KR101282284B1 - 티탄산바륨 나노분말의 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명에서는 용융염법에 의한 BaTiO₃ 나노분말의 제조방법이 개시되며, 이는 BaCO₃ 및 BaO 중의 하나 이상의 원료분말과 TiO₂ 원료분말을 혼합하여 제1혼합분말을 제조하는 단계와, 상기 제1혼합분말을 KCl, NaCl, LiCl, KF, LiCl-KCl, NaCl-KCl 및 KF-KCl로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 염과 혼합하여 제2혼합분말을 제조하는 단계와, 상기 제2혼합분말을 열처리하여 BaTiO₃ 나노분말을 합성하는 단계를 포함한다. 이때, 상기 열처리 온도는 상기 염의 용융온도 이하의 온도로 되며, 특히 (상기 염의 용융온도-300℃) 내지 (상기 염의 용융온도-100℃) 범위로 될 수 있다. 또한, 상기 TiO₂ 원료분말의 입자크기는 10~200㎚로 될 수 있고, 이때 상기 열처리 온도는 350~450℃일 수 있다.

Description

티탄산바륨 나노분말의 제조방법 {MANUFACTURING METHOD OF BARIUM TITANATE NANO POWDER}

본 발명은 티탄산바륨(BaTiO₃) 나노분말의 제조방법에 관한 것으로, 특히 분산성이 우수하고 결정성이 높은 BaTiO₃ 나노분말의 제조방법에 관한 것이다.

티탄산바륨(BaTiO₃)은 강유전성 소재로서 전자세라믹스 산업에 대표적인 물질이다.

최근 다양한 산업에서 나노 크기 입자의 필요성이 증대됨에 따라 분산성이 우수한 BaTiO₃의 나노입자 합성에 대한 수요가 증대되고 있다. 특히, 열전소재에서 열전특성을 향상시키기 위한 방법으로 열전도도의 감소가 주요 개발방향으로 되고 있으며, 이에 따라 세라믹스 나노입자를 열전소재 내에 분산하기 위해 10㎚급의 분산성이 우수한 입자의 합성이 요구되고 있다.

이러한 나노입자가 액상 내에서 균일하게 분산되어야 하는 경우, 나노입자 간의 응집을 근본적으로 해결하기 위한 나노입자의 합성방법이 요청된다. 그러나, 현재 1차입자의 크기를 최소화하는 기술은 다수 제시되었으나, 합성의 단계에서 분산성과 결정성이 우수한 나노입자를 합성할 수 있는 기술은 아직 개발된 바 없다.

현재 상용되는 BaTiO₃의 합성방법으로는 일반적으로 수열합성법, 침전법(즉, 옥살레이트(oxalate)법), 알콕사이드(alkoxide)법, 고상반응법 등이 있으며, 그 사용되는 입자의 크기는 약 200㎚ 정도이다. 이들 방법은 합성의 과정에서 많은 응집이 발생하고 이를 해쇄하는 과정을 통하여 균일한 입자를 합성한다. 그러나, 입자크기가 감소함에 따라 균일한 일차입자의 합성이 어려운 단점이 있을 뿐만 아니라, 그 분산과정 또한 중요한 문제로 대두되고 있다. 더구나, 상기와 같은 습식공정에서 액상반응을 이용하는 경우에는 BaTiO₃의 결정성이 떨어지고 입자 내에 포어(pore)가 포획되는 현상이 일반적으로 나타난다. 또한, 결정화도를 높여야만 유전특성과 재료의 근본 성질이 우수해지지만, 고온에서 열처리를 할 경우 입자 간 응집이 심해지고 입자가 성장하는 단점을 해결할 수 없다. 즉, 이들 방법으로는 10㎚ 수준의 나노 입자를 합성하기가 어려우며, 또한 심한 응집현상을 초래하므로 나노 입자의 합성이 더 힘들다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로, 본 발명은 분산성이 우수하고 결정성이 높은 BaTiO₃ 나노분말의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 BaTiO₃ 나노분말의 제조방법은 다음 단계들을 포함할 수 있다:

- BaCO₃ 및 BaO 중의 하나 이상의 원료분말과 TiO₂ 원료분말을 혼합하여 제1혼합분말을 제조하는 단계와;

- 상기 제1혼합분말을 KCl, NaCl, LiCl, KF, LiCl-KCl, NaCl-KCl 및 KF-KCl로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 염과 혼합하여 제2혼합분말을 제조하는 단계와;

- 상기 제2혼합분말을 열처리하여 BaTiO₃ 나노분말을 합성하는 단계.

이때, 상기 열처리 온도는 상기 염의 용융온도 이하의 온도로 되며, 특히 (상기 염의 용융온도-300℃) 내지 (상기 염의 용융온도-100℃) 범위로 될 수 있다. 예를 들어, 상기 염은 KF-KCl일 때, 상기 열처리 온도는 450~530℃로 될 수 있다. 또한, 상기 TiO₂ 원료분말의 입자크기는 10~200㎚로 될 수 있고, 이때 상기 열처리 온도는 350~450℃일 수 있다.

또한, 상기 열처리 온도는 상기 원료분말이 용해되는 제1합성온도와 BaTiO₃ 결정이 합성되는 제2합성온도로 이루어질 수 있고, 상기 열처리는 다음 구간들을 포함할 수 있다:

- 상온에서 상기 제1합성온도로 승온하는 구간과;

- 상기 제1합성온도를 유지하는 구간과;

- 상기 제2합성온도로 승온하는 구간과;

- 상온으로 냉각하는 구간.

이때, 상기 제2합성온도로 승온하는 구간과 상기 상온으로 냉각하는 구간 사이에 상기 제2합성온도를 유지하는 구간을 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 제1합성온도는 (상기 염의 용융온도-300℃) 내지 (상기 염의 용융온도-100℃) 범위로 될 수 있다. 특히, 상기 염이 KF-KCl일 때, 상기 제1합성온도는 450~530℃일 수 있다. 또한, 상기 TiO₂ 원료분말의 입자크기는 10~200㎚로 되고 이때 상기 제1합성온도는 350~450℃로 될 수 있다. 또한, 상기 제2합성온도는 (상기 제1합성온도＋10℃) 내지 (상기 제1합성온도＋60℃) 범위로 될 수 있다. 특히, 상기 염이 KF-KCl일 때, 상기 제2합성온도는 510~550℃로 될 수 있다. 또한, 상기 TiO₂ 원료분말의 입자크기는 10~200㎚일 때, 상기 제2합성온도는 430~500℃로 될 수 있다. 또한, 상기 제1합성온도를 유지하는 구간의 유지시간은 30분~48시간일 수 있고, 상기 제2합성온도를 유지하는 구간의 유지시간은 30분 이하일 수 있다. 또한, 상기 승온 또는 냉각 속도는 1~20℃/분일 수 있다.

또한, 상기 제1혼합분말 대 상기 제2혼합분말의 부피비는 1:0.5~1:20로 될 수 있다. 또한, 상기 합성된 BaTiO₃ 나노분말의 입자크기는 5~200㎚로 된다.

본 발명에 따르면, 염 내에서 균일한 핵 생성이 가능한 용융염법을 이용하여 BaTiO₃ 분말을 합성함으로써 그 입자크기를 나노 크기로 합성할 수 있을 뿐만 아니라 특히 분산성이 우수하고 결정성이 높은 나노 분말로 생산할 수 있다.

도 1은 본 발명에 의한 BaTiO₃ 나노분말의 합성공정 흐름도.
도 2는 본 발명에 있어서 LiCl-KCl, NaCl-KCl 및 KF-KCl 각각의 혼합염을 사용한 제2혼합분말을 650℃의 합성온도로 열처리하여 합성한 각 BaTiO₃ 분말의 X선 회절분석 결과.
도 3a~3c는 도 2에 의한 상기 각 BaTiO₃ 분말의 전자현미경 사진으로서, 도 3a는 LiCl-KCl, 도 3b는 NaCl-KCl, 도 3c는 KF-KCl을 혼합염으로 사용한 경우의 전자현미경 사진.
도 4는 KF-KCl 혼합염을 사용한 제2혼합분말을 도 3보다 더 낮은 600~700℃의 합성온도로 각각 열처리하여 합성한 BaTiO₃ 분말의 각 X선 회절분석 결과.
도 5a~5c는 상기 각 합성온도에 따른 BaTiO₃ 분말의 전자현미경 사진으로서, 도 5a는 600℃, 도 5b는 650℃, 도 5c는 700℃의 합성온도일 경우의 전자현미경 사진.
도 6은 KF-KCl 혼합염을 사용한 제2혼합분말을 도 4보다 더 낮춘 500~570℃의 합성온도로 각각 열처리하여 합성한 BaTiO₃ 분말의 각 X선 회절분석 결과.
도 7은 본 발명에 의한 BaTiO₃ 나노분말의 합성을 위한 제2혼합분말의 바람직한 열처리 프로파일.
도 8은 본 발명에 있어서 KF-KCl 혼합염을 사용하고 도 7의 열처리 프로파일에 의해 열처리하여 합성한 BaTiO₃ 나노분말의 X선 회절분석 결과.
도 9는 도 8의 BaTiO₃ 나노분말의 전자현미경 사진.

이에, 본 발명자들은 BaTiO₃ 나노분말의 합성에 가능성이 있다고 기대된 용융염법에 주목하였다. 이러한 용융염법을 통한 합성은 이미 약 30년 전에 보고된 방법이지만, 이를 이용하여 나노입자의 합성을 유도하기 위한 시도는 아직 이루어진 바 없다. 왜냐면, 그 당시까지 나노 BaTiO₃ 입자의 합성에 대한 산업적 요구가 없었고, 또한 염 내에서 합성됨에 따라 잔류되는 미량의 염에 의해 전자세라믹스 소재로의 적용이 불가할 것이라는 우려 때문이었다. 그러나, 최근 다양한 BaTiO₃ 나노 분말입자의 활용분야가 증가하였을 뿐만 아니라 염의 제거를 위한 방법도 많이 진보하였고, 또한 비록 소량의 염이 포함되어도 적용가능한 나노 입자가 요구되고 있기 때문이다.

이와 같이, 본 발명에서 BaTiO₃ 나노분말의 합성에 이용한 용융염법 공정은 대체로 다음과 같다:

- BaCO₃ 및/또는 BaO 원료분말과 TiO₂ 원료분말을 염과 혼합하고;

- 상기 혼합된 분말을 열처리하여 BaTiO₃ 나노분말을 합성.

이러한 본 발명의 제조방법에 따르면, 상기 혼합분말을 상기 염의 용융온도 이상으로 가열하여 5~200㎚ 입자크기의 최종 나노분말로 합성된다. 그러나, 바람직하게는, 단일 염에 비해 2가지 이상의 혼합염이 용융온도가 더 낮아 혼합염을 사용하여 합성할 경우, 그 합성온도를 더 낮출 수 있고 이에 따라 더 작은 크기의 나노입자를 합성할 수 있으므로, 혼합염을 사용한다. 따라서, 본 발명은 KCl, NaCl, LiCl 및 KF 등의 단일염과 LiCl-KCl, NaCl-KCl 및 KF-KCl 등의 혼합염 중의 하나 이상이 사용될 수 있다. 특히, 이러한 혼합염은 그 용융온도가 LiCl-KCl은 352℃, NaCl-KCl은 650℃, KF-KCl은 605℃이므로, 이렇게 낮은 용융온도로 인하여 비교적 저온에서 합성이 가능해짐에 따라 합성분말 입자의 고온성장이 방지되어 더 작은 크기의 나노입자를 합성할 수 있다.

더 상세하게는, 본 발명의 BaTiO₃ 나노분말의 합성공정은 바람직하게는 다음과 같고 이의 흐름도를 도 1에 도시한다:

- BaCO₃ 및/또는 BaO 원료분말과 TiO₂ 원료분말을 몰비 1:1로 혼합하여 제1혼합분말을 제조하는 단계(S101)와;

- 상기 제1혼합분말을 KCl, NaCl, LiCl 및 KF 등의 단일염 및 LiCl-KCl, NaCl-KCl 및 KF-KCl 등의 혼합염 중의 하나 이상과 부피비 1:0.5~1:20, 바람직하게는 1:1~1:10 범위로 혼합하여 제2혼합분말을 제조하는 단계(S102)와;

- 상기 제2혼합분말을 (상기 염의 용융온도-300℃) 내지 (상기 염의 용융온도-100℃) 범위의 합성온도로 열처리하여 최종 BaTiO₃ 나노분말을 합성하는 단계(S103).

도 2는 LiCl-KCl, NaCl-KCl 및 KF-KCl 각각의 혼합염을 사용한 제2혼합분말을 650℃의 합성온도로 열처리하여 합성한 각 BaTiO₃ 분말의 X선 회절분석 결과이고, 도 3a~3c는 상기 각 BaTiO₃ 분말의 전자현미경사진이다. 이때, 상기 합성온도까지의 승온속도는 5℃/분이고 상기 합성온도에서 1시간 유지하였다.

도 2 및 도 3a~3c를 참조하면, 다만 LiCl-KCl 혼합염의 경우에는 미량의 Li ₂ TiO ₃ 상이, NaCl-KCl 혼합염의 경우에는 다량의 미반응물과 합성된 BaTiO₃가 공존함이 관찰되지만, KF-KCl 혼합염의 경우에는 미반응물 없는 BaTiO₃ 상이 관찰된다. 이에 따라, 이 중에서 KF-KCl 혼합염을 사용한 경우가 최선의 결과를 나타냄을 알 수 있으나, 다만 BaF₂라는 이상이 관찰되므로 이를 제거함으로써 더 순수한 BaTiO₃ 나노입자를 합성할 수 있다.

도 4는 KF-KCl 혼합염을 사용한 제2혼합분말을 도 2보다 더 낮은 600~700℃의 합성온도로 각각 열처리하여 합성한 BaTiO₃ 분말의 각 X선 회절분석 결과이고, 도 5a~5c는 상기 각 BaTiO₃ 분말의 전자현미경사진이다. 이때, 상기 합성온도까지의 승온속도는 5℃/분이고 상기 합성온도에서 1시간 유지하였다.

도 4 및 도 5a~5c를 참조하면, 도 2보다 더 낮은 합성온도에서 제2혼합분말을 열처리한 결과 합성된 BaTiO₃ 분말입자의 크기가 도 3c보다 더 작아짐이 관찰되나, KF-KCl 혼합염의 용융온도인 605℃보다 높은 합성온도에서는 이미 약 200㎚ 이상의 큰 입자가 생성됨이 관찰된다. 또한, 여전히 BaF₂ 이상이 존재함이 관찰된다.

도 6은 KF-KCl 혼합염을 사용한 제2혼합분말을 도 4보다 더 낮춘 500~570℃의 합성온도, 즉 KF-KCl 혼합염의 용융온도 이하의 저온인 합성온도로 각각 열처리하여 합성한 BaTiO₃ 분말의 각 X선 회절분석 결과이다. 이때, 상기 온도까지의 승온속도는 5℃/분이고 상기 열처리 온도에서 1시간 유지하였다. 도 6을 참조하면, BaTiO₃ 합성이 시작되는 온도는 약 500℃이며, 아직 원료물질의 미반응 잔여물이 존재하나 BaF₂ 이상은 관찰되지 않는다.

따라서, 이상과 같은 데이터를 바탕으로 효과적으로 잘 분산되고 결정성이 우수한 BaTiO₃ 나노분말입자를 합성할 수 있는 열처리 프로파일을 도 7과 같이 제시할 수 있다. 도 7은 본 발명에 의한 BaTiO₃ 나노분말의 합성을 위한 상기 제2혼합분말의 바람직한 열처리 프로파일이다.

도 7을 참조하면, 제2혼합분말의 합성온도는 제1합성온도(T₁)와 제2합성온도(T₂)로 이루어질 수 있다. 즉, 제2혼합분말 물질은 제1합성온도(T₁)에서 충분히 용해되고(온도구간 B), 핵 생성이 가능한 온도구간 D의 제2합성온도(T₂)에서 결정이 합성된 후(온도구간 D), 상온으로 급냉 또는 서냉된다(온도구간 E). 즉, 본 발명에 의한 열처리 프로파일은 다음 구간들을 포함한다:

- 상온에서 상기 제1합성온도로 승온하는 구간(온도구간 A)과;

- 상기 제1합성온도를 유지하는 구간(온도구간 B)과;

- 상기 제2합성온도로 승온하는 구간(온도구간 C)과;

- 상온으로 냉각하는 구간(온도구간 E).

이때, 상기 제2합성온도로 승온하는 구간(온도구간 C)과 상기 상온으로 냉각하는 구간(온도구간 E) 사이에 상기 제2합성온도를 유지하는 구간(온도구간 D)을 더 포함할 수 있다.

먼저, 온도구간 B의 제1합성온도(T₁)는 일반적으로 제2혼합분말에 사용되는 혼합염 조성의 용융온도에 따르며 (상기 염의 용융온도-300℃) 내지 (상기 염의 용융온도-100℃) 범위로 되고, 온도구간 B의 유지시간은 30분~48시간, 바람직하게는 10시간이다.

특히, KF-KCl 혼합염의 경우에는 제1합성온도(T₁)는 450~530℃이 바람직하고 500℃가 더욱 바람직하다. 또한, 바람직하게는, BaF₂ 이상은 출현하지 않음에도 아직 원료물질인 TiO₂가 미반응되어 잔류하는 것을 방지하기 위하여, 입자크기가 10~200㎚, 바람직하게는 30㎚의 TiO₂ 나노 분말을 원료로 사용할 수 있고, 이 경우 제1합성온도(T₁)는 350~450℃로 됨이 바람직하다.

또한, 온도구간 D의 제2합성온도(T₂)는 마찬가지로 제2혼합분말에 사용되는 혼합염 조성의 용융온도에 따르며 (상기 제1합성온도(T₁)＋10℃) 내지 (상기 제1합성온도(T₁)＋60℃) 범위로 되고, 온도구간 D의 유지시간은 없거나 아니면 30분 이하로 된다.

특히, KF-KCl 혼합염의 경우에는 제2합성온도(T₂)는 510~550℃이 바람직하고 530℃가 더욱 바람직하다. 또한, 입자크기가 10~200㎚, 바람직하게는 30㎚의 TiO₂ 나노 분말을 원료로 사용하는 경우 제2합성온도(T₂)는 430~500℃로 됨이 바람직하다.

또한, 상기 제1 및 제2 합성온도(T₁, T₂)로의 승온속도(온도구간 A 및 C)와, 강온속도(온도구간 E)는 1~20℃/분, 바람직하게는 5℃/분이다.

도 8은 본 발명에 있어서 KF-KCl 혼합염을 사용하고 도 7의 열처리 프로파일에 의해 열처리하여 합성한 BaTiO₃ 나노분말의 X선 회절분석 결과이고, 도 9는 이의 전자현미경 사진이다.

도 8 및 도 9를 참조하면, 종래 나타났던 BaF₂ 이상이 없는 BaTiO₃ 상만이 존재하고 20㎚ 크기의 잘 분산된 나노 입자가 합성됨을 확인할 수 있다. 또한, 입자크기가 20㎚에 불과하지만 결정성이 매우 우수한 나노 BaTiO₃이 합성됨을 확인할 수 있다.

이상, 상술된 본 발명의 구현예 및 실시예에 있어서, 조성분말의 평균입도, 분포 및 비표면적과 같은 분말특성과, 원료의 순도, 불순물 첨가량 및 열처리 조건에 따라 통상적인 오차범위 내에서 다소 변동이 있을 수 있음은 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 지극히 당연하다.

아울러 본 발명의 바람직한 구현예 및 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이며, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가 등이 가능할 것이고, 이러한 수정, 변경, 부가 등은 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 한다.

Claims (20)

1. BaCO₃ 및 BaO 중의 하나 이상의 원료분말과 TiO₂ 원료분말을 혼합하여 제1혼합분말을 제조하는 단계와;
   상기 제1혼합분말을 KCl, NaCl, LiCl, KF, LiCl-KCl, NaCl-KCl 및 KF-KCl로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 염과 혼합하여 제2혼합분말을 제조하는 단계와;
   상기 제2혼합분말을 상기 염의 용융온도 이하의 온도에서 열처리하여 BaTiO₃ 나노분말을 합성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 BaTiO₃ 나노분말의 제조방법.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,
   상기 열처리 온도는 (상기 염의 용융온도-300℃) 내지 (상기 염의 용융온도-100℃) 범위로 되는 것을 특징으로 하는 BaTiO₃ 나노분말의 제조방법.
4. 제1항에 있어서,
   상기 염은 KF-KCl이고 상기 열처리 온도는 450~530℃인 것을 특징으로 하는 BaTiO₃ 나노분말의 제조방법.
5. 제1항에 있어서,
   상기 TiO₂ 원료분말의 입자크기는 10~200㎚인 것을 특징으로 하는 BaTiO₃ 나노분말의 제조방법.
6. 제5항에 있어서,
   상기 열처리 온도는 350~450℃인 것을 특징으로 하는 BaTiO₃ 나노분말의 제조방법.
7. 제1항에 있어서,
   상기 열처리 온도는 상기 원료분말이 용해되는 제1합성온도와 BaTiO₃ 결정이 합성되는 제2합성온도로 이루어지는 것을 특징으로 하는 BaTiO₃ 나노분말의 제조방법.
8. 제7항에 있어서,
   상기 열처리는
   상온에서 상기 제1합성온도로 승온하는 구간과;
   상기 제1합성온도를 유지하는 구간과;
   상기 제2합성온도로 승온하는 구간과;
   상온으로 냉각하는 구간을 포함하는 것을 특징으로 하는 BaTiO₃ 나노분말의 제조방법.
9. 제8항에 있어서,
   상기 제2합성온도로 승온하는 구간과 상기 상온으로 냉각하는 구간 사이에 상기 제2합성온도를 유지하는 구간을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 BaTiO₃ 나노분말의 제조방법.
10. 제7항 내지 제9항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1합성온도는 (상기 염의 용융온도-300℃) 내지 (상기 염의 용융온도-100℃) 범위로 되는 것을 특징으로 하는 BaTiO₃ 나노분말의 제조방법.
11. 제7항 내지 제9항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 염은 KF-KCl이고 상기 제1합성온도는 450~530℃인 것을 특징으로 하는 BaTiO₃ 나노분말의 제조방법.
12. 제7항 내지 제9항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 TiO₂ 원료분말의 입자크기는 10~200㎚이고 상기 제1합성온도는 350~450℃인 것을 특징으로 하는 BaTiO₃ 나노분말의 제조방법.
13. 제7항 내지 제9항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2합성온도는 (상기 제1합성온도＋10℃) 내지 (상기 제1합성온도＋60℃) 범위로 되는 것을 특징으로 하는 BaTiO₃ 나노분말의 제조방법.
14. 제7항 내지 제9항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 염은 KF-KCl이고 상기 제2합성온도는 510~550℃인 것을 특징으로 하는 BaTiO₃ 나노분말의 제조방법.
15. 제7항 내지 제9항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 TiO₂ 원료분말의 입자크기는 10~200㎚이고 상기 제2합성온도는 430~500℃인 것을 특징으로 하는 BaTiO₃ 나노분말의 제조방법.
16. 제8항 또는 제9항에 있어서,
    상기 제1합성온도를 유지하는 구간의 유지시간은 30분~48시간인 것을 특징으로 하는 BaTiO₃ 나노분말의 제조방법.
17. 제9항에 있어서,
    상기 제2합성온도를 유지하는 구간의 유지시간은 30분 이하인 것을 특징으로 하는 BaTiO₃ 나노분말의 제조방법.
18. 제8항 또는 제9항에 있어서,
    상기 승온 또는 냉각 속도는 1~20℃/분인 것을 특징으로 하는 BaTiO₃ 나노분말의 제조방법.
19. 제1항에 있어서,
    상기 제1혼합분말 대 상기 제2혼합분말의 부피비는 1:0.5~1:20인 것을 특징으로 하는 BaTiO₃ 나노분말의 제조방법.
20. 제1항 및 제3항 내지 제9항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 합성된 BaTiO₃ 나노분말의 입자크기는 5~200㎚인 것을 특징으로 하는 BaTiO₃ 나노분말의 제조방법.

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