KR101324658B1 - 반사 방식의 디스플레이 및 그 제조 방법 - Google Patents

반사 방식의 디스플레이 및 그 제조 방법 Download PDF

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Abstract

압전 방식으로 빛의 간섭을 조절하는 반사 방식의 디스플레이 및 그 제조 방법을 제공한다. 반사 방식의 디스플레이는, 하부 기판, 상기 하부 기판 상에 형성된 제1전극, 상기 제1전극 상에 형성된 압전 박막층, 및 상기 압전 박막층 상에 형성된 제2전극을 포함하고, 상기 압전 박막층은, 상기 제1전극과 제2전극에 인가되는 전압에 따라 그 두께를 변화시킨다. 따라서 반사 방식의 디스플레이는, 작은 두께 변화를 주어도 반사도를 충분하게 변화시킬 수 있음으로써 작은 광량에서도 높은 휘도를 확보할 수 있다.

Description

반사 방식의 디스플레이 및 그 제조 방법{REFLECTION TYPE DISPLAY AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
본 발명은, 압전 방식(piezoelectric manner)으로 빛의 간섭을 조절 하는 반사 방식의 디스플레이(display) 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이는, 액정 디스플레이(liquid crystal display: LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel: PDP), 유기 발광 다이오드(organic light emitting diode: OLED) 등으로 분류된다.
플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 또는 유기 발광 다이오드(OLED)는 자체 발광에 의해 컬러 영상을 구현한다. 그리고 액정 디스플레이(LCD)는, 발광 다이오드(LED) 또는 냉음극관(cold cathode fluorescent lamp: CCFL)으로 구성된 백라이트 유닛(backlight unit: BLU)의 빛을 투과시키는 투과 방식이나 외부의 빛을 반사하는 반사 방식을 사용할 수 있다.
상기 평판 디스플레이 중에서, 액정 디스플레이(LCD)는, 대형 텔레비전(TV)뿐 아니라 휴대폰(cellular phone)과 같은 소형 디스플레이에도 가장 널리 사용되고 있다. 액정 디스플레이(LCD)를, 휴대폰과 랩탑 컴퓨터(lap-top computer)와 같은 휴대용 디스플레이에 사용하기 위해서는, 휴대용 장치의 작동 시간을 늘려야만 한다. 이를 위하여 디스플레이의 전력 소모를 최소화해야 한다.
하지만, 투과 방식의 디스플레이는, 어두운 외부 환경에서 밝은 영상을 제공하더라도 백라이트를 사용하기 때문에 많은 전력을 소모한다.
반면에, 주변의 빛에 의한 간섭을 기반으로 하여 다양한 색을 구현하는 반사 방식의 디스플레이는, 백라이트를 사용하지 않기 때문에 전력 소모를 감소시킬 수 있다.
반사 방식의 디스플레이의 일 예는, 정전기를 이용한 디스플레이이다.
정전기를 이용한 디스플레이의 1개 픽셀(pixel)이 다른 전극에 밀착하면, 픽셀의 가장자리부와 픽셀의 중앙부에서 그 밀착 정도가 다르다.
그 결과, 각 픽셀의 가장자리부는 중앙부와 뚜렷하게 다른 색을 나타낼 수 있는데, 이를 에지 블러링(edge blurring)이라고 부른다.
이러한 문제점은, 픽셀의 크기가 감소함에 따라 더욱 심각해져 고밀도 디스플레이의 구현을 어렵게 한다.
게다가, 절연체로 이루어진 보호막을 입히지 않은 2개 전극이 정전기를 통하여 접촉하게 되면, 심각한 누설전류가 발생할 수 있다. 이는, 디스플레이 구동회로의 많은 전력 소모를 야기시킬 수 있다.
본 발명은, 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 압전 방식으로 빛의 간섭을 조절함으로써 에지 블러링 및 누설전류를 줄일 수 있는 반사 방식의 디스플레이 및 그 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 일 실시예에서는, 하부 기판; 상기 하부 기판 상에 형성된 제1전극; 상기 제1전극 상에 형성된 압전 박막층; 및 상기 압전 박막층 상에 형성된 제2전극을 포함하고, 상기 압전 박막층은, 상기 제1전극과 제2전극에 인가되는 전압에 따라 두께를 변화시키는 반사 방식의 디스플레이가 제공되어 있다.
상기 제1전극은 외부로부터 입사되는 빛을 반사하는 반사형 전극으로 이루어질 수 있고, 상기 제2전극은 외부로부터 입사되는 빛과 상기 제1전극에서 반사되는 빛을 투과시키는 투명 전극으로 이루어질 수 있다.
상기 제1전극과 제2전극에 바이어스(bias) 전압을 인가하지 않으면 상기 제2전극에서 반사된 빛과 상기 제1전극에서 반사된 빛 사이에 상쇄 간섭이 발생하고, 상기 제1전극과 제2전극에 바이어스 전압을 인가하면 압전 효과에 의해 야기된 압전 박막층의 두께 변화로 인하여 상기 제2전극에서 반사된 빛과 상기 제1전극에서 반사된 빛 사이에 보강 간섭이 발생하도록, 상기 압전 박막층의 두께를 조절할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에서는, 하부 기판; 상기 하부 기판 상에 형성되어 외부에서 입사되는 빛을 반사하는 반사막; 상기 반사막 상에 형성된 압전 박막층; 및 상기 압전 박막층 상에 평행하게 서로 이격하여 형성된 제1전극 및 제2전극을 포함하고, 상기 압전 박막층은, 상기 제1전극과 제2전극에 인가되는 전압에 따라 두께를 변화시키는 반사 방식의 디스플레이가 또한 제공되어 있다.
상기 제1전극과 제2전극은, 외부에서 입사되는 빛과 상기 반사막에서 반사되는 빛을 투과시키는 전극으로 이루어질 수 있다.
상기 제1전극과 제2전극에 바이어스 전압을 인가하지 않으면 상기 반사막에서 반사된 빛과 상기 제1전극과 제2전극에서 반사된 빛 사이에 상쇄 간섭이 발생하고, 상기 제1전극과 제2전극에 바이어스 전압을 인가하면 압전 효과에 의해 야기된 압전 박막층의 두께 변화로 인하여 상기 반사막에서 반사된 빛과 상기 제1전극과 제2전극에서 반사된 빛 사이에 보강 간섭이 발생하도록, 상기 압전 박막층의 두께를 조절할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에서는, 하부 기판을 준비하는 단계; 상기 하부 기판 상에 제1전극을 형성하는 단계로서, 상기 제1전극은 외부로부터 입사되는 빛을 반사하는 반사 방식의 전극으로 이루어지는 단계; 상기 제1전극 상에 압전 박막층을 형성하는 단계로서, 상기 압전 박막층은 전압에 따라 그 두께를 변화시키는 단계; 및 상기 압전 박막층 상에 제2전극을 형성하는 단계로서, 상기 제2전극은 외부에서 입사하는 빛과 상기 제1전극에서 반사되는 빛을 투과시키는 투명 전극으로 이루어지는 단계를 포함하는 반사 방식의 디스플레이 제조 방법이 또한 제공되어 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에서는, 하부 기판을 준비하는 단계; 상기 하부 기판 상에 반사막을 형성하는 단계로서, 상기 반사막은 외부에서 입사되는 빛을 반사하는 단계; 상기 반사막 상에 압전 박막층을 형성하는 단계로서, 상기 압전 박막층은 전압에 따라 그 두께를 변화시키는 단계; 및 상기 압전 박막층 상에 제1전극 및 제2전극을 평행하게 서로 이격하여 형성하는 단계로서, 상기 제1전극과 제2전극은 외부에서 입사하는 빛과 상기 반사막에서 반사되는 빛을 투과시키는 전극으로 이루어질 수 있는 단계를 포함하는 반사 방식의 디스플레이 제조 방법이 또한 제공되어 있다.
본 발명의 반사 방식의 디스플레이 및 그 제조 방법에 따르면, 압전 방식으로 빛의 간섭을 조절하므로 정전기를 이용한 디스플레이에 비하여 벤딩(bending)이나 무빙(moving)으로 야기된 에지 블러링의 발생을 줄일 수 있다. 또한, 압전 방식으로 빛의 간섭을 조절하기 때문에 정전기를 이용한 디스플레이에 비하여 누설전류를 줄일 수 있다.
게다가, 2개 전극 사이에 구비된 압전 물질이 두께에 따라 큰 반사도 변화를 나타내기 때문에, 약간의 변위를 주어도 반사도를 충분히 변화시킬 수 있다. 따라서 작은 광량(intensity of radiation)에서도 높은 휘도를 확보할 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예의 상기 목적과 다른 목적, 특징, 및 이점은, 첨부한 도면을 참조한 상세한 설명으로부터 더욱 명확해질 것이다.
도 1 및 도 2는, 본 발명의 일 실시예에 따른 반사 방식의 디스플레이를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 3 및 도 4는, 본 발명의 다른 실시예에 따른 반사 방식의 디스플레이를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 5는, 본 발명의 일 실시예에 따른 반사 방식의 디스플레이 제조 방법을 설명하는 플로우차트이다.
도 6은, 본 발명의 다른 실시예에 따른 반사 방식의 디스플레이 제조 방법을 설명하는 플로우차트이다.
도 7은, 인가전압에 의해 변화된 압전 박막층의 두께에 따른 RGB 파장에 대한 반사 방식의 디스플레이의 반사도를 나타낸 그래프이다.
이하, 예시적인 실시예들을 도시한 첨부 도면을 참조하여 예시적인 실시예를 더욱 상세하게 설명하기로 한다. 하지만, 본 발명을 여러 가지 다른 형태로 구체화할 수 있고, 본 발명을 본 발명에서 기술한 예시적인 실시예로 한정하는 것으로 간주하지 않아야 한다. 게다가 본 발명이 철저하고도 완벽해지며, 본 발명이 본 발명의 범위를 당업자에게 충분하게 전달하도록, 이러한 예시적인 실시예들을 제공한다. 상세한 설명에서, 제시한 실시예들을 불필요하게도 모호하게 하는 것을 방지하기 위하여, 공지된 특징과 기술의 세부 사항을 생략할 수 있다.
본 발명에서 사용한 용어는, 단지 특정한 실시예만을 설명하기 위함이고, 본 발명을 한정하지 않기 위한 것이다. 본 발명에서 사용한 바와 같이 단수 유형 "어(a)", "언(an)" 및 "더(the)"는, 문장이 명확하게 달리 언급하지 않는 한 복수 유형을 또한 포함하려고 한 것이다. 게다가 용어 어(a), 언(an) 등의 사용은, 수량의 제한을 의미하지 아니 하고, 1개 이상의 참조 항목의 존재를 의미한다. 용어 "제1(first)", "제2(second)"등의 사용은 특정한 순서를 의미하는 것이 아니라, 이들 용어는 각각의 요소를 식별하도록 포함된다. 더욱이 용어 제1, 제2, 등의 사용은, 순서나 중요성을 의미하는 것이 아니고, 용어 제1, 제2 등은, 어떤 요소를 다른 요소와 구별하도록 사용된다. 본 명세서에서 사용되었을 때의 용어 "구비하다(comprise)" 및/또는 "구비한(comprising)", 또는 "포함하다(includes)", 및/또는 "포함하는(including)"는, 명시한 특징, 영역, 정수, 단계, 작동, 요소, 및/또는 컴포넌트(components)의 존재를 명시하나, 1개 이상의 특징, 영역, 정수, 단계, 작동, 요소, 컴포넌트, 및/또는 그 그룹(group)의 존재 또는 추가를 불가능하게 하지 않음은 더욱 자명하다.
달리 규정하지 않는 한, 본 발명에서 사용된 모든 용어(기술 용어와 과학 용어를 포함함)는, 당업자가 일반적으로 이해하는 바와 같은 의미를 갖는다. 일반적으로 사용되는 사전에서 규정된 것과 같은 용어를, 관련 기술과 본 발명의 문장에서의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석해야 하고, 본 발명에서 명확히 규정하지 않는 한, 이상화되거나 너무 형식적인 지각으로 해석하지 않을 것임은 자명하다.
도면에서, 도면의 동일한 참조 번호는 동일한 요소를 의미한다. 명료함을 위하여 도면의 형상, 크기, 및 영역 등을 과장할 수 있다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 반사 방식의 디스플레이 및 그 제조 방법을 첨부 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.
도 1 및 도 2는, 본 발명의 일 실시예에 따른 반사 방식의 디스플레이를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 1 및 도 2에서, 하부 기판(10)은, 유리로 이루어지거나 연성 기판으로 이루어질 수 있다.
제1전극(20)은, 하부 기판(10) 상에 형성되고, 외부로부터 입사하는 빛을 반사하는 반사형 전극으로서 형성될 수 있다.
제1전극(20)은, 진공증착법 또는 인쇄법에 의해 하부 기판(10) 상에 형성된다.
제1전극(20)은, 외부로 입사하는 빛을 반사하기 위하여, 높은 반사도의 금속막으로 형성될 수 있다. 상기 금속막은 알루미늄(Al) 또는 그 합금을 포함할 수 있다.
압전 박막층(30)은 제1전극(20) 상에 형성된다. 또한, 압전 박막층(30)은, 제1전극(20)과 제2전극(40)에 인가된 전압으로 야기된 압전효과에 의해 그 두께를 변화시킨다.
압전 박막층(30)은, 스퍼터링(sputtering), 레이저 어브레이전(laser abrasion), 화학기상증착(chemical vapor deposition: CVD), 솔-겔(sol-gel)법 등을 이용하여 양호한 압전 특성의 물질로 이루어질 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 제1전극(20)과 제2전극(40)에 바이어스 전압(bias voltage)을 인가하지 않으면 제2전극에서 반사된 빛과 제1전극(20)에서 반사된 빛 사이에 상쇄 간섭이 일어나도록, 압전 박막층(30)의 두께가 조절된다. 또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 제1전극(20)과 제2전극(40)에 바이어스(bias) 전압을 인가하면 압전효과로 야기된 압전 박막층(30)의 두께 변화 때문에 제2전극에서 반사된 빛과 제1전극(20)에서 반사된 빛 사이에 보강 간섭이 일어나도록, 압전 박막층(30)의 두께가 조절된다.
압전 박막층(30)의 두께는, 각 박막층의 두께 및 굴절률에 따른 파브리-페로 간섭(Fabry-Perot interference)의 계산을 통하여 조절될 수 있다.
제2전극(40)은 압전 박막층(30) 상에 형성된다. 또한, 제2전극(40)은, 외부에서 입사하는 빛과 제1전극(20)에서 반사된 빛을 투과시키는 투명 전극으로 형성될 수 있다.
도 3 및 도 4는, 본 발명의 다른 실시예에 따른 반사 방식의 디스플레이를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 3 및 도 4에서, 하부 기판(50)은, 유리로 이루어지거나 연성 기판으로 형성될 수 있다.
반사막(60)은, 하부 기판(50) 상에 형성되고, 외부로부터 입사하는 빛을 반사한다.
반사막(60)은, 외부에서 입사하는 빛을 반사하기 위하여, 높은 반사도의 금속막으로 형성될 수 있다. 상기 금속막은, 알루미늄(Al) 또는 그 합금을 포함할 수 있다.
압전 박막층(70)은, 반사막(60) 상에 형성되고, 제1전극(80)과 제2전극(90)에 인가되는 전압에 따라 그 두께를 변화시킨다.
압전 박막층(70)은, 스퍼터링(sputtering), 레이저 어브레이전(laser abrasion), 화학기상증착(CVD), 솔-겔(sol-gel)법 등을 이용하여 양호한 압전 특성의 물질로 형성될 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 제1전극(80)과 제2전극(90)에 바이어스 전압을 인가하지 않으면 반사막(60)에서 반사된 빛과 제1,2전극(80,90)에서 반사된 빛 사이에 상쇄 간섭이 일어나도록, 압전 박막층(70)의 두께가 조절된다. 또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1전극(80)과 제2전극(90)에 바이어스(bias) 전압을 인가하면 압전효과로 야기된 압전 박막층(70)의 두께 변화 때문에 반사막(60)에서 반사된 빛과 제1,2전극(80,90)에서 반사된 빛 사이에 보강 간섭이 일어나도록, 압전 박막층(70)의 두께가 조절된다.
제1전극(80)과 제2전극(90)은, 압전 박막층(70) 상에 평행하게 서로 이격하여 형성된다. 또한, 제1전극(80)과 제2전극(90)은, 외부에서 입사하는 빛과, 반사막(60)에서 반사된 빛을 투과시키는 투명 전극으로 이루어지질 수 있고, 또는 좁은 불투명 전극으로 이루어질 수 있다.
도 5는, 본 발명의 일 실시예에 따른 반사 방식의 디스플레이 제조 방법을 설명하는 플로우차트이다.
먼저, 하부 기판(10)을 준비한다(S10). 외부로부터 입사하는 빛을 반사하는 반사형 전극으로 이루어진 제1전극(20)을 하부 기판(10) 상에 형성한다(S12).
단계(S10)에서 준비한 하부 기판(10)을 유리로 형성하거나 연성 기판으로 형성한다. 단계(S12)에서, 진공증착법 또는 인쇄법을 이용하여 하부 기판(10) 상에 제1전극(20)을 형성할 수 있다. 또한, 단계(S12)에서 하부 기판(10) 상에 형성한 제1전극(20)을, 외부로부터 입사하는 빛을 반사하는 반사형 전극으로 형성할 수 있다. 따라서 외부로부터 입사하는 빛을 반사하기 위하여, 제1전극(20)을 양호한 반사도의 금속막으로 형성할 수 있다. 상기 금속막은, 알루미늄(Al) 또는 그 합금인 것이 가능하다.
그 후에, 전압에 따라 두께를 변화시키는 압전 박막층(30)을 제1전극(20) 상에 형성한다(S14).
단계(S14)에서, 스퍼터링(sputtering), 레이저 어브레이전(laser abrasion), 화학기상증착(CVD), 솔-겔(sol-gel)법 등을 이용하여 압전 박막층(30)을 양호한 압전 특성의 물질로 형성할 수 있다.
제1전극(20)과 제2전극(40)에 바이어스 전압을 인가하지 않으면 제2전극(40)에서 반사된 빛과 제1전극(20)에서 반사된 빛 사이에 상쇄 간섭이 일어나도록, 단계(S14)에서 제1전극(20) 상에 형성한 압전 박막층(30)의 두께를 조절한다. 또한, 제1전극(20)과 제2전극(40)에 바이어스 전압을 인가하면 압전효과로 야기된 압전 박막층(30)의 두께 변화 때문에 제2전극(40)에서 반사된 빛과 제1전극(20)에서 반사된 빛 사이에 보강 간섭이 일어나도록, 압전 박막층(30)의 두께를 조절한다.
단계(S14)에서 압전 박막층(30)을 형성한 후에, 외부로부터 입사하는 빛과 제1전극(20)에서 반사하는 빛을 투과시키는 투명 전극으로 이루어진 제2전극(40)을 압전 박막층(30) 상에 형성한다(S16).
도 6은, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반사 방식의 디스플레이 제조 방법을 설명하는 플로우차트이다.
먼저, 하부 기판(50)을 준비하고(S20), 그 다음에 외부로부터 입사하는 빛을 반사하는 반사막(60)을 하부 기판(50) 상에 형성한다(S22).
단계(S20)에서 준비한 하부 기판(50)을 유리로 형성하거나, 연성 기판으로 형성하고, 단계(S22)에서, 진공증착법 또는 인쇄법을 이용하여 하부 기판(50) 상에 반사막(60)을 형성할 수 있다. 외부로부터 입사하는 빛을 반사하기 위하여, 단계(S22)에서 하부 기판(50) 상에 형성한 반사막(60)을 높은 반사도의 금속막으로 형성할 수 있다. 상기 금속막은 알루미늄(Al) 또는 그 합금을 포함할 수 있다.
그 후에, 전압에 따라 두께를 변화시키는 압전 박막층(70)을 반사막(60) 상에 형성한다(S24).
단계(S24)에서, 스퍼터링(sputtering), 레이저 어브레이전(laser abrasion), 화학기상증착(CVD), 솔-겔(sol-gel)법 등을 이용하여 압전 박막층(70)을 양호한 압전 특성의 물질로 형성할 수 있다.
제1전극(80)과 제2전극(90)에 바이어스 전압을 인가하지 않으면 반사막(60)에서 반사된 빛과 제1,2전극(80,90)에서 반사된 빛 사이에 상쇄 간섭이 일어나도록, 단계(S24)에서 반사막(60) 상에 형성한 압전 박막층(70)의 두께를 조절한다. 또한, 제1전극(80)과 제2전극(90)에 바이어스 전압을 인가하면 압전효과로 야기된 압전 박막층(70)의 두께 변화 때문에 반사막(60)에서 반사된 빛과 제1,2전극(80,90)에서 반사된 빛 사이에 보강 간섭이 일어나도록, 압전 박막층(70)의 두께를 조절한다.
단계(S24)에서 압전 박막층(70)을 형성한 후에, 외부로부터 입사하는 빛과 반사막(60)에서 반사한 빛을 투과시키는 전극으로 이루어진 제1전극(80)과 제2전극(90)을 압전 박막층(70) 상에 평행하게 서로 이격하여 형성한다(S26).
상기한 바와 같이 본 발명의 반사 방식의 디스플레이는, 압전 박막층의 두께와 굴절률에 따라 보강 간섭과 상쇄 간섭을 제공한다.
프레넬 방정식(Fresnel equation)을 이용하여, 본 발명의 반사 방식의 디스플레이의 압전 박막층에 인가한 전기장의 세기에 따른 빛의 반사도를 아래와 같이 계산할 수 있다.
예를 들면, 기판이 굴절률(N1 = n1 - ik1)을 갖고, 압전 박막층이 굴절률(N2 = n2 - ik2)과 두께(d)를 갖는 경우에, 파장이 λ인 빛에 대한 반사도는 아래의 수학식1에 따라 계산할 수 있다.
Figure 112011082157964-pct00001
수학식1에서,
Figure 112011082157964-pct00002
,
Figure 112011082157964-pct00003
, 및
Figure 112011082157964-pct00004
이다.
압전 박막층을 ZnO로 형성하고, 제1전극을 알루미늄(Al)로 형성하면, ZnO로 형성한 압전 박막층의 두께에 따른 반사도를 수학식1에 따라 계산하고, 도 7에 도시된 결과를 얻을 수 있다.
도 7에서 알 수 있는 바와 같이, 적색, 녹색, 및 청색 파장에서 두께를 약 25 내지 30㎚만큼 변화시키면, 반사도를 약 1%에서 약 90%로 변화시킬 수 있다. 즉, 온/온프(ON/OFF) 비율은 약 90으로 되고, 두께에 따른 반사도의 변화가 크기 때문에 약간의 두께 변화로써 반사도를 충분히 변화시킬 수 있다. 약 90%의 반사도는, 기존의 투과 방식의 디스플레이에서 기대하지 못하는 충분한 광량(intensity of radiation)을 제공하므로 작은 광량에서도 높은 휘도를 확보할 수 있다(실제로, 컬러 필터(color filter)를 구비한 투과 방식의 디스플레이를 사용하는 경우에, 약 50%의 빛이 흡수되고 이로써 실제적으로 디스플레이되는 광량은 매우 적다).
본 발명의 반사 방식의 디스플레이와 그 제조 방법을, 상기한 실시예에 한정하지 아니 하고, 첨부한 특허청구범위에서 규정한 범위 내에서 다양한 방법으로 변경하고 변형할 수 있다.
본 발명의 반사 방식의 디스플레이가 압전 방식으로 빛의 간섭을 조절하므로 2개 전극 사이에 형성된 압전 물질의 두께에 따라 크게 반사도를 변화시킨다. 따라서 약간의 변위를 주어도 반사도를 충분하게 변화시킬 수 있으므로 작은 광량에서도 높은 휘도를 확보하는 디스플레이를 제공하는 것이 가능하다.
예시적인 실시예를 도시하고 설명하였지만, 첨부한 특허청구범위에 의해 규정한 바와 같은 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않고 유형 및 세부 사항을 다양하게 변화시킬 수 있다는 것은 당업자에게 자명하다.
게다가 본 발명의 본질적인 범위를 벗어나지 않고 본 발명의 요지에 특정한 상황이나 물질을 적용하도록 많은 수정을 할 수가 있다. 그러므로 본 발명은, 본 발명을 구현하기 위하여 안출된 가장 바람직한 실시예로서 나타낸 특정한 예시적인 실시예에 한정되지 아니 하고, 첨부한 특허청구범위의 범위에 속하는 모든 실시예를 포함한다.

Claims (8)

  1. 하부 기판;
    상기 하부 기판 상에 형성된 제1전극;
    상기 제1전극 상에 형성된 압전 박막층; 및
    상기 압전 박막층 상에 형성된 제2전극을 포함하고,
    상기 압전 박막층은, 상기 제1전극과 제2전극에 인가되는 전압에 따라 두께를 변화시키되,
    상기 제1전극은 외부로부터 입사되는 빛을 반사하는 반사형 전극으로 이루어지고, 상기 제2전극은 외부로부터 입사되는 빛과 상기 제1전극에서 반사되는 빛을 투과시키는 투명 전극으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반사 방식의 디스플레이.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1전극과 제2전극에 바이어스 전압을 인가하지 않으면 상기 제2전극에서 반사된 빛과 상기 제1전극에서 반사된 빛 사이에 상쇄 간섭이 발생하고, 상기 제1전극과 제2전극에 바이어스 전압을 인가하면 압전 효과에 의해 야기된 압전 박막층의 두께 변화로 인하여 상기 제2전극에서 반사된 빛과 상기 제1전극에서 반사된 빛 사이에 보강 간섭이 발생하도록, 상기 압전 박막층의 두께를 조절하는 것을 특징으로 하는 반사 방식의 디스플레이.
  4. 하부 기판;
    상기 하부 기판 상에 형성되어 외부에서 입사되는 빛을 반사하는 반사막;
    상기 반사막 상에 형성된 압전 박막층; 및
    상기 압전 박막층 상에 평행하게 서로 이격하여 형성된 제1전극 및 제2전극을 포함하고,
    상기 압전 박막층은, 상기 제1전극과 제2전극에 인가되는 전압에 따라 두께를 변화시키는 것을 특징으로 하는 반사 방식의 디스플레이.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제1전극과 제2전극은, 외부에서 입사되는 빛과 상기 반사막에서 반사되는 빛을 투과시키는 전극으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반사 방식의 디스플레이.
  6. 제4항에 있어서, 상기 제1전극과 제2전극에 바이어스 전압을 인가하지 않으면 상기 반사막에서 반사된 빛과 상기 제1전극과 제2전극에서 반사된 빛 사이에 상쇄 간섭이 발생하고, 상기 제1전극과 제2전극에 바이어스 전압을 인가하면 압전 효과에 의해 야기된 압전 박막층의 두께 변화로 인하여 상기 반사막에서 반사된 빛과 상기 제1전극과 제2전극에서 반사된 빛 사이에 보강 간섭이 발생하도록, 상기 압전 박막층의 두께를 조절하는 것을 특징으로 하는 반사 방식의 디스플레이.
  7. 하부 기판을 준비하는 단계;
    상기 하부 기판 상에 제1전극을 형성하는 단계로서, 상기 제1전극은 외부로부터 입사되는 빛을 반사하는 반사 방식의 전극으로 이루어지는 단계;
    상기 제1전극 상에 압전 박막층을 형성하는 단계로서, 상기 압전 박막층은 전압에 따라 그 두께를 변화시키는 단계; 및
    상기 압전 박막층 상에 제2전극을 형성하는 단계로서, 상기 제2전극은 외부에서 입사하는 빛과 상기 제1전극에서 반사되는 빛을 투과시키는 투명 전극으로 이루어지는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반사 방식의 디스플레이 제조 방법.
  8. 하부 기판을 준비하는 단계;
    상기 하부 기판 상에 반사막을 형성하는 단계로서, 상기 반사막은 외부에서 입사되는 빛을 반사하는 단계;
    상기 반사막 상에 압전 박막층을 형성하는 단계로서, 상기 압전 박막층은 전압에 따라 그 두께를 변화시키는 단계; 및
    상기 압전 박막층 상에 제1전극 및 제2전극을 평행하게 서로 이격하여 형성하는 단계로서, 상기 제1전극과 제2전극은 외부에서 입사하는 빛과 상기 반사막에서 반사되는 빛을 투과시키는 전극으로 이루어질 수 있는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반사 방식의 디스플레이 제조 방법.
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