KR101298807B1 - 여과 장치 및 그 세정 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 적은 소비 전력으로도 막에 대한 우수한 세정효과를 거둘 수 있는 막을 이용한 여과 장치 및 그 세정 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 여과 장치는, 원수로부터 불순물을 여과하기 위한 막 모듈; 상기 막 모듈의 하부에 위치하며 상기 막 모듈의 막 표면을 세정하기 위하여 상기 막 모듈 측으로 공기를 분출하는 산기관(aeration tube); 및 상기 산기관으로 공기를 공급하는 에어 공급부를 포함하되, 상기 산기관은, 외관(outer tube) 및 상기 외관의 내부에 위치하는 내관(inner tube)을 포함한다.

막, 세정, 산기관

Description

여과 장치 및 그 세정 방법{Apparatus for Filtering and Method for Cleaning The Same}

본 발명은 막을 이용한 여과 장치 및 그 세정 방법에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 적은 소비 전력으로도 막에 대한 우수한 세정효과를 거둘 수 있는 여과 장치 및 그 세정 방법에 관한 것이다.

가열이나 상변화를 이용하는 분리 방법에 비하여 분리막을 이용한 분리 방법은 많은 장점이 있다. 그 중 하나는 분리막의 세공 크기에 따라 원하는 수질을 안정적으로 얻을 수 있으므로 공정의 신뢰도를 높일 수 있다는 점이다. 또한, 분리막을 이용하면 가열 등의 조작이 필요 없기 때문에, 가열 등에 의해 영향을 받을 수 있는 미생물 등을 사용하는 분리 공정에 널리 이용될 수 있다는 장점이 있다.

분리막을 이용한 분리 방법 중 하나로는 중공사 형태의 막을 다발로 하여 형성한 중공사막 모듈을 이용하는 방법이 있다. 전통적으로 중공사막 모듈은 무균수, 음용수, 초순수 제조 등 정밀 여과 분야에 널리 사용되어 왔으나, 최근에는 하/폐수 처리, 정화조에서의 고액 분리, 산업폐수에서의 부유 물질(SS: Suspended Solid) 제거, 하천수의 여과, 공업용수의 여과, 및 수영장 물의 여과 등으로 그 응 용 범위가 확대되고 있다.

이러한 중공사막 모듈의 하나로는, 처리하고자 하는 유체의 수조에 중공사막 모듈을 직접 침지시키고 중공사막 내부에 음압(negative pressure)을 가하여 유체만을 선택적으로 중공사 내부로 투과시킴으로써 불순물 또는 슬러지 등의 고형 성분을 분리하는 침지형 중공사막 모듈이 있다. 이러한 침지형 중공사막 모듈은 여러개의 모듈이 프레임에 결합된 형태로 주로 이용된다. 침지형 중공사막 모듈은 모듈의 제조 원가를 낮출 수 있고, 유체의 순환을 위한 설비가 필요 없어 시설비나 운전비의 절감을 가져올 수 있는 장점이 있다.

한편, 고형 성분을 비롯한 막 오염 물질이 존재하는 하/폐수를 침지형 중공사막 모듈을 이용하여 처리할 경우, 막 오염 물질에 의한 막 오염 현상이 야기되기 때문에 수 처리가 진행됨에 따라 막의 투과 성능이 크게 떨어지는 문제점이 발생한다. 따라서, 수 처리 탱크에서 중공사막 모듈에 의한 수 처리가 진행되는 동안 또는 수 처리를 중지한 상태에서 잠시 동안 막의 투과 성능을 양호한 상태로 유지하기 위한 유지 세정이 수행되어야 한다. 이러한 유지 세정은 주로 물리적 세정에 의해 수행된다. 물리적 세정은 백워싱(backwashing) 방식과 산기(aeration) 방식으로 분류될 수 있다.

백워싱 방식은 공기 또는 물을 막을 통해 역류시킴으로써 막 표면에 붙어 있는 이물질을 제거하는 세정 방식인데, 백워싱 수행을 위해 수 처리를 잠시 중지시켜야 하는 단점이 있다. 반면, 산기 방식은, 수처리 진행 중에 중공사막 모듈 아래에서 거품을 발생시켜 거품이 솟아오르도록 함으로써 거품 자체에 의해 막 표면에 붙어 있는 이물질을 제거할 뿐만 아니라 수 처리 탱크에 담겨 있는 물의 상승 또는 순환을 야기시킴으로써 이물질을 제거한다. 일반적으로, 수 처리 작업의 중지 없이 중공사막을 세정할 수 있다는 점에서 산기 방식이 백워싱 방식에 비해 선호된다.

산기 방식에서 사용되는 산기관(aeration tube)은 일반적으로 중공사막 모듈 측 방향으로 뚫린 다수개의 산기 홀(aeration hole)을 가지며, 에어 공급부로부터 산기관으로 유입되는 공기는 상기 다수개의 산기 홀을 통해 동시에 분출된다. 즉, 에어 공급부로부터 산기관으로 공기가 유입되는 중에는 모든 산기 홀로부터 지속적으로 에어 분출되기 때문에 에어 공급부가 과도한 전력을 소비하여야 한다는 문제점이 있다. 더욱이, 모든 산기 홀로부터 에어가 지속적으로 분출되기 때문에 세정 효과를 향상시킬 수 있는 충분한 난류(turbulant flow)를 형성시키는데 어려움이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 도출된 것으로서, 본 발명의 목적은 적은 소비전력으로도 막에 대한 우수한 세정 효과를 거둘 수 있는 여과 장치 및 그 세정 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 우수한 세정 효과를 담보할 수 있도록 충분한 난류를 발생시킬 수 있는 여과 장치 및 그 세정 방법을 제공하는 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면으로서, 본 발명의 여과 장치는, 원수로부터 불순물을 여과하기 위한 막 모듈, 상기 막 모듈의 하부에 위치하며 상기 막 모듈의 막 표면을 세정하기 위하여 상기 막 모듈 측으로 공기를 분출하는 산기관(aeration tube); 및 상기 산기관으로 공기를 공급하는 에어 공급부를 포함하되, 상기 산기관은, 외관(outer tube) 및 상기 외관의 내부에 위치하는 내관(inner tube)을 포함한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면으로서, 본 발명의 세정 방법은, 막 모듈의 하부에 위치하며 제1 및 제2 산기 홀이 형성된 산기 관을 이용하여 상기 막 모듈의 막 표면을 세정하는 방법으로서, 상기 제1 산기 홀을 통해 공기를 분출하는 단계; 및 상기 제1 산기 홀을 통한 공기 분출을 실질적으로 중지한 후 상기 제2 산기 홀을 통해 공기를 분출하는 단계를 포함한다.

위와 같은 본 발명의 여과 장치 및 그 세정 방법에 의하면, 여과 장치의 가동에 따른 전력 소모가 작기 때문에 더욱 경제적으로 수처리 작업을 할 수 있는 효과를 갖는다.

또한, 본 발명의 여과 장치 및 세정 방법에 의하면, 막 주위에 충분한 난류를 발생시킬 수 있기 때문에 막에 대한 우수한 세정 효과를 거둘 수 있고, 결국, 막의 수명이 연장되는 효과를 갖는다. 따라서, 막의 교체 횟수를 줄임으로써 그 교체에 따른 비용을 절감할 수 있는 효과도 갖는다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 여과 장치 및 그 세정 방법의 실시예를 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 여과 장치로서 중공사막 모듈이 장착되기 전의 상태를 나타낸 사시도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 여과 장치는 직육면체 형상의 프레임(100)을 포함한다. 프레임(100)의 상변에는 집수관(210)이 결합 한다. 제조의 편의를 위해 상기 집수관(210)은 다수개의 서브 집수관이 서로 조립된 구조이다. 집수관(210)과 막 모듈의 상부 헤더를 연결하기 위한 다수개의 상부 커넥터(220)가 상기 서브 집수관마다 형성되어 있다. 따라서, 모듈의 상부 헤더에 모인 투과수(permeated water)는 상부 커넥터(220)를 통해 집수관(210)으로 유입된다.

상기 집수관(210)의 직하방에는 중공사막 모듈의 하부 헤더와 결합하는 다수 개의 하부 커넥터(230)가 프레임(100)의 하변에 결합한다. 상기 다수개의 하부 커넥터(230)는 다수개의 수직관(240)을 통해 상기 집수관(210)과 연결된다. 따라서, 모듈의 하부 헤더에 모인 투과수는 하부 커넥터(230) 및 수직관(240)을 순차적으로 흘러 상기 집수관(210)으로 유입된다. 한편, 상기 다수개의 하부 커넥터(230)는 그 각각이 서로 다른 수직관(240)을 통해 상기 집수관(210)과 연결될 수 있으나, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 한 쌍의 하부 커넥터(230)가 하나의 수직관(240)을 통해 집수관(210)에 연결된다.

이렇게 상기 집수관(210)으로 유입된 투과수는 투과수 배출관(250)을 통해 외부로 배출된다. 한편, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 공간의 효율적인 사용을 위하여 상기 다수개의 수직관(240) 중 적어도 하나는 집수관(210)을 통하지 않고 바로 투과수 배출관(250)과 연결된다.

한편, 상기 다수개의 하부 커넥터(230) 각각의 하부에는 막 세정을 위한 다수개의 에어 분산관(260)이 위치한다. 본 발명의 일 실시예에 의하면, 이들 다수개의 하부 커넥터(230) 및 에어 분산관(260)은, 제조의 편의를 위하여, 소정 개수, 예를 들어 2개의 하부 커넥터(230) 및 2개의 에어 분산관(260)이 일체형으로 제작된 단위체를 여러 개 조립함으로써 제공될 수 있다. 에어 분산관(260)은 에어 공급관(270)을 통해 외부의 에어 공급부(미도시)에 연결되어 있다. 이들 에어 분산관(260)은 연결 부재(280)를 통해 다수개의 산기관(300)과 연결된다. 상기 다수개의 에어 분산관(260)은 그 각각이 서로 다른 산기관(300)과 연결될 수 있으나, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 단위체를 이루는 2개의 에어 분산관(260) 중 어 느 하나만이 산기관(300)과 연결되고, 다른 하나의 에어 분산관(260)은 밀봉 부재(sealing member)(281)에 의해 그 개구가 막혀있다. 한편, 상기 산기관(300)에는 그 길이 방향과 평행하게 일렬로 뚫려있는 다수개의 산기 홀(aeration holes)(311)이 위 측을 향해 뚫려 있다. 따라서, 에어 공급부로부터 제공되는 공기는 에어 공급관(270) 및 에어 분산관(260)을 순차적으로 지난 후 상기 산기관(300)의 산기 홀(311)을 통해 위 측으로 분출된다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 여과 장치로서 막 모듈이 장착되는 모습을 나타낸 사시도이다.

도 2에 도시된 바와 같이, 처리되어야 할 원수(substrate)로부터 불순물을 여과하기 위한 다수개의 막 모듈(400)이 막 모듈 탈부착 장치(500)를 이용하여 도 1에 도시된 여과 장치에 장착된다. 막 모듈(400)의 상부 헤더(410) 및 하부 헤더(420)의 일단은 상기 상부 커넥터(220) 및 하부 커넥터(230) 에 각각 연결된다. 그리고, 상기 상부 및 하부 헤더(410, 420)의 타단은 상기 집수관(210)이 결합된 프레임(100) 상변의 반대편 상변 및 상기 반대편 상변의 직하방에 위치한 하변에 각각 형성된 다수개의 체결부(291)에 각각 체결된다.

따라서, 상기 다수개의 산기관(300)은 상기 상부 및 하부 커넥터(220, 230)에 연결되는 막 모듈(400)의 하부에서 상기 상부 및 하부 헤더(410, 420) 각각과 평행하게 위치한다. 산기관(300)에 형성된 다수개의 산기 홀(311)이 위쪽을 향해 뚫려있기 때문에 상기 산기 홀(311)로부터 분출되는 공기는 막 모듈(400) 측으로 상승하면서 공기 자체 및 물의 흐름 등에 의해 막(430)에 붙어있는 오염 물질을 제 거한다.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 의한 산기관을 나타내는 분해 사시도이다.

도 3에 도시되어 있는 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 산기관(300)은 외관(outer tube)(310) 및 상기 외관(310)의 내부에 위치하는 내관(inner tube)(320)을 포함한다. 상기 외관(310)에는 소정의 간격을 두고 외관(310)의 길이 방향과 평행하게 일렬로 뚫려있는 다수개의 산기 홀(aeration holes)(311)이 형성되어 있으며, 상기 내관(320)에는 상기 내관(320)의 길이 방향을 따라 나선형으로 배열되는 다수개의 매개 홀(intermediate holes)(321)이 형성되어 있다.

외관(310) 및 내관(320)은 산기관(300)의 길이 방향과 평행한 공통의 중심축을 가지며, 상기 산기관(300)은 상기 중심축을 회전축으로 하여 내관(320)을 외관(310) 내에서 회전시키기 위한 회전 수단(330)을 더 포함한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 산기관(300)의 회전 수단(330)은, 도 3에 도시되어 있는 바와 같이, 에어 분산관(260)과 결합되는 쪽 부분에서 내관(320) 내표면과 결합되어 있는 임펠러를 예시할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 에어 분산관(260)을 통해 상기 에어 공급부로부터 공급되는 공기에 의해 임펠러가 회전하면서 임펠러와 결합되어 있는 상기 내관(320)이 같이 회전하게 되는 것이다.

도 3에 도시된 본 발명의 실시예에 의하면, 외관(310)에 형성된 산기 홀(311)의 개수와 내관(320)의 매개 홀(321)의 개수가 동일하여 서로 일대일 대응을 하도록 구성되어 있다. 따라서, 만약 이웃하는 매개 홀(321)들이 상기 회전축을 기준으로 180°의 각도를 이루도록 나선형 배열로 형성될 경우에는 내관(320)이 회 전함에 따라 홀수 번째 산기 홀(311)과 짝수 번째 산기 홀(311)이 그 각각과 대응하는 매개 홀(321)과 번갈아서 매칭이 되고, 따라서 이들이 번갈아서 공기를 분출할 것이다. 마찬가지로, 만약 이웃하는 매개 홀(321)들이 나선형으로 배열되되 상기 회전축을 기준으로 120°의 각도를 이룰 경우에는 3n-2, 3n-1, 및 3n번째(n=1, 2,..) 산기 홀(311)들이 번갈아가며 공기를 분출할 것이다. 즉, 서로 이웃하는 매개 홀(321)이 회전축을 기준으로 서로 360°/n의 각도를 이룰 경우 산기 홀(311)들은 n개의 조로 나뉘어 각 조가 번갈아가며 공기를 분출하게 된다. 어느 하나의 산기 홀(311)이 공기를 분출한 후 다음 분출할 때까지 걸리는 시간은 내관(320)의 회전 속도에 비례한다.

위와 같은 구성을 갖는 본 발명의 일 실시예에 따른 산기관(300)에 의하면, 하나의 산기관(300)에 형성된 산기 홀(311) 모두를 통해 공기가 지속적으로 분출되는 것이 아니라 각각의 산기 홀(311)이 번갈아 가며 공기를 분출하기 때문에, 에어 공급부에서 소모되는 전력량이 감소되는 효과를 갖는다. 또한, 어느 하나의 산기 홀(311)의 관점에서 보면 이를 통한 공기 분출이 주기적으로 이루어지기 때문에 발생하는 공기 방울(air bubble)을 크기가 더 커질 뿐만 아니라, 우수한 세정 효과를 담보할 수 있는 충분한 난류(turbulance)를 중공사막(430) 주위에서 발생시킬 수 있다.

한편, 내관(320)에 형성되는 매개 홀(321)의 크기를 조절함으로써 산기홀(311)을 통한 공기 분출의 형태를 다양하게 변형시킬 수 있다. 예를 들어, 1 개의 매개 홀(321)을 서로 이웃하는 2개의 산기 홀(311)을 커버할 정도로 크게 형성 한다면, 1개의 산기 홀(311)만을 커버할 경우에 비해 동시에 공기를 분출하는 산기 홀(311)의 개수가 2배(산기 홀의 개수가 짝수일 경우) 증가할 것이다.

서로 이웃하는 매개 홀(321)이 회전축을 기준으로 서로 360°/n의 각도를 이루도록 매개 홀(321)을 내관(320)에 중심축을 기준으로 회전하는 나선형 배열로 형성하고, 내관(320)의 중심축과 수직인 단면의 원주를 따라 각각의 매개 홀(321)을 원주 길이의 360°/n에 해당하는 길이만큼 길게 형성한다면, 에어 공급부로부터 공기가 공급되는 동안 적어도 하나의 산기 홀(311)을 통해 공기가 분출되기 때문에 산기관(300)을 통한 공기 분출이 일시적으로 중지되는 것을 방지할 수 있을 것이다.

한편, 내관(320)이 외관(310) 내에서 회전할 수 있기 위해서는 외관(310)과 내관(320) 사이의 간격을 일정하게 유지하고 이들 사이의 마찰력을 최소화할 수 있는 수단이 필요하다. 도 3에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따르면, 외관(310)과 내관(320) 사이의 간격을 일정하게 유지하기 위한 돌출부(340a)가 상기 외관(310)의 내표면에 형성되어 있다.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 산기관을 나타내는 분해 사시도이다.

도 4에 도시된 실시예에 의한 산기관(300)은, 돌기 형태의 다수개의 돌출부(340b)가 상기 내관(320)의 외표면에 형성되어 있다는 것을 제외하고는 도 3에 도시된 실시예와 동일한 구성을 갖는다. 도 3에 도시된 상기 돌출부(340a)는 상기 외관(310)의 중심축과 평행하게 길게 연장된 형태를 가지는데 반해, 도 4의 돌출부(340b)는 돌기 형태를 가짐으로써 외관(310)과 내관(320) 사이의 마찰력을 최소 화할 수 있다는 점에서 더욱 바람직하다.

도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 산기관을 나타내는 분해 사시도이다.

도 5에 도시된 실시예에 의한 산기관(300)은, 외관(310) 및 내관(320) 사이의 간격을 일정하게 유지하기 위한 돌출부(340c)가 상기 내관(320)의 외주를 따라 형성된 링(ring) 형태를 갖는다는 것을 제외하고는 도 3에 도시된 실시예와 동일한 구성을 갖는다. 다만, 도 5에 도시된 링 형태의 돌출부(340c)는 내관(320)의 외표면 상에 내관(320)의 외주를 따라 형성되어 있으나, 외관(310)의 내표면 상에 외관(310)의 내주를 따라 형성되어도 무방하다.

한편, 본 발명의 여과장치에서 외관(310)과 내관(320)이 일정 간격으로 떨어져 있기 때문에 이 틈새로도 공기가 흐를 수 있다. 따라서, 내관(320)의 매개 홀(321)과 매칭되지 않은 외관(310)의 산기 홀(311)을 통해서도 미량의 공기가 미량 분출될 수도 있으나, 본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 외관(310)과 내관(320) 사이의 간격은 극히 좁고 이 틈새를 통해 흐르는 공기도 역시 극히 소량이기 때문에 세정에 실질적인 영향을 미칠 정도가 되지 못하므로, 본 명세서에서는 이를 무시하고 본 발명을 설명한다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 여과 장치의 막 모듈(400)과 산기관(300)의 위치 관계를 도시하고 있다.

산기관(300)을 막 모듈(400) 사이의 하부마다 배치할 수도 있으나, 본 발명의 일 실시예를 보여주고 있는 도 6에 도시된 바와 같이, 에어 공급부에서의 전력 소모를 줄이기 위하여 홀수번째 또는 짝수번째 막 모듈(400)의 직하방에(directly under)만 산기관(300)을 배치할 수도 있다. 이 경우, 산기관(300)이 막 모듈(400)의 직하방에 위치하기 때문에 상기 산기관(300)에 의해 발생하는 공기 방울이 상기 막 모듈(400) 하부 헤더(420)로 인해 막(430)의 좌우측으로 나뉘어 상승하게 된다. 따라서, 산기관(300) 개수의 감소에도 불구하고 산기관(300)이 막 모듈(400) 사이의 하부마다 배치된 경우와 비교하여 거의 동등한 세정 효과를 가질 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 여과 장치로서 막 모듈이 장착되기 전의 상태를 나타낸 사시도이고,

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 여과 장치로서 막 모듈이 장착되는 모습을 나타낸 사시도이고,

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 의한 산기관을 나타내는 분해 사시도이고,

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 산기관을 나타내는 분해 사시도이고,

도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 산기관을 나타내는 분해 사시도이며,

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 여과 장치의 막 모듈과 산기관의 위치 관계를 도시하고 있다.

<도면의 부호에 대한 간략한 설명>

100 : 프레임 210 : 집수관

220 : 상부 커넥터 230 : 하부 커넥터

240 : 수직관 250 : 투과수 배출관

260 : 에어 분산관 270 : 에어 공급관

280 : 연결 부재 281 : 밀봉 부재

291 : 체결부 300 : 산기관

310 : 외관 311 : 산기 홀

320 : 내관 321 : 매개 홀

330 : 회전 수단 340a, 340b, 340c : 돌출부

400 : 막 모듈 410 : 상부 헤더

420 : 하부 헤더 430 : 막

500 : 탈부착 장치

Claims (14)

1. 외관(outer tube) 및 상기 외관의 내부에 위치하는 내관(inner tube)을 포함하며 에어 공급부로부터 공급받는 공기를 분출하는 산기관에 있어서,

   상기 외관 및 내관은 상기 산기관의 길이방향과 평행한 공통의 중심축을 가지며,

   상기 산기관은 상기 중심축을 회전축으로 하여 상기 내관을 상기 외관 내에서 회전시키기 위한 회전수단을 더 포함하되,

   상기 회전수단은, 상기 에어 공급부로부터 공급되는 공기에 의해 상기 내관이 회전할 수 있도록 상기 내관의 내표면과 결합되어 있는 임펠러인 것을 특징으로 하는 산기관.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 외관에는 소정의 간격을 두고 상기 외관의 길이 방향과 평행하게 일렬로 뚫려있는 다수개의 산기 홀(aeration holes)이 형성되어 있으며, 상기 내관에는 상기 내관의 길이 방향을 따라 나선형으로 배열되는 다수개의 매개 홀(intermediate holes)이 형성된 것을 특징으로 하는 산기관.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 산기 홀의 개수와 상기 매개 홀의 개수는 동일한 것을 특징으로 하는 산기관.
4. 삭제
5. 삭제
6. 제 1 항에 있어서, 상기 외관 및 내관 사이의 간격을 일정하게 유지하기 위한 돌출부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 산기관.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 돌출부는 돌기 형태, 링 형태, 및 관 형태로 구성된 군으로부터 선택된 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 산기관.
8. 제 6 항에 있어서, 상기 돌출부는 상기 내관의 외표면 또는 상기 외관의 내표면 상에 형성된 것을 특징으로 하는 산기관.
9. 원수로부터 불순물을 여과하기 위한 막 모듈;

   상기 막 모듈의 막 표면을 세정하기 위한 제 1 항 내지 제 3 항 및 제 6 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 따른 산기관(aeration tube); 및

   상기 산기관으로 공기를 공급하는 에어 공급부를 포함하는 여과 장치.
10. 제 9 항에 있어서, 상기 산기관은 홀수 번째 또는 짝수 번째 막 모듈의 직하방(directly under)에만 배치된 것을 특징으로 하는 여과 장치.
11. 막 모듈의 하부에 위치하는 산기관을 이용하여 상기 막 모듈의 막 표면을 세정하는 방법에 있어서 - 여기서, 상기 산기관은 외관 및 상기 외관 내의 내관을 포함하되, 상기 외관에는 그 길이방향을 따라 제1 및 제2 산기 홀들이 일렬로 형성되어 있고, 상기 내관에는 그 길이방향을 따라 제1 및 제2 매개 홀들이 나선형으로 배열되도록 형성되어 있으며, 상기 외관 및 내관은 상기 산기관의 길이방향과 평행한 공통의 중심축을 가짐 -,

    상기 내관으로 공기를 주입함으로써 상기 중심축을 회전축으로 하여 상기 내관을 상기 외관 내에서 회전시키는 단계를 포함하고,

    상기 내관이 회전함으로써, 상기 제1 매개 홀 및 상기 제1 산기 홀을 통해 공기를 분출하는 단계, 및 상기 제1 매개 홀 및 상기 제1 산기 홀을 통한 공기 분출이 중지된 후 상기 제2 매개 홀 및 상기 제2 산기 홀을 통해 공기를 분출하는 단계가 각각 수행되는 것을 특징으로 하는 세정 방법.
12. 삭제
13. 삭제
14. 삭제

Images