JPH078879A - Fluid-coating device - Google Patents

Fluid-coating device

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Publication number
JPH078879A
JPH078879A JP17724193A JP17724193A JPH078879A JP H078879 A JPH078879 A JP H078879A JP 17724193 A JP17724193 A JP 17724193A JP 17724193 A JP17724193 A JP 17724193A JP H078879 A JPH078879 A JP H078879A
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JP
Japan
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coating
fluid
slot
head
thickness
Prior art date
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Pending
Application number
JP17724193A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Mitsuru Hirata
満 平田
Yoshito Baba
義人 馬場
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hirata Corp
Rohm and Haas Electronic Materials KK
Original Assignee
Hirata Corp
Shipley Far East Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hirata Corp, Shipley Far East Ltd filed Critical Hirata Corp
Priority to JP17724193A priority Critical patent/JPH078879A/en
Publication of JPH078879A publication Critical patent/JPH078879A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To provide a fluid-coating device enabling to continuously form a coating film varying in the film thickness. CONSTITUTION:A coating head 1 is formed by holding one sheet of thin plate- like shim 4 between split heads 2, 3 and a slot is formed with the shim 4 between both split heads 2, 3. The shim 4 is thinner at one side edge part and is thicker at the other side edge part, thus the slot has also a narrower space at the one side edge part and has a wider space at the other side edge part. Since the space of the slot varies, thickness of a coating film formed with the slot varies along the width direction too.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は流体塗布装置に関する。
具体的にいうと、本発明は、塗布対象物の表面に流体を
塗布するためのスロット型の流体塗布装置に関する。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a fluid application device.
Specifically, the present invention relates to a slot type fluid application device for applying a fluid to the surface of an application target.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、家屋のウインドガラスや自動車
のフロントガラスなどには、見通しを妨げることなく強
い日差しを遮断するため、ガラス板の上部にのみ遮光フ
ィルターを設けたものがある。しかも、この遮光フィル
ターは、均一な色濃度でなく、上部で濃く、下方へ行く
ほど薄くなっている。
2. Description of the Related Art For example, some windshields of houses and windshields of automobiles are provided with a light-shielding filter only on the upper part of a glass plate in order to block strong sunlight without obstructing the line of sight. Moreover, the light-shielding filter does not have a uniform color density, but is darker at the top and thinner at the bottom.

【0003】一方、一般的な塗布装置としては、例えば
スピンコータやロールコータなどがある。このスピンコ
−タは、塗布対象物を一定の回転数で回転させながら基
層の上に塗布液を滴下し、遠心力によって塗布液を薄く
延ばし、塗布液の粘度や回転数等によって決まる膜厚の
塗膜を塗布対象物の表面に形成する装置である。また、
ロールコータは、ドクターブレード等によってローラ表
面に一定膜厚の塗布液を形成した後、その塗布液を塗布
対象物の表面に転写させる方法である。
On the other hand, typical coating devices include, for example, a spin coater and a roll coater. In this spin coater, the coating liquid is dropped on the base layer while rotating the object to be coated at a constant rotation speed, and the coating liquid is spread thinly by centrifugal force. This is an apparatus for forming a coating film on the surface of an object to be coated. Also,
The roll coater is a method in which a doctor blade or the like forms a coating solution having a constant film thickness on the roller surface and then transfers the coating solution onto the surface of an object to be coated.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなスピンコータやロールコータ等にあっては、精度よ
く均一な厚みの塗膜を形成することができるが、逆に、
不均一な厚みの塗膜を形成することができず、特に、片
側で厚く、もう一方の片側で薄くなるように塗膜を形成
することができなかった。
However, in such a spin coater or roll coater, a coating film having a uniform thickness can be formed accurately, but conversely,
It was not possible to form a coating film having an uneven thickness, and in particular, it was not possible to form a coating film that was thick on one side and thin on the other side.

【0005】このため、例えば上記の遮光フィルターの
ように色濃度(つまり、膜厚)が次第に変化するような
塗膜を形成することができなかった。
For this reason, it has been impossible to form a coating film whose color density (that is, film thickness) gradually changes like the above-mentioned light-shielding filter.

【0006】本発明は叙上の従来例の欠点に鑑みてなさ
れたものであって、その目的とするところは、膜厚の変
化する塗膜を連続的に形成することができる流体塗布装
置を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above-mentioned drawbacks of conventional examples, and an object of the present invention is to provide a fluid coating device capable of continuously forming a coating film having a variable film thickness. To provide.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の流体塗布装置
は、塗布ヘッド内に流体を注入するための流体注入口
と、塗布ヘッド内に幅方向に沿って形成され、該流体注
入口から注入された流体を塗布ヘッドの幅方向に拡散さ
せるための空洞部と、該空洞部内の流体を所定の厚みに
して流出させるためのスロットとを備えた流体塗布装置
において、前記スロットの間隙がスロットの幅方向にわ
たって一定でないことを特徴としている。
A fluid application device of the present invention is provided with a fluid injection port for injecting a fluid into an application head, and a fluid injection port formed in the application head along the width direction. In a fluid application device including a cavity for diffusing the fluid formed in the width direction of the application head and a slot for allowing the fluid in the cavity to have a predetermined thickness and flowing out, the gap between the slots is It is characterized by not being constant across the width.

【0008】上記流体塗布装置においては、厚みが均一
でない板状体を一対の分割ヘッド間に挟み込んで塗布ヘ
ッドを構成し、当該板状体によって分割ヘッド間に生成
させた間隙によって前記スロットを形成することができ
る。
In the above-mentioned fluid coating device, a plate-shaped body having a non-uniform thickness is sandwiched between a pair of divided heads to form a coating head, and the slot is formed by a gap created between the divided heads by the plate-shaped body. can do.

【0009】[0009]

【作用】本発明の流体塗布装置にあっては、流体塗膜の
厚みはスロットの流体厚み方向の間隙によって決まり、
しかも、スロットの流体厚み方向の間隙がスロットの幅
方向にわたって一定でないので、スロットから流出する
流体の膜厚も幅方向にわたって変化させることができ
る。すなわち、スロットの厚み方向の間隙を幅方向にわ
たって適当に設計することにより所望の膜厚変化を有す
る流体塗膜を得ることができる。しかも、精度よく膜厚
をコントロールすることができる。
In the fluid coating device of the present invention, the thickness of the fluid coating film is determined by the gap in the fluid thickness direction of the slot,
Moreover, since the gap in the fluid thickness direction of the slot is not constant over the width direction of the slot, the film thickness of the fluid flowing out from the slot can be varied over the width direction. That is, by appropriately designing the gap in the thickness direction of the slot over the width direction, a fluid coating film having a desired film thickness change can be obtained. Moreover, the film thickness can be controlled accurately.

【0010】また、分割ヘッド間に板状体を挟み込むこ
とによってスロットを形成した流体塗布装置において
は、板状体を交換することによって簡単にスロットの開
口形状を変えることができ、流体塗膜の厚みの変化を自
由に変化させることができる。
Further, in the fluid application device in which the slot is formed by sandwiching the plate-shaped body between the divided heads, the opening shape of the slot can be easily changed by exchanging the plate-shaped body, and the fluid coating film The change in thickness can be changed freely.

【0011】[0011]

【実施例】図1は本発明の一実施例による流体塗布装置
に用いられる塗布ヘッド1を示す断面図である。この塗
布ヘッド1は、2つの分割ヘッド2,3と1枚のシム4
とから構成されており、これらの内面側から見た正面図
を図2に示し、分解斜視図を図3に示す。一方の分割ヘ
ッド2の内壁面には、図2に示すように、左右にわたっ
て空洞状をした流体リザーバ5が設けられている。流体
リザーバ5は、分割ヘッド2の内壁面から内方へ向けて
水平に凹設されており、分割ヘッド2の上面から流体リ
ザーバ5の中央部に向けて塗布液注入口6が穿設されて
いる。他方の分割ヘッド3は、内壁面の上端縁から位置
決め用の突部7が突設されており、この突部7を対向す
る分割ヘッド2の上面に当設させることにより、塗布ヘ
ッド1の組立時に両分割ヘッド2,3同志を位置合わせ
できるようにしている。また、この分割ヘッド3の内壁
面は、通孔8を除いて平らに形成されている。また、両
分割ヘッド2,3の下面の内壁面側の縁には左右全幅に
わたって断面三角形状のテーパ部9を突出させてあり、
下面全体にポリテトラフルオロエチレン(PTFE)等
のフッ素樹脂10をコ−ティングしてある。シム4は、
金属製の薄板であって、両側端に脚片11を有していて
脚片11間に切欠状凹部12を形成されており、図3に
示すように板厚が次第に変化していて、一方側端部で厚
みが薄く、他方側端部で厚みが厚くなっている。
1 is a sectional view showing a coating head 1 used in a fluid coating apparatus according to an embodiment of the present invention. This coating head 1 includes two divided heads 2 and 3 and one shim 4.
2 is shown in FIG. 2 and an exploded perspective view is shown in FIG. On the inner wall surface of one of the divided heads 2, as shown in FIG. 2, a fluid reservoir 5 having a hollow shape is provided over the left and right. The fluid reservoir 5 is horizontally recessed inward from the inner wall surface of the split head 2, and the coating liquid injection port 6 is bored from the upper surface of the split head 2 toward the center of the fluid reservoir 5. There is. The other divided head 3 is provided with a protrusion 7 for positioning from the upper edge of the inner wall surface. By associating this protrusion 7 with the upper surface of the opposed divided head 2, the assembly of the coating head 1 is completed. Sometimes, both heads 2 and 3 can be aligned. The inner wall surface of the divided head 3 is formed flat except for the through holes 8. Further, a tapered portion 9 having a triangular cross-section is projected over the entire width on the left and right sides at the inner wall side edges of the lower surfaces of the two divided heads 2, 3.
A fluororesin 10 such as polytetrafluoroethylene (PTFE) is coated on the entire lower surface. Sim 4 is
It is a thin metal plate having leg pieces 11 at both ends and notched recesses 12 formed between the leg pieces 11. The plate thickness gradually changes as shown in FIG. The thickness is thin at the side end and thick at the other side end.

【0012】図3に示すように、内壁面間にシム4を挟
み込むようにして両分割ヘッド2,3を組み合わせ、分
割ヘッド3及びシム4の通孔8,13に挿通させたボル
ト14を分割ヘッド2のねじ孔15に螺合させ、ボルト
14を強く締め付けることによって図1のような塗布ヘ
ッド1が構成されている。こうして組み立てられた塗布
ヘッド1においては、シム4の切欠状凹部12によって
分割ヘッド2,3の内壁面間に塗布液整形用のスロット
16が形成され、スロット16の下端は塗布ヘッド1下
面でノズル口17として開口し、流体リザーバ5の開口
はスロット16の上端部に臨み、スロット16内部と連
通している。シム4は一方側端部で厚く、他方側端部で
薄くなっているので、分割ヘッド2,3間に形成される
スロット16もシム4と同様に一方側端部で間隙が大き
く、他方側端部で間隙が小さくなる。
As shown in FIG. 3, the divided heads 2 and 3 are combined so that the shim 4 is sandwiched between the inner wall surfaces, and the bolt 14 inserted into the through holes 8 and 13 of the divided head 3 and the shim 4 is divided. The application head 1 as shown in FIG. 1 is configured by screwing the head 2 into the screw hole 15 and tightly tightening the bolt 14. In the coating head 1 thus assembled, the notch-shaped recess 12 of the shim 4 forms the slot 16 for shaping the coating liquid between the inner wall surfaces of the divided heads 2 and 3, and the lower end of the slot 16 is the lower surface of the coating head 1 and the nozzle. The opening of the fluid reservoir 5 faces the upper end of the slot 16 and communicates with the inside of the slot 16. Since the shim 4 is thick at one end and thin at the other end, the slot 16 formed between the divided heads 2 and 3 has a large gap at one end like the shim 4, and the other side has a large gap. The gap becomes smaller at the edges.

【0013】しかして、塗布液注入口6から流体リザー
バ5内に塗布液を供給すると、塗布液は流体リザーバ5
内に充満して流体リザーバ5内の全幅に広がる。さら
に、塗布液は供給圧によって流体リザーバ5からスロッ
ト16内へ流れ出し、スロット16の膜厚と同じ膜厚に
整えられて下端のノズル口17から流出し、塗布対象物
18の表面に成膜される。しかも、このときスロット1
6の間隙が幅方向にわたって変化しているので、スロッ
ト16によって膜厚整形された塗膜19の膜厚も幅方向
にわたってスロット16と同様に変化し、塗布対象物1
8の表面には幅方向にわたって膜厚の変化した塗膜19
が形成される。ここで、塗布液の流量と塗布対象物18
の送り速度との間には一定の関係があり、塗布対象物1
8の送り速度は塗布液の流量(吐出速度)よりも大きく
なっている。このため、ノズル口17から吐出された均
一な膜厚の塗布液は塗布対象物18の表面へ塗布される
際に薄く引き延ばされ、スロット16で付与された膜厚
よりもさらに薄い膜厚の塗膜19が塗布対象物18の表
面に形成される。
When the coating liquid is supplied from the coating liquid injection port 6 into the fluid reservoir 5, the coating liquid is supplied to the fluid reservoir 5.
Fills the inside and spreads over the entire width within the fluid reservoir 5. Further, the coating liquid flows out from the fluid reservoir 5 into the slot 16 by the supply pressure, is adjusted to have the same film thickness as the slot 16, flows out from the nozzle opening 17 at the lower end, and is formed on the surface of the coating object 18. It And at this time, slot 1
Since the gap 6 changes in the width direction, the film thickness of the coating film 19 shaped by the slot 16 also changes in the width direction in the same manner as the slot 16, and the coating object 1
On the surface of No. 8, a coating film 19 having a film thickness varied in the width direction
Is formed. Here, the flow rate of the coating liquid and the coating object 18
There is a certain relationship with the feeding speed of
The feeding speed of No. 8 is higher than the flow rate (ejection speed) of the coating liquid. For this reason, the coating liquid having a uniform film thickness discharged from the nozzle port 17 is thinly spread when being applied to the surface of the object to be coated 18, and is even thinner than the film thickness given by the slot 16. The coating film 19 is formed on the surface of the coating object 18.

【0014】従って、いまシム4の平面形状が図4
(a)に示すようにくさび形をしているとすると、スロ
ット16の開口形状も図4(b)に示すように略くさび
形となり、スロット16から流出する塗布液も断面が略
くさび形をした帯状の塗膜19として吐出され、ガラス
等の塗布対象物18の表面に薄く引き延ばされた状態で
塗布される。こうして、塗布対象物18の表面には図4
(c)に示すように、一方で厚く、他方へ向けて次第に
薄くなった塗膜19が形成される。いま、この塗布液が
遮光フィルタ用の塗料であるとすると、塗布対象物18
であるガラス板の表面に色濃度が次第に変化する遮光フ
ィルタが形成され、例えばウインドガラスや自動車のフ
ロントガラス等に用いることができる遮光機能を備えた
ガラス板を1枚ずつ、あるいは連続的に製造することが
できる。
Therefore, the planar shape of the shim 4 is now shown in FIG.
If it has a wedge shape as shown in (a), the opening shape of the slot 16 also becomes substantially wedge-shaped as shown in FIG. 4 (b), and the coating liquid flowing out from the slot 16 also has a substantially wedge-shaped cross section. It is discharged as a strip-shaped coating film 19 and is applied to the surface of the application object 18 such as glass in a thinly stretched state. Thus, the surface of the coating object 18 is shown in FIG.
As shown in (c), a coating film 19 that is thicker on one side and gradually thinner toward the other side is formed. Now, assuming that this coating liquid is paint for a light-shielding filter, the coating object 18
A glass plate having a gradually changing color density is formed on the surface of the glass plate, which is a glass plate having a light-shielding function that can be used, for example, for windshields and windshields of automobiles. can do.

【0015】このような塗布ヘッド1においては、厚み
の異なるシム4や厚み勾配の異なるシム4と交換するこ
とにより、分割ヘッド2,3を交換することなく、簡単
にスロット16の開口形状を変化させることができ、塗
膜19の膜厚や厚みの変化具合を変えることができる。
また、分割ヘッド2,3の内面を加工してスロット16
の開口形状を任意の形状(例えば、波形等)に形成すれ
ば、塗膜19の膜厚を任意に変化させることができ、例
えば膜厚の厚い部分と薄い部分とがストライプ状に交互
に並んだ塗膜19を形成することもできる。
In such an application head 1, by exchanging shims 4 having different thicknesses or shims 4 having different thickness gradients, the opening shape of the slot 16 can be easily changed without exchanging the division heads 2 and 3. Thus, the film thickness of the coating film 19 and the degree of change in the thickness can be changed.
Further, the inner surfaces of the divided heads 2 and 3 are processed to form the slots 16
If the opening shape is formed in an arbitrary shape (for example, a corrugated shape), the film thickness of the coating film 19 can be arbitrarily changed. For example, thick and thin portions are alternately arranged in stripes. It is also possible to form the coating film 19.

【0016】上記塗布ヘッド1は、例えば図5に示すよ
うな流体塗布装置Aの一部として用いられる。この流体
塗布装置Aは、キャビネット部20と装置本体21とか
らなり、キャビネット部20内には塗布液を溜めたタン
クやコントローラが収納されており、装置本体21はキ
ャビネット部20の上に設置されている。装置本体21
は、主として、塗布対象物18を水平に送る送り機構部
22と、送り機構部22によって送られる塗布対象物1
8の表面に塗布液をコーティングする塗布機構部24
と、塗布対象物18の板厚を塗布直前に計測する測定ヘ
ッド23とから構成されている。
The coating head 1 is used as a part of a fluid coating device A as shown in FIG. 5, for example. The fluid applying apparatus A includes a cabinet section 20 and an apparatus main body 21, and a tank and a controller that store the application liquid are stored in the cabinet section 20. The apparatus main body 21 is installed on the cabinet section 20. ing. Device body 21
Is mainly a feeding mechanism section 22 for horizontally feeding the coating object 18 and the coating object 1 fed by the feeding mechanism section 22.
Coating mechanism 24 for coating the coating liquid on the surface of 8
And a measuring head 23 for measuring the plate thickness of the coating object 18 immediately before coating.

【0017】送り機構部22は、ガラス基板のような塗
布対象物18をテーブル25の上面に吸着して一定速度
で水平に搬送するものであって、ベース26の上面には
1対の平行なガイドレール27が設けられ、テーブル2
5の下面に設けられた4つのスライダー28がガイドレ
ール27によってスライド自在に支持されている。この
テーブル25は、ベース26に取り付けられたサーボモ
ータ等の駆動源29によってボールねじ機構(図示せ
ず)を駆動すると、ガイドレール27に沿って一定速度
で滑らかに走行する。また、このテーブル25は、エア
テーブルとなっており、表面の真空吸引孔31から塗布
対象物18の下面を吸着して固定し、テーブル25と共
に塗布対象物18を定速送りする。
The feed mechanism section 22 is for adsorbing the object to be coated 18 such as a glass substrate on the upper surface of the table 25 and horizontally transporting it at a constant speed. The table 2 is provided with the guide rail 27.
Four sliders 28 provided on the lower surface of the rail 5 are slidably supported by guide rails 27. When a ball screw mechanism (not shown) is driven by a drive source 29 such as a servomotor attached to the base 26, the table 25 runs smoothly along the guide rail 27 at a constant speed. Further, this table 25 is an air table, and the lower surface of the coating object 18 is adsorbed and fixed from the vacuum suction hole 31 on the surface, and the coating object 18 is fed at a constant speed together with the table 25.

【0018】塗布機構部24は図5に示すように、塗布
対象物18の搬送経路を跨ぐようにして送り機構部22
の上方に設けられている。図6はこの塗布機構部24を
側面から詳細に示す図である。この塗布機構部24にお
いては、昇降ホルダー32によって上下スライド自在に
保持された1対の昇降ロッド33の上端間に塗布アーム
34が横架されており、塗布アーム34の前面もしくは
背面に塗布ヘッド1が取り付けられている。昇降ホルダ
ー32はベース26から側方へ張り出した棚部35に固
定されており、昇降ロッド33の真下にはエアシリンダ
36が設置され、エアシリンダ36の出力軸37の上端
面が昇降ロッド33の下端面と対向している。従って、
エアシリンダ36の出力軸37を上方へ突出させ、昇降
ロッド33の下端面を押し上げると、塗布アーム34と
共に塗布ヘッド1が上昇する。また、エアシリンダ36
の出力軸37を下方へ後退させると、塗布ヘッド1は自
重によって出力軸37と共に下降する。
As shown in FIG. 5, the coating mechanism section 24 is arranged so as to straddle the conveyance path of the object to be coated 18, and the feeding mechanism section 22.
Is provided above. FIG. 6 is a view showing the coating mechanism section 24 in detail from the side. In the coating mechanism section 24, a coating arm 34 is laterally provided between the upper ends of a pair of lifting rods 33 that are held by a lifting holder 32 so as to be slidable up and down. Is attached. The elevating holder 32 is fixed to a shelf portion 35 that projects laterally from the base 26, an air cylinder 36 is installed directly below the elevating rod 33, and the upper end surface of the output shaft 37 of the air cylinder 36 is the elevating rod 33. It faces the lower end surface. Therefore,
When the output shaft 37 of the air cylinder 36 is projected upward and the lower end surface of the elevating rod 33 is pushed up, the coating head 34 is raised together with the coating arm 34. In addition, the air cylinder 36
When the output shaft 37 of 1 is retracted downward, the coating head 1 descends together with the output shaft 37 by its own weight.

【0019】また、塗布ヘッド1の両端部の下方には、
それぞれ数値制御形のリニアアクチュエータ38が設置
されている。このリニアアクチュエータ38は、ジョイ
ント39を介してサーボモータ、パルスモータ等のモー
タ40と接続されており、モータ40によって底面の入
力軸41を回転させると、上面のストッパーロッド42
が上方へ突出する。しかも、このリニアアクチュエータ
38は内部にねじ機構を有していて、入力軸41の回転
数に比例した距離だけストッパーロッド42が突出す
る。しかして、リニアアクチュエータ38のストッパー
ロッド42が突出すると、エアシリンダ36の出力軸3
7を後退させて塗布ヘッド1を下降させたとき、塗布ヘ
ッド1の両側部下面がストッパーロッド42の上端に当
接した瞬間、昇降ロッド33の下端面がエアシリンダ3
6の出力軸37から離れ、その位置で塗布ヘッド1がリ
ニアアクチュエータ38により支持され、位置決めされ
る。塗布対象物18の板厚を検出するための測定ヘッド
23は、塗布アーム34と平行に配設された測定アーム
43に設けられている。
Below both ends of the coating head 1,
Numerically controlled linear actuators 38 are installed respectively. The linear actuator 38 is connected to a motor 40 such as a servo motor or a pulse motor via a joint 39. When the input shaft 41 on the bottom surface is rotated by the motor 40, the stopper rod 42 on the top surface is connected.
Project upwards. Moreover, this linear actuator 38 has a screw mechanism inside, and the stopper rod 42 projects by a distance proportional to the rotation speed of the input shaft 41. Then, when the stopper rod 42 of the linear actuator 38 projects, the output shaft 3 of the air cylinder 36
When the coating head 1 is lowered by retracting 7 and the coating head 1 is lowered, the lower end surface of the elevating rod 33 is lifted by the air cylinder 3 at the moment when the lower surfaces of both sides of the coating head 1 contact the upper ends of the stopper rods 42.
6 is separated from the output shaft 37, and the coating head 1 is supported and positioned by the linear actuator 38 at that position. The measuring head 23 for detecting the plate thickness of the coating object 18 is provided on a measuring arm 43 arranged in parallel with the coating arm 34.

【0020】上記リニアアクチュエータ38のストッパ
ーロッド42の突出距離は、測定ヘッド23の出力によ
って制御される。すなわち、測定ヘッド23が塗布対象
物18の板厚を計測すると、塗布ヘッド1と塗布対象物
18とのギャップが最適距離(例えば、数10ミクロン
〜数100ミクロン)となる位置に塗布ヘッド1を支持
及び位置決めするよう、リニアアクチュエータ38のス
トッパーロッド42の突出長が決められる。
The protrusion distance of the stopper rod 42 of the linear actuator 38 is controlled by the output of the measuring head 23. That is, when the measurement head 23 measures the plate thickness of the coating object 18, the coating head 1 is placed at a position where the gap between the coating head 1 and the coating object 18 is the optimum distance (for example, several tens of microns to several hundreds of microns). The protruding length of the stopper rod 42 of the linear actuator 38 is determined so as to support and position it.

【0021】しかして、テーブル25の上面に吸着され
た塗布対象物18が送り機構部22によって測定ヘッド
23の下方へ送られてくると、測定ヘッド23によって
塗布対象物18の板厚がそれぞれ計測される。板厚が計
測されると、塗布ヘッド1の下降位置が決められ、塗布
ヘッド1を当該位置に停止させるための各ストッパーロ
ッド42の突出長が演算され、ストッパーロッド42が
演算量だけ突出する。ついで、エアシリンダ36の出力
軸37が後退して塗布ヘッド1が下降すると、下降した
塗布ヘッド1の下面がストッパーロッド42に当接す
る。このときエアシリンダ36の出力軸37は昇降ロッ
ド33から離間する。塗布対象物18の塗布開始点がノ
ズル口17に達すると、塗布ヘッド1から塗布液が供給
され、塗布対象物18の表面にコーティングされる。こ
うして、塗布終了すると、再び塗布ヘッド1が上昇する
と共にストッパーロッド42が引っ込み、テーブル25
上の塗布対象物18は着脱ピンによってテーブル25か
ら剥離される。
When the object 18 to be coated adsorbed on the upper surface of the table 25 is fed below the measuring head 23 by the feed mechanism 22, the measuring head 23 measures the plate thickness of the object 18 to be coated. To be done. When the plate thickness is measured, the lowered position of the coating head 1 is determined, the protruding length of each stopper rod 42 for stopping the coating head 1 at that position is calculated, and the stopper rod 42 projects by the calculated amount. Then, when the output shaft 37 of the air cylinder 36 is retracted and the coating head 1 is lowered, the lower surface of the lowered coating head 1 contacts the stopper rod 42. At this time, the output shaft 37 of the air cylinder 36 is separated from the lifting rod 33. When the coating start point of the coating object 18 reaches the nozzle opening 17, the coating liquid is supplied from the coating head 1 to coat the surface of the coating object 18. In this way, when the coating is completed, the coating head 1 rises again and the stopper rod 42 retracts, and the table 25
The upper object 18 to be coated is peeled from the table 25 by the attachment / detachment pin.

【0022】なお、上記実施例では、水平に搬送されて
いる塗布対象物の上面に塗布液を塗布する構造としてい
るが、塗布対象物の下面側や側面側に塗布ヘッドを配置
し、塗布対象物の下面や側面に塗布液を塗布するように
してもよい。また、塗布対象物の両面にそれぞれ塗布ヘ
ッドを配置し、塗布対象物の例えば上面及び下面に同時
に塗布液を塗布するようにしても差し支えない。また塗
布対象物の種類も特に限定されるものでなく、特に表面
が平滑なものに限らず、銅パターン配線を形成されたプ
リント配線基板などの塗布対象物であっても本発明の流
体塗布装置を用いることができる。塗布する流体の種類
も液体に限るものでなく、スラリー、粉体、液体エマル
ジョンなど流動性を有するものであれば差し支えない。
In the above embodiment, the coating liquid is applied to the upper surface of the coating object that is being conveyed horizontally. However, the coating head is disposed on the lower surface side or the side surface side of the coating object to be coated. The coating liquid may be applied to the lower surface or the side surface of the object. It is also possible to dispose the coating heads on both sides of the object to be coated and simultaneously apply the coating liquid to, for example, the upper surface and the lower surface of the object to be coated. Further, the type of the coating object is not particularly limited, and the surface is not particularly limited to the one having a smooth surface, and the fluid coating device of the present invention may be a coating object such as a printed wiring board having a copper pattern wiring formed thereon. Can be used. The type of fluid to be applied is not limited to a liquid, and any fluid having a fluidity such as slurry, powder, liquid emulsion may be used.

【0023】[0023]

【発明の効果】本発明によれば、スロットから流出する
流体の膜厚を幅方向にわたって変化させることができる
ので、スロットの厚み方向の間隙を幅方向にわたって適
当に設計することにより所望の膜厚変化を有する流体塗
膜を得ることができる。しかも、流体塗膜の膜厚も精度
よくコントロールすることができる。
According to the present invention, since the film thickness of the fluid flowing out from the slot can be changed in the width direction, the desired film thickness can be obtained by appropriately designing the gap in the thickness direction of the slot in the width direction. A fluid coating with changes can be obtained. Moreover, the film thickness of the fluid coating film can be controlled accurately.

【0024】したがって、例えば、ウインドガラスや自
動車のフロントガラス等にフィルタ用塗料を塗布して片
側で膜厚が厚く、しだいに膜厚が薄くなってゆくような
遮光フィルタを製作する工程においても、連続的に、か
つ、精度よく遮光フィルタを形成することができる。
Therefore, for example, even in the step of manufacturing a light-shielding filter in which a coating material for a filter is applied to a windshield or a windshield of an automobile and the film thickness becomes thicker on one side and gradually becomes thinner. The light-shielding filter can be formed continuously and accurately.

【0025】また、分割ヘッド間に板状体を挟み込むこ
とによってスロットを形成した流体塗布装置において
は、板状体を交換することによって簡単にスロットの形
状を変えることができ、流体塗膜の厚みや変化具合を自
由に調整することができる。
Further, in the fluid coating device in which the slot is formed by sandwiching the plate-shaped body between the divided heads, the shape of the slot can be easily changed by exchanging the plate-shaped body, and the thickness of the fluid coating film can be changed. And the degree of change can be freely adjusted.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例における流体塗布装置に用い
られる塗布ヘッドを示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a coating head used in a fluid coating apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】同上の塗布ヘッドの各構成部品を示す正面図で
ある。
FIG. 2 is a front view showing each component of the above coating head.

【図3】同上の塗布ヘッドの分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of the coating head of the above.

【図4】(a)はシムの平面形状を示す図、(b)はス
ロットの開口形状を示す図、(c)は塗布対象物の表面
に塗布された塗膜を示す図である。
4A is a view showing a planar shape of a shim, FIG. 4B is a view showing an opening shape of a slot, and FIG. 4C is a view showing a coating film applied on a surface of an application target.

【図5】同上の塗布ヘッドを備えた流体塗布装置を示す
外観斜視図である。
FIG. 5 is an external perspective view showing a fluid coating device including the coating head of the above.

【図6】同上の流体塗布装置における塗布機構部及び測
定ヘッドを示す側面図である。
FIG. 6 is a side view showing a coating mechanism section and a measuring head in the above fluid coating apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 塗布ヘッド 2 分割ヘッド 3 分割ヘッド 4 シム 5 流体リザーバ(空洞部) 6 塗布液注入口(流体注入口) 16 スロット 1 Coating Head 2 Split Head 3 Split Head 4 Shim 5 Fluid Reservoir (Cavity) 6 Coating Liquid Injection Port (Fluid Injection Port) 16 Slot

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 塗布ヘッド内に流体を注入するための流
体注入口と、塗布ヘッド内に幅方向に沿って形成され、
該流体注入口から注入された流体を塗布ヘッドの幅方向
に拡散させるための空洞部と、該空洞部内の流体を所定
の厚みにして流出させるためのスロットとを備えた流体
塗布装置において、 前記スロットの間隙がスロットの幅方向にわたって一定
でないことを特徴とする流体塗布装置。
1. A fluid injection port for injecting a fluid into an application head, and a width direction formed in the application head,
A fluid application device comprising a cavity for diffusing a fluid injected from the fluid injection port in the width direction of the application head, and a slot for allowing the fluid in the cavity to have a predetermined thickness and flowing out. A fluid application device characterized in that the gap between the slots is not constant across the width of the slots.
【請求項2】 厚みが均一でない板状体を一対の分割ヘ
ッド間に挟み込んで塗布ヘッドを構成し、当該板状体に
よって分割ヘッド間に生成させた間隙により前記スロッ
トを形成したことを特徴とする請求項1に記載の流体塗
布装置。
2. A plate-shaped body having a non-uniform thickness is sandwiched between a pair of divided heads to form an application head, and the slot is formed by a gap generated between the divided heads by the plate-shaped body. The fluid application device according to claim 1.
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