JP6833287B2 - 基板処理装置、基板搬送装置 - Google Patents
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Claims (8)
- 基板の搬送方向に所定の長さを有する作業範囲内の前記基板に対して作業を実行する作業ヘッドと、
前記作業範囲の前記搬送方向の上流側に設けられた第1コンベアと、前記作業範囲に対して設けられた第2コンベアと、前記作業範囲の前記搬送方向の下流側に設けられた第3コンベアとを有し、前記第1コンベア、前記第2コンベアおよび前記第3コンベアによって前記搬送方向に前記基板を搬送するコンベア部と、
前記搬送方向に並んで前記作業範囲内に設けられて、前記基板に接触する接触位置と前記基板から離間する離間位置との間で移動可能なNt個(Ntは2以上の整数)の固定部材を有し、前記Nt個の固定部材のうち前記基板に対向する前記固定部材を前記接触位置に位置させることで前記基板を固定する基板固定部と、
先行基板を前記作業範囲に搬入して固定するとともに前記先行基板より前記搬送方向の上流側の後続基板を前記作業範囲に部分的に進入させた状態で支持する特定支持モードを、前記コンベア部および前記基板固定部を制御することで実行する制御部と
を備え、
前記制御部は、前記搬送方向において上流側から数えてNu個(Nuは1以上でNt未満の整数)の固定部材より下流側の前記固定部材により前記先行基板を固定できる場合に前記特定支持モードを実行し、
前記特定支持モードでは、前記搬送方向において前記Nu個の固定部材よりも下流側に前記先行基板を搬送して前記先行基板に対向する前記固定部材により前記先行基板を固定するとともに、前記Nu個の固定部材を前記離間位置に位置させた状態で、前記搬送方向において前記後続基板の下流端を前記Nu番目の固定部材の上流端と(Nu+1)番目の固定部材の上流端との間に進入させつつ前記第1コンベアと前記第2コンベアとにより前記後続基板を支持する基板処理装置。 - 前記特定支持モードでは、前記搬送方向において、前記先行基板の下流端を前記Nt個の固定部材のうち最下流の固定部材の上流端よりも下流側へ搬送して、前記先行基板を固定する請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記基板固定部は、前記基板を前記固定部材により前記第2コンベアから離間させた状態で前記先行基板を前記固定部材により固定する請求項1または2に記載の基板処理装置。
- 前記特定支持モードでは、前記基板固定部が前記先行基板を前記固定部材により固定した後に、前記第2コンベアによる前記後続基板の搬送を実行する請求項3に記載の基板処理装置。
- 前記コンベア部は、前記搬送方向に直交する幅方向において、前記第1コンベア、前記第2コンベアおよび前記第3コンベアそれぞれの幅を前記基板の幅に応じて変更可能であり、
前記制御部は、前記先行基板と前記後続基板との前記幅方向への幅が異なる場合には、前記特定支持モードを禁止する請求項1ないし4のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記基板の位置を検出する検出器をさらに備え、
前記制御部は、前記Nu番目の固定部材の上流端と前記(Nu+1)番目の固定部材の上流端との間において前記後続基板の下流端を停止させる位置を、前記検出器が前記後続基板の位置を検出した結果に基づき実行する請求項1ないし5のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記作業ヘッドは、前記基板固定部によって前記作業範囲に固定された前記基板に対して部品を実装する実装ヘッドである請求項1ないし6のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 基板の搬送方向に所定の長さを有する作業範囲の前記搬送方向の上流側に設けられた第1コンベアと、前記作業範囲に対して設けられた第2コンベアと、前記作業範囲の前記搬送方向の下流側に設けられた第3コンベアとを有し、前記第1コンベア、前記第2コンベアおよび前記第3コンベアによって前記搬送方向に前記基板を搬送するコンベア部と、
前記搬送方向に並んで前記作業範囲内に設けられて、前記基板に接触する接触位置と前記基板から離間する離間位置との間で移動可能なNt個(Ntは2以上の整数)の固定部材を有し、前記Nt個の固定部材のうち前記基板に対向する前記固定部材を前記接触位置に位置させることで前記基板を固定する基板固定部と、
先行基板を前記作業範囲に搬入して固定するとともに前記先行基板より前記搬送方向の上流側の後続基板を前記作業範囲に部分的に進入させた状態で支持する特定支持モードを、前記コンベア部および前記基板固定部を制御することで実行する制御部と
を備え、
前記制御部は、前記搬送方向において上流側から数えてNu個(Nuは1以上でNt未満の整数)の固定部材より下流側の前記固定部材により前記先行基板を固定できる場合に前記特定支持モードを実行し、
前記特定支持モードでは、前記搬送方向において前記Nu個の固定部材よりも下流側に前記先行基板を搬送して前記先行基板に対向する前記固定部材により前記先行基板を固定するとともに、前記Nu個の固定部材を前記離間位置に位置させた状態で、前記搬送方向において前記後続基板の下流端を前記Nu番目の固定部材の上流端と(Nu+1)番目の固定部材の上流端との間に進入させつつ前記第1コンベアと前記第2コンベアとにより前記後続基板を支持する基板搬送装置。
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