KR101308750B1 - Fabricating methode of electroluminescent device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기전계발광소자의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 유기전계발광소자 제조방법은, 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 상에 게이트전극과 소스전극 및 드레인전극을 포함하는 박막트랜지스터를 형성하는 단계; 상기 박막트랜지스터가 형성된 기판 상에 돌출부가 형성된 절연막을 형성하는 단계; 상기 절연막 상에 상기 드레인전극에 전기적으로 접속하는 제1전극을 형성하는 단계; 인쇄롤을 준비하는 단계; 상기 인쇄롤의 외주면에 유기발광물질을 도포하는 단계; 상기 유기발광물질이 도포된 인쇄롤을 클리체(cliche) 상에 접촉시켜 상기 인쇄롤의 유기발광물질에 상기 돌출부 상에 형성된 제1전극과 대응하는 패턴을 형성하는 단계; 상기 돌출부 상에 형성된 제1전극 상에 상기 제1전극과 대응하는 인쇄롤의 패턴을 전사하여 유기발광층을 형성하는 단계; 및 상기 유기발광층이 형성된 기판 상에 제2전극을 형성하는 단계를 포함한다.The present invention relates to a method of manufacturing an organic light emitting device, the method of manufacturing an organic light emitting device according to the present invention comprises the steps of preparing a substrate; Forming a thin film transistor including a gate electrode, a source electrode, and a drain electrode on the substrate; Forming an insulating film on which a protrusion is formed on the substrate on which the thin film transistor is formed; Forming a first electrode electrically connected to the drain electrode on the insulating film; Preparing a printing roll; Coating an organic light emitting material on an outer circumferential surface of the printing roll; Contacting the printing roll coated with the organic light emitting material on a cliché to form a pattern corresponding to the first electrode formed on the protrusion on the organic light emitting material of the printing roll; Transferring the pattern of the printing roll corresponding to the first electrode on the first electrode formed on the protrusion to form an organic light emitting layer; And forming a second electrode on the substrate on which the organic light emitting layer is formed.

OLED, 롤프린팅, 유기절연막, 요철 OLED, roll printing, organic insulating film, irregularities

Description

유기전계발광소자의 제조방법{FABRICATING METHODE OF ELECTROLUMINESCENT DEVICE}Manufacturing method of organic electroluminescent device {FABRICATING METHODE OF ELECTROLUMINESCENT DEVICE}

도 1은 종래의 일반적인 유기전계발광소자를 나타낸 개념도.1 is a conceptual diagram showing a conventional general organic light emitting device.

도 2는 상기 유기전계발광소자의 밴드다이어그램(band diagram).2 is a band diagram of the organic light emitting device.

도 3은 종래 기술에 따라 유기발광물질을 기판에 인쇄하여 유기박막을 형성하는 과정을 나타낸 개념도.3 is a conceptual diagram illustrating a process of forming an organic thin film by printing an organic light emitting material on a substrate according to the prior art.

도 4는 본 발명에 따른 유기전계발광소자를 제조하기 위해, 요철을 형성한 기판에 인쇄롤을 이용하여 유기발광물질을 전사하는 과정을 나타낸 개념도.4 is a conceptual diagram illustrating a process of transferring an organic light emitting material by using a printing roll to a substrate having irregularities in order to manufacture the organic light emitting device according to the present invention.

도 5는 본 발명에 의한 유기전계발광소자의 한 화소를 나타낸 단면도.5 is a cross-sectional view showing one pixel of an organic light emitting display device according to the present invention;

도 6은 롤프린팅을 이용하여 유기발광층을 인쇄하는 모습을 나타낸 단면도.6 is a cross-sectional view showing a state in which the organic light emitting layer is printed using roll printing.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

109 : 박막트랜지스터 110 : 기판109: thin film transistor 110: the substrate

113 : 절연막 114 : 유기절연막113: insulating film 114: organic insulating film

120 : 제1전극 130 : 유기발광층120: first electrode 130: organic light emitting layer

133 : 인쇄롤 140 : 제2전극133: printing roll 140: second electrode

본 발명은 유기전계발광소자의 제조방법에 관한 것으로, 더 자세하게는 기판에 요철을 형성하여 요철부에 유기발광물질을 인쇄하여 유기전계발광소자를 제조하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing an organic light emitting display device, and more particularly, to a method of manufacturing an organic light emitting display device by forming an unevenness on a substrate and printing an organic light emitting material on the uneven portion.

21세기는 정보화 사회가 될 것으로 예상되는데, 이에 따라 어디에서나 손쉽게 정보를 얻을 필요가 있기 때문에 멀티미디어용 고성능 평판표시소자의 개발이 중요시되고 있다. 특히, 통신 및 컴퓨터에 관련하여 반도체와 표시장치의 소자개발에 관련한 기술개발이 중요시되고 있고 있다. 그 중 천연색표시소자로써 주목받는 소자가 유기전계발광소자이다.It is expected that the 21st century will be an information society, and accordingly, it is important to develop a high performance flat panel display device for multimedia because it is necessary to easily obtain information from anywhere. In particular, technology development related to device development of semiconductors and display devices is becoming important in relation to communication and computers. Among them, an organic electroluminescent device is a device that is attracting attention as a natural color display device.

도 1은 종래의 일반적인 유기전계발광소자를 나타낸 개념도이며, 도 2는 상기 유기전계발광소자의 밴드다이어그램(band diagram)이다.1 is a conceptual diagram illustrating a conventional organic light emitting display device, and FIG. 2 is a band diagram of the organic light emitting display device.

도 1에 도시된 바와 같이, 유기전계발광소자는 일함수(work function)가 높은 금속전극과 낮은 금속전극 사이에 발광물질이 삽입되는 구조로 되어 있다. 일함수가 높은 금속전극은 발광물질에 정공을 주입하는 양극(anode;7)으로 사용되고 낮은 금속전극은 발광물질에 전자를 주입하는 음극(cathode;3)으로 사용된다.As shown in FIG. 1, the organic light emitting diode has a structure in which a light emitting material is inserted between a metal electrode having a high work function and a low metal electrode. The metal electrode having a high work function is used as an anode 7 for injecting holes into the light emitting material and the low metal electrode is used as a cathode 3 for injecting electrons into the light emitting material.

발광된 빛이 발광소자 외부로 발산되게 하기 위하여 한쪽 전극은 발광파장영역에서 빛의 흡수가 거의 없는 투명한 물질을 사용한다. 투명전극으로는 ITO(Indium Tin Oxide)가 가장 많이 사용되며, 이 금속은 통상 정공이 주입되는 양극(7)으로 사용된다. 음극(3)으로는 전자의 주입을 용이하게 하기 위해 일반적으로 일함수가 낮은 금속을 사용한다.In order to emit the emitted light to the outside of the light emitting device, one electrode uses a transparent material having almost no light absorption in the light emitting wavelength region. Indium Tin Oxide (ITO) is most commonly used as the transparent electrode, and this metal is usually used as the anode 7 into which holes are injected. As the cathode 3, a metal having a low work function is generally used to facilitate the injection of electrons.

유기전계발광소자의 발광의 원리는 다음과 같다. 일함수가 높은 양극(7)과 낮은 음극(3)에서 각각 정공과 전자가 발광층(5)에 주입되면, 상기 발광층(5) 내에 엑시톤(exciton)이 생성되며, 이 엑시톤이 발광, 소멸(decay)함에 따라 도 2에 도시된 발광층(15)의 LUMO(Lowest Unoccupied Molecular Orbital)와 HOMO(Highest Occupied Molecular Orbital)의 에너지 차이에 해당하는 빛이 발생하게 된다.The principle of light emission of the organic light emitting device is as follows. When holes and electrons are injected into the light emitting layer 5 at the anode 7 and the cathode 3 having a high work function, excitons are generated in the light emitting layer 5, and the excitons emit and decay. As a result, light corresponding to the energy difference between the low unoccupied molecular orbital (LUMO) and the highest occupied molecular orbital (HOMO) of the light emitting layer 15 shown in FIG. 2 is generated.

상기 발생하는 빛은 발광층을 구성하는 유기박막이 어떤 물질이냐에 따라 그 색깔이 달라질 수 있는데, 적, 녹, 청색의 빛을 내는 유기박막을 이용하여 천연색을 구현할 수 있다.The color of the generated light may vary depending on the material of the organic thin film constituting the light emitting layer, and a natural color may be realized by using the organic thin film emitting red, green, or blue light.

상기한 유기전계발광소자를 제조하기 위해서는 발광층을 형성하는 유기박막을 기판 상에 형성하는 과정이 필요하다. In order to manufacture the organic light emitting device described above, a process of forming an organic thin film forming a light emitting layer on a substrate is required.

이러한 유기발광물질로 일정 두께를 가지는 박막 발광층을 형성하기 위해서는 다양한 방법이 사용될 수 있으나, 액상으로 형성가능한 용해성(soluble) 유기발광물질인 경우 롤프린팅(roll printing) 방식으로 형성이 가능하다. 롤프린팅 방식이란, 인쇄용 롤의 표면에 기판 상에 패턴을 형성하기 위한 물질을 도포한 후, 인쇄용 롤을 제1기판 상에서 일정 압력 및 속도로 회전시켜 상기 도포된 물질을 기판에 전사시켜 인쇄하는 방식이다.Various methods may be used to form a thin film light emitting layer having a predetermined thickness with the organic light emitting material, but in the case of a soluble organic light emitting material that can be formed in a liquid state, it may be formed by a roll printing method. The roll printing method is a method in which a material for forming a pattern on a substrate is coated on a surface of a printing roll, and then the printing roll is rotated at a predetermined pressure and speed on a first substrate to transfer the applied material onto a substrate for printing. to be.

도 3은 종래 기술에 따라 유기발광물질을 기판에 인쇄하여 유기박막을 형성하는 과정을 나타낸 개념도이다.3 is a conceptual diagram illustrating a process of forming an organic thin film by printing an organic light emitting material on a substrate according to the prior art.

먼저, 도 3a와 같이, 인쇄롤(33)의 외주면에 유기발광물질(30)을 도포한다. 유기발광물질(30) 도포과정은 인쇄롤(33)의 외주면에 인쇄하고자 하는 유기발광물 질(30)을 공급용기(34)에 채운 다음, 유기발광물질(30)이 채워진 공급용기(34)를 인쇄롤(30)에 닿도록 한 후, 인쇄롤(30)을 회전시켜 외주면에 유기발광물질(33)을 도포하는 과정으로 이루어질 수 있다.First, as shown in FIG. 3A, the organic light emitting material 30 is coated on the outer circumferential surface of the printing roll 33. The process of applying the organic light emitting material 30 fills the supply container 34 with the organic light emitting material 30 to be printed on the outer circumferential surface of the printing roll 33, and then the supply container 34 filled with the organic light emitting material 30. After contacting the printing roll 30, the printing roll 30 may be rotated to apply the organic light emitting material 33 on the outer peripheral surface.

그 다음, 도 3b와 같이, 먼저 형성하고자 하는 패턴과 대응하는 홈이 형성된 클리체(cliche, 35)를 준비하여 인쇄롤(33)을 클리체(35) 상에 접촉시켜 회전시킴으로써 인쇄롤(33)의 유기발광물질(30) 패턴을 형성한다.Next, as illustrated in FIG. 3B, first, a cliché 35 having a groove corresponding to a pattern to be formed is prepared, and the printing roll 33 is brought into contact with the cliché 35 to rotate. To form an organic light emitting material 30).

이후, 도 3c와 같이, 패턴이 형성된 유기발광물질(30)이 도포된 인쇄롤(33)을 기판(10) 상에 접촉하여 회전시킴으로써 유기발광물질(30) 패턴을 기판(10)에 전사하여 인쇄한다.Thereafter, as shown in FIG. 3C, the organic light emitting material 30 pattern is transferred onto the substrate 10 by rotating the printing roll 33 coated with the organic light emitting material 30 having the pattern thereon on the substrate 10. Print

유기전계발광소자는 상기한 인쇄 방법을 거쳐 유기발광물질(30)으로 이루어진 발광층을 형성할 수 있다.The organic light emitting diode may form a light emitting layer made of the organic light emitting material 30 through the printing method described above.

그런데, 상기한 롤프린팅을 이용하여 패터닝된 유기발광물질(30)을 기판(10)에 전사하여 박막을 형성하는 경우에는 인쇄롤(33) 표면의 탄성을 이용하여 일정 압력을 가하여 기판(10)에 전사를 하게 된다. 즉, 유기발광물질(30)이 기판(10)상에 효과적으로 부착될 수 있도록 일정 압력을 가하게 되는 것이다. 그러나, 액상의 유기발광물질(30)을 가압하기 때문에 유기발광물질(30)의 패턴에 변형을 일으키며, 기판(10) 상에 원하는 영역보다 넓은 영역에 형성되어 인접한 화소 영역까지 유기발광물질(30)이 전사될 수 있어, 이로 인해 소자의 불량을 야기하였다.However, when the organic light emitting material 30 patterned using the above roll printing is transferred to the substrate 10 to form a thin film, the substrate 10 is applied by applying a predetermined pressure using the elasticity of the surface of the printing roll 33. Will be killed. That is, a predetermined pressure is applied to the organic light emitting material 30 to be effectively attached to the substrate 10. However, since the organic light emitting material 30 is pressurized, the organic light emitting material 30 is deformed, and the organic light emitting material 30 is formed in a wider area than the desired area on the substrate 10 to the adjacent pixel area. ) Can be transferred, resulting in a defect of the device.

또한, 인쇄롤(33)은, 일반적으로, 본체(31)와 본체를 감싸며 규소 화합물로 이루어진 블랭킷(blanket, 32)으로 구성되는데, 규소 화합물 블랭킷(32)과 기 판(10) 사이의 표면에너지 차이는 전사하고자 하는 유기발광물질(30)과 기판(10) 사이의 표면에너지 차이보다 크다. 이 때문에, 유기발광물질(30)을 전사하고자 할 때 상기 압력에 의해 인쇄롤(33)의 표면이 기판(10)에 접촉하게 되면, 유기발광물질(30)이 효과적으로 기판(10)에 전사되지 않고 블랭킷(32)의 한쪽으로 밀려 패턴의 드래깅(dragging)이 일어나거나 유기발광물질(30)이 기판(10)에서 떨어져 파티클이 생성되기 때문에 기판(10)과 인쇄롤(33)의 접촉면적을 최소화하는 것이 바람직하다.In addition, the printing roll 33 is generally composed of a blanket 32 made of a silicon compound surrounding the main body 31 and the main body, the surface energy between the silicon compound blanket 32 and the substrate 10 The difference is greater than the surface energy difference between the organic light emitting material 30 and the substrate 10 to be transferred. For this reason, when the surface of the printing roll 33 contacts the substrate 10 by the pressure when the organic light emitting material 30 is to be transferred, the organic light emitting material 30 is not effectively transferred to the substrate 10. The area of contact between the substrate 10 and the printing roll 33 is reduced due to the dragging of the pattern to one side of the blanket 32 or the organic light emitting material 30 falling from the substrate 10 to generate particles. It is desirable to minimize it.

이러한 복합적인 이유로 유기발광물질의 두께, 즉 유기박막의 두께가 일정 두께 이상, 즉 약 1000nm 이상이어야만 패턴의 전사가 가능하였다. 특히 500nm 이하의 두께를 갖는 유기발광물질의 경우에는 유기박막의 두께가 얇아, 패턴의 변형이 상대적으로 심하고 유기박막의 패턴의 경계에서 얇은 두께로 인해 인쇄롤이 기판과 접촉하게 되어 전사가 매우 어려운 문제점이 있었다.For this complex reason, the pattern can be transferred only when the thickness of the organic light emitting material, that is, the thickness of the organic thin film is greater than or equal to a predetermined thickness, that is, about 1000 nm or more. In particular, in the case of an organic light emitting material having a thickness of 500 nm or less, the thickness of the organic thin film is thin, so that the deformation of the pattern is relatively severe and the printing roll is in contact with the substrate due to the thin thickness at the boundary of the pattern of the organic thin film. There was a problem.

상기한 문제점을 해결하기 위해 본 발명은 인쇄롤의 표면이 기판에 직접 접하는 것을 방지하고 접촉하는 면적을 최소화함으로써 불량을 저감한 고품질의 유기전계발광소자의 제조방법를 제공함에 그 목적이 있다. In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a high quality organic electroluminescent device which has reduced defects by preventing the surface of the printing roll from directly contacting the substrate and minimizing the contact area.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기전계발광소자 제조방법은, 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 상에 게이트전극과 소스전극 및 드레인전극을 포함하는 박막트랜지스터를 형성하는 단계; 상기 박막트랜지스터가 형성된 기판 상에 돌출부가 형성된 절연막을 형성하는 단계; 상기 절연막 상에 상기 드레인전극에 전기적으로 접속하는 제1전극을 형성하는 단계; 인쇄롤을 준비하는 단계; 상기 인쇄롤의 외주면에 유기발광물질을 도포하는 단계; 상기 유기발광물질이 도포된 인쇄롤을 클리체(cliche) 상에 접촉시켜 상기 인쇄롤의 유기발광물질에 상기 돌출부 상에 형성된 제1전극과 대응하는 패턴을 형성하는 단계; 상기 돌출부 상에 형성된 제1전극 상에 상기 제1전극과 대응하는 인쇄롤의 패턴을 전사하여 유기발광층을 형성하는 단계; 및 상기 유기발광층이 형성된 기판 상에 제2전극을 형성하는 단계를 포함한다.The organic light emitting device manufacturing method according to the present invention for achieving the above object comprises the steps of preparing a substrate; Forming a thin film transistor including a gate electrode, a source electrode, and a drain electrode on the substrate; Forming an insulating film on which a protrusion is formed on the substrate on which the thin film transistor is formed; Forming a first electrode electrically connected to the drain electrode on the insulating film; Preparing a printing roll; Coating an organic light emitting material on an outer circumferential surface of the printing roll; Contacting the printing roll coated with the organic light emitting material on a cliché to form a pattern corresponding to the first electrode formed on the protrusion on the organic light emitting material of the printing roll; Transferring the pattern of the printing roll corresponding to the first electrode on the first electrode formed on the protrusion to form an organic light emitting layer; And forming a second electrode on the substrate on which the organic light emitting layer is formed.

상기 절연막을 형성하는 단계는 상기 기판상에 절연막을 전면 증착하고 식각하여 패터닝하여 돌출부를 형성하거나, 상기 기판 상에 보호층을 전면 증착하는 단계와 상기 보호층이 형성된 기판 상의 일부분에 유기절연막을 형성하여 돌출부를 형성하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다. The forming of the insulating layer may include depositing an entire surface of the insulating layer on the substrate, etching and patterning the insulating layer to form a protrusion, or depositing a protective layer on the substrate, and forming an organic insulating layer on a portion of the substrate on which the protective layer is formed. Characterized in that it comprises a step of forming a protrusion.

상기 유기절연막은 벤조사이클로부텐(Benzocyclobutene; BCB) 또는 아크릴계 수지(resin)와 같은 저유전율의 유기발광물질로, 인쇄 또는 코팅으로 형성할 수 있다.The organic insulating layer is a low dielectric constant organic light emitting material such as benzocyclobutene (BCB) or acrylic resin (resin), it can be formed by printing or coating.

이때, 상기 돌출부는 높이가 1㎛~4.5㎛ 정도 되도록 형성하는 것이 바람직하다.At this time, the protrusion is preferably formed so that the height is about 1㎛ ~ 4.5㎛.

한편, 상기 제1전극 상에 롤프린팅으로 유기발광층을 형성하는 단계는, 인쇄롤을 준비하는 단계와, 상기 인쇄롤의 외주면에 유기발광물질을 도포하는 단계와, 상기 유기발광물질이 도포된 인쇄롤을 클리체 상에 접촉시켜 인쇄롤의 유기발광물질에 상기 제1전극과 대응하는 패턴을 형성하는 단계, 및 상기 제1전극 상에 상기 제1전극과 대응하는 인쇄롤의 패턴을 전사하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The forming of the organic light emitting layer by roll printing on the first electrode may include preparing a printing roll, applying an organic light emitting material to an outer circumferential surface of the printing roll, and printing the organic light emitting material coated thereon. Contacting the roll on the cliché to form a pattern corresponding to the first electrode on the organic light emitting material of the printing roll, and transferring a pattern of the printing roll corresponding to the first electrode onto the first electrode Characterized in that consists of.

또한, 상기 박막트랜지스터를 형성하는 방법은, 상기 기판 상에 게이트전극 을 형성하는 단계와, 상기 게이트전극 상에 게이트절연막을 형성하는 단계와, 상기 게이트절연막 상에 액티브패턴을 형성하는 단계, 및, 상기 액티브층 상에 서로 이격되어 형성된 소스전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다. The method of forming the thin film transistor may include forming a gate electrode on the substrate, forming a gate insulating film on the gate electrode, forming an active pattern on the gate insulating film, and Forming a source electrode and a drain electrode formed on the active layer spaced apart from each other, characterized in that.

이때, 상기 액티브패턴은 실리콘 박막으로 형성한다.In this case, the active pattern is formed of a silicon thin film.

종래 발명의 문제점을 해결하기 위해 본 발명에서는 기판에 유기발광물질을 전사하기 위해 기판 표면에 요철을 형성하여 인쇄롤과 기판이 직접 접하는 것을 방지한다.In order to solve the problems of the conventional invention, in order to transfer the organic light emitting material to the substrate to form an unevenness on the substrate surface to prevent the printing roll and the direct contact.

도 4는 본 발명에 따른 유기전계발광소자를 제조하기 위해, 요철을 형성한 기판에 인쇄롤(133)을 이용하여 유기발광물질을 전사하는 과정을 나타낸 개념도이다. 유기발광물질은 다양한 종류가 있으나 본 발명에서는 액상으로 형성이 가능한 솔루블(soluble) 유기발광물질을 이용하여 유기전계발광소자를 제작하는 방법에 대해 설명한다.4 is a conceptual diagram illustrating a process of transferring an organic light emitting material by using a printing roll 133 to a substrate having irregularities in order to manufacture the organic light emitting device according to the present invention. Although there are various types of organic light emitting materials, the present invention describes a method of manufacturing an organic light emitting display device using a soluble organic light emitting material that can be formed in a liquid phase.

도면을 참조하여 설명하면, 먼저, 도 4a와 같이, 인쇄롤(133)의 외주면에 유기발광물질(130)을 도포한다. 유기발광물질(130) 도포과정은 인쇄롤(133)의 외주면에 인쇄하고자 하는 유기발광물질(133)을 공급용기(134)에 채운 다음, 유기발광물질(130)이 채워진 공급용기(134)를 인쇄롤(133)에 닿도록 한 후, 인쇄롤(133)을 회전시켜 외주면에 유기발광물질(130)을 도포하는 과정으로 이루어질 수 있다.Referring to the drawings, first, as shown in Figure 4a, the organic light emitting material 130 is applied to the outer peripheral surface of the printing roll 133. The process of applying the organic light emitting material 130 fills the supply container 134 with the organic light emitting material 133 to be printed on the outer circumferential surface of the printing roll 133, and then fills the supply container 134 filled with the organic light emitting material 130. After contacting the printing roll 133, the printing roll 133 may be rotated to apply the organic light emitting material 130 to the outer circumferential surface.

그 다음, 도 4b와 같이, 먼저 형성하고자 하는 패턴과 대응하는 홈이 형성된 클리체(cliche, 135)를 준비하여 인쇄롤(133)을 상기 클리체(135) 상에 접촉시켜 회전시킴으로써 인쇄롤(133)의 유기발광물질(130)에 패턴을 형성한다.Next, as shown in FIG. 4B, first, a cliché 135 having a groove corresponding to a pattern to be formed is prepared, and the printing roll 133 is brought into contact with the cliché 135 to rotate. A pattern is formed on the organic light emitting material 130 of 133.

이후, 도 4c와 같이, 인쇄에 의해 유기발광물질(130)이 형성될 영역에 대응하는 부분이 돌출된 돌출부(110A)와 돌출부(110A)의 사이의 함몰부(110B)로 형성된 기판(110)을 준비하고, 패턴이 형성된 유기발광물질(130)이 도포된 인쇄롤(133)을 기판(110)의 돌출부(110A)에 접촉하여 회전시킴으로써 유기발광물질(130) 패턴을 기판(110)에 전사한다.Subsequently, as shown in FIG. 4C, the substrate 110 is formed of a recess 110B between the protrusion 110A and the protrusion 110A where the portion corresponding to the region where the organic light emitting material 130 is to be formed is printed. And rotate the printing roll 133 coated with the organic light emitting material 130 having the pattern formed thereon in contact with the protrusion 110A of the substrate 110 to transfer the organic light emitting material 130 pattern to the substrate 110. do.

상기한 바와 같이 유기발광물질(130)이 형성될 부분만 돌출된 기판(110) 상에 유기발광물질(130)을 전사하는 경우 기판(110) 상에 돌출된 돌출부(110A)에만 유기발광물질(130)이 전사되므로 인쇄롤(133)의 표면과 기판(110)의 접촉 면적을 최소화할 수 있다. As described above, when the organic light emitting material 130 is transferred onto the substrate 110 on which only the portion where the organic light emitting material 130 is to be formed is transferred, the organic light emitting material (only the protrusion 110A protruding on the substrate 110) Since the 130 is transferred, the contact area between the surface of the printing roll 133 and the substrate 110 may be minimized.

또한, 인쇄롤(133)에 의해 일정 압력으로 유기발광물질(130)의 패턴이 일부 변형되더라도 돌출부(110A)와 그 다음 돌출부(110A) 사이에 형성된 홈 형태의 함몰부(110B)에 의해 구분되어 인접 화소에 영향을 주지 않는다.In addition, even if the pattern of the organic light emitting material 130 is partially deformed at a predetermined pressure by the printing roll 133 is divided by the groove-shaped recess 110B formed between the protrusion 110A and the next protrusion 110A. It does not affect adjacent pixels.

따라서, 전사될 유기발광물질(130)의 두께를 얇게 조절할 수 있으며, 특히, 박막의 두께를 500nm 이하로 형성할 수 있게 된다.Therefore, the thickness of the organic light emitting material 130 to be transferred may be adjusted to be thin, and in particular, the thickness of the thin film may be formed to 500 nm or less.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 요철이 형성된 유기전계발광소자와 그 제조방법에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the drawings will be described in detail with respect to the organic electroluminescent device is formed with unevenness according to the present invention.

도 5는 본 발명에 의한 유기전계발광소자의 한 화소를 나타낸 단면도이다. 5 is a cross-sectional view showing one pixel of the organic light emitting display device according to the present invention.

우선, 본 발명에 따른 유기전계발광소자를 설명하면, 본 발명에 따른 유기전계발광소자는 기판(110) 상에 형성된 제1전극(120)과, 제1전극(120) 상에 형성되며 유기박막으로 이루어진 유기발광층(130)과, 상기 유기발광층(130) 상에 형성된 제2전극(140), 및 상기 제1전극(120)에 전압을 인가하는 박막트랜지스터(109)를 포함하여 구성된다. First, referring to the organic light emitting display device according to the present invention, the organic light emitting display device according to the present invention is formed on the first electrode 120 and the first electrode 120, the organic thin film And an organic light emitting layer 130, a second electrode 140 formed on the organic light emitting layer 130, and a thin film transistor 109 for applying a voltage to the first electrode 120.

이때, 상기 발광층(130)은 크게 싱글레이어(single layer)와 멀티레이어(multi-layer)로 나눌 수 있는데, 싱글레이어는 제1전극(120)과 제2전극(140) 사이에 유기발광층(130)으로 하나의 발광층이 형성된 구조이고, 멀티레이어는 제1전극(120)과 제2전극(140) 사이에 복수 개의 층이 형성된 구조이다. In this case, the light emitting layer 130 may be largely divided into a single layer and a multi-layer, wherein the single layer includes the organic light emitting layer 130 between the first electrode 120 and the second electrode 140. ) Is a structure in which one light emitting layer is formed, and in the multilayer, a plurality of layers are formed between the first electrode 120 and the second electrode 140.

상기 멀티레이어 양면발광 유기전계발광소자는 유기층이 여러 층으로 형성될 수 있으며, 전자수송층(electron transport layer), 발광층(emissive layer), 정공수송층(hole transport layer), 정공주입층(hole injection layer)을 포함한다. 본 발명의 실시예에 의하면 필요에 따라 싱글레이어나 멀티레이어 모두 롤프린팅의 방법을 이용하여 구성이 가능할 것이나 편의상 싱글레이어만 도면에 나타내었다. The multilayer double-sided organic light emitting display device may have an organic layer formed of several layers, and may include an electron transport layer, an electron transport layer, an electron transport layer, a hole transport layer, and a hole injection layer. It includes. According to the embodiment of the present invention, if necessary, the single layer or the multilayer may be configured using a roll printing method, but for convenience, only the single layer is shown in the drawings.

유기전계발광소자는, 도시하지는 않았지만, 투명기판(110) 상에 실질적으로 수직 교차하는 게이트라인과 데이터라인에 의해 매트릭스 형태의 단위 화소영역이 정의되고, 상기 단위 화소마다 박막트랜지스터(TFT, 109)가 형성되어 각 단위화소에 신호를 인가한다. 각 단위화소에 형성되는 박막트랜지스터(109)는 스위칭트랜지스터(미도시)와 구동트랜지스터로 구성되며, 상기 박막트랜지스터(109)에 의한 신호에 따라 제1전극(120)에 전압을 인가하면 각 화소에 형성된 유기발광층(130)이 형성된 붉은색(R), 녹색(G), 푸른색(B)으로 발광하여 화상을 형성한다.Although not shown, the organic light emitting diode has a unit pixel area in a matrix form defined by a gate line and a data line substantially perpendicularly intersecting on the transparent substrate 110, and a thin film transistor (TFT) 109 for each unit pixel. Is formed to apply a signal to each unit pixel. The thin film transistor 109 formed in each unit pixel includes a switching transistor (not shown) and a driving transistor. When a voltage is applied to the first electrode 120 according to a signal from the thin film transistor 109, the thin film transistor 109 is applied to each pixel. The formed organic light emitting layer 130 emits light in red (R), green (G), and blue (B) to form an image.

이때, 상기 스위칭 트랜지스터는 게이트 라인에 인가되는 스캔 신호에 의해 구동되며, 데이터 라인에 인가되는 데이터신호를 구동 트랜지스터로 전달하는 역할을 한다. 상기 구동 트랜지스터는 상기 스위칭 트랜지스터로부터 전달된 데이터 신호와 전원공급 라인으로부터 전달된 신호에 의해 제1전극(120)에 인가되는 전압을 결정한다.In this case, the switching transistor is driven by a scan signal applied to the gate line, and serves to transfer the data signal applied to the data line to the driving transistor. The driving transistor determines the voltage applied to the first electrode 120 based on the data signal transmitted from the switching transistor and the signal transmitted from the power supply line.

상기 구동트랜지스터는 투명기판(110) 상에 형성된 게이트전극(101)과, 상기 게이트전극(101) 상에 형성된 게이트절연막(102)과, 상기 게이트절연막(102) 상에 형성된 반도체층(103), 및 상기 반도체층(103) 상에 서로 이격되여 형성된 소스전극(104) 및 드레인전극(105)을 포함한다. 소스전극(104)은 스위칭 트랜지스터(미도시)의 드레인전극(105)과 연결되고, 드레인전극(105)은 제1전극(120)과 전기적으로 접속된다.The driving transistor includes a gate electrode 101 formed on the transparent substrate 110, a gate insulating film 102 formed on the gate electrode 101, a semiconductor layer 103 formed on the gate insulating film 102, And a source electrode 104 and a drain electrode 105 spaced apart from each other on the semiconductor layer 103. The source electrode 104 is connected to the drain electrode 105 of the switching transistor (not shown), and the drain electrode 105 is electrically connected to the first electrode 120.

드레인전극(105)과 제1전극(120) 사이에는 절연막(113)이 형성되며, 제1전극(120)은 상기 절연막(113)에 형성된 콘택홀(118)을 통해 전기적으로 연결된다. An insulating layer 113 is formed between the drain electrode 105 and the first electrode 120, and the first electrode 120 is electrically connected through the contact hole 118 formed in the insulating layer 113.

이때, 절연막(113)은 기판(110) 상에 돌출부(110A)와 함몰부(110B)로 이루어진 요철을 형성하기 위하여 유기발광층(130)이 형성되는 영역에 소정 두께 이상으로 형성된다. 이때, 돌출부(110A)는 유기발광층(130)이 형성되는 영역에 형성되며, 인쇄롤(133)의 표면이 함몰부(110B)에 접촉하지 않을 정도로 충분한 높이를 갖도록 형성되는 것이 바람직하다. 이때 절연막(113)의 두께는 필요에 따라 다양하게 변화시킬 수 있으나 1㎛~4.5㎛가 바람직하다.In this case, the insulating layer 113 is formed on the substrate 110 to have a predetermined thickness or more in a region where the organic light emitting layer 130 is formed to form the unevenness of the protrusion 110A and the depression 110B. In this case, the protrusion 110A is formed in a region where the organic light emitting layer 130 is formed, and is preferably formed to have a height sufficient to prevent the surface of the printing roll 133 from contacting the recess 110B. At this time, the thickness of the insulating film 113 can be variously changed as necessary, but is preferably 1㎛ ~ 4.5㎛.

상기 절연막(113)은 소스/드레인 전극이 형성된 기판(110) 전면에 보호층(112)을 충분한 두께로 형성하고 상기 보호층(112)을 요철을 가지도록 패터닝하 여 형성된다. 또는, 소정 두께로 보호층(112)을 형성한 후, 상기 보호층(112) 상에 유기절연막(114) 패턴을 충분한 두께로 형성하는 방법으로 마련된다.The insulating layer 113 is formed by forming a protective layer 112 to a sufficient thickness on the entire surface of the substrate 110 on which the source / drain electrodes are formed and patterning the protective layer 112 to have irregularities. Alternatively, the protective layer 112 may be formed to a predetermined thickness, and then the organic insulating layer 114 pattern may be formed to a sufficient thickness on the protective layer 112.

다음으로 상기한 바와 같은 구성을 가지는 유기전계발광소자의 제조방법을 도 5를 참조하여 설명한다.Next, a method of manufacturing an organic light emitting display device having the above configuration will be described with reference to FIG. 5.

먼저 절연물질로 이루어진 기판(110)을 준비하고, 상기 기판(110) 상에 박막트랜지스터(109)를 형성한다. 상기 박막트랜지스터(109)는 신호에 따라 제1전극(120)에 전압을 인가하기 위한 스위칭 소자로서 마련된다. First, a substrate 110 made of an insulating material is prepared, and a thin film transistor 109 is formed on the substrate 110. The thin film transistor 109 is provided as a switching element for applying a voltage to the first electrode 120 according to a signal.

상기 박막트랜지스터(109)를 형성하는 위해서는 먼저 기판(110) 상에 게이트전극(101)을 형성한다. 게이트전극(101)은 도전물질을 기판(110) 전면에 증착한 후 포토리소그래피공정을 통해 패터닝하여 형성할 수 있다.In order to form the thin film transistor 109, first, the gate electrode 101 is formed on the substrate 110. The gate electrode 101 may be formed by depositing a conductive material on the entire surface of the substrate 110 and patterning the same through a photolithography process.

이후, 상기 기판(110)의 전면에 게이트절연막(102)을 형성한다.Thereafter, a gate insulating film 102 is formed on the entire surface of the substrate 110.

그리고, 상기 게이트전극(101)의 상부에 비정질실리콘 박막 또는 다결정실리콘 박막을 형성하여 액티브층(103)을 형성한다. In addition, an amorphous silicon thin film or a polysilicon thin film is formed on the gate electrode 101 to form an active layer 103.

그 다음 상기 액티브층(103)의 소정영역의 상부에 소스전극(104)과, 상기 소스전극(104)과 일정간격 이격된 드레인전극(105)을 형성한다. 소스전극(104)과 드레인전극(105)은 도전물질을 기판(110)에 증착한 후 포토리소그래피공정을 통해 형성할 수 있다.Next, a source electrode 104 and a drain electrode 105 spaced apart from the source electrode 104 by a predetermined distance are formed on the predetermined region of the active layer 103. The source electrode 104 and the drain electrode 105 may be formed through a photolithography process after depositing a conductive material on the substrate 110.

그 다음에는, 박막트랜지스터(109)가 형성된 기판(110) 상에 돌출부(110A)가 구비된 절연막(113)을 형성한다. 돌출부(110A)가 구비된 절연막(113)은 이후 유기발광층(130)을 형성하기 위한 인쇄과정에서 인쇄롤(133)과의 접촉을 최대한 줄이고 패턴의 변형을 막기 위해 형성되는 것이다.Next, the insulating film 113 having the protrusion 110A is formed on the substrate 110 on which the thin film transistor 109 is formed. The insulating film 113 having the protrusion 110A is formed to minimize contact with the printing roll 133 and to prevent deformation of the pattern during the printing process for forming the organic light emitting layer 130.

상기 돌출부(110A)는 유기발광층(130)이 인쇄되는 영역에만 형성되며 박막트랜지스터(109)가 형성된 부분은 돌출부(110A)와 돌출부(110A)의 사이 부분은 돌출되지 않은 함몰부(110B)로 형성된다.The protrusion 110A is formed only in a region where the organic light emitting layer 130 is printed, and a portion where the thin film transistor 109 is formed is formed as a recess 110B that does not protrude between the protrusion 110A and the protrusion 110A. do.

돌출부(110A)가 구비된 절연막(113)을 형성하기 위해서는 박막트랜지스터(109)가 형성된 기판(110) 상에 절연막(113)을 전면 증착한 다음 식각하는 방식으로 돌출부(110A)를 형성한다. 이때, 절연막(113)은 무기 절연물질인 규소질화물(SiNx)이나 규소산화물(SiO2) 등을 사용할 수 있다.In order to form the insulating layer 113 having the protrusion 110A, the protrusion 110A is formed by depositing and then etching the insulating layer 113 on the substrate 110 on which the thin film transistor 109 is formed. In this case, the insulating film 113 may use silicon nitride (SiNx), silicon oxide (SiO 2), or the like, which is an inorganic insulating material.

또한 돌출부(110A)가 구비된 절연막(113)은 무기절연막으로 보호층(112)을 형성하고, 상기 보호층(112) 상에 유기절연막(114)을 더 형성하는 방법으로 형성할 수 있다. In addition, the insulating layer 113 having the protrusion 110A may be formed by forming a protective layer 112 as an inorganic insulating layer and further forming an organic insulating layer 114 on the protective layer 112.

이때, 유기절연막(114)은 벤조사이클로부텐(Benzocyclobutene; BCB) 또는 아크릴계 수지(resin)와 같은 저유전율의 유기발광물질(130)을 이용하여 인쇄 또는 코팅 방법으로 형성할 수 있다. In this case, the organic insulating layer 114 may be formed by a printing or coating method using a low dielectric constant organic light emitting material 130 such as benzocyclobutene (BCB) or acrylic resin (resin).

이때, 돌출부(110A)를 구비한 절연막(113)을 형성함에 있어, 돌출부(110A)의 높이는 인쇄롤(133)의 표면과 함몰부(110B)가 접촉하지 않게 하는 충분한 높이로 형성한다. 바람직하게는 함몰된 부분으로부터 약 상기 돌출부(110A)는 높이가 1㎛~4.5㎛ 정도 되도록 형성한다. At this time, in forming the insulating film 113 having the protrusions 110A, the height of the protrusions 110A is formed at a sufficient height so that the surface of the printing roll 133 does not come into contact with the depressions 110B. Preferably, from the recessed portion, the protrusion 110A is formed to have a height of about 1 μm to 4.5 μm.

이후, 상기 절연막(113) 상에 드레인전극(105)에 접속하는 제1전극(120)을 형성한다. 이때, 절연막(113) 상에 제1전극(120)과 드레인전극(105)을 접속하기 위 한 콘택홀(118)을 포토리소그래피를 이용하여 형성할 수 있다. 상기 제1전극(120)은 도전성 물질로 형성되며, 상기 콘택홀(118)을 통해 드레인전극(105)과 연결되어 박막트랜지스터(109)부터의 신호를 받아 이후 형성될 유기발광층(130)을 구동하게 된다. 이때 제1전극(120)은 하부의 절연층의 돌출부(110A) 형태에 따라 돌출부(110A) 상에 형성된다.Thereafter, a first electrode 120 is formed on the insulating layer 113 to be connected to the drain electrode 105. In this case, a contact hole 118 for connecting the first electrode 120 and the drain electrode 105 may be formed on the insulating layer 113 by photolithography. The first electrode 120 is formed of a conductive material and is connected to the drain electrode 105 through the contact hole 118 to receive a signal from the thin film transistor 109 to drive the organic light emitting layer 130 to be formed later. Done. In this case, the first electrode 120 is formed on the protrusion 110A according to the shape of the protrusion 110A of the lower insulating layer.

기판(110) 상에 제1전극(120)이 형성되면, 돌출부(110A) 상에 형성된 제1전극(120)의 상부에 롤프린팅으로 유기발광층(130)을 형성한다.When the first electrode 120 is formed on the substrate 110, the organic light emitting layer 130 is formed by roll printing on the first electrode 120 formed on the protrusion 110A.

도 6은 롤프린팅을 이용하여 유기발광층(130)을 인쇄하는 모습을 나타낸 것이다.6 shows a state in which the organic light emitting layer 130 is printed by using roll printing.

도면을 참조하면, 상기 제1전극(120) 상에 롤프린팅으로 유기발광층(130)을 형성하는 단계는, 인쇄롤(133)을 준비하고, 상기 인쇄롤(133)의 외주면에 유기발광물질(130)을 도포한 다음, 상기 유기발광물질(130)이 도포된 인쇄롤(133)을 인쇄롤(133) 상에 접촉시켜 인쇄롤(133)의 유기발광물질(130)에 상기 제1전극(120)과 대응하는 패턴을 형성한다. 그 다음 상기 제1전극(120)과 대응하는 인쇄롤(133)의 패턴을 상기 제1전극(120) 상에 전사하는 방식으로 이루어진다.Referring to the drawings, the step of forming the organic light emitting layer 130 by roll printing on the first electrode 120, preparing a printing roll 133, the organic light emitting material (on the outer peripheral surface of the printing roll 133) 130 is applied, and then the printing roll 133 coated with the organic light emitting material 130 is contacted on the printing roll 133 to contact the organic light emitting material 130 of the printing roll 133 with the first electrode ( A pattern corresponding to 120). Then, the pattern of the printing roll 133 corresponding to the first electrode 120 is transferred onto the first electrode 120.

상기 유기발광층(130)은 붉은색(R), 녹색(G), 푸른색(B)에 해당하는 유기발광물질(130)을 인쇄롤(133)로 따로 따로 인쇄할 수 있으며, 그 순서는 필요에 따라 조절이 가능하다. 이때, 하나의 인쇄롤(133)에 붉은색(R), 녹색(G), 푸른색(B)에 해당하는 유기발광물질(130)의 패턴을 모두 도포하여 한 번의 전사로 유기발광층(130)을 형성할 수도 있을 것이다.The organic light emitting layer 130 may separately print the organic light emitting material 130 corresponding to red (R), green (G), and blue (B) with a printing roll 133, and the order is necessary. Can be adjusted according to. At this time, the organic light emitting layer 130 by one transfer by applying all the patterns of the organic light emitting material 130 corresponding to the red (R), green (G), blue (B) to one printing roll 133 May form.

그 다음, 유기발광층(130)이 형성된 기판(110) 상에 제2전극(140)을 도전성 물질로 형성한다.Next, the second electrode 140 is formed of a conductive material on the substrate 110 on which the organic light emitting layer 130 is formed.

상기한 방법으로 형성된 유기전계발광소자는, 발광면에 따라 배면발광 타입과 전면발광 타입으로 나누어진다. 배면발광 타입은 제1전극(120)이 투명한 물질로, 제2전극(140)이 불투명한 물질로 형성되어 기판(110)의 유기발광층(130)이 형성되지 않은 면, 즉, 기판(110)의 배면으로 빛이 방출되는 형태를 말하며, 전면발광타입은 제1전극(120)이 불투명한 물질로, 제2전극(140)이 투명한 물질로 형성되어 기판(110)의 전면으로 빛이 방출되는 형태를 말한다.The organic light emitting display device formed by the above method is classified into a back light emitting type and a front light emitting type according to the light emitting surface. In the bottom emission type, the first electrode 120 is made of a transparent material, and the second electrode 140 is made of an opaque material, and thus the organic light emitting layer 130 of the substrate 110 is not formed, that is, the substrate 110. It refers to a form in which the light is emitted to the back side, the front emission type is the first electrode 120 is an opaque material, the second electrode 140 is formed of a transparent material to emit light to the front of the substrate 110 Say the form.

본 발명에 따른 유기전계발광소자에서는 전면발광 타입과 배면발광 타입 모두 가능하다. In the organic light emitting device according to the present invention, both a top light emitting type and a bottom light emitting type are possible.

이때, 금속으로 제1전극(120)을 형성하고, 투명한 도전성 물질인 ITO(Indium Tin Oxide)나 IZO(Indium Zinc Oxide)로 제2전극(140)을 형성하게 되면, 전면발광 타입의 유기전계발광소자가 된다. 이때, 제1전극(120)은 일함수가 작아 전자를 내놓는 음극(cathode)이 되며, ITO 등의 전극은 일함수가 커 양극(anode)로 작용한다. In this case, when the first electrode 120 is formed of metal, and the second electrode 140 is formed of indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO), which is a transparent conductive material, an organic light emitting diode having a top emission type It becomes an element. At this time, the first electrode 120 has a small work function and becomes a cathode for emitting electrons, and an electrode such as ITO has a large work function and serves as an anode.

반대로 ITO 등으로 제1전극(120)을 형성하고, 금속으로 제2전극(140)을 형성하게 되는 경우, 배면발광 타입의 유기전계발광소자가 되며, 제2전극(140)이 음극이 되며 제1전극(120)이 양극이 된다.On the contrary, when the first electrode 120 is formed of ITO or the like, and the second electrode 140 is formed of metal, the organic light emitting device of the bottom emission type is formed, and the second electrode 140 is a cathode. One electrode 120 becomes an anode.

따라서, 상기한 제1전극(120)과 제2전극(140)의 형성시 필요에 따라 물질을 달리하여 제조가 가능하다.Therefore, when forming the first electrode 120 and the second electrode 140, it is possible to manufacture by changing the material as needed.

본 발명은 상기한 바와 같은 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 예를 들어 본 발명에서는 유기발광층을 싱글 레이어로 형성하는 것을 설명하였으나 멀티레이어로 형성이 가능하며, 멀티레이어 중의 어느 한 층을 상기한 인쇄롤을 이용한 방법으로 형성할 수도 있다.The present invention is not limited to the above embodiments. For example, the present invention has been described in which the organic light emitting layer is formed as a single layer. However, the organic light emitting layer may be formed as a single layer, and any one of the multilayers may be formed by the method using the printing roll.

본 발명에 대해서 구체적으로 기재된 설명은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 따라서, 발명은 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다.The detailed description of the invention should be construed as illustrative of preferred embodiments rather than as limiting the scope of the invention. Accordingly, the invention is not to be determined by the embodiments described, but should be determined by equivalents to the claims and the appended claims.

상기한 바와 같이, 본 발명에 따르면 인쇄롤의 표면과 기판의 접촉 면적을 최소화하고, 인쇄롤에 의해 일정 압력으로 유기발광물질의 패턴이 일부 변형되더라도 돌출부와 그 다음 돌출부 사이에 형성된 홈 형태의 함몰부에 의해 구분되어 인접 화소에 영향을 주지 않게 하여, 불량을 저감한 유기전계발광소자의 제조방법을 제공한다.As described above, according to the present invention, the contact area between the surface of the printing roll and the substrate is minimized, and the groove-shaped depression is formed between the protrusion and the next protrusion even if the pattern of the organic light emitting material is partially deformed by the printing roll at a predetermined pressure. Provided is a method of manufacturing an organic light emitting display device, which is divided by a part so as not to affect adjacent pixels, thereby reducing defects.

따라서, 본 발명에 따르면 전사될 유기발광물질의 두께를 얇게 조절할 수 있으며, 특히, 박막의 두께를 500nm 이하로 형성된 유기전계발광소자의 제조방법을 제공한다.Therefore, according to the present invention, the thickness of the organic light emitting material to be transferred can be controlled to be thin, and in particular, a method of manufacturing an organic light emitting display device having a thickness of 500 nm or less is provided.

Claims (11)

기판을 준비하는 단계;Preparing a substrate; 상기 기판 상에 게이트전극과 소스전극 및 드레인전극을 포함하는 박막트랜지스터를 형성하는 단계;Forming a thin film transistor including a gate electrode, a source electrode, and a drain electrode on the substrate; 상기 박막트랜지스터가 형성된 기판 상에 돌출부가 형성된 절연막을 형성하는 단계;Forming an insulating film on which a protrusion is formed on the substrate on which the thin film transistor is formed; 상기 절연막 상에 상기 드레인전극에 전기적으로 접속하는 제1전극을 형성하는 단계;Forming a first electrode electrically connected to the drain electrode on the insulating film; 인쇄롤을 준비하는 단계;Preparing a printing roll; 상기 인쇄롤의 외주면에 유기발광물질을 도포하는 단계;Coating an organic light emitting material on an outer circumferential surface of the printing roll; 상기 유기발광물질이 도포된 인쇄롤을 클리체(cliche) 상에 접촉시켜 상기 인쇄롤의 유기발광물질에 상기 돌출부 상에 형성된 제1전극과 대응하는 패턴을 형성하는 단계;Contacting the printing roll coated with the organic light emitting material on a cliché to form a pattern corresponding to the first electrode formed on the protrusion on the organic light emitting material of the printing roll; 상기 돌출부 상에 형성된 제1전극 상에 상기 제1전극과 대응하는 인쇄롤의 패턴을 전사하여 유기발광층을 형성하는 단계; 및 Transferring the pattern of the printing roll corresponding to the first electrode on the first electrode formed on the protrusion to form an organic light emitting layer; And 상기 유기발광층이 형성된 기판 상에 제2전극을 형성하는 단계를 포함하는 유기전계발광소자 제조방법.And forming a second electrode on the substrate on which the organic light emitting layer is formed. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 절연막을 형성하는 단계는Forming the insulating film 상기 기판상에 절연막을 전면 증착하고 식각하여 패터닝하여 돌출부를 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법.And depositing an insulating film on the substrate to form a protrusion by etching and patterning the insulating film on the substrate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 절연막을 형성하는 단계는Forming the insulating film 상기 기판 상에 보호층을 전면 증착하는 단계; 및Depositing a protective layer on the substrate; And 상기 보호층이 형성된 기판 상의 일부분에 유기절연막을 형성하여 돌출부를 형성하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법.Forming a protrusion by forming an organic insulating film on a portion of the substrate on which the protective layer is formed. 제2항 또는 제3항에 있어서,The method according to claim 2 or 3, 상기 돌출부는 높이가 1㎛ ~ 4.5㎛ 되도록 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법.The protrusion is formed in the organic light emitting device, characterized in that the height is formed to 1㎛ ~ 4.5㎛. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 유기절연막을 형성하는 단계는 인쇄 또는 코팅으로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법.Forming the organic insulating film is an organic electroluminescent device manufacturing method, characterized in that formed by printing or coating. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 유기절연막은 벤조사이클로부텐(Benzocyclobutene; BCB) 또는 아크릴계 수지(resin)의 저유전율의 유기물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법.The organic insulating film is a method of manufacturing an organic light emitting display device, characterized in that formed of a low dielectric constant organic material of benzocyclobutene (BCB) or acrylic resin (resin). 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 박막트랜지스터는 상기 돌출부와 돌출부의 사이의 함몰부에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법.The thin film transistor is formed in the depression between the protrusion and the protrusion manufacturing method of the organic light emitting device. 제1항 있어서,The method of claim 1, 상기 인쇄롤의 외주면에 유기발광물질을 도포하는 단계는 붉은색, 녹색, 푸른색 중 어느 하나의 색을 발광하는 유기발광물질을 도포하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법.The step of applying the organic light emitting material on the outer circumferential surface of the printing roll is an organic electroluminescent device manufacturing method, characterized in that for applying an organic light emitting material for emitting any one of red, green, blue color. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 인쇄롤의 외주면에 유기발광물질을 도포하는 단계는 붉은색, 녹색, 푸른색 중 어느 하나의 색을 발광하는 유기발광물질을 각각 하나의 인쇄롤에 도포하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법.The step of applying the organic light emitting material on the outer circumferential surface of the printing roll is an organic electroluminescent device manufacturing, characterized in that the organic light emitting material for emitting any one of red, green, blue color applied to each of the printing roll Way. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 박막트랜지스터를 형성하는 방법은,The method of forming the thin film transistor, 상기 기판 상에 게이트전극을 형성하는 단계;Forming a gate electrode on the substrate; 상기 게이트전극 상에 게이트절연막을 형성하는 단계;Forming a gate insulating film on the gate electrode; 상기 게이트절연막 상에 액티브패턴을 형성하는 단계; 및Forming an active pattern on the gate insulating film; And 상기 액티브패턴 상에 서로 이격되어 형성된 소스전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법.Forming a source electrode and a drain electrode formed on the active pattern to be spaced apart from each other. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 액티브패턴은 실리콘 박막으로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법.The active pattern is a method of manufacturing an organic light emitting device, characterized in that formed of a silicon thin film.
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