KR101273287B1 - 비젼 트랙킹 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명인 비젼 트랙킹 시스템은, 컨베이어를 타고 들어오는 웨이퍼를 촬영하는 카메라와, 상기 카메라로부터 촬영된 영상을 영상처리하여 상기 웨이퍼의 위치를 계산하는 비젼보드로 구성된 비젼유닛; 상기 웨이퍼를 진공흡착하여 상기 웨이퍼를 매거진의 상측으로 이동시키는 도중에, 상기 웨이퍼를 정렬시키는 구동유닛; 및 상기 촬영당시 웨이퍼의 위치 정보를 비젼보드로부터 전달받아, 상기 촬영당시 위치의 웨이퍼를 그대로 옮겨서 상기 매거진의 상측에 위치시켰을 때, 상기 웨이퍼가 기준위치를 벗어난다고 판단되면, 상기 구동유닛에 상기 웨이퍼의 정렬하도록 지시하는 제어부;를 포함하며, 상기 기준위치는, 상기 웨이퍼를 하강시켰을 때, 상기 웨이퍼가 상기 매거진의 입구에 부딪치지 않고, 상기 매거진의 내부로 들어와 적재될 수 있는 상기 매거진의 상측 위치이다.

Description

비젼 트랙킹 시스템{VISION TRACKING SYSTEM}
본 발명은 비젼 트랙킹 시스템에 관한 것이다.
비젼 트랙킹 시스템이란, 전공정을 마치고 후공정을 진행하기 위해 컨베이어를 타고 들어오는 웨이퍼를, 매거진(magazine)에 적재하는 시스템이다. 매거진이 웨이퍼들로 채워지면, 매거진은 후공정 장치로 이동된다.
여기서, 웨이퍼는 솔라셀(solar cell)을 만드는 웨이퍼일 수 있다. 전공정은 베이킹(baking) 공정일 수 있다. 후공정은 검사공정 또는 절연(isolation) 공정일 수 있다. 후공정 장치는 검사장치 또는 절연장치일 수 있다.
한편, 웨이퍼가 매거진의 내부로 들어가 적재되기 위해서는, 웨이퍼보다 매거진의 입구가 커야 한다. 통상, 매거진의 입구는 웨이퍼보다 대략 1mm 정도 크다.
만약, 매거진의 입구가 웨이퍼보다 1mm 이상 커지면, 매거진의 내부에 적재된 웨이퍼가 움직일 수 있는 거리가 그만큼 길어져, 웨이퍼가 매거진의 내벽과 충돌시 깨질 수 있다. 따라서, 매거진의 입구는 웨이퍼보다 대략 1mm 정도 큰 것이 바람직하다.
상술한 바와 같이, 매거진의 입구와 웨이퍼의 크기 차이가 1mm 밖에 되지 않으므로, 웨이퍼는 반드시 기준위치에 위치한 상태에서 매거진에 적재되어야 한다. 여기서, 기준위치란, 웨이퍼를 하강시켰을 때, 웨이퍼가 매거진의 입구에 부딪치지 않고 매거진의 내부로 들어와 적재될 수 있는 매거진의 상측 위치로 정의된다.
한편, 웨이퍼를 기준위치에 맞추기 위해서, 종래의 비젼 트랙킹 시스템은, 비젼유닛, 정렬유닛, 구동유닛, 제어부로 구성된다.
비젼유닛은, 컨베이어를 타고 들어오는 웨이퍼를 촬영하는 카메라와, 카메라로부터 촬영된 영상을 영상처리(image processing)하여 웨이퍼의 위치를 계산하는 비젼보드로 구성된다.
제어부는, 웨이퍼의 위치(X,Y,θ) 정보를 비젼보드로부터 받는다. 제어부는, 촬영당시 위치의 웨이퍼를 그대로 옮겨서 매거진의 상측에 위치시켰을 때, 웨이퍼가 기준위치를 벗어난다고 판단되면, 정렬유닛에 웨이퍼를 정렬하도록 지시한다.
정렬유닛은, 컨베이어와 매거진 사이에 설치된다. 정렬유닛은, X,Y,θ테이블로 구성된다. 정렬유닛은, 웨이퍼를 X,Y,θ축 방향으로 정렬시킨다.
제어부는, 웨이퍼가 정렬되면, 웨이퍼를 매거진에 적재하라고 구동유닛에 지시한다.
구동유닛은, 정렬된 웨이퍼를 진공흡착하여, 매거진의 상측으로 이동시킨다. 그리고, 웨이퍼를 하강시켜 매거진의 내부에 적재한다.
한편, 종래의 비젼 트랙킹 시스템의 정렬유닛은, 컨베이어가 멈춘 상태에서만 웨이퍼를 정렬시킬 수 있고, 컨베이어가 움직이는 상태에서는 웨이퍼를 정렬시킬 수 없다. 따라서, 컨베이어의 멈춤과 움직임이 반복됨에 따라, 컨베이어를 타고 계속적으로 들어오는 웨이퍼들을 매거진에 적재하는 시간을 단축시키기 어렵다.
본 발명의 목적은, 컨베이어를 타고 계속적으로 들어오는 웨이퍼들을 매거진에 적재하는 시간을 단축시키는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 비젼 트랙킹 시스템은, 컨베이어를 타고 들어오는 웨이퍼를 촬영하는 카메라와, 상기 카메라로부터 촬영된 영상을 영상처리하여 상기 웨이퍼의 위치를 계산하는 비젼보드로 구성된 비젼유닛; 상기 웨이퍼를 진공흡착하여 상기 웨이퍼를 매거진의 상측으로 이동시키는 도중에, 상기 웨이퍼를 정렬시키는 구동유닛; 및 상기 촬영당시 웨이퍼의 위치 정보를 비젼보드로부터 전달받아, 상기 촬영당시 위치의 웨이퍼를 그대로 옮겨서 상기 매거진의 상측에 위치시켰을 때, 상기 웨이퍼가 기준위치를 벗어난다고 판단되면, 상기 구동유닛에 상기 웨이퍼의 정렬하도록 지시하는 제어부;를 포함하며, 상기 기준위치는, 상기 웨이퍼를 하강시켰을 때, 상기 웨이퍼가 상기 매거진의 입구에 부딪치지 않고, 상기 매거진의 내부로 들어와 적재될 수 있는 상기 매거진의 상측 위치이다.
본 발명인 비젼 트랙킹 시스템은, 진공흡착부가 일정위치에서 웨이퍼를 기다렸다가 웨이퍼를 진공흡착하지 않고, 웨이퍼의 상측으로 이동해서 웨이퍼를 진공흡착한다. 따라서, 웨이퍼를 매거진에 적재하는 시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 본 발명인 비젼 트랙킹 시스템은, 진공흡착부가 컨베이어의 속력(웨이퍼의 속력)과 동일한 속력으로 이동하면서 웨이퍼를 진공흡착한다. 따라서, 웨이퍼를 정확하고 안정적으로 진공흡착할 수 있다.
또한, 본 발명인 비젼 트랙킹 시스템은, 웨이퍼를 매거진의 상측으로 이동시키는 도중에 웨이퍼를 정렬하므로, 웨이퍼를 정렬하는 동안 컨베이어를 멈출 필요가 없다. 따라서, 컨베이어를 타고 계속 들어오는 웨이퍼들을 매거진에 적재하는 시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 본 발명인 비젼 트랙킹 시스템은, 웨이퍼를 매거진의 상측으로 이동시키는 도중에 웨이퍼를 정렬하므로, 웨이퍼를 정렬하기 위한 별도의 시간이 필요 없다. 따라서, 웨이퍼를 매거진에 적재하는 시간을 단축시킬 수 있다.
도 1은, 본 발명의 일 실시예에 따른 비젼 트랙킹 시스템과, 그 비젼 트랙킹 시스템이 설치된 프레임과, 웨이퍼를 운반하는 컨베이어와, 웨이퍼가 적재되는 매거진과, 전공정을 마친 웨이퍼를 컨베이어 위에 올려놓는 로봇을 나타낸 사시도이다.
도 2는, 도 1에 도시된 비젼 트랙킹 시스템과, 웨이퍼를 운반하는 컨베이어와, 웨이퍼가 적재되는 매거진과, 전공정을 마친 웨이퍼를 컨베이어 위에 올려놓는 로봇을 나타낸 정면도이다.
도 3은, 도 1에 도시된 비젼 트랙킹 시스템과, 웨이퍼를 운반하는 컨베이어와, 웨이퍼가 적재되는 매거진을 나타낸 우측면도이다.
도 4는, 본 발명의 일 실시예에 따른 비젼 트랙킹 시스템을 나타낸 블록도이다.
도 5는, 도 4에 도시된 비젼보드에 의해 영상처리된 웨이퍼가 모니터에 나타난 상태를 나타낸 사진이다.
도 6은, 도 1에 도시된 진공흡착부가, 컨베이어를 타고 들어오는 웨이퍼를 진공흡착하기 위해, 웨이퍼의 상측으로 이동하는 상태를 나타낸 도면이다.
도 7은, 도 1에 도시된 진공흡착부가, 컨베이어와 동일한 방향 및 동일한 속력으로 이동하면서, 컨베이어를 타고 들어오는 웨이퍼를 진공흡착하는 상태를 나타낸 도면이다.
도 8은, 도 1에 도시된 진공흡착부가, 매거진의 상측으로 이동하는 도중에, 진공흡착된 웨이퍼를 정렬시키는 상태를 나타낸 도면이다.
도 9는, 도 1에 도시된 진공흡착부가, 진공흡착된 웨이퍼를 하강시켜 매거진의 내부에 넣는 상태를 나타낸 도면이다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 비젼 트랙킹 시스템을 상세히 설명한다.
도 1은, 본 발명의 일 실시예에 따른 비젼 트랙킹 시스템과, 그 비젼 트랙킹 시스템이 설치된 프레임과, 웨이퍼를 운반하는 컨베이어와, 웨이퍼가 적재되는 매거진과, 전공정을 마친 웨이퍼를 컨베이어 위에 올려놓는 로봇을 나타낸 사시도이다. 도 2는, 도 1에 도시된 비젼 트랙킹 시스템과, 웨이퍼를 운반하는 컨베이어와, 웨이퍼가 적재되는 매거진과, 전공정을 마친 웨이퍼를 컨베이어 위에 올려놓는 로봇을 나타낸 정면도이다. 도 3은, 도 1에 도시된 비젼 트랙킹 시스템과, 웨이퍼를 운반하는 컨베이어와, 웨이퍼가 적재되는 매거진을 나타낸 우측면도이다. 도 2 및 도 3에서, 도 1에 도시된 프레임과 케이블베어가 생략되었다. 도 4는, 본 발명의 일 실시예에 따른 비젼 트랙킹 시스템을 나타낸 블록도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 비젼 트랙킹 시스템은, 비젼유닛(110), 구동유닛(120), 제어부(130)로 구성된다.
비젼유닛(110)은, 카메라(111), 비젼보드(112)로 구성된다.
카메라(111)는, 웨이퍼(W)가 촬영범위(V)에 들어오면, 웨이퍼(W)를 촬영한다. 카메라(111)는, 촬영된 영상을 비젼보드(112)에 전달한다.
비젼보드(112)는, 촬영된 영상을 영상처리하여 웨이퍼(W)의 위치(X,Y,θ)를 계산한다. 촬영된 영상을 영상처리하여 웨이퍼(W)의 위치(X,Y,θ)를 계산하는 방법은 공지된 기술이므로, 자세한 설명을 생략한다.
구동유닛(120)은, 웨이퍼(W)를 진공흡착한 후, 웨이퍼(W)를 매거진(M)의 상측으로 이동시키는 도중에 정렬시킨다. 이를 위해, 구동유닛(120)은, 진공흡착부(121), X축구동부(122), Y축구동부(123), Z축구동부(124), θ축구동부(125)로 구성된다.
진공흡착부(121)는, 웨이퍼(W)를 진공흡착한다. 진공흡착부(121)는, 노즐, 튜브, 진공발생기로 구성된다.
X축구동부(122)는, 진공흡착부(121)에 진공흡착된 웨이퍼(W)를 X축 방향으로 이동시키고, X축 방향으로 정렬시킨다. X축구동부(122)는, 모터와 볼스크류로 구성된다.
Y축구동부(123)는, 진공흡착부(121)에 진공흡착된 웨이퍼(W)를 Y축 방향으로 이동시키고, Y축 방향으로 정렬시킨다. Y축구동부(123)는, 모터와 볼스크류로 구성된다.
Z축구동부(124)는, 진공흡착부(121)에 진공흡착된 웨이퍼(W)를 Z축 방향으로 이동시킨다. Z축구동부(124)는, 모터와 볼스크류로 구성된다.
θ축구동부(125)는, 진공흡착부(121)에 진공흡착된 웨이퍼(W)를 θ축방향으로 회전시켜, θ축 방향으로 정렬시킨다. θ축구동부(125)는, 모터와 볼스크류로 구성된다.
진공흡착부(121), X축구동부(122), Y축구동부(123), Z축구동부(124), θ축구동부(125)는, 공지기술을 사용하여 다양한 구성이 가능하므로, 자세한 설명은 생략한다.
제어부(130)는, 촬영당시 웨이퍼의 위치(X,Y,θ)를 비젼보드(112)로부터 전달받는다. 제어부(130)는, 촬영당시 웨이퍼(W)의 위치를 그대로 옮겨서 매거진의 상측에 위치시켰을 때, 웨이퍼(W)의 위치가 기준위치를 벗어난다고 판단되면, 구동유닛(120)에 웨이퍼(W)를 정렬하라고 지시한다.
미 설명부호 R은, 전공정을 마친 웨이퍼를 컨베이어 위에 올려놓는 로봇을 나타낸다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 비젼 트랙킹 시스템의 작동을 설명한다.
도 5는, 도 4에 도시된 비젼보드에 의해 영상처리된 웨이퍼가 모니터에 나타난 상태를 나타낸 사진이다. 도 6은, 도 1에 도시된 진공흡착부가, 컨베이어를 타고 들어오는 웨이퍼를 진공흡착하기 위해, 웨이퍼의 상측으로 이동하는 상태를 나타낸 도면이다. 도 7은, 도 1에 도시된 진공흡착부가, 컨베이어와 동일한 방향 및 동일한 속력으로 이동하면서, 컨베이어를 타고 들어오는 웨이퍼를 진공흡착하는 상태를 나타낸 도면이다. 도 8은, 도 1에 도시된 진공흡착부가, 매거진의 상측으로 이동하는 도중에, 진공흡착된 웨이퍼를 정렬시키는 상태를 나타낸 도면이다. 도 9는, 도 1에 도시된 진공흡착부가, 진공흡착된 웨이퍼를 하강시켜 매거진의 내부에 넣는 상태를 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 로봇(R)은, 전공정을 마친 웨이퍼(W)들을 컨베이어(10) 위에 계속해서 올려놓는다. 그러면, 웨이퍼(W)들이 컨베이어(10)를 타고 비젼 트랙킹 시스템으로 계속 들어오게 된다.
도 6을 참조하면, 컨베이어(10)는, 멈추지 않고 일정한 속력으로 계속해서 일방향으로 움직인다. 일정한 속력의 범위는 0.1~1.5m/s이다. 이로 인해, 컨베이어(10) 위에 올려진 웨이퍼(W)들도 일정한 속력으로 화살표 Y1방향으로 계속 이동하게 된다.
카메라(111)는, 촬영범위(V, 도 2참조)에 웨이퍼(W)가 들어오면, 웨이퍼(W)를 촬영한다. 카메라(111)는, 촬영된 영상을 비젼보드(112)에 전달한다.
비젼보드(112)는, 쵤영된 영상을 영상처리하여, 촬영당시 웨이퍼(W)의 위치(X,Y,θ)를 계산한다.
도 5에 도시된 바와 같이, 비젼보드(112)는, 영상처리된 웨이퍼(W)를 모니터에 나타낼 수도 있다. 비젼보드(112)는, 촬영당시 웨이퍼(W)의 위치 정보를 제어부(130)에 전달한다.
제어부(130)는, 웨이퍼(W)의 상측으로 진공흡착부(121)를 이동시키라고, X축구동부(122)와 Y축구동부(123)에 지시한다.
도 6에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(W)의 상측으로 진공흡착부(121)를 이동시키기 위해, X축구동부(122)는, 진공흡착부(121)를 화살표 X1방향으로 이동시키고, Y축구동부(123)는, 진공흡착부(121)를 화살표 Y2방향으로 이동시킨다.
X축구동부(122)는, 촬영당시 웨이퍼(W)의 위치에 따라 -X1방향으로 진공흡착부(121)를 이동시킬 수도 있다.
Y축구동부(123)가, 진공흡착부(121)를 이동시키는 속력은, 컨베이어(10)가 웨이퍼(W)를 이동시키는 속력의 1.5~2배이다. 이는, 진공흡착부(121)가 웨이퍼(W)를 신속하게 진공흡착함으로써, 매거진(M)에 웨이퍼(W)를 적재하는 시간을 줄이기 위해서다.
Y축구동부(123)가, 진공흡착부(121)를 이동시키는 거리는, 촬영당시 웨이퍼(W)의 위치와, 컨베이어(10)의 이동속력과, 진공흡착부(121)의 이동속력을 가지고 용이하게 계산될 수 있다.
도 7에 도시된 바와 같이, 진공흡착부(121)가 이동하여 웨이퍼(W)의 상측에 위치하면, 제어부(130)는, 진공흡착부(121)를 컨베이어(10)의 이동방향 Y1과 동일한 방향인 Y3방향으로, 컨베이어(10)의 속력과 동일한 속력으로 이동시키라고, Y축구동부(123)에 지시한다.
Y축구동부(123)는, 진공흡착부(121)를 컨베이어(10)의 이동방향 Y1과 동일한 방향인 Y3방향으로, 컨베이어(10)의 속력과 동일한 속력으로 이동시킨다.
진공흡착부(121)가 컨베이어(10)의 이동방향과 동일한 방향으로 동일한 속력으로 이동하면, 제어부(130)는, Z축구동부(122)에게 진공흡착부(121)를 화살표 Z1방향으로 하강시키라고 지시한다.
Z축구동부(122)는, 진공흡착부(121)를 하강시킨다.
진공흡착부(121)가 하강하면, 제어부(130)는, 진공흡착부(121)에게 웨이퍼(W)를 진공흡착하라고 지시한다.
진공흡착부(121)는, 웨이퍼(W)를 진공흡착한다.
도 8에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(W)가 진공흡착되면, 제어부(130)는, Z축구동부(122)에게 진공흡착부(121)를 화살표 Z2방향으로 상승시키도록 지시한다. Z축구동부(122)는, 진공흡착부(121)를 상승시킨다. 진공흡착부(121)가 상승되면, 웨이퍼(W)도 함께 상승된다.
제어부(130)는, 촬영당시 위치의 웨이퍼(W)를 그대로 옮겨서 매거진(M)의 상측에 위치시켰을 때, 웨이퍼(W)가 기준위치를 벗어난다고 판단되면, X축구동부(122), Y축구동부(123), θ축구동부(125)에게, 웨이퍼(W)를 정렬하면서 기준위치로 이동시키라고 지시한다.
반면, 제어부(130)는, 촬영당시 위치의 웨이퍼(W)를 그대로 옮겨서 매거진(M)의 상측에 위치시켰을 때, 웨이퍼(W)가 기준위치에 위치한다고 판단되면, X축구동부(122), Y축구동부(123), θ축구동부(125)에게, 웨이퍼(W)를 정렬 없이 기준위치로 이동시키라고 지시한다.
여기서, 웨이퍼(W)를 정렬한다는 의미는, X축구동부(122)가 진공흡착부(121)를 X축방향인 화살표 X4방향으로 이동시키고, Y축구동부(123)가 진공흡착부(121)를 Y축방향인 화살표 Y4방향으로 이동시키고, θ축구동부(125)가 진공흡착부(121)를 θ축 방향인 화살표 θ1방향으로 회전시켜, 진공흡착부(121)가 매거진(M)의 상측에 위치할 경우, 웨이퍼(W)가 기준위치에 위치하게 만드는 것을 의미한다.
한편, Y축구동부(123)가 진공흡착부(121)를 매거진(M)의 상측으로 이동시키는 속력은, 컨베이어(10)가 웨이퍼(W)를 이동시키는 속력의 1.5~2배이다. 이는, 매거진(M)에 웨이퍼(W)를 적재하는 시간을 줄이기 위해서다.
도 9에 도시된 바와 같이, 진공흡착부(121)가 매거진(M)의 상측에 위치하면, 제어부(130)는, Z축구동부(124)에게 진공흡착부(121)를 화살표 Z2방향으로 하강시키라고 지시한다.
Z축구동부(124)는 진공흡착부(121)를 하강시킨다. 진공흡착부(121)가 하강하면 매거진(M)의 내부로 웨이퍼(W)가 들어간다.
제어부(130)는, 진공흡착부(121)에 진공 해제를 지시한다. 진공흡착부(121)는, 진공을 해제하여 웨이퍼(W)를 매거진(M)에 적재한다.
제어부(130)는, Z축구동부(124)에게 진공흡착부(121)의 상승을 지시한다. Z축구동부(124)는 진공흡착부(121)를 상승시킨다.
상술한 과정을 반복하여, 컨베이어(10)를 타고 계속해서 들어오는 웨이퍼(W)들을 매거진(M)에 반복적으로 적재한다. 웨이퍼(W)들로 채워진 매거진(M)은, 후공정 장치로 이동된다.

Claims (5)

  1. 컨베이어를 타고 들어오는 웨이퍼를 촬영하는 카메라와, 상기 카메라로부터 촬영된 영상을 영상처리하여 상기 웨이퍼의 위치를 계산하는 비젼보드로 구성된 비젼유닛;
    상기 웨이퍼를 진공흡착하여 상기 웨이퍼를 매거진의 상측으로 이동시키는 도중에, 상기 웨이퍼를 정렬시키는 구동유닛; 및
    상기 촬영당시 웨이퍼의 위치 정보를 비젼보드로부터 전달받아, 상기 촬영당시 위치의 웨이퍼를 그대로 옮겨서 상기 매거진의 상측에 위치시켰을 때, 상기 웨이퍼가 기준위치를 벗어난다고 판단되면, 상기 구동유닛에 상기 웨이퍼의 정렬하도록 지시하는 제어부;를 포함하며,
    상기 기준위치는, 상기 웨이퍼를 하강시켰을 때, 상기 웨이퍼가 상기 매거진의 입구에 부딪치지 않고, 상기 매거진의 내부로 들어와 적재될 수 있는 상기 매거진의 상측 위치인 비젼 트랙킹 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 컨베이어를 타고 들어오는 웨이퍼를 진공흡착하기 위해 진공흡착부가 이동하는 방향은 상기 컨베이어의 이동방향과 반대방향이며, 상기 진공흡착부의 속력은 상기 컨베이어의 속력의 1.5~2배이며,
    상기 웨이퍼를 진공흡착한 후 상기 매거진의 상측으로 이동하는 진공흡착부의 방향은 상기 컨베이어의 이동방향과 동일한 방향이며, 상기 진공흡착부의 속력은 상기 컨베이어의 속력의 1.5~2배인 비젼 트랙킹 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 구동유닛은,
    상기 웨이퍼를 진공흡착하는 진공흡착부;
    상기 진공흡착부에 진공흡착된 웨이퍼를 X축 방향으로 이동시키고, X축 방향으로 정렬시키는 X축구동부;
    상기 진공흡착부에 진공흡착된 웨이퍼를 Y축 방향으로 이동시키고, Y축 방향으로 정렬시키는 Y축구동부;
    상기 진공흡착부에 진공흡착된 웨이퍼를 Z축방향으로 이동시키는 Z축구동부; 및
    상기 진공흡착부에 진공흡착된 웨이퍼를 θ축방향으로 회전시켜, θ축 방향으로 정렬시키는 θ축구동부;를 포함하며,
    상기 진공흡착부는, 상기 컨베이어와 동일한 방향 및 동일한 속력으로 이동하면서, 상기 웨이퍼를 진공흡착하는 비젼 트랙킹 시스템.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제어부는,
    상기 진공흡착부가 일정위치에서 상기 컨베이어를 타고 들어오는 웨이퍼를 기다렸다가 진공흡착하지 않고, 상기 진공흡착부가 상기 컨베이어를 타고 들어오는 웨이퍼의 상측으로 이동하여 진공흡착하도록,
    상기 X축구동부, 상기 Y축구동부에게, 상기 진공흡착부를 상기 웨이퍼의 상측으로 이동시키라고 지시하는 비젼 트랙킹 시스템.
  5. 제3항에 있어서, 상기 제어부는,
    상기 촬영당시 위치의 웨이퍼를 그대로 옮겨서 상기 매거진의 상측에 위치시켰을 때, 상기 웨이퍼가 기준위치를 벗어난다고 판단되면, 상기 X축구동부, 상기 Y축구동부, 상기 θ축구동부에게, 상기 웨이퍼를 정렬하면서 상기 기준위치로 이동시키라고 지시하고,
    상기 촬영당시 위치의 웨이퍼를 그대로 옮겨서 상기 매거진의 상측에 위치시켰을 때, 상기 웨이퍼가 기준위치에 위치한다고 판단되면, 상기 X축구동부, 상기 Y축구동부, 상기 θ축구동부에게, 상기 웨이퍼를 정렬 없이 상기 기준위치로 이동시키라고 지시하는 비젼 트랙킹 시스템.
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