KR101321916B1 - 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 광전송 케이블 지지장치 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 광전송 케이블 지지장치는 스캔 지지대에 설치되는 가변 클램프를 이용하여 카메라 스캔 모듈이 움직임에 따라 광전송 케이블이 자유롭게 회전할 수 있도록 구성됨으로써 장시간 사용하더라도 광전송 케이블이 손상되는 것을 방지하여 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 신뢰성을 높일 수 있는 효과를 제공한다.

Description

평판 디스플레이 패널 검사 장치의 광전송 케이블 지지장치{Light guide cable supporting apparatus of inspection device for flat display panel}

본 발명은 관한 것으로서, 특히 평판 디스플레이 패널 검사 장치에서 카메라 스캔 모듈에 연결되는 광전송 케이블 지지장치에 관한 것이다.

일반적으로 공정이 완료되어 제품으로 출시되기 전에 LCD 등의 평판표시장치나 반도체 웨이퍼 등의 기판을 육안 관찰하는 목시 검사를 통해 양호 또는 불량 여부를 판정하는 경우가 많이 있다.

이와 같은 수동 작업으로 기판을 검사하는 경우 외관이나 패턴 등에 대해 양호 또는 불량 여부가 정확하지 않을 뿐만 아니라 생산성도 저하시키는 문제점이 있다.

따라서, 자동 검사 장치를 통해 기판의 외관이나 패턴을 검사하려는 다양한 시도가 이루어지고 있다.

이러한 자동 검사 장치는 스테이지 상에 구비되어 기판을 에어(공기)로 부상시켜 이송하기 위한 ASU(Air Slider Unit) 플레이트와, 스테이지의 양쪽 측면에 지지되어 스테이지를 가로질러 설치되는 갠트리 구조의 스캔 지지대와, 이 스캔 지지대에 스캔 지지대의 길이 방향을 따라 이동 가능하도록 설치되어 스테이지에 올려진 기판을 촬영하는 복수의 카메라 스캔 모듈 등으로 구성된다.

특히, 상기 스캔 지지대에는 상기 카메라 스캔 모듈에 메탈 핼라이드(Metal Halide)와 같은 광원으로부터 카메라 스캔 모듈에 빛을 전달하는 광전송 케이블이 케이블 클램프를 통해 지지된다.

그러나 종래에는 광전송 케이블이 클램프로 완전히 고정된 상태로 지지되어 설치되기 때문에 카메라 스캔 모듈이 좌우로 왕복 이동할 경우에 광전송 케이블에 클램프에 고정된 상태에서 휘어지면서 반복 스트레스가 가해지고, 이로 인하여 장시간 사용하면 케이블(또는 Fiber)이 터지는 등 케이블 손상이 발생되어 광전송이 원활하게 이루어지지 않은 문제점이 있다.

이상 설명한 배경기술의 내용은 이 건 출원의 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 카메라 스캔 모듈이 움직임에 따라 광전송 케이블이 자유롭게 회전(케이블 둘레 방향 또는 좌우전후 방향)할 수 있도록 구성함으로써 광전송 케이블이 손상되는 것을 방지하여 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 신뢰성을 높일 수 있는 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 광전송 케이블 지지장치를 제공하는 데 목적이 있다.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 광전송 케이블 지지장치는, 검사할 기판이 올려지는 스테이지와; 상기 스테이지의 상측을 지나도록 설치되는 스캔 지지대와; 상기 스캔 지지대에 스캔 지지대의 길이 방향을 따라 이동 가능하도록 설치되어 상기 스테이지에 올려진 기판을 촬영하는 하나 또는 그 이상의 카메라 스캔 모듈과; 상기 카메라 스캔 모듈에 연결되어 광원으로부터 카메라 스캔 모듈에 빛을 전달하는 광전송 케이블과; 상기 스캔 지지대에 설치되어 상기 광전송 케이블을 지지하되, 상기 카메라 스캔 모듈이 이동할 때 광전송 케이블을 회전 가능하도록 지지하는 가변 클램프를 포함한 것을 특징으로 한다.

상기 가변 클램프는, 상기 광전송 케이블이 통과하는 홀을 갖고, 상기 홀에는 광전송 케이블의 회전을 자유롭게 하는 회전 지지체가 설치되는 것이 바람직하다.

여기서, 상기 회전 지지체는 부싱 또는 베어링일 수 있다.

또한, 상기 가변 클램프는 두 개의 클램프 블록이 나사 조립된 상태로 상기 스캔 지지대에 고정되고, 상기 두 개의 클램프 블록 사이에는 상기 광전송 케이블이 통과하는 홀이 형성되며, 상기 홀에는 광전송 케이블의 회전을 자유롭게 하는 회전 지지체가 설치되는 것이 바람직하다.

상기와 달리, 상기 가변 클램프는, 광전송 케이블이 상기 광전송 케이블의 움직임에 따라 상기 광전송 케이블의 둘레 방향 회전 및 상하좌우 방향의 회전이 자유롭도록, 상기 스캔 지지대에 지지된 볼 조인트 구조로 구성되는 것이 바람직하다.

상기 광전송 케이블은 우레탄 또는 연질의 탄성 재질로 이루어진 튜브 내에 삽입되어 구성되는 것이 바람직하다.

상기한 바와 같은 본 발명의 주요한 과제 해결 수단들은, 아래에서 설명될 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용', 또는 첨부된 '도면' 등의 예시를 통해 보다 구체적이고 명확하게 설명될 것이며, 이때 상기한 바와 같은 주요한 과제 해결 수단 외에도, 본 발명에 따른 다양한 과제 해결 수단들이 추가로 제시되어 설명될 것이다.

본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 광전송 케이블 지지장치는 카메라 스캔 모듈이 움직임에 따라 광전송 케이블이 자유롭게 회전할 수 있도록 구성되기 때문에 장시간 사용하더라도 광전송 케이블이 손상되는 것을 방지하여 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 신뢰성을 높일 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 따른 광전송 케이블 지지장치가 구비된 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 개략적인 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 광전송 케이블 지지장치가 도시된 조립 상태의 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 광전송 케이블 지지장치가 도시된 분해 상태의 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 광전송 케이블 지지장치를 측면 방향에서 본 조립 상태의 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 광전송 케이블 지지장치의 다른 실시예를 보여주는 정단면도이다.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명에 따른 광전송 케이블 지지장치가 구비된 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 개략적인 사시도이다.

평판 디스플레이 패널 검사 장치는 도 1을 참조하면, 검사할 평판 디스플레이 패널 등의 기판이 올려지는 스테이지(10)와, 이 스테이지(10)의 상측을 지나도록 갠트리 구조로 설치되는 스캔 지지대(20)와, 스캔 지지대(20)에 스캔 지지대(20)의 길이 방향을 따라 이동 가능하도록 설치되어 상기 스테이지(10)에 올려진 기판을 촬영하는 하나 또는 복수개의 카메라 스캔 모듈(30) 등으로 구성된다.

여기서, 스테이지(10)는 지지 프레임(12)과, 이 지지 프레임(12)에 상측에 구비되어 에어 부상식으로 기판을 이송할 수 있도록 하는 ASU(Air Slider Unit) 플레이트(14) 등으로 구성된다.

도 1에서 앞쪽은 기판 로딩부(A)가 위치되고, 스캔 지지대(20)가 위치된 하부는 기판 검사부(B)가 위치되며, 그 뒤쪽은 기판 언로딩부(C)가 위치된다.

스캔 지지대(20)는 그 양단 지지부(22)가 상기 스테이지(10)에 세워지는 구조로 고정되고, 양단 지지부(22) 사이에는 카메라 스캔 모듈(30)들이 지지되는 동시에 왕복 운동이 가능하도록 안내하는 가이드부(24)가 포함되어 구성된다.

상기 카메라 스캔 모듈(30)은 기판을 스캔하여 이미지를 획득하여 기판에 형성된 패턴 불량, 기포 발생, 이물질 포함 여부 등 기판의 흠결을 검사하기 위한 구성 부분으로서, 크게 이미지 획득을 위한 카메라(32)와, 스캔 영역에 빛을 조사하는 조명장치(34), 이들을 스캔 지지대(20)에 지지하는 동시에 기판 스캔을 위한 각종 구성 부품들이 탑재된 모듈 바디(36)로 이루어진다.

카메라 스캔 모듈(30)이 스캔 지지대(20)를 따라 좌우 왕복 운동하는 구조는 널리 공지되어 있으므로 여기서는 구체적인 설명은 생략한다.

상기와 같은 평판 디스플레이 패널 검사 장치에는 상기 카메라 스캔 모듈(30)의 조명장치(34)에 빛을 전달하는 광전송 케이블(40)이 구비된다.

광전송 케이블(40)은 다수의 광섬유로 구성되는 것이 바람직하며, 이들은 튜브(42)로 피복되게 구성되는 것이 바람직하다.

이러한 광전송 케이블(40)은 이동체인 카메라 스캔 모듈(30)에 연결되므로, 중간 부분이 스캔 지지대(20)에 가변 클램프(50)를 통해 지지될 수 있게 구성된다.

가변 클램프(50)는 도 1에 도시된 바와 같이 스캔 지지대(20)의 상부에 고정되게 설치되는 것이 바람직하며, 특히 카메라 스캔 모듈(30)이 이동할 때 광전송 케이블(40)을 회전 가능하게 지지하도록 구성된다.

이러한 기능을 갖는 가변 클램프(50)는, 상기 광전송 케이블(40)이 통과하는 홀(52)을 갖고, 이 홀(52)에는 광전송 케이블(40)의 회전을 자유롭게 하는 회전 지지체(54)가 설치되는 구성을 통해 가능해진다.

즉, 가변 클램프(50)는 도 3 등을 참조하면, 두 개의 클램프 블록(56)이 나사 조립된 상태로 상기 스캔 지지대(20)에 고정되고, 이 두 개의 클램프 블록(56) 사이에는 상기 광전송 케이블(40)이 통과하는 홀(52)이 형성되며, 이 홀(52)에는 광전송 케이블(40)의 회전을 자유롭게 하는 회전 지지체(54)가 설치되는 구조로 이루어질 수 있다.

여기서, 회전 지지체(54)는 부싱 또는 베어링 등으로 구성될 수 있다.

도 2 내지 도 4에서는 회전 지지체(54)로 원통형상의 부싱이 설치된 구조를 예시하고 있다. 즉, 두 개의 클램프 블록(56) 사이에 광전송 케이블(40)이 끼워진 부싱이 조립되어 광전송 케이블(40)이 회전할 때 함께 회전하면서 광전송 케이블(40)의 움직임(회전 방향)이 자유롭도록 구성되는 것이다.

여기서, 부싱과 광전송 케이블(40)은 적어도 케이블의 길이 방향으로는 상호 구속될 수 있게 구성되는 것이 바람직하다.

한편, 상기 광전송 케이블(40)은 앞서 설명한 바와 같이 외피로 튜브가 구성되는데, 튜브(42)는 우레탄 또는 연질의 탄성 재질(합성수지 등)로 이루어져 그 안에 광섬유 등의 광전달 부재가 삽입되어 구성되는 것이 바람직하다. 이는 튜브(42) 재질이 금속재로 이루어질 경우에 발생할 수 있는 부식 문제, 복수 케이블의 상호 간섭에 의한 이물질 발생 문제를 최소화하기 위해서이다.

도 5는 본 발명에 따른 광전송 케이블 지지장치의 다른 실시예를 보여주는 도면으로서, 다른 실시예의 광전송 케이블 지지장치는 두 개의 클램프 블록(56') 사이에 자유 회전하는 볼(54')이 삽입되고, 이 볼(54')을 관통하여 광전송 케이블(40)이 삽입된 구조를 보여준다.

이와 같이 볼(54')을 이용한 구성은 앞서 설명한 부싱을 이용한 구조보다 광전송 케이블(40)이 좌우 방향은 물론 상하 방향으로 자유롭게 회전 지지될 수 있게 된다.

이외에도, 광전송 케이블(40)을 회전 및 자유 움직임(케이블이 상하좌우방향)이 가능하게 지지할 수 있는 구조이면, 볼 조인트 방식 등을 포함하여 다양하게 구성할 수 있다.

상기한 바와 같은, 본 발명의 실시예들에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims (6)

1. 삭제
2. 검사할 기판이 올려지는 스테이지와;
   상기 스테이지의 상측을 지나도록 설치되는 스캔 지지대와;
   상기 스캔 지지대에 스캔 지지대의 길이 방향을 따라 이동 가능하도록 설치되어 상기 스테이지에 올려진 기판을 촬영하는 하나 또는 그 이상의 카메라 스캔 모듈과;
   상기 카메라 스캔 모듈에 연결되어 광원으로부터 카메라 스캔 모듈에 빛을 전달하는 광전송 케이블과;
   상기 스캔 지지대에 설치되어 상기 광전송 케이블을 지지하되, 상기 카메라 스캔 모듈이 이동할 때 상기 카메라 스캔 모듈의 움직임에 따라 광전송 케이블을 회전 가능하도록 지지하는 것으로서, 상기 광전송 케이블이 통과하는 홀을 갖고, 상기 홀에는 광전송 케이블의 회전을 자유롭게 하는 회전 지지체가 설치된 가변 클램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사 장치.
   
3. 청구항2에 있어서,
   상기 회전 지지체는 부싱 또는 베어링인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사 장치.
   
4. 검사할 기판이 올려지는 스테이지와;
   상기 스테이지의 상측을 지나도록 설치되는 스캔 지지대와;
   상기 스캔 지지대에 스캔 지지대의 길이 방향을 따라 이동 가능하도록 설치되어 상기 스테이지에 올려진 기판을 촬영하는 하나 또는 그 이상의 카메라 스캔 모듈과;
   상기 카메라 스캔 모듈에 연결되어 광원으로부터 카메라 스캔 모듈에 빛을 전달하는 광전송 케이블과;
   상기 스캔 지지대에 설치되어 상기 광전송 케이블을 지지하되, 상기 카메라 스캔 모듈이 이동할 때 상기 카메라 스캔 모듈의 움직임에 따라 광전송 케이블을 회전 가능하도록 지지하는 것으로서, 두 개의 클램프 블록이 나사 조립된 상태로 상기 스캔 지지대에 고정되고, 상기 두 개의 클램프 블록 사이에는 상기 광전송 케이블이 통과하는 홀이 형성되며, 상기 홀에는 광전송 케이블의 회전을 자유롭게 하는 회전 지지체가 설치된 가변 클램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사 장치.
   
5. 검사할 기판이 올려지는 스테이지와;
   상기 스테이지의 상측을 지나도록 설치되는 스캔 지지대와;
   상기 스캔 지지대에 스캔 지지대의 길이 방향을 따라 이동 가능하도록 설치되어 상기 스테이지에 올려진 기판을 촬영하는 하나 또는 그 이상의 카메라 스캔 모듈과;
   상기 카메라 스캔 모듈에 연결되어 광원으로부터 카메라 스캔 모듈에 빛을 전달하는 광전송 케이블과;
   상기 스캔 지지대에 설치되어 상기 광전송 케이블을 지지하되, 상기 카메라 스캔 모듈이 이동할 때 상기 카메라 스캔 모듈의 움직임에 따라 광전송 케이블을 회전 가능하도록 지지하는 것으로서, 상기 광전송 케이블의 움직임에 따라, 광전송 케이블이 상기 광전송 케이블의 둘레 방향 회전 및 상하좌우 방향의 회전이 자유롭도록, 상기 스캔 지지대에 지지된 볼 조인트 구조로 구성된 가변 클램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사 장치.
   
6. 청구항2 내지 청구항5 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 광전송 케이블은 우레탄 또는 연질의 탄성 재질로 이루어진 튜브 내에 삽입되어 구성된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사 장치.

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