KR20060094480A

KR20060094480A - Coating apparatus

Info

Publication number: KR20060094480A
Application number: KR1020060017594A
Authority: KR
Inventors: 가즈노부 야마구치; 아쯔오 가지마
Original assignee: 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2005-02-24
Filing date: 2006-02-23
Publication date: 2006-08-29
Also published as: CN1824393B; KR101245095B1; JP2006231201A; CN1824393A

Abstract

좌우 주행체의 이동의 동기 어긋남이 슬릿노즐의 비뚤어짐으로서 나타나지 않는 도포장치를 제공한다.Provided is an application apparatus in which the synchronous shift of the movement of the left and right traveling bodies does not appear as a slit of the slit nozzle.

모터(20)을 구동하여 스크류 나사(23)을 회전시키면, 쐐기형상 너트부재(22)가 가이드 레일(21)을 따라 이동하고, 이 쐐기형상 너트부재(22)의 이동에 의해 쐐기형상 너트부재(22)의 경사면에 맞닿아 있는 쐐기형상 캠(24) 및 승강체(18)이 상하방향의 가이드 레일(17)을 따라 이동하여, 슬릿노즐(19)가 승강 움직임 한다.When the screw screw 23 is rotated by driving the motor 20, the wedge nut member 22 moves along the guide rail 21, and the wedge nut member is moved by the movement of the wedge nut member 22. The wedge-shaped cam 24 and the elevating body 18 which are in contact with the inclined surface of the 22 move along the guide rail 17 in the vertical direction, and the slit nozzle 19 moves up and down.

슬릿노즐, 쐐기형상 너트부재, 반력 완충부재, 에어서포트 실린더 Slit nozzle, wedge-shaped nut member, reaction force buffer member, air support cylinder

Description

Coating apparatus

도 1은 본 발명의 도포장치의 전체 평면도이다.1 is an overall plan view of the coating apparatus of the present invention.

도 2는 도 1의 A방향 화살표에서 본 도면이다.FIG. 2 is a view seen from the arrow A of FIG. 1.

도 3은 도 1의 B-B방향에서 본 확대도이다.3 is an enlarged view seen from the direction B-B of FIG. 1.

도 4는 도 2의 요부 확대도이다.4 is an enlarged view illustrating main parts of FIG. 2.

도 5는 주행체를 도 4의 반대쪽에서 본 도면이다.5 is a view of the traveling body viewed from the opposite side of FIG. 4.

부호의 설명Explanation of the sign

1…제1 베이스 프레임, 1a…서브 프레임, 2…제2 베이스 프레임, 3…레일, 4…리니어 모터(linear motor)의 요크(yoke)부, 5, 6…반력(反力) 완충부재, 10…이동기구, 11…주행체(走行體), 12…에어패드, 13…리니어 모터의 코어부(가동부), 14…빔, 15…승강기구, 16…브래킷(bracket), 17…가이드 레일, 18…승강체, 19…슬릿노즐, 20…모터, 21…가이드 레일, 22…쐐기형상(楔狀) 너트부재, 23…스크류 나사, 24…쐐기형상 캠(cam), 25, 26…에어서포트 실린더, 27…기판 재치(載置) 스테이지, 28…프리디스펜스부, 29…세정부, 30…대기부.One… First base frame, 1a... Subframe, 2... Second base frame, 3... Rail, 4... Yoke portion of linear motor, 5, 6... .. reaction force buffer member, 10... Moving mechanism, 11... Driving body 12. Air pad, 13... Core part (moving part) of linear motor, 14... Beam, 15... Lifting mechanism, 16... Bracket, 17... Guide rail, 18... Lifting body, 19... Slit nozzle, 20.. Motor, 21... Guide rail, 22.. Wedge nut member, 23.. Screw screw, 24... Wedge cam, 25, 26... Air support cylinder, 27.. Substrate placing stage, 28... Pre-dispensing unit 29... Washing section 30... Wait.

본 발명은 유리기판 등의 기판 표면에 도포액을 도포하는 도포장치에 관한 것이다.The present invention relates to a coating apparatus for applying a coating liquid to a surface of a substrate such as a glass substrate.

컬러 액정용 유리기판에 3원색의 컬러 필터를 형성하는 도포장치로서 특허문헌 1에 개시되는 것이, 또한 플라즈마 디스플레이용 발광 기판에 3원색의 형광체 페이스트(paste)를 도포하는 장치로서 특허문헌 1에 개시되는 것이 제안되어 있다.What is disclosed in Patent Document 1 as a coating device for forming a color filter of three primary colors on a glass substrate for color liquid crystal is also disclosed in Patent Document 1 as an apparatus for applying a phosphor paste of three primary colors to a light emitting substrate for plasma display. It is proposed to become.

특허문헌 1에 개시되는 도포장치는, 볼 나사(ball screws)에 의해 이동하는 스테이지의 위쪽에 슬릿노즐을 2개 설치하고, 상기 스테이지의 윗면에 2매의 유리기판을 이간(離間)하여 재치하여, 상기 2개의 슬릿노즐을 사용하여 2매의 유리기판의 각각에 동시에 도포함으로써, 1개의 슬릿노즐로 도포하는 경우에 비교하여 시간을 단축하도록 하고 있다.In the coating device disclosed in Patent Literature 1, two slit nozzles are provided on an upper side of a stage moved by a ball screw, and two glass substrates are placed on an upper surface of the stage and placed thereon. By simultaneously applying the two slit nozzles to each of the two glass substrates, the time can be shortened as compared with the case of coating with one slit nozzle.

특허문헌 2에 개시되는 도포장치는, 1쌍의 레일 사이에 기판 재치 스테이지를 배치하여, 1쌍의 레일 사이에 3대의 문형(門型) 이동기구를 가설(架設)하고, 이들 3대의 문형 이동기구에 R(빨강), G(초록) 및 B(파랑)의 형광체 페이스트를 도포하는 슬릿노즐을 각각 장치하여, 유리기판 표면에 3대의 문형 이동기구로부터 순차적으로 각 색의 페이스트를 도포하도록 하고 있다. The coating apparatus disclosed in patent document 2 arrange | positions a board | substrate mounting stage between a pair of rails, hypothesizes three door-shaped moving mechanisms between a pair of rails, and moves these three door-shaped movements. Each device is equipped with a slit nozzle for applying phosphor pastes of R (red), G (green), and B (blue) to the surface of the glass substrate in order to apply the pastes of each color sequentially from three door-shaped moving mechanisms. .

[특허문헌 1] 일본국 특허공개 제(평)10-216599호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-216599

[특허문헌 2] 일본국 특허공개 제2002-140982호 공보[Patent Document 2] Japanese Patent Publication No. 2002-140982

특허문헌 1에 개시되는 도포장치에 있어서는, 유리기판을 재치하는 스테이지를 이동시키기 때문에, 이동시의 진동이 유리기판에 전해져, 피막의 물결치는 현상 이 발생하여, 균일한 피막을 형성할 수 없다.In the coating apparatus disclosed in Patent Literature 1, since the stage on which the glass substrate is placed is moved, vibration during movement is transmitted to the glass substrate, and a wave of the film occurs, so that a uniform coating cannot be formed.

또한, 특허문헌 2에 개시되는 도포장치에 있어서는, 레일 사이에 가설한 문형 이동기구에 슬릿노즐을 장치하고, 유리기판은 이동하지 않기 때문에, 특허문헌 1과 같은 문제는 없다. 그러나, 유리기판이 대형화된 경우에는 문제가 발생한다. 즉, 유리기판이 대형화되면 문형 이동기구도 대형화된다. 문형 이동기구가 대형화되면 1개의 구동(驅動)부재(모터)에 의해 이동시키는 구조로 한 경우, 구동부재를 설치한 쪽이 먼저 이동하고, 구동부재를 설치하지 않은 쪽이 나중에 이동하게 된다. 그 결과, 문형 이동기구에 비뚤어짐이 발생하여, 이 비뚤어짐의 영향에 의해 균일 도포가 불가능해진다.Moreover, in the coating apparatus disclosed by patent document 2, since a slit nozzle is attached to the door-shaped moving mechanism provided between rails, and a glass substrate does not move, there is no problem like patent document 1. However, problems arise when the glass substrate is enlarged. That is, when the glass substrate is enlarged, the door moving mechanism is also enlarged. When the door-shaped moving mechanism is enlarged, the structure in which the drive member is moved by one driving member (motor) is moved first, and the one without the driving member is moved later. As a result, a distortion occurs in the door-shaped moving mechanism, and uniform application is impossible due to the influence of this distortion.

따라서, 대형의 유리기판 등에 도포액을 도포하는 경우에는, 먼저 유리기판을 이동시키지 않고 슬릿노즐을 이동하는 것, 더욱이 슬릿노즐을 이동시키는 이동기구는 좌우의 레일의 각각에, 구동원(驅動源)을 구비한 주행체(走行體)를 상호 맞물리게(係合) 하는 것이 필요해진다. 그러나, 이와 같이 구성해도 좌우의 주행체를 완전히 동기(同期)하여 이동시킬 수 없어, 문형 이동기구에는 비뚤어짐이 발생하여, 이 비뚤어짐이 슬릿노즐에 변형을 부여해 버린다.Therefore, when the coating liquid is applied to a large glass substrate or the like, first, the slit nozzle is moved without moving the glass substrate, and the moving mechanism for moving the slit nozzle is provided on each of the left and right rails as a driving source. It is necessary to mesh the traveling bodies provided with each other. However, even if it is comprised in this way, the left and right traveling bodies cannot be moved fully in synchronization, and a skew arises in the door-shaped moving mechanism, and this skew gives deformation to a slit nozzle.

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 수평으로 늘어나는 1쌍의 평행한 레일, 이들 레일 사이에 배치되는 기판 재치 스테이지, 상기 레일을 따라 이동하는 이동기구, 이 이동기구에 지지되는 슬릿노즐을 구비한 도포장치에 있어서, 상기 각 레일의 바깥쪽에는 리니어 모터의 요크부가 레일과 평행으로 배치되고, 상기 각 레 일에는 이동기구의 일부를 구성함과 동시에 리니어 모터의 가동부(可動部)를 구비한 주행체가 에어패드를 매개로 하여 상호 맞물려, 이들 주행체는 일체적으로 주행하도록 빔부재로 연결되며, 또한 각 주행체에는 상기 빔부재와는 독립하여 승강체가 설치되어, 이들 승강체 사이에 슬릿노즐이 장치된 구성으로 하였다. SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above problems, the present invention provides a pair of parallel rails extending horizontally, a substrate placing stage disposed between these rails, a moving mechanism moving along the rails, and a slit nozzle supported by the moving mechanism. In the coating device, the yoke portion of the linear motor is disposed in parallel with the rail on the outside of each rail, and each rail comprises a part of a moving mechanism and a movable part of the linear motor. The sieves are engaged with each other via the air pads, and these traveling bodies are connected to the beam members so as to travel integrally, and each of the traveling bodies is provided with lifting bodies independent of the beam members, and a slit nozzle is provided between the lifting bodies. It was set as the structure comprised.

상기 구성으로 함으로써, 좌우 주행체의 이동의 동기 어긋남이 빔부재에 의해 억제되고, 또한 빔부재와 슬릿노즐과는 연결되어 있지 않고 독립되어 있기 때문에, 만일 좌우 주행체의 이동의 동기 어긋남에 의해 빔부재에 비뚤어짐이 발생하여도, 이 비뚤어짐은 슬릿노즐에 영향을 끼치지 않는다. With the above configuration, since the synchronous shift of the movement of the left and right traveling bodies is suppressed by the beam member, and is independent of the beam member and the slit nozzle, the beam shifts due to the synchronous shift of the movement of the left and right traveling bodies. Even if a skew occurs in the member, the skew does not affect the slit nozzle.

또한, 상기 레일은 제1 베이스 프레임에 지지되고, 상기 리니어 모터의 요크부는 제2 베이스 프레임에 지지되어, 이들 제1 베이스 프레임과 제2 베이스 프레임 사이에는 반력 완충부재가 설치된 구성으로 하는 것이 바람직하다. 특히 반력 완충부재는 상하 2개소 설치하는 것이 더욱 바람직하다.Preferably, the rail is supported by the first base frame, the yoke portion of the linear motor is supported by the second base frame, and a reaction force cushioning member is provided between the first base frame and the second base frame. . In particular, it is more preferable that the reaction force buffer member be provided at two positions.

상기 구성으로 함으로써, 리니어 모터를 구동했을 때에 발생하는 요크부의 반력이 제2 베이스 프레임에 전해지는 경우가 없어져, 그 결과, 레일 및 레일을 따라 주행하는 주행체에도 요크부의 반력이 전해지는 경우가 없어진다.With the above configuration, the reaction force of the yoke portion generated when the linear motor is driven is not transmitted to the second base frame, and as a result, the reaction force of the yoke portion is not transmitted to the rail and the traveling body traveling along the rail. .

또한, 슬릿노즐이 장치되는 승강체를 모터에 의해 승강시키는 경우에는, 이 모터는 그 축이 상기 레일과 평행이 되도록 횡치(橫置)로 설치하고, 추가로 모터의 회전 움직임(回轉動)을 상하 움직임(上下動)으로 변환하는 캠부재에는 진동을 흡수하는 에어서포트 실린더를 맞닿게 하는 것이 바람직하다. In addition, when lifting and lowering the lifting body provided with the slit nozzle by a motor, this motor is provided in the horizontal direction so that the axis | shaft may become parallel with the said rail, and further, the rotational movement of a motor is prevented. It is preferable to bring the air support cylinder which absorbs vibrations into the cam member which converts to an up-and-down movement.

모터를 횡치로 함으로써, 이 모터를 고정하고 있는 주행체 자체의 중심(重心)을 낮게 할 수 있고, 중심을 낮게 함으로써 안정한 주행이 가능해진다. 또한 모터를 횡치로 하면, 모터의 회전 움직임을 상하 움직임으로 변환하는 캠부재가 필요해지지만, 이 캠부재에 에어서포트 실린더를 맞닿게 하면 효과적으로 진동을 흡수할 수 있다. 또한, 중심을 낮게 하기 위해서는 에어서포트 실린더도 횡치로 하는 것이 바람직하다.By setting the motor horizontally, the center of gravity of the traveling body itself that fixes the motor can be lowered, and by lowering the center, stable running is possible. When the motor is placed horizontally, a cam member for converting the rotational movement of the motor into a vertical movement is required. However, when the air support cylinder is brought into contact with the cam member, vibration can be effectively absorbed. Moreover, in order to make center low, it is preferable to also make an air support cylinder horizontal.

본 발명에 의하면, 1쌍의 평행한 레일의 각각에 리니어 모터로 주행하는 주행체를 설치한 도포장치라도, 각각의 주행체의 동기 어긋남이 발생해도, 슬릿노즐에는 악영향을 끼치지 않도록 할 수 있다. 따라서, 유리기판 등의 표면에 도포액을 균일하게 도포할 수 있다.According to the present invention, even if the coating device provided with the traveling body which runs with a linear motor in each of a pair of parallel rails, even if the synchronization shift | offset | difference of each traveling body generate | occur | produces, a slit nozzle can be prevented from adversely affecting. . Therefore, the coating liquid can be uniformly applied to the surface of the glass substrate or the like.

또한, 레일을 지지하는 제1 베이스 프레임과 리니어 모터의 요크부를 지지하는 제2 베이스 프레임 사이에 반력 완충부재를 설치함으로써, 리니어 모터를 구동했을 때에 발생하는 요크부의 반력이 주행체에 전해지는 것을 방지할 수 있고, 더욱이 슬릿노즐을 승강시키는 모터를 횡치로 함으로써 저중심하(低重心下)를 달성할 수 있다. Also, by providing a reaction force buffer member between the first base frame supporting the rail and the second base frame supporting the yoke portion of the linear motor, the reaction force of the yoke portion generated when the linear motor is driven is prevented from being transmitted to the traveling body. In addition, low center of gravity can be achieved by making the motor for raising and lowering the slit nozzle horizontal.

이하에 본 발명의 실시의 형태를 첨부 도면을 토대로 설명한다. 도 1은 본 발명의 도포장치의 전체 평면도, 도 2는 도 1의 A방향 화살표에서 본 도면, 도 3은 도 1의 B-B방향에서 본 확대도, 도 4는 도 2의 요부 확대도, 도 5는 주행체를 도 4의 반대쪽에서 본 도 1의 B-B 방향 단면도이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, embodiment of this invention is described based on an accompanying drawing. 1 is an overall plan view of the coating apparatus of the present invention, Figure 2 is a view seen from the arrow A in Figure 1, Figure 3 is an enlarged view seen from the BB direction of Figure 1, Figure 4 is an enlarged view of the main portion of Figure 2, Figure 5 Is a cross-sectional view in the BB direction of FIG. 1 as seen from the opposite side of FIG.

도포장치는 바닥면 위에 베이스 프레임을 매개로 하여 지지되어 있다. 베이스 프레임은 제1 베이스 프레임(1)과, 제2 베이스 프레임(2)로 구성되고, 제1 베이 스 프레임(1)은 L자 형상을 이루는 서브 프레임(1a)를 상부에 설치하여, 이 서브 프레임(1a) 위에 열팽창계수가 작은 석제(石製)의 1쌍의 레일(3)을 수평방향으로, 또한, 평행하게 고정하고 있다. The applicator is supported on the bottom surface via a base frame. The base frame is composed of a first base frame 1 and a second base frame 2, and the first base frame 1 is provided with a sub-frame 1a having an L-shape on the upper portion thereof. A pair of stone rails 3 having a low thermal expansion coefficient are fixed on the frame 1a in the horizontal direction and in parallel.

평면에서 보아, 상기 1쌍의 레일(3)의 바깥쪽에는 리니어 모터의 요크부(4)를 레일(3)과 평행하게 배치하고 있다. 이 요크부(4)는 상기 제2 베이스 프레임(2) 위에 고정되어 있다.In plan view, the yoke portion 4 of the linear motor is disposed in parallel with the rail 3 on the outside of the pair of rails 3. This yoke portion 4 is fixed on the second base frame 2.

리니어 모터를 구동할 때에, 상기 요크부(4)에는 반력이 발생한다. 이 반력은 제1 베이스 프레임(1)을 매개로 하여 레일(3)에 전해지면, 후술하는 슬릿노즐의 균일 도포에 영향을 끼치기 때문에, 본 실시예에 있어서는 제1 베이스 프레임(1)과 제2 베이스 프레임(2)의 사이, 및 서브 프레임(1a)와 제2 베이스 프레임(2)의 사이에 반력 완충부재(5, 6)을 설치하고 있다. 이들 반력 완충부재(5, 6)은, 예를 들면, 금속 케이스 내에 고무 등을 충전(充塡)하여 구성된다.When driving the linear motor, reaction force is generated in the yoke portion 4. When the reaction force is transmitted to the rail 3 via the first base frame 1, it affects uniform application of the slit nozzle described later. In this embodiment, the first base frame 1 and the second Reaction force buffering members 5 and 6 are provided between the base frame 2 and between the sub frame 1a and the second base frame 2. These reaction force buffer members 5 and 6 are configured by filling rubber or the like into a metal case, for example.

상기 레일(3)을 따라 이동기구(10)이 주행 가능하게 되어 있다. 이동기구(10)은 상기 레일(3)에 주행체(11)을 상호 맞물리고 있다. 이 주행체(11)은 레일(3)을 포지(抱持)하는 안쪽 면에 레일(3)과의 사이에 극간(隙間)을 형성하는 에어패드(12)를 구비하고, 추가로 주행체(11)의 바깥쪽 면에는 상기 리니어 모터의 요크부(4) 내에 삽입되는 코어부(가동부)(13)이 장치되어 있다.The moving mechanism 10 can run along the said rail 3. The moving mechanism 10 meshes the traveling body 11 with the said rail 3 mutually. The traveling body 11 includes an air pad 12 that forms a gap between the rail 3 and an inner surface on which the rail 3 is positioned, and further includes a traveling body ( On the outer surface of 11), a core part (movable part) 13 inserted into the yoke part 4 of the linear motor is provided.

상기 각 레일(3)에 상호 맞물린 주행체(11, 11) 사이에는 빔(14)가 가설되어 있다. 이 빔(14)는 스텐인리스나 알루미늄 합금 등으로 되어, 좌우의 주행체(11, 11)에 동기 어긋남이 발생한 경우에도, 좌우의 주행체(11, 11)이 일체적으로 이동 하도록 강고하게 연결되어 있다. The beam 14 is installed between the traveling bodies 11 and 11 which mutually meshed with the said rails 3, respectively. The beam 14 is made of stainless steel, aluminum alloy, or the like, and firmly moves the left and right traveling bodies 11 and 11 integrally even when synchronous deviation occurs in the left and right traveling bodies 11 and 11. It is connected.

또한 상기 각 주행체(11)에는 슬릿노즐을 승강시키는 승강기구(15)가 설치되어 있다.Each traveling body 11 is provided with a lifting mechanism 15 for lifting and lowering the slit nozzle.

승강기구(15)는 주행체(11) 위에 브래킷(16)을 세워 설치(立設)하고, 이 브래킷(16)에 상하방향의 가이드 레일(17)을 설치하여, 이 가이드 레일(17)에 승강체(18)을 상호 맞물리고, 좌우의 승강체(18) 사이에 슬릿노즐(19)를 장치하고 있다.The lifting mechanism 15 is mounted on the traveling body 11 with the bracket 16 upright, and the guide rails 17 in the vertical direction are attached to the brackets 16, and the guide rails 17 are attached to the guide rails 17. The lifting bodies 18 are engaged with each other, and a slit nozzle 19 is provided between the left and right lifting bodies 18.

승강체(18)을 승강시키는 구체적인 구성은, 주행체(11)의 윗면에 모터(20)을 횡치로 고정하고, 한편, 주행체(11)의 윗면에 상기 레일(3)과 평행으로 가이드 레일(21)을 설치하여, 이 가이드 레일(21)에 쐐기형상 너트부재(22)를 접동(摺動) 자유자재로 상호 맞물리고, 추가로 상기 모터(20)으로 회전되는 스크류 나사(23)을 상기 쐐기형상 너트부재(22)에 나사 결합(螺合)시키고 있다. 그리고 쐐기형상 너트부재(22)의 경사면(윗면)에 맞닿는 쐐기형상 캠(24)를 상기 승강체(18)의 바깥쪽 면에 장치하고 있다.The specific structure for elevating the elevating body 18 is to fix the motor 20 horizontally on the upper surface of the traveling body 11, while the guide rail is parallel to the rail 3 on the upper surface of the traveling body 11. (21), the wedge-shaped nut member (22) is freely engaged with the guide rail (21), and the screw screw (23) rotated by the motor (20) is further connected. The wedge nut member 22 is screwed together. And the wedge-shaped cam 24 which abuts on the inclined surface (upper surface) of the wedge-shaped nut member 22 is attached to the outer surface of the said lifting body 18. As shown in FIG.

그리하여, 모터(20)을 구동하여 스크류 나사(23)을 회전시키면, 쐐기형상 너트부재(22)가 가이드 레일(21)을 따라 이동하여, 이 쐐기형상 너트부재(22)의 이동에 의해 쐐기형상 너트부재(22)의 경사면에 맞닿아 있는 쐐기형상 캠(24) 및 승강체(18)이 상하방향의 가이드 레일(17)을 따라 이동하여, 슬릿노즐(19)가 승강 움직임 한다.Thus, when the screw 20 is rotated by driving the motor 20, the wedge nut member 22 moves along the guide rail 21, and the wedge nut member 22 moves in a wedge shape. The wedge-shaped cam 24 and the elevating body 18, which are in contact with the inclined surface of the nut member 22, move along the guide rail 17 in the vertical direction, and the slit nozzle 19 moves up and down.

또한, 상기 주행체(11) 위에는 에어서포트 실린더(25, 26)이 수평으로 배치되어 있다. 한 쪽의 에어서포트 실린더(25)는 상기 쐐기형상 너트부재(22)의 단면( 端面)에 맞닿고, 다른 쪽의 에어서포트 실린더(26)은 상기 쐐기형상 캠(24)의 단면에 맞닿아 있다. 이와 같이, 모터(20)의 회전 움직임을 상하 움직임으로 변환하는 부재에 에어서포트 실린더를 맞닿게 함으로써, 모터(20)의 구동에 수반되는 진동을 흡수할 수 있다.In addition, air support cylinders 25 and 26 are horizontally disposed on the traveling body 11. One air support cylinder 25 abuts the end face of the wedge nut member 22, and the other air support cylinder 26 abuts the end face of the wedge cam 24. . In this way, by bringing the air support cylinder into contact with the member for converting the rotational movement of the motor 20 into the vertical movement, the vibration accompanying the driving of the motor 20 can be absorbed.

더욱이, 도면 중 27은 유리기판(W) 등을 재치하는 기판 재치 스테이지로서, 본 실시예에서는 서브 프레임(1a) 위에 설치되어 있지만, 바닥면 등에 고정해도 된다.In addition, 27 in the figure is a substrate mounting stage which mounts the glass substrate W etc., Although it is provided in the subframe 1a in this Example, you may fix to a bottom surface etc. In FIG.

실시예에서 나타낸 도포장치에서는, 기판 재치 스테이지(27)의 폭방향 중심선을 기준으로 하여, 좌우 대상에 2개의 이동기구(10, 10)을 독립하여 주행 가능하게 하고 있지만, 이동기구(10)은 1개여도 된다. 또한 각종 이동기구(10, 10)의 이동영역에서 기판 재치 스테이지(27)로부터 떨어진 위치에, 프리디스펜스부(28), 세정부(29) 및 딥탱크(dip tank)를 구비한 대기부(30)이 이 순서로 배치되어 있다.In the coating apparatus shown in the embodiment, the two moving mechanisms 10 and 10 can be independently driven to the left and right objects on the basis of the width direction center line of the substrate placing stage 27, but the moving mechanism 10 One may be sufficient. In addition, the standby part 30 provided with the pre-dispensing part 28, the washing | cleaning part 29, and the dip tank in the position which moves away from the board | substrate mounting stage 27 in the moving area of the various moving mechanisms 10 and 10. FIG. ) Are arranged in this order.

상기의 도포장치를 사용한 도포방법을 이하에 서술한다. 먼저, 한쪽(왼쪽)의 이동기구(10)이 프리디스펜스부(28)에 위치하고 있는 시점을 출발점으로 하면, 이 프리디스펜스부(28)에 있어서 슬릿노즐(19)의 예비 도포를 행한 후, 리니어 모터를 구동하여, 이동기구(10)을 좌우 방향으로 이동시키고, 슬릿노즐(19)로부터 유리기판(W)의 표면에 레지스트액이나 형광체 페이스트 등의 도포액을 공급한다. 이 사이에, 다른 쪽(오른쪽)의 이동기구(10)에는 다음에 도포할 1회분의 도포액을 공급해 둔다. The coating method using said coating apparatus is described below. First, when the starting point where the movement mechanism 10 of one side (left) is located in the pre-dispensing part 28 is set as a starting point, after preliminary application of the slit nozzle 19 in this pre-dispensing part 28 is performed, linear The motor is driven to move the moving mechanism 10 in the horizontal direction, and a coating liquid such as a resist liquid or a phosphor paste is supplied from the slit nozzle 19 to the surface of the glass substrate W. FIG. In the meantime, the coating liquid for the next application | coating is supplied to the moving mechanism 10 of the other side (right side).

또한, 도포에 있어서는 도시하지 않는 센서에 의해 슬릿노즐(19) 하단(下端) 과 유리기판(W)의 표면과의 간격을 측정하여, 이 간격이 일정해지도록 승강기구(15)에 의해 슬릿노즐(19)의 높이 위치를 조정하여 행한다. In application, the distance between the lower end of the slit nozzle 19 and the surface of the glass substrate W is measured by a sensor (not shown), and the slit nozzle is lifted by the lifting mechanism 15 so that the interval is constant. This is performed by adjusting the height position of (19).

그리고, 상기의 도포가 종료되면, 이동기구(10)을 세정부(29)까지 되돌리고, 슬릿노즐(19)의 토출구(吐出口)를 세정하여, 그 위치에서 건조시킨다. 추가로 대기부(10)까지 이동하고, 딥탱크에 슬릿노즐(19)의 앞쪽 끝을 침지(浸漬)시켜 대기한다. 이 사이에 기판 재치 스테이지(3) 위에 새로운 유리기판(W)를 세팅한다. 또한, 딥탱크에 반드시 침지시킬 필요는 없다. Then, when the above application is completed, the moving mechanism 10 is returned to the cleaning portion 29, the discharge port of the slit nozzle 19 is washed and dried at that position. Furthermore, it moves to the standby part 10 and waits by immersing the front end of the slit nozzle 19 in a deep tank. During this time, a new glass substrate W is set on the substrate placing stage 3. In addition, it is not necessary to immerse in a dip tank.

다음으로, 대기하고 있던 다른 쪽의 이동기구(10)을 프리디스펜스부(28)까지 이동시켜, 예비 토출을 행한 후, 상기와 동일하게 리니어 모터를 구동하여, 이동기구(10)을 좌우 방향으로 이동시키고, 슬릿노즐(19)로부터 유리기판(W)의 표면에 레지스트액이나 형광체 페이스트 등의 도포액을 공급한다. 이 사이에, 한쪽의 이동기구(10)에는 다음에 도포할 1회분의 도포액을 공급해둔다. 이상을 반복함으로써, 연속적으로 유리기판(W)에 도공(塗工)한다. Next, after moving the other moving mechanism 10 to the pre-dispensing part 28 and performing preliminary discharge, the linear motor is driven similarly to the above, and the moving mechanism 10 moves to the left-right direction. The coating liquid, such as a resist liquid or a phosphor paste, is supplied to the surface of the glass substrate W from the slit nozzle 19. In the meantime, the coating liquid for one time to apply | coat is supplied to one moving mechanism 10 next. By repeating the above, the glass substrate W is continuously coated.

본 발명의 도포장치는 각종 디스플레이 장치에 삽입하는 유리기판에, 도막을 형성하기 위한 도포장치로서 이용할 수 있다. The coating device of the present invention can be used as a coating device for forming a coating film on glass substrates to be inserted into various display devices.

Claims

An applicator comprising a pair of parallel rails extending horizontally, a substrate placing stage disposed between these rails, a moving mechanism moving along the rail, and a slit nozzle supported by the moving mechanism, wherein the outside of each rail On the side, the yoke portion of the linear motor is arranged in parallel with the rail, and each of the rails constitutes a part of the moving mechanism and the traveling bodies provided with the movable portions of the linear motor are engaged with each other via the air pad, and these traveling bodies are integrated. And a beam member is connected to the beam member so as to travel independently, and each lift member is provided with a lifting member independent of the beam member, and a slit nozzle is provided between the lifting members.

The coating device of claim 1, wherein the rail is supported by the first base frame, the yoke portion of the linear motor is supported by the second base frame, and a reaction force buffer member is provided between the first base frame and the second base frame. Applicator characterized in that the.

The applicator according to claim 1, wherein the lifting member is lifted by a motor, and the motor is provided at a horizontal value such that its axis is parallel to the rail, and further includes a cam member for converting the rotational movement of the motor into a vertical movement. An application device characterized in that the air support cylinder that absorbs vibration is in contact.