KR101310293B1 - Multistage sliding-type apparatus for transferring substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명은 다단 슬라이드형 기판이송장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 다단 슬라이드형 기판이송장치는 기판을 이송하는 기판이송장치에 있어서, 길이방향을 따라서 안내레일이 길게 형성되는 베이스; 상기 베이스에 마련되며 왕복운동이 가능하도록 리니어 모터로 마련되는 구동부; 상기 구동부에 연결되며, 상기 구동부로부터 동력을 전달받아 상기 베이스 상에서 왕복운동하는 슬라이딩부; 상기 슬라이딩부의 측부의 상호 이격된 위치에 장착되어 상기 슬라이딩부의 왕복운동시에 회전회동하는 한 쌍의 회동부재와, 상기 한 쌍의 회동부재를 상호 연결하여 상기 회동부재의 회전과 연동하여 주행하는 벨트부재와, 외주면이 상기 안내레일의 상면과 접촉하되 상기 회동부재 중 적어도 하나와 병렬 연결됨으로써 상기 슬라이딩부의 이동시에 상기 안내레일과 접촉하며 회전하는 외측롤러를 포함하는 동력전달부; 상기 기판을 적재하여 이송하되, 상기 슬라이딩부의 이동시에 상기 벨트부재와 함께 이동하도록 상기 벨트부재에 장착되는 기판이송부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 슬라이드형 기판이송장치가 제공된다.
이에 의하여, 이송암의 스트로크(stroke)는 증가시키되, 이송암의 회전반경은 최소화할 수 있는 다단 슬라이드형 기판이송장치가 제공된다.The present invention relates to a multi-stage slide type substrate transfer device, comprising: a substrate transfer device for transferring a substrate, comprising: a base having a long guide rail formed along a longitudinal direction; A driving unit provided in the base and provided with a linear motor to enable reciprocating motion; A sliding part connected to the driving part and receiving power from the driving part to reciprocate on the base; A belt is mounted at the mutually spaced position of the side of the sliding portion and the pair of rotating members to rotate in rotation during the reciprocating movement of the sliding portion, and the pair of rotating members to interconnect with the rotation of the rotating member to run A power transmission part including a member and an outer roller which contacts an upper surface of the guide rail but is connected in parallel with at least one of the pivot members to rotate in contact with the guide rail when the sliding part moves; A substrate transfer part mounted on the belt member to move the substrate by loading the substrate and moving with the belt member during movement of the sliding part is provided.
Thereby, the multi-stage slide type substrate transfer apparatus which increases the stroke of a transfer arm but minimizes the rotation radius of a transfer arm is provided.

Description

다단 슬라이드형 기판이송장치{MULTISTAGE SLIDING-TYPE APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}Multi-stage slide type substrate transfer device {MULTISTAGE SLIDING-TYPE APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}

본 발명은 다단 슬라이드형 기판이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 컴팩트한 구성만으로 이송암의 리치(reach), 또는, 이송암의 스트로크(stroke)를 극대화할 수 있는 다단 슬라이드형 기판이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a multi-stage slide type substrate transfer apparatus, and more particularly, to a multi-stage slide type substrate transfer apparatus capable of maximizing the reach of the transfer arm or the stroke of the transfer arm with only a compact configuration. It is about.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는 확산, 식각, 사진 및 클리닝 공정 등을 수행하게 된다. 이러한 각각의 공정들은 이전 공정과 연계되며, 각 공정이 완료된 후에 다음 공정으로 이송되어야 한다. 이러한 공정간의 기판이송을 위해서 각 공정으로부터 다음공정으로 이송하기 위한 기판이송장치가 사용된다.Generally, to manufacture a semiconductor device, diffusion, etching, photography, and cleaning processes are performed. Each of these processes is associated with the previous process and must be transferred to the next process after each process is completed. For substrate transfer between these processes, a substrate transfer apparatus for transferring from each process to the next process is used.

일반적으로 이러한 기판이송장치는 기판이 적재되는 이송암이 구동부로부터 동력을 전달받음으로써, 전진 또는 후진하는 구조로 구성된다. 다만, 종래의 기판이송장치의 경우에 이송암이 전후진을 통하여 이동하는 최대거리, 즉, 이송암의 스트로크(stroke)는 이송암의 길이에 따라 비례하므로, 스트로크를 향상시키기 위해서는 이송암 자체의 길이를 길게 구성해야만 하였다.In general, such a substrate transfer apparatus has a structure in which a transfer arm on which a substrate is loaded receives power from a driving unit to move forward or backward. However, in the case of the conventional substrate transfer apparatus, since the maximum distance that the transfer arm moves through back and forth, that is, the stroke of the transfer arm is proportional to the length of the transfer arm, in order to improve the stroke, The length had to be made long.

이송암 길이가 증가하면, 기판 이송시의 이송암 회전반경이 커지게 되고, 기판 이송 작업시에 공간적인 제약이 발생하는 문제가 있었다. When the transfer arm length is increased, the radius of the transfer arm rotation during substrate transfer becomes large, and there is a problem that spatial constraints occur during substrate transfer operations.

또한, 이러한 방식의 기판이송장치는 이송암이 최대 스트로크까지 도달하는 시간이 구동부의 속도에만 영향을 받게되므로, 이송시간을 최소화하기 위해서는 고품질의 구동모터를 사용하여야 하는 문제가 있었다.In addition, the substrate transfer apparatus of this type has a problem that a high quality drive motor must be used in order to minimize the transfer time since the time at which the transfer arm reaches the maximum stroke is only affected by the speed of the driving unit.

한편, 링크 구조 형태의 이송암으로 구성되는 기판이송장치의 경우에는 각 관절이 감속기로 연결되어, 스트로크를 증가시키기 위해서는 큰 용량의 감속기의 사용하여야 하는 어려움이 있었다.On the other hand, in the case of a substrate transfer device composed of a transfer arm in the form of a link structure, each joint is connected to a reducer, so that a large capacity reducer has to be used to increase the stroke.

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 이송암의 스트로크(stroke)는 증가시키되, 이송암의 회전반경은 최소화할 수 있는 다단 슬라이드형 기판이송장치를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a multi-stage slide type substrate transfer apparatus capable of increasing the stroke of the transfer arm and minimizing the rotation radius of the transfer arm.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판을 이송하는 기판이송장치에 있어서, 길이방향을 따라서 안내레일이 길게 형성되는 베이스; 상기 베이스에 마련되며 왕복운동이 가능하도록 리니어 모터로 마련되는 구동부; 상기 구동부에 연결되며, 상기 구동부로부터 동력을 전달받아 상기 베이스 상에서 왕복운동하는 슬라이딩부; 상기 슬라이딩부의 측부의 상호 이격된 위치에 장착되어 상기 슬라이딩부의 왕복운동시에 회전회동하는 한 쌍의 회동부재와, 상기 한 쌍의 회동부재를 상호 연결하여 상기 회동부재의 회전과 연동하여 주행하는 벨트부재와, 외주면이 상기 안내레일의 상면과 접촉하되 상기 회동부재 중 적어도 하나와 병렬 연결됨으로써 상기 슬라이딩부의 이동시에 상기 안내레일과 접촉하며 회전하는 외측롤러를 포함하는 동력전달부; 상기 기판을 적재하여 이송하되, 상기 슬라이딩부의 이동시에 상기 벨트부재와 함께 이동하도록 상기 벨트부재에 장착되는 기판이송부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 슬라이드형 기판이송장치에 의해 달성된다.The above object is, according to the present invention, a substrate transfer apparatus for transferring a substrate, comprising: a base formed with a long guide rail along the longitudinal direction; A driving unit provided in the base and provided with a linear motor to enable reciprocating motion; A sliding part connected to the driving part and receiving power from the driving part to reciprocate on the base; A belt is mounted at the mutually spaced position of the side of the sliding portion and the pair of rotating members to rotate in rotation during the reciprocating movement of the sliding portion, and the pair of rotating members to interconnect with the rotation of the rotating member to run A power transmission part including a member and an outer roller which contacts an upper surface of the guide rail but is connected in parallel with at least one of the pivot members to rotate in contact with the guide rail when the sliding part moves; It is achieved by a multi-stage slide-type substrate transfer device comprising a; substrate transfer unit for loading and transferring the substrate, mounted on the belt member so as to move with the belt member when the sliding portion moves.

또한, 상기 기판이송부는 상기 슬라이딩부의 이동거리와 상기 벨트부재의 이동거리를 합한 만큼 이동할 수 있다.In addition, the substrate transfer unit may move by adding the movement distance of the sliding member and the movement distance of the belt member.

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또한, 상기 슬라이딩부는 한 쌍이 상호 이격되어 마련되며, 상기 구동부는 한 쌍이 마련되어 각각이 상기 한 쌍의 슬라이딩부에 구동력을 전달할 수 있다.In addition, the sliding portion is provided with a pair of spaced apart from each other, the driving portion is provided with a pair may each transmit a driving force to the pair of sliding parts.

또한, 상기 한 쌍의 슬라이딩부가 동시에 이동할 수 있도록 제어하기 위한 동기제어부를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a synchronization controller for controlling the pair of sliding parts to move simultaneously.

또한, 상기 기판이송부는 상기 벨트부재와 체결되어 상기 벨트부재의 이동과 연동하여 왕복운동하는 이송패널과, 상기 이송패널에 장착되어 상기 기판을 적재하는 이송암을 포함하며, 하중으로 인하여 발생하는 상기 이송암의 처짐현상을 방지하기 위하여 이송암의 이동궤적을 보정하는 궤적보정부를 더 포함할 수 있다.In addition, the substrate transfer portion includes a transfer panel coupled to the belt member and reciprocating in conjunction with the movement of the belt member, and a transfer arm mounted on the transfer panel to load the substrate, The trajectory correction unit may further include a trajectory correction unit configured to correct a trajectory of the transfer arm in order to prevent the transfer arm from sagging.

또한, 상기 궤적보정부는 상기 이송암의 이동거리와 상기 이송암의 하중을 고려하어 미리 정해진 높이만큼 상기 이송암의 단부를 들어올릴 수 있다.In addition, the trajectory correction unit may lift the end of the transfer arm by a predetermined height in consideration of the movement distance of the transfer arm and the load of the transfer arm.

본 발명에 따르면, 다단의 슬라이딩 형태로 전후진 하도록 구성되는 이송암을 구비함으로써 기판을 적재한 상태에서의 회전반경을 최소화하되, 전후진 이동시 이송암의 스트로크(stroke)는 최대화할 수 있는 다단 슬라이드형 기판이송장치가 제공된다.According to the present invention, by having a transfer arm configured to move forward and backward in a multi-stage sliding form, while minimizing the rotation radius in the state of loading the substrate, the multi-stage slide can maximize the stroke of the transfer arm when moving forward and backward A type substrate transfer device is provided.

또한, 단일의 구동부를 이용하여 다단 슬라이딩 구조로 구동하도록 함으로써 최대 스트로크까지 이송암이 이동하는데 걸리는 시간을 최소화 함으로써, 기판 이송시간을 최소화할 수 있다.In addition, by using a single drive to drive in a multi-stage sliding structure by minimizing the time taken to move the transfer arm up to the maximum stroke, it is possible to minimize the substrate transfer time.

또한, 복수개의 구동부를 병렬식으로 배치하고, 각 이송암과 연동되도록 하여, 병렬로 배치되는 이송암이 개별구동 또는 동기화 구동 중 어느 하나의 방식으로 구동되도록 제어할 수 있다.In addition, by arranging a plurality of driving units in parallel, and by interlocking with each of the transfer arms, it is possible to control the transfer arms arranged in parallel to be driven by either of individual drive or synchronous drive.

또한, 이송암을 하중이 고려되어 미리 계산된 가상의 궤적을 따라 이동하도록 함으로써, 이송암이 정확한 위치로 이동하도록 할 수 있으며, 이에 따라, 이송암 및 기판의 파손을 방지할 수 있다.In addition, by moving the transfer arm along the virtual trajectory calculated in advance by considering the load, it is possible to move the transfer arm to the correct position, thereby preventing damage to the transfer arm and the substrate.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 다단 슬라이드형 기판이송장치의 개략도이고,
도 2는 도 1의 다단 슬라이드형 기판이송장치의 핸드부의 사시도이고,
도 3은 도 1의 다단 슬라이드형 기판이송장치의 핸드부의 측면도이고,
도 4는 도 1의 다단 슬라이드형 기판이송장치의 핸드부의 작동도이고,
도 5는 도 1의 다단 슬라이드형 기판이송장치의 궤적보정부의 작동시에 이동하는 핸드부의 가상궤적의 일례를 도시한 것이고,
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 다단 슬라이드형 기판이송장치의 핸드부의 사시도이다.1 is a schematic diagram of a multi-stage slide type substrate transfer apparatus according to a first embodiment of the present invention,
Figure 2 is a perspective view of the hand portion of the multi-stage slide-type substrate transfer device of Figure 1,
Figure 3 is a side view of the hand portion of the multi-stage slide type substrate transfer apparatus of Figure 1,
Figure 4 is an operation of the hand portion of the multi-stage slide-type substrate transfer device of Figure 1,
FIG. 5 illustrates an example of a virtual trajectory of the hand portion that moves when the trajectory correction unit of the multi-stage slide type substrate transfer device of FIG. 1 is operated.
6 is a perspective view of a hand part of a multi-stage slide type substrate transfer apparatus according to a second embodiment of the present invention.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.Prior to the description, components having the same configuration are denoted by the same reference numerals as those in the first embodiment. In other embodiments, configurations different from those of the first embodiment will be described do.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 다단 슬라이드형 기판이송장치에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a multi-stage slide type substrate transfer apparatus according to a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 다단 슬라이드형 기판이송장치의 개략도이다.1 is a schematic diagram of a multi-stage slide type substrate transfer apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 다단 슬라이드형 기판이송장치(50)는 핸드부(100)와 회전부(200)와 승강부(300)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the multi-stage slide type substrate transfer apparatus 50 according to the first embodiment of the present invention includes a hand part 100, a rotating part 200, and a lifting part 300.

도 2는 도 1의 다단 슬라이드형 기판이송장치의 핸드부의 사시도이고, 도 3은 도 1의 다단 슬라이드형 기판이송장치의 핸드부의 측면도이다.2 is a perspective view of a hand part of the multi-stage slide type substrate transfer apparatus of FIG. 1, and FIG. 3 is a side view of the hand part of the multi-stage slide type substrate transfer apparatus of FIG. 1.

도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 핸드부(100)는 기판이 실질적으로 적재되는 부재로서, 베이스(110)와 구동부(120)와 슬라이딩부(130)와 동력전달부(140)와 기판이송부(150)와 궤적보정부(160)를 포함한다.2 and 3, the hand part 100 is a member on which a substrate is substantially loaded, and the base 110, the driving part 120, the sliding part 130, the power transmission part 140, and the substrate are formed. It includes a sending unit 150 and the trajectory correction unit 160.

상기 베이스(110)는 판형태의 부재로서, 상면의 일측에는 후술하는 회동부재(141)의 이동 경로를 안내하기 위한 안내레일(111)이 형성된다.The base 110 is a plate-shaped member, the guide rail 111 for guiding the movement path of the rotating member 141 to be described later is formed on one side of the upper surface.

상기 구동부(120)는 후술하는 슬라이딩부(130)에 구동력을 전달하기 위한 부재로서, 베이스(110) 상에 마련되어 전후진의 왕복 병진 운동이 가능하도록 하는 리니어 모터(linear motor)로 구비된다.The driving unit 120 is a member for transmitting a driving force to the sliding unit 130 to be described later, is provided on the base 110 as a linear motor (linear motor) to enable the reciprocating translational movement of forward and backward.

상기 슬라이딩부(130)는 상술한 구동부(120)의 리니어 모터에 연결되어 베이스(110) 상에서 전진 또는 후진하도록 구성되는 판 형태의 부재이다. The sliding part 130 is a plate-shaped member which is connected to the linear motor of the driving unit 120 and configured to move forward or backward on the base 110.

상기 동력전달부(140)는 슬라이딩부(130)의 전후진 왕복운동으로부터 발생되는 동력을 후술하는 기판이송부(150)에 전달하기 위한 것으로서, 회동부재(141)와 외측롤러(144)와 벨트부재(145)를 포함한다.The power transmission unit 140 is for transmitting the power generated from the forward and backward reciprocating motion of the sliding unit 130 to the substrate transfer unit 150 to be described later, the rotating member 141 and the outer roller 144 and the belt Member 145.

상기 회동부재(141)는 슬라이딩부(130)의 측부 양단에 상호 이격되어 회전가능하게 장착되는 제1롤러(142)와 제2롤러(143)를 포함한다. The rotating member 141 includes a first roller 142 and a second roller 143 that are rotatably mounted to both ends of the side portions of the sliding part 130.

상기 제1롤러(142)는 슬라이딩부(130) 측부의 일단에 회전가능하게 장착되며, 후술하는 외측롤러(144)와 동축 상에서 물리적으로 연결됨으로써, 제1롤러(142)와 외측롤러(144)는 병렬적으로 배치된다.The first roller 142 is rotatably mounted to one end of the sliding part 130 side, and is physically connected coaxially with the outer roller 144 to be described later, the first roller 142 and the outer roller 144 Are arranged in parallel.

즉, 슬라이딩부(130)의 측면에 제1롤러(142)가 회전 가능하게 설치되되, 제1롤러(142)의 측면에는 외측롤러(144)가 병렬적으로 장착되어 제1롤러(142)와 외측롤러(144)는 상호 물리적으로 연결됨으로써, 제1롤러(142)와 외측롤러(144)는 동일한 방향과 속도로 회전하게 된다. 이때, 제1롤러(142)와 외측롤러(144)는 별도의 부재로 마련되어 상호 결합되는 형태가 될 수도 있고, 단일의 일체형으로 구성될 수도 있다.That is, the first roller 142 is rotatably installed on the side of the sliding unit 130, the outer roller 144 is mounted on the side of the first roller 142 in parallel to the first roller 142 and Since the outer rollers 144 are physically connected to each other, the first roller 142 and the outer rollers 144 rotate in the same direction and speed. In this case, the first roller 142 and the outer roller 144 may be provided as a separate member to be coupled to each other, or may be configured as a single unitary.

또한, 외곽에 배치되는 외측롤러(144)의 외면은 상술한 베이스(110)의 안내레일(111)의 상면에 접촉되게 위치한다.In addition, the outer surface of the outer roller 144 disposed on the outer side is positioned in contact with the upper surface of the guide rail 111 of the base 110 described above.

한편, 안내레일(111)의 상면과 접촉하는 외측롤러(144)의 동축상에 체결되는 제1롤러(142)는 후술하는 제2롤러(143)와 슬라이딩부(130) 측면상에서 상호 일직선을 이루며 배치되되, 제1롤러(142)와 제2롤러(143)는 벨트부재(145)에 의하여 상호 연결된다.On the other hand, the first roller 142 fastened on the coaxial of the outer roller 144 in contact with the upper surface of the guide rail 111 forms a mutually straight line on the side of the second roller 143 and the sliding portion 130 to be described later Although disposed, the first roller 142 and the second roller 143 are interconnected by the belt member 145.

상기 제2롤러(143)는 슬라이딩부(130) 측부의 타단에 제1롤러(142)와 일직선 상에서 이격된 위치에 장착되며, 상술한 바와 같이 제1롤러(142)와 제2롤러(143)는 이들을 감싸며 장착되는 벨트부재(145)에 의하여 상호 연동된다.The second roller 143 is mounted on the other end of the sliding part 130 side of the first roller 142 at a position spaced in a straight line, as described above, the first roller 142 and the second roller 143. Are interlocked with each other by the belt member 145 which is mounted to surround them.

따라서, 상술한 외측롤러(144)가 안내레일(111) 상에서 회전 구동하면, 이와 동축상에서 물리적으로 결합된 제1롤러(142)가 회전회동 되고, 벨트부재(145)에 의하여 제1롤러(142)와 연동되는 제2롤러(143) 역시 동시에 회전회동 한다. 즉, 결과적으로, 외측롤러(144)의 구동으로 인하여 벨트부재(145)가 제1롤러(142)와 제2롤러(143)를 감싸면서 주행하게 된다.Therefore, when the above-described outer roller 144 is driven to rotate on the guide rail 111, the first roller 142 is physically coupled coaxially to the rotation of the outer roller 144, the first roller 142 by the belt member 145 ) And the second roller 143 that is interlocked also rotates simultaneously. That is, as a result, the belt member 145 travels while surrounding the first roller 142 and the second roller 143 due to the driving of the outer roller 144.

상기 기판이송부(150)는 벨트부재(145)의 상면에 체결되며, 벨트부재(145)의 주행과 연동하여 전후진 왕복 병진운동하도록 구성되는 것으로서, 이송패널(151)과 이송암(152)을 포함한다.The substrate transfer unit 150 is fastened to the upper surface of the belt member 145, and is configured to reciprocate forward and backward in conjunction with the running of the belt member 145, the transfer panel 151 and the transfer arm 152. It includes.

상기 이송패널(151)은 상술한 벨트부재(145)와 직접적으로 체결되는 것으로서, 벨트부재(145)의 이동과 연동하여 왕복 병진운동하게 된다.The transfer panel 151 is directly coupled to the belt member 145 described above, and is reciprocated in translation with the movement of the belt member 145.

상기 이송암(152)은 소정의 기판을 적재하고 이송하기 위한 부재로서, 이송패널(151) 상에 장착됨으로써 이송패널(151)과 함께 전후진 왕복 병진운동 하도록 구성된다.The transfer arm 152 is a member for loading and transferring a predetermined substrate, and is mounted on the transfer panel 151 to be configured to reciprocate forward and backward along with the transfer panel 151.

상기 궤적보정부(160)는 하중에 의한 이송암(152)의 처짐현상을 보상함으로써 이송암(152)이 지면과 평행하게 구동되도록 하기 위한 것으로서, 이송암(152)의 단부를 소정의 높이로 들어올리는 부재이다. The trajectory compensator 160 is to compensate for the deflection of the transfer arm 152 due to the load so that the transfer arm 152 is driven in parallel with the ground, and the end of the transfer arm 152 to a predetermined height. It is a lifting member.

즉, 궤적보정부(160)는 이송암(152)에 자체 하중에 의하여 처짐현상이 발생하면, 이송암(152)을 적재대상 기판이 있는 정확한 곳으로 위치시키기 어려우므로 기판 적재시 이송암(152)이 정확한 위치로 이동되도록 보조하기 위한 부재이다.That is, the trajectory compensator 160 is difficult to position the transfer arm 152 to the exact place where the substrate to be loaded, if the deflection phenomenon due to its own load on the transfer arm 152 transfer arm 152 ) Is a member for assisting to move to the correct position.

상기 회전부(200)는 기판을 이송암(152)에 적재하거나, 적재된 기판을 원하는 위치에 내려 놓도록 핸드부(100)을 소정각도로 회전하기 위한 부재이다.The rotating part 200 is a member for rotating the hand part 100 at a predetermined angle so as to load the substrate on the transfer arm 152 or lower the loaded substrate at a desired position.

상기 승강부(300)는 핸드부(100)를 원하는 높이로 승강시키기 위한 부재이다.
The elevating unit 300 is a member for elevating the hand unit 100 to a desired height.

지금부터는 상술한 다단 슬라이드형 기판이송장치의 제1실시예(50)의 작동에 대하여 설명한다.The operation of the first embodiment 50 of the above-described multistage slide type substrate transfer apparatus will now be described.

도 4는 도 1의 다단 슬라이드형 기판이송장치의 핸드부의 작동도이다.Figure 4 is an operation of the hand portion of the multi-stage slide-type substrate transfer apparatus of FIG.

먼저, 회전부(200) 및 승강부(300)를 작동시킴으로써 이송 대상이 되는 기판이 위치한 높이와 방향으로 핸드부(100)를 이동시킨다.First, the hand part 100 is moved in the height and direction in which the substrate to be transferred is located by operating the rotating part 200 and the lifting part 300.

도 4에 도시된 바와 같이, 핸드부(100)가 적절한 위치에 배치되면, 리니어 모터로 구성되는 구동부(120)에 전원이 인가되어 전진 이동하며, 구동부(120)에 연결되는 슬라이딩부(130) 역시 전진이동 한다. 이때, 구동부(120)의 구동으로 인한 슬라이딩부(130)의 이동간격을 L1 이라 정의한다.As shown in FIG. 4, when the hand part 100 is disposed at an appropriate position, a power is applied to the driving part 120 formed of the linear motor to move forward and the sliding part 130 connected to the driving part 120. Also move forward. At this time, the moving interval of the sliding unit 130 due to the driving of the driving unit 120 is defined as L1.

한편, 슬라이딩부(130)의 전진이동으로 인하여 측부에 회전회동 가능하게 장착되는 외측롤러(144)가 베이스(110) 상에 형성되는 안내레일(111)의 상면과 접촉하며 회전구동하게 된다. 외측롤러(144)가 회전하면 외측롤러(144)와 연결되는 제1롤러(142) 역시 동일한 회전속도와 방향으로 회전회동 한다.On the other hand, due to the forward movement of the sliding unit 130, the outer roller 144 mounted on the side to be rotatable rotation is in contact with the upper surface of the guide rail 111 formed on the base 110 to rotate. When the outer roller 144 rotates, the first roller 142 connected to the outer roller 144 also rotates in the same rotation speed and direction.

이때, 제1롤러(142)가 회전함에 따라 제1롤러(142)와 제2롤러(143)를 연동시키는 벨트부재(145)의 상면은 슬라이딩부(130)의 이동방향과 동일한 방향을 따라서 주행하게 된다. 또한, 벨트부재(145)의 상면에 체결되는 이송패널(151) 역시 벨트부재(145)의 전진주행에 따라 전진 이동하게 되고, 이송패널(151)은 이송암(152)을 전진시킴으로써 기판을 적재하게 된다. 이러한 벨트부재(145)의 주행에 따른 이송패널(151) 및 이송암(152)의 이동간격을 L2 이라 정의한다.At this time, as the first roller 142 rotates, the upper surface of the belt member 145 for interlocking the first roller 142 and the second roller 143 travels in the same direction as the moving direction of the sliding part 130. Done. In addition, the transfer panel 151 fastened to the upper surface of the belt member 145 also moves forward as the belt member 145 moves forward, and the transfer panel 151 moves the transfer arm 152 to load the substrate. Done. The movement interval of the transfer panel 151 and the transfer arm 152 according to the running of the belt member 145 is defined as L2.

한편, 최초위치에서부터 이송패널(151) 및 이송암(152)의 총 이동거리는 벨트부재(145)의 주행에 따른 이동거리(L2) 뿐만 아니라 슬라이딩부(130)의 전진이동에 따른 이동거리(L1)에 동시에 영향을 받는 것이므로, 이송패널(151) 및 이송암(152)은 총 L1 + L2 만큼 이동한다. 즉, 구동부의 L1 만큼의 전진 이동만으로도 기판이 적재되는 이송암의 이동거리는 L1 + L2 만큼 전진하게 되며, 반대로, 구동부의 L1 만큼의 후진이동만으로 이송암은 L1 + L2 만큼 후진하게 된다.On the other hand, the total moving distance of the transfer panel 151 and the transfer arm 152 from the initial position is not only the movement distance L2 according to the running of the belt member 145 but also the movement distance L1 according to the forward movement of the sliding part 130. Since it is simultaneously affected by), the transfer panel 151 and the transfer arm 152 is moved by a total of L1 + L2. That is, the movement distance of the transfer arm on which the substrate is loaded is advanced by L1 + L2 only by the forward movement of L1 by the driving unit. On the contrary, the transfer arm is reversed by L1 + L2 only by the backward movement by L1 of the driving unit.

따라서, 이송암(152)의 최초상태로부터 최대이동거리인 스트로크(S)는 최대 L1 + 최대 L2 가 되는 것이다.Therefore, the stroke S, which is the maximum travel distance from the initial state of the transfer arm 152, is the maximum L1 + the maximum L2.

도 5는 도 1의 다단 슬라이드형 기판이송장치의 궤적보정부의 작동시에 이동하는 핸드부의 가상궤적의 일례를 도시한 것이다.FIG. 5 illustrates an example of a virtual trajectory of the hand portion that moves during operation of the trajectory correction unit of the multi-stage slide type substrate transfer apparatus of FIG. 1.

한편, 상술한 원리에 의한 이송암(152) 이동시, 이송암(152)은 자체의 하중으로 인하여 하방으로 처지게 된다. 이러한 처짐현상은 이송암(152)이 기판이 위치한 정확한 위치로 이동하는 것을 방해하고, 이러한 오동작은 이송암(152) 또는 적재 대상이 되는 기판을 파손할 수도 있다.On the other hand, when moving the transfer arm 152 according to the principle described above, the transfer arm 152 sags downward due to its own load. This deflection prevents the transfer arm 152 from moving to the exact position where the substrate is located. Such malfunction may damage the transfer arm 152 or the substrate to be loaded.

도 5를 참조하여, 궤적보정부(160)의 작동을 설명하면, 상술한 오동작을 방지하기 위하여 궤적보정부(160)가 이송암(152)의 하중으로부터 미리 계산된 높이 만큼 이송암(152)을 들어올림으로써, 하중의 영향을 받음에도 이송암(152)이 지면과 수평이동할 수 있도록 한다. Referring to FIG. 5, the operation of the trajectory correction unit 160 will be described. In order to prevent the above malfunction, the trajectory correction unit 160 has the transfer arm 152 by a height calculated in advance from the load of the transfer arm 152. By lifting, the transfer arm 152 to move horizontally with the ground even under the influence of the load.

다시 설명하면, 궤적보정부(160)는 이송암(152)의 하중을 고려하여 이송암(152)의 이동거리에 대응하여 가상의 궤적(t)을 미리 설정한 후에, 설정된 가상의 포물선 궤적(t)을 따라 이송암(152)이 이동하도록 함으로써, 실제 구동시에는 포물선 궤적(t)으로부터 하방으로 처지며 이송암(152)은 직선이동할 수 있도록 한다.In other words, the trajectory compensator 160 presets the virtual trajectory t corresponding to the movement distance of the transfer arm 152 in consideration of the load of the transfer arm 152, and then sets the set virtual parabolic trajectory ( By allowing the transfer arm 152 to move along t), in actual driving, the transfer arm 152 sags downward from the parabolic trajectory t and allows the transfer arm 152 to move linearly.

따라서, 본 실시예에 따르면, 2단 슬라이드 구동방식을 통하여 종래의 기판이송장치의 이송암에서 구현할 수 있는 최대 이동거리, 즉, 종래 이송암의 스트로크(stroke)보다 긴 리치를 구현할 수 있다.Therefore, according to the present embodiment, the maximum movement distance that can be realized in the transfer arm of the conventional substrate transfer apparatus, that is, the reach longer than the stroke of the conventional transfer arm, can be realized through the two-stage slide driving method.

또한, 본 실시예의 2단 슬라이드 구동방식을 이용하면, 동일한 성능의 구동부를 이용하는 종래 기판이송장치의 이송암의 이동속도보다 향상된 속도를 구현할 수 있으며, 기판의 이송시간을 절감할 수 있다.In addition, by using the two-stage slide driving method of the present embodiment, it is possible to implement a speed improved than the moving speed of the transfer arm of the conventional substrate transfer apparatus using a drive unit of the same performance, it is possible to reduce the transfer time of the substrate.

또한, 본 실시예의 궤적보정부에 따라 기판이 가상의 이동궤적을 따라 이동함으로써, 이송암이 원하는 기판이 위치한 곳으로 정확하게 이동할 수 있게 된다.
In addition, according to the trajectory correction of the present embodiment, the substrate moves along the virtual movement trajectory, so that the transfer arm can accurately move to the desired substrate position.

다음으로 본 발명의 제2실시예에 따른 다단 슬라이드형 기판이송장치에 대하여 설명한다. Next, a multi-stage slide type substrate transfer apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described.

본 발명의 제2실시예에 따른 다단 슬라이드형 기판이송장치는 핸드부(400)와 회전부(200)와 승강부(300)를 포함한다.The multi-stage slide type substrate transfer apparatus according to the second embodiment of the present invention includes a hand part 400, a rotating part 200, and a lifting part 300.

한편, 상기 회전부(200)와 승강부(300)는 제1실시예에서 상술한 구성과 동일한 것이므로 중복 설명한다.On the other hand, since the rotating unit 200 and the lifting unit 300 is the same as the configuration described above in the first embodiment will be described repeatedly.

도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 다단 슬라이드형 기판이송장치의 핸드부의 사시도이다.6 is a perspective view of a hand part of a multi-stage slide type substrate transfer apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 상기 핸드부(400)는 베이스(410)와 구동부(420)와 슬라이딩부(430)와 동력전달부(440)와 기판이송부(450)와 궤적보정부(160)와 동기제어부(470)를 포함한다.Referring to FIG. 6, the hand part 400 includes a base 410, a driving part 420, a sliding part 430, a power transmission part 440, a substrate transfer part 450, and a trajectory compensator 160. The synchronization controller 470 is included.

상기 궤적보정부는 제1실시예에서 상술한 구성과 동일한 것이므로 중복설명은 생략한다.Since the locus compensator is the same as the configuration described above in the first embodiment, duplicate description is omitted.

상기 베이스(410)는 상술한 제1실시예와 동일한 판 형태로 마련되며, 한 쌍의 안내레일(411)이 상호 이격되게 형성된다.The base 410 is provided in the same plate shape as the first embodiment described above, and the pair of guide rails 411 are formed to be spaced apart from each other.

상기 구동부(420)는 제1실시예의 구성과는 달리, 베이스(410) 상에 폭 방향을 따라 상호 이격되도록 한 쌍이 마련된다. Unlike the configuration of the first embodiment, the driving unit 420 is provided with a pair on the base 410 so as to be spaced apart from each other in the width direction.

상기 슬라이딩부(430) 상술한 한 쌍의 각 구동부(420)에 대응되도록 한 쌍이 상호 이격되게 마련된다.The sliding parts 430 are provided to be spaced apart from each other so as to correspond to each of the pair of driving parts 420 described above.

상기 동력전달부(440)는 슬라이딩부(430)의 전후진 왕복 병진운동으로부터 발생되는 동력을 후술하는 기판이송부(450)에 전달하기 위한 것으로서, 제1롤러(442)와 제2롤러(443)로 구성되는 회동부재(441)와 외측롤러(444)와 벨트부재(445)를 포함한다. The power transmission unit 440 is to transfer the power generated from the forward and backward reciprocating translational movement of the sliding unit 430 to the substrate transfer unit 450, which will be described later, the first roller 442 and the second roller 443 It includes a rotating member 441, the outer roller 444 and the belt member 445 composed of a).

한편, 상기 회동부재(441)는 한 상이 상기 한 쌍의 슬라이딩부(430) 각각의 측부에 마련된다.On the other hand, the rotating member 441 is provided on one side of each of the pair of sliding parts 430.

상기 기판이송부(450)는 한 쌍의 이송패널(451)과 이송암(452)을 포함하며, 각각의 이송패널(451)과 이송암(452)이 한 쌍의 슬라이딩부(430)에 마련되는 벨트부재(445) 각각에 장착된다. The substrate transfer part 450 includes a pair of transfer panels 451 and a transfer arm 452, and each transfer panel 451 and the transfer arm 452 are provided on the pair of sliding parts 430. Are attached to each of the belt members 445.

즉, 상술한 구성에 의하면, 각 구동부(420)는 별개로 작동되고, 이와 각각 체결 또는 결합되는 슬라이딩부(430) 및 기판이송부(450) 역시 각 구동부(420)의 작동에 의하여 별개로 작동하게 된다.That is, according to the above-described configuration, each driving unit 420 is operated separately, and the sliding unit 430 and the substrate transfer unit 450, which are fastened or coupled respectively, are also operated separately by the operation of each driving unit 420. Done.

상기 동기제어부(470)는 상술한 구동부(420)가 개별로 구동하도록 하거나, 동기구동하여 동시에 구동하도록 제어하는 부재이다. The synchronous control unit 470 is a member for controlling the above-described driving unit 420 to be driven individually or to drive simultaneously by synchronous driving.

따라서, 본 실시예에 의하면, 한 쌍의 이송암(452)은 별개로 기판을 각각 이송할 수도 있고, 또는, 동기제어부(470)에 의하여 동기화되어 동시에 구동될 수도 있다.
Therefore, according to the present embodiment, the pair of transfer arms 452 may individually transport the substrates, or may be synchronized and driven simultaneously by the synchronization controller 470.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, but may be embodied in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. Without departing from the gist of the invention claimed in the claims, it is intended that any person skilled in the art to which the present invention pertains falls within the scope of the claims described in the present invention to various extents which can be modified.

100 : 핸드부 110 : 베이스
120 : 구동부 130 : 슬라이딩부
140 : 동력전달부 141 : 회동부재
145 : 벨트부재 150 : 기판이송부
151 : 이송패널 152 : 이송암
160 : 궤적보정부 200 : 회전부
300 : 승강부100: hand portion 110: base
120: drive unit 130: sliding part
140: power transmission unit 141: rotating member
145: belt member 150: substrate transfer part
151 transfer panel 152 transfer arm
160: trajectory correction part 200: the rotating part
300:

Claims (9)

기판을 이송하는 기판이송장치에 있어서,
길이방향을 따라서 안내레일이 길게 형성되는 베이스;
상기 베이스에 마련되며 왕복운동이 가능하도록 리니어 모터로 마련되는 구동부;
상기 구동부에 연결되며, 상기 구동부로부터 동력을 전달받아 상기 베이스 상에서 왕복운동하는 슬라이딩부;
상기 슬라이딩부의 측부의 상호 이격된 위치에 장착되어 상기 슬라이딩부의 왕복운동시에 회전회동하는 한 쌍의 회동부재와, 상기 한 쌍의 회동부재를 상호 연결하여 상기 회동부재의 회전과 연동하여 주행하는 벨트부재와, 외주면이 상기 안내레일의 상면과 접촉하되 상기 회동부재 중 적어도 하나와 병렬 연결됨으로써 상기 슬라이딩부의 이동시에 상기 안내레일과 접촉하며 회전하는 외측롤러를 포함하는 동력전달부;
상기 기판을 적재하여 이송하되, 상기 슬라이딩부의 이동시에 상기 벨트부재와 함께 이동하도록 상기 벨트부재에 장착되는 기판이송부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 슬라이드형 기판이송장치.In the substrate transfer apparatus for transferring a substrate,
A base having a long guide rail along the longitudinal direction;
A driving unit provided in the base and provided with a linear motor to enable reciprocating motion;
A sliding part connected to the driving part and receiving power from the driving part to reciprocate on the base;
A belt is mounted at the mutually spaced position of the side of the sliding portion and the pair of rotating members to rotate in rotation during the reciprocating movement of the sliding portion, and the pair of rotating members to interconnect with the rotation of the rotating member to run A power transmission part including a member and an outer roller which contacts an upper surface of the guide rail but is connected in parallel with at least one of the pivot members to rotate in contact with the guide rail when the sliding part moves;
And transferring the substrate by loading the substrate, the substrate transferring part being mounted to the belt member to move together with the belt member when the sliding part is moved. 제1항에 있어서,
상기 기판이송부는 상기 슬라이딩부의 이동거리와 상기 벨트부재의 주행거리를 합한 만큼 이동하는 것을 특징으로 하는 다단 슬라이드형 기판이송장치.The method of claim 1,
The substrate transfer unit is a multi-stage slide-type substrate transfer device, characterized in that for moving as much as the sliding distance and the traveling distance of the belt member. 제2항에 있어서,
상기 슬라이딩부는 한 쌍이 상호 이격되어 마련되며,
상기 구동부는 한 쌍이 마련되어 각각이 상기 한 쌍의 슬라이딩부 각각에 구동력을 전달하는 것을 특징으로 하는 다단 슬라이드형 기판이송장치.The method of claim 2,
The sliding portion is provided with a pair spaced apart from each other,
The drive unit is provided with a pair of multi-stage slide-type substrate transfer device, characterized in that each transfers a driving force to each of the pair of sliding parts. 제3항에 있어서,
상기 한 쌍의 슬라이딩부가 동기화된 상태로 구동할 수 있도록 제어하는 동기제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 슬라이드형 기판이송장치.The method of claim 3,
And a synchronization control unit for controlling the pair of sliding parts to be driven in a synchronized state. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기판이송부는 상기 벨트부재와 체결되어 상기 벨트부재의 이동과 연동하여 왕복운동하는 이송패널과, 상기 이송패널에 장착되어 상기 기판을 적재하는 이송암을 포함하며,
하중으로 인하여 발생하는 상기 이송암의 처짐현상을 방지하기 위하여 이송암의 이동궤적을 보정하는 궤적보정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 슬라이드형 기판이송장치.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The substrate transfer part includes a transfer panel coupled to the belt member to reciprocate in conjunction with movement of the belt member, and a transfer arm mounted on the transfer panel to load the substrate.
And a trajectory correction unit for correcting a movement trajectory of the transfer arm in order to prevent deflection of the transfer arm caused by the load. 제5항에 있어서,
상기 궤적보정부는 상기 이송암의 이동거리와 상기 이송암의 하중을 고려하어 미리 정해진 높이만큼 상기 이송암의 단부를 들어올리는 것을 특징으로 하는 다단 슬라이드형 기판이송장치.

The method of claim 5,
The trajectory compensator is a multi-stage slide-type substrate transfer device, characterized in that for lifting the end of the transfer arm by a predetermined height in consideration of the movement distance of the transfer arm and the load of the transfer arm.

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