시키는 기판 스테이지와; 상기 기판 스테이지의 양측에서 일방향을 따라 왕복 이동하는 한 쌍의 슬라이더와; 상기 기판 스테이지를 가로질러 상기 한 쌍의 슬라이더를 연결하는 지지바와; 상기 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 약액 노즐과; 상기 약액 노즐을 고정하고, 상기 약액 노즐과 함께 상하로 이동 가능하게 설치되는 크로스 바와; 상기 기판 스테이지보다 하측에 위치하여 상기 크로스바를 상하 방향으로 이동 구동하는 구동수단을; 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치를 제공한다.The present invention is a substrate stage for mounting the substrate to be processed, in order to achieve the object as described above; A pair of sliders reciprocating along one direction on both sides of the substrate stage; A support bar connecting the pair of sliders across the substrate stage; A chemical liquid nozzle for applying a chemical liquid to a surface of the substrate to be processed; A cross bar fixed to the chemical liquid nozzle and installed to move upward and downward with the chemical liquid nozzle; Drive means positioned below the substrate stage to move the crossbar in a vertical direction; It provides a substrate coater device comprising a.

이는, 약액 노즐을 탑재한 상태로 기판 스테이지의 양측에서 이동하는 한 쌍의 슬라이더 상에 장착되는 구조물 가운데, 중량이 큰 구동 유닛의 무게 중심을 기판 스테이지의 하측에 위치시킴으로써, 슬라이더 상에 장착되는 구조물의 무게 중심을 종래보다 낮추어, 약액 노즐이 기판 스테이지의 일방향으로 왕복 이동하는 과정에서 관성에 의한 피칭 성분의 모멘트를 최소화할 수 있도록 하기 위함이다. This is a structure that is mounted on the slider by placing the center of gravity of the heavy driving unit below the substrate stage, among the structures mounted on the pair of sliders moving on both sides of the substrate stage with the chemical liquid nozzle mounted thereon. This is to lower the center of gravity of the conventional, so that the moment of the pitching component due to the inertia in the process of the chemical nozzle reciprocating in one direction of the substrate stage.

이 때, 상기 구동 유닛은, 상기 크로스 바와 연동하며 암나사공이 형성된 이동 블록과; 상기 암나사공과 맞물리는 수나사부가 형성되어, 상기 이동 블록을 관통하여 설치되는 리드스크류봉과; 상기 리드스크류봉을 회전 구동하는 구동 모터를; 포함하여, 상기 구동 모터의 정,역 방향의 회전에 따라 이동 블록이 상하 방향으로 이동하면서 상기 크로스바를 상하로 이동 구동하도록 구성될 수 있다.At this time, the drive unit, a moving block which is interlocked with the cross bar and formed with a female threaded hole; A lead screw rod having a male screw portion engaged with the female screw hole and installed through the moving block; A drive motor for rotationally driving the lead screw rod; Including, the moving block may be configured to move the crossbar up and down while moving in the vertical direction in accordance with the rotation of the forward and reverse directions of the drive motor.

본 발명의 다른 실시 형태에 따르면, 약액 노즐 및 크로스 바의 상하 이동을 보조하기 위하여 상기 구동수단은 실린더를 더 포함할 수 있다. 실린더에 의해서도 크로스 바의 상하 이동이 함께 구동되므로, 구동 모터에 작용하는 부하를 줄일 수 있다. 이 때, 구동 모터의 회전 구동에 의해 리드 스크류의 원리로 크로스 바의 상하 이동이 나사의 맞물림에 의해 구동되므로, 실린더에 작용하는 힘의 편차에 의해서는 크로스 바의 위치가 변동되지 않으며, 구동 모터의 회전각에 의해서만 크로스 바의 상하 이동량이 결정된다. 따라서, 실린더가 부가됨에 따라 구동 모터의 부하를 줄일 수 있고, 적은 부하로 회전 구동하는 구동 모터는 보다 정확한 회전각으로 제어하는 것이 가능해진다.According to another embodiment of the present invention, the driving means may further include a cylinder to assist the vertical movement of the chemical liquid nozzle and the cross bar. The up and down movement of the crossbar is also driven by the cylinder, so that the load acting on the drive motor can be reduced. At this time, since the vertical movement of the crossbar is driven by the engagement of the screw by the principle of the lead screw by the rotational drive of the drive motor, the position of the crossbar does not change due to the deviation of the force acting on the cylinder. The amount of vertical movement of the crossbar is determined only by the rotation angle of. Therefore, as the cylinder is added, the load of the drive motor can be reduced, and the drive motor which rotates and drives with low load can be controlled at a more accurate rotation angle.

여기서, 실린더는 공압 실린더를 사용할 수도 있고 유압 실린더를 사용할 수도 있다. 감쇠 효과를 극대화하기 위해서는 공압 실린더를 사용하는 것이 바람직하다.Here, the cylinder may use a pneumatic cylinder or a hydraulic cylinder. Pneumatic cylinders are preferred to maximize the damping effect.

한편, 상기 한 쌍의 슬라이더의 상측에서 상기 지지 바가 결합되는 고정 부재는 상기 약액 노즐의 이동 방향에 수직한 방향의 중심선을 중심으로 대칭으로 형성될 수 있다. 고정 부재가 약액 노즐의 이동 방향에 수직한 중심선에 대칭으로 형성됨에 따라, 슬라이더의 진행 방향을 기준으로 무게 중심을 그 중심선에 위치시킬 수 있다. 이에 따라, 약액 노즐이 기판 스테이지의 일방향을 왕복 이동하더라도, 이동 방향에 관계없이 관성에 따른 피칭 성분의 모멘트를 최소화할 수 있다.
On the other hand, the fixing member coupled to the support bar on the upper side of the pair of sliders may be formed symmetrically around a centerline in a direction perpendicular to the moving direction of the chemical liquid nozzle. As the fixing member is symmetrically formed at a center line perpendicular to the moving direction of the chemical liquid nozzle, the center of gravity may be positioned at the center line with respect to the advancing direction of the slider. Accordingly, even if the chemical liquid nozzle reciprocates in one direction of the substrate stage, the moment of the pitching component due to the inertia can be minimized regardless of the moving direction.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은, 약액 노즐을 고정한 상태로 상하 이동하는 크로스 바를 이동 구동하는 구동 유닛을 기판 스테이지의 하측에 위치시키는 것에 의해, 기판 스테이지를 따라 왕복 이동하는 한 쌍의 슬라이더 상의 구조물의 무게 중심을 보다 하측으로 위치시킬 수 있게 되어, 약액 노즐의 이송 과정에서 발생되는 피칭 방향의 모멘트 성분을 최소화할 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.As described above, the present invention provides a structure of a pair of sliders reciprocating along a substrate stage by placing a drive unit that moves and moves a cross bar that moves up and down with a chemical liquid nozzle fixed under the substrate stage. Since the center of gravity can be positioned further downward, an advantageous effect of minimizing the moment component in the pitching direction generated during the transfer of the chemical liquid nozzle can be obtained.

이에 따라, 본 발명은 약액 노즐과 함께 이동하는 슬라이더를 보다 빠른 속도로 이동 구동하면서도 정확하게 위치 제어를 할 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다. Accordingly, the present invention can obtain an advantageous effect that can accurately control the position while moving the slider moving with the chemical liquid nozzle at a higher speed.

또한, 본 발명은 크로스 바를 구동하는 구동 유닛으로서 실린더를 포함하여 구성됨에 따라, 구동 모터의 부담을 덜어 줌으로써 보다 정확하게 약액 노즐의 상하 위치를 조절할 수 있는 잇점이 얻어진다.In addition, the present invention is configured to include a cylinder as a drive unit for driving the cross bar, thereby reducing the burden on the drive motor to obtain an advantage that can be adjusted more accurately the vertical position of the chemical nozzle.

그리고, 본 발명은 고정 부재가 약액 노즐의 이동 방향에 수직한 중심선에 대칭으로 형성됨에 따라, 약액 노즐이 기판 스테이지의 일방향을 왕복 이동하더라도, 이동 방향에 관계없이 관성에 따른 피칭 성분의 모멘트를 보다 낮출 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.In addition, according to the present invention, since the fixing member is symmetrically formed at a centerline perpendicular to the moving direction of the chemical liquid nozzle, even if the chemical liquid nozzle is reciprocated in one direction of the substrate stage, the moment of the pitching component according to the inertia is obtained regardless of the moving direction. An advantageous effect can be obtained that can be lowered.

도1은 종래의 기판 코터 장치의 구성을 도시한 개략 사시도
도2는 도1의 'A'부분의 확대도
도3은 도2의 절단선 B-B에 따른 단면도
도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코터 장치의 구성을 도시한 사시도
도5는 도4의 절단선 C-C에 따른 단면도1 is a schematic perspective view showing the structure of a conventional substrate coater apparatus
FIG. 2 is an enlarged view of portion 'A' of FIG.
3 is a cross-sectional view taken along the cutting line BB of FIG.
Figure 4 is a perspective view showing the configuration of a substrate coater device according to an embodiment of the present invention
5 is a cross-sectional view along the cutting line CC of FIG.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코터 장치(100)를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.Hereinafter, the substrate coater apparatus 100 according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail to avoid obscuring the subject matter of the present invention.

도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코터 장치의 구성을 도시한 사시도, 도5는 도4의 절단선 C-C에 따른 단면도이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코터 장치(100)는 한 쌍의 슬라이더(120)에 의해 그 상측 구조물(125-145)이 왕복 이동하도록 구성되지만, 편의상 도4에는 하나의 슬라이더(120) 및 그 상측 구조물만 도시되어 있다. Figure 4 is a perspective view showing the configuration of a substrate coater device according to an embodiment of the present invention, Figure 5 is a cross-sectional view taken along the cutting line C-C of FIG. The substrate coater device 100 according to the exemplary embodiment of the present invention is configured to reciprocate the upper structures 125 to 145 by a pair of sliders 120, but for convenience, one slider 120 and Only the upper structure is shown.

도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코터 장치(100)는 약액을 도포하고자 하는 피처리 기판(G)이 거치되는 기판 스테이지(110)와, 기판 스테이지(110)의 양측에 배열된 안내 레일(115)을 따라 왕복 이동하는 한 쌍의 슬라이더(120)와, 한 쌍의 슬라이더(120)의 상측에 고정된 고정 부재(125)를 상호 연결하는 지지 바(130)와, 기판 스테이지(110)에 거치되는 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 약액 노즐(140)을 포함하여 구성된다. As shown in the drawing, the substrate coater apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a substrate stage 110 on which a substrate G to be coated is to be applied, and both sides of the substrate stage 110. A pair of sliders reciprocating along the guide rails 115 arranged at the support bar, a support bar 130 interconnecting the fixing members 125 fixed to the upper side of the pair of sliders 120, It is configured to include a chemical liquid nozzle 140 for applying the chemical liquid to the surface of the substrate to be mounted on the substrate stage 110.

상기 기판 스테이지(110)는 다수의 흡입공이 형성되어 피처리 기판을 상면에 밀착 고정한다.A plurality of suction holes are formed in the substrate stage 110 to fix the substrate to be closely adhered to the upper surface.

상기 한 쌍의 슬라이더(120)는 에어 베어링(120B)에 의해 안내 레일(115)에 미세한 간극을 두고 부상하여 왕복 이동된다. 경우에 따라서는 상기 한 쌍의 슬라이더(120)는 리드 스크류 또는 리니어 모터 등의 다른 구동 유닛에 의해 왕복 이동될 수도 있다. The pair of sliders 120 are lifted and reciprocated by a small gap on the guide rail 115 by the air bearing 120B. In some cases, the pair of sliders 120 may be reciprocated by another driving unit such as a lead screw or a linear motor.

슬라이더(120)에는 'ㄴ'자 단면의 고정 부재(125)가 약액 노즐(140)의 이동 방향에 대해 대칭인 'ㄴ'자가 서로 바라보는 형태로 고정된다. 그리고, 고정 부재(125)는 약액 노즐(140)의 이동 방향에 수직한 중심선(88)에 대칭으로 형성된다. 따라서, 고정 부재(125)는 슬라이더(120)의 진행 방향을 기준으로 무게 중심을 중심선(88)에 위치시킬 수 있으므로, 도2 및 도3에 도시된 종래의 고정 부재(25)의 하측이 L2로 표시된 길이만큼 더 길게 형성될 필요가 없다. The 'b' shaped cross section fixing member 125 is fixed to the slider 120 in a form in which 'b' faces symmetrical with respect to the moving direction of the chemical nozzle 140. In addition, the fixing member 125 is formed symmetrically with the centerline 88 perpendicular to the moving direction of the chemical liquid nozzle 140. Therefore, since the fixing member 125 may position the center of gravity on the center line 88 based on the moving direction of the slider 120, the lower side of the conventional fixing member 25 shown in FIGS. 2 and 3 is L2. It does not need to be formed as long as the length indicated by.

즉, 상기와 같이 구성된 고정 부재(125)에 의해 슬라이더(120)의 상측 구조물(125-145)의 무게 중심은 중심선(88)에 위치시킬 수 있으므로, 고정 부재(125)는 중심선(88)을 기준으로 전후 방향(약액 노즐의 이동 방향)으로 대칭인 형태로 형성되는 것이 가능해진다. 따라서, 종래보다 고정 부재(125)의 크기가 더욱 작게 형성될 수 있고, 종래 구조에서 무게 중심을 중심선에 근접하게 맞추기 위하여 불필요한 공간(30c)을 두었던 문제점을 해결할 수 있다. 이에 따라 슬라이더(120)의 크기도 작게 형성되므로, 슬라이더(120)를 포함하여 이동하는 구조물(120-145)의 무게를 보다 더 콤팩트하게 구성할 수 있다. That is, the center of gravity of the upper structure (125-145) of the slider 120 by the fixing member 125 configured as described above can be located in the center line 88, the fixing member 125 is the center line 88 It becomes possible to be formed in a symmetrical form in the front-rear direction (the moving direction of the chemical liquid nozzle) as a reference. Therefore, the size of the fixing member 125 can be made smaller than in the prior art, and in the conventional structure, it is possible to solve the problem of placing unnecessary space 30c in order to fit the center of gravity close to the center line. Accordingly, since the size of the slider 120 is also small, the weight of the structure 120-145 including the slider 120 can be configured to be more compact.

이 뿐만 아니라, 슬라이더(120)의 상측에 고정된 구조물(125-145)의 무게 중심이 중심선(88)의 위치에 보다 근접하도록 조절하는 것이 가능해진다. 따라서, 약액 노즐(140)과 함께 슬라이더(120)가 전후 방향으로 왕복 이동하더라도, 이동 방향에 관계없이 관성에 따른 피칭 성분(99)의 모멘트를 최소화할 수 있다. 따라서, 피칭 성분(99)의 모멘트가 최소화됨에 따라, 슬라이더(120)의 이동 속도를 보다 크게 제어하더라도 슬라이더(120)의 위치를 보다 정교하게 조절할 수 있으므로, 약액 노즐(140)의 제어가 종래에 비해 훨씬 신속하면서도 정확하게 이루어질 수 있다.In addition to this, it is possible to adjust the center of gravity of the structure (125-145) fixed on the upper side of the slider 120 closer to the position of the center line 88. Therefore, even if the slider 120 reciprocates in the front-rear direction together with the chemical liquid nozzle 140, the moment of the pitching component 99 due to the inertia can be minimized regardless of the moving direction. Therefore, as the moment of the pitching component 99 is minimized, even if the moving speed of the slider 120 is controlled to be larger, the position of the slider 120 can be adjusted more precisely, so that the control of the chemical liquid nozzle 140 is conventionally controlled. It can be done much faster and more accurately.

상기 지지 바(130)는 한 쌍의 고정 부재(125)를 상호 횡방향으로 연결하도록 고정 설치된다. 따라서, 지지 바(130)는 슬라이더(120)에 대하여 항상 일정한 상대 위치로 고정된 상태를 유지한다. The support bar 130 is fixedly installed to connect the pair of fixing members 125 in the transverse direction. Therefore, the support bar 130 always remains fixed at a constant relative position with respect to the slider 120.

상기 약액 노즐(140)은 횡방향으로 연장 배열된 크로스 바(145)의 하측에 고정되어, 크로스 바(145)가 구동 유닛에 의해 상하 방향(145z)로 이동 구동됨에 따라 슬라이더(120) 및 고정 부재(125)에 대하여 상하 방향(145z)으로 함께 이동 구동된다. 이를 위하여, 크로스 바(145)의 양단부는 'ㄴ'자 형상의 매개 부재(145b)에 고정되고, 구동 유닛인 구동 모터(142)의 정,역 방향의 회전에 의해 상하로 이동하는 이동 블록(144L)이 고정 부재(125)의 측벽에 형성된 관통부(125s)를 통해 매개 부재(145b)에 고정된다. 여기서, 매개 부재(125b)는 고정 부재(125)의 측벽에 형성된 관통부(125s)를 통해 고정되는 이동 블록(144L)에 고정된다.The chemical liquid nozzle 140 is fixed to the lower side of the cross bar 145 extending in the horizontal direction, the slider 120 and the fixed as the cross bar 145 is driven to move in the vertical direction (145z) by the drive unit It moves and drives together with respect to the member 125 in the up-down direction 145z. To this end, both ends of the cross bar 145 are fixed to the 'b' shaped media member 145b, and the moving block moves up and down by rotation in the forward and reverse directions of the driving motor 142 which is the driving unit ( 144L is fixed to the intermediate member 145b through the penetrating portion 125s formed on the sidewall of the fixing member 125. Here, the intermediate member 125b is fixed to the moving block 144L fixed through the through part 125s formed on the sidewall of the fixing member 125.

따라서, 구동 모터(142)의 회전에 따라 수나사부가 형성된 리드 스크류봉(143)이 회전하고, 리드 스크류봉(143)의 수나사부와 맞물리는 암나사공이 형성된 이동 블록(144L)이 리드 스크류봉(143)의 회전 방향에 따라 상하로 이동하며, 이동 블록(144L)과 결합된 크로스 바(145)가 상하 방향(145z)로 이동함에 따라 약액 노즐(140)도 상하로 이동한다. 이와 동시에, 고정 부재(125)의 하측에는 한 쌍의 공압 실린더(141c)가 설치되어, 공압 실린더(141c)의 피스톤이 고정 부재(125)의 관통공을 통해 상하로 이동하는 것에 의해 크로스 바(145)를 상하로 이동시키는 힘을 보조한다. 이와 같이, 구동 모터(142) 이외에 공압 실린더(141c)에 의해서도 크로스 바(145)를 상하로 이동 구동하므로, 구동 모터(142)에 작용하는 부하를 줄일 수 있다. 더욱이, 구동 모터(142)에 의해 크로스 바(145)의 상하 위치를 조절하는 구성은 리드 스크류봉(143)의 나사 맞물림에 의하므로, 공압 실린더(141c)에 의해 작용하는 힘은 크로스 바(145)의 상하 방향의 위치를 결정하지 않으면서 구동 모터(142)의 부하를 일부 부담하게 된다. 이와 같은 구성을 통해, 구동 모터(142)의 부하를 줄이면서, 보다 정확한 회전각으로 구동 모터(142)를 제어하여 약액 노즐(140)의 위치를 보다 정교하게 제어할 수 있게 된다.
Accordingly, as the drive motor 142 rotates, the lead screw rod 143 having the male thread portion rotates, and the moving block 144L having the female thread hole engaged with the male thread portion of the lead screw rod 143 is the lead screw rod 143. The chemical liquid nozzle 140 also moves up and down as the cross bar 145 coupled with the moving block 144L moves in the up and down direction 145z. At the same time, a pair of pneumatic cylinders 141c are provided below the fixing member 125, so that the piston of the pneumatic cylinder 141c moves up and down through the through-hole of the fixing member 125, thereby providing a cross bar ( 145 assists in moving the force up and down. As described above, since the cross bar 145 is driven to move up and down by the pneumatic cylinder 141c in addition to the drive motor 142, the load acting on the drive motor 142 can be reduced. Furthermore, since the configuration of adjusting the vertical position of the cross bar 145 by the drive motor 142 is due to the screw engagement of the lead screw rod 143, the force acting by the pneumatic cylinder 141c is the cross bar 145. The part of the load of the drive motor 142 is burdened without determining the position of the up-down direction. Through this configuration, while reducing the load of the drive motor 142, it is possible to more precisely control the position of the chemical liquid nozzle 140 by controlling the drive motor 142 at a more accurate rotation angle.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구 범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **
100: 기판 코터 장치 110: 기판 스테이지
120: 슬라이더 125: 고정 부재
130: 지지 바 140: 약액 노즐
142: 구동 모터 143: 리드 스크류봉
145: 크로스 바 DESCRIPTION OF REFERENCE NUMERALS
100: substrate coater device 110: substrate stage
120: slider 125: fixed member
130: support bar 140: chemical liquid nozzle
142: drive motor 143: lead screw rod
145: cross bar

Claims (6)

피처리 기판을 거치시키는 기판 스테이지와;
상기 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 약액 노즐과;
상기 기판 스테이지의 양측에서 일방향을 따라 왕복 이동하는 한 쌍의 슬라이더와;
'ㄴ'자 단면을 포함하는 형상으로 형성되어 상기 한 쌍의 슬라이더의 상측에 각각 고정되고, 상기 약액 노즐의 이동 방향에 수직한 횡방향의 중심선을 중심으로 대칭으로 배열되며, 측벽에 관통 형성되는 관통부가 구비된 한 쌍의 고정 부재와;
상기 기판 스테이지를 가로질러 상기 한 쌍의 고정 부재를 횡방향으로 연결하는 지지 바와;
상기 약액 노즐을 고정하고 횡방향으로 긴 형태로 형성되며, 상기 중심선을 사이에 두고 상기 지지 바와 수평으로 나란히 배열된 크로스 바와;
상기 크로스 바의 양끝단에 고정되고 상기 관통부를 일부 이상이 관통하고 상기 관통부의 바깥 위치에 수직 방향으로 암나사공이 형성되는 이동 블록과, 상기 암나사공과 맞물리는 수나사부가 형성되고 수직 방향으로 배열되는 리드스크류봉과, 상기 기판 스테이지의 하측에 위치하여 상기 리드스크류봉을 회전 구동하여 상기 이동 블록을 상하로 이동시키는 구동 모터와, 상기 리드스크류봉의 양측에 배열되어 상기 구동 모터에 의하여 상하로 이동하는 크로스 바의 상하 이동을 보조하는 공압 실린더를 구비한 구동 유닛을;
포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치.
A substrate stage for mounting a substrate to be processed;
A chemical liquid nozzle for applying a chemical liquid to a surface of the substrate to be processed;
A pair of sliders reciprocating along one direction on both sides of the substrate stage;
Is formed in a shape including a 'b' cross-section is fixed to the upper side of the pair of sliders, respectively, symmetrically arranged around the center line in the transverse direction perpendicular to the moving direction of the chemical liquid nozzle, and is formed through the side wall A pair of fixing members provided with a penetrating portion;
A support bar for transversely connecting said pair of holding members across said substrate stage;
A cross bar which fixes the chemical liquid nozzle and is formed in a crosswise long shape and arranged horizontally in parallel with the support bar with the center line therebetween;
A lead block fixed to both ends of the cross bar and having at least a portion of the penetrating portion penetrating therethrough, and having a female screw hole formed in a vertical direction at an outer position of the penetrating portion; A rod, a drive motor positioned below the substrate stage to rotate the lead screw rod to move the moving block up and down, and a cross bar arranged on both sides of the lead screw rod to move up and down by the drive motor. A drive unit having a pneumatic cylinder for assisting vertical movement;
Substrate coater device, characterized in that configured to include.
제 1항에 있어서,
상기 구동 유닛은 상기 고정 부재에 설치된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치.
The method of claim 1,
And the drive unit is installed in the fixing member.
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KR20080018111A (en) * 2006-08-22 2008-02-27 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤 Coating apparatus

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