KR20080060111A - Fabricating methode of electroluminescent device - Google Patents

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Abstract

A fabricating method of an organic electroluminescence device is provided to reduce failure by forming a recessed unit between protrusion units to prevent an adjacent pixel from being affected by partial deformation of a pattern due to the pressing of a printing roll. A fabricating method of an organic electroluminescence device includes the steps of: preparing a substrate(110); forming a thin film transistor(109) including a gate electrode, a source electrode, and a drain electrode on the substrate; forming an insulating layer(113) having a protrusion unit(110A) on the substrate; forming a first electrode electrically connected to the drain electrode on the insulating layer; forming an organic light emitting layer(130) on the first electrode by roll printing; and forming a second electrode on the organic light emitting layer.

Description

유기전계발광소자의 제조방법{FABRICATING METHODE OF ELECTROLUMINESCENT DEVICE} Method of manufacturing an organic electroluminescent device METHODE OF FABRICATING {ELECTROLUMINESCENT DEVICE}

도 1은 종래의 일반적인 유기전계발광소자를 나타낸 개념도. 1 is a conceptual diagram illustrating a conventional general organic electroluminescent device.

도 2는 상기 유기전계발광소자의 밴드다이어그램(band diagram). Figure 2 is a band diagram of the organic light emitting device (band diagram).

도 3은 종래 기술에 따라 유기발광물질을 기판에 인쇄하여 유기박막을 형성하는 과정을 나타낸 개념도. 3 is printed on the substrate an organic light-emitting material according to the prior art schematic diagram showing a process of forming an organic thin film.

도 4는 본 발명에 따른 유기전계발광소자를 제조하기 위해, 요철을 형성한 기판에 인쇄롤을 이용하여 유기발광물질을 전사하는 과정을 나타낸 개념도. Figure 4 using a printing roll to the substrate to form a concave-convex, in order to manufacture the organic EL device according to the present invention, a conceptual diagram illustrating a process of transferring the organic light emitting material.

도 5는 본 발명에 의한 유기전계발광소자의 한 화소를 나타낸 단면도. Figure 5 is a sectional view of the one pixel of the organic light emitting device according to the present invention.

도 6은 롤프린팅을 이용하여 유기발광층을 인쇄하는 모습을 나타낸 단면도. 6 is a sectional view showing a state of printing the organic light-emitting layer using a printing roll.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명> <Description of the Related Art>

109 : 박막트랜지스터 110 : 기판 109: thin film transistor 110: substrate

113 : 절연막 114 : 유기절연막 113: insulating film 114, the organic insulating film

120 : 제1전극 130 : 유기발광층 120: first electrode 130: organic light-emitting layer

133 : 인쇄롤 140 : 제2전극 133: printing roll 140: second electrode

본 발명은 유기전계발광소자의 제조방법에 관한 것으로, 더 자세하게는 기판에 요철을 형성하여 요철부에 유기발광물질을 인쇄하여 유기전계발광소자를 제조하는 방법에 관한 것이다. The invention relates to a method by printing the organic light emitting material in the concave portion by forming the unevenness to be, more particularly, it relates to a process for preparing a substrate of an organic EL device for producing an organic electroluminescent device.

21세기는 정보화 사회가 될 것으로 예상되는데, 이에 따라 어디에서나 손쉽게 정보를 얻을 필요가 있기 때문에 멀티미디어용 고성능 평판표시소자의 개발이 중요시되고 있다. The 21st century there is expected to be the information society, in accordance with this because where there is a need to get information from any easily have been important for the development of high performance multimedia devices for flat panel displays. 특히, 통신 및 컴퓨터에 관련하여 반도체와 표시장치의 소자개발에 관련한 기술개발이 중요시되고 있고 있다. In particular, in the context of communications and computer, and is important in the technology development relating to development of a semiconductor device and a display device. 그 중 천연색표시소자로써 주목받는 소자가 유기전계발광소자이다. That of a light emitting element is an organic electroluminescence element as a spotlight color display element.

도 1은 종래의 일반적인 유기전계발광소자를 나타낸 개념도이며, 도 2는 상기 유기전계발광소자의 밴드다이어그램(band diagram)이다. 1 is a conceptual diagram showing a conventional general organic EL device, Figure 2 is a band diagram (band diagram) of the organic light emitting device.

도 1에 도시된 바와 같이, 유기전계발광소자는 일함수(work function)가 높은 금속전극과 낮은 금속전극 사이에 발광물질이 삽입되는 구조로 되어 있다. 1, the organic electroluminescent device is a work function (work function) has a high metal electrode and the lower metal electrode is inserted into the structure between light-emitting material. 일함수가 높은 금속전극은 발광물질에 정공을 주입하는 양극(anode;7)으로 사용되고 낮은 금속전극은 발광물질에 전자를 주입하는 음극(cathode;3)으로 사용된다. The metal electrode is a high work function anode for injecting holes into the light emitting material; lower metal electrode used as the (anode 7) is the anode (cathode; 3) of injecting electrons into the light emitting material is used.

발광된 빛이 발광소자 외부로 발산되게 하기 위하여 한쪽 전극은 발광파장영역에서 빛의 흡수가 거의 없는 투명한 물질을 사용한다. In order to make the emission light emitted by the light emitting element outside of the one electrode is a transparent material having a light absorption with little in the emission wavelength region. 투명전극으로는 ITO(Indium Tin Oxide)가 가장 많이 사용되며, 이 금속은 통상 정공이 주입되는 양극(7)으로 사용된다. A transparent electrode is the most commonly used ITO (Indium Tin Oxide), a metal is used as the anode 7 which is a conventional hole-injection. 음극(3)으로는 전자의 주입을 용이하게 하기 위해 일반적으로 일함수가 낮은 금속을 사용한다. Cathode 3 in the uses generally a low work function metal in order to facilitate the injection of electrons.

유기전계발광소자의 발광의 원리는 다음과 같다. The principle of light emission of the organic EL device is as follows. 일함수가 높은 양극(7)과 낮은 음극(3)에서 각각 정공과 전자가 발광층(5)에 주입되면, 상기 발광층(5) 내에 엑시톤(exciton)이 생성되며, 이 엑시톤이 발광, 소멸(decay)함에 따라 도 2에 도시된 발광층(15)의 LUMO(Lowest Unoccupied Molecular Orbital)와 HOMO(Highest Occupied Molecular Orbital)의 에너지 차이에 해당하는 빛이 발생하게 된다. When the work function is injected into the high positive electrode 7 and the lower the negative electrode 3, respectively holes and electrons are light-emitting layer 5 in, and the exciton (exciton) produced in the light-emitting layer 5, the exciton light emission, decay (decay ) it is also to the light corresponding to the energy difference between the occurrence of the light-emitting layer (15) LUMO (Lowest Unoccupied Molecular Orbital) and the HOMO (Highest Occupied Molecular Orbital) of Fig. 2, as.

상기 발생하는 빛은 발광층을 구성하는 유기박막이 어떤 물질이냐에 따라 그 색깔이 달라질 수 있는데, 적, 녹, 청색의 빛을 내는 유기박막을 이용하여 천연색을 구현할 수 있다. The light that is generated there is an organic thin film constituting the light emitting layer materials which yinya in that color can vary, red, may implement a multi-colored by using the organic thin film emits light of green, and blue.

상기한 유기전계발광소자를 제조하기 위해서는 발광층을 형성하는 유기박막을 기판 상에 형성하는 과정이 필요하다. In order to manufacture the organic EL device requires a process of forming the organic thin film to form a light emitting layer on the substrate.

이러한 유기발광물질로 일정 두께를 가지는 박막 발광층을 형성하기 위해서는 다양한 방법이 사용될 수 있으나, 액상으로 형성가능한 용해성(soluble) 유기발광물질인 경우 롤프린팅(roll printing) 방식으로 형성이 가능하다. In order to form a thin-film light-emitting layer having a predetermined thickness in such an organic light emitting material it can be a variety of methods may be used, if formed into a liquid as possible soluble (soluble) organic light emitting material formed by roll printing (printing roll) fashion. 롤프린팅 방식이란, 인쇄용 롤의 표면에 기판 상에 패턴을 형성하기 위한 물질을 도포한 후, 인쇄용 롤을 제1기판 상에서 일정 압력 및 속도로 회전시켜 상기 도포된 물질을 기판에 전사시켜 인쇄하는 방식이다. Roll printing method is a method in which the way that is rotated at a constant pressure and speed printing by transferring the coating material to the substrate after applying the material for forming a pattern on a substrate on the surface of the printing roll, the printing roll on a first substrate to be.

도 3은 종래 기술에 따라 유기발광물질을 기판에 인쇄하여 유기박막을 형성하는 과정을 나타낸 개념도이다. 3 is a conceptual diagram to print on the substrate an organic light-emitting material according to the prior art illustrating a process of forming the organic thin film.

먼저, 도 3a와 같이, 인쇄롤(33)의 외주면에 유기발광물질(30)을 도포한다. First, as shown in Figure 3a, it is applied to the organic light emitting material 30 to the outer peripheral surface of the printing roll (33). 유기발광물질(30) 도포과정은 인쇄롤(33)의 외주면에 인쇄하고자 하는 유기발광물 질(30)을 공급용기(34)에 채운 다음, 유기발광물질(30)이 채워진 공급용기(34)를 인쇄롤(30)에 닿도록 한 후, 인쇄롤(30)을 회전시켜 외주면에 유기발광물질(33)을 도포하는 과정으로 이루어질 수 있다. The organic light emitting material (30) coating process of the organic light emitting water filled in the quality (30) on the supply container 34 is then filled with the organic light emitting material 30, the supply container 34 to be printed on the outer peripheral surface of the print roll 33 after a rest against the print roll 30, it is possible to rotate the printing roll 30 made of a process for coating the organic light emitting material 33 to the outer peripheral surface.

그 다음, 도 3b와 같이, 먼저 형성하고자 하는 패턴과 대응하는 홈이 형성된 클리체(cliche, 35)를 준비하여 인쇄롤(33)을 클리체(35) 상에 접촉시켜 회전시킴으로써 인쇄롤(33)의 유기발광물질(30) 패턴을 형성한다. Then, as shown in FIG. 3b, to prepare the cleaners body (cliche, 35) having a groove corresponding to the pattern to be formed first, contacting the printing roll 33 on the Cleveland body 35 printed by rotating the roll (33 ) to form a pattern of the organic light emitting material (30).

이후, 도 3c와 같이, 패턴이 형성된 유기발광물질(30)이 도포된 인쇄롤(33)을 기판(10) 상에 접촉하여 회전시킴으로써 유기발광물질(30) 패턴을 기판(10)에 전사하여 인쇄한다. Then, as shown in Figure 3c, the pattern contacts the formed organic light-emitting material printed 30 is applied to the roll 33 on the substrate 10 to transfer the organic light-emitting material 30 pattern by rotating the substrate 10, print.

유기전계발광소자는 상기한 인쇄 방법을 거쳐 유기발광물질(30)으로 이루어진 발광층을 형성할 수 있다. The organic electroluminescent device through the above-described printing method to form a light emitting layer made of organic light emitting material (30).

그런데, 상기한 롤프린팅을 이용하여 패터닝된 유기발광물질(30)을 기판(10)에 전사하여 박막을 형성하는 경우에는 인쇄롤(33) 표면의 탄성을 이용하여 일정 압력을 가하여 기판(10)에 전사를 하게 된다. However, in the case of forming a thin film by transferring the organic light-emitting material 30 it is patterned by using the above roll printing on the substrate 10, applying a predetermined pressure by an elasticity of the surface of the print roll 33, substrate 10, is the transcription. 즉, 유기발광물질(30)이 기판(10)상에 효과적으로 부착될 수 있도록 일정 압력을 가하게 되는 것이다. In other words, that the predetermined pressure to exert an organic light-emitting material 30 can be effectively attached to the substrate 10. 그러나, 액상의 유기발광물질(30)을 가압하기 때문에 유기발광물질(30)의 패턴에 변형을 일으키며, 기판(10) 상에 원하는 영역보다 넓은 영역에 형성되어 인접한 화소 영역까지 유기발광물질(30)이 전사될 수 있어, 이로 인해 소자의 불량을 야기하였다.. However, pressurizing the liquid organic light emitting material (30) due to causes a modification to the pattern of the organic light-emitting material 30, the substrate 10 a is formed in a large area than the desired area on to the adjacent pixel area the organic light emitting material (30 ) it can be the transfer, and because of this cause a failure of the device.

또한, 인쇄롤(33)은, 일반적으로, 본체(31)와 본체를 감싸며 규소 화합물로 이루어진 블랭킷(blanket, 32)으로 구성되는데, 규소 화합물 블랭킷(32)과 기 판(10) 사이의 표면에너지 차이는 전사하고자 하는 유기발광물질(30)과 기판(10) 사이의 표면에너지 차이보다 크다. In addition, the printing roll 33 is, in general, consists of a body 31 and a blanket (blanket, 32) made of a surrounding silicon compound to the body, the surface energy between the silicon compound blanket 32 ​​and the exchanger plate 10 difference is greater than the surface energy difference between the organic light emitting material 30 and the substrate 10 to be transferred. 이 때문에, 유기발광물질(30)을 전사하고자 할 때 상기 압력에 의해 인쇄롤(33)의 표면이 기판(10)에 접촉하게 되면, 유기발광물질(30)이 효과적으로 기판(10)에 전사되지 않고 블랭킷(32)의 한쪽으로 밀려 패턴의 드래깅(dragging)이 일어나거나 유기발광물질(30)이 기판(10)에서 떨어져 파티클이 생성되기 때문에 기판(10)과 인쇄롤(33)의 접촉면적을 최소화하는 것이 바람직하다. Therefore, when you want to transfer the organic light-emitting material 30, the surface of the printing roll (33) by the pressure in contact with the substrate 10, the organic light emitting material 30 is not transferred to the effective substrate 10 without a blanket 32, the dragging (dragging) the pattern up and pushed to one side or the contact area between the substrate 10 and print roll 33. because the organic light-emitting material 30 is located on the substrate 10, the particles are generated in to a minimum it is preferred.

이러한 복합적인 이유로 유기발광물질의 두께, 즉 유기박막의 두께가 일정 두께 이상, 즉 약 1000nm 이상이어야만 패턴의 전사가 가능하였다. This thickness of the organic luminescent material complex reason, that is more than the thickness of the organic thin film fixed thickness, i.e., be a transfer of at least about 1000nm pattern was possible. 특히 500nm 이하의 두께를 갖는 유기발광물질의 경우에는 유기박막의 두께가 얇아, 패턴의 변형이 상대적으로 심하고 유기박막의 패턴의 경계에서 얇은 두께로 인해 인쇄롤이 기판과 접촉하게 되어 전사가 매우 어려운 문제점이 있었다. In particular, the organic light emitting material having a thickness of 500nm or less, the thinner the thickness of the organic thin film, the pattern deformation becomes severe and relatively due to a small thickness on the boundary between the organic thin film pattern in contact with the printing roll substrate transfer is very difficult there was a problem.

상기한 문제점을 해결하기 위해 본 발명은 인쇄롤의 표면이 기판에 직접 접하는 것을 방지하고 접촉하는 면적을 최소화함으로써 불량을 저감한 고품질의 유기전계발광소자의 제조방법를 제공함에 그 목적이 있다. In order to solve the above problems an object of the present invention is to provide manufacture of bangbeopreul printing roll surface a high-quality organic EL device to prevent and reduce the defects by minimizing the area in contact with the contact directly to the substrate.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기전계발광소자 제조방법은, 기판을 준비하는 단계와, 상기 기판 상에 게이트전극과, 소스전극, 및 드레인전극을 포함하는 박막트랜지스터를 형성하는 단계와, 상기 박막트랜지스터가 형성된 기 판 상에 돌출부가 형성된 절연막을 형성하는 단계와, 상기 절연막 상에 드레인전극에 전기적으로 접속하는 제1전극을 형성하는 단계와, 상기 돌출부 상에 형성된 제1전극 상에 롤프린팅으로 유기발광층을 형성하는 단계, 및 상기 유기발광층 상에 제2전극을 형성하는 단계를 포함한다. Forming a thin film transistor including an organic EL device manufacturing method includes the steps, and a gate electrode on the substrate, a source electrode and a drain electrode to prepare a substrate according to the present invention for achieving the above object and , comprising the steps of: forming an insulating film with a projection on the group plate onto which the thin film transistor is formed is formed, and forming a first electrode electrically connected to the drain electrode on the insulating film, on a first electrode formed on the projecting portion forming an organic light-emitting layer by roll printing, and forming a second electrode on the organic light-emitting layer.

상기 절연막을 형성하는 단계는 상기 기판상에 절연막을 전면 증착하고 식각하여 패터닝하여 돌출부를 형성하거나, 상기 기판 상에 보호층을 전면 증착하는 단계와 상기 보호층이 형성된 기판 상의 일부분에 유기절연막을 형성하여 돌출부를 형성하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다. Forming said insulating film is formed in the organic insulation film to a portion of the substrate having a step and the protective layer to form the protrusion is patterned by depositing front and etching the insulating film on the substrate, the front depositing a protective layer on the substrate and it characterized by comprising the step of forming the protrusions.

상기 유기절연막은 벤조사이클로부텐(Benzocyclobutene; BCB) 또는 아크릴계 수지(resin)와 같은 저유전율의 유기발광물질로, 인쇄 또는 코팅으로 형성할 수 있다. The organic insulating film is benzocyclobutene; the organic light emitting material having a low dielectric constant such as (Benzocyclobutene BCB) or acryl-based resin (resin), it can be formed by printing or coating.

이때, 상기 돌출부는 높이가 1㎛~4.5㎛ 정도 되도록 형성하는 것이 바람직하다. At this time, the projecting portion is preferably formed so that the degree 1㎛ ~ 4.5㎛ height.

한편, 상기 제1전극 상에 롤프린팅으로 유기발광층을 형성하는 단계는, 인쇄롤을 준비하는 단계와, 상기 인쇄롤의 외주면에 유기발광물질을 도포하는 단계와, 상기 유기발광물질이 도포된 인쇄롤을 클리체 상에 접촉시켜 인쇄롤의 유기발광물질에 상기 제1전극과 대응하는 패턴을 형성하는 단계, 및 상기 제1전극 상에 상기 제1전극과 대응하는 인쇄롤의 패턴을 전사하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다. On the other hand, wherein the step of forming the organic light-emitting layer by roll printing on the first electrode includes a step of preparing a printing roll, comprising the steps of applying the organic light emitting material on the outer peripheral surface of the printing roll, printing the organic light-emitting material applied the method comprising contacting the rolls in the Cleveland body formed with a pattern corresponding to the first electrode in the organic light emitting material of the printing roll, and the step of transferring the pattern of the printing roll and the corresponding first electrode on the first electrode that comprising the features.

또한, 상기 박막트랜지스터를 형성하는 방법은, 상기 기판 상에 게이트전극 을 형성하는 단계와, 상기 게이트전극 상에 게이트절연막을 형성하는 단계와, 상기 게이트절연막 상에 액티브패턴을 형성하는 단계, 및, 상기 액티브층 상에 서로 이격되어 형성된 소스전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다. Further, the method of forming the thin film transistor, comprising: forming a gate insulating film on the gate electrode and forming a gate electrode on the substrate, forming an active pattern over the gate insulating film, and, It characterized by comprising the steps of forming a source electrode and a drain electrode formed apart from each other on the active layer.

이때, 상기 액티브패턴은 실리콘 박막으로 형성한다. In this case, the active pattern is formed of a silicon thin film.

종래 발명의 문제점을 해결하기 위해 본 발명에서는 기판에 유기발광물질을 전사하기 위해 기판 표면에 요철을 형성하여 인쇄롤과 기판이 직접 접하는 것을 방지한다. The present invention to solve the problems of the prior invention by forming the unevenness on the substrate surface in order to transfer the organic light emitting material to the substrate to prevent direct contact with the printing roll and the substrate.

도 4는 본 발명에 따른 유기전계발광소자를 제조하기 위해, 요철을 형성한 기판에 인쇄롤(133)을 이용하여 유기발광물질을 전사하는 과정을 나타낸 개념도이다. 4 is a conceptual diagram illustrating a process of transferring the organic light emitting material using the printing roll 133 to the substrate forming the unevenness to obtain an organic EL device according to the present invention. 유기발광물질은 다양한 종류가 있으나 본 발명에서는 액상으로 형성이 가능한 솔루블(soluble) 유기발광물질을 이용하여 유기전계발광소자를 제작하는 방법에 대해 설명한다. The organic light emitting material in the present invention, but are different types with this possible solution block (soluble) organic light emitting material formed of a liquid will be described a method of making an organic electroluminescent device.

도면을 참조하여 설명하면, 먼저, 도 4a와 같이, 인쇄롤(133)의 외주면에 유기발광물질(130)을 도포한다. Referring to the figure, first, applying an organic light-emitting material 130 to the outer peripheral surface of the as shown in Figure 4a, a printing roll 133. 유기발광물질(130) 도포과정은 인쇄롤(133)의 외주면에 인쇄하고자 하는 유기발광물질(133)을 공급용기(134)에 채운 다음, 유기발광물질(130)이 채워진 공급용기(134)를 인쇄롤(133)에 닿도록 한 후, 인쇄롤(133)을 회전시켜 외주면에 유기발광물질(130)을 도포하는 과정으로 이루어질 수 있다. An organic light emitting material 130 is applied to process, and then, the organic light emitting material supply container 134, 130 is filled with filling in the organic light emitting material 133, the supply container 134 to be printed on the outer peripheral surface of the printing roll (133) and then to reach the printing roll 133, the can by rotating the printing roll 133 is made of a process for coating the organic light emitting material (130) on the outer peripheral surface.

그 다음, 도 4b와 같이, 먼저 형성하고자 하는 패턴과 대응하는 홈이 형성된 클리체(cliche, 135)를 준비하여 인쇄롤(133)을 인쇄롤(133) 상에 접촉시켜 회전시 킴으로써 인쇄롤(133)의 유기발광물질(130)에 패턴을 형성한다. Then, as shown in Figure 4b, Cleveland body groove is formed corresponding to the pattern to be formed first (cliche, 135) to prepare the printing roll by Kim rotation by contacting the print roll 133 on the printing roll 133, to form a pattern on the organic light-emitting material 130 of 133.

이후, 도 4c와 같이, 인쇄에 의해 유기발광물질(130)이 형성될 영역에 대응하는 부분이 돌출된 돌출부(110A)와 돌출부(110A)의 사이의 함몰부(110B)로 형성된 기판(110)을 준비하고, 패턴이 형성된 유기발광물질(130)이 도포된 인쇄롤(133)을 기판(110)의 돌출부(110A)에 접촉하여 회전시킴으로써 유기발광물질(130) 패턴을 기판(110)에 전사한다. Then, as shown in Figure 4c, the substrate 110 is formed of a depressed portion (110B) between the protrusions (110A) and a projection (110A) portions protrude corresponding to the region to be formed in the organic light emitting material 130 by a printing prepared, and the pattern is formed, the organic light emitting material 130 is in contact with the applied printing roll 133 to the projection (110A) of the substrate 110 is transferred to the organic light emitting material 130, a pattern by rotating the substrate 110, the do.

상기한 바와 같이 유기발광물질(130)이 형성될 부분만 돌출된 기판(110) 상에 유기발광물질(130)을 전사하는 경우 기판(110) 상에 돌출된 돌출부(110A)에만 유기발광물질(130)이 전사되므로 인쇄롤(133)의 표면과 기판(110)의 접촉 면적을 최소화할 수 있다. The organic light-emitting material 130 only to the organic light emitting material protrusion (110A) protruding on the substrate 110, if the transfer of the organic light-emitting material 130 onto the substrate 110 protrude only part to be formed, as described above ( 130) is transferred, because it is possible to minimize the contact area between the surface and the substrate 110 of the printing roll 133.

또한, 인쇄롤(133)에 의해 일정 압력으로 유기발광물질(130)의 패턴이 일부 변형되더라도 돌출부(110A)와 그 다음 돌출부(110A) 사이에 형성된 홈 형태의 함몰부(110B)에 의해 구분되어 인접 화소에 영향을 주지 않는다. In addition, divided by the printing roll, even by 133, the pattern of the organic light emitting material 130 is some variation at a predetermined pressure the protrusions (110A) and then the projecting portion (110A), the Home type of the depressed portion (110B) formed between It does not influence the adjacent pixels.

따라서, 전사될 유기발광물질(130)의 두께를 얇게 조절할 수 있으며, 특히, 박막의 두께를 500nm 이하로 형성할 수 있게 된다. Accordingly, thin to control the thickness of the organic light emitting material 130 is to be transferred, in particular, it is possible to form the thickness of the thin film to 500nm or less.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 요철이 형성된 유기전계발광소자와 그 제조방법에 대하여 상세히 설명한다. Will be described in detail in the organic electroluminescent device and a method of manufacturing irregularities are formed according to the following, the present invention will be described with reference to the drawings.

도 5는 본 발명에 의한 유기전계발광소자의 한 화소를 나타낸 단면도이다. Figure 5 is a cross-sectional view of a pixel of an organic light emitting device according to the present invention.

우선, 본 발명에 따른 유기전계발광소자를 설명하면, 본 발명에 따른 유기전계발광소자는 기판(110) 상에 형성된 제1전극(120)과, 제1전극(120) 상에 형성되며 유기박막으로 이루어진 유기발광층(130)과, 상기 유기발광층(130) 상에 형성된 제2전극(140), 및 상기 제1전극(120)에 전압을 인가하는 박막트랜지스터(109)를 포함하여 구성된다. First of all, explaining the organic EL device according to the present invention, the organic EL device according to the present invention is formed on the first electrode 120, a first electrode 120 formed on the substrate 110. The organic thin film is configured to include a second electrode 140, and the thin film transistor 109 for applying a voltage to the first electrode 120 formed on the organic emission layer 130, the organic emission layer 130 is made of.

이때, 상기 발광층(140)은 크게 싱글레이어(single layer)와 멀티레이어(multi-layer)로 나눌 수 있는데, 싱글레이어는 제1전극(120)과 제2전극(140) 사이에 유기발광층(130)으로 하나의 발광층이 형성된 구조이고, 멀티레이어는 제1전극(120)과 제2전극(140) 사이에 복수 개의 층이 형성된 구조이다. In this case, the emission layer 140 is there largely divided into a single layer (single layer) and a multi-layer (multi-layer), single-layer organic light-emitting layer between the first electrode 120 and second electrode 140 (130 ) with a structure having a single light emitting layer, a multilayer structure is a plurality of layers between the first electrode 120 and the second electrode 140 is formed.

상기 멀티레이어 양면발광 유기전계발광소자는 유기층이 여러 층으로 형성될 수 있으며, 전자수송층(electron transport layer), 발광층(emissive layer), 정공수송층(hole transport layer), 정공주입층(hole injection layer)을 포함한다. The multi-layer both-side emission organic electroluminescent device is an organic layer may be formed in different layer, an electron transporting layer (electron transport layer), a light emitting layer (emissive layer), a hole transport layer (hole transport layer), a hole injection layer (hole injection layer) It includes. 본 발명의 실시예에 의하면 필요에 따라 싱글레이어나 멀티레이어 모두 롤프린팅의 방법을 이용하여 구성이 가능할 것이나 편의상 싱글레이어만 도면에 나타내었다. According to an embodiment of the invention shown in the drawings only single-layer or multi-layer single layer for convenience would be all the configuration using the method of the printing roll, if necessary.

유기전계발광소자는, 도시하지는 않았지만, 투명기판(110) 상에 실질적으로 수직 교차하는 게이트라인과 데이터라인에 의해 매트릭스 형태의 단위 화소영역이 정의되고, 상기 단위 화소마다 박막트랜지스터(TFT, 109)가 형성되어 각 단위화소에 신호를 인가한다. The organic light emitting element is not substantially perpendicular by intersects the gate line and data line is a unit pixel area of ​​a matrix is ​​defined for each of the unit pixel thin film transistor (TFT, 109) on a transparent substrate 110, although shown It is formed to apply a signal to the respective unit pixels. 각 단위화소에 형성되는 박막트랜지스터(109)는 스위칭트랜지스터(미도시)와 구동트랜지스터로 구성되며, 상기 박막트랜지스터(109)에 의한 신호에 따라 제1전극(120)에 전압을 인가하면 각 화소에 형성된 유기발광층(130)이 형성된 붉은색(R), 녹색(G), 푸른색(B)으로 발광하여 화상을 형성한다. The thin film transistor 109 is formed in each unit pixel by applying a voltage to the first electrode 120 in accordance with the signals due to consist of a switching transistor (not shown) and the drive transistor, the TFT 109 in each pixel by emitting light of a red color (R), green (G), blue (B) organic light emitting layer 130 is formed is formed to form an image.

이때, 상기 스위칭 트랜지스터는 게이트 라인에 인가되는 스캔 신호에 의해 구동되며, 데이터 라인에 인가되는 데이터신호를 구동 트랜지스터로 전달하는 역할을 한다. At this time, the switching transistor is driven by a scanning signal applied to the gate line, and serves to transfer the data signal applied to the data line to the driving transistor. 상기 구동 트랜지스터는 상기 스위칭 트랜지스터로부터 전달된 데이터 신호와 전원공급 라인으로부터 전달된 신호에 의해 제1전극(120)에 인가되는 전압을 결정한다. The driving transistor determines the voltage applied to the first electrode 120 by a signal transmitted from a data signal and a power supply line passed from the switching transistor.

상기 구동트랜지스터는 투명기판(110) 상에 형성된 게이트전극(101)과, 상기 게이트전극(101) 상에 형성된 게이트절연막(102)과, 상기 게이트절연막(102) 상에 형성된 반도체층(103), 및 상기 반도체층(103) 상에 서로 이격되여 형성된 소스전극(104) 및 드레인전극(105)을 포함한다. The drive transistor includes a semiconductor layer 103 formed on the gate electrode 101, a gate insulating film 102 and the gate insulating film 102 formed on the gate electrode 101 is formed on the transparent substrate 110, and a source electrode 104 and drain electrode 105 formed doeyeo spaced from each other on the semiconductor layer 103. 소스전극(104)은 스위칭 트랜지스터(미도시)의 드레인전극(105)과 연결되고, 드레인전극(105)은 제1전극(120)과 전기적으로 접속된다. The source electrode 104 is connected to the drain electrode 105 of the switching transistor (not shown), a drain electrode 105 is electrically connected to the first electrode 120.

드레인전극(105)과 제1전극(120) 사이에는 절연막(113)이 형성되며, 제1전극(120)은 상기 절연막(113)에 형성된 콘택홀(118)을 통해 전기적으로 연결된다. Between the drain electrode 105 and the first electrode 120, the insulating film 113 is formed, the first electrode 120 is electrically connected through a contact hole 118 formed in the insulating film 113.

이때, 절연막(113)은 기판(110) 상에 돌출부(110A)와 함몰부(110B)로 이루어진 요철을 형성하기 위하여 유기발광층(130)이 형성되는 영역에 소정 두께 이상으로 형성된다. At this time, the insulating film 113 is formed over a predetermined thickness in a region where the organic light emitting layer 130 is formed to form irregularities consisting of projection (110A) and a recessed portion (110B) on the substrate (110). 이때, 돌출부(110A)는 유기발광층(130)이 형성되는 영역에 형성되며, 인쇄롤(133)의 표면이 함몰부(110B)에 접촉하지 않을 정도로 충분한 높이를 갖도록 형성되는 것이 바람직하다. At this time, the projection (110A) is preferably formed in a region where the organic light emitting layer 130 is formed, formed to have a sufficient height so that the surface of the printing roll 133 is not in contact with the recessed portion (110B). 이때 절연막(113)의 두께는 필요에 따라 다양하게 변화시킬 수 있으나 1㎛~4.5㎛가 바람직하다. The thickness of the insulating film 113, but can be variously changed according to the need 1㎛ ~ 4.5㎛ preferred.

상기 절연막(113)은 소스/드레인 전극이 형성된 기판(110) 전면에 보호층(112)을 충분한 두께로 형성하고 상기 보호층(112)을 요철을 가지도록 패터닝하 여 형성된다. The insulating film 113 is formed over patterned to form a protective layer 112 on the front source / substrate is formed a drain electrode 110 of sufficient thickness so as to have irregularities to the protective layer 112. 또는, 소정 두께로 보호층(112)을 형성한 후, 상기 보호층(112) 상에 유기절연막(114) 패턴을 충분한 두께로 형성하는 방법으로 마련된다. Or, after forming the protective layer 112 to a predetermined thickness, it is provided by the method of forming the protective layer an organic insulating film 114 on the (112) pattern at a sufficient thickness.

다음으로 상기한 바와 같은 구성을 가지는 유기전계발광소자의 제조방법을 도 5를 참조하여 설명한다. Next will be described the method of manufacturing an organic electroluminescent device having the structure as described above with reference to FIG.

먼저 절연물질로 이루어진 기판(110)을 준비하고, 상기 기판(110) 상에 박막트랜지스터(109)를 형성한다. First, preparing the substrate 110 made of an insulating material, and forms a thin film transistor 109 on the substrate 110. 상기 박막트랜지스터(109)는 신호에 따라 제1전극(120)에 전압을 인가하기 위한 스위칭 소자로서 마련된다. The thin film transistor 109 is provided as a switching element for applying a voltage to the first electrode 120 according to the signal.

상기 박막트랜지스터(109)를 형성하는 위해서는 먼저 기판(110) 상에 게이트전극(101)을 형성한다. In order to form the thin film transistor 109 to form a first gate electrode 101 on a substrate 110. 게이트전극(101)은 도전물질을 기판(110) 전면에 증착한 후 포토리소그래피공정을 통해 패터닝하여 형성할 수 있다. Gate electrode 101 can be formed by depositing a conductive material on the front substrate 110 is patterned through a photolithography process.

이후, 상기 기판(110)의 전면에 게이트절연막(102)을 형성한다. Then, a gate insulating film 102 on the entire surface of the substrate 110.

그리고, 상기 게이트전극(101)의 상부에 비정질실리콘 박막 또는 다결정실리콘 박막을 형성하여 액티브층(103)을 형성한다. Then, an amorphous silicon thin film or polycrystalline silicon thin film on top of the gate electrode 101 to form the active layer 103.

그 다음 상기 액티브층(103)의 소정영역의 상부에 소스전극(104)과, 상기 소스전극(104)과 일정간격 이격된 드레인전극(105)을 형성한다. Then to form the source electrode 104 and the source electrode 104 and a drain electrode spaced apart a predetermined interval (105) to the top of the predetermined region of the active layer 103. 소스전극(104)과 드레인전극(105)은 도전물질을 기판(110)에 증착한 후 포토리소그래피공정을 통해 형성할 수 있다. Source electrode 104 and drain electrode 105 may be formed after depositing the conductive material to the substrate 110 through a photolithography process.

그 다음에는, 박막트랜지스터(109)가 형성된 기판(110) 상에 돌출부(110A)가 구비된 절연막(113)을 형성한다. After that, to form a thin film transistor 109, the insulating film 113 provided with a projection (110A) on the substrate 110 are formed. 돌출부(110A)가 구비된 절연막(113)은 이후 유기발광층(130)을 형성하기 위한 인쇄과정에서 인쇄롤(133)과의 접촉을 최대한 줄이고 패턴의 변형을 막기 위해 형성되는 것이다. Insulating film 113 with a projection (110A) is provided that is reduced as much as possible after contact with the printing roll 133 in the printing process for forming the organic emission layer 130 is formed to prevent deformation of the pattern.

상기 돌출부(110A)는 유기발광층(130)이 인쇄되는 영역에만 형성되며 박막트랜지스터(109)가 형성된 부분은 돌출부(110A)와 돌출부(110A)의 사이 부분은 돌출되지 않은 함몰부(110B)로 형성된다. The projecting portion (110A) is formed to be formed only in a region that is an organic light emitting layer 130, the printed portion is a thin film transistor 109 is formed is a projecting portion (110A) and the depressed portions (110B) between the portion of the protrusion (110A) is non-projecting do.

돌출부(110A)가 구비된 절연막(113)을 형성하기 위해서는 박막트랜지스터(109)가 형성된 기판(110) 상에 절연막(113)을 전면 증착한 다음 식각하는 방식으로 돌출부(110A)를 형성한다. In order to form a protrusion (110A) it is provided with an insulating film 113 to form a protrusion (110A) in such a way that a front depositing a dielectric film 113 on the TFT array panel 110 is formed 109, and then etched. 이때, 절연막(113)은 무기 절연물질인 규소질화물(SiNx)이나 규소산화물(SiO2) 등을 사용할 수 있다. At this time, the insulating film 113 or the like can be used a silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiO2), an inorganic insulating material.

또한 돌출부(110A)가 구비된 절연막(113)은 무기절연막으로 보호층(112)을 형성하고, 상기 보호층(112) 상에 유기절연막(114)을 더 형성하는 방법으로 형성할 수 있다. The also provided with a projection (110A), the insulating film 113 may be formed a protective layer 112, an inorganic insulating film, formed by the method further forming an organic insulating layer 114 on the protective layer 112.

이때, 유기절연막(114)은 벤조사이클로부텐(Benzocyclobutene; BCB) 또는 아크릴계 수지(resin)와 같은 저유전율의 유기발광물질(130)을 이용하여 인쇄 또는 코팅 방법으로 형성할 수 있다. At this time, the organic insulating layer 114 is benzocyclobutene; using (Benzocyclobutene BCB) or acryl-based resin, the organic light emitting material 130 of low dielectric constant such as (resin) can be formed by printing or coating method.

이때, 돌출부(110A)를 구비한 절연막(113)을 형성함에 있어, 돌출부(110A)의 높이는 인쇄롤(133)의 표면과 함몰부(110B)가 접촉하지 않게 하는 충분한 높이로 형성한다. At this time, to form a sufficient height of the surface of the depressed portion (110B) of the printing roll 133, the height of it in forming the insulating film 113 has a projection (110A), the protrusion (110A) does not come into contact. 바람직하게는 함몰된 부분으로부터 약 상기 돌출부(110A)는 높이가 1㎛~4.5㎛ 정도 되도록 형성한다. Preferably from about said projecting portion (110A) from the recessed portion is formed such that the degree 1㎛ ~ 4.5㎛ height.

이후, 상기 절연막(113) 상에 드레인전극(105)에 접속하는 제1전극(120)을 형성한다. Then, to form a first electrode 120 connected to the drain electrode 105 on the insulating film 113. The 이때, 절연막(113) 상에 제1전극(120)과 드레인전극(105)을 접속하기 위 한 콘택홀(118)을 포토리소그래피를 이용하여 형성할 수 있다. At this time, a contact hole 118 a on the upper insulating film 113 to connect the first electrode 120 and the drain electrode 105 can be formed by using photolithography. 상기 제1전극(120)은 도전성 물질로 형성되며, 상기 콘택홀(118)을 통해 드레인전극(105)과 연결되어 박막트랜지스터(109)부터의 신호를 받아 이후 형성될 유기발광층(130)을 구동하게 된다. The first electrode 120 is formed of a conductive material, driving the organic light emitting layer 130 to be formed later receives a signal from the connected to the drain electrode 105, the thin film transistor 109 through the contact holes 118, It is. 이때 제1전극(120)은 하부의 절연층의 돌출부(110A) 형태에 따라 돌출부(110A) 상에 형성된다. The first electrode 120 is formed on the protrusion (110A) according to the projection (110A) forms the insulating layer of the lower part.

기판(110) 상에 제1전극(120)이 형성되면, 돌출부(110A) 상에 형성된 제1전극(120)의 상부에 롤프린팅으로 유기발광층(130)을 형성한다. When the first electrode 120 is formed on the substrate 110, the roll printing on top of the first electrode 120 formed on the projecting portion (110A) to form the organic light emitting layer 130. The

그 다음 상기 제1전극(120) 상에 롤프린팅으로 유기발광층(130)을 형성한다. Then to form the organic light emitting layer 130, the roll printing on the first electrode (120). 도 6은 롤프린팅을 이용하여 유기발광층(130)을 인쇄하는 모습을 나타낸 것이다. 6 illustrates a state of printing the organic light-emitting layer 130 by using a roll printing.

도면을 참조하면, 상기 제1전극(120) 상에 롤프린팅으로 유기발광층(130)을 형성하는 단계는, 인쇄롤(133)을 준비하고, 상기 인쇄롤(133)의 외주면에 유기발광물질(130)을 도포한 다음, 상기 유기발광물질(130)이 도포된 인쇄롤(133)을 인쇄롤(133) 상에 접촉시켜 인쇄롤(133)의 유기발광물질(130)에 상기 제1전극(120)과 대응하는 패턴을 형성한다. Referring to the drawings, the organic light emitting material on the outer peripheral surface of the first step of forming the organic light emitting layer 130, the roll printing on the first electrode 120 is prepared for printing roll 133, and the printing roll 133 ( 130) the coating by the next, the organic light emitting material 130 of the organic light emitting material (printing the print roll 133 a 130) is applied to the roll (in contact with the phase 133), a printing roll 133, the first electrode ( to form a pattern corresponding to 120). 그 다음 상기 제1전극(120)과 대응하는 인쇄롤(133)의 패턴을 상기 제1전극(120) 상에 전사하는 방식으로 이루어진다. Then it made in such a manner as to transfer the pattern of the print roll 133 corresponding to the first electrode 120 on the first electrode (120).

상기 유기발광층(130)은 붉은색(R), 녹색(G), 푸른색(B)에 해당하는 유기발광물질(130)을 인쇄롤(133)로 따로 따로 인쇄할 수 있으며, 그 순서는 필요에 따라 조절이 가능하다. The organic light emitting layer 130 is a red (R), green (G), can be printed separately the organic light-emitting material 130 corresponding to the blue color (B) to the printing roll 133, the order is required this adjustment is possible according to. 이때, 하나의 인쇄롤(133)에 붉은색(R), 녹색(G), 푸른색(B)에 해당하는 유기발광물질(130)의 패턴을 모두 도포하여 한 번의 전사로 유기발광층(130)을 형성할 수도 있을 것이다. At this time, the red (R), green (G), and blue organic light emitting layer 130 in a single transfer by applying all of the patterns of the organic light-emitting material 130 corresponding to (B) in a printing roll (133) a it will be formed.

그 다음, 유기발광층(130)이 형성된 기판(110) 상에 제2전극(140)을 도전성 물질로 형성한다. Then, a second electrode 140 on the substrate 110 is formed of an organic light emitting layer 130 of a conductive material.

상기한 방법으로 형성된 유기전계발광소자는, 발광면에 따라 배면발광 타입과 전면발광 타입으로 나누어진다. The organic electroluminescent device formed by the method described above is divided into a bottom emission type and a top emission type according to the light-emitting surface. 배면발광 타입은 제1전극(120)이 투명한 물질로, 제2전극(140)이 불투명한 물질로 형성되어 기판(110)의 유기발광층(130)이 형성되지 않은 면, 즉, 기판(110)의 배면으로 빛이 방출되는 형태를 말하며, 전면발광타입은 제1전극(120)이 불투명한 물질로, 제2전극(140)이 투명한 물질로 형성되어 기판(110)의 전면으로 빛이 방출되는 형태를 말한다. Rear emission type, a transparent material a first electrode 120, the surface that the second electrode 140, the organic emission layer 130 of the is formed of an opaque material substrate 110 is not formed, that is, the substrate 110 to the rear surface refers to the form in which the light-emitting, top-emitting type, the first electrode 120 is an opaque material, the second electrode 140 is formed of a transparent material through which light is emitted to the entire surface of the substrate (110) It refers to a form.

본 발명에 따른 유기전계발광소자에서는 전면발광 타입과 배면발광 타입 모두 가능하다. In the organic EL device according to the present invention it is possible in both the top emission type and bottom emission type.

이때, 금속으로 제1전극(120)을 형성하고, 투명한 도전성 물질인 ITO(Indium Tin Oxide)나 IZO(Indium Zinc Oxide)로 제2전극(140)을 형성하게 되면, 전면발광 타입의 유기전계발광소자가 된다. At this time, when the formation of the first electrode, the second electrode 140 in the ITO (Indium Tin Oxide) or IZO (Indium Zinc Oxide), and the transparent conductive material to form a 120 in the metal, the organic light emitting of the top emission type It is the element. 이때, 제1전극(120)은 일함수가 작아 전자를 내놓는 음극(cathode)이 되며, ITO 등의 전극은 일함수가 커 양극(anode)로 작용한다. In this case, the first electrode 120 is a negative electrode (cathode), the smaller the work function of introducing a e, electrodes such as ITO acts as a positive electrode (anode), the greater the work function.

반대로 ITO 등으로 제1전극(120)을 형성하고, 금속으로 제2전극(140)을 형성하게 되는 경우, 배면발광 타입의 유기전계발광소자가 되며, 제2전극(140)이 음극이 되며 제1전극(120)이 양극이 된다. Conversely forming a first electrode 120 of ITO or the like and, when it is to form the second electrode 140 of a metal, and an organic EL device of the bottom emission type, the second electrode 140 and the negative electrode of claim the first electrode 120 is an anode.

따라서, 상기한 제1전극(120)과 제2전극(140)의 형성시 필요에 따라 물질을 달리하여 제조가 가능하다. Thus, the manufacture is possible by changing the material as required during the formation of the above-described first electrode 120 and the second electrode 140.

본 발명은 상기한 바와 같은 실시예에만 한정되는 것은 아니다. The present invention is not limited to the embodiments as described above. 예를 들어 본 발명에서는 유기발광층을 싱글 레이어로 형성하는 것을 설명하였으나 멀티레이어로 형성이 가능하며, 멀티레이어 중의 어느 한 층을 상기한 인쇄롤을 이용한 방법으로 형성할 수도 있다. For example, the present invention has been described to form the organic light-emitting layer as a single layer can be formed of a multilayer, and may be formed by the method using the above-described printing roll to a layer of any multilayer.

본 발명에 대해서 구체적으로 기재된 설명은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. With respect to the invention described specifically described it is to be interpreted by way of illustration a preferred embodiment, rather than to limit the scope of the invention. 따라서, 발명은 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다. Accordingly, the invention is not determined by the described embodiments shall be appointed by being equal to the range of the claims and the claims.

상기한 바와 같이, 본 발명에 따르면 인쇄롤의 표면과 기판의 접촉 면적을 최소화하고, 인쇄롤에 의해 일정 압력으로 유기발광물질의 패턴이 일부 변형되더라도 돌출부와 그 다음 돌출부 사이에 형성된 홈 형태의 함몰부에 의해 구분되어 인접 화소에 영향을 주지 않게 하여, 불량을 저감한 유기전계발광소자의 제조방법을 제공한다. As described above, according to the present invention minimizes the contact area between the surface and the substrate of the printing roll, and the pattern of the organic light emitting material at a constant pressure by a printing roll, even if some deformation protrusion and then the depression of the groove shape formed between the projecting portion and it is divided by the unit does not influence the adjacent pixels, and provides a manufacturing method of an organic light emitting device having reduced defects.

따라서, 본 발명에 따르면 전사될 유기발광물질의 두께를 얇게 조절할 수 있으며, 특히, 박막의 두께를 500nm 이하로 형성된 유기전계발광소자의 제조방법을 제공한다. Accordingly, it is possible to control the thickness of the organic light emitting material to be transferred thin layer according to the present invention, in particular, it provides a method for producing an organic electroluminescence element formed in the thickness of the thin film 500nm or less.

Claims (11)

  1. 기판을 준비하는 단계; Preparing a substrate;
    상기 기판 상에 게이트전극과, 소스전극, 및 드레인전극을 포함하는 박막트랜지스터를 형성하는 단계; Forming a thin film transistor including a gate electrode on the substrate, a source electrode and a drain electrode;
    상기 박막트랜지스터가 형성된 기판 상에 돌출부가 형성된 절연막을 형성하는 단계; Forming an insulating film with a projection formed on a substrate on which a plurality of TFTs are formed;
    상기 절연막 상에 드레인전극에 전기적으로 접속하는 제1전극을 형성하는 단계; Forming a first electrode electrically connected to the drain electrode on the insulating film;
    상기 돌출부 상에 형성된 제1전극 상에 롤프린팅으로 유기발광층을 형성하는 단계; Forming an organic light-emitting layer by roll printing on a first electrode formed on the projecting portion; And
    상기 유기발광층 상에 제2전극을 형성하는 단계를 포함하는 유기전계발광소자 제조방법. Method of manufacturing an organic EL device comprises forming a second electrode on the organic light-emitting layer.
  2. 제1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 절연막을 형성하는 단계는 Forming said insulating film is
    상기 기판상에 절연막을 전면 증착하고 식각하여 패터닝하여 돌출부를 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 제조방법. A method wherein the step of forming a protrusion is patterned by blanket deposited and etching the insulating film on the substrate.
  3. 제1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 절연막을 형성하는 단계는 Forming said insulating film is
    상기 기판 상에 보호층을 전면 증착하는 단계와; The method comprising: depositing a protective layer on the front of the substrate;
    상기 보호층이 형성된 기판 상의 일부분에 유기절연막을 형성하여 돌출부를 형성하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 제조방법. Method which comprises a step of forming an organic insulating layer on a portion on the substrate on which the protective layer formed form the projections.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 3. The method of claim 2 or 3,
    상기 돌출부는 높이가 1㎛~4.5㎛ 정도 되도록 형성하는 것을 특징으로 하는 제조방법. The protrusion is prepared characterized in that the height is formed so as to be approximately 1㎛ ~ 4.5㎛.
  5. 제3항에 있어서, 4. The method of claim 3,
    상기 유기절연막을 형성하는 단계는 인쇄 또는 코팅으로 형성하는 것을 특징으로 하는 제조방법. Forming the organic insulating layer production method which comprises forming a printing or coating.
  6. 제3항에 있어서, 4. The method of claim 3,
    상기 유기절연막은 벤조사이클로부텐(Benzocyclobutene; BCB) 또는 아크릴계 수지(resin)와 같은 저유전율의 유기발광물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 제조방법. The organic insulating film is benzocyclobutene; production method as to form the organic light emitting material having a low dielectric constant such as (Benzocyclobutene BCB) or acryl-based resin (resin).
  7. 제1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 제1전극 상에 롤프린팅으로 유기발광층을 형성하는 단계는, Forming an organic light-emitting layer by roll printing on the first electrode,
    인쇄롤을 준비하는 단계; Preparing a printing roll;
    상기 인쇄롤의 외주면에 유기발광물질을 도포하는 단계; Applying an organic light emitting material on the outer peripheral surface of the printing roll;
    상기 유기발광물질이 도포된 인쇄롤을 클리체 상에 접촉시켜 인쇄롤의 유기발광물질에 상기 제1전극과 대응하는 패턴을 형성하는 단계; Forming a pattern corresponding to the first electrode for applying a printed roll of the organic light emitting material in the organic light emitting material of the printing roll in contact with the sieve cleaners; And
    상기 제1전극 상에 상기 제1전극과 대응하는 인쇄롤의 패턴을 전사하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 제조방법. A method characterized in that comprising the step of transferring the pattern of the printing roll and the corresponding first electrode on the first electrode.
  8. 제7항 있어서, In claim 7,
    상기 인쇄롤의 외주면에 유기발광물질을 도포하는 단계는 붉은색, 녹색, 푸른색 중 어느 하나의 색을 발광하는 유기발광물질을 도포하는 것을 특징으로 하는 제조방법. Applying an organic light emitting material on the outer peripheral surface of the printing roll is a production method which comprises coating the organic light emitting material which emits light of any one color of red, green and blue.
  9. 제7항에 있어서, The method of claim 7,
    상기 인쇄롤의 외주면에 유기발광물질을 도포하는 단계는 붉은색, 녹색, 푸른색 중 어느 하나의 색을 발광하는 유기발광물질을 각각 하나의 인쇄롤에 도포하는 것을 특징으로 하는 제조방법. Step A method characterized in that it is applied to the red, green, any of the organic light emitting material which emits light of the color of each one of the printing roll of the blue color for applying the organic light emitting material on the outer peripheral surface of the printing roll.
  10. 제1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 박막트랜지스터를 형성하는 방법은, A method of forming the thin film transistor,
    상기 기판 상에 게이트전극을 형성하는 단계; Forming a gate electrode on the substrate;
    상기 게이트전극 상에 게이트절연막을 형성하는 단계; Forming a gate insulating film on the gate electrode;
    상기 게이트절연막 상에 액티브패턴을 형성하는 단계; Forming an active pattern over the gate insulating film; And
    상기 액티브층 상에 서로 이격되어 형성된 소스전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 제조방법. Method which comprises a step of forming a source electrode and a drain electrode formed apart from each other on the active layer.
  11. 제10항에 있어서, 11. The method of claim 10,
    상기 액티브패턴은 실리콘 박막으로 형성하는 것을 특징으로 하는 제조방법. The active pattern manufacturing method wherein the formation of a silicon thin film.
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