KR101309276B1 - 개선된 노즐 장치의 측면 리크 방지 커버 부재, 및 이를 구비한 노즐 장치 및 코팅 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 개선된 노즐 장치의 측면 리크 방지 커버 부재, 및 이를 구비한 노즐 장치 및 코팅 장치를 개시한다.
본 발명에 따른 노즐 장치의 측면 리크 방지 커버 부재는 상기 노즐 장치의 양 측면에 장착되는 한 쌍의 커버 블록을 포함하되, 상기 한 쌍의 커버 블록은 각각 내측 몸체부, 및 상기 내측 몸체부의 후면에 제공되는 돌출부를 구비한 내측 커버 블록; 및 상기 내측 몸체부 및 상기 돌출부를 각각 수용하기 위한 제 1 및 제 2 수용부를 구비하는 외측 몸체부, 상기 내측 몸체부를 상기 노즐 장치의 제 1 외측면 상에 밀착 고정하도록 상기 외측 몸체부 상에 형성된 복수의 제 1 체결구멍, 및 상기 외측 몸체부를 상기 노즐 장치의 제 2 외측면 상에 체결하도록 상기 외측 몸체부 상에 형성된 복수의 제 2 체결구멍을 구비한 외측 커버 블록을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

개선된 노즐 장치의 측면 리크 방지 커버 부재, 및 이를 구비한 노즐 장치 및 코팅 장치{Improved Cover Device for Preventing Leak from Sides of Nozzle Device, and Nozzle Device and Coating Apparatus Having the Same}
본 발명은 개선된 노즐 장치의 측면 리크 방지 커버 부재, 및 이를 구비한 노즐 장치 및 코팅 장치에 관한 것이다.
좀 더 구체적으로, 본 발명은 노즐 장치의 측면에서 제공되는 커버 부재를 전면에 탄성 재질의 코팅막이 형성된 내측 커버 블록 및 내측 커버 블록을 노즐 장치의 측면에 밀착 결합시키는 외측 커버 블록으로 분할하여 구성하고, 내측 커버 블록의 전면에 추가적으로 형성된 탄성 재질에 의해 노즐 장치와 내측 커버 블록 간의 밀착 결합 또는 기밀 결합에 의해 노즐 장치의 측면으로부터 도액의 리크 발생이 최소화 또는 방지되고, 도액의 도포 시에 기판 상에 불필요한 도액의 도포가 방지되어 기판의 불량 발생이 방지되며, 도액의 리크 발생에 따른 노즐 장치 및 코팅 장치의 유지 보수에 필요한 시간이 및 비용이 크게 감소되고, 기판의 전체 제조 시간(tact time) 및 제조 비용이 감소되는 개선된 노즐 장치의 측면 리크 방지 커버 부재, 및 이를 구비한 노즐 장치 및 코팅 장치에 관한 것이다.
일반적으로 PDP, LCD, 및 OLED 등을 포함한 평판 패널 디스플레이(FPD)를 제조하기 위해서는 글래스와 같은 기판 상에 도액을 도포하기 위해서는 디스펜싱 노즐(dispensing nozzle) 또는 슬릿 다이 노즐(이하 통칭하여 "노즐 장치"라 합니다)을 구비한 코팅 장치가 사용된다.
좀 더 구체적으로, 도 1a는 평판 패널 디스플레이(FPD)를 제조하기 위해 사용되는 코팅 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1a를 참조하면, 평판 패널 디스플레이(FPD)를 제조하기 위해 사용되는 코팅 장치(100)에서는 기판(110)을 석션 테이블(suction table: 112) 상에 위치시킨 후 갠트리(125)에 장착된 노즐 장치(120)를 수평방향으로 이동시키면서 예를 들어, 기판(110) 상에 형성된 R, G, B 셀(cell)로 이루어진 화소(pixel)를 형성하도록 도액을 도포시키는 방법이 사용되고 있다.
상술한 바와 같이, 기판((W) 상에 도액을 도포하기 위해서는 복수의 토출홀을 구비한 디스펜싱 노즐(dispensing nozzle) 또는 도액을 기판(110) 상에 전면/분할 도포할 수 있는 하나 이상의 슬릿(slit)을 구비한 슬릿 다이 노즐과 같은 노즐 장치(120)가 사용된다,
도 1b는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 코팅 장치에 사용되는 노즐 장치의 개략적인 사시도를 도시한 도면이고, 도 1c는 도 1b에 도시된 종래 기술에 따른 코팅 장치에 사용되는 노즐 장치의 개략적인 측단면도를 도시한 도면이다.
도 1b 및 도 1c를 참조하면, 종래 기술에 따른 노즐 장치(120)는 서로 대향하는 한 쌍의 제 1 립(lip)(122a) 및 제 2 립(122b)으로 구성된다. 제 1 립(122a) 또는 제 2 립(122b) 중 어느 하나의 내부에는 도액 공급부(미도시) 및 챔버(126)가 형성되어 있다. 도 1c의 실시예에서는 설명의 편의상 챔버(126)가 제 1 립(122a)의 내부에 형성된 것으로 예시적으로 도시되어 있지만, 당업자라면 챔버(126)가 제 2 립(122b)의 내부에 형성될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다. 챔버(126)의 아래 방향으로 제 1 립(122a)의 전면에 복수의 토출 구멍(128) 또는 슬릿(128)(이하에서는 복수의 토출 구멍(128) 및 슬릿(128)을 통칭하여 “토출구(128)”라 합니다)이 형성되어 있다. 토출구(128)는 제 1 립(122a)과 제 2 립(122b) 사이에 갭(L)을 형성한다. 도액은 토출구(128)를 통해 토출되어 기판(110)(도 1a 참조) 상에 예를 들어 포토레지스트액(PR액)을 도포하여 일정한 패턴을 형성한다. 패턴 형성에 있어서, 노즐 장치(120)와 기판(110)은 상대적으로 이동하게 된다(도 1a 참조).
상술한 종래 기술에 따른 코팅 장치(100)에 사용되는 노즐 장치(120)는 에서는 제 1 립(122a) 및 제 2 립(122b)과 같은 2개의 분할 립으로 구성된다. 따라서, 분할된 제 1 립(122a) 및 제 2 립(122b)의 측면으로 도액이 리크가 발생할 수 있다. 이러한 도액의 측면 리크를 방지하기 위해 종래 기술에서는 커버 부재를 사용하고 있다.
좀 더 구체적으로, 도 1d는 종래 기술에 따른 노즐 장치에 사용되는 커버 부재의 일부 사시도를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 1e는 도 1d에 도시된 종래 기술에 따른 노즐 장치에 사용되는 커버 부재의 일부 단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1d 및 도 1e를 참조하면, 종래 기술의 커버 부재(141)는 노즐 장치(120)의 양쪽 측면에 제공되는 한 쌍의 커버 블록(140)으로 구성된다. 이러한 한 쌍의 커버 블록(140)은 노즐 장치(120)의 양 측면에 예를 들어 복수의 볼트와 같은 체결부재(미도시)로 체결되어 있다.
또한, 노즐 장치(120)의 제 1 립(122a)의 내부에 형성된 챔버(126)와 한 쌍의 커버 블록(140) 사이에는 각각 환기홀(vent hole: 152)이 형성되어 환기 장치(150)와 연결되어 있다. 환기 장치(150)는 도액 교체 시 또는 도액 펌핑 장치(미도시)의 세정 시에 주입될 수 있는 기체(예를 들어 공기 등)와 같은 가스(gas)를 배출시키기 위한 것이다.
상술한 바와 같이 한 쌍의 커버 블록(140)은 동일한 구성을 가지므로 이하에서는 필요에 따라 도 1d 및 도 1e의 좌측에 도시된 하나의 커버 블록(140)에 대해서만 기술하기로 한다.
상술한 종래 기술에 따른 커버 부재(141)는 다음과 같은 문제를 갖는다.
좀 더 구체적으로, 노즐 장치(120)를 구성하는 제 1 및 제 2 립(122a,122b)과 커버 부재(141)를 구성하는 한 쌍의 커버 블록(140)은 각각 예를 들어 알루미늄과 같은 금속 재질로 구현된다. 따라서, 예를 들어 노즐 장치(120)의 외측면(123)과 접촉하는 커버 블록(140)의 전면(143)은 비록 정밀하게 가공하더라도 각각의 평탄도(flatness)가 균일하지 않다. 따라서, 복수의 체결 부재(미도시)를 이용하여 커버 블록(140)을 노즐 장치(120)의 외측면(123)에 체결하더라도, 노즐 장치(120)의 외측면(123)과 커버 블록(140)의 전면(143) 사이에는 미세한 틈새가 형성된다. 따라서, 도액의 도포시 또는 환기 장치(150)에 의한 환기 동작 시에 제 1 및 제 2 립(122a,122b)의 합착면 사이로 스며나와 외측면(123)과 전면(143) 사이의 미세한 틈새를 통해 리크되는 도액(이하 "리크 도액(leak coating liquid: LCL)"이라 합니다)이 발생한다.
또한, 리크 도액(LCL)이 발생하면, 노즐 장치(120)에 의해 기판(110)(도 1a 참조) 상에 도액이 도포될 때 불필요한 도액인 리크 도액(LCL)이 기판(110) 상에 도포되어 기판(110)의 불량을 발생시킨다.
나아가, 리크 도액(LCL)이 발생하면, 이를 제거하기 위해 코팅 장치(100)의 도액 도포 동작을 중지하고, 노즐 장치(120) 및 커버 부재(141)를 분해하여 세정한 후, 다시 재결합하여 사용하여야 한다. 따라서, 유지 보수에 따른 시간 및 비용이 증가하게 된다.
아울러, 리크 도액(LCL)의 발생에 의한 코팅 장치(100)의 도액 도포 동작을 중지되므로, 기판(110)의 전체 제조 시간(tact time) 및 제조 비용이 증가하게 된다.
따라서, 상술한 문제점을 해결하기 위한 새로운 방안이 요구된다.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 노즐 장치의 측면에서 제공되는 커버 부재를 전면에 탄성 재질의 코팅막이 형성된 내측 커버 블록 및 내측 커버 블록을 노즐 장치의 측면에 밀착 결합시키는 외측 커버 블록으로 분할하여 구성하고, 내측 커버 블록의 전면에 추가적으로 형성된 탄성 재질에 의해 노즐 장치와 내측 커버 블록 간의 밀착 결합 또는 기밀 결합에 의해 노즐 장치의 측면으로부터 도액의 리크 발생이 최소화 또는 방지되고, 도액의 도포 시에 기판 상에 불필요한 도액의 도포가 방지되어 기판의 불량 발생이 방지되며, 도액의 리크 발생에 따른 노즐 장치 및 코팅 장치의 유지 보수에 필요한 시간이 및 비용이 크게 감소되고, 기판의 전체 제조 시간(tact time) 및 제조 비용이 감소되는 개선된 노즐 장치의 측면 리크 방지 커버 부재, 및 이를 구비한 노즐 장치 및 코팅 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 1 특징에 따른 노즐 장치의 측면 리크 방지 커버 부재는 상기 노즐 장치의 양 측면에 장착되는 한 쌍의 커버 블록을 포함하되, 상기 한 쌍의 커버 블록은 각각 내측 몸체부, 및 상기 내측 몸체부의 후면에 제공되는 돌출부를 구비한 내측 커버 블록; 및 상기 내측 몸체부 및 상기 돌출부를 각각 수용하기 위한 제 1 및 제 2 수용부를 구비하는 외측 몸체부, 상기 내측 몸체부를 상기 노즐 장치의 제 1 외측면 상에 밀착 고정하도록 상기 외측 몸체부 상에 형성된 복수의 제 1 체결구멍, 및 상기 외측 몸체부를 상기 노즐 장치의 제 2 외측면 상에 체결하도록 상기 외측 몸체부 상에 형성된 복수의 제 2 체결구멍을 구비한 외측 커버 블록을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 2 특징에 따른 노즐 장치는 서로 대향하는 한 쌍의 제 1 및 제 2 립; 상기 제 1 및 제 2 립 중 어느 하나의 내부에 형성되는 도액 공급부 및 챔버; 상기 챔버의 아래 방향으로 형성되는 토출구; 및 상기 제 1 및 제 2 립의 양 측면 상에 제공되며, 상기 도액의 측면 리크를 방지하기 위한 커버 부재를 포함하고, 상기 커버 부재는 상기 노즐 장치의 양 측면에 장착되는 한 쌍의 커버 블록을 포함하며, 상기 한 쌍의 커버 블록은 각각 내측 몸체부, 및 상기 내측 몸체부의 후면에 제공되는 돌출부를 구비한 내측 커버 블록; 및 상기 내측 몸체부 및 상기 돌출부를 각각 수용하기 위한 제 1 및 제 2 수용부를 구비하는 외측 몸체부, 상기 내측 몸체부를 상기 노즐 장치의 제 1 외측면 상에 밀착 고정하도록 상기 외측 몸체부 상에 형성된 복수의 제 1 체결구멍, 및 상기 외측 몸체부를 상기 노즐 장치의 제 2 외측면 상에 체결하도록 상기 외측 몸체부 상에 형성된 복수의 제 2 체결구멍을 구비한 외측 커버 블록을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 3 특징에 따른 코팅 장치는 기판이 장착되는 석션 테이블; 상기 석션 테이블 상에서 직선 왕복운동을 하는 갠트리; 및 상기 갠트리 상에 장착되어 상기 기판 상에 도액을 도포하며, 양 측면에 상기 도액의 측면 리크를 방지하기 위한 커버 부재를 구비한 노즐 장치를 포함하고, 상기 커버 부재는 상기 노즐 장치의 양 측면에 장착되는 한 쌍의 커버 블록을 포함하며, 상기 한 쌍의 커버 블록은 각각 내측 몸체부, 및 상기 내측 몸체부의 후면에 제공되는 돌출부를 구비한 내측 커버 블록; 및 상기 내측 몸체부 및 상기 돌출부를 각각 수용하기 위한 제 1 및 제 2 수용부를 구비하는 외측 몸체부, 상기 내측 몸체부를 상기 노즐 장치의 제 1 외측면 상에 밀착 고정하도록 상기 외측 몸체부 상에 형성된 복수의 제 1 체결구멍, 및 상기 외측 몸체부를 상기 노즐 장치의 제 2 외측면 상에 체결하도록 상기 외측 몸체부 상에 형성된 복수의 제 2 체결구멍을 구비한 외측 커버 블록을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 개선된 노즐 장치의 측면 리크 방지 커버 부재, 및 이를 구비한 노즐 장치 및 코팅 장치를 사용하면 다음과 같은 장점이 달성된다.
1. 내측 커버 블록의 탄성 재질에 의해 노즐 장치와 내측 커버 블록 간의 밀착 결합 또는 기밀 결합에 의해 노즐 장치로부터 도액의 리크 발생이 최소화되거나 방지된다.
2. 도액의 도포 시에 기판 상에 불필요한 도액의 도포가 방지되므로 기판의 불량 발생이 방지된다.
3. 노즐 장치 및 코팅 장치의 유지 보수에 필요한 시간이 및 비용이 크게 감소된다.
4. 기판의 전체 제조 시간(tact time) 및 제조 비용이 감소된다.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.
도 1a는 평판 패널 디스플레이(FPD)를 제조하기 위해 사용되는 코팅 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1b는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 코팅 장치에 사용되는 노즐 장치의 개략적인 사시도를 도시한 도면이다.
도 1c는 도 1b에 도시된 종래 기술에 따른 코팅 장치에 사용되는 노즐 장치의 개략적인 측단면도를 도시한 도면이다.
도 1d는 종래 기술에 따른 노즐 장치에 사용되는 커버 부재의 일부 사시도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1e는 도 1d에 도시된 종래 기술에 따른 노즐 장치에 사용되는 커버 부재의 일부 단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 장치의 측면 리크 방지 커버 부재를 구성하는 내측 커버 블록 및 외측 커버 블록이 분리된 상태를 도시한 도면이다.
도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 장치의 양 측면에 도액의 측면 리크 방지 커버 부재를 구성하는 내측 커버 블록 및 외측 커버 블록이 결합된 상태의 배면 사시도를 도시한 도면이다.
도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 장치의 양 측면에 상기 도액의 측면 리크 방지 커버 부재를 구성하는 내측 커버 블록 및 외측 커버 블록이 결합된 상태의 정면 사시도를 도시한 도면이다.
도 2d는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 장치의 양 측면에 상기 도액의 측면 리크 방지 커버 부재를 노즐 장치에 결합할 때의 결합 위치를 도시한 사시도이다.
도 2e는 본 발명의 일 실시예에 따른 커버 부재가 노즐 장치에 결합된 상태의 평면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 장치의 측면 리크 방지 커버 부재를 구성하는 내측 커버 블록 및 외측 커버 블록이 분리된 상태를 도시한 도면이고, 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 장치의 양 측면에 도액의 측면 리크 방지 커버 부재를 구성하는 내측 커버 블록 및 외측 커버 블록이 결합된 상태의 배면 사시도를 도시한 도면이며, 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 장치의 양 측면에 상기 도액의 측면 리크 방지 커버 부재를 구성하는 내측 커버 블록 및 외측 커버 블록이 결합된 상태의 정면 사시도를 도시한 도면이고, 도 2d는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 장치의 양 측면에 상기 도액의 측면 리크 방지 커버 부재를 노즐 장치에 결합할 때의 결합 위치를 도시한 사시도이다.
도 2a 내지 도 2d를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 장치의 리크 방지 커버 부재(241)는 상기 노즐 장치(220)의 양 측면에 장착되는 한 쌍의 커버 블록(240)을 포함한다.
상기 한 쌍의 커버 블록(240)은 각각 내측 몸체부(242), 및 상기 내측 몸체부(242)의 후면(243b)에 제공되는 돌출부(242b)를 구비한 내측 커버 블록(240a); 및 상기 내측 몸체부(242) 및 상기 돌출부(242b)를 각각 수용하기 위한 제 1 및 제 2 수용부(246a,246b)를 구비하는 외측 몸체부(246), 상기 내측 몸체부(242)를 상기 노즐 장치(220)의 제 1 외측면(223a) 상에 밀착 고정하도록 상기 외측 몸체부(246) 상에 형성된 복수의 제 1 체결구멍(248a), 및 상기 외측 몸체부(246)를 상기 노즐 장치(220)의 제 2 외측면(223b) 상에 체결하도록 상기 외측 몸체부(246) 상에 형성된 복수의 제 2 체결구멍(248b)을 구비한 외측 커버 블록(240b)을 포함한다.
상술한 본 발명의 일 실시예에서, 내측 커버 블록(240a)은 상기 내측 몸체부(242)의 전면(243a)에 형성되는 코팅막(245)을 추가로 구비할 수 있다.
또한. 본 발명의 일 실시예에서, 내측 커버 블록(240a)의 내측 몸체부(242)의 양 측면은 전면(243a)에서 후면(243b) 방향으로 좁아지는 제 1 경사면(T1)을 구비할 수 있다. 이 경우, 외측 커버 블록(240b)의 제 1 수용부(246a)의 양 측면도 제 1 경사면(T1)을 수용하기 위한 제 2 경사면(T2)을 구비한다는 것은 자명하다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 장치의 측면 리크 방지 커버 부재(241)를 구성하는 한 쌍의 커버 블록(240)의 구성 및 동작을 상세히 기술하되, 설명의 편의상 하나의 커버 블록(240)에 대해서만 기술하기로 한다.
다시 도 2a 내지 도 2d를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 커버 블록(240)은 내측 커버 블록(240a) 및 외측 커버 블록(240b)을 포함한다.
내측 커버 블록(240a)은 내측 몸체부(242)를 구비한다. 또한, 내측 몸체부(242)의 후면(243b)에는 돌출부(242b)가 제공된다. 내측 몸체부(242)의 전면(243a)에는 코팅막(245)이 추가로 형성될 수 있다. 이러한 코팅막(245)은 예를 들어 테플론과 같은 탄성 재질로 구현될 수 있다.
또한, 외측 커버 블록(240b)은 외측 몸체부(246)를 구비한다. 이러한 외측 몸체부(246)에는 내측 몸체부(242)를 수용하기 위한 제 1 수용부(246a)와 돌출부(242b)를 수용하기 위한 제 2 수용부(246b)가 제공된다. 따라서, 내측 몸체부(242)가 제 1 수용부(246a) 내로 수용되고 또한 돌출부(242b)가 제 2 수용부(246b) 내로 수용됨으로써 내측 커버 블록(240a)이 외측 커버 블록(240b)에 결합된다(도 2b 및 도 2c 참조).
한편, 외측 커버 블록(240b) 상에는 복수의 제 1 및 제 2 체결구멍(248b,248a)이 형성되어 있다. 복수의 제 2 체결구멍(248b)은 외측 커버 블록(240b)의 외측 몸체부(246)를 노즐 장치(220)의 제 2 외측면(223b) 상에 체결시키기 위한 복수의 제 2 체결부재(미도시)가 삽입되는 구멍이다. 또한, 복수의 제 1 체결구멍(248a)은 내측 커버 블록(240a)의 내측 몸체부(242)를 노즐 장치(220)의 제 1 외측면(223a) 상에 밀착 결합시키기 위한 것으로 복수의 제 1 체결부재(미도시)가 삽입되는 구멍이다. 따라서, 본 발명의 실시예에서는 복수의 제 2 체결구멍(248b)은 노즐 장치(220)의 제 2 외측면(223b) 내까지 연장되어 형성되지만, 복수의 제 1 체결구멍(248a)은 외측 몸체부(246)에만 형성된다.
따라서, 복수의 제 2 체결부재(미도시)는 복수의 제 2 체결구멍(248b)을 통해 내측 커버 블록(240a)과 외측 커버 블록(240b)이 결합된 커버 블록(240)을 노즐 장치(220)의 외측면(223)에 밀착 결합시키지만, 복수의 제 1 체결부재(미도시)는 복수의 제 1 체결구멍(248a)을 통해 내측 커버 블록(240a)의 내측 몸체부(242)의 후면(243b)을 강하게 밀어주어, 내측 커버 블록(240a)을 노즐 장치(220)의 제 1 외측면(223a)에 추가로 밀착 결합시킨다. 이 경우, 내측 커버 블록(240a)의 전면(243a)은 종래 기술의 커버 블록(140)의 전면(143) 보다 상당히 작으므로, 내측 커버 블록(240a)의 전면(243a)의 평탄도가 종래 기술에 비해 크게 향상된다. 그에 따라, 내측 커버 블록(240a)의 전면(243a)이 노즐 장치(220)의 제 1 외측면(223a)에 밀착 결합될 경우, 노즐 장치(220)의 제 1 외측면(223a)과 내측 커버 블록(240a)의 전면(243a) 사이에 형성되는 미세한 틈새가 크게 감소되거나 실질적으로 제거된다. 따라서, 도액 도포 시 또는 도 1e에 도시된 환기 장치(150)에 의한 환기 동작 시에도 리크 도액(LCL)의 발생이 최소화되거나 방지된다.
한편, 내측 커버 블록(240a)의 내측 몸체부(242)가 그 전면(243a) 상에 코팅막(245)이 추가로 형성된 경우, 내측 몸체부(242)의 전면(243a) 대신 코팅막(245)이 노즐 장치(220)의 제 2 외측면(223b)에 밀착 결합된다. 이 때, 코팅막(245)은 탄성을 가지므로, 노즐 장치(220)의 제 2 외측면(223b)과 기밀 결합되어 도액 도포 시 및 도 1e에 도시된 환기 장치(150)에 의한 환기 동작 시에 리크 도액(LCL)의 발생이 방지된다.
또한, 본 발명의 일 실시예에서는 내측 커버 블록(240a)의 내측 몸체부(242)의 양 측면에 제 1 경사면(T1)을 형성하고, 및 외측 커버 블록(240b)의 제 1 수용부(246a)의 양 측면에 제 2 경사면(T2)을 형성할 수 있다. 이러한 제 1 및 제 2 경사면(T1,T2)을 통해 내측 커버 블록(240a)이 외측 커버 블록(240b)과 결합되면, 복수의 제 1 체결부재(미도시)가 복수의 제 1 체결구멍(248a)을 통해 내측 커버 블록(240a)을 노즐 장치(220)의 제 2 외측면(223b)에 밀착 결합시킬 때, 밀착 결합력을 증가시킨다. 따라서, 리크 도액(LCL) 발생의 방지 효과가 증가된다.
도 2e는 본 발명의 일 실시예에 따른 커버 부재가 노즐 장치에 결합된 상태의 평면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2e에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 장치(220)는 도 2a 내지 도 2d에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 한 쌍의 커버 블록(240)로 구성된 측면 리크 방지 커버 부재(241)가 사용된다는 점을 제외하고는 도 1e에 도시된 종래 기술의 노즐 장치(120)와 실질적으로 동일하다는 점에 유의하여야 한다.
도 2e를 도 2a 내지 도 2d와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 장치(220)는 서로 대향하는 한 쌍의 제 1 및 제 2 립(222a,222b); 상기 제 1 및 제 2 립(222a,222b) 중 어느 하나의 내부에 형성되는 도액 공급부(미도시) 및 챔버(226); 상기 챔버(226)의 아래 방향으로 형성되는 토출구(228); 및 상기 제 1 및 제 2 립(222a,222b)의 양 측면 상에 제공되며, 상기 도액의 측면 리크를 방지하기 위한 커버 부재(241)를 포함한다. 여기서, 커버 부재(241)는 도 2a 내지 도 2d를 참조하여 상세히 기술한 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 장치의 측면 리크 방지 커버 부재(241)가 사용된다.
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 장치(220)에서는, 커버 부재(241)를 구성하는 한 쌍의 커버 블록(240)이 노즐 장치(220)의 양 측면에 장착된다. 이 때, 한 쌍의 커버 블록(240)을 각각 구성하는 내측 커버 블록(240a) 및 외측 커버 블록(240b)은 내측 몸체부(242) 및 돌출부(242b)가 제 1 및 제 2 수용부(246a,246b)에 수용되어 체결된 상태에서 복수의 제 2 체결구멍(248b)을 통해 복수의 제 2 체결부재(248b1)에 의해 외측 커버 블록(240b)의 외측 몸체부(246)가 노즐 장치(220)의 제 2 외측면(223b) 상에 체결되어 밀착 결합된다. 그에 따라, 외측 커버 블록(240b)에 체결된 내측 커버 블록(240a)도 노즐 장치(220)의 제 1 외측면(223a) 상에 체결되어 밀착 결합된다.
그 후, 복수의 제 1 체결부재(248a1)가 외측 커버 블록(240b)에 형성된 복수의 제 1 체결구멍(248a)을 통해 내측 몸체부(242)의 후면(243b)을 강하게 밀어줌으로써, 내측 몸체부(242)의 전면(243a)이 노즐 장치(220)의 제 1 외측면(223a) 상에 추가로 밀착 결합되어, 밀착 결합력이 증가된다. 이 때, 내측 몸체부(242)의 전면(243a) 상에 코팅막(245)이 형성된 경우, 전면(243a) 대신 탄성을 구비한 코팅막(245)이 노즐 장치(220)의 제 1 외측면(223a) 상에 추가로 밀착 결합되어, 코팅막(245)과 제 1 외측면(223a) 간에 기밀 상태가 유지된다.
상술한 복수의 제 1 체결부재(248a1)는 각각 예를 들어 무두(無頭) 볼트(stripper bolt)로 구현되고, 제 2 체결부재(248b1)는 각각 예를 들어 통상의 유두(有頭) 볼트로 구현될 수 있으며, 이에 제한되는 것은 아니다.
상술한 바와 같이 본 발명의 실시예에서는, 내측 몸체부(242)의 전면(243a)이 노즐 장치(220)의 제 1 외측면(223a) 상에 추가로 밀착 결합되어 밀착 결합력을 증가되거나, 또는 코팅막(245)의 사용에 의해 내측 몸체부(242)의 전면(243a)과 노즐 장치(220)의 제 1 외측면(223a) 간에 기밀 상태가 유지되므로, 도액 도포 시 또는 도 1e에 도시된 환기 장치(150)에 의한 환기 동작 시에도 리크 도액(LCL)의 발생이 최소화되거나 방지된다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 장치를 개략적으로 도시한 도면이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 장치(300)는 도 2a 내지 도 2e에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 한 쌍의 커버 블록(240)로 구성된 측면 리크 방지 커버 부재(241)가 노즐 장치(220)에 사용된다는 점을 제외하고는 도 1a에 도시된 종래 기술의 코팅 장치(100)와 실질적으로 동일하다는 점에 유의하여야 한다.
다시 도 3을 도 2a 내지 도 2e와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 장치(200)는 기판(310)이 장착되는 석션 테이블(312); 상기 석션 테이블(312) 상에서 직선 왕복운동을 하는 갠트리(330); 및 상기 갠트리(330) 상에 장착되어 상기 기판(310) 상에 도액을 도포하며, 양 측면에 상기 도액의 측면 리크를 방지하기 위한 커버 부재(341)를 구비한 노즐 장치(320)를 포함한다. 여기서, 커버 부재(341)는 도 2a 내지 도 2d를 참조하여 상세히 기술한 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 장치의 측면 리크 방지 커버 부재(241)가 사용된다.
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 장치(220) 및 코팅 장치(300)에 사용되는 커버 부재(341)의 구체적인 구성 및 동작은 도 2a 내지 도 2e를 참조하여 상술한 바 있으므로 충분히 이해될 수 있다.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.
100,300: 코팅 장치 110,210: 기판
112,312: 석션 테이블 120,220,320: 노즐 장치
122a,122b,222a,222b: 립 126,226: 챔버
128: 토출구 130,330: 갠트리 140,240,340: 커버 블록
141,241,341: 커버 부재 150: 환기 장치 152,252; 환기홀
123,223,223a,223b: 외측면 143,243a: 전면
240a,240b: 내측/외측 커버 블록 242: 내측 몸체부
242b: 돌출부 243b: 후면 245:코팅막 246: 외측 몸체부
246a,246b: 수용부 248a,248b: 체결구멍
248a1,248b1: 체결부재 T1,T2: 경사면

Claims (15)

  1. 노즐 장치의 측면 리크 방지 커버 부재에 있어서,
    상기 노즐 장치의 양 측면에 장착되는 한 쌍의 커버 블록을 포함하되,
    상기 한 쌍의 커버 블록은 각각
    내측 몸체부, 및 상기 내측 몸체부의 후면에 제공되는 돌출부를 구비한 내측 커버 블록; 및
    상기 내측 몸체부 및 상기 돌출부를 각각 수용하기 위한 제 1 및 제 2 수용부를 구비하는 외측 몸체부, 상기 내측 몸체부를 상기 노즐 장치의 제 1 외측면 상에 밀착 고정하도록 상기 외측 몸체부 상에 형성된 복수의 제 1 체결구멍, 및 상기 외측 몸체부를 상기 노즐 장치의 제 2 외측면 상에 체결하도록 상기 외측 몸체부 상에 형성된 복수의 제 2 체결구멍을 구비한 외측 커버 블록
    을 포함하는 노즐 장치의 측면 리크 방지 커버 부재.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 내측 커버 블록은 상기 내측 몸체부의 전면에 형성되는 코팅막을 추가로 구비하는 노즐 장치의 측면 리크 방지 커버 부재.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 코팅막은 테플론과 같은 탄성 재질로 구현되는 노즐 장치의 측면 리크 방지 커버 부재.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 내측 몸체부의 양 측면은 전면에서 후면 방향으로 좁아지는 제 1 경사면(T1)을 구비하고,
    상기 제 1 수용부의 양 측면은 상기 제 1 경사면을 수용하기 위한 제 2 경사면(T2)을 구비하는
    노즐 장치의 측면 리크 방지 커버 부재.
  5. 노즐 장치에 있어서,
    서로 대향하는 한 쌍의 제 1 및 제 2 립;
    상기 제 1 및 제 2 립 중 어느 하나의 내부에 형성되는 도액 공급부 및 챔버;
    상기 챔버의 아래 방향으로 형성되는 토출구; 및
    상기 제 1 및 제 2 립의 양 측면 상에 제공되며, 상기 도액의 측면 리크를 방지하기 위한 커버 부재
    를 포함하고,
    상기 커버 부재는 상기 노즐 장치의 양 측면에 장착되는 한 쌍의 커버 블록을 포함하며,
    상기 한 쌍의 커버 블록은 각각
    내측 몸체부, 및 상기 내측 몸체부의 후면에 제공되는 돌출부를 구비한 내측 커버 블록; 및
    상기 내측 몸체부 및 상기 돌출부를 각각 수용하기 위한 제 1 및 제 2 수용부를 구비하는 외측 몸체부, 상기 내측 몸체부를 상기 노즐 장치의 제 1 외측면 상에 밀착 고정하도록 상기 외측 몸체부 상에 형성된 복수의 제 1 체결구멍, 및 상기 외측 몸체부를 상기 노즐 장치의 제 2 외측면 상에 체결하도록 상기 외측 몸체부 상에 형성된 복수의 제 2 체결구멍을 구비한 외측 커버 블록
    을 포함하는 노즐 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 내측 커버 블록은 상기 내측 몸체부의 전면에 형성되는 코팅막을 추가로 구비하는 노즐 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 코팅막은 테플론과 같은 탄성 재질로 구현되는 노즐 장치.
  8. 제 5항에 있어서,
    상기 내측 몸체부의 양 측면은 전면에서 후면 방향으로 좁아지는 제 1 경사면(T1)을 구비하고,
    상기 제 1 수용부의 양 측면은 상기 제 1 경사면을 수용하기 위한 제 2 경사면(T2)을 구비하는
    노즐 장치.
  9. 제 5항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 제 2 체결구멍은 상기 제 2 외측면 상에 연장되어 형성되고,
    복수의 제 2 체결부재는 상기 복수의 제 2 체결구멍을 통해 상기 한 쌍의 커버 블록을 각각 상기 제 2 외측면 상에 밀착 결합시키고,
    복수의 제 1 체결부재는 상기 복수의 제 1 체결구멍을 통해 상기 내측 몸체부의 후면을 밀어주어 상기 내측 몸체부와 상기 제 1 외측면 간의 밀착 결합력을 증가시키는
    노즐 장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 복수의 제 1 체결부재는 각각 무두 볼트(stripper bolt)로 구현되고,
    상기 제 2 체결부재는 각각 유두(有頭) 볼트로 구현되는
    노즐 장치.
  11. 코팅 장치에 있어서,
    기판이 장착되는 석션 테이블;
    상기 석션 테이블 상에서 직선 왕복운동을 하는 갠트리; 및
    상기 갠트리 상에 장착되어 상기 기판 상에 도액을 도포하며, 양 측면에 상기 도액의 측면 리크를 방지하기 위한 커버 부재를 구비한 노즐 장치
    를 포함하고,
    상기 커버 부재는 상기 노즐 장치의 양 측면에 장착되는 한 쌍의 커버 블록을 포함하며,
    상기 한 쌍의 커버 블록은 각각
    내측 몸체부, 및 상기 내측 몸체부의 후면에 제공되는 돌출부를 구비한 내측 커버 블록; 및
    상기 내측 몸체부 및 상기 돌출부를 각각 수용하기 위한 제 1 및 제 2 수용부를 구비하는 외측 몸체부, 상기 내측 몸체부를 상기 노즐 장치의 제 1 외측면 상에 밀착 고정하도록 상기 외측 몸체부 상에 형성된 복수의 제 1 체결구멍, 및 상기 외측 몸체부를 상기 노즐 장치의 제 2 외측면 상에 체결하도록 상기 외측 몸체부 상에 형성된 복수의 제 2 체결구멍을 구비한 외측 커버 블록
    을 포함하는 코팅 장치.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 내측 커버 블록은 상기 내측 몸체부의 전면에 형성되는 코팅막을 추가로 구비하는 코팅 장치.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 코팅막은 테플론과 같은 탄성 재질로 구현되는 코팅 장치.
  14. 제 11항에 있어서,
    상기 내측 몸체부의 양 측면은 전면에서 후면 방향으로 좁아지는 제 1 경사면(T1)을 구비하고,
    상기 제 1 수용부의 양 측면은 상기 제 1 경사면을 수용하기 위한 제 2 경사면(T2)을 구비하는
    코팅 장치.
  15. 제 11항 내지 제 14항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 노즐 장치는
    서로 대향하는 한 쌍의 제 1 및 제 2 립;
    상기 제 1 및 제 2 립 중 어느 하나의 내부에 형성되는 도액 공급부 및 챔버; 및
    상기 챔버의 아래 방향으로 형성되는 토출구
    를 포함하고,
    상기 토출구가 복수의 토출홀로 구현되는 디스펜싱 노즐 또는 상기 토출구가 하나 이상의 슬릿(slit)으로 구현되는 슬릿 다이 노즐인
    코팅 장치.
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JP2981873B2 (ja) * 1998-01-12 1999-11-22 井上金属工業株式会社 塗工装置
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