KR102268613B1 - Developer injection unit and developer injection apparatus having the same - Google Patents

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KR102268613B1
KR102268613B1 KR1020190053547A KR20190053547A KR102268613B1 KR 102268613 B1 KR102268613 B1 KR 102268613B1 KR 1020190053547 A KR1020190053547 A KR 1020190053547A KR 20190053547 A KR20190053547 A KR 20190053547A KR 102268613 B1 KR102268613 B1 KR 102268613B1
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Abstract

현상액 분사 유닛은 포토레지스트가 도포되고 수평 방향으로 이송되는 기판 상에 현상액을 분사하도록 구비될 수 있는 것으로써, 몸체부, 공간부, 분사부, 및 공급부를 포함할 수 있다. 상기 몸체부는 상기 수평 방향과 수직하는 상기 기판의 폭 방향을 커버할 수 있는 길이를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 공간부는 상기 몸체부에 상기 현상액을 공급받아 수용할 수 있게 상기 몸체부의 길이 방향을 따라 공간 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 분사부는 상기 기판 상에 상기 현상액을 분사할 수 있게 상기 공간부와 연통하면서 상기 기판을 향하는 상기 몸체부의 일면에 제1 간격 마다 홀 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 공급부는 상기 현상액이 상기 공간부로 공급될 수 있게 상기 공간부와 연통하면서 상기 기판의 표면과 수직하는 상기 몸체부의 측면에 구비될 수 있다.The developer spraying unit may be provided to spray a developer onto a substrate on which a photoresist is applied and transferred in a horizontal direction, and may include a body portion, a space portion, a spraying portion, and a supply portion. The body portion may be provided to have a length capable of covering a width direction of the substrate perpendicular to the horizontal direction. The space portion may be provided to have a space structure along a longitudinal direction of the body portion to receive and receive the developer solution in the body portion. The spraying part may be provided to have a hole structure at first intervals on one surface of the body part facing the substrate while communicating with the space part so as to spray the developer onto the substrate. The supply part may be provided on a side surface of the body part perpendicular to the surface of the substrate while communicating with the space part so that the developer can be supplied to the space part.

Description

현상액 분사 유닛 및 이를 포함하는 현상액 분사 장치{DEVELOPER INJECTION UNIT AND DEVELOPER INJECTION APPARATUS HAVING THE SAME}Developer spraying unit and developer spraying device including the same {DEVELOPER INJECTION UNIT AND DEVELOPER INJECTION APPARATUS HAVING THE SAME}

본 발명은 현상액 분사 유닛 및 이를 포함하는 현상액 분사 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명은 포토레지스트가 도포되는 기판 상에 현상액을 분사하도록 구비되는 현상액 분사 유닛 및 이를 포함하는 현상액 분사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a developer spraying unit and a developer spraying device including the same. More particularly, the present invention relates to a developer spraying unit provided to spray a developer onto a substrate on which a photoresist is applied, and a developer spraying device including the same.

액정 디스플레이 소자, 유기 EL 디스플레이 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에서는 기판 상에 포토레지스트 패턴을 형성해야 한다. 포토레지스트 패턴은 기판 상에 포토레지스트를 도포한 후 포토레지스트가 도포되는 기판 상에 현상액을 분사하여 형성할 수 있다.In the manufacture of display devices such as liquid crystal display devices and organic EL display devices, a photoresist pattern must be formed on a substrate. The photoresist pattern may be formed by applying a photoresist on a substrate and then spraying a developer onto the substrate on which the photoresist is applied.

관련 기술에 따르면, 디스플레이 소자의 제조에 적용되는 현상액을 분사하는 현상액 분사 유닛은 기판의 폭 방향을 커버할 수 있는 길이를 갖는 나이프 구조로 이루어질 수 있다. 그리고 나이프 구조로 이루어지는 현상액 분사 유닛은 슬릿 구조를 갖는 분사부로 이루어질 수 있다.According to the related art, the developer spraying unit for spraying the developer applied to the manufacture of the display device may have a knife structure having a length that can cover the width direction of the substrate. In addition, the developer spraying unit having a knife structure may include a spraying unit having a slit structure.

분사부가 슬릿 구조를 가질 경우 현상액을 분사하는 분사 면적이 넓어지기 때문에 기판 상에 분사되는 현상액의 분사 타력이 낮게 형성될 수 있다. 기판 상에 분사되는 현상액의 분사 타력이 낮게 형성될 경우 기판 상에 분사되는 현상액은 새롭게 보충되는 역할을 충분하게 수행하지 못할 수 있다.When the spraying part has a slit structure, the spraying force of the developer sprayed onto the substrate may be low because the spraying area for spraying the developer is widened. When the jetting force of the developer sprayed onto the substrate is low, the developer sprayed onto the substrate may not sufficiently perform a newly replenishing role.

이와 같이, 현상액이 기판에 새롭게 보충되고, 충분하게 침투할 정도의 분사 타력이 형성되지 않을 경우 포토레지스트 패턴의 선폭(Critical Dimension : CD) 편차에 영향을 끼칠 수 있는 문제점이 있다.As such, when the developer is newly replenished on the substrate and the injection force is not sufficiently formed to penetrate, there is a problem that may affect the deviation of the critical dimension (CD) of the photoresist pattern.

본 발명의 일 목적은 충분한 분사 타력을 갖는 현상액 분사 유닛을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION One object of the present invention is to provide a developer spraying unit having a sufficient spraying force.

본 발명의 다른 목적은 충분한 분사 타력을 갖는 현상액 분사 장치를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a developer jetting device having sufficient jetting force.

본 발명의 일 견지에 따른 현상액 분사 유닛은 포토레지스트가 도포되고 수평 방향으로 이송되는 기판 상에 현상액을 분사하도록 구비될 수 있는 것으로써, 몸체부, 공간부, 분사부, 및 공급부를 포함할 수 있다. 상기 몸체부는 상기 수평 방향과 수직하는 상기 기판의 폭 방향을 커버할 수 있는 길이를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 공간부는 상기 몸체부에 상기 현상액을 공급받아 수용할 수 있게 상기 몸체부의 길이 방향을 따라 공간 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 분사부는 상기 기판 상에 상기 현상액을 분사할 수 있게 상기 공간부와 연통하면서 상기 기판을 향하는 상기 몸체부의 일면에 제1 간격 마다 홀 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 공급부는 상기 현상액이 상기 공간부로 공급될 수 있게 상기 공간부와 연통하면서 상기 기판의 표면과 수직하는 상기 몸체부의 측면에 구비될 수 있다.The developer spraying unit according to an aspect of the present invention may be provided to spray a developer onto a substrate on which a photoresist is applied and transferred in a horizontal direction, and may include a body portion, a space portion, a spraying portion, and a supply portion. have. The body portion may be provided to have a length capable of covering a width direction of the substrate perpendicular to the horizontal direction. The space portion may be provided to have a space structure along a longitudinal direction of the body portion to receive and receive the developer solution in the body portion. The spraying part may be provided to have a hole structure at first intervals on one surface of the body part facing the substrate while communicating with the space part so as to spray the developer onto the substrate. The supply part may be provided on a side surface of the body part perpendicular to the surface of the substrate while communicating with the space part so that the developer can be supplied to the space part.

실시예들에 있어서, 상기 몸체부의 일면은 뾰족하게 돌출되는 팁 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 상기 분사부의 홀은 상기 팁에 구비될 수 있다.In embodiments, one surface of the body part may be provided to have a tip structure protruding sharply, and the hole of the injection part may be provided in the tip.

실시예들에 있어서, 상기 공간부는 상기 분사부와 연통하는 제1 폭을 갖는 하부 및 상기 하부와 연통하면서 상기 제1 폭보다 큰 제2 폭을 갖는 상부로 이루질 수 있고, 상기 공급부는 상기 상부와 연통하도록 구비될 수 있다.In embodiments, the space portion may consist of a lower portion having a first width communicating with the injection unit and an upper portion communicating with the lower portion and having a second width greater than the first width, and the supply portion is the upper portion. It may be provided to communicate with.

실시예들에 있어서, 상기 공급부는 상기 몸체부의 양측면 중에 어느 하나의 일측면에 상기 제1 간격보다 넓은 제2 간격 마다에 구비될 수 있다.In embodiments, the supply unit may be provided at every second interval wider than the first interval on one side of either side of the body portion.

본 발명의 다른 견지에 따른 현상액 분사 장치는 포토레지스트가 도포된 기판 상에 현상액을 분사할 수 있는 것으로써, 이송 유닛, 현상액 분사 유닛을 포함할 수 있다. 상기 이송 유닛은 상기 기판을 수평 방향으로 이송하도록 구비될 수 있다. 상기 현상액 분사 유닛은 상기 수평 방향과 수직하는 상기 기판의 폭 방향을 커버할 수 있는 길이를 갖도록 구비되는 몸체부, 상기 몸체부에 상기 현상액을 공급받아 수용할 수 있게 상기 몸체부의 길이 방향을 따라 공간 구조를 갖도록 구비되는 공간부, 상기 기판 상에 상기 현상액을 분사할 수 있게 상기 공간부와 연통하면서 상기 기판을 향하는 상기 몸체부의 일면에 제1 간격 마다 홀 구조를 갖도록 구비되는 분사부, 및 상기 현상액이 상기 공간부로 공급될 수 있게 상기 공간부와 연통하면서 상기 기판의 표면과 수직하는 상기 몸체부의 측면에 구비되는 공급부를 포할 수 있다.A developer spraying apparatus according to another aspect of the present invention is capable of spraying a developer onto a substrate coated with a photoresist, and may include a transfer unit and a developer spraying unit. The transfer unit may be provided to transfer the substrate in a horizontal direction. The developer spraying unit includes a body provided to have a length to cover a width direction of the substrate perpendicular to the horizontal direction, and a space along the length direction of the body to receive and receive the developer solution in the body portion A space portion provided to have a structure, a spray portion provided to have a hole structure at first intervals on one surface of the body portion facing the substrate while communicating with the space portion so as to spray the developer onto the substrate, and the developer; It may include a supply part provided on a side surface of the body part perpendicular to the surface of the substrate while communicating with the space part so as to be supplied to the space part.

실시예들에 있어서, 상기 이송 유닛은 상기 기판의 이면으로 에어를 공급하여 상기 기판을 부상시킨 상태에서 상기 기판을 이송하도록 구비될 수 있다.In embodiments, the transfer unit may be provided to transfer the substrate in a state in which the substrate is floated by supplying air to the back surface of the substrate.

실시예들에 있어서, 상기 현상액 분사 유닛은 상기 수평 방향과 수직한 방향에 배치되거나 또는 상기 수직한 방향 쪽으로 기울어지는 방향에 배치되도록 구비될 수 있다.In example embodiments, the developer spraying unit may be disposed in a direction perpendicular to the horizontal direction or inclined toward the vertical direction.

상기된 본 발명에 따르면, 충분한 분사 타력을 갖는 현상액을 기판 상에 분사할 수 있기 때문에 포토레지스트 패턴의 형성시 현상액을 기판에 계속해서 새롭게 보충할 수 있고, 충분하게 침투시킬 수 있을 것이다.According to the present invention as described above, since the developer having a sufficient jetting force can be sprayed onto the substrate, the developer can be continuously replenished into the substrate when the photoresist pattern is formed, and the developer can be sufficiently penetrated.

따라서 본 발명의 현상액 분사 유닛 및 현상액 분사 장치는 고정밀 픽셀에서의 선폭 편차를 개선할 수 있을 것이다.Accordingly, the developer ejecting unit and the developer ejecting apparatus of the present invention may improve line width deviation in high-precision pixels.

다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the problems and effects of the present invention are not limited to the above, and may be variously expanded without departing from the spirit and scope of the present invention.

도 1 내지 도 3은 본 발명의 실시예들에 따른 현상액 분사 유닛을 개략적으로 나타내는 도면들이다.
도 4는 도 1 내지 도 3의 현상액 분사 유닛으로부터 기판 상에 분사되는 현상액의 분사 타력을 설명하기 위한 도면이다.
도 5 내지 도 8은 도 1 내지 도 3의 현상액 분사 유닛에 구비되는 몸체부의 일면에서의 팁 구조에 대한 변형예들을 설명하기 위한 도면들이다.
도 9는 본 발명의 실시예들에 따른 현상액 분사 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 10 및 도 11은 도 9의 현상액 분사 장치에 구비되는 현상액 분사 유닛의 배치 구조를 설명하기 위한 도면들이다.1 to 3 are diagrams schematically illustrating a developer spraying unit according to embodiments of the present invention.
FIG. 4 is a view for explaining the jetting force of the developer sprayed onto the substrate from the developer spraying unit of FIGS. 1 to 3 .
5 to 8 are views for explaining modifications of the tip structure on one surface of the body provided in the developer spraying unit of FIGS. 1 to 3 .
9 is a diagram schematically illustrating a developer spraying apparatus according to embodiments of the present invention.
10 and 11 are views for explaining an arrangement structure of a developer spraying unit included in the developer spraying apparatus of FIG. 9 .

본문에 개시되어 있는 본 발명의 실시예들에 대해서, 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본문에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.With respect to the embodiments of the present invention disclosed in the text, specific structural or functional descriptions are only exemplified for the purpose of describing the embodiments of the present invention, and the embodiments of the present invention may be embodied in various forms. It should not be construed as being limited to the embodiments described in .

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Since the present invention can have various changes and can have various forms, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms may be used for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.When a component is referred to as being “connected” or “connected” to another component, it may be directly connected or connected to the other component, but it is understood that other components may exist in between. it should be On the other hand, when it is said that a certain element is "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that the other element does not exist in the middle. Other expressions describing the relationship between components, such as "between" and "immediately between" or "neighboring to" and "directly adjacent to", etc., should be interpreted similarly.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate that the described feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof exists, and includes one or more other features or numbers. , it should be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미이다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미인 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as meanings consistent with the context of the related art, and unless explicitly defined in the present application, they are not to be interpreted in an ideal or excessively formal meaning. .

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 3은 본 발명의 실시예들에 따른 현상액 분사 유닛을 개략적으로 나타내는 도면들이다.1 to 3 are views schematically illustrating a developer spraying unit according to embodiments of the present invention.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 현상액 분사 유닛(100)은 디스플레이 소자의 제조에 적용될 수 있는 것으로써, 포토레지스트가 도포되는 기판 상에 현상액을 분사하는 공정에 적용할 수 있다.1 to 3 , the developer spraying unit 100 according to the present embodiment may be applied to the manufacture of a display device, and may be applied to a process of spraying a developer onto a substrate on which a photoresist is applied. .

현상액 분사 유닛(100)은 포토레지스트가 도포되고 수평 방향으로 이송되는 기판 상에 현상액을 분사하도록 구비될 수 있다. 현상액 분사 유닛(100)은 수평 방향과 수직하는 기판의 폭 방향을 커버할 수 있는 길이를 갖는 나이프 구조로 이루어질 수 있다.The developer spraying unit 100 may be provided to spray the developer onto a substrate on which a photoresist is applied and transferred in a horizontal direction. The developer spraying unit 100 may have a knife structure having a length capable of covering the width direction of the substrate perpendicular to the horizontal direction.

현상액 분사 유닛(100)은 몸체부(11), 분사부(13), 공간부(15), 공급부(19) 등을 포함할 수 있다.The developer spraying unit 100 may include a body part 11 , a spraying part 13 , a space part 15 , a supply part 19 , and the like.

몸체부(11)는 현상액 분사 유닛(100)의 외형을 형성하는 것이다. 이에, 몸체부(11)는 기판의 폭 방향을 커버할 수 있는 길이를 갖는 나이프 구조로 이루어질 수 있다. 나이프 구조를 갖는 몸체부(11)는 기판의 폭 방향을 따라 연장되는 기다란 막대 구조를 가질 수 있다.The body portion 11 forms the outer shape of the developer spraying unit 100 . Accordingly, the body 11 may have a knife structure having a length capable of covering the width direction of the substrate. The body portion 11 having a knife structure may have an elongated bar structure extending along the width direction of the substrate.

공간부(15)는 몸체부(11)에 형성될 수 있다. 공간부(15)는 현상액을 공급받아 수용할 수 있도록 형성될 수 있다. 이에, 공간부(15)는 현상액을 공급받아 수용할 수 있도록 몸체부(11)의 길이 방향을 따라 공간 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 공간부(15)는 기다란 막대 구조의 길이 방향을 따라 공간 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.The space portion 15 may be formed in the body portion 11 . The space 15 may be formed to receive and accommodate the developer. Accordingly, the space 15 may be provided to have a space structure along the longitudinal direction of the body 11 so as to receive and receive the developer. That is, the space portion 15 may be provided to have a space structure along the longitudinal direction of the elongated bar structure.

일부 실시예에 있어서, 공간부(15)는 상부(16) 및 하부(18)로 이루어질 수 있다. 공간부(15)의 하부(18)는 분사부(13)와 연통하도록 구비될 수 있고, 공간부(15)의 상부(16)는 공간부(15)의 하부(18)와 연통하도록 구비될 수 있다.In some embodiments, the space 15 may consist of an upper portion 16 and a lower portion 18 . The lower portion 18 of the space portion 15 may be provided to communicate with the injection unit 13 , and the upper portion 16 of the space portion 15 may be provided to communicate with the lower portion 18 of the space portion 15 . can

특히, 공간부(15)의 하부(18)는 제1 폭을 갖도록 구비될 수 있고, 공간부(15)의 상부(16)는 제1 폭보다 큰 제2 폭을 갖도록 구비될 수 있다. 그리고 후술하는 바와 같이 분사부(13)는 미세홀 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 현상액은 공간부(15)의 상부(18)로 공급되도록 구비될 수 있다.In particular, the lower portion 18 of the space portion 15 may be provided to have a first width, and the upper portion 16 of the space portion 15 may be provided to have a second width greater than the first width. And, as will be described later, the injection unit 13 may be provided to have a micro-hole structure, and the developer may be provided to be supplied to the upper portion 18 of the space unit 15 .

이에, 현상액은 분사가 이루어지는 부분으로 갈수록 그 폭이 좁아지는 경로를 지나기 때문에 현상액의 분사시 유속의 증가를 기대할 수 있다.Accordingly, since the developer passes through a path whose width becomes narrower toward the sprayed portion, an increase in flow rate can be expected when the developer is sprayed.

따라서 일부 실시예에 따른 현상액 분사 유닛(100)은 현상액의 유속 증가를 통하여 기판 상에 충분한 분사 타력을 갖는 현상액을 분사할 수 있을 것이다.Accordingly, the developer spraying unit 100 according to some embodiments may spray the developer having a sufficient jetting force on the substrate by increasing the flow rate of the developer.

분사부(13)는 기판 상에 현상액을 분사할 수 있도록 구비될 수 있다. 분사부(13)는 공간부(15)와 연통하면서 몸체부(11)의 일면에 배치되도록 구비될 수 있다. 언급한 바와 같이, 분사부(13)는 공간부(15)의 하부(18)와 연통할 수 있다.The spraying unit 13 may be provided to spray the developer onto the substrate. The injection part 13 may be provided to be disposed on one surface of the body part 11 while communicating with the space part 15 . As mentioned, the injection part 13 may communicate with the lower part 18 of the space part 15 .

본 실시예에 있어서, 분사부(13)는 몸체부(11)의 일면에 제1 간격 마다 홀 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 분사부(13)는 몸체부(11)의 일면에 다수개의 홀들이 제1 간격 마다 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.In this embodiment, the injection unit 13 may be provided on one surface of the body unit 11 to have a hole structure for each first interval. That is, the injection unit 13 may be provided to have a structure in which a plurality of holes are disposed at first intervals on one surface of the body unit 11 .

일부 실시예에 있어서, 분사부(13)가 구비되는 몸체부(11)의 일면은 뾰족하게 돌출되는 팁 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 이에, 분사부(13)는 뾰족하게 돌출되는 팁에 다수개의 홀들이 제1 간격 마다 배치되게 구비될 수 있다.In some embodiments, one surface of the body portion 11 on which the injection portion 13 is provided may be provided to have a tip structure protruding sharply. Accordingly, the injection unit 13 may be provided such that a plurality of holes are disposed at first intervals in the pointedly protruding tip.

이와 같이, 몸체부(11)의 일면을 뾰족하게 돌출되는 팁 구조를 갖도록 구비함과 아울러 분사부(13)를 팁 부분을 포함하는 몸체부(11)의 일면에 구비함으로써 분사부(13)의 미세홀들의 길이를 상대적으로 길게 형성할 수 있을 것이다.In this way, by providing one surface of the body part 11 to have a tip structure protruding sharply and providing the injection part 13 on one surface of the body part 11 including the tip part, the injection part 13 is The length of the micro-holes may be formed to be relatively long.

이에, 본 실시예에서의 현상액 분사 유닛(100)은 분사부(13)가 미세홀 구조를 갖도록 구비되기 때문에 슬릿 구조에 비해 상대적으로 분사 면적을 충분하게 좁힐 수 있을 것이다. 따라서 현상액 분사 유닛(100)은 분사 면적의 축소를 통하여 기판 상에 분사되는 현상액의 분사 타력을 높일 수 있을 것이고, 이를 통하여 기판 상에 충분한 분사 타력을 갖는 현상액을 분사할 수 있을 것이다.Accordingly, in the developer spraying unit 100 according to the present embodiment, since the spraying part 13 is provided to have a micro-hole structure, the spraying area can be sufficiently narrowed compared to the slit structure. Accordingly, the developer spraying unit 100 may increase the spraying force of the developer sprayed onto the substrate through reduction of the spraying area, and through this, the developer with sufficient spraying impact on the substrate may be sprayed.

또한, 일부 실시예에서와 같이 현상액 분사 유닛(100)은 분사부(13)의 미세홀의 길이를 길게 형성하여 현상액의 분사시 분사 압력까지도 높일 수 있기 때문에 충분한 분사 타력을 갖는 현상액을 분사함은 물론이고 분사부(13)의 홀들 사이의 타력 편차까지도 충분하게 줄일 수 있을 것이다.In addition, as in some embodiments, the developer spraying unit 100 makes the length of the micro-holes of the spraying part 13 to be long, so that even the spraying pressure can be increased when the developer is sprayed. and even the inertia deviation between the holes of the injection unit 13 may be sufficiently reduced.

도 4는 도 1 내지 도 3의 현상액 분사 유닛으로부터 기판 상에 분사되는 현상액의 분사 타력을 설명하기 위한 도면이다.FIG. 4 is a view for explaining the jetting force of the developer sprayed onto the substrate from the developer spraying unit of FIGS. 1 to 3 .

도 4를 참조하면, 도 1 내지 도 3의 현상액 분사 유닛(100)을 사용하여 기판(40) 상에 현상액(41)을 분사하는 상황을 나타낸다.Referring to FIG. 4 , a situation in which the developer 41 is sprayed onto the substrate 40 using the developer spraying unit 100 of FIGS. 1 to 3 is illustrated.

특히, 도 1 내지 도 3의 현상액 분사 유닛(100)을 사용하여 기판(40) 상에 현상액(41)을 분사하기 때문에 유속 증가, 분사 면적의 축소, 및 분사 압력의 증가를 통하여 충분한 분사 타력을 갖는 현상액(41)을 분사할 수 있을 것이다.In particular, since the developer 41 is sprayed on the substrate 40 using the developer spraying unit 100 of FIGS. 1 to 3, sufficient spraying force is obtained through an increase in flow rate, a reduction in spray area, and an increase in spray pressure. It may be possible to spray the developer 41 having the

이에, 도 4에서와 같이 기판(40) 상에는 이미 분사되어 있는 현상액(41) 내에 새로운 현상액(41)이 충분하게 침투함으로써 계속해서 새로운 현상액(41)이 보충되는 상황이 유지될 수 있을 것이다.Accordingly, as shown in FIG. 4 , a new developer 41 is continuously replenished by sufficiently penetrating the new developer 41 into the developer 41 that has already been sprayed on the substrate 40 .

따라서 본 실시예에 따른 현상액 분사 유닛(100)을 사용할 경우 포토레지스트 패턴의 선폭 편차를 충분하게 줄일 수 있고, 그 결과 양호한 선폭을 갖는 포토레지스트 패턴을 형성할 수 있을 것이다.Therefore, when the developer spraying unit 100 according to the present embodiment is used, the line width deviation of the photoresist pattern can be sufficiently reduced, and as a result, a photoresist pattern having a good line width can be formed.

다시 도 1을 참조하면, 공급부(19)는 현상액이 공간부(15)로 공급될 수 있도록 구비될 수 있다. 이에, 공급부(19)는 공간부(15)와 연통하도록 구비될 수 있다. 특히, 공급부(19)는 몸체부(11)의 측면에 구비될 수 있다. 즉, 공급부(19)는 기판의 표면과는 수직하는 몸체부(11)의 측면에 구비될 수 있다. 다시 말해, 공급부(19)는 몸체부(11)의 일면에 수직하는 몸체부(11)의 측면 쪽에 배치되게 구비될 수 있다.Referring back to FIG. 1 , the supply unit 19 may be provided so that the developer can be supplied to the space unit 15 . Accordingly, the supply unit 19 may be provided to communicate with the space unit 15 . In particular, the supply portion 19 may be provided on the side of the body portion (11). That is, the supply unit 19 may be provided on a side surface of the body unit 11 perpendicular to the surface of the substrate. In other words, the supply part 19 may be provided to be disposed on the side of the body part 11 perpendicular to one surface of the body part 11 .

일부 실시예에 있어서, 공급부(19)는 몸체부(11)의 양측면 중에 어느 하나의 일측면에만 배치되게 구비될 수 있다. 특히, 공급부(19)는 제1 간격보다 넓은 제2 간격 마다에 구비될 수 있다. 공급부(19)는 다소 큰 크기를 갖는 홀 구조를 가지면서 제2 간격 마다에 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In some embodiments, the supply unit 19 may be provided to be disposed on only one side of any one of both sides of the body unit 11 . In particular, the supply unit 19 may be provided at every second interval wider than the first interval. The supply unit 19 may be provided to have a structure arranged at every second interval while having a hole structure having a rather large size.

이와 같이, 몸체부(11)의 일면과 반대되는 상면 쪽이 아닌 몸체부(11)의 측면 쪽을 통하여 외부로부터 현상액을 공급받을 수 있도록 공급부(19)가 구비됨으로써 공간부(15)로 공급되는 현상액이 요동치는 상황을 상대적으로 감소시킬 수 있을 것이다.In this way, the supply unit 19 is provided so that the developer can be supplied from the outside through the side side of the body 11 rather than the top side opposite to the one side of the body 11, so that it is supplied to the space 15. It may be possible to relatively reduce the situation in which the developer fluctuates.

일부 실시예에 있어서, 현상액 분사 유닛(100)은 분사부(13)를 개별적으로 조립 가능하게 구비할 수 있을 것이다. 이는, 분사부(13)를 몸체부(11)의 일면에 탈부착이 가능한 구조로 구비함에 의해 달성할 수 있을 것이다. 이 경우, 분사부(13)와 몸체부(11)의 일면이 접하는 부분은 실링 부재를 사용함으로써 현상액의 누수를 방지할 수 있을 것이다.In some embodiments, the developer spraying unit 100 may include the spraying unit 13 to be individually assembled. This may be achieved by providing the injection unit 13 in a detachable structure on one surface of the body unit 11 . In this case, leakage of the developer may be prevented by using a sealing member at the portion where the spraying part 13 and one surface of the body part 11 contact each other.

그리고 분사부(13)의 홀에 대한 크기, 길이, 개수 등은 공정 조건 등에 따라 적절하게 조정할 수 있을 것이다.In addition, the size, length, number, etc. of the holes of the injection unit 13 may be appropriately adjusted according to process conditions and the like.

또한, 분사부(13)의 홀들을 복수개의 열 구조를 갖도록 구비할 수도 있을 것이다. 즉, 2열, 3열 등의 구조를 갖도록 구비할 수도 있을 것이다.In addition, the holes of the injection unit 13 may be provided to have a plurality of column structures. That is, it may be provided so as to have a structure of two or three columns.

아울러, 분사부(13)의 홀들에 대한 형상은 원형 이외에도 다각형 구조를 갖도록 구비할 수도 있을 것이다. 즉, 사각형, 육각형 등과 같은 구조를 갖도록 구비할 수도 있을 것이다.In addition, the shape of the holes of the injection unit 13 may be provided to have a polygonal structure in addition to a circular shape. That is, it may be provided to have a structure such as a quadrangle, a hexagon, or the like.

공급부(19)에 대한 크기 등은 현상액의 사용 유량 등에 의해 결정될 수 있을 것이다.The size of the supply unit 19 may be determined by the flow rate of the developer.

도 5 내지 도 8은 도 1 내지 도 3의 현상액 분사 유닛에 구비되는 몸체부의 일면에서의 팁 구조에 대한 변형예들을 설명하기 위한 도면들이다.5 to 8 are views for explaining modifications of the tip structure on one surface of the body provided in the developer spraying unit of FIGS. 1 to 3 .

도 5를 참조하면, 몸체부(11)의 일면에서의 팁 단부(51)가 수평 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 이에, 분사부(13)의 홀 단부 또한 수평 구조를 갖도록 구비될 수 있다.Referring to FIG. 5 , the tip end 51 on one surface of the body 11 may be provided to have a horizontal structure. Accordingly, the hole end of the injection unit 13 may also be provided to have a horizontal structure.

도 6을 참조하면, 몸체부(11)의 일면에서의 팁 단부(61)가 중심에서 외곽 방향으로 하향 경사지는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 이에, 분사부(13)의 홀 단부 또한 중심에서 외곽 방향으로 하향 경사지는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.Referring to FIG. 6 , the tip end 61 on one surface of the body 11 may be provided to have a structure that is inclined downward from the center to the outside. Accordingly, the hole end of the injection unit 13 may also be provided to have a structure inclined downward from the center to the outer direction.

도 7을 참조하면, 몸체부(11)의 일면에서의 팁 단부(71)가 외곽에서 중심 방향으로 오목한 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 이에, 분사부(13)의 홀 단부 또한 외곽에서 중심 방향으로 오목한 구조를 갖도록 구비될 수 있다.Referring to FIG. 7 , the tip end 71 on one surface of the body 11 may be provided to have a concave structure from the outside to the center. Accordingly, the hole end of the injection unit 13 may also be provided to have a concave structure from the outside to the center.

도 8을 참조하면, 몸체부(11)의 일면에서의 팁 단부(81)가 볼록한 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 이에, 분사부(13)의 홀 단부 또한 볼록한 구조를 갖도록 구비될 수 있다.Referring to FIG. 8 , the tip end 81 on one surface of the body 11 may be provided to have a convex structure. Accordingly, the hole end of the injection unit 13 may also be provided to have a convex structure.

이와 같이, 몸체부(11)의 일면에서의 팁 구조 또한 공정 조건 등에 따라 적절하게 구비할 수 있을 것이고, 나아가 현상액의 최적의 분사 조건을 갖도록 팁 구조를 적절하게 변형할 수 있을 것이다.In this way, the tip structure on one surface of the body 11 may also be appropriately provided according to process conditions, and furthermore, the tip structure may be appropriately modified to have an optimal spraying condition of the developer.

이하, 도 1 내지 도 3의 현상액 분사 유닛을 구비하는 현상액 분사 장치에 대하여 설명하기로 한다. 그리고 도 9에서의 현상액 분사 장치는 도 1 내지 도 3의 현상액 분사 유닛을 포함하기 때문에 동일 구성 요소에 대해서는 동일 부호를 사용하고 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, a developer spraying device including the developer spraying unit of FIGS. 1 to 3 will be described. In addition, since the developer spraying device of FIG. 9 includes the developer spraying units of FIGS. 1 to 3 , the same reference numerals are used for the same components, and detailed descriptions thereof will be omitted.

도 9는 본 발명의 실시예들에 따른 현상액 분사 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.9 is a diagram schematically illustrating a developer spraying apparatus according to embodiments of the present invention.

도 9를 참조하면, 본 실시예에 따른 현상액 분사 장치(900)는 디스플레이 소자의 제조에 적용될 수 있는 것으로써, 포토레지스트가 도포되는 기판(40) 상에 현상액을 분사하는 공정에 적용할 수 있다.Referring to FIG. 9 , the developer spraying apparatus 900 according to the present embodiment can be applied to manufacturing a display device, and can be applied to a process of spraying a developer onto a substrate 40 on which a photoresist is applied. .

현상액 분사 장치(900)는 이송 유닛(110), 현상액 분사 유닛(100) 등을 포함할 수 있다.The developer spraying device 900 may include a transfer unit 110 , a developer spraying unit 100 , and the like.

이송 유닛(110)은 기판(40)을 수평 방향으로 이송하도록 구비될 수 있다.The transfer unit 110 may be provided to transfer the substrate 40 in a horizontal direction.

일부 실시예에 있어서, 이송 유닛(110)은 기판(40)을 부상시킨 상태에서 이송하도록 구비될 수 있다. 즉, 이송 유닛(100)은 기판(40)의 이면으로 에어를 공급하여 기판(40)을 부상시킨 상태에서 기판(40)을 이송하도록 구비될 수 있는 것이다.In some embodiments, the transfer unit 110 may be provided to transfer the substrate 40 in a floating state. That is, the transfer unit 100 may be provided to transfer the substrate 40 in a state in which the substrate 40 is floated by supplying air to the back surface of the substrate 40 .

이송 유닛(110)은 부상 스테이지(112), 이송 가이드(114) 등을 포함할 수 있다.The transfer unit 110 may include a floating stage 112 , a transfer guide 114 , and the like.

부상 스테이지(112)는 기판(40)의 이면으로 에어를 공급할 수 있는 다수개의 에어홀이 구비될 수 있다. 이송 가이드(114)는 기판(40)의 일측 또는 양측을 파지한 상태에서 부상 스테이지(112)의 측면을 따라 이송하도록 구비될 수 있다.The floating stage 112 may be provided with a plurality of air holes capable of supplying air to the back surface of the substrate 40 . The transfer guide 114 may be provided to transfer along the side of the levitation stage 112 in a state of gripping one or both sides of the substrate 40 .

따라서 현상액 분사 장치(900)를 사용하는 현상액의 분사시 기판(40)은 이송 가이드(114)에 의해 부상 스테이지(112)를 따라 이송할 수 있을 것이다.Accordingly, when the developer is sprayed using the developer spraying device 900 , the substrate 40 may be transferred along the levitation stage 112 by the transfer guide 114 .

현상액 분사 유닛(100)은 이송 유닛(110)에 의해 이송되는 기판(40) 상에 현상액을 분사하도록 구비될 수 있다. 이에, 현상액 분사 유닛(110)은 이송 유닛(110)의 부상 스테이지(112) 상부에 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.The developer spraying unit 100 may be provided to spray the developer onto the substrate 40 transferred by the transfer unit 110 . Accordingly, the developer spraying unit 110 may be provided to have a structure disposed on the levitation stage 112 of the transfer unit 110 .

도 10 및 도 11은 도 9의 현상액 분사 장치에 구비되는 현상액 분사 유닛의 배치 구조를 설명하기 위한 도면들이다.10 and 11 are views for explaining an arrangement structure of a developer spraying unit included in the developer spraying apparatus of FIG. 9 .

도 10을 참조하면, 일부 실시예에서의 현상액 분사 유닛(100)은 기판이 이송되는 수평 방향과 수직한 방향으로 배치되도록 구비될 수 있다.Referring to FIG. 10 , the developer spraying unit 100 in some embodiments may be disposed in a direction perpendicular to a horizontal direction in which a substrate is transferred.

도 11을 참조하면, 일부 실시예에서의 현상액 분사 유닛(100)은 기판이 이송되는 수평 방향과 수직한 방향 쪽으로 기울어지는 방향으로 배치되도록 구비될 수 있다.Referring to FIG. 11 , the developer spraying unit 100 in some embodiments may be disposed in a direction inclined toward a horizontal direction and a vertical direction in which a substrate is transferred.

이와 같이, 현상액 분사 유닛(100)은 기판이 이송되는 수평 방향을 기준으로 수직한 방향 또는 수직한 방향 쪽으로 기울어지는 방향으로 부상 스테이지(112)의 상부에 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.As such, the developer spraying unit 100 may be provided to have a structure disposed on the levitation stage 112 in a vertical direction or a direction inclined toward the vertical direction based on the horizontal direction in which the substrate is transferred.

그리고 현상액 분사 유닛(100)은 기판의 수평 방향과 수직하는 기판의 폭 방향을 커버할 수 있는 길이를 갖는 나이프 구조로 이루어질 수 있기 때문에 스캔 방식으로 현상액을 분사할 수 있을 것이다.In addition, since the developer spraying unit 100 may have a knife structure having a length that can cover the width direction of the substrate perpendicular to the horizontal direction of the substrate, the developer may be sprayed in a scan manner.

특히, 도 1 내지 도 3에서 언급한 바와 같이 현상액 분사 유닛(100)은 유속 증가, 분사 면적의 축소, 및 분사 압력의 증가를 통하여 충분한 분사 타력을 갖는 현상액을 분사할 수 있기 때문에 이미 분사되어 있는 현상액 내에 새로운 현상액을 충분하게 침투시켜 계속해서 새로운 현상액이 보충되는 상황이 유지할 수 있을 것이다.In particular, as mentioned in FIGS. 1 to 3 , the developer spraying unit 100 can spray a developer having sufficient spraying force through an increase in flow rate, a reduction in the spraying area, and an increase in spraying pressure. The situation in which the new developer is sufficiently permeated into the developer to be continuously replenished with the new developer may be maintained.

따라서 본 실시예에 따른 현상액 분사 장치(900)를 사용할 경우 포토레지스트 패턴의 선폭 편차를 충분하게 줄일 수 있고, 그 결과 양호한 선폭을 갖는 포토레지스트 패턴을 형성할 수 있을 것이다.Therefore, when the developer spraying apparatus 900 according to the present embodiment is used, the line width deviation of the photoresist pattern can be sufficiently reduced, and as a result, a photoresist pattern having a good line width can be formed.

또한, 현상액 분사 장치(900) 후단 쪽에는 세정액을 분사하는 세정액 분사 장치, 세정액을 건조시키는 건조 장치 등이 구비될 수 있을 것이다.In addition, a cleaning solution spraying device for spraying a cleaning solution, a drying device for drying the cleaning solution, and the like may be provided at the rear end of the developer spraying device 900 .

본 발명은 현상 공정을 수행하여 수득할 수 있는 다양한 디스플레이 기기들에 적용될 수 있다.The present invention can be applied to various display devices obtainable by performing a developing process.

예를 들면, 본 발명은 차량용, 선박용 및 항공기용 디스플레이 장치들, 휴대용 통신 장치들, 전시용 또는 정보 전달용 디스플레이 장치들, 의료용 디스플레이 장치들 등과 같은 수많은 디스플레이 기기들에 적용 가능하다.For example, the present invention is applicable to numerous display devices such as display devices for vehicles, ships and aircraft, portable communication devices, display devices for exhibition or information transmission, medical display devices, and the like.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.As described above, although described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit of the present invention as set forth in the claims below. You will understand that it can be done.

11 : 몸체부 13 : 분사부
15 : 공간부 16 : 상부
18 : 하부 19 : 공급부
40 : 기판 41 : 현상액
51, 61, 71, 81 : 팁 단부
100 : 현상액 분사 유닛
110 : 이송 유닛
112 : 부상 스테이지
114 : 이송 가이드
900 : 현상액 분사 장치11: body part 13: injection part
15: space part 16: upper part
18: lower 19: supply part
40: substrate 41: developer
51, 61, 71, 81: tip end
100: developer spraying unit
110: transfer unit
112: injury stage
114: transport guide
900: developer spraying device

Claims (7)

포토레지스트가 도포되고 수평 방향으로 이송되는 기판 상에 현상액을 분사하도록 구비되는 현상액 분사 유닛에 있어서,
상기 수평 방향과 수직하는 상기 기판의 폭 방향을 커버할 수 있는 길이를 갖도록 구비되는 몸체부;
상기 몸체부에 상기 현상액을 공급받아 수용할 수 있게 상기 몸체부의 길이 방향을 따라 공간 구조를 갖도록 구비되는 공간부;
상기 기판 상에 상기 현상액을 분사할 수 있게 상기 공간부와 연통하면서 상기 기판을 향하는 상기 몸체부의 일면에 제1 간격 마다 홀 구조를 갖도록 구비되고, 상기 몸체부의 일면에 탈부착이 가능한 구조를 갖도록 구비되는 분사부; 및
상기 현상액이 상기 공간부로 공급될 수 있게 상기 공간부와 연통하면서 상기 기판의 표면과 수직하는 상기 몸체부의 측면에 구비되는 공급부를 포함하되,
상기 공간부는 상기 분사부와 연통하는 제1 폭을 갖는 하부 및 상기 하부와 연통하면서 상기 제1 폭보다 큰 제2 폭을 갖는 상부로 이루어지고, 상기 공급부는 상기 상부와 연통하도록 구비되고, 상기 분사부는 상기 공간부의 하부와 연통하면서 상기 하부의 제1 폭보다 작은 홀 구조를 갖도록 구비되고, 상기 몸체부의 일면에 상기 분사부의 부착시에는 실링 부재를 사용하는 것을 특징으로 하는 현상액 분사 유닛.In the developer spraying unit provided to spray the developer on a substrate to which a photoresist is applied and transferred in a horizontal direction,
a body portion provided to have a length capable of covering a width direction of the substrate perpendicular to the horizontal direction;
a space portion provided to have a spatial structure along the length direction of the body portion so as to receive and receive the developer solution in the body portion;
Provided to have a hole structure at each first interval on one surface of the body portion facing the substrate while communicating with the space portion so as to spray the developer onto the substrate, and having a detachable structure on one surface of the body portion injection unit; and
a supply part provided on a side surface of the body part perpendicular to the surface of the substrate while communicating with the space part so that the developer can be supplied to the space part;
The space part consists of a lower part having a first width communicating with the injection part and an upper part communicating with the lower part and having a second width greater than the first width, and the supply part is provided to communicate with the upper part, and the injection part The part is provided to communicate with the lower part of the space part and has a hole structure smaller than the first width of the lower part, and a sealing member is used when the spray part is attached to one surface of the body part. 제1 항에 있어서,
상기 몸체부의 일면은 뾰족하게 돌출되는 팁 구조를 갖도록 구비되고, 상기 분사부의 홀은 상기 팁에 구비되는 것을 특징으로 하는 현상액 분사 유닛.According to claim 1,
One surface of the body part is provided to have a tip structure protruding sharply, and the hole of the spray part is provided in the tip. 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 공급부는 상기 몸체부의 양측면 중에 어느 하나의 일측면에 상기 제1 간격보다 넓은 제2 간격 마다에 구비되는 것을 특징으로 하는 현상액 분사 유닛.According to claim 1,
The developer spraying unit, characterized in that the supply unit is provided at each second interval wider than the first interval on one side of any one of both sides of the body portion. 포토레지스트가 도포된 기판 상에 현상액을 분사하는 현상액 분사 장치에 있어서,
상기 기판을 수평 방향으로 이송하도록 구비되는 이송 유닛; 및
상기 이송 유닛에 의해 이송되는 상기 기판 상에 상기 현상액을 분사하도록 구비되는 현상액 분사 유닛을 포함하되,
상기 현상액 분사 유닛은 상기 수평 방향과 수직하는 상기 기판의 폭 방향을 커버할 수 있는 길이를 갖도록 구비되는 몸체부, 상기 몸체부에 상기 현상액을 공급받아 수용할 수 있게 상기 몸체부의 길이 방향을 따라 공간 구조를 갖도록 구비되는 공간부, 상기 기판 상에 상기 현상액을 분사할 수 있게 상기 공간부와 연통하면서 상기 기판을 향하는 상기 몸체부의 일면에 제1 간격 마다 홀 구조를 갖도록 구비됨과 아울러 상기 몸체부의 일면에 탈부착이 가능한 구조를 갖도록 구비되는 분사부, 및 상기 현상액이 상기 공간부로 공급될 수 있게 상기 공간부와 연통하면서 상기 기판의 표면과 수직하는 상기 몸체부의 측면에 구비되는 공급부를 포함하되,
상기 공간부는 상기 분사부와 연통하는 제1 폭을 갖는 하부 및 상기 하부와 연통하면서 상기 제1 폭보다 큰 제2 폭을 갖는 상부로 이루어지고, 상기 공급부는 상기 상부와 연통하도록 구비되고, 상기 분사부는 상기 공간부의 하부와 연통하면서 상기 하부의 제1 폭보다 작은 홀 구조를 갖도록 구비되고, 상기 몸체부의 일면에 상기 분사부의 부착시에는 실링 부재를 사용하는 것을 특징으로 하는 현상액 분사 장치.In the developer spraying device for spraying the developer on the photoresist-coated substrate,
a transfer unit provided to transfer the substrate in a horizontal direction; and
a developer spraying unit provided to spray the developer onto the substrate transferred by the transfer unit;
The developer spraying unit includes a body provided to have a length to cover a width direction of the substrate perpendicular to the horizontal direction, and a space along the length direction of the body to receive and receive the developer solution in the body portion A space portion provided to have a structure, a hole structure at each first interval on one surface of the body portion facing the substrate while communicating with the space portion so as to spray the developer onto the substrate, and on one surface of the body portion A spray unit provided to have a detachable structure, and a supply unit provided on a side surface of the body unit perpendicular to the surface of the substrate while communicating with the space unit so that the developer can be supplied to the space unit,
The space part consists of a lower part having a first width communicating with the injection part and an upper part communicating with the lower part and having a second width greater than the first width, and the supply part is provided to communicate with the upper part, and the injection part The part is provided to communicate with the lower part of the space part and has a hole structure smaller than the first width of the lower part, and a sealing member is used when the spray part is attached to one surface of the body part. 제5 항에 있어서,
상기 이송 유닛은 상기 기판의 이면으로 에어를 공급하여 상기 기판을 부상시킨 상태에서 상기 기판을 이송하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 현상액 분사 장치.6. The method of claim 5,
The transfer unit is provided to transfer the substrate in a state in which the substrate is floated by supplying air to the back surface of the substrate. 제5 항에 있어서,
상기 현상액 분사 유닛은 상기 수평 방향과 수직한 방향에 배치되거나 또는 상기 수직한 방향 쪽으로 기울어지는 방향에 배치되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 현상액 분사 장치.6. The method of claim 5,
and the developer spraying unit is disposed in a direction perpendicular to the horizontal direction or inclined toward the vertical direction.
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