KR101262836B1

KR101262836B1 - 기판 비전 검사시스템

Info

Publication number: KR101262836B1
Application number: KR1020130020190A
Authority: KR
Inventors: 한복우; 이희동
Original assignee: 한복우; 제너셈(주)
Priority date: 2013-02-26
Filing date: 2013-02-26
Publication date: 2013-05-09

Abstract

본 발명은 기판 비전 검사시스템에 관한 것으로, 기판의 공급 및 배출을 위한 투입구와 배출구를 형성하며, 상기 배출구의 상, 하측에는 기판의 정보를 읽는 센서를 각각 구성한 설치대; 상기 설치대의 전방에 구성되되, 트레이를 상하좌우로 이동시켜 트레이에 보관된 기판을 투입구를 통해 공급하고, 배출구를 통해 배출되는 기판의 정보를 확인하여 트레이에 보관하는 트레이순환장치; 상기 트레이순환장치를 통해 투입구로 공급된 기판을 후방으로 이동시켜 임시보관하는 기판공급이동장치; 좌우로 배치되는 제1이동레일과, 상기 제1이동레일에 슬라이드결합되어 좌우로 이동되며 기판을 흡기고정하는 피커로 구성된 기판이동배치장치; 상기 기판이동배치장치를 통해 기판을 공급받아 기판의 이물질을 제거하는 기판클리닝장치; 상기 기판이동배치장치를 통해 클리링된 기판을 공급받아 기판을 일정하게 정렬하는 기판정렬장치; 기판이동배치장치를 통해 정렬된 기판을 공급받아 흡기고정하는 제3흡기고정부를 구성하여 기판을 전후로 이동시키는 피딩수단과, 상기 피딩수단의 하측에 구성되어 후방으로 이동된 기판을 승강시키는 승강수단과, 상기 피딩수단의 상측에 위치되어 승강수단을 통해 상측으로 이동된 기판을 비전 검사하는 비전검사기로 구성된 기판비전검사장치; 상기 기판이동배치장치를 통해 비전검사된 기판을 전방으로 이동시켜 배출구를 통해 트레이순환장치로 배출시키는 기판배출이동장치;로 이루어진 것에 특징이 있다.
그리고 본 발명을 이용하면, 1개의 공트레이 배치만으로 기판을 순차적으로 투입하고 보관하는 연속적인 순환작업을 전방에서 모두 이룰 수 있을 뿐만 아니라, 배출되는 기판과 상기 기판이 수납보관되는 트레이의 정보확인을 할 수 있어 용이한 작업은 물론, 장치의 소형화를 이룰 수 있으며, 다양한 크기의 기판 비전검사를 안전하고 신속 정확하게 이룰 수 있는 장점이 있다.

Description

기판 비전 검사시스템{A vision inspection system of the semiconductor substrate}

본 발명은 기판 비전 검사 시스템에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 1개의 공트레이 배치만으로 기판을 순차적으로 투입하고 보관하는 연속적인 순환작업을 전방에서 모두 이룰 수 있을 뿐만 아니라, 배출되는 기판과 상기 기판이 수납보관되는 트레이의 정보확인을 할 수 있어 용이한 작업은 물론, 장치의 소형화를 이룰 수 있으며, 다양한 크기의 기판 비전검사를 안전하고 신속 정확하게 이룰 수 있는 기판 비전 검사 시스템에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 기판은 내부 불량뿐만 아니라, 그 외관에 미소한 결함이 발생하더라도 성능에 치명적인 영향을 미치게 되므로, 일련의 공정을 통하여 제조된 후에 출하 전에 정밀한 검사를 마치는 작업을 수행한다.

그리고, 반도체 기판의 외형적인 결함은 반도체 소자를 PCB(Printed Circuit Board) 등에 조립하는 과정에서도 발생할 수 있으므로, 리드 또는 볼의 상태 검사는 매우 중요하다.

이러한 반도체 기판을 검사하는 장치는 대한민국 등록실용신안 20-339601호를 통해 알 수 있는데, 이러한 종래의 반도체 소자의 비전 검사 시스템은, 비전 검사될 반도체 소자들이 수납된 트레이가 적재되는 로딩 트레이, 비전검사 결과 양품이 수납된 트레이가 적재되는 언로딩 스택커, 비전 검사를 수행하는 비전 카메라, 본체에 설치되어 비전 검사될 트레이를 이송하는 트레이피더, 트레이 피더의 비전 검사 완료된 트레이가 안착되는 버퍼 피더, 상기 로딩 스택커, 언로딩 스택커, 트레이 피더 및 버퍼 피더 간에 트레이를 이송하는 제 1 트레이 트랜스터 및 제 2 트랜스퍼, 비전 검사 결과불량품으로 수납된 트레이가 안착되는 리젝트 피더, 리젝트 피더에 공급될 빈트레이와 상기 버퍼 피더로부터 이송되는 빈트레이들이 적재되는 공트레이 스택커, 리젝트 피더로부터 이송된 트레이가 적재되는 리젝트 스택커 및 언로딩 스택커로 구성이 된다.

그런데, 상기와 같은 종래의 비전 검사 시스템은 트레이가 적재되는 각각의 로딩, 언로딩, 리젝트 스택커 및 공트레이 스택커가 장치의 전방 또는 후방에 설치됨에 따라, 작업 공간을 많이 차지하게 되어 설치 공간을 효율적으로 이용할 수 없는 문제점이 있었다.

또한, 비전 검사된 반도체 소자 중 양품 또는 불량품으로 분류되는 반도체 소자를 수납할 수 있도록 하는 공 트레이를 적재하기 위해 공트레이 적재부를 별도 구비하여야 함에 따라 장치의 소형화가 어려운 문제점이 있었다.

아울러, 지속적으로 분류되는 반도체 소자를 공 트레이에 계속 적재하기 위해서는, 공트레이 적재부에 공트레이를 지속적으로 채워 넣어줘야 하는 불편함이 있었으며, 다양한 크기를 가진 반도체 소자로 인해 크기가 다른 공 트레이가 대량으로 필요한 문제가 있었다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기판 비전 검사시스템은, 기판의 공급 및 배출을 위한 투입구와 배출구를 형성하며, 상기 배출구의 상, 하측에는 기판의 정보를 읽는 센서를 각각 구성한 설치대; 상기 설치대의 전방에 구성되되, 트레이를 상하좌우로 이동시켜 트레이에 보관된 기판을 투입구를 통해 공급하고, 배출구를 통해 배출되는 기판의 정보를 확인하여 트레이에 보관하는 트레이순환장치; 상기 트레이순환장치를 통해 투입구로 공급된 기판을 후방으로 이동시켜 임시보관하는 기판공급이동장치; 좌우로 배치되는 제1이동레일과, 상기 제1이동레일에 슬라이드결합되어 좌우로 이동되며 기판을 흡기고정하는 피커로 구성된 기판이동배치장치; 상기 기판이동배치장치를 통해 기판을 공급받아 기판의 이물질을 제거하는 기판클리닝장치; 상기 기판이동배치장치를 통해 클리링된 기판을 공급받아 기판을 일정하게 정렬하는 기판정렬장치; 기판이동배치장치를 통해 정렬된 기판을 공급받아 흡기고정하는 제3흡기고정부를 구성하여 기판을 전후로 이동시키는 피딩수단과, 상기 피딩수단의 하측에 구성되어 후방으로 이동된 기판을 승강시키는 승강수단과, 상기 피딩수단의 상측에 위치되어 승강수단을 통해 상측으로 이동된 기판을 비전 검사하는 비전검사기로 구성된 기판비전검사장치; 상기 기판이동배치장치를 통해 비전검사된 기판을 전방으로 이동시켜 배출구를 통해 트레이순환장치로 배출시키는 기판배출이동장치;로 이루어진 것에 특징이 있다.

본 발명의 기판 비전 검사시스템을 이용하면, 트레이좌우이송부를 통해 좌우로 이동된 트레이를 제1트레이이동부를 통해 그립하여 투입구에 위치시킨 후, 기판공급장치를 통해 상기 트레이에 보관된 기판을 투입구로 용이하게 투입시킬 수 있을 뿐만 아니라, 트레이좌우이송부를 통해 좌우로 이동된 공트레이를 제2트레이이동부를 통해 그립하여 배출구로 위치시킴으로써 배출구에서 배출되는 기판을 공트레이에 순차적으로 수납보관할 수 있으며, 기판의 투입과 배출이 기판 비전 검사시스템의 전방에서 모두 이루어지므로 작업이 용이하고 장치의 소형화가 가능한 장점이 있다.

또한, 트레이좌우이송부 및 제1, 2트레이이동부를 통해 트레이가 순환되도록 되어 있기 때문에, 투입구를 통해 기판의 투입이 완료된 공트레이를 제1트레이이동부와 트레이좌우이송부를 통해 제2트레이이동부로 자동배치할 수 있으므로, 초기 1개의 공트레이 배치만으로 트레이의 연속적인 순환이 가능한 장점이 있고, 상기 배출구에 설치되는 센서로 인해 공트레이에 수납보관되는 기판의 정보가 입력됨은 물론, 제2트레이이동부를 통해 그립 되어 배출구로 이동되는 공트레이의 정보를 설치대에 구성된 리더기를 통해 입력할 수 있으므로, 상기 공트레이에 순차적으로 수납보관되는 기판과, 기판이 수납보관되는 공트레이의 정보를 손쉽게 알 수 있는 장점이 있다.

아울러, 기판클리닝장치와 기판정렬장치를 통해 기판의 상태를 최적화할 수 있을 뿐만 아니라, 기판 비전검사시 승강수단을 통해 기판을 안전하고 정확하게 승강시킬 수 있어 비전검사기를 통한 검사를 보다 정확하게 이룰 수 있으며, 피딩수단에 한 쌍으로 설치되는 제3흡기고정부를 통해 기판의 이동에 따른 시간 지연 없이 신속한 검사가 가능한 장점이 있다.

더불어, 각각의 구성요소를 기판의 크기에 따라 조절을 이룰 수 있는 구성으로 제작함으로써 비전검사를 이룰 기판의 크기에 관계없이 모든 기판의 검사를 이룰 수 있으며, 기판의 공급과 정렬시 기판에 가해지는 충격을 완화시킬 수 있으므로 다양한 크기의 기판을 안전하게 다룰 수 있는 유용한 발명이다.

도 1은 본 발명의 기판 비전 검사시스템에 설치된 상태를 도시한 사시도.
도 2, 3은 본 발명의 트레이 순환장치를 도시한 사시도.
도 4는 도 3의 A부분 확대도.
도 5, 6은 본 발명의 트레이좌우이송부의 구조를 보다 상세히 도시한 사시도.
도 7은 본 발명의 트레이좌우이동부를 부분 단면처리하여 도시한 사시도.
도 8은 본 발명의 트레이좌우이동부를 분해 도시한 사시도.
도 9는 본 발명의 제1, 2트레이이동부를 도시한 사시도.
도 10, 11은 본 발명의 기판공급장치를 도시한 사시도.
도 12는 본 발명의 기판공급이동장치를 도시한 사시도.
도 13은 본 발명의 기판공급이동장치의 제1가압장치를 부분 확대 도시한 사시도.
도 14는 본 발명의 기판이동배치장치를 도시한 사시도.
도 15는 본 발명의 기판이동배치장치를 도시한 우측면도.
도 16은 본 발명의 기판클리닝장치를 도시한 사시도.
도 17은 본 발명의 기판클리닝장치에 바코드검사장치가 설치된 상태도.
도 18, 19는 본 발명의 기판정렬장치를 도시한 사시도.
도 20은 본 발명의 기판비전검사장치의 피딩수단을 도시한 사시도.
도 21은 본 발명의 피딩수단을 분해 도시한 사시도.
도 22는 본 발명의 기판비전검사장치의 승강수단을 도시한 정단면도.
도 23은 본 발명의 승강 수단을 도시한 사시도.
도 24는 본 발명의 기판비전검사장치의 비전검사기를 도시한 사시도.
도 25는 본 발명의 승강수단을 통해 피딩수단에 구성된 제3흡기고정부가 승강되는 작동상태도.
도 26은 본 발명의 기판배출이동장치를 도시한 사시도.
도 27은 본 발명의 작동실린더가 후진작동함에 따라 기판배출이동장치에 구성된 배출체가 회전걸린봉에 걸린 상태도.
도 28은 본 발명의 작동실린더가 전진작동함에 따라 기판배출이동장치에 구성된 배출체가 탄성체의 탄성복귀력에 복귀되어 기판을 밀어내는 상태도.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 구성을 살펴보면 다음과 같다.

본 발명은 도 1에 도시된 바와 같이 기판의 비전 검사를 수행하는 기판 비전 검사시스템(1000)에 관한 것으로, 설치대(10)와, 트레이순환장치(100)와, 기판공급이동장치(200)와, 기판이동배치장치(300)와, 기판클리닝장치(400)와, 기판정렬장치(500)와, 기판비전검사장치(600)와, 기판배출이동장치(700)로 이루어진다.

먼저, 설치대(10)는 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이 기판 비전 검사시스템(1000)의 전면에 수직방향으로 설치되는 판 형상의 부재로써, 상기 설치대(10)의 일측에는 기판의 공급을 위한 투입구(11)가 관통형성되고, 설치대(10)의 타측으로는 기판의 배출을 위한 배출구(13)가 형성된다.

그리고, 상기 배출구(13)의 상, 하측에는 비전검사가 완료되어 배출구(13)를 통해 배출되는 기판의 정보를 확인하는 센서(15)가 각각 구성된 것을 특징으로 한다.

아울러, 상기 설치대(10)에는 배출구(13)의 일측으로 이격 설치되는 리더기(17)를 더 포함하여 구성할 수 있는데, 상기 리더기(17)는 배출구(13)를 통해 배출되어 공트레이(1)로 수납보관되는 기판이 어느 트레이(1)에 수납보관되는지를 확인하는 작용을 하며, 이와 같은 트레이(1)의 정보확인을 통해 어느 트레이(1)에 어느 기판이 각각 수납보관되어 있는지를 용이하게 알 수 있게 된다.

이하에서는, 상기 설치대(10)의 전방에 구성되어 기판의 이동과 공급 및 보관을 이루는 트레이순환장치(100)에 대해 설명한다.

여기서, 상기 트레이순환장치(100)는 트레이좌우이송부(20)와, 제1트레이이동부(30)와, 기판공급장치(40)와, 제2트레이이동부(40)로 구성된다.

첫째, 트레이좌우이송부(20)는 상하로 이격되어 상기 설치대(10)에 한 쌍으로 설치되며, 안착된 트레이(1)를 좌우로 이송시키기 위한 구성으로, 상측에 설치되는 제1좌우이송부(20a)와, 상기 제1좌우이송부(20a)의 하측으로 이격되어 설치되는 제2좌우이송부(20b)로 구성된다.

그리고, 상기 제1, 2좌우이송부(20a, 20b)는 도 5 내지 도 8에 도시된 바와 같이 동일 구성으로 이루어지는데, 각각의 제1, 2좌우이송부(20a, 20b)는 구동을 위한 제1구동모터(21)와, 상기 제1구동모터(21)에 벨트풀리(22)로 결합되어 회전작동하는 구동축(23)과, 상기 구동축(23)에 설치되는 고정판(24)과, 제1, 2벨트구동체(25, 26)로 구성된다.

여기서, 벨트풀리(22)는 홈이 형성하여 한 쌍으로 이격 설치되는 바퀴에 줄을 걸어 사용하는 통상의 구성으로써, 다양한 형태로 적용하여 사용할 수 있으며, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 구동축(23)을 제1구동모터(21)에 직접연결하여 사용할 수도 있을 것이다.

또한, 제1, 2좌우이송부(20a, 20b)에 구성된 고정판(24)은 좌우방향으로 길게 형성되어 설치대(10)와 고정판(24) 사이에 연결설치되는 연결봉(24a)을 통해 견고한 고정설치가 이루어진다.

그리고, 상기 고정판(24)은 일측이 구동축(23)의 전방 끝단에 베어링결합되어 설치되는데, 상기 구동축(23)은 연결봉(24a)에 의해 설치대에 고정설치된 고정판(24)에 베어링결합되는 구성으로 되어 있으므로, 구동축(23)이 흔들림 없이 안정적인 회전을 이룰 수 있게 된다.

또한, 제1, 2좌우이송부(20a, 20b)에 구성된 제1벨트구동체(25)는 상기 설치대(10)의 전면에 인접되도록 구동축(23)의 후방에 고정연결되어 좌우방향으로 설치되는 구성으로, 트레이(1)를 좌우로 이송시키는 작용을 하며, 외주에 다수의 홈을 형성하여 한 쌍으로 이격설치되는 바퀴와, 상기 바퀴에 걸리는 줄로 이루어진 통상의 밸트풀리로 구성된다.

더불어, 제1, 2좌우이송부(20a, 20b)에 구성된 제2벨트구동체(26)는 상기 제1밸트구동체(25)와 이격되도록 구동축(23)의 전방에 연결되어 좌우방향으로 설치되는 구성으로, 트레이(1)를 좌우로 이송시키는 작용을 하며, 외주에 다수의 홈을 형성하여 한 쌍으로 이격설치되는 바퀴와, 상기 바퀴에 걸리는 줄로 이루어진 통상의 밸트풀리로 구성된다.

즉, 제1, 2벨트구동체(25, 26)는 구동축(23)의 후방과 전방에 각각 설치되어 구동축(23)의 회전에 따라 동일 작동을 이루는 구성으로, 트레이(1)의 일측 하부와 타측 하부를 각각 지지하여 트레이(1)를 좌우로 이송시키는 작용을 한다.

한편, 상기 트레이좌우이송부(20)에는 비전 검사할 기판의 크기에 따라 제1, 2벨트구동체(25, 26) 사이 간격을 조절할 수 있도록 하는 간격조절수단(27)이 더 포함되어 구성될 수도 있는데, 상기 간격조절수단(27)은 구동을 위한 제2구동모터(27a)와, 제1나사축(27c)과, 전달고정부(27e)와 조절프레임(27h)으로 용이하게 이룰 수 있다.

여기서, 간격조절수단(27)에 구성된 제1나사축(27c)은 일측이 상기 제2구동모터(27a)에 벨트풀리(27b)로 결합되고, 타측이 고정판(24)에 베어링결합설치되어 제1, 2좌우이송부(20a, 20b)에 각각 설치되도록 구성된다.

그리고, 상기 벨트풀리(27b)는 제1나사축(27c)에 각각 결합되는 바퀴와, 설치대(10)의 후면 설치되는 연동바퀴와, 구동모터에 연결되는 구동바퀴와, 상기 바퀴와 연동바퀴와 구동바퀴를 연결하는 하나의 줄로 구성되는데, 이와 같은 구성을 통해 제2구동모터(27a)의 동력을 트레이좌우이송부(20)에 구성된 제1, 2좌우이송부(20a, 20b)로 동일하게 전달할 수 있게 된다.

또한, 상기 간격조절수단(27)에 구성된 전달고정부(27e)는 내경이 구동축(23)에 끼워진 상태로 외경이 제2벨트구동체(26)에 구성된 바퀴의 내경에 고정결합되어 제2벨트구동체(26)에 동력을 전달하는 구성으로, 전면에는 걸림턱(27d)을 형성한다. 여기서, 상기 전달고정부(27e)가 제2벨트구동체(26)의 바퀴 내경에 결합되는 것은, 상기 제2벨트구동체(26)의 바퀴와 전달고정부(27e)를 통상의 볼트(b)결합하는 것을 통해 용이하게 이룰 수 있을 것이다.

그리고, 상기 전달고정부(27e)는 간격조절수단(27)에 의한 간격조절시 제2벨트구동체(26)를 전후로 이동시킬 수 있도록 하여야 하므로, 전달고정부(27e)의 내경이 사각과 같은 다각형상의 홈으로 형성되어야 하며, 상기 전달고정부(27e)의 내경에 끼워지는 구동축(23) 역시 상기 전달고정부(27e)의 내경에 대응되는 형상으로 형성되거나, 구동축(23)에 단면을 형성함으로써 전달고정부(27e)를 통한 동력전달과 전달고정부(27e)의 전후이동을 이룰 수 있도록 해야 할 것이다.

또한, 간격조절수단(27)에 구성된 조절프레임(27h)는 상기 전달고정부(27e)의 외경에 끼워져 걸림턱(27d)에 밀착설치되는 베어링(27f)과, 제1나사축(27c)에 나사결합되는 제1너트(27g)를 구성하여 제1나사축(27c)의 회전에 따라 제2벨트구동체(26)를 전후로 이동시키는 구성이다.

따라서, 제1나사축(27c)이 회전작동하면, 제1나사축(27c)에 나사결합된 제1너트(27g)에 의해 조절프레임(27h)이 전후로 이동되는데, 이때, 상기 제2벨트구동체(26)에 고정결합된 전달고정부(27e)의 걸림턱(27d)이 조절프레임(27h)에 구성된 베어링(27f)에 밀착되도록 되어 있기 때문에 조절프레임(27h)의 전후이동에 따라 전달고정부(27e)와 제2벨트구동체(26)가 전후로 이동되며, 이를 통해 제1, 2벨트구동체(25, 26)의 사이 간격을 조절할 수 있게 된다.

더불어, 상기 전달고정부(27e)에는 조절프레임(27h)의 베어링(27f)과 제2벨트구동체(26)의 바퀴 사이에 끼워지는 이격링(27i)을 더 포함되어 설치되도록 구성할 수도 있으며, 이와 같은 이격링(27i)에 의하면, 제2벨트구동체(26)의 작동시 상기 제2벨트구동체(26)가 조절프레임(27h)에 닿는 것이 방지되어 마찰에 의한 파손이 발생하지 않게 된다.

둘째, 제1트레이이동부(30)는 상기 트레이좌우이송부(20)의 일측 즉, 설치대(10)의 투입구(11)가 형성된 방향으로 설치되어 기판이 보관된 트레이(1)를 상하좌우로 이동시키는 구성으로, 도 5, 6 또는 도 9에 도시된 바와 같이 구동을 위한 제3구동모터(31)와, 이동안내부(35)와, 설치레일(37)과, 승강부(38)와 그립퍼(39)로 이루어진다.

여기서, 제1트레이이동부(30)에 구성된 이동안내부(35)는 상기 제3구동모터(31)에 통상의 밸트풀리(32)로 결합되어 회전작동하는 제2나사축(33)과, 상기 제2나사축(33)의 전후에 좌우방향으로 각각 설치되는 가이더(34)로 구성되며, 상기 설치레일(37)은 제2나사축(33)에 나사결합된 상태로 가이더(34)에 슬라이드결합되어 좌우로 이동되는 구성으로, 상기 설치레일(37)에 하부에 너트(미도시)를 구성하는 것으로 제2나사축과의 나사결합을 용이하게 이룰 수 있다.

그리고, 상기 설치레일(37)은 트레이(1)의 상하방향 이동을 위해 상측으로 길게 돌출형성된다.

또한, 상기 제1트레이이동부(30)에 구성된 승강부(38)는 상기 설치레일(37)에 결합되어 상하로 승강작동하는 구성으로, 상기 설치레일(37)의 내부에 구성되는 모터(미도시)와 상기 모터에 의해 회전작동하는 회전축(미도시)과 상기 회전축에 나사결합되어 설치부재의 외측으로 돌출형성되는 브라켓(미도시)으로 구성된다.

또한, 상기 제1트레이이동부(30)에 구성된 그립퍼(39)는 상기 승강부(38)의 브라켓에 결합되어 트레이(1)를 그립하는 구성으로, 공압 또는 유압에 의해 각각 작동하는 통상의 제1, 2집게(39a, 39b)를 상하부에 구성한다.

여기서, 제1집게(39a)는 트레이(1)의 상측에 위치하여 하측 방향으로 작동함으로써, 트레이(1)의 상면를 가압하는 통상의 구성으로 되어 있고, 제2집게(39b)는 트레이(1)의 하측에 위치하여 트레이(1)의 하부에 형성된 돌출턱(미도시)을 고정하도록 되어 있다. 그리고, 상기 그립퍼(39)의 하부에는 트레이(1)의 밑면을 받치는 받침구(39c)가 더 포함되어 구성된다.

따라서, 상기 그립퍼(39)가 작동하면, 받침구(39c)를 통해 트레이(1)의 밑면이 받쳐진 상태로, 제2집게(39b)가 트레이(1)의 하측 돌출턱(1)을 고정하고, 이와 동시에, 제1집게(39a)가 트레이(1)의 상면을 가압하게 되어 트레이(1)의 안정적인 고정설치가 이루어진다.

셋째, 기판공급장치(40)은 도 2, 3 또는 도 10, 11에 도시된 바와 같이 상기 제1트레이이동부(30)의 전방에 배치되어 트레이(1)에 보관된 기판을 설치대(10)의 투입구(11)로 공급하는 구성으로, 설치브라켓(41)과, 승강실린더(42)와, 가이드레일(43)과, 공급부(44)와, 링크부재(46)로 이루어진다.

먼저, 설치브라켓(41)은 상기 트레이좌우이송부(20)에 결합되어 제1트레이이동부(30)의 전방에 배치되는 구성이며, 승강실린더(42)는 상기 설치브라켓(41)의 측면에 결합되어 공압 또는 유압에 의해 승강작동하는 통상의 실린더이다.

그리고, 가이드레일(43) 상기 설치브라켓(41)의 상부에 전후방향으로 결합되어 공급부(44)의 전후이동을 가이드하는 구성이며, 공급부(44)는 상기 가이드레일(43)에 슬라이드 결합되어 전후로 이동됨으로써 트레이(1)에 보관된 기판을 설치대(10)의 투입구(11)로 공급하는 구성이다.

아울러, 링크부재(46)는 전체적인 형상의 ㄴ자 형상으로 형성되어 그 중심이 설치브라켓(41)에 축(45) 결합된 상태로 일측이 승강실린더(42)의 끝단에 링크결합되고, 타측이 공급부(44)에 링크결합되는 구성으로, 이와 같은 링크부재(46)에 의하면, 승강실린더(42)의 승강작동에 따라 링크부재(46)가 축(45)을 중심으로 연동하여 회전작동하므로, 가이드레일(43)에 슬라이드 결합된 공급부(44)의 전후이동이 용이하게 이루어지게 된다.

이하에서는 상기 공급부(44)에 대해 보다 상세히 설명한다.

상기 공급부(44)는 일측 하부가 상기 가이드레일(43)에 슬라이드결합되고, 타측이 설치대(10)의 투입구(11)에 대응되는 위치로 돌출되는 이동브라켓(44a)을 구성한다.

아울러, 상기 이동브라켓(44a)에는 일측이 이동브라켓(44a)에 고정설치되고, 타측이 링크부재(46)에 연결되어 이동브라켓(44a)의 전후이동을 이루는 연결브라켓(44b)이 구성되는데, 상기 링크부재(46)와 연결되는 연결브라켓(44b)의 하부에는 상기 링크부재(46)가 끼워지는 홀(H)이 형성되며, 상기 홀(h)에 끼워지는 링크부재(46)의 끝단 부분에는 롤러(r)가 구성되는 것이 바람직하다.

여기서, 상기 연결브라켓(44b)에 형성되는 홀(h)은, 링크부재(46)와 공급부(44)의 연동을 원활이 이루기 위한 것이다. 즉, 승강실린더(42)의 작동에 따라 회전작동하는 링크부재(46)가 축(45)을 기준으로 회전시 링크부재(46)의 끝단 높이가 변경되기 때문에 회전작동하는 링크부재(46)와 직선운동하는 공급부(44)의 연동이 이루어지게 않게 되므로, 상기 연결브라켓(44b)에는 링크부재(46)와 공급부(44)의 연동을 위한 홀(h)이 상하방향으로 형성된다.

따라서, 상기 연결브라켓(44b)의 홀(h)에 링크부재(46)의 끝단부분이 끼워지면, 링크부재(46)의 회전작동시 상기 링크부재(46)의 끝단부분이 홀(h)을 타고 승강작동하면서 연결브라켓(44b)을 전후로 밀게되므로, 상기 연결브라켓(44b)과 결합을 이루고 있는 이동브라켓(44a)의 전후이동을 용이하게 이룰 수 있으며, 상기 링크부재(46)의 끝단부분에 홀(h)에 끼워지는 롤러(r)가 구성되면, 홀(h)을 타고 승강하는 링크부재(46)의 작동이 보다 부드럽게 이루어지게 된다.

또한, 상기 이동브라켓(44a)에는 설치대(10)의 투입구(11)에 대응되게 위치되어 트레이(1)에 수납보관된 기판을 투입구(11)로 공급하는 투입수단(44c)이 결합설치된다.

그리고, 상기 투입수단(44c)은 기판을 밀때 발생하는 충격을 완화시킬 수 있는 구성으로 이루어지는 것이 바람직한데, 이러한 구성은, 이동브라켓(44a)에 전후방향으로 설치되는 완충레일(44d)과, 상기 완충레일(43d)에 슬라이드 결합된 상태로 전방으로 돌출형성되는 밀대(44e)와, 완충수단(44i) 및 제한돌부(44j)로 용이하게 이룰 수 있다.

여기서, 상기 완충수단(44i)은 밀대(44e)가 기판을 밀어 투입구(12)를 기판을 공급할 때, 밀대(44e)가 부딪침에 인해 기판에 가해지는 충격을 흡수하는 구성으로, 상기 이동브라켓(44a)에 삽입되는 스프링(44f)과, 상기 스프링(44f)의 탄성력에 의해 이동브라켓(44a)의 전방으로 돌출형성되는 돌부(44g)와, 일측이 밀대(44e)에 결합되고 타측이 돌부(44g)에 밀착되는 완충봉(44h)으로 구성된다.

아울러, 제한돌부(44j)는 상기 밀대(44e)의 후방에 형성되어 이동브라켓(44a)에 밀착됨으로써, 밀대(44e)가 완충레일(44i)상에서 과도하게 움직이는 것을 제한하는 구성으로, 상기 제한돌부(44j)가 이동브라켓(44a)의 외측으로 돌출되지 않도록 상기 이동브라켓(44a)에 제한돌부(44j)가 삽입되는 홈부를 형성하는 것이 바람직하다.

더불어, 상기 기판공급장치(40)에는 기판공급장치를 보호하기 위한 커버(미도시)가 더 포함되어 구성될 수 있는데, 상기 커버는 이동브라켓(44a)에 끼워진 스프링(44f)의 일면에 밀착되어 스프링(44f)의 이탈을 방지하도록 구성할 수도 있을 것이다.

따라서, 충격 완화를 이룰 수 있는 투입수단(44c)에 의하면, 밀대(44e)가 전진하여 기판에 부딪칠 시, 상기 밀대(44e)가 완충레일(44d)을 따라 후진하는 작용이 이루어지고, 밀대(44e)의 후진에 따라 상기 밀대(44e)에 구성된 완충봉(44h)이 스프링(44f)의 탄성력을 받는 돌부(44g)를 가압하게 되므로, 밀대(44e)의 전진운동과 스프링(44f)의 완충력이 혼합작용하여 기판에 충격이 전해지지 않게 된다.

넷째, 제2트레이이동부(50)는 상기 트레이좌우이송부(20)의 타측 즉, 설치대(10)의 배출구(13)가 형성된 방향으로 설치되어 내부가 비어있는 트레이(1)를 상하좌우로 이동시킴으로써, 설치구(10)의 배출구(13)를 통해 배출되는 기판을 트레이(1)에 수납 보관하는 작용을 하는 구성으로, 상기 제1트레이이동부(30)와 동일구성으로 이루어져 서로 대향되게 설치된다.

도 5, 6 또는 도 9를 참조하여 보다 상세히 설명하면, 상기 제2트레이이동부(50)는 구동을 위한 제3구동모터(51)와, 이동안내부(55)와, 설치레일(57)과, 승강부(58)와, 그립퍼(59)로 이루어진다.

여기서, 상기 제2트레이이동부(50)에 구성된 이동안내부(55)는 제3구동모터(51)에 통상의 밸트풀리(52)로 결합되어 회전작동하는 제2나사축(53)과, 상기 제2나사축(53)의 전후에 좌우방향으로 각각 설치되는 가이더(54)로 구성되며, 상기 설치레일(57)은 제2나사축(53)에 나사결합된 상태로 가이더(54)에 슬라이드결합되어 좌우로 이동되는 구성으로, 상기 설치레일(57)에 하부에 너트(미도시)를 구성하는 것으로 제2나사축(53)과의 나사결합을 용이하게 이룰 수 있다.

그리고, 상기 설치레일(57)은 트레이(1)의 상하방향 이동을 위해 상측으로 길게 돌출형성된다.

또한, 상기 제2트레이이동부(50)에 구성된 승강부(58)는 상기 설치레일(57)에 결합되어 상하로 승강작동하는 구성으로, 상기 설치레일(57)의 내부에 구성되는 모터(미도시)와 상기 모터에 의해 회전작동하는 회전축(미도시)과 상기 회전축에 나사결합되어 설치부재의 외측으로 돌출형성되는 브라켓(미도시)으로 구성된다.

또한, 상기 제2트레이이동부(50)에 구성된 그립퍼(59)는 상기 승강부(58)의 브라켓에 결합되어 트레이(1)를 그립하는 구성으로, 공압 또는 유압에 의해 각각 작동하는 통상의 제1, 2집게(59a, 59b)를 상하부에 구성한다.

여기서, 제1집게(59a)는 트레이(1)의 상측에 위치하여 하측방향으로 작동함으로써, 트레이(1)의 상면를 가압하는 통상의 구성으로 되어 있고, 제2집게(59b)는 트레이(1)의 하측에 위치하여 트레이(1)의 하부에 형성된 돌출턱(미도시)을 고정하도록 되어 있다. 그리고, 상기 그립퍼(59)의 하부에는 트레이(1)의 밑면을 받치는 받침구(59c)가 더 포함되어 구성된다.

따라서, 상기 그립퍼(59)가 작동하면, 받침구(59c)를 통해 트레이(1)의 밑면이 받쳐진 상태로, 제2집게(59b)가 트레이(1)의 하측 돌출턱(1)을 고정하고, 이와 동시에, 제1집게(59a)가 트레이(1)의 상면을 가압하게 되어 트레이(1)의 안정적인 고정설치가 이루어진다.

이하에서는, 도 1 또는 도 12, 13을 참고하여 상기 설치대(10)의 후방에 구성되어 트레이순환장치(100)의 기판공급장치(40)를 통해 투입구로 공급된 기판을 이동시키는 기판공급이동장치(200)에 대해 보다 상세히 설명한다.

여기서, 상기 기판공급이동장치(200)는, 제1고정설치부재(210)와, 제1폭조절레일(220)과, 제1이동설치부재(230)와, 제1이동수단(240)과, 제1폭조절수단(250)으로 이루어진다.

첫째. 제1고정설치부재(210)는 상기 설치대(10)의 투입구(11)와 연결된 상태로 설치대(10)의 후방에 전후방향으로 배치되는 구성으로, 제1고정판넬(211)에 고정설치된다.

여기서, 상기 제1고정판넬(211)은 기판공급이동장치(200)를 설치대(10)의 후방에 구성시키기 위한 고정판이다.

둘째, 제1폭조절레일(220)은 제1이동설치부재(230)의 좌우방향 이동을 통해 폭 조절을 이룰 수 있도록 상기 제1고정설치부재(210)가 고정설치된 제1고정판넬(211)의 상면에 좌우방향으로 설치되는 구성으로, 제1고정판넬(211)의 전후방으로 이격되어 한 쌍으로 설치되는 것이 바람직하다.

셋째, 제1이동설치부재(230)는 전술한 바와 같이 상기 제1폭조절레일(220)에 슬라이드결합되어 좌우방향의 이동을 이룸으로써, 제1고정설치부재(210)와 제1이동설치부재(230) 사이의 간격 조절을 이루는 구성으로, 상기 설치대(10)의 투입구(11)와 연결된 상태로 설치대(10)의 후방에 배치되어 제1폭조절레일(220)에 슬라이드 결합된다.

넷째, 제1이동수단(240)은 상기 제1고정설치부재(210)와 제1이동설치부재(230)에 각각 구성되어 제1회전모터(241)의 구동에 따라 투입구(11)로 공급된 기판을 후방으로 이동시키는 작용을 한다.

그리고, 상기 제1이동수단(240)은 제1고정설치부재(210)와 제1이동설치부재(230)의 전, 후에 각각 한 쌍으로 베어링결합 설치되는 바퀴(242)와, 상기 바퀴(242)에 걸리는 줄(243)로 이루어진 통상의 밸트풀리로 구성될 수 있으며, 이때 상기 바퀴(242)의 일측은 제1회전모터(241)의 축(241a)에 결합되어 제1회전모터(241)의 구동에 따라 회전작동한다.

아울러, 상기 제1이동수단(240)의 상측으로는 설치대(10)의 투입구(11)를 통해 공급된 기판의 초기이동을 보다 용이하게 이룰 수 있도록 하는 제1가압장치(244)가 더 포함되어 구성될 수도 있는데, 상기 제1가압장치(244)는 제1고정설치부재(210)와 제1이동설치부재(230)의 전방 상측에 각각 설치되어 기판의 상면을 누르는 롤러(245)를 통해 용이하게 이룰 수 있다.

여기서, 상기 롤러(245)는 공압 또는 유압으로 작용하는 피스톤(246)에 의해 승강작동하는 제1회전부재(247)에 의해 승강되도록 결합구성하여 기판의 가압을 적당한 압력으로 이룰 수 있게 되어 있으며, 이를 위해 상기 제1회전부재(247)는 제1고정설치부재(210)와 제1이동설치부재(230)에 각각 결합설치되는 고정브라켓(248)에 축(247a) 결합되어 피스톤(246)의 승강작동에 따라 축(247a)을 기준으로 회전작동하는 구성으로 이루어진다.

더불어, 상기 제1회전부재(247)의 복귀 및 롤러(245)의 이송에 따른 기판 가압력 조절이 이루어지도록 상기 제1회전부재(247)와 고정브라켓(248) 사이에 탄성력을 발휘하는 제1용수철(249)이 설치되는 것이 바람직하다.

다섯째, 제1폭조절수단(250)은 상기 제1고정설치부재(210)에 설치되는 제2회전모터(251)와, 상기 제2회전모터(251)에 결합되어 제1고정설치부재(210)와 제1이동설치부재(230)에 연결되는 제1구동나사축(253)과, 상기 제1구동나사축(253)에 끼워진 상태로 제1고정설치부재(210)에 결합되는 베어링(255)과, 상기 제1구동나사축(253)에 나사결합된 상태로 제1이동설치부재(230)에 결합고정되는 제1고정너트(257)로 구성된다.

따라서, 이와 같은 기판공급이동장치(200)에 의하면, 설치대(10)의 투입구(11)를 통해 공급되는 기판을 제1고정설치부재(210)와 제1이동설치부재(230)에 각각 구성된 제1이동수단(240) 및 상기 제1이동수단(240)의 상부에 설치된 제1가압장치(244)를 통해 후방으로 용이하게 이동시킬 수 있을 뿐만 아니라, 제1폭조절수단(250)과 제1폭조절레일(220)을 통해 제1이동설치부재(230)를 이동시켜 제1고정설치부재(210)와 제1이동설치부재(230)의 사이 간격을 손쉽게 조절할 수 있으므로 다양한 크기의 기판을 모두 용이하게 이동배치할 수 있게 된다.

이하에서는, 도 1 또는 도 14, 15를 참고하여 기판이동배치장치(300)에 대해 설명한다.

기판이동배치장치(300)는 상기 설치대(10)의 후방에 구성되어 기판공급이동장치(200)와, 기판클리닝장치(400)와, 기판정렬장치(500)와, 기판비전검사장치(600)와, 기판배출이동장치(700)로 왕복 이동하면서 기판의 공급이동을 이루는 구성으로, 좌우방향으로 길게 배치되는 제1이동레일(310)과, 상기 제1이동레일(310)에 슬라이드결합되어 모터(미도시)의 구동에 따라 좌우로 이동되는 좌우이동브라켓(320)과, 상기 좌우이동브라켓(320)에 상하작동레일(331)로 결합되어 공압 또는 유압에 의해 상하로 이동되는 피커(330)로 구성된다.

여기서, 상기 피커(330)는 에어흡기를 통해 기판을 흡기고정하는 통상의 구성으로, 기판의 양측을 흡기하여 고정할 수 있도록 한 쌍의 흡기고정구(339)를 구성한다.

그리고, 한 쌍으로 이루어진 흡기고정구(339)는 기판의 크기에 따라 폭 조절이 가능하도록 상하작동레일(331)에 좌우방향으로 설치되는 레일(333)을 구성하여 상기 레일(333)에 슬라이드결합 설치된다.

아울러, 레일(333)을 따라 슬라이드결합되는 흡기고정구(339)의 고정설치를 위해 체결수단(335)이 구성되는데, 상기 체결수단(335)은 상하작동레일(331)에 좌우방향으로 설치되는 체결가이더(336)와, 상기 체결가이더(336)에 슬라이드결합되어 볼트와 너트를 통해 체결가이더(336)에 고정설치되는 체결구(337)로 이루어져 흡기고정구(339)의 고정설치를 이룰 수 있게 되어 있으며, 상기 체결가이더(336)에는 흡기고정구(339)의 사이 간격을 정밀하게 조절하기 위해 통상의 조절눈금(338)이 형성되는 것이 바람직하다.

더불어, 상기 피커(330)는 기판의 신속한 이동을 위해 기판공급이동장치(200)와 기판클리닝장치(400)와 기판정렬장치(500) 사이를 왕복이동하는 제1피커와, 기판정렬장치(500)와 기판비전검사장치(600)와 기판배출이동장치(700) 사이를 왕복이동하는 제2피커로 구성 즉, 제1이동레일(310)에 한 쌍으로 구성되는 것이 바람직하다.

따라서, 상기 기판이동배치장치(300)에 의하면, 한 쌍으로 설치된 피커(330)를 통해 다양한 크기의 기판을 원하는 장소로 신속정확하게 공급배치 할 수 있게 된다.

이하에서는, 도 1 또는 도 16을 참고하여 상기 설치대(10)의 후방에 구성되어 기판이동배치장치(300)를 통해 기판공급이동장치(200)에서 기판을 공급받아 기판의 이물질 제거를 이루는 기판클리닝장치(400)에 대해 보다 상세히 설명한다.

먼저, 상기 기판클리닝장치(400)는 제2이동레일(410)과, 전후이동브라켓(420)과, 제1흡기고정부(430)와, 에어분사부(440)로 구성되는데, 여기서, 제2이동레일(410)은 제1흡기고정부(430)를 전후로 이동시키기 위해 전후방향으로 배치되는 통상의 레일이며, 전후이동브라켓(420)은 제1흡기고정부(430)를 제2이동레일(410)에 결합설치하기 위한 통상의 브라켓이다.

그리고, 상기 제2이동레일(410)의 내부에는 제2이동레일(410)의 길이방향 즉, 전후방향으로 설치된 나사축(미도시)을 회전시키기 위한 모터(미도시)가 구성되며, 상기 전후이동브라켓(420)은 나사축에 너트(미도시)로 결합되어 모터의 구동에 따라 전후방향으로 이동되는 통상의 구성으로 이루어진다.

또한, 제1흡기고정부(430)는 전술한 바와 같이 상기 전후이동브라켓(420)을 통해 제2이동레일(410)에 결합되어 전후로 이동되는 구성으로, 기판이동배치장치(300)를 통해 기판공급이동장치(200)에서 기판을 공급받아 기판을 흡착고정하는 작용을 한다.

여기서, 제1흡기고정부(430)를 통한 기판의 흡착고정은 플레이트에 다수의 홀을 관통 형성하고, 연결호스(미도시)를 통해 상기 홀을 진공펌프(미도시)에 연결하여 기판을 흡착고정하는 공지된 통상의 구성을 이용할 수 있으므로, 자세한 설명은 생략한다.

또한, 에어분사부(440)는 상기 제2이동레일(410)의 상측으로 이격설치되어 제1흡기고정부(420)에 고정된 기판의 상면으로 에어를 분사함으로써, 기판에 묻어 있는 이물질을 제거하는 통상의 구성이다.

따라서, 이와 같은 기판클리닝장치(400)에 의하면, 제1흡기고정부(430)에 흡착고정된 기판이 제2이동레일(410)을 따라 전후로 왕복이동하는 과정에서 제2이동레일(410)의 상측에 설치된 에어분사부(440)가 기판의 상면으로 에어를 분사하는 작용을 함으로써 기판에 묻어 있는 이물질의 제거가 이루어지며, 이를 통해 기판의 비전 검사시 이물질에 의한 오류 발생이 방지되게 된다.

한편, 상기 기판클리닝장치(400)에는, 도 17에 도시된 바와 같이 제2이동레일(410)의 상측으로 이격 설치되어 기판에 새겨진 바코드를 검사하는 바코드검사장치(450)가 더 포함되어 구성되는 것이 바람직하며, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 바코드검사장치(450)는 기판클리닝장치(400) 외에도, 기판이동배치장치(300)의 피커(330) 또는 기판비전검사장치(600)의 피딩수단(610)에 설치할 수도 있을 것이다.

그러나, 상기 바코드검사장치(450)가 피커(330)에 설치되어 있을 때에는, 기판에 새겨져 있는 바코드를 피커(330)가 찾아가서 리딩해야 하는 불편함과 이에 따른 시간이 소요되므로, 상기 바코드검사장치(450)는 기판클리닝장치(300)의 제2이동레일(310) 상측 또는, 이와 유사한 구성으로 되어 있는 기판비전검사장치(600)의 피딩수단(610)의 상측에 설치함으로써, 기판 바코드검사를 기판의 전후 왕복이동을 통해 용이하게 이루는 것이 바람직하다.

이하에서는 도 1 또는 도 18, 19를 참고하여 기판을 공급받아 가지런하게 정렬하는 기판정렬장치(500)에 대해 설명한다.

여기서, 상기 기판정렬장치(500)는, 상기 기판이동배치장치(300)를 통해 기판클리닝장치(411)에서 이물질이 제거된 기판을 공급받아 기판을 일정하게 정렬하기 위한 구성으로, 제2흡기고정부(510)와, 전후정렬부(520)와, 좌우정렬부(530)로 이루어진다.

첫째, 제2흡기고정부(510)는 기판이동배치장치(300)를 통해 기판클리닝장치(400)의 제1흡기고정부(430)로부터 공급된 기판을 흡기고정하는 구성으로, 기판의 흡착고정을 위해 플레이트에 다수의 홀이 관통형성되어 있으며, 상기 홀에는 진공펌프(미도시)와 연결된 연결호스(미도시)가 연결되어 기판의 흡착고정을 이루도록 구성된다.

그리고, 상기 제2흡기고정부(510)의 가장자리에는 ㄴ자 형상으로 제1, 2걸림턱부(511, 513)를 구성하고, 상기 제1, 2걸림턱부(511, 513)에 대응되는 방향으로는 개구된 제1, 2조절홀(515, 517)이 형성된다.

다시 말해서, 상기 제2흡기고정부(510)의 후방 가장자리와 좌측 가장자리에는 제1, 2걸림턱부(511, 513)를 구성하고, 제2흡기고정부(510)의 전방 및 우측에는 상기 제1, 2걸림턱부(511, 513)에 대응되는 제1, 2조절홀(511, 517)이 형성된다.

아울러, 상기 제1조절홀(515)은 기판의 길이 조절을 위해 전후방향으로 길게 형성되어 전방이 개구되어 형성되며, 상기 제2조절홀(517)은 기판의 폭 조절을 위해 좌우방향으로 길게 형성되어 우측이 개구되어 형성된다.

둘째, 전후정렬부(520)은 상기 제1조절홀(515)의 하측에 구성되어 전후방향으로 설치되는 제1스크루(521)와, 상기 제1스크루(521)에 나사결합되어 제1조절홀(515)을 통해 상측으로 돌출되는 제1돌기(523)를 구성한 제1이동부재(525)와, 상기 제1스크루(521)를 회전시켜 제1이동부재(525)를 전후로 이동시키는 전후구동모터(527)로 구성된다.

여기서, 상기 제1이동부재(525)는 제1스크루(521)에 따른 이동시 통상의 레일을 통해 슬라이드 이동되며, 전후구동모터(527)는 통상의 벨트풀리 결합을 통해 제1스크루(521)를 회전 구동시킬 수 있다.

따라서, 전후정렬부(520)에 의하면, 상기 제2흡기고정부(510)에 안착된 기판을 후방으로 밀어 기판의 후면을 제1걸림턱부(511)에 밀착시킬 수 있으며, 이를 통해 기판의 전후정렬을 용이하게 이룰 수 있게 된다.

셋째, 좌우정렬부(530)은 상기 제2조절홀(517)의 하측에 구성되어 좌우방향으로 설치되는 제2스크루(531)와, 상기 제2스크루(531)에 나사결합되어 제2조절홀(517)을 통해 상측으로 돌출되는 제2돌기(533)를 구성한 제2이동부재(535)와, 상기 제2스크루(531)를 회전시켜 제2이동부재(535)를 좌우로 이동시키는 좌우구동모터(537)로 구성된다.

여기서, 상기 제2이동부재(535)는 제2스크루(531)에 따른 이동시 통상의 레일을 통해 슬라이드 이동되며, 좌우구동모터(537)는 통상의 벨트풀리 결합을 통해 제2스크루(531)를 회전 구동시킬 수 있다.

따라서, 상기 좌우정렬부(530)에 의하면, 상기 제2흡기고정부(510)에 안착된 기판을 좌측으로 밀어 기판의 좌측면을 제2걸림턱부(513)에 밀칙시킬 수 있으며, 이를 통해 기판의 좌우정렬을 용이하게 이룰 수 있게 된다.

한편, 상기 전후정렬부(520)에 구성된 상기 제1이동부재(525)는 제1스크루(521)에 나사결합되는 제1이동브라켓(525a)과, 상기 제1이동브라켓(525a)의 상면에 전후방향으로 설치되는 제1레일(525b)과, 일측이 상기 제1레일(525b)에 슬라이드결합되고 타측에는 제1조절홀(515)에 끼워져 상측으로 돌출되는 제1돌기(523)를 구성한 제1완충판(525c)과, 상기 제1완충판(525c)과 이격되어 제1이동브라켓(525a)에 설치되는 제1고정체(525d)와, 상기 제1완충판(525c)과 제1고정체(525d) 사이에 끼워지는 제1스프링(525e);으로 구성함으로써, 기판 전후 정렬시 기판에 충격이 가해지는 것을 방지할 수도 있을 것이다.

그리고, 상기 좌우정렬부(530)에 구성된 제2이동부재(535)는, 제2스크루(531)에 나사결합되는 제2이동브라켓(535a)과, 상기 제2이동브라켓(535a)의 상면에 좌우방향으로 설치되는 제2레일(535b)과, 일측이 상기 제2레일(535b)에 슬라이드결합되고 타측에는 제2조절홀(517)에 끼워져 상측으로 돌출되는 제2돌기(533)를 구성한 제2완충판(535c)과, 상기 제2완충판(535c)과 이격되어 제2이동브라켓(535a)에 설치되는 제2고정체(535d)와, 상기 제2완충판(535c)과 제2고정체(535d) 사이에 끼워지는 제2스프링(535e)으로 구성함으로써, 기판 좌우 정렬시 기판에 충격이 가해지는 것을 방지할 수도 있을 것이다.

따라서, 이와 같은 기판정렬장치(500)를 이용하면, 제2흡기고정부(510)의 흡착고정력 및 전후/좌우정렬부(520, 530)의 탄성작동을 통해 다양한 크기의 기판을 손쉽고 안전하게 정렬시킬 수 있게 된다.

이하에서는, 도 1 또는 도 20 내지 도 25를 참고하여, 설치대(100)의 후방에 설치되어 전후좌우 정렬이 완료된 기판을 기판이동배치장치(300)를 통해 공급받아 비전검사를 이루는 기판비전검사장치(600)에 대해 설명한다.

기판비전검사장치(600)는 기판이동배치장치(300)를 통해 정렬된 기판을 공급받아 흡기고정하는 제3흡기고정부(619)를 구성하여 기판을 전후로 이동시키는 피딩수단(610)과, 상기 피딩수단(610)의 하측에 구성되어 후방으로 이동된 기판을 승강시키는 승강수단(620)과, 상기 피딩수단(610)의 상측에 위치되어 승강수단(620)을 통해 상측으로 이동된 기판을 비전 검사하는 비전검사기(630)로 구성된다.

첫째, 기판비전검사장치(600)의 피딩수단(610)은 좌우로 이격되어 전후방향으로 설치되는 한 쌍의 피딩레일(611)을 구성하고, 각각의 피딩레일(611) 하측에는 통상의 피딩모터(612)와 상기 피딩모터(612)에 의해 회전작동하는 피딩벨트풀리(613)로 이루어진 피딩작동부(614)를 구성한다.

그리고, 상기 피딩레일(611)의 상측에는, 상기 피딩레일(611)에 슬라이드결합된 상태로 피딩벨트풀리(613)에 구성된 벨트에 브라켓과 같은 통상의 결합을 통해 설치되어 피딩작동부(614)의 구동시 전후로 왕복이동되는 피딩프레임(616)이 설치되는데, 상기 피딩프레임(616)의 상부에는 제1끼움돌기(615)가 형성된 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 제1끼움돌기(615)는 상기 피딩프레임(616)에 안착되는 제3흡기고정부(619)가 정위치에 안착되도록 제3흡기고정부(619)의 위치를 잡아주는 구성이다.

상술한 바와 같이 피딩프레임(616)의 상부에는 제3흡기고정부(619)가 안착설치되는데, 상기 제3흡기고정부(619)의 하부에는 피딩프레임(616)의 제1끼움돌기(615)가 끼워지는 제1결합홈(617)과, 승강수단(620)이 끼워지는 제2결합홈(618)이 형성된다.

아울러, 상기 제3흡기고정부(619)에는 기판이동배치장치(300)를 통해 공급된 기판을 흡기고정할 수 있도록 플레이트에 다수의 관통홀이 형성되어 있으며, 상기 홀에는 진공펌프(미도시)와 연결된 연결호스(미도시)가 연결되어 기판의 흡착고정을 이루도록 구성된다.

그리고, 상기 제3흡기고정부(619)는 한 쌍의 피딩레일에 각각 설치되어 2개로 구성되는데, 이와 같이 상기 제3흡기고정부가 2개로 구성되는 것은, 기판비전검사장치를 통한 기판의 비전 검사시 다른 기판을 미리 준비하기 위함이다.

둘째, 기판비전검사장치(600)의 승강수단(620)은 피딩수단(610)의 후방 하부에 상하방향으로 구성되어 회전작동하는 승강스크루(621)를 구성한 한 쌍의 승강모터(622)를 구성하며, 한 쌍으로 설치된 승강모터(622)의 사이에는 양 측면에 상하방향으로 형성되는 승강레일(623)을 각각 구성한 가이드브라켓(624)이 설치된다.

아울러, 상기 승강스크루(621)에는 승강너트(625)를 통해 나사결합되어 승강작동하는 승강브라켓(626)이 구성되는데, 상기 승강브라켓(626)은 일측이 가이드브라켓(624)의 승강레일(623)에 슬라이드 결합되어 안정적인 승강 이동을 이루도록 구성된다.

그리고, 상기 승강브라켓(626)의 전후방에는 기판이 고정설치된 제3흡기고정부(619)의 하부 가장자리를 지지하여 제3흡기고정부(619)를 피딩프레임(616)에서 이격시킨 상태로 승강시키는 승강받침부(628)가 구성되는데, 상기 승강받침부(628)에는 제3흡기고정부(619)의 제2결합홈(618)에 끼워지는 제2끼움돌기(627)가 구성된다.

따라서, 승강수단(620)에 의해 승강작동하는 제3흡기고정부(619)는 제2결합홈에 끼워지는 제2끼움돌기(627)에 의해 승강받침부(628)에 항상 정위치로 안착되게 되므로, 기판 위치의 틀어짐이 생기지 않는다.

셋째, 기판비전검사장치(600)의 비전검사기(630)는, 비전검사기(630)의 고정설치를 위한 고정프레임(631)과, 좌우이동수단(633)과, 이동프레임(635)과, 전후이동수단(637)과, 검사부(639)로 이루어진다.

먼저, 고정프레임(631)은 비전검사기(630)의 고정설치를 위해 피딩수단(610)의 상측 전후방에 각각 설치되는 구성으로, 검사부(639)의 좌우방향 이동을 안정적으로 이루기 위해 좌우방향으로 설치되는 좌우이동레일(613a)을 형성한다.

또한, 좌우이동수단(633)은 상기 고정프레임에 설치되어 검사부를 좌우로 이동시키기 위한 구성으로, 상기 고정프레임(631)에 설치되는 제1검사모터(633a)와, 상기 제1검사모터(633a)에 의해 회전작동하는 제1검사나사축(633b)으로 이루어진다.

아울러, 이동프레임(635)은 제1검사너트(634)를 통해 좌우이동수단(633)의 제1검사나사축(633b)에 나사결합된 상태로 좌우이동레일(631a)에 각각 슬라이드결합되어 좌우이동수단(633)의 구동에 따라 좌우방향으로 이동작동하는 구성으로, 전후이동수단(637)을 통한 검사부(639)의 전후방향 이동을 위해 전후방향으로 설치되며, 하부에는 전후방향으로 설치되는 전후이동레일(635a)을 형성한다.

더불어, 전후이동수단(637)은 상기 이동프레임에 설치되어 검사부를 전후방향으로 이동시키기 위한 구성으로, 상기 이동프레임(635)에 설치되는 제2검사모터(637a)와, 상기 제2검사모터(637a)에 의해 회전작동하는 제2검사나사축(637b)으로 이루어진다.

그리고, 검사부(639)는 제2검사너트(638)를 통해 전후이동수단(637)의 제2검사나사축(637b)에 나사결합된 상태로 전후이동레일(635a)에 슬라이드결합되어 전후이동수단(637)의 구동에 따라 전후방향으로 이동작동하는 구성으로, 제3흡기고정부(619)에 흡기고정된 기판을 비전검사하는 작용을 한다.

따라서, 기판비전검사장치(600)에 의하면, 피딩수단(610)에 한쌍으로 설치되는 제3흡기고정부(619)를 통해 비전검사시 기판을 미리 준비할 수 있을 뿐만 아니라, 제1결합홈(617)에 끼워지는 제1끼움돌기(615)와 제2결합홈(618)에 끼워지는 제2끼움돌기(627)를 통해 승강이동되는 제3흡기고정부(619)의 안정적인 승강 이동을 이룰 수 있으며, 기판의 비전검사를 기판을 검사부(639)와 가까이 위치시킬 수 있어 기판의 비전검사가 보다 용이하고 정확하게 이루어지게 된다.

이하에서는, 도 1 또는 도 26 내지 도 28을 참고하여, 상기 설치대(10)의 후방에 구성되어 설치대(10)의 배출구(13)로 기판을 배출이동시키는 기판배출이동장치(700)에 대해 설명한다.

여기서, 기판배출이동장치(700)는, 제2정설치부재(710)와, 제2폭조절레일(720)과, 제2이동설치부재(730)와, 제1이동수단(740)과, 제1폭조절수단(750), 배출이동부(760)으로 이루어진다.

첫째. 제2고정설치부재(710)는 상기 설치대(10)의 배출구(13)와 연결된 상태로 설치대(10)의 후방에 전후방향으로 배치되는 구성으로, 제2고정판넬(711)에 고정설치된다.

여기서, 상기 제2고정판넬(711)은 기판배출이동장치(700)를 설치대(10)의 후방에 구성시키기 위한 고정판이다.

둘째, 제2폭조절레일(720)은 제2이동설치부재(730)의 좌우방향 이동을 통해 폭 조절을 이룰 수 있도록 상기 제2고정설치부재(710)가 고정설치된 제2고정판넬(711)의 상면에 좌우방향으로 설치되는 구성으로, 제2고정판넬(711)의 전후방으로 이격되어 한 쌍으로 설치되는 것이 바람직하다.

셋째, 제2이동설치부재(730)는 전술한 바와 같이 상기 제2폭조절레일(720)에 슬라이드결합되어 좌우방향의 이동을 이룸으로써, 제2고정설치부재(710)와 제2이동설치부재(730) 사이의 간격 조절을 이루는 구성으로, 상기 설치대(10)의 배출구(13)와 연결된 상태로 설치대(10)의 후방에 배치되어 제2폭조절레일(720)에 슬라이드 결합된다.

넷째, 제2이동수단(740)은 상기 제2고정설치부재(710)와 제2이동설치부재(730)에 각각 구성되어 제3회전모터(741)의 구동에 따라 기판을 전방의 배출구(13)로 이동시키는 작용을 한다.

그리고, 상기 제2이동수단(740)은 제2고정설치부재(710)와 제2이동설치부재(730)의 전, 후에 각각 한 쌍으로 베어링결합 설치되는 바퀴(742)와, 상기 바퀴(742)에 걸리는 줄(743)로 이루어진 통상의 밸트풀리로 구성될 수 있으며, 이때 상기 바퀴(742)의 일측은 제3회전모터(741)의 축(741a)에 결합되어 제3회전모터(741)의 구동에 따라 회전작동한다.

아울러, 상기 제2이동수단(740)의 상측으로는 전방의 배출구로 배출되는 기판을 보다 안정적으로 배출할 수 있도록 하는 제2가압장치(744)가 더 포함되어 구성될 수도 있는데, 상기 제2가압장치(744)는 제2고정설치부재(710)와 제2이동설치부재(730)의 전방 상측에 각각 설치되어 기판의 상면을 누르는 롤러(745)를 통해 용이하게 이룰 수 있으며, 이와 같은 구성은 상기 제1이동수단(240)의 제1가압장치(244)와 동일 구성으로 이룰 수 있으므로, 자세한 설명은 생략한다.

다섯째, 제2폭조절수단(750)은 상기 제2고정설치부재(710)에 설치되는 제4회전모터(751)와, 상기 제4회전모터(751)에 결합되어 제2고정설치부재(710)와 제2이동설치부재(730)에 연결되는 제2구동나사축(753)과, 상기 제2구동나사축(753)에 끼워진 상태로 제2고정설치부재(710)에 결합되는 베어링(755)과, 상기 제2구동나사축(753)에 나사결합된 상태로 제2이동설치부재(730)에 결합고정되는 제2고정너트(757)로 구성된다.

여섯째, 배출이동부(760)는 일측이 설치대(10)의 후면에 결합되고 타측이 제2고정판넬(711)에 결합되어 제2이동수단(740)을 통해 이동된 기판을 배출구(13)를 통해 트레이순환장치(100)로 배출시키는 작용을 하는 구성으로, 배출브라켓(762)과, 작동실린더(763)과, 이동결합체(764)와, 배출체(766)와, 회전걸림봉(767)과, 회전제어체(769)로 이루어진다.

먼저, 배출브라켓(762)은 상면에 배출레일(761)을 전후방향으로 형성하여 상기 제2고정설치부재(710)와 제2이동설치부재(730) 사이에 위치되도록 설치대(10)의 후면에 결합되는 구성이고, 작동실린더(763)는 제2고정판넬(711)에 결합되어 전후방향으로 작동하는 구성이며, 이동결합체(764)는 일측이 배출브라켓(762)의 배출레일(761)에 슬라이드결합되고, 타측이 작동실린더(763)에 결합되어 작동실린더의 작동시 배출레일(761)을 따라 전후로 슬라이드 이동되는 구성이다.

또한, 배출체(766)은 상기 이동결합체(764)에 핀(765) 결합되어 설치되는 구성으로, 핀(765)을 중심으로 회전작동하도록 구성되며, 기판을 배출구(13)를 통해 트레이순환장치(100)로 배출시키는 작용을 한다.

아울러, 회전걸림봉(767)은 상기 제2고정설치부재(710)에 설치되는 구성으로, 작동실린더(763)를 통해 후방으로 이동되는 배출체(766)를 걸어 핀(765)을 중심으로 회전시키는 작용을 함으로써, 제2이동수단(740)을 통해 배출구(13)로 이동되는 기판의 걸림이 방지되도록 한다.

그리고, 회전제어체(769)는 상기 이동결합체(764)에 결합되어 배출체(766)의 하측에 설치되는 걸림핀(769a)과, 상기 배출체(766)와 이동결합체(764)에 연결설치되어 배출체(766)의 하면을 걸림핀(769a)에 밀착시키는 탄성체(769b)로 구성되어 배출체(766)의 끝단을 기판과 대응되게 배치하는 작용을 한다.

여기서, 상기 탄성체(769a) 결합은 상기 배출체(766)의 후면과 이동결합체(764)의 후면에 탄성체(769b)가 걸리는 걸림돌부(766a, 764a)를 각각 구성하는 것을 통해 용이하게 이룰 수 있을 것이다.

따라서, 이와 같은 기판배출이동장치(700)에 의하면, 제2고정설치부재(710)와 제2이동설치부재(730)에 각각 구성된 제2이동수단(740) 및 상기 제2이동수단(740)의 상부에 설치된 제2가압장치(744)를 통해 기판을 전방의 배출구로 용이하게 이동시킬 수 있을 뿐만 아니라, 배출이동부(760)를 통해 기판의 끝 부분까지 배출구(13)로 안전하게 배출시킬 수 있으며, 제2폭조절수단(750)과 제2폭조절레일(720)을 통해 제2이동설치부재(730)를 이동시켜 제2고정설치부재(710)와 제2이동설치부재(730) 사이의 간격을 손쉽게 조절할 수 있으므로, 다양한 크기의 기판을 모두 용이하게 배출할 수 있게 된다.

이하에서는 상기와 같은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 작용을 설명한다.

먼저, 트레이좌우이송부(20)의 중 상측에 설치된 제1좌우이송부(20a)에 기판이 수납 보관된 트레이(1)를 다수 배치하고, 하측에 설치된 제2좌우이송부(20b)에 기판이 수납보관되지 않은 공트레이(1)를 1개 배치한 후, 본 발명을 작동시킨다.

그러면, 상기 제1, 2좌우이동부(20a, 20b)에 각각 구성된 구동축(23)이 제1구동모터(21)에 의해 서로 반대방향으로 작동하여 제1좌우이동부(20a)에 구성된 제1, 2벨트구동체(25, 26)는 투입구(11)가 설치된 좌측방향으로 이동되어 정해진 지점에 멈추고, 제2좌우이동부(20b)에 구성된 제1, 2벨트구동체(25, 26)는 배출구(13)가 설치된 우측방향으로 이동되어 정해진 지점에서 멈춘게 된다.

그 후에는, 자동제어에 따라 제1트레이이동부(30)가 작동하는데, 상기 제1트레이이동부(30)는 제3구동모터(31)와 승강부(38)의 작동에 의해 상하좌우로 이동되어 그립퍼(39)를 통해 기판이 수납보관된 트레이(1)를 견고히 그립한 다음, 상기 그립퍼(39)에 그립된 트레이(1)를 제3구동모터(31)와 승강부(38)의 재작동을 통해 기판공급장치(40)의 후방에 위치시킨다.

그리고, 트레이(1)가 기판공급장치(40)의 후방에 위치되면, 상기 기판공급장치(40)가 작동하여 트레이(1)에 수납저장된 기판을 투입구(11)로 공급하는 작용이 순차적으로 이루어지는데, 이때, 상기 투입구(11)로 기판이 공급될 때마다 상기 제1트레이이동부(30)의 승강부(38)가 승강작동하여 그립퍼(39)에 수납된 기판이 투입구(11)와 밀대(44e)에 일치되도록 하는 작용이 이루어진다.

아울러, 상기 기판공급장치(40)의 작동은 승강실린더(42)의 승강작동에 따라 축(45)을 기준으로 회전작동하는 링크부재(46)와 상기 링크부재(46)에 연결되어 가이드레일(43)을 따라 슬라이드 이동되는 공급부(44)를 통해 기판의 공급을 이루도록 구성되는데, 상기 공급부(44)에는 밀대(44e)가 완충레일(44d)과 완충수단(44i)을 통해 기판에 가해지는 충격을 흡수하도록 구성되어 있기 때문에 기판공급에 따른 충격 없이 안전하게 공급할 수 있게 된다.

상기와 같이 기판공급장치(40)를 통해 기판이 투입구로 공급되면, 투입구(11)의 후방에 위치한 기판공급이동장치(200)의 제1이동수단(240)이 작동하여 기판이 기판공급이동장치(200)의 후방으로 이동된다.

그리고, 기판공급이동장치(200)의 후방으로 이동된 기판은 기판이동배치장치(300)에 구성된 피커(330)를 통해 흡기고정되어 클리닝장치(400)의 제1흡기고정부(430)로 이동되어 흡착고정된 다음, 제2이동레일(410)을 따라 전후로 왕복이동되는데, 제2이동레일(410)을 따라 전후로 왕복이동되는 기판은 상기 제2이동레일(410)의 상측에 설치된 에어분사부(440)의 공기압에 의해 기판에 묻어 있던 이물질의 제거가 이루어지는 작용이 이루어지며, 이 후, 바코드검사장치(450)를 통해 기판의 바코드검사가 이루어진다.

이와 같이 기판클리닝과 바코드검사가 완료된 기판은 기판이동배치장치(300)에 구성된 피커(330)를 통해 흡기고정되어 기판정렬장치(500)로 이동배치되는데, 기판정렬장치(500)로 이동된 기판은 제2흡기고정부(510)를 통해 흡기고정됨과 동시에, 전후정렬부(520)와 좌우정렬부(530)를 통해 정해진 위치로 정렬된다.

여기서, 상기 전후정렬부(520)와 좌우정렬부(530)를 통한 기판의 위치정렬은 제1, 2걸림턱부(511, 513)와, 제1, 2조절홀(515, 517)에 각각 설치되어 전후 또는 좌우로 작동하는 제1, 2이동부재(525, 535)를 통해 이루어지는데, 상기 제1, 2이동부재(525, 535)에는 기판에 부딪치는 충격을 완화시키는 레일(525b, 535b)과 제1, 2스프링(525e, 535e)이 각각 구성되어 있어 기판 정렬시 기판의 파손이나 손상이 발생하지 않게 된다.

이처럼, 기판 정렬이 완료된 후에는, 기판이동배치장치(300)의 피커(330)를 통해 기판비전검사장치(600)의 피딩수단(610)에 구성된 제3흡기고정부(619)로 기판 이동이 이루어지며, 이동된 기판은 제3흡기고정부(619)를 흡기력을 통해 흡기고정된 상태로 피딩작동부(614)를 통해 후방으로 이동되어 승강수단(620)과 비전검사기(630)의 사이에 배치된다.

그 후에는, 상기 승강수단(620)의 승강모터(622)의 작동에 따라 승강브라켓(626)이 가이드브라켓(624)을 따라 상승작동 하게 되어 상기 승강브라켓(626)에 설치된 승강받침부(628)의 제2끼움돌기(627)가 피딩수단(610)의 제3흡기고정부(619)의 하면에 형성된 제2결합홈(618)에 끼워짐과 동시에 승강받침부(628)가 제3흡기고정부(619)를 상측으로 들어올리는 작용을 하며, 이 후, 비전검사기(630)의 전후좌우 이동에 따라 기판의 비전검사가 이루어진다.

상기와 같이 기판의 비전검사가 완료되면, 상기 승강수단(620)이 다시 하강작동하는데, 이와 같은 승강수단(620)의 하강작동에 따라 피딩수단(610)의 제3흡기고정부(619)가 초기상태로 복귀된다.

즉, 승강수단(620)이 하강작동하면, 제3흡기고정부(619)가 피딩프레임(616)에 다시 안착되는데, 이때, 상기 피딩프레임(616)의 상면에 구성된 제1끼움돌기(615)가 제3흡기고정부(619)의 하면에 형성된 제1결합홈(617)에 끼워지게 되어 제3흡기고정부(619)의 위치가 틀어지는 현상 없이 안정적으로 안착설치되고, 이후, 피딩작동부(614)를 통해 제3흡기고정부(619)가 전방으로 이동되어 초기상태로 복귀된다.

그리고, 전술한 것처럼 기판의 비전검사가 이루어질 때에는, 상기 피딩수단(610)에 구성된 제3흡기고정부(619)가 한 쌍으로 이루어져 있으므로, 다른 하나의 기판을 전술한 동일한 방법으로 이동시켜 비전검사 할 준비를 미리 이룰 수 있으므로, 기판의 비전검사를 끊김 없이 연속적으로 이룰 수 있다.

또한, 비전검사가 완료된 기판은 기판이동배치장치(300)의 피커(330)를 통해 기판배출이동장치(700)로 이동된 후, 제2이동수단(740)의 작동을 통해 전방의 설치대의 배출구(13)로 이동되는데, 이때, 상기 기판배출이동장치(700)에 구성된 배출이동부(760)의 작동실린더(763)는 후진되어 있어야 한다.

다시 말해서, 상기 제2이동수단(740)을 통해 전방에 위치한 배출구(13)로 기판이 배출될 때에는, 기판의 걸림방지를 위해 상기 배출이동부(760)에 구성된 배출체(766)가 회전걸림봉(767)에 걸리도록 함으로써, 기판이 배출체(766)에 걸리는 것을 방지해야 하므로, 제2이동수단(740)을 통해 기판이 배출체(766) 전방으로 이동되기 전까지는 상기 작동실린더(763)가 후진되어 있어야 하며, 기판이 배출체(766)의 전방으로 이동된 후에는, 기판이 배출구(13)를 완전 통과하여 트레이순환장치(100)로 이동되도록 작동실린더(763)가 전진작동해야 한다.

여기서, 상기 작동신린더(763)가 후진하면, 작동실린더(763)이 후진작동에 따라 배출체(766)가 핀(765) 결합된 이동결합체(764)가 배출브라켓(762)의 배출레일(761)을 따라 후진작동하며, 이와 같은 후진작동으로 인해 상기 배출체(766)가 제2고정설치부재(710)에 설치된 회전걸림봉(767)에 밀리게 되어 배출체(766)가 핀(765)을 중심으로 회전작동하여 기판의 걸림이 방지된다. 그리고, 이와 같이 배출체(766)가 핀(765)을 중심으로 회전작동하면, 상기 배출체(766)와 이동결합체(764) 사이에 연결된 탄성체(769b)에 탄성복귀력에 의해 원래의 상태로 복귀되려고 하는 성질을 갖게 된다.

따라서, 작동실린더(763)가 전진작동하면, 회전걸림봉(767)에 의한 가압력이 사라짐과 동시에 탄성체(769b)의 탄성복귀력에 의해 배출체(766)가 핀(765)을 중심으로 회전작동하게 되며, 이와 같은 회전작동은 상기 이동결합체(764)에 결합되어 배출체(766)의 하측에 배치되는 걸림핀(769a)에 의해 멈춘다. 그리고, 상기 배출체(766)가 멈추는 것은 배출체(766)의 끝단이 기판과 동일 위치로 되었을 때이므로, 작동실린더(763)의 지속적인 전진에 따라 기판이 배출구(13)로 완전 배출되는 작용이 이루어진다.

한편, 상기 제1트레이이동부(30)가 작동할 때에는, 제2트레이이동부(50)도 작동하는데, 상기 제2트레이이동부(50)는 상기 제1트레이이동부(30)와 마찬가지로 제3구동모터(51)와 승강부(58)의 작동에 의해 상하좌우로 이동된다.

따라서, 제2트레이이동부(50)에 구성된 그립퍼(59)를 통해 제2좌우이송부(20b)에 배치된 공트레이(1)의 견고한 그립을 이룰 수 있으며, 견고히 그립된 공트레이(1)는 제3구동모터(51)와 승강부(58)의 재작동을 통해 리더기(17) 일측에 위치되어 공트레이(1)의 정보확인을 이루는 작업이 수행된다.

그리고, 정보가 확인된 공트레이(1)는 제2트레이이동부(50)의 제3구동모터(51)와 승강부(58)의 재작동을 통해 배출구(13)의 전방에 위치되어 배출구(13)를 통해 배출되는 기판을 수납보관하는 작용을 하는데, 배출구로 배출되는 기판은 상기 배출구(13)의 상하측에 각각 설치된 센서(15)를 통해 기판의 정보가 확인된 채로 공트레이(1)에 수납보관된다.

또한, 상술한 일련의 과정은 지속적으로 반복되는데, 지속적인 행위에 따라 트레이(1)에 수납보관된 기판을 투입구(11)로 모두 투입하게 되면, 자동제어를 통해 제1트레이이동부(30)의 제3구동모터(31)와 승강부(38)가 작동하여 공트레이(1)를 제2좌우이송부(20b)로 이송시킨 다음, 그립퍼(39)의 작동을 통해 공트레이(1)의 그립을 해제시키고, 이 후, 전술한 동작을 반복하여 기판이 수납보관된 새로운 트레이(1)를 제1좌우이송부(20a)에서 그립하여 기판공급장치(40)의 후방에 위치시키는 작용이 이루어진다.

아울러, 상기와 같은 작동을 통해 기판이 배출구(13) 배출될 때마다, 상기 제2트레이이동부(50)의 승강부(58)는 자동작동하여 공트레이(1)의 빈공간을 배출구(13)와 일치되도록 하는 작용이 이루어지며, 이와 같은 작동이 반복되어 트레이(1)에 기판이 꽉차면, 자동제어를 통해 제2트레이이동부(50)의 제3구동모터(51)와 승강부(58)가 작동하여 기판이 채워진 트레이(1)를 제1좌우이송부(20a)로 이송시킨 다음, 그립퍼(59)의 작동을 통해 트레이(1)의 그립을 해제시키고, 전술한 동작을 반복하여 제2좌우이송부(20b)에 배치된 새로운 공트레이를 리더기(17)를 거쳐 정보확인 후, 배출구(13)의 전방에 위치시킨다.

여기서, 상기 제2트레이이동부(50)가 제2좌우이송부(20b)에서 새로운 공트레이(1)를 사용하는 것은, 제1트레이이동부(30)와 기판공급장치(40)를 통해 투입구(11)로 기판이 모두 투입했을 때 생기는 공트레이(1)를 제2좌우이송부의 구동으로 정해진 위치로 이동시켜 사용할 수 있으므로, 본 발명을 이용하면, 공트레이(1)가 1개만 있어도 연속적인 작업을 이룰 수 있게 된다.

따라서, 비전검사할 기판이 채워진 트레이(1)의 공급과, 비전검사된 기판이 채워진 트레이(1)의 이동만으로 작업의 연속성을 이룰 수 있으며, 기판의 투입과 배출이 기판 비전 검사시스템(1000)의 전방에서 모두 이루어지므로, 작업이 용이하고 장치의 소형화를 이룰 수 있게 된다.

그리고, 본 발명의 각각의 구성에는 기판의 크기에 따라 조절을 할 수 있는 구성이 있기 때문에, 다양한 크기를 가진 기판을 한대의 장비로 모두 비전 검사할 수 있게 된다.

덧붙여, 상술한 실시 예는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대해 기재한 것이지만, 이에 한정되지 않고 본 발명의 기술적인 사상에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태로 변경하여 실시할 수도 있을 것이다.

1 : 트레이
10 : 설치대
11 : 투입구 13 : 배출구 15 : 센서 17 : 리더기
20 : 트레이좌우이송부
20a, 20b : 제, 2좌우이송부 21 : 제1구동모터 22 : 벨트풀리 23 : 구동축 24 : 고정판 24a : 연결봉 25, 26 : 제1, 2벨트구동체 27 : 간격조절수단 27a : 제2구동모터 27b : 벨트풀리 27c : 제1나사축 27d : 걸림턱 27e : 전달고정부 b : 볼트 27f : 베어링 27g : 제1너트 27h : 조절프레임 27i : 이격링
30, 50 : 제1, 2트레이이동부
31, 51 : 제3구동모터 32, 52 : 벨트풀리 33, 53 : 제2나사축 34, 54 : 가이더 35, 55 : 이동안내부 37, 57 : 설치레일 38, 58 : 승강부 39, 59 : 그립퍼 39a, 59a : 제1집게 39b, 59b : 제2집게 39c, 59c : 받침구
40 : 기판공급장치
41 : 설치브라켓 42 : 승강실린더 43 : 가이드레일 44 : 공급부 44a : 이동브라켓 44b : 연결브라켓 h : 홀 44c : 투입수단 44d : 완충레일 44e : 밀대 44f : 스프링 44g : 돌부 44h : 완충봉 44i : 완충수단 44j : 제한돌부 45 : 축 46 : 링크부재 r : 롤러
100 : 트레이순환장치
200 : 기판공급이동장치
210 : 제1고정설치부재 211 : 제1고정판넬
220 : 제1폭조절레일 230 : 제1이동설치부재
240 : 제1이동수단 241 : 제1회전모터 241a : 축 242 : 바퀴 243 : 줄 244 : 제1가압장치 245 : 롤러 246 : 피스톤 247 : 제1회전부재 247a : 축 248 : 고정브라켓 249 : 제1용수철
250 : 제1폭조절수단 251 : 제2회전모터 253 : 제1구동나사축 255 : 베어링 257 : 제1고정너트
300 : 기판이동배치장치 310 : 제1이동레일 320 : 좌우이동브라켓 330 : 피커 331 : 상하작동레일 333 : 레일 335 : 체결수단 336 : 체결가이더 337 : 체결구 338 : 조절눈금 339 : 흡기고정구
400 : 기판클리닝장치
410 : 제2이동레일 420 : 전후이동브라켓 430 : 제1흡기고정부 440 : 에어분사부 450 : 바코드검사장치
500 : 기판정렬장치
510 : 제2흡기고정부
511, 513 : 제1, 2걸림턱부 515, 517 : 제1, 2조절홀
520 : 전후정렬부 530 : 좌우정렬부
521, 531 : 제1, 2스크류 523, 533 : 제1, 2돌기 525, 525 : 제1, 2이동부재 525a, 535a : 제1, 2이동브라켓 525b, 535b : 제1, 2레일 525c, 535c : 제1, 2완충판 525d, 535d : 제1, 2고정체 525e, 535e : 제1, 2스프링 527 : 전후구동모터 537 : 좌우구동모터
600 : 기판비전검사장치
610 : 피딩수단 611 : 피딩레일 612 : 피딩모터 613 : 피딩벨트풀리 614 : 피딩작동부 615 : 제1끼움돌기 616 : 피딩프레임 617, 618 : 제1, 2결합홈 619 : 제3흡기고정부
620 : 승강수단 621 : 승강스크루 622 : 승강모터 623 : 승강레일 624 : 가이드브라켓 625 : 승강너트 626 : 승강브라켓 627 : 제2끼움돌기 628 : 승강받침부
630 : 비전검사기 631 : 고정프레임 631a : 좌우이동레일 633 : 좌우이동수단 633a : 제1검사모터 633b : 제1검사나사축 634 : 제1검사너트 635 : 이동프레임 635a : 전후이동레일 637 : 전후이동수단 637a : 제2검사모터 637b : 제2검사나사축 638 : 제2검사너트 639 : 검사부
700 : 기판배출이동장치
710 : 제2고정설치부재 711 : 제2고정판넬
720 : 제2폭조절레일 730 : 제2이동설치부재
740 : 제2이동수단 741 : 제3회전모터 741a : 축 742 : 바퀴 743 : 줄 750 : 제2폭조절수단 751 : 제4회전모터 753 : 제2구동나사축 755 : 베어링 757 : 제2고정너트
760 : 배출이동부 761 : 배출레일 762 : 배출브라켓 763 : 작동실린더 764 : 이동결합체 765 : 핀 766 : 배출체 764a, 766a : 걸림돌부 767 : 회전걸림봉 769 : 회전제어체 769a : 걸림핀 769b : 탄성체

Claims

기판의 공급 및 배출을 위한 투입구(11)와 배출구(13)를 형성하며, 상기 배출구(13)의 상, 하측에는 기판의 정보를 읽는 센서(15)를 각각 구성한 설치대(10);
상기 설치대(10)의 전방에 구성되되, 트레이(1)를 상하좌우로 이동시켜 트레이(1)에 보관된 기판을 투입구(11)를 통해 공급하고, 배출구(13)를 통해 배출되는 기판의 정보를 확인하여 트레이(1)에 보관하는 트레이순환장치(100);
상기 트레이순환장치(100)를 통해 투입구(11)로 공급된 기판을 후방으로 이동시켜 임시보관하는 기판공급이동장치(200);
좌우로 배치되는 제1이동레일(310)과, 상기 제1이동레일(310)에 슬라이드결합되어 좌우로 이동되며 기판을 흡기고정하는 피커(330)로 구성된 기판이동배치장치(300);
상기 기판이동배치장치(300)를 통해 기판을 공급받아 기판의 이물질을 제거하는 기판클리닝장치(400);
상기 기판이동배치장치(300)를 통해 클리링된 기판을 공급받아 기판을 일정하게 정렬하는 기판정렬장치(500);
기판이동배치장치(300)를 통해 정렬된 기판을 공급받아 흡기고정하는 제3흡기고정부(619)를 구성하여 기판을 전후로 이동시키는 피딩수단(610)과, 상기 피딩수단(610)의 하측에 구성되어 후방으로 이동된 기판을 승강시키는 승강수단(620)과, 상기 피딩수단(610)의 상측에 위치되어 승강수단(620)을 통해 상측으로 이동된 기판을 비전 검사하는 비전검사기(630)로 구성된 기판비전검사장치(600);
상기 기판이동배치장치(300)를 통해 비전검사된 기판을 전방으로 이동시켜 배출구(13)를 통해 트레이순환장치(100)로 배출시키는 기판배출이동장치(700);로 이루어진 것에 특징이 있는 기판 비전 검사시스템.
제 1항에 있어서, 상기 트레이순환장치(100)는,
상하로 이격되어 상기 설치대(10)에 한 쌍으로 설치되며, 트레이(1)를 좌우로 이송시키는 트레이좌우이송부(20);
상기 트레이좌우이송부(20)의 일측에 설치되어 기판이 보관된 트레이(1)를 상하좌우로 이동시키는 제1트레이이동부(30);
상기 제1트레이이동부(30)의 전방에 배치되어 트레이(1)에 보관된 기판을 설치대(10)의 투입구(11)로 공급하는 기판공급장치(40);
상기 트레이좌우이송부(20)의 타측에 설치되어 트레이(1)를 상하좌우로 이동시킴으로써 설치구(10)의 배출구(13)로 배출되는 기판을 트레이(1)에 수납 보관하는 제2트레이이동부(50);로 구성된 것에 특징이 있는 기판 비전 검사시스템.
제 1항에 있어서, 상기 기판공급이동장치(200)는,
상기 투입구(11)와 연결된 상태로 설치대(10)의 후방에 배치되어 제1고정판넬(211)에 고정설치되는 제1고정설치부재(210);
상기 제1고정판넬(211)의 상면에 좌우방향으로 설치되는 제1폭조절레일(220);
상기 투입구(11)와 연결되어 설치대(10)의 후방에 배치되며, 제1폭조절레일(220)에 슬라이드 결합되는 제1이동설치부재(230);
상기 제1고정설치부재(210)와 제1이동설치부재(230)에 각각 구성되어 제1회전모터(241)의 구동에 따라 투입구(11)로 공급된 기판을 후방으로 이동시키는 제1이동수단(240);
상기 제1고정설치부재(210)에 설치되는 제2회전모터(251)와, 상기 제2회전모터(251)에 결합되어 제1고정설치부재(210)와 제1이동설치부재(230)에 연결되는 제1구동나사축(253)과, 상기 제1구동나사축(253)에 끼워진 상태로 제1고정설치부재(210)에 결합되는 베어링(255)과, 상기 제1구동나사축(253)에 나사결합된 상태로 제1이동설치부재(230)에 결합고정되는 제1고정너트(257)로 구성된 제1폭조절수단(250);으로 이루어진 것에 특징이 있는 기판 비전 검사시스템.
제 1항에 있어서, 상기 기판클리닝장치(400)는,
전후방향으로 배치되는 제2이동레일(410);
상기 제2이동레일(41)에 결합되어 전후로 이동되는 전후이동브라켓(420);
상기 전후이동브라켓(420)에 결합되어 기판이동배치장치(300)를 통해 공급된 기판을 흡기고정하는 제1흡기고정부(430);
상기 제2이동레일(410)의 상측으로 이격설치되어 제1흡기고정부(430)에 고정된 기판의 이물질을 제거하는 에어분사부(440);로 구성된 것에 특징이 있는 기판 비전 검사시스템.
제 4항에 있어서, 상기 기판클리닝장치(400)에는, 제2이동레일(410)의 상측으로 이격 설치되어 기판에 새겨진 바코드를 검사하는 바코드검사장치(450)가 더 포함되어 구성된 것에 특징이 있는 기판 비전 검사시스템.
제 1항에 있어서, 상기 기판정렬장치(500)는,
가장자리에 ㄴ자 형상으로 제1, 2걸림턱부(511, 513)를 구성하고, 상기 제1, 2걸림턱부(511, 513)에 대응되는 방향으로는 개구된 제1, 2조절홀(515, 517)을 형성하여 기판이동배치장치(300)를 통해 공급된 기판을 흡기고정하는 제2흡기고정부(510);
상기 제1조절홀(515)의 하측에 구성되어 전후방향으로 설치되는 제1스크루(521)와, 상기 제1스크루(521)에 나사결합되어 제1조절홀(515)을 통해 상측으로 돌출되는 제1돌기(523)를 구성한 제1이동부재(525)와, 상기 제1스크루(521)를 회전시켜 제1이동부재(525)를 전후로 이동시키는 전후구동모터(527)로 구성된 전후정렬부(520);
상기 제2조절홀(517)의 하측에 구성되어 좌우방향으로 설치되는 제2스크루(531)와, 상기 제2스크루(531)에 나사결합되어 제2조절홀(517)을 통해 상측으로 돌출되는 제2돌기(533)를 구성한 제2이동부재(535)와, 상기 제2스크루(531)를 회전시켜 제2이동부재(535)를 좌우로 이동시키는 좌우구동모터(537)로 구성된 좌우정렬부(530);로 이루어진 것에 특징이 있는 기판 비전 검사시스템.
제 6항에 있어서, 상기 제1이동부재(525)는,
제1스크루(521)에 나사결합되는 제1이동브라켓(525a)과, 상기 제1이동브라켓(525a)의 상면에 전후방향으로 설치되는 제1레일(525b)과, 상기 제1레일(525b)에 슬라이드결합되며 제1조절홀(515)에 끼워져 상측으로 돌출되는 제1돌기(523)를 구성한 제1완충판(525c)과, 상기 제1완충판(525c)과 이격되어 제1이동브라켓(525a)에 설치되는 제1고정체(525d)와, 상기 제1완충판(525c)과 제1고정체(525d) 사이에 끼워지는 제1스프링(525e);으로 구성되고,
상기 제2이동부재(535)는, 제2스크루(531)에 나사결합되는 제2이동브라켓(535a)과, 상기 제2이동브라켓(535a)의 상면에 좌우방향으로 설치되는 제2레일(535b)과, 상기 제2레일(535b)에 슬라이드결합되며 제2조절홀(517)에 끼워져 상측으로 돌출되는 제2돌기(533)를 구성한 제2완충판(535c)과, 상기 제2완충판(535c)과 이격되어 제2이동브라켓(535a)에 설치되는 제2고정체(535d)와, 상기 제2완충판(535c)과 제2고정체(535d) 사이에 끼워지는 제2스프링(535e)으로 구성된 것에 특징이 있는 기판 비전 검사시스템.
제 1항에 있어서, 상기 기판비전검사장치(600)의 피딩수단(610)은,
좌우로 이격되어 전후방향으로 설치되는 한 쌍의 피딩레일(611);
각각의 피딩레일(611) 하측에 구성되어 피딩모터(612)에 의해 회전작동하는 피딩벨트풀리(613)로 구성된 피딩작동부(614);
상기 피딩레일(611)에 슬라이드결합된 상태로 피딩벨트풀리(613)에 결합되어 전후로 이동되며, 상부에는 제1끼움돌기(615)가 형성된 피딩프레임(616);
하부에 피딩프레임(616)의 제1끼움돌기(615)가 끼워지는 제1결합홈(617)과, 승강수단(620)이 끼워지는 제2결합홈(618)을 형성하여 피딩프레임(616)에 안착설치되며, 기판이동배치장치(300)를 통해 공급된 기판을 흡기고정하는 제3흡기고정부(619);로 이루어진 것에 특징이 있는 기판 비전 검사시스템.
제 1항에 있어서, 상기 기판비전검사장치(600)의 승강수단(620)은,
피딩수단(610)의 하측에 구성되어 회전작동하는 승강스크루(621)를 구성한 한 쌍의 승강모터(622);
한 쌍으로 설치된 승강모터(622)의 사이에 구성되며, 양 측면에 상하방향으로 형성되는 승강레일(623)을 각각 구성한 가이드브라켓(624);
승강너트(625)를 통해 상기 승강스크루(621)에 나사결합되며, 일측이 가이드브라켓(624)의 승강레일(623)에 슬라이드결합되어 승강모터(622)의 구동에 따라 승강하는 승강브라켓(626);
상기 승강브라켓(626)의 전후에 각각 설치되며, 제3흡기고정부(619)에 끼워지는 제2끼움돌기(627)를 상부에 구성하여 기판이 고정설치된 제3흡기고정부(619)를 승강시키는 승강받침부(628);로 이루어진 것에 특징이 있는 기판 비전 검사시스템.
제 1항에 있어서, 상기 기판비전검사장치(600)의 비전검사기(630)는,
좌우방향으로 설치되는 좌우이동레일(613a)을 형성하여 피딩수단(610)의 상측 전후방에 각각 설치되는 고정프레임(631);
상기 고정프레임(631)에 설치되는 제1검사모터(633a)와, 상기 제1검사모터(633a)에 의해 회전작동하는 제1검사나사축(633b)으로 이루어진 좌우이동수단(633);
제1검사너트(634)를 통해 좌우이동수단(633)의 제1검사나사축(633b)에 나사결합된 상태로 좌우이동레일(631a)에 슬라이드결합되어 전후방향으로 설치되며, 하부에 전후방향으로 설치되는 전후이동레일을 형성한 이동프레임(635);
상기 이동프레임(635)에 설치되는 제2검사모터(637a)와, 상기 제2검사모터(637a)에 의해 회전작동하는 제2검사나사축(637b)으로 이루어진 전후이동수단(637);
제2검사너트(638)를 통해 전후이동수단(637)의 제2검사나사축(637b)에 나사결합되어 제3흡기고정부(619)에 흡기고정된 기판을 비전검사하는 검사부(639);로 이루어진 것에 특징이 있는 기판 비전 검사시스템.
제 1항에 있어서, 상기 기판배출이동장치(700)는,
상기 배출구(13)와 연결된 상태로 설치대(10)의 후방에 배치되어 제2고정판넬(711)에 고정설치되는 제2고정설치부재(710);
상기 제2고정판넬(711)의 상면에 좌우방향으로 설치되는 제2폭조절레일(720);
상기 배출구(13)와 연결되어 설치대(10)의 후방에 배치되며, 제2폭조절레일(720)에 슬라이드 결합되는 제2이동설치부재(730);
상기 제2고정설치부재(710)와 제2이동설치부재(730)에 각각 구성되어 제3회전모터(741)의 구동에 따라 기판을 배출구(13)로 이동시키는 제2이동수단(740);
상기 제2고정설치부재(710)에 설치되는 제4회전모터(751)와, 상기 제4회전모터(751)에 결합되어 제2고정설치부재(710)와 제2이동설치부재(730)에 연결되는 제2구동나사축(753)과, 상기 제2구동나사축(753)에 끼워진 상태로 제2고정설치부재(710)에 결합되는 베어링(755)과, 상기 제2구동나사축(753)에 나사결합된 상태로 제2이동설치부재(730)에 결합고정되는 제2고정너트(757)로 구성된 제2폭조절수단(750);
일측이 설치대(10)에 결합되고 타측이 제2고정판넬(711)에 결합되어 제2이동수단(740)을 통해 이동된 기판을 배출구(13)를 통해 트레이순환장치(100)로 배출시키는 배출이동부(760);로 이루어진 것에 특징이 있는 기판 비전 검사시스템.
제 11항에 있어서, 상기 배출이동부(760)는,
상기 제2고정설치부재(710)와 제2이동설치부재(730) 사이에 위치되도록 설치대(10)의 후면에 결합되며, 상면에 배출레일(761)을 전후방향으로 형성한 배출브라켓(762);
상기 제2고정판넬(711)에 결합되어 전후방향으로 작동하는 작동실린더(763);
일측이 배출레일(761)에 슬라이드결합되고, 타측이 작동실린더(763)에 결합되는 이동결합체(764);
상기 이동결합체(764)에 핀(765) 결합되어 설치되며, 기판을 배출구(13)를 통해 트레이순환장치(100)로 배출시키는 배출체(766);
상기 제2고정설치부재(710)에 설치되어 작동실린더(763)를 통해 후방으로 이동된 배출체(766)를 핀(765)을 중심으로 회전시킴으로써, 배출구(13)로 이동되는 기판의 걸림을 방지하는 회전걸림봉(767);
상기 이동결합체(764)에 결합되어 배출체(766)의 하측에 설치되는 걸림핀(769a)과, 상기 배출체(766)와 이동결합체(764)에 연결설치되어 배출체(766)의 하면을 걸림핀(769a)에 밀착시키는 탄성체(769b)로 구성되어 배출체(766)의 끝단을 기판과 대응되게 배치하는 회전제어체(769);로 이루어진 것에 특징이 있는 기판 비전 검사시스템.