KR101278409B1 - 진공단열재 누설 검사방법 및 검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 진공단열재 누설 검사방법 및 검사장치에 관한 것으로서, 내부가 진공으로 유지되어야 하는 진공단열재의 내부로 대기압 이상의 압력으로 헬륨 가스를 주입하는 헬륨가스 주입단계와 상기 진공단열재 외부의 가스를 흡입하여 흡입된 가스 중 헬륨가스를 검출하는 헬륨가스 검출단계를 포함하는 진공단열재 누설 검사방법을 통하여 진공단열재에 대한 정확한 검사가 가능하여 검사불량을 줄일 수 있는 효과를 가져오며, 복수개의 흡기구를 구비한 진공단열재 검사장치를 통해 넓은 면적의 누설을 단시간 내에 검사함으로써 작업시간을 줄이고 비용을 절감할 수 있는 효과를 제공한다.

Description

진공단열재 누설 검사방법 및 검사장치{LEAK INSPECTION METHOD AND LEAK INSPECTOR FOR VACUUM INSULATION PANEL}

본 발명은 진공단열재 등의 누설 검사방법 및 검사장치에 관한 것으로서, 특히 진공단열재의 외피재의 미세 누설을 정밀하게 찾기 위한 누설 검사방법 및 검사장치를 제공하는 것이다.

일반적으로 냉동고 및 냉장고 등과 같이 냉기를 이용하여 음식물 등을 보관하는 냉동 및 냉장기기에 있어서는, 고 내부의 냉기가 외부로 방출되는 현상을 차단하는 단열재의 성능이 냉동 및 냉장기기의 전체적인 성능을 좌우하는 중요한 요소로 작용하고 있다.

이에 따라, 고효율 단열재를 제작하기 위해서 유리 섬유, 실리카 파우더 등을 심재로 사용하며, 적층 필름으 진공 포장한 진공단열재를 사용한다.

그러나, 얇은 적층 필름을 이용하여 진공 포장함으로써 제조과정에서 이물질 또는 심재와의 마찰 등으로 인한 외피재 손상으로 인하여 미세 누설(Leak)이 발생되며, 이를 통해 진공도(1~10 Pa)가 저하되어 열전도율이 상승함으로써 진공단열재 고유의 우수한 단열성능이 저하된다.

종래에는 외피재에 대한 미세 누설부위를 검출하기 위하여 가스를 진공단열재 내 소정의 압력으로 가압 충진한 후 수조 내에서 기포의 크기 및 수량을 측정하는 버블 테스트(Bubble Test)방법을 통해 누설을 검사하였다.

그러나, 상기 버블테스트는 검출 가능 누설량이 1.0×10^-3 Pa·m³/min 정도로서 열교환기, 밀페형 압축기 등과 같이 대량 누설일 때 사용되는 방법이며, 진공단열재와 같이 미세한 누설에는 정확한 검사가 어렵다는 문제점이 있었다.

또한, 상기 버블테스트는 누설 여부만을 검출할 수 있을 뿐, 정확한 누설 위치 및 누설률을 검출하기 어렵다는 문제점이 있었다.

본 발명의 목적은 진공단열재에 분자량이 작은 헬륨(He)가스를 주입하고 외부로 누설된 헬륨가스를 헬륨가스 검출부를 이용하여 측정함으로써, 미세한 누설에 대한 정확한 검사가 가능한 진공단열재 누설 검사방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 진공단열재와 대향하는 헤드부에 복수개의 흡기구를 배치하여 넓은 범위의 누설 검사가 가능한 진공단열재 누설 검사장치를 제공하는 것이다.

본 발명은, 내부가 진공으로 유지되어야 하는 진공단열재의 내부에 헬륨 가스를 주입하는 헬륨가스 주입단계;와 상기 진공단열재 외부의 가스를 흡입하여 흡입된 가스 중 헬륨가스를 검출하는 헬륨가스 검출단계;를 포함하는 진공단열재 누설 검사방법을 제공한다.

여기서, 상기 헬륨가스 주입단계는 진공단열재 내부의 헬륨가스 압력이 대기압 이상이 되도록 주입하는 것이 바람직하다. 상기 헬륨가스 검출단계는, 상기 흡입된 가스를 필라멘트에 의해 발생된 전자에 의해 이온화하는 이온화단계;와 상기 이온화된 분자들을 질량에 따라 자기장에 의해 일정각도로 편향시키는 편향단계;와 상기 일정각도로 편향된 분자들 중 헬륨 질량에 맞는 편향반경을 가진 이온을 수집하는 헬륨이온 수집단계;를 포함하는 것이 바람직하다.

정확한 누설위치를 검출하기 위하여, 상기 헬륨이온 수집단계에서 헬륨이온이 수집된 경우, 헤드부에 설치된 복수개의 흡기구를 선택적으로 개폐하여, 헬륨가스가 흡입되는 흡기구를 검출하는 누설위치 검출단계;를 더 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명은 헬륨 가스가 주입된 진공단열재 주변의 가스(기체)를 흡입하는 헤드부;와 상기 헤드부에 연결되어 흡입된 가스를 이송하는 이송배관; 및 상기 이송배관과 연결되어 흡입된 가스가 헬륨가스에 해당하는지 여부를 판단하는 헬륨가스 검출부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공단열재 누설 검사 장치를 제공한다.

여기서, 헤드부는 상기 진공단열재를 향하는 검사면의 폭이 상기 이송배관과 연결되는 연결면의 폭보다 큰 것이 바람직하다. 이는 일측에 상기 진공단열재를 향하는 검사면을 가지고, 타측에 상기 이송배관과 연결되는 연결면을 가지는 하우징;과 상기 하우징의 검사면에 배치되어, 누설되는 가스를 흡입하는 복수 개의 흡기구; 및 상기 흡기구와 상기 이송배관을 연결하는 연결관;을 포함하는 것이 특히 바람직하다.

더불어, 상기 헤드부는 정확한 누설위치를 측정하기 위하여 상기 흡기구를 개폐하는 개폐밸브; 및 상기 개폐밸브의 개별적 개폐를 제어하는 제어부;를 더 포함하여, 상기 헬륨가스 검출부를 통해 헬륨가스 검출이 확인시, 상기 제어부를 통하여 복수개의 흡기구를 개별적으로 개폐하여 정확한 누설위치를 측정하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 헬륨가스 검출부는 헬륨 질량 분석기를 이용하여 상기 헬륨가스의 누설을 검출하는 것이 바람직하다.

더불어, 상기 헤드부와 진공단열재 사이의 간격을 조정하기 위하여 위치검출부 및 간격표시부를 더 포함하는 것이 바람직하며, 헤드부의 이동속도를 조정하기 위하여 속도검출부 및 속도표시부를 더 포함하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 누설 검사방법은 헬륨가스 및 헬륨가스 검출부를 통해 검사를 수행함으로써 진공단열재에 대한 정확한 검사가 가능하여 검사불량을 줄일 수 있는 효과를 가져온다.

또한, 본 발명에 따른 누설 검사장치는 복수개의 흡기구를 구비한 헤드부를 통해 넓은 면적의 누설을 단시간 내에 검사함으로써 작업시간을 줄이고 비용을 절감할 수 있는 효과를 가져온다.

더불어, 복수개의 흡기구에 밸브를 설치하여 누설확인시 개별적으로 밸브개폐를 조절함으로써 미세한 누설부위에 대한 정확한 검사가 가능하다는 효과를 가져온다.

도 1은 본 발명에 따른 누설 검사방법의 순서도
도 2은 본 발명에 따른 누설 검사장치의 개념도
도 3은 도 2의 헬륨가스 검출부의 확대단면도
도 4는 도 2의 헤드부의 확대단면도
도 5는 흡기구에 밸브가 설치된 헤드부의 확대단면도

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 진공단열재 누설 검사방법에 대하및 검사장치에 관하여 설명하기로 한다.

본 발명의 장점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.

또한, 도면에서 발명을 구성하는 구성요소들의 크기는 명세서의 명확성을 위하여 과장되어 기술된 것이며, 어떤 구성요소가 다른 구성요소의 "내부에 존재하거나, 연결되어 설치된다"고 기재된 경우, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소와 접하여 설치될 수 있고, 소정의 이격거리를 두고 설치될 수도 있으며, 이격거리를 두고 설치되는 경우엔 상기 어떤 구성요소를 상기 다른 구성요소에 고정 내지 연결시키기 위한 제3의 수단에 대한 설명이 생략될 수도 있다.

도 1은 본 발명에 따른 진공단열재 누설 검사방법의 순서도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 진공단열재 누설 검사방법은 다음과 같다

먼저, 진공단열재(10)의 내부에 헬륨가스 주입장치(20)를 통하여 헬륨 가스를 주입한다(헬륨가스 주입단계).

다음으로 상기 진공단열재 외부의 가스를 흡입하여 흡입된 가스 중 헬륨가스를 검출한다(헬륨가스 검출단계).

여기서, 상기 헬륨가스 주입단계는 상기 진공단열재(10) 내부의 헬륨가스 압력이 대기압(1013.25 hPa) 이상이 되도록 주입하는 것이 바람직하다. 이는 내부 압력이 대기압 이상인 경우 한해, 헬륨가스가 진공단열재(10) 외부로 배출될 수 있기 때문이다. 더불어, 내부압력은 진공단열재의 외피재가 손상되지 않는 압력 범위(5066.25 hPa) 이하인 것이 바람직하다.

상기 헬륨가스 검출단계는 이온화단계, 편향단계 및 헬륨이온 수집단계를 포함한다.

이온화단계에서, 텅스텐(tungsten)으로 만들어진 뜨거운 필라멘트(hot filament)에서 발생된 전자로 흡입된 가스를 이온화한다.

그 후 편향단계에서, 상기 이온화된 분자들은 양전하를 띠고 직선운동으로 움직이고 있는 상태에서 일정한 자기장을 이온들의 운동방향에 적절하게 걸어줌으로써 이온들을 편향시킨다.

편향단계에서 이온들은 각각의 질량에 따라서 편향반경이 다르게 되어, 질량이 클수록 편향반경이 커지게 된다. 따라서, 헬륨이온 수집단계에서 헬륨 질량에 맞는 편향반경을 가진 이온들을 슬릿(slit)을 통해 통과시키고, 나머지 다른 이온들은 차단시킨다.

여기서 주입가스로서 사용되는 헬륨은 가장 가벼운 불황성 기체로서 작은 틈새로도 쉽게 빠져 나올 수 있어 미세한 누설을 감지하는데 유리하다. 또한 다른 기체와 혹은 용기 재질과 반응하지 않기 때문에 외피재 또는 심재와의 반응을 고려하지 않아도 되며, 분자량이 작아 주입 후 배기하기가 쉽다. 더욱이, 다른 불활성 기체에 비해 값이 싸며 무독, 무해, 비폭발성 등으로 주입가스로서 바람직하다.

더불어, 헬륨가스 검출부를 사용하는 것은 헬륨은 질량수가 4인 이온으로서 다른 이온들과 질량의 구분이 상대적으로 쉬워 식별이 용이하며, 대기 중 농도가 5 ppm으로 극소량이므로 주변 노이즈(background noise)가 작기 때문에 정확한 측정이 가능하다.

즉, 상기와 같이 추적가스로서 헬륨가스를 주입하고, 헬륨가스 검출부를 통해 이를 측정함으로써, 1.0×10^-6 Pa·m³/min에 해당하는 검출가능누설량을 얻을 수 있어 진공단열재와 같은 미세한 누설(10~300 ㎛)의 정확한 검사가 가능하다.

또한, 본 발명은 상기 이온 수집단계에서 헬륨이온이 확인된 경우, 헤드부에 설치된 복수개의 흡기구를 선택적으로 개폐하여, 헬륨가스가 흡입되는 흡기구를 파악하여 정확한 누설위치를 검출하는 누설위치 검출단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.

이를 통해, 복수개의 흡기구 중 어떤 흡기구에서 헬륨가스가 흡입되는지 알 수 있어 정확한 누설위치를 확인할 수 있다.

구체적으로 살펴보면, 복수개의 흡기구(113a,b,c)에 설치된 밸브(117)를 이용하여 특정 흡기구(113a)는 개방하고 그 외 흡기구(113b,113c)는 폐쇄함으로써 특정 흡기구(113a)를 통해 헬륨가스가 흡입되는지 알 수 있으며, 그 외 흡기구(113b,113b) 역시 이와 같은 방식으로 헬륨가스가 흡입되는지 알 수 있다.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 누설 검사장치의 개념도이다.

도 2를 참조하면 본 발명에 따른 진공단열재 누설 검사장치는 헤드부(110), 이송배관(130) 및 헬륨가스 검출부(150)로 구성된다.

헤드부(110)는 상기에서 살펴본 헬륨 가스가 주입된 진공단열재(10)와 일정 간격 이격되어 진공단열재(10) 주변의 가스를 직접 흡입한다.

이송배관(130)은 상기 헤드부(110)와 상기 헬륨가스 검출부(150)를 연결하여 흡입된 가스를 이송하는 배관으로서, 헤드부(110)가 자유롭게 이동할 수 있도록 유연성 있는 재질로 구성되는 것이 바람직하다.

헬륨가스 검출부(150)는 이송배관(130)과 연결되어 흡입된 가스가 헬륨가스에 해당하는지 여부를 판단한다.

여기서, 상기 헬륨가스 검출부(150)는 헬륨 질량 분석기(151)를 이용하여 진공단열재(10)로부터 헬륨가스의 누설을 검출하는 것이 바람직하다.

도 3은 도 2의 헬륨가스 검출부 확대단면도로서, 도 3을 참조하면 이러한 헬륨 질량 분석기(151)는 이온화장치(153), 편향장치(155) 및 헬륨이온 수집장치(155)를 포함하는 것이 바람직하다.

여기서 이온화장치(153)는 텅스텐으로 만들어진 뜨거운 필라멘트에서 발생된 전자를 이용하여 흡입된 가스에 포함된 중성 분자들을 이온화한다.

편향장치(155)는 양전하를 띠고 직선운동으로 움직이고 있는 이온들에 영구자석 등을 이용하여 일정한 자기장을 이온들의 운동방향에 적절하게 걸어줌으로써 이온들을 편향시킨다.

헬륨이온 수집장치(157)는 헬륨이온의 편향반경에 맞는 슬릿을 통해 헬륨 질량에 맞는 편향반경을 가진 이온들을 수집한다. 이는 이온들마다 질량에 따라 편향반경이 다른 성질을 이용한 것이다.

도 4는 도 2의 헤드부 확대단면도이며, 도 5는 개폐밸브, 제어부를 포함하는 헤드부의 확대단면도이다.

도 4를 참조하면, 상기 헤드부(110)는 검사면(110a)의 폭(W1)이 연결면(110b)의 폭(W2)보다 큰 것이 바람직하다.

검사면(110a)의 폭(W1)을 크게 형성함으로서, 진공단열재(10)의 누설 검사범위를 넓게 가질 수 있어 단시간 내에 누설 검사가 가능하며, 작업공수를 줄일 수 있어 비용을 절감할 수 있다.

여기서 검사면(110a)이란 헤드부(110) 중 진공단열재(10)를 향하는 면을 의미하며, 연결면(110b)이란 이송배관(130)과 연결되는 면을 의미한다. 또한, 검사면, 연결면의 폭(W1, W2)이란 검사면, 연결면이 원(타원) 형상인 경우 직경(장축)을 의미하며, 다각형인 경우 대각선의 길이를 의미한다.

구체적으로 살펴보면 헤드부(110)는 하우징(111), 복수개의 흡기구(113) 및 연결관(115)을 포함한다.

하우징(111)은 일측에 진공단열재(10)를 향하는 검사면(110a)을 가지고, 타측에 상기 이송배관(130)과 연결되는 연결면(110b)을 가진다.

복수개의 흡기구(113)는 하우징(111)의 검사면(110a)에 배치되어 누설되는 가스를 흡입한다. 여기서 흡기구(113)를 복수개로 구성함으로써, 단수개의 흡기구를 이용하는 것과 비교할 때 넓은 면적에 대하여 동일한 간격 및 동일한 이동속도로 검사할 수 있어 정확한 누설량 측정이 가능하며, 보다 빠른 누설 검사가 가능하다.

연결관(115)은 복수개의 흡기구(113)로부터 흡입된 가스를 이송배관(130)으로 이송하기 위하여 흡기구(113)와 이송배관(130)을 연결한다. 이는 하우징(110)의 내측에 배치되는 것이 바람직하다.

다른 실시예로서 도 5를 참조하면, 헤드부(110)는 상기 실시예의 구성을 포함하며, 누설 위치의 정확한 검출을 위하여, 상기 복수개의 흡기구(113) 내측에 설치되어 흡기구를 개폐하는 개폐밸브(117) 및 상기 개폐밸브(117)의 개폐를 제어하는 제어부(119)를 더 포함하는 것이 바람직하다.

이는 상기 실시예에서 헬륨가스 검출부(150)를 통해 진공단열재(10)의 누설이 확인된 경우, 상기 제어부(119)를 통하여 일부 흡기구(113)는 개방하도록 하고, 나머지 흡기구(113)는 폐쇄하도록 제어함으로써 정확한 누설위치를 검출하기 위함이다.

구체적으로 살펴보면, 복수개의 흡기구(113)에 설치된 밸브(117)를 이용하여 특정 흡기구(113a)는 개방하고 나머지 흡기구(113b, 113c)는 폐쇄함으로써 특정 흡기구(113a)를 통해 헬륨가스가 흡입되는지 알 수 있으며, 나머지 흡기구(113b, 113c) 역시 이와 같은 방식으로 헬륨가스가 흡입되는지 알 수 있다.

또 다른 실시예로서 상기 실시예들과 동일한 구성을 포함하며, 더불어 위치검출부(미도시) 및 간격표시부(미도시)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

위치검출부는 상기 헤드부에 배치되어 상기 헤드부와 상기 진공단열재 사이의 간격정보를 검출하며, 간격표시부는 위치검출부로부터 검출된 헤드부와 진공단열재 사이의 간격이 기준값을 벗어나는 경우, 이를 표시한다. 여기서 간격표시부는 표시방법으로 진동, 빛, 음향을 사용할 수 있다.

상기와 같이 누설 측정시 진공단열재와 헤드부 사이에 간격을 기준값 이하로 하도록 하여, 간격이 지나치게 벗어남으로 인해 누설량 측정시 발생할 수 있는 부정확한 측정을 방지할 수 있다.

또 다른 실시예로서 상기 실시예들과 동일한 구성을 포함하며, 더불어 속도검출부(미도시) 및 속도표시부(미도시)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

속도검출부는 상기 헤드부에 배치되어 상기 헤드부의 이동속도를 검출하며, 속도표시부는 속도검출부로부터 검출된 헤드부의 이동속도가 기준 속도를 벗어나는 경우, 이를 표시한다. 여기서 속도표시부는 표시방법으로 진동, 빛, 음향을 사용할 수 있다.

상기와 같이 누설 측정시 헤드부의 이동 속도가 기준 속도 이하가 되도록 하여, 헤드부의 이동속도가 지나치게 빠르게 됨으로 인해 누설량 측정시 발생할 수 있는 부정확한 측정을 방지할 수 있다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

10 : 진공단열재 20 : 헬륨가스 주입장치
110 : 헤드부 110a : 검사면
110b : 연결면 111 : 하우징
113, 113a,b,c : 흡기부 115 : 연결관
117 : 개폐밸브 119 : 제어부
130 : 이송배관 150 : 헬륨가스 검출부
151 : 헬륨질량분석기 153 : 이온화장치
155 : 편향장치 157 : 헬륨이온 수집장치

Claims (11)

1. 내부가 진공으로 유지되어야 하는 진공단열재의 내부에 헬륨가스주입장치를 통해 헬륨 가스를 주입하는 헬륨가스 주입단계;
   상기 진공단열재 외부의 가스를 헤드부를 통해 흡입하여 흡입된 가스 중 헬륨가스를 헬륨가스 검출부를 통해 검출하는 헬륨가스 검출단계;를 포함하고, 상기 헬륨가스 검출단계는 상기 흡입된 가스를 이온화 장치를 통해 필라멘트에 의해 발생된 전자에 의해 이온화하는 이온화단계; 상기 이온화된 분자들을 편향장치를 통해 질량에 따라 자기장에 의해 일정각도로 편향시키는 편향단계; 상기 일정각도로 편향된 분자들 중 헬륨 질량에 맞는 편향반경을 가진 이온을 헬륨이온 수집장치에 의해 수집하는 헬륨이온 수집단계;를 포함하고,
   상기 헬륨이온 수집단계에서 헬륨이온이 수집된 경우, 헤드부에 설치된 복수개의 흡기구를 선택적으로 개폐하여, 헬륨가스가 흡입되는 흡기구를 헬륨가스 검출부로 검출하는 누설위치 검출단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공단열재 누설 검사방법.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 헬륨가스 주입단계는 상기 진공단열재 내부의 헬륨가스 압력이 대기압 이상이 되도록 주입하는 것을 특징으로 하는 진공단열재 누설 검사방법.
   
3. 삭제
4. 삭제
5. 헬륨 가스가 주입된 진공단열재 주변의 가스를 흡입하는 헤드부;
   상기 헤드부에 연결되어 흡입된 가스를 이송하는 이송배관; 및
   상기 이송배관과 연결되어 흡입된 가스가 헬륨가스에 해당하는지 여부를 판단하는 헬륨가스 검출부;를 포함하고,
   상기 헤드부는 흡기구를 개폐하는 개폐밸브; 및
   상기 개폐밸브의 개별적 개폐를 제어하는 제어부;를 더 포함하며,
   상기 헬륨가스 검출부를 통해 헬륨가스 검출이 확인된 경우, 상기 제어부를 통하여 복수개의 흡기구를 개별적으로 개폐하여 정확한 누설위치를 측정하는 것을 특징으로 하는 진공단열재 누설 검사장치.
   
6. 제5항에 있어서,
   상기 헬륨가스 검출부는 헬륨 질량 분석기를 이용하여 상기 헬륨가스의 누설을 검출하는 것을 특징으로 하는 진공단열재 누설 검사장치.
   
7. 제5항에 있어서,
   상기 헤드부는 상기 진공단열재를 향하는 검사면의 폭이 상기 이송배관과 연결되는 연결면의 폭보다 크게 형성된 것을 특징으로 하는 진공단열재 누설 검사장치.
   
8. 제7항에 있어서,
   상기 헤드부는,
   일측에 상기 검사면을 가지고, 타측에 상기 연결면을 가지는 하우징;
   상기 하우징의 검사면에 배치되어, 상기 진공단열재 외부의 가스를 흡입하는 복수 개의 흡기구; 및
   상기 흡기구와 상기 이송배관을 연결하는 연결관;을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공단열재 누설 검사장치.
   
9. 삭제
10. 제5항에 있어서,
    상기 헤드부에 배치되어 상기 헤드부와 상기 진공단열재 사이의 간격을 검출하는 위치검출부; 및
    상기 헤드부와 상기 진공단열재 사이의 간격이 기준값을 벗어나는 경우, 이를 표시하는 간격표시부;를 더 포함하는 진공단열재 누설 검사장치.
    
11. 제5항에 있어서,
    상기 헤드부에 배치되어 헤드부의 이동속도를 검출하는 속도검출부; 및
    상기 속도검출부로부터 검출된 이동속도가 기준 속도를 벗어나는 경우, 이를 표시하는 속도표시부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공단열재 누설 검사장치.

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