KR102184041B1 - Slit nozzle - Google Patents

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KR102184041B1
KR102184041B1 KR1020190068429A KR20190068429A KR102184041B1 KR 102184041 B1 KR102184041 B1 KR 102184041B1 KR 1020190068429 A KR1020190068429 A KR 1020190068429A KR 20190068429 A KR20190068429 A KR 20190068429A KR 102184041 B1 KR102184041 B1 KR 102184041B1
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slit nozzle
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KR1020190068429A
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Inventor
임세진
김기웅
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세메스 주식회사
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Abstract

An apparatus for spraying a cleaning solution comprises: a cleaning solution spraying unit configured to spray a cleaning solution to a substrate; and a cleaning solution inducing unit configured to be connected to the cleaning solution spraying unit and arranged to maintain a predetermined distance from the substrate. The method for spraying a cleaning solution comprises the steps of: spraying a cleaning solution to the substrate; and forming a flow path in a path through which the cleaning solution is sprayed by arranging a structure maintaining a predetermined distance from the substrate on the substrate in the path through which the cleaning solution is sprayed. Therefore, a slit nozzle may have a compact structure.

Description

슬릿 노즐{SLIT NOZZLE}Slit nozzle {SLIT NOZZLE}

본 발명은 슬릿 노즐에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 기판에 현상액 등과 같은 약액을 토출하기 위한 슬릿 노즐에 관한 것이다.The present invention relates to a slit nozzle. More specifically, the present invention relates to a slit nozzle for discharging a chemical solution such as a developer to a substrate.

액정 표시 소자, 유기 EL 표시 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에서는 기판 상에 도포하는 포토레지스트를 현상하는 공정을 수행할 수 있다. 그리고 포토레지스트를 현상하는 공정은 주로 기판에 현상액을 토출하는 슬릿 노즐을 구비하는 현상 장치를 사용함에 의해 달성할 수 있다.In manufacturing a display device such as a liquid crystal display device and an organic EL display device, a process of developing a photoresist applied on a substrate may be performed. In addition, the process of developing the photoresist can be achieved mainly by using a developing apparatus having a slit nozzle for discharging a developer to the substrate.

관련 기술들에 따르면, 슬릿 노즐은 두 개의 몸체를 서로 마주하게 배치시키는 구조를 갖도록 구비됨과 아울러 두 개의 몸체를 마주하게 배치시키는 간격 조절을 통해 약액을 토출시키는 토출부의 간격을 조절할 수 있다.According to related technologies, the slit nozzle may be provided to have a structure in which two bodies are disposed to face each other, and the spacing of the discharging portion for discharging the chemical solution may be adjusted by adjusting the spacing of the two bodies to face each other.

따라서 종래의 슬릿 노즐은 두 개의 몸체로 이루어지기 때문에 컴팩트한 구조에 대한 대응이 용이하지 않을 것이고, 특히 그 구조가 컴팩트하지 못하기 때문에 토출부의 간격 또한 미세 조절이 용이하지 않을 것이다.Therefore, since the conventional slit nozzle consists of two bodies, it will not be easy to cope with a compact structure. In particular, since the structure is not compact, it will not be easy to fine-tune the spacing of the discharge parts.

본 발명의 일 목적은 컴팩트한 구조를 가짐과 아울러 토출부에 대한 간격을 미세하게 조절할 수 있는 슬릿 노즐을 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a slit nozzle that has a compact structure and is capable of finely adjusting the spacing of the discharge unit.

언급한 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐은 기판에 약액을 토출하기 위한 것으로써, 상부 몸체, 하부 몸체, 결합부를 포함할 수 있다. 상부 몸체는 상기 약액을 플로우시키는 유로를 갖도록 구비될 수 있다. 하부 몸체는 제1 하부 몸체 및 제2 하부 몸체로 이루어질 수 있는 것으로써, 상기 유로로부터의 약액을 상기 기판에 토출할 수 있게 상기 유로와 연통하는 토출부를 갖도록 상기 제1 하부 몸체 및 상기 제2 하부 몸체가 서로 마주하게 결합되도록 구비될 수 있다. 결합부는 상기 상부 몸체 및 상기 하부 몸체를 결합시키도록 구비될 수 있다.A slit nozzle according to exemplary embodiments of the present invention for achieving the aforementioned object is for discharging a chemical solution to a substrate, and may include an upper body, a lower body, and a coupling part. The upper body may be provided to have a flow path through which the chemical liquid flows. The lower body may be composed of a first lower body and a second lower body, and the first lower body and the second lower body have a discharge portion communicating with the flow channel so that the chemical solution from the flow channel can be discharged to the substrate. It may be provided so that the bodies are coupled to face each other. The coupling portion may be provided to couple the upper body and the lower body.

실시예들에 있어서, 상기 결합부는 상기 제1 하부 몸체의 상측 단부 및 상기 제2 하부 몸체의 상측 단부 각각과 상기 상부 몸체의 일측 단부 및 타측 단부 각각이 겹쳐지게 면접시키는 부분을 체결하는 체결 부재로 이루어질 수 있다.In embodiments, the coupling portion is a fastening member for fastening a portion of an upper end of the first lower body and an upper end of the second lower body, and one end and the other end of the upper body overlap each other. Can be done.

실시예들에 있어서, 상기 체결 부재는 상기 겹쳐지는 부분의 일측으로부터 상기 유로 또는 상기 유로와 연통하는 부분을 지나서 상기 겹쳐지는 부분의 타측으로 체결되게 구비될 수 있다.In embodiments, the fastening member may be provided to be fastened from one side of the overlapping portion to the other side of the overlapping portion, passing through the flow path or a portion communicating with the flow path.

실시예들에 있어서, 상기 제1 하부 몸체 및 상기 제2 하부 몸체에 의해 형성되는 상기 유로와 연통하는 부분에는 상기 제1 하부 몸체 및 상기 제2 하부 몸체의 결합시 상기 제1 하부 몸체 및 상기 제2 하부 몸체에 신축성을 제공하는 신축 부재가 구비될 수 있다.In embodiments, a portion communicating with the flow path formed by the first lower body and the second lower body is provided with the first lower body and the second lower body when the first lower body and the second lower body are combined. 2 An elastic member that provides elasticity to the lower body may be provided.

실시예들에 있어서, 상기 신축 부재는 상기 체결 부재가 삽입되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In embodiments, the elastic member may be provided to have a structure into which the fastening member is inserted.

실시예들에 있어서, 상기 체결 부재는 볼트를 포함할 수 있다.In embodiments, the fastening member may include a bolt.

실시예들에 있어서, 상기 토출부의 간격은 상기 결합부의 조절을 통해 달성할 수 있다.In embodiments, the spacing of the discharge portion may be achieved by adjusting the coupling portion.

본 발명에 따르면, 슬릿 노즐은 상부 몸체 및 하부 몸체로 이루어짐과 아울러 하부 몸체가 제1 하부 몸체 및 제2 하부 몸체로 이루어지기 때문에 컴팩트한 구조를 가질 수 있을 것이다.According to the present invention, the slit nozzle may have a compact structure because the slit nozzle is composed of an upper body and a lower body, and the lower body is composed of a first lower body and a second lower body.

또한 본 발명에 따르면, 슬릿 노즐은 컴팩트한 구조를 갖는 하부 몸체의 제1 하부 몸체 및 제2 하부 몸체 사이의 간격 조절을 통하여 토출부의 간격 조절을 달성할 수 있을 것이다.In addition, according to the present invention, the slit nozzle may achieve a distance adjustment of the discharge portion by adjusting the distance between the first lower body and the second lower body of the lower body having a compact structure.

이에, 본 발명의 슬릿 노즐은 컴팩트한 구조를 가질 수 있기 때문에 다양한 크기를 갖는 기판에 대한 용이한 대응이 가능할 것이고, 나아가 컴팩트한 구조를 가짐으로써 토출부의 간격을 보다 미세하게 조절할 수 있을 것이다.Accordingly, since the slit nozzle of the present invention can have a compact structure, it will be possible to easily respond to substrates having various sizes, and furthermore, by having a compact structure, the spacing of the discharge portions can be more finely adjusted.

따라서 본 발명의 슬릿 노즐은 다양한 기판에 대한 용이한 대응을 통하여 디스플레이 소자의 제조에 적용되는 장치를 보다 용이하게 제작할 수 있음을 기대할 수 있고, 토출부에 대한 미세 간격의 조절을 통하여 약액의 토출 균일도 등을 향상시킴으로써 디스플레이 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상까지도 기대할 수 있을 것이다.Therefore, the slit nozzle of the present invention can be expected to be able to more easily manufacture a device applied to the manufacture of a display device through an easy response to various substrates, and the uniformity of discharging of the chemical solution through the adjustment of the fine interval for the discharging part. By improving the like, it is possible to expect even an improvement in process reliability according to the manufacturing of a display device.

다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the subject and effect of the present invention are not limited to those mentioned above, and may be variously extended without departing from the spirit and scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐을 설명하기 위한 개략적인 분해 사시도이다.
도 2는 도 1의 슬릿 노즐을 결합한 도면이다.1 is a schematic exploded perspective view illustrating a slit nozzle according to exemplary embodiments of the present invention.
2 is a view in which the slit nozzle of FIG. 1 is combined.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.In the present invention, various modifications can be made and various forms can be obtained, and embodiments will be described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form of disclosure, it is to be understood as including all changes, equivalents, or substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each drawing, similar reference numerals are used for similar components. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are only used for the purpose of distinguishing one component from another component. The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, terms such as "comprise" or "consist of" are intended to designate the presence of features, numbers, steps, actions, elements, parts, or combinations thereof described in the specification, but one or more other features. It is to be understood that the possibility of the presence or addition of elements or numbers, steps, actions, components, parts or combinations thereof is not preliminarily excluded.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in this application. Does not.

그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.In addition, exemplary embodiments will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals are used for the same components in the drawings, and duplicate descriptions for the same components are omitted.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐을 설명하기 위한 개략적인 분해 사시도이고, 도 2는 도 1의 슬릿 노즐을 결합한 도면이다.1 is a schematic exploded perspective view illustrating a slit nozzle according to exemplary embodiments of the present invention, and FIG. 2 is a view in which the slit nozzle of FIG. 1 is combined.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐(100)은 기판에 약액을 토출하기 위한 것으로써, 특히 기판에 도포하는 포토레지스트를 현상하기 위한 현상액을 토출하는 위한 것이다.1 and 2, the slit nozzle 100 according to exemplary embodiments of the present invention is for discharging a chemical solution to a substrate, and in particular, discharging a developer for developing a photoresist applied to a substrate. For.

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐(100)은 디스플레이 소자의 제조시 기판에 현상액을 토출하기 위한 현상 장치에 설치될 수 있다.Accordingly, the slit nozzle 100 according to exemplary embodiments of the present invention may be installed in a developing apparatus for discharging a developer to a substrate when manufacturing a display device.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐(100)은 상부 몸체(11), 하부 몸체(13), 결합부(19) 등으로 이루어질 수 있다.The slit nozzle 100 according to exemplary embodiments of the present invention may include an upper body 11, a lower body 13, and a coupling part 19.

상부 몸체(11)는 슬릿 노즐(100)의 상부 쪽에 배치되는 구조물로써, 약액을 플로우시키는 유로(21)를 갖도록 구비될 수 있다.The upper body 11 is a structure disposed on the upper side of the slit nozzle 100 and may be provided to have a flow path 21 for flowing a chemical solution.

하부 몸체(13)는 슬릿 노즐(100)의 하부 쪽에 배치되는 구조물로써, 상부 몸체(11)의 유로(21)로부터의 약액을 기판에 토출할 수 있도록 구비될 수 있다. 하부 몸체(13)는 유로(21)와 연통하는 토출부(23)를 구비하는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.The lower body 13 is a structure disposed on the lower side of the slit nozzle 100 and may be provided to discharge a chemical solution from the flow path 21 of the upper body 11 to the substrate. The lower body 13 may be formed to have a structure including a discharge portion 23 communicating with the flow path 21.

따라서 본 발명의 슬릿 노즐(100)은 외부로부터 공급되는 약액을 상부 몸체(11)의 유로(21)로 플로우시킴과 아울러 상부 몸체(11)의 유로(21)와 연통하는 하부 몸체(13)의 토출부(23)를 통하여 기판에 토출시킬 수 있다.Accordingly, the slit nozzle 100 of the present invention flows the chemical liquid supplied from the outside into the flow path 21 of the upper body 11 and the lower body 13 communicates with the flow path 21 of the upper body 11. It can be discharged to the substrate through the discharge part 23.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐(100)에서의 하부 몸체(13)는 제1 하부 몸체(15) 및 제2 하부 몸체(17)로 이루어질 수 있다. 제1 하부 몸체(15)와 제2 하부 몸체(17)는 서로 대칭되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 따라서 하부 몸체(13)는 제1 하부 몸체(15) 및 제2 하부 몸체(17)가 서로 마주하게 결합되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 특히 하부 몸체(13)는 언급한 토출부(23)를 갖도록 제1 하부 몸체(15) 및 제2 하부 몸체(17)가 서로 마주하게 결합되는 구조로 구비될 수 있다.The lower body 13 of the slit nozzle 100 according to exemplary embodiments of the present invention may include a first lower body 15 and a second lower body 17. The first lower body 15 and the second lower body 17 may be provided to have a structure symmetrical to each other. Accordingly, the lower body 13 may be provided to have a structure in which the first lower body 15 and the second lower body 17 are coupled to face each other. In particular, the lower body 13 may be provided in a structure in which the first lower body 15 and the second lower body 17 are coupled to each other so as to have the aforementioned discharge portion 23.

이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐(100)은 상부 몸체(11) 및 하부 몸체(13)로 이루어짐과 아울러 하부 몸체(13)를 제1 하부 몸체(15) 및 제2 하부 몸체(17)로 이루어지게 구비함으로써 상부 몸체(11) 및 하부 몸체(13)로 이루어지는 종래 구조에 비해 보다 컴팩트한 구조의 구현이 가능할 것이다. 이는, 하부 몸체(13)가 단일 구조로 이루어지는 것에 비해 하부 몸체(13)가 제1 하부 몸체(15) 및 제2 하부 몸체(17)로 분리 가능한 구조로 이루어지는 것이 보다 컴팩트할 수 있기 때문이다.As described above, the slit nozzle 100 according to exemplary embodiments of the present invention comprises an upper body 11 and a lower body 13, and the lower body 13 is formed with the first lower body 15 and the second By providing the lower body 17, it will be possible to implement a more compact structure compared to the conventional structure composed of the upper body 11 and the lower body 13. This is because the lower body 13 is made of a structure that can be separated into the first lower body 15 and the second lower body 17 than the lower body 13 has a single structure can be more compact.

결합부(19)는 상부 몸체(11) 및 하부 몸체(13)를 결합시키도록 구비될 수 있다. 결합부(19)는 상부 몸체(11) 및 하부 몸체(13)가 서로 면접되는 부분을 결합시키도록 구비될 수 있다.The coupling part 19 may be provided to couple the upper body 11 and the lower body 13. The coupling portion 19 may be provided to couple portions of the upper body 11 and the lower body 13 to be interviewed with each other.

본 발명의 예시적인 실시예들에서는 제1 하부 몸체(15)의 상측 단부 및 제2 하부 몸체(17)의 상측 단부 각각과 상부 몸체(11)의 일측 단부 및 타측 단부 각각이 겹쳐지게 면접시킬 수 있다.In exemplary embodiments of the present invention, each of the upper end of the first lower body 15 and the upper end of the second lower body 17 and one end and the other end of the upper body 11 may overlap each other for an interview. have.

예를 들면, 제1 하부 몸체(15)의 상측 단부 및 제2 하부 몸체(17)의 상측 단부 각각의 단차진 부분과 상부 몸체(11)의 일측 단부 및 타측 단부 각각의 단차진 부분이 겹쳐지게 면접시킬 수 있거나, 제1 하부 몸체(15)의 상측 단부 및 제2 하부 몸체(17)의 상측 단부 각각이 상부 몸체(11)의 일측 단부 및 타측 단부 각각에 수용되는 구조를 갖도록 겹쳐지게 면접시킬 수 있거나, 또는 상부 몸체(11)의 일측 단부 및 타측 단부 각각에 제1 하부 몸체(15)의 상측 단부 및 제2 하부 몸체(17)의 상측 단부 각각에 수용되는 구조를 갖도록 겹쳐지게 면접시킬 수 있다.For example, the stepped portions of each of the upper end of the first lower body 15 and the upper end of the second lower body 17 and the stepped portions of one end and the other end of the upper body 11 overlap each other. Interview can be performed, or the upper end of the first lower body 15 and the upper end of the second lower body 17 are overlapped so that each of the upper ends of the upper body 11 and the other end is accommodated. Alternatively, interviews may be made so as to have a structure accommodated in each of the upper end of the first lower body 15 and the upper end of the second lower body 17 at one end and the other end of the upper body 11. have.

따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에서의 결합부(19)는 제1 하부 몸체(15)의 상측 단부 및 제2 하부 몸체(17)의 상측 단부 각각과 상부 몸체(11)의 일측 단부 및 타측 단부 각각이 겹쳐지게 면접시키는 부분을 체결하는 체결 부재로 이루어질 수 있다.Accordingly, the coupling portion 19 in the exemplary embodiments of the present invention includes an upper end of the first lower body 15 and an upper end of the second lower body 17 and one end and the other end of the upper body 11. Each of the ends may be made of a fastening member for fastening the portion for the interview to overlap.

그리고 언급한 체결 부재는 겹쳐지는 부분의 일측으로부터 유로(21) 또는 유로(21)와 연통하는 부분(25)을 지나서 겹쳐지는 부분의 타측으로 체결되도록 함으로써 상부 몸체(11) 및 하부 몸체(13)를 결합시킬 수 있다.And the mentioned fastening member is fastened from one side of the overlapping portion to the other side of the overlapping portion past the flow path 21 or the portion 25 communicating with the flow path 21, so that the upper body 11 and the lower body 13 Can be combined.

또한, 결합부(19)로 적용하기 위한 체결 부재의 예로서는 볼트 등을 들 수 있다.Moreover, as an example of the fastening member for application to the coupling part 19, a bolt etc. are mentioned.

그리고 도면 부호 33은 볼트 등과 같은 체결 부재를 수용할 수 있는 결합공으로써, 슬릿 노즐(100) 전체에 다수개가 일정 간격을 갖도록 구비될 수 있다. 이에, 슬릿 노즐(100) 전체에는 결합부(19)가 다수개가 구비될 수 있을 것이다.In addition, reference numeral 33 denotes a coupling hole capable of accommodating a fastening member such as a bolt, and a plurality of slit nozzles 100 may be provided to have a predetermined interval. Accordingly, a plurality of coupling portions 19 may be provided on the entire slit nozzle 100.

이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐(100)은 볼트 등과 같은 체결 부재를 적용함으로써 상부 몸체(11), 제1 하부 몸체(15) 및 제2 하부 몸체(17)를 일체 구조를 갖도록 용이하게 결합시킬 수 있을 뿐만 아니라 체결 부재의 체결 조절을 통하여 제1 하부 몸체(15) 및 제2 하부 몸체(17)의 결합 정도를 조절할 수 있을 것이다.As such, the slit nozzle 100 according to exemplary embodiments of the present invention incorporates the upper body 11, the first lower body 15, and the second lower body 17 by applying a fastening member such as a bolt. Not only can it be easily coupled to have a structure, but also the degree of coupling between the first lower body 15 and the second lower body 17 can be adjusted through the fastening adjustment of the fastening member.

따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐(100)은 결합부(19)의 적절한 조절을 통하여 토출부(23)의 간격까지도 조절할 수 있다.Accordingly, the slit nozzle 100 according to exemplary embodiments of the present invention can adjust even the spacing of the discharge unit 23 through appropriate adjustment of the coupling unit 19.

즉, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐(100)은 제1 하부 몸체(15) 및 제2 하부 몸체(17)가 서로 마주함에 의해 토출부(23)가 형성될 수 있기에 서로 마주하는 제1 하부 몸체(15) 및 제2 하부 몸체(17)의 간격을 볼트 등과 같은 체결 부재를 사용하여 조절함으로써 토출부(23)의 간격까지도 조절할 수 있는 것이다.That is, in the slit nozzle 100 according to exemplary embodiments of the present invention, the first lower body 15 and the second lower body 17 face each other, so that the discharge part 23 may be formed. By adjusting the distance between the first lower body 15 and the second lower body 17 using a fastening member such as a bolt, it is possible to adjust even the distance between the discharge portions 23.

또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐(100)은 제1 하부 몸체(15) 및 제2 하부 몸체(17)의 결합시 제1 하부 몸체(15) 및 제2 하부 몸체(17)에 신축성을 제공하는 신축 부재(31)를 더 구비할 수 있다. 특히, 신축 부재(31)는 제1 하부 몸체(15) 및 제2 하부 몸체(17)에 의해 형성되는 유로(21)와 연통하는 부분에 구비될 수 있다.In addition, the slit nozzle 100 according to exemplary embodiments of the present invention includes the first lower body 15 and the second lower body 17 when the first lower body 15 and the second lower body 17 are combined. ) May further include an elastic member 31 providing elasticity. In particular, the elastic member 31 may be provided in a portion communicating with the flow path 21 formed by the first lower body 15 and the second lower body 17.

그리고 신축 부재(31)는 체결 부재가 삽입되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 다시 말해, 신축 부재(31)는 채결 부재를 둘러싸는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In addition, the elastic member 31 may be provided to have a structure into which the fastening member is inserted. In other words, the elastic member 31 may be provided to have a structure surrounding the fastening member.

따라서 신축 부재(31)는 유로(21)와 연통하는 부분에서 제1 하부 몸체(15) 및 제2 하부 몸체(17)에 신축성을 제공할 수 있기 때문에 보다 미세한 토출부(23)의 간격 조절을 가능하게 할 수 있을 뿐만 아니라 유로(21)와 연통하는 부분에서 약액에 노출될 수 있는 결합부(19)를 보호할 수도 있을 것이다.Therefore, since the elastic member 31 can provide elasticity to the first lower body 15 and the second lower body 17 at a portion communicating with the flow path 21, it is possible to adjust the spacing of the discharge part 23 more finely. Not only can it be possible, but also it will be possible to protect the coupling portion 19 that may be exposed to the chemical solution in a portion communicating with the flow path 21.

이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 슬릿 노즐(100)은 상부 몸체(11) 및 하부 몸체(13)로 이루어짐과 아울러 하부 몸체(13)가 제1 하부 몸체(15) 및 제2 하부 몸체(17)로 이루어지기 때문에 컴팩트한 구조를 가질 수 있을 것이고, 결합부(19)를 사용하여 제1 하부 몸체(15) 및 제2 하부 몸체(17) 사이의 간격을 조절함에 의해 보다 용이하게 토출부(23)의 간격 조절을 달성할 수 있을 것이다.As described above, the slit nozzle 100 according to exemplary embodiments of the present invention includes an upper body 11 and a lower body 13, and the lower body 13 has a first lower body 15 and a second Since it is made of the lower body 17, it will be able to have a compact structure, and it is easier by adjusting the gap between the first lower body 15 and the second lower body 17 using the coupling part 19. It will be possible to achieve the interval adjustment of the discharge portion 23.

본 발명의 슬릿 노즐은 기판에 도포시킨 포토레지스트를 현상하기 위한 현상액을 토출할 수 있는 것으로써, 현상 장치에 적용될 수 있을 것이다.The slit nozzle of the present invention is capable of discharging a developer for developing a photoresist applied to a substrate, and thus may be applied to a developing apparatus.

이에, 본 발명의 슬릿 노즐은 디스플레이 소자의 제조에 보다 적용할 수 있을 것이다.Accordingly, the slit nozzle of the present invention may be more applicable to manufacturing a display device.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. You will understand that you can.

11 : 상부 몸체 13 : 하부 몸체
15 : 제1 하부 몸체 17 : 제2 하부 몸체
19 : 결합부 21 : 유로
23 : 토출부 31 : 신축 부재
33 : 결합공 100 : 슬릿 노즐11: upper body 13: lower body
15: first lower body 17: second lower body
19: coupling portion 21: euro
23: discharge part 31: elastic member
33: coupling hole 100: slit nozzle

Claims (7)

기판에 약액을 토출하기 위한 슬릿 노즐에 있어서,
상기 약액을 플로우시키는 유로를 갖는 상부 몸체;
제1 하부 몸체 및 제2 하부 몸체로 이루어지고, 상기 유로로부터의 약액을 상기 기판에 토출할 수 있게 상기 유로와 연통하는 토출부를 갖도록 상기 제1 하부 몸체 및 상기 제2 하부 몸체가 서로 마주하게 결합되는 하부 몸체; 및
상기 상부 몸체 및 상기 하부 몸체를 결합시키는 결합부를 포함하고,
상기 결합부는 상기 제1 하부 몸체의 상측 단부 및 상기 제2 하부 몸체의 상측 단부 각각과 상기 상부 몸체의 일측 단부 및 타측 단부 각각이 겹쳐지게 면접시키는 부분을 체결하는 체결 부재로 이루어지고,
상기 체결 부재는 상기 겹쳐지는 부분의 일측으로부터 상기 유로 또는 상기 유로와 연통하는 부분을 지나서 상기 겹쳐지는 부분의 타측으로 체결되게 구비되고,
상기 제1 하부 몸체 및 상기 제2 하부 몸체에 의해 형성되는 상기 유로와 연통하는 부분에는 상기 제1 하부 몸체 및 상기 제2 하부 몸체의 결합시 상기 제1 하부 몸체 및 상기 제2 하부 몸체에 신축성을 제공하는 신축 부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.In the slit nozzle for discharging a chemical solution to a substrate,
An upper body having a flow path through which the chemical liquid flows;
Consisting of a first lower body and a second lower body, the first lower body and the second lower body are coupled to face each other so as to have a discharge portion communicating with the flow channel so that the chemical solution from the flow channel can be discharged to the substrate A lower body that becomes; And
Including a coupling portion for coupling the upper body and the lower body,
The coupling portion is made of a fastening member for fastening an upper end of the first lower body and an upper end of the second lower body, and a portion of the upper body overlapping each other for an interview,
The fastening member is provided to be fastened from one side of the overlapping portion to the other side of the overlapping portion through the flow path or a portion communicating with the flow path,
In a portion communicating with the flow path formed by the first lower body and the second lower body, the first lower body and the second lower body are stretchable when the first lower body and the second lower body are combined. A slit nozzle, characterized in that provided with an elastic member to provide. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 신축 부재는 상기 체결 부재가 삽입되는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.The method of claim 1,
The elastic member is a slit nozzle, characterized in that provided to have a structure in which the fastening member is inserted. 제1 항에 있어서,
상기 체결 부재는 볼트를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.The method of claim 1,
The slit nozzle, characterized in that the fastening member comprises a bolt. 제1 항에 있어서,
상기 토출부의 간격은 상기 결합부의 조절을 통해 달성하는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.The method of claim 1,
A slit nozzle, characterized in that the spacing of the discharge part is achieved through adjustment of the coupling part.
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