KR101282591B1 - Device for coating a substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명의 기판 코팅 장치는 기판이 안착되는 스테이지와, 상기 스테이지 상부에 위치하며, 상호 결합되는 한 쌍의 노즐 몸체로 이루어진 노즐부와, 상기 노즐 몸체 중 적어도 하나가 고정되어, 상기 노즐부를 이동시키는 구동부를 포함한다.The substrate coating apparatus of the present invention comprises a stage on which the substrate is seated, a nozzle portion formed on the stage and a pair of nozzle bodies coupled to each other, and at least one of the nozzle bodies is fixed to move the nozzle portion. It includes a drive unit.

상기와 같은 발명은 상기 노즐부의 정비 및 세정을 위해 노즐 교체 작업시 교체에 걸리는 시간을 단축시킬 수 있는 효과가 있다. 또한, 노즐 교체 시간을 단축하여 공정 시간을 줄일 수 있으므로, 생산성 및 작업 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.The invention as described above has the effect of reducing the time taken for replacement during nozzle replacement work for maintenance and cleaning of the nozzle unit. In addition, since the process time can be reduced by shortening the nozzle replacement time, there is an effect of improving productivity and work yield.

제 1 노즐 몸체, 제 2 노즐 몸체, 스테이지, 구동부, 코팅 1st nozzle body, 2nd nozzle body, stage, drive part, coating

Description

기판 코팅 장치{DEVICE FOR COATING A SUBSTRATE}Substrate Coating Equipment {DEVICE FOR COATING A SUBSTRATE}

도 1은 종래의 기판 코팅 장치에 장착된 노즐부를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a nozzle unit mounted on a conventional substrate coating apparatus.

도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 코팅 장치를 나타낸 개략 사시도이다.2 is a schematic perspective view showing a substrate coating apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 3은 도 2의 노즐부를 중심으로 나타낸 분해 사시도이다.3 is an exploded perspective view illustrating the nozzle unit of FIG. 2.

도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 노즐부의 변형예를 나타낸 분해 사시도이다.4 is an exploded perspective view showing a modification of the nozzle unit according to the first embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 노즐부의 구성을 나타낸 분해 사시도이다.5 is an exploded perspective view showing the configuration of a nozzle unit according to a second embodiment of the present invention.

< 도면 주요 부분에 대한 부호의 설명 >             <Description of the code | symbol about the principal part of drawings>

100: 스테이지 210: 제 1 노즐 몸체100: stage 210: first nozzle body

211: 결합홈 212: 오목부211: engaging groove 212: recess

220: 제 2 노즐 몸체 221: 결합 구멍220: second nozzle body 221: coupling hole

222: 유입구 223: 토출구222: inlet 223: outlet

224: 캐비티 225: 돌출부224: cavity 225: protrusion

230: 결합 수단 300: 구동부230: coupling means 300: drive unit

본 발명은 기판 코팅 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 노즐을 교체할 때 상기 노즐의 분리 및 재조립에 걸리는 시간을 줄이기 위한 기판 코팅 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate coating apparatus, and more particularly, to a substrate coating apparatus for reducing the time taken to separate and reassemble the nozzle when replacing the nozzle.

평판 표시 장치 및 반도체 소자의 제조 공정에서는 박막 증착 공정과 상기 박막 중 선택된 영역을 노출시키는 포토리소그래피 공정 및 상기 선택된 영역의 박막을 제거하는 식각 공정이 다수회 포함되어 있으며, 특히 상기 포토리소그래피 공정은 기판 또는 웨이퍼 상에 포토레지스터와 같은 감광성 물질의 감광막을 형성하는 코팅 공정과 소정의 패턴이 형성된 마스크를 사용하여 이를 패터닝하는 노광 및 현상 공정으로 이루어져 있다.In the manufacturing process of a flat panel display and a semiconductor device, a thin film deposition process, a photolithography process for exposing a selected region of the thin film, and an etching process for removing the thin film of the selected region are included a plurality of times. Or a coating process for forming a photoresist film of a photosensitive material such as a photoresist on a wafer, and an exposure and development process for patterning it using a mask having a predetermined pattern.

일반적으로 기판 또는 웨이퍼 상에 감광막을 형성하는 상기 코팅 공정에는 스프레이(spray) 코팅 방법과, 롤 코팅 방법 또는 스핀(spin) 코팅 방법 등이 사용된다.In general, a spray coating method, a roll coating method, a spin coating method, or the like is used for the coating process of forming a photoresist film on a substrate or a wafer.

상기와 같은 코팅 방법들 중에서 감광막의 균일성 및 막 두께 조정을 정밀하게 수행하기 위해 고정밀 패턴 형성용으로 스핀 코팅 방법이 주로 사용된다. 그러나, 상기 스핀 코팅 방법은 웨이퍼와 같이 크기가 작은 기판에 감광 물질을 코팅하는데 적합하나, 피처리물의 크기가 크고 중량이 무거운 평판 표시 패널용 기판에는 적합하지 않다. 따라서 최근에는 대형 유리 기판 상에 감광막을 코팅하는 슬릿 코팅 방법이 주로 이용되고 있다.Among the coating methods described above, a spin coating method is mainly used for forming a high precision pattern in order to precisely perform uniformity and film thickness adjustment of the photosensitive film. However, the spin coating method is suitable for coating a photosensitive material on a substrate having a small size, such as a wafer, but is not suitable for a substrate for a flat panel display panel having a large and heavy object. Therefore, recently, a slit coating method for coating a photosensitive film on a large glass substrate is mainly used.

일반적인 슬릿 코팅 방법에 사용되는 기판 코팅 장치는 기판이 안착되는 스테이지와, 상기 스테이지의 상부에 위치하여 상기 기판 상부에 약액을 분사하는 노즐부를 포함한다.The substrate coating apparatus used in the general slit coating method includes a stage on which the substrate is seated, and a nozzle unit positioned on the stage and spraying the chemical liquid on the substrate.

기판이 상기 스테이지 상부에 안착되면, 상기 노즐부는 기판의 상부로 이동하고 상기 기판 상부에 약액을 균일하게 토출하여 상기 기판 코팅 작업을 수행한다. 이후, 코팅을 마친 기판은 스테이지 외부로 언로딩되고, 새로운 기판이 로딩되어 상기의 작업을 반복 수행한다. 이때, 상기 코팅을 마친 기판이 언로딩된 후 필요에 따라 상기 노즐부는 세정 작업 및 감광액의 교체를 위해 분리되어진다.When the substrate is seated on the stage, the nozzle unit moves to the upper portion of the substrate and uniformly discharges the chemical liquid on the substrate to perform the substrate coating operation. Thereafter, the coated substrate is unloaded out of the stage, and a new substrate is loaded to repeat the above operation. In this case, after the coated substrate is unloaded, the nozzle unit is separated for cleaning operation and replacement of the photoresist, if necessary.

도 1은 종래의 기판 코팅 장치에 장착된 노즐부를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a nozzle unit mounted on a conventional substrate coating apparatus.

도면을 참조하면, 상기 노즐부는 노즐 헤드(10)와, 상기 노즐 헤드(10)의 하부에 위치하여 제 1 몸체(20a) 및 제 2 몸체(20b)가 결합된 슬릿 노즐(20)을 포함한다. Referring to the drawings, the nozzle unit includes a nozzle head 10 and a slit nozzle 20 positioned below the nozzle head 10 to which the first body 20a and the second body 20b are coupled. .

따라서, 상기 슬릿 노즐(20)의 교체를 위해서 상기 노즐 헤드(10)에서 상기 슬릿 노즐(20)을 분리하여 외부로 이송하고, 이송된 슬릿 노즐은 제 1 및 제 2 몸체(20a, 20b)의 분해 작업을 거쳐 세정 및 감광액 교체를 수행한다. 이후, 상기 제 1 및 제 2 몸체(20a, 20b)는 재조립되고, 상기 노즐 헤드(10)와 결합되어 다음 공정을 수행하게 된다.Therefore, in order to replace the slit nozzle 20, the slit nozzle 20 is separated from the nozzle head 10 and transferred to the outside, and the transferred slit nozzles of the first and second bodies 20a and 20b After disassembly, cleaning and photoresist replacement are performed. Thereafter, the first and second bodies 20a and 20b are reassembled and combined with the nozzle head 10 to perform the following process.

하지만, 상기와 같은 슬릿 노즐(20)의 교체 작업은 작업 과정이 복잡하고, 상기 작업을 수행하는데 많은 시간이 소요된다는 문제점을 가지고 있다.However, the replacement of the slit nozzle 20 as described above has a problem that the work process is complicated and takes a long time to perform the work.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 본 발명은 상기 노즐의 교체 작업을 단순화하기 위한 기판 코팅 장치를 제공함을 그 목적으로 한다.In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a substrate coating apparatus for simplifying the replacement operation of the nozzle.

또한, 노즐의 구성을 간단히 하여 노즐 교체 작업을 단순화하고, 교체에 걸리는 시간을 단축하여 이에 의해 생산성 및 작업 수율을 높이기 위한 기판 코팅 장치를 제공함을 그 목적으로 한다.In addition, the object of the present invention is to provide a substrate coating apparatus for simplifying the configuration of the nozzle, simplifying the nozzle replacement work, and reducing the time required for the replacement, thereby increasing productivity and work yield.

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 기판 코팅 장치는 기판이 안착되는 스테이지와, 상기 스테이지 상부에 위치하며, 상호 결합되는 한 쌍의 노즐 몸체로 이루어진 노즐부와, 상기 노즐 몸체 중 적어도 하나가 고정되어, 상기 노즐부를 이동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the substrate coating apparatus of the present invention is a stage on which the substrate is seated, a nozzle portion consisting of a pair of nozzle bodies positioned on the stage, and coupled to each other, and at least one of the nozzle bodies It is fixed, characterized in that it comprises a drive unit for moving the nozzle unit.

상기 한 쌍의 노즐 몸체는 일 노즐 몸체와 타 노즐 몸체의 마주보는 측벽부가 결합되며, 일 노즐 몸체 상부면의 적어도 일부 영역에 타 노즐 몸체가 중첩되는 것을 특징으로 한다.The pair of nozzle bodies may be coupled to opposite sidewall portions of one nozzle body and the other nozzle body, and the other nozzle body may overlap at least a portion of an upper surface of the one nozzle body.

상기 한 쌍의 노즐 몸체의 각 결합면에는 오목부와 이에 대응하는 돌출부가 각각 형성된 것을 특징으로 한다.Each engaging surface of the pair of nozzle bodies is characterized in that the recessed portion and the corresponding projections are formed respectively.

상기 구동부에 고정되는 상기 노즐의 몸체의 재질은 세라믹인 것을 특징으로 한다.The material of the body of the nozzle fixed to the drive unit is characterized in that the ceramic.

상기 한 쌍의 노즐 몸체는 일 노즐 몸체에 결합 홈이 형성되고 타 노즐 몸체에 결합 구멍이 형성되며, 상기 결합 홈과 결합 구멍에 삽입 체결되는 체결 수단에 의해 결합되는 것을 특징으로 한다.The pair of nozzle body is characterized in that the coupling groove is formed in one nozzle body and the coupling hole is formed in the other nozzle body, it is coupled by a fastening means inserted into the coupling groove and the coupling hole.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 기판 코팅 장치의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.Hereinafter, embodiments of the substrate coating apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various forms, and only the embodiments make the disclosure of the present invention complete and complete the scope of the invention to those skilled in the art. It is provided to inform you. Wherein like reference numerals refer to like elements throughout.

도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 코팅 장치를 나타낸 개략 사시도이고, 도 3은 도 2의 노즐부를 중심으로 나타낸 분해 사시도이고, 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 노즐부의 변형예를 나타낸 분해 사시도이다.2 is a schematic perspective view showing a substrate coating apparatus according to a first embodiment of the present invention, FIG. 3 is an exploded perspective view showing a nozzle part of FIG. 2, and FIG. 4 is a nozzle part according to a first embodiment of the present invention. An exploded perspective view showing a modification.

도 2를 참조하면, 기판 코팅 장치는 기판(G)이 안착되는 스테이지(100)와, 상기 스테이지(100)의 상부에 위치하여 상기 기판(G)에 약액을 분사하는 노즐부(200)와, 상기 노즐부(200)를 구동하는 구동부(300)를 포함한다.Referring to FIG. 2, the substrate coating apparatus includes a stage 100 on which the substrate G is seated, a nozzle part 200 positioned above the stage 100 to inject a chemical solution onto the substrate G, It includes a drive unit 300 for driving the nozzle unit 200.

상기 스테이지(100)는 유리 기판과 같은 피처리물을 안착시키며, 통상 기판(G)의 크기에 대응되는 형상을 가진다. 상기 스테이지(100) 내부에는 상기 기판(G)을 스테이지(100)로부터 들어올리기 위한 다수개의 리프트 핀(미도시)이 설치되고, 이에 의해 기판(G)이 로딩 및 언로딩될 때 기판(G)을 스테이지(100)에 안착시키거나 들어올리는 역할을 한다.The stage 100 seats a workpiece such as a glass substrate, and generally has a shape corresponding to the size of the substrate (G). In the stage 100, a plurality of lift pins (not shown) are installed to lift the substrate G from the stage 100, whereby the substrate G is loaded and unloaded when the substrate G is loaded and unloaded. It serves to seat or lift the stage 100.

또한, 상기 스테이지(100)의 내부에는 상기 리프트 핀과 간섭되지 않도록 진공홀(미도시)이 형성되어 있으며, 상기 진공홀에는 기판(G)을 흡착하기 위해 펌프 등과 같은 진공 형성 수단(미도시)이 연결된다. 따라서, 상기 기판(G)이 상기 스테이지(100)에 안착되면, 진공 형성 수단에 의해 상기 기판(G)을 스테이지(100)로부 터 이탈되지 않도록 상기 스테이지(100)에 흡착 고정한다.In addition, a vacuum hole (not shown) is formed inside the stage 100 so as not to interfere with the lift pin, and the vacuum hole (not shown), such as a pump, for adsorbing the substrate G in the vacuum hole. This is connected. Therefore, when the substrate G is seated on the stage 100, the substrate G is suction-fixed to the stage 100 so as not to be separated from the stage 100 by a vacuum forming means.

상기 노즐부(200)는 기판(G)이 안착되는 스테이지(100)의 상부에 마련된다. 상기 노즐부(200)는 기판(G)을 향하도록 설치되어 상기 기판(G)에 약액을 도포하는 역할을 한다.The nozzle unit 200 is provided on an upper portion of the stage 100 on which the substrate G is seated. The nozzle unit 200 is installed to face the substrate G and serves to apply a chemical to the substrate G.

구동부(300)는 상기 노즐부(200)의 양단에 연결되어 상기 노즐부(200)를 수직 즉 상하 방향으로 이동시키는 한 쌍의 Z축 구동 유닛(310)과, 상기 노즐부(200)를 수평 즉 기판(G)의 전후 방향으로 일정한 속도로 이동시키는 한 쌍의 Y축 구동 유닛(320)을 포함한다. 이때, 상기 Y축 구동 유닛(320)은 모터와 이동 레일, 가이드 레일과 같은 이동 수단으로 구성될 수 있으며, 상기 모터로 비접촉 타입의 리니어(Linear) 모터를 사용할 수 있다.The driving unit 300 is connected to both ends of the nozzle unit 200 to move a pair of Z-axis driving unit 310 to move the nozzle unit 200 vertically or vertically, and the nozzle unit 200 horizontally That is, it includes a pair of Y-axis drive unit 320 to move at a constant speed in the front and rear direction of the substrate (G). In this case, the Y-axis driving unit 320 may be composed of a moving means such as a motor, a moving rail, and a guide rail, and a non-contact type linear motor may be used as the motor.

따라서, 상기 노즐부(200)는 Y축 구동 유닛(320)을 통해 상기 기판(G)의 일측으로부터 타측 방향으로 이동하면서 약액을 분사하여 상기 기판(G) 표면에 균일하게 약액을 도포시킨다. 또한, 이와 달리, 노즐부(200)를 고정시킨 상태에서 상기 기판(G)을 슬라이딩시켜 상기와 동일한 방법으로 코팅 공정을 진행할 수 있음은 물론이다.Therefore, the nozzle unit 200 sprays the chemical liquid while moving from one side of the substrate G to the other side through the Y-axis driving unit 320 to uniformly apply the chemical liquid to the surface of the substrate G. In addition, the coating process may be performed in the same manner as above by sliding the substrate G while the nozzle unit 200 is fixed.

또한, 도면에서는 도시되지 않았지만, 상기 노즐부(200)에는 상기 기판(G)에 코팅될 약액을 공급하는 약액 공급부(미도시)가 더 설치되고, 상기 스테이지(100)의 일측에는 예비 토출 장치(미도시)가 설치된다.In addition, although not shown in the drawing, the nozzle unit 200 is further provided with a chemical liquid supply unit (not shown) for supplying a chemical liquid to be coated on the substrate (G), one side of the stage 100 is a preliminary discharge device ( Not shown) is installed.

즉, 공정을 처음 시작하는 경우, 상기 노즐부(200)에는 상기 약액 공급부로부터 약액이 공급되고, 약액이 공급된 노즐부(200)는 상기 예비 토출 장치에 예비 토출을 하여 기판(G)에 균일한 약액이 도포되도록 준비한다. 이때, 상기 예비 토출은 상기 기판(G)에 도포되기 전에 상기 약액의 초기 토출 균일도 등을 제어하는 역할을 한다.That is, when starting the process for the first time, the chemical liquid is supplied to the nozzle unit 200 from the chemical liquid supply unit, and the nozzle unit 200 to which the chemical liquid is supplied is preliminarily discharged to the preliminary discharging device to uniform the substrate G. Prepare one drug solution to be applied. In this case, the preliminary ejection serves to control the initial ejection uniformity of the chemical liquid before being applied to the substrate G.

한편, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 노즐부(200)는 제 1 노즐 몸체(210)와, 상기 제 1 노즐 몸체(210)의 일측에 결합되는 제 2 노즐 몸체(220)를 포함한다.Meanwhile, as shown in FIG. 3, the nozzle unit 200 includes a first nozzle body 210 and a second nozzle body 220 coupled to one side of the first nozzle body 210.

상기 제 1 노즐 몸체(210)는 상기 구동부(300)와 연결되어 상하로 이동가능하게 형성되고, 상기 기판(G)과의 높낮이 위치를 조절함과 동시에, 제 2 노즐 몸체(220)와 결합하여 약액을 토출하는 역할을 한다. 상기 제 1 노즐 몸체(210)는 직사각형의 긴 바(bar) 형상이고, 상기 제 1 노즐 몸체(210)의 일측에는 결합홈(211)이 형성되어 있다. 이때, 상기 결합홈(211)은 나사 등의 결합 수단(230)이 제 2 노즐 몸체(220)에 형성된 결합 구멍(221)을 통해 결합된다. The first nozzle body 210 is connected to the driving unit 300 and is formed to be movable up and down, and adjusts a height of the substrate G and the second nozzle body 220 at the same time. It serves to discharge the chemical liquid. The first nozzle body 210 has a rectangular long bar shape, and a coupling groove 211 is formed at one side of the first nozzle body 210. At this time, the coupling groove 211 is coupled to the coupling means 230 such as a screw through the coupling hole 221 formed in the second nozzle body 220.

또한, 상기 제 1 노즐 몸체(210)의 상부에는 기포 배기구(미도시)가 형성될 수 있다. 즉, 상기 기포 배기구는 제 2 노즐 몸체(220)와 연결되어, 상기 제 2 노즐 몸체(220)에서 발생될 수 있는 기포를 제거하는 역할을 한다.In addition, a bubble exhaust port (not shown) may be formed on an upper portion of the first nozzle body 210. That is, the bubble exhaust port is connected to the second nozzle body 220 to remove bubbles that may be generated in the second nozzle body 220.

상기 제 2 노즐 몸체(220)는 통상 직육면체의 형상을 가지고 4개의 측면 중 한 면의 일부가 테이퍼(taper) 진 형상을 갖도록 구성되어, 상기와 대향하는 면이 제 1 노즐 몸체(210)의 일측과 결합된다. The second nozzle body 220 is generally configured to have a rectangular parallelepiped shape and a part of one side of the four side surfaces has a tapered shape, and the surface facing the above is one side of the first nozzle body 210. Combined with

즉, 상기 제 2 노즐 몸체(220)는 평면부(220a)와, 상기 평면부(220a)로부터 수직으로 절곡된 측벽부(220b)로 구성되어, 상기 제 2 노즐 몸체(220)의 평면 부(220a)의 하부는 상기 제 1 노즐 몸체(210)의 상부 일부를 덮도록 하고 상기 측벽부(220b)의 내측면은 결합홈(211)이 형성된 제 1 노즐 몸체(210)의 면과 결합된다. 또한, 상기 측벽부(220b)에는 좌우 관통하도록 결합 구멍(221)이 형성되어 있어, 나사 등의 결합 수단에 의해 상기 제 1 노즐 몸체(210)와 결합된다.That is, the second nozzle body 220 is composed of a flat portion 220a and a side wall portion 220b bent vertically from the flat portion 220a, so that the flat portion of the second nozzle body 220 ( A lower portion of 220a covers the upper portion of the first nozzle body 210, and an inner surface of the side wall portion 220b is coupled to a surface of the first nozzle body 210 in which the coupling groove 211 is formed. In addition, a coupling hole 221 is formed in the side wall portion 220b so as to penetrate right and left, and is coupled to the first nozzle body 210 by a coupling means such as a screw.

상기 제 2 노즐 몸체(220)의 내측에는 유입구(222) 및 토출구(223)가 연결되어 형성되고, 상기 유입구(222) 및 토출구(223) 사이에는 캐비티(224)가 형성되어 있다.An inlet 222 and an outlet 223 are connected to the inside of the second nozzle body 220, and a cavity 224 is formed between the inlet 222 and the outlet 223.

즉, 상기 유입구(222)는 제 2 노즐 몸체(220)의 상부면에 형성되고, 약액 공급부(미도시)와 연결되어 상기 약액이 제 2 노즐 몸체(220)에 공급되고, 상기 토출구(223)는 제 2 노즐 몸체(220)의 하부 즉, 기판(G)과 마주보는 면에 하방으로 돌출되어 형성된다. 상기 토출구(223)는 기판(G)의 폭보다 길이가 긴 슬릿 형상을 가지며, 상기 선형의 토출구(223)를 통해 일정한 양의 약액이 기판(G) 상부에 토출된다. 또한, 상기 캐비티(224)는 유입구(222) 및 토출구(223) 사이에 형성되고, 펌핑 수단(미도시)에 의해 가압되는 약액을 균일하게 분사시키기 위해 유입구(222)로부터 유입된 소량의 약액을 일시적으로 저장하는 역할을 한다.That is, the inlet 222 is formed on the upper surface of the second nozzle body 220, is connected to the chemical liquid supply unit (not shown), the chemical liquid is supplied to the second nozzle body 220, the discharge port 223 The lower portion of the second nozzle body 220, that is, protrudes downward on the surface facing the substrate (G). The discharge port 223 has a slit shape having a length longer than the width of the substrate G, and a predetermined amount of the chemical liquid is discharged through the linear discharge port 223 on the substrate G. In addition, the cavity 224 is formed between the inlet 222 and the outlet 223, and a small amount of the chemical liquid introduced from the inlet 222 to uniformly spray the chemical liquid pressurized by the pumping means (not shown) Temporarily stores.

상기 제 1 노즐 몸체(210)는 통상 쓰이는 금속 재질 뿐 아니라 세라믹 재질로 구성할 수 있다. 즉, 상기와 같이 세라믹 재질로 제 1 노즐 몸체(210)를 구성함으로써 노즐부(200)의 전체적인 무게를 감소시키는 동시에 노즐부(200)의 처짐을 방지할 수 있다.The first nozzle body 210 may be formed of a ceramic material as well as a metal material commonly used. That is, by configuring the first nozzle body 210 made of a ceramic material as described above, it is possible to reduce the overall weight of the nozzle unit 200 and to prevent sagging of the nozzle unit 200.

또한, 상기 제 1 노즐 몸체(210)와, 제 2 노즐 몸체(220) 사이에는 심(shim, 미도시)을 개재할 수 있다. 즉, 상기 제 1 노즐 몸체(210)와 제 2 노즐 몸체(220) 사이에 심을 게재하여 결합함으로써, 토출구(223)의 간극을 일정하게 유지시킬 수 있다.In addition, a shim (not shown) may be interposed between the first nozzle body 210 and the second nozzle body 220. That is, by placing and coupling the shim between the first nozzle body 210 and the second nozzle body 220, the gap between the discharge ports 223 may be kept constant.

상기 노즐부(200)는 도 4에 도시된 바와 같이 구성할 수도 있다. 즉, 직육면체의 바 형상의 제 1 노즐 몸체(210)의 일측 즉, 제 2 노즐 몸체(220)가 결합되는 면에 수평 방향으로 오목부(212)를 형성하고, 상기 제 2 노즐 몸체(220)의 내측에는 상기 오목부(212)에 대응하는 돌출부(225)를 형성함으로써, 상기 제 1 노즐 몸체(210)와 제 2 노즐 몸체(220)의 결합력을 강화시켜줄 수 있다. The nozzle unit 200 may be configured as shown in FIG. 4. That is, a recess 212 is formed in a horizontal direction on one side of the bar-shaped first nozzle body 210 of the rectangular parallelepiped, that is, the surface on which the second nozzle body 220 is coupled, and the second nozzle body 220 is formed. By forming a protrusion 225 corresponding to the concave portion 212, the coupling force between the first nozzle body 210 and the second nozzle body 220 may be strengthened.

이때, 상기 제 1 노즐 몸체(210)에 돌출부(225)를 형성하고 제 2 노즐 몸체(220)에 오목부(212)를 형성하여도 무방하고, 상기 오목부(212) 및 돌출부(225)는 복수개로 형성할 수 있다. 또한, 상기 오목부(212) 및 돌출부(225)를 상하로 번갈아가며 형성하여 상기 제 1 노즐 몸체(210)와 제 2 노즐 몸체(220)를 결합하여도 무방하다. 그러나, 상기 오목부(212) 및 볼록부(220)는 제 2 노즐 몸체(220) 내부의 약액의 진행 경로나 결합 구멍(221)에 간섭되지 않도록 형성하는 것이 바람직하다.In this case, the protrusion 225 may be formed in the first nozzle body 210, and the recess 212 may be formed in the second nozzle body 220, and the recess 212 and the protrusion 225 may be formed. It can form in multiple numbers. In addition, the concave portion 212 and the protrusion 225 may be alternately formed up and down to combine the first nozzle body 210 and the second nozzle body 220. However, the concave portion 212 and the convex portion 220 may be formed so as not to interfere with the advancing path or the coupling hole 221 of the chemical liquid inside the second nozzle body 220.

이러한 상기 제 1 실시예에 따른 구성을 갖는 노즐부(200)는 제 1 노즐 몸체(210) 및 제 2 노즐 몸체(220)를 결합 수단(230)에 의해 결합되고, 공정을 마친 후 정비 또는 세정하는 경우 제 2 노즐 몸체(220)만 분해가 가능하도록 구성된다. 따라서, 상기 노즐부(200)의 구성이 단순해지고, 상기 제 2 노즐 몸체(220)의 분해, 조립하는 시간 및 공정이 감소되는 효과가 있다. 특히, 기판(G)이 대형화되는 경우에는 노즐부(200)의 크기가 커지기 때문에 분해, 조립 및 세정 시간이 오래 걸린다. 따라서, 상기와 같은 구성은 더욱 뛰어난 효과를 갖는다.The nozzle unit 200 having the configuration according to the first embodiment is coupled to the first nozzle body 210 and the second nozzle body 220 by the coupling means 230, maintenance or cleaning after finishing the process If so, only the second nozzle body 220 is configured to be disassembled. Therefore, the configuration of the nozzle unit 200 is simplified, and the time and process of disassembling and assembling the second nozzle body 220 are reduced. In particular, when the substrate G is enlarged, the size of the nozzle part 200 becomes large, so that the disassembly, assembly, and cleaning time are long. Therefore, the above configuration has a further excellent effect.

도면에서는 상기 제 2 노즐 몸체(220)를 제 1 노즐 몸체(210)의 상부를 덮도록 형성하였으나, 상기 제 2 노즐 몸체(220)를 측벽부로만 구성하여 상기 제 2 노즐 몸체(220)의 상부의 끝단은 제 1 노즐 몸체(210)의 상부와 일직선상에 위치하여 구성하여도 무방하다.In the drawing, the second nozzle body 220 is formed to cover the upper part of the first nozzle body 210, but the second nozzle body 220 is configured only as a sidewall part to form an upper part of the second nozzle body 220. The end of may be disposed in line with the upper portion of the first nozzle body (210).

도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 노즐부의 구성을 나타낸 분해 사시도이다.5 is an exploded perspective view showing the configuration of a nozzle unit according to a second embodiment of the present invention.

도면을 참조하면, 상기 노즐부(200)는 제 1 노즐 몸체(210)와, 상기 제 1 노즐 몸체(210)의 일측에 결합된 제 2 노즐 몸체(220)를 포함한다. Referring to the drawings, the nozzle unit 200 includes a first nozzle body 210 and a second nozzle body 220 coupled to one side of the first nozzle body 210.

상기 제 1 노즐 몸체(210)는 평면부(210a)와, 상기 평면부(210a)의 하부로 수직으로 절곡된 측벽부(210b)로 구성되어 있다. 이때, 상기 측벽부(210b)의 내측에는 결합홈(211)이 형성되고, 상기 결합홈(211)에는 나사 등의 결합 수단(230)이 상기 제 2 노즐 몸체(220)에 형성된 결합 구멍(221)을 통해 결합된다. 이때, 상기 제 1 노즐 몸체(210)의 재질을 세라믹으로 구성하면 상기 노즐부(200) 전체의 무게를 감소시킬 수 있는 효과가 있다.The first nozzle body 210 includes a planar portion 210a and a sidewall portion 210b bent vertically below the planar portion 210a. In this case, a coupling groove 211 is formed inside the side wall portion 210b, and coupling means 230, such as a screw, is formed in the coupling groove 211 in the second nozzle body 220. Combined through). In this case, when the material of the first nozzle body 210 is made of ceramic, the weight of the entire nozzle unit 200 may be reduced.

상기 제 2 노즐 몸체(220)는 통상 직육면체의 형상을 가지고 4개의 측면 중 한면의 일부가 테이퍼 진 형상을 갖도록 구성된다.The second nozzle body 220 is generally configured to have a rectangular parallelepiped shape and a part of one of four side surfaces has a tapered shape.

도면에서는 도시되지 않았으나, 상기 제 2 노즐 몸체(220)에는 유입구 및 토출구와, 상기 유입구 및 토출구 사이에 형성된 캐비티가 마련된다. 이때, 상기 유 입구, 토출구 및 캐비티의 구조 및 역할은 본 발명의 제 1 실시예와 동일하므로 생략한다.Although not shown in the drawing, the second nozzle body 220 is provided with an inlet and an outlet and a cavity formed between the inlet and the outlet. In this case, the structure and the role of the oil inlet, the discharge port and the cavity are the same as in the first embodiment of the present invention and will be omitted.

상기 노즐부(200)는 상기 제 2 노즐 몸체(220)의 테이퍼 진 면의 대향면이 상기 제 1 노즐 몸체(210)의 측벽부(210b)의 내측과 평면부(210a)의 하부에 안착되어 나사 등에 의한 결합 수단(230)에 의해 결합된다.The nozzle part 200 has an opposite surface of the tapered surface of the second nozzle body 220 mounted on the inner side of the side wall part 210b of the first nozzle body 210 and the lower part of the flat part 210a. By means of a coupling means 230 by screws or the like.

또한, 상기 제 1 노즐 몸체(210) 및 제 2 노즐 몸체(220)에는 본 발명의 제 1 실시예와 같이 상기 제 1 노즐 몸체(210)에는 오목부를 형성하고, 제 2 노즐 몸체(220)에는 볼록부를 형성하여 체결력을 강화시킬 수도 있다. In addition, in the first nozzle body 210 and the second nozzle body 220, as shown in the first embodiment of the present invention, the first nozzle body 210 is formed with a recess, and the second nozzle body 220 It is also possible to strengthen the tightening force by forming a convex portion.

이하에서는 도 1을 참조하여 상기 기판 코팅 장치의 동작을 설명한다.Hereinafter, an operation of the substrate coating apparatus will be described with reference to FIG. 1.

먼저, 기판(G)이 스테이지(100) 상에 이동되면, 상기 스테이지(100) 상에 형성된 리프트 핀(미도시)은 기판(G)을 지지하기 위해 상기 스테이지(100) 상부로 이동 돌출되고, 상기 기판(G)은 스테이지(100) 상부로 돌출된 리프트 핀의 하강에 의해 상기 스테이지(100)에 안착된다. 이때, 상기 기판(G)은 스테이지(100) 상에 형성된 얼라이너(미도시)에 의해 정렬되고, 상기 스테이지(100)의 하부에 마련된 펌프 등의 진공 수단(미도시)은 스테이지(100)에 상하 관통되어 형성된 진공홀(미도시)을 통해 기판(G)을 스테이지(100) 상에 흡착 고정시킨다.First, when the substrate G is moved on the stage 100, the lift pins (not shown) formed on the stage 100 move upwardly and protrude above the stage 100 to support the substrate G. The substrate G is seated on the stage 100 by the lowering of the lift pin protruding above the stage 100. In this case, the substrate G is aligned by an aligner (not shown) formed on the stage 100, and a vacuum means (not shown) such as a pump provided under the stage 100 is connected to the stage 100. The substrate G is adsorbed and fixed on the stage 100 through a vacuum hole (not shown) formed through the top and bottom.

이후, 상기 노즐부(200)는 상기 스테이지(100)의 일측에 구비된 예비 토출부(미도시)로 이동하고, 초기 고농도의 약액을 토출하여 예비 토출을 수행한다. 이후, 상기 노즐부(200)는 기판(G)의 상부로 이동하고, Z축 구동 유닛(310)에 의해 기판(G)과 노즐부(200)에 형성된 토출구(223) 사이의 간격을 조절하여 기판(G) 상 부에서 Y축 구동 유닛(320)에 의해 정속 이동하면서 상기 기판(G)의 코팅을 수행하여 기판 코팅을 마친다.Thereafter, the nozzle unit 200 moves to a preliminary ejection unit (not shown) provided at one side of the stage 100, and discharges a chemical solution of an initial high concentration to perform a preliminary ejection. Thereafter, the nozzle unit 200 moves to the upper portion of the substrate G, and the gap between the discharge hole 223 formed in the substrate G and the nozzle unit 200 by the Z-axis driving unit 310 is adjusted. The substrate G is coated by performing the coating of the substrate G while moving at a constant speed by the Y-axis driving unit 320 on the substrate G, thereby completing the substrate coating.

종래의 기술은 두 개의 반체를 결합하여 하나의 노즐 몸체로 형성하고, 결합된 노즐 몸체를 지지하는 노즐 헤드를 포함하여 노즐부를 구성하는 반면 본 발명의 노즐부(200)는 제 1 노즐 몸체(210)와 반체의 제 2 노즐 몸체(220)만을 결합하여 구성함으로써 구조가 간단해지는 효과를 가진다.The prior art combines two halves to form a single nozzle body, and comprises a nozzle part including a nozzle head for supporting the combined nozzle body, whereas the nozzle part 200 of the present invention includes a first nozzle body 210. ) And only the second nozzle body 220 of the half body are combined to have a simple structure.

상기에서는 제 1 노즐 몸체(210)에 결합홈(211)을 형성하고, 제 2 노즐 몸체(220)에 결합 구멍(220)을 형성하여 결합 수단(230)에 의해 결합하였으나, 제 1 노즐 몸체(210)에 결합 구멍을 형성하고, 제 2 노즐 몸체(220)에 결합홈(211)을 형성하여 상기 제 1 노즐 몸체(210)와 제 2 노즐 몸체(220)를 결합할 수 있음은 물론이다. 또한, 상기 결합홈(211) 및 결합 구멍(221)에는 결합 수단(230)이 단단히 결합되도록 나사산이 형성되어 있을 수도 있음은 물론이다.In the above, the coupling groove 211 is formed in the first nozzle body 210 and the coupling hole 220 is formed in the second nozzle body 220 to be coupled by the coupling means 230, but the first nozzle body ( A coupling hole may be formed in the 210, and a coupling groove 211 may be formed in the second nozzle body 220 to combine the first nozzle body 210 and the second nozzle body 220. In addition, the coupling groove 211 and the coupling hole 221 may be a thread formed so that the coupling means 230 is firmly coupled.

상기와 같은 본 발명의 노즐부(200)의 구성은 제 1 실시예와 제 2 실시예가 서로 조합되어 구성될 수 있음은 물론이다.The configuration of the nozzle unit 200 of the present invention as described above is of course that the first embodiment and the second embodiment can be configured in combination with each other.

이상에서는 도면 및 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명은 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims. You will understand.

상술한 바와 같이, 본 발명은 노즐부를 간단히 구성할 수 있는 기판 코팅 장 치를 제안하였다. 그러므로, 상기 노즐부의 정비 및 세정을 위해 노즐 교체 작업시 교체에 걸리는 시간을 단축시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention has proposed a substrate coating apparatus that can simply configure the nozzle unit. Therefore, there is an effect that can shorten the time taken for replacement during the nozzle replacement operation for maintenance and cleaning of the nozzle unit.

또한, 본 발명은 노즐 교체 시간을 단축하여 공정 시간을 줄일 수 있으므로, 생산성 및 작업 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention can reduce the process time by reducing the nozzle replacement time, there is an effect that can improve the productivity and work yield.

또한, 본 발명은 노즐부의 간단한 구조과 함께 재질을 세라믹으로 형성함으로써, 무게가 감소됨과 동시에 내구성이 향상되는 효과가 있다.In addition, the present invention by forming a material with a ceramic with a simple structure of the nozzle, there is an effect that the weight is reduced and durability is improved at the same time.

Claims (5)

기판이 안착되는 스테이지(100)와;A stage 100 on which the substrate is seated; 결합홈(211)이 다수 형성되고 직사각형 바 형상의 제1노즐몸체(210)와, 내측에 약액이 유입되는 유입구(222)와 토출구(223)가 연결되어 형성되고 상기 유입구(222)와 상기 토출구(223)의 사이에는 캐비티(224)가 형성되며 상기 결합홈(211)과 정렬되는 결합 구멍(221)이 다수 형성되어 상기 결합 구멍(221)을 관통하는 결합 수단(230)에 의해 상기 제1노즐 몸체(210)에 결합되는 제2노즐몸체(220)로 이루어지며, 상기 제1노즐몸체(210)와 상기 제2노즐몸체(220) 중 어느 하나는 다른 하나의 상부면의 적어도 일부 영역에 중첩되는 평면부(220a)가 구비되고, 상기 제1노즐몸체(210)와 상기 제2노즐몸체(220)의 대향면 중 어느 하나에는 상기 평면부(220a)로부터 이격된 하측에 오목부(212)가 형성되고, 상기 제1노즐몸체(210)와 상기 제2노즐몸체(220)의 대향면 중 다른 하나에는 돌출부(225)가 상기 대향면의 길이 방향으로 연장 형성되면서 상기 평면부(220a)보다 작게 돌출되어 상기 오목부(212)에 삽입되게 형성되고, 상기 스테이지(100) 상부에 위치하는 노즐부(200)와;A plurality of coupling grooves 211 are formed and the first nozzle body 210 having a rectangular bar shape, and an inlet 222 and an outlet 223 through which the chemical liquid is introduced are connected to each other, and the inlet 222 and the outlet are connected. Cavity 224 is formed between the 223 and a plurality of coupling holes 221 to be aligned with the coupling groove 211 is formed by the coupling means 230 through the coupling hole 221 the first And a second nozzle body 220 coupled to the nozzle body 210, and any one of the first nozzle body 210 and the second nozzle body 220 may be formed on at least a portion of the upper surface of the other. An overlapping planar portion 220a is provided, and a concave portion 212 is spaced apart from the planar portion 220a on any one of opposing surfaces of the first nozzle body 210 and the second nozzle body 220. ) Is formed, and the protrusion 225 is formed on the other of the opposing surfaces of the first nozzle body 210 and the second nozzle body 220. As extended in the longitudinal direction of the facing surface is smaller than the protruding plane portion (220a) is formed to be inserted into the recess 212, and a nozzle portion 200 which is located above the stage 100; 상기 노즐부(200)를 이동시키는 구동부(300)를;A driving unit 300 for moving the nozzle unit 200; 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 코팅 장치.Substrate coating device, characterized in that configured to include. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제1노즐몸체(210)와 상기 제2노즐몸체(220) 중 어느 하나 이상은 세라믹 재질인 것을 특징으로 하는 기판 코팅 장치.At least one of the first nozzle body 210 and the second nozzle body 220 is a substrate coating apparatus, characterized in that the ceramic material. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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