KR101255110B1 - Vertical probe card and manufacturing method of the same - Google Patents

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KR101255110B1
KR101255110B1 KR1020130002128A KR20130002128A KR101255110B1 KR 101255110 B1 KR101255110 B1 KR 101255110B1 KR 1020130002128 A KR1020130002128 A KR 1020130002128A KR 20130002128 A KR20130002128 A KR 20130002128A KR 101255110 B1 KR101255110 B1 KR 101255110B1
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조준수
박종현
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Abstract

PURPOSE: A vertical probe card and a method for manufacturing the same are provided to reduce assembly time by simplifying the structure of a hole which is formed in a guide film. CONSTITUTION: Probe pins(20) are adhered to a base substrate(210). A guide member(260) fixes the probe pins. A first guide member includes a plurality of long holes(240a) which are vertically arranged. A second guide member includes a plurality of long holes(260a) which are horizontally arranged. The first and the second guide members are sequentially laminated.

Description

수직형 프로브 카드 및 그 제조방법{VERTICAL PROBE CARD AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME}Vertical probe card and its manufacturing method {VERTICAL PROBE CARD AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME}

본 발명은 수직형 프로브 카드 및 그 제조방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a vertical probe card and a method of manufacturing the same.

일반적으로 반도체 소자의 테스트 또는 반도체 소자들간의 전기적 연결을 위하여 수직형 핀을 가지는 프로브 카드(Probe Card)가 이용된다. 수직형 핀에는 탄성을 가지는 탄성체로 이루어져 홀 가공이 된 세라믹 기판에 삽입 고정되는 형태의 핀이 주로 이용되고 있으며 이는 통상적으로 코브라 핀으로 불리운다.In general, a probe card having a vertical pin is used for testing a semiconductor device or for electrical connection between the semiconductor devices. Vertical fins are mainly used in the form of a pin formed of an elastic body having elasticity and inserted into a ceramic substrate subjected to hole processing, which is commonly referred to as a cobra pin.

도 1a 및 도1b에는 이러한 종래의 코브라 핀을 이용한 프로브 카드가 도시되어 있다. 도 1a를 참조하면, 하우징 세트(100)는 플레이트(110)와, 플레이트(120)와, 가이드 필름(140) 및 코브라 핀(10)이 결합되어 구성된다.1A and 1B show a probe card using such a conventional cobra pin. Referring to FIG. 1A, the housing set 100 includes a plate 110, a plate 120, a guide film 140, and a cobra pin 10.

도 1a의 우측 확대 도면에서 볼 수 있듯이, 코브라 핀(10)은 복수의 다발로 이루어지고, 도 1b의 가이드 필름(140)에 형성된 복수 개의 홀(140a)에 복수 다발로 이루어지는 코브라 핀(10)들이 각각 삽입 고정된 형태로 제조된다. 이때, 코브라 핀(10)의 하부 측은 플레이트(110) 밑에 있는 홀 가공을 한 세라믹 플레이트에 에 미리 삽입되어 있으며, 코브라 핀(10)의 상부 측을 사람이 수작업으로 각 핀 개별마다 일일이 가이드 필름(140)에 형성된 홀(140a)에 삽입하여야 한다. 따라서, 복수의 다발로 이루어지는 코브라 핀(10)을 일일이 개별적인 홀(140a)에 삽입하여야 하므로, 프로브 카드(100)를 제조하는데 시간이 많이 소요되고, 제조 단가가 상승하는 문제가 발생한다.
As can be seen in the enlarged view on the right side of FIG. 1A, the cobra pin 10 includes a plurality of bundles, and the cobra pin 10 includes a plurality of bundles in the plurality of holes 140a formed in the guide film 140 of FIG. 1B. They are each manufactured in a fixed form. At this time, the lower side of the cobra pin 10 is pre-inserted into the ceramic plate subjected to the hole processing beneath the plate 110, and the manual film for each pin individually by the human hand on the upper side of the cobra pin 10 ( It should be inserted into the hole 140a formed in 140. Therefore, since the cobra pin 10 made of a plurality of bundles must be inserted into the individual holes 140a one by one, it takes a lot of time to manufacture the probe card 100 and a problem occurs that the manufacturing cost increases.

KR10-1152213 B1KR10-1152213 B1

본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 가이드 필름의 구조를 변경하여 조립 시간을 단축시킬 수 있는 프로브 카드를 제공하는 데 목적이 있다. The present invention has been made to solve the problems described above, an object of the present invention is to provide a probe card that can shorten the assembly time by changing the structure of the guide film.

또한, 본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 가이드 필름에 형성된 홀의 구조를 단순화함으로써 제조 단가를 낮출 수 있는 프로브 카드를 제공하는 데 그 목적이 있다.
In addition, the present invention has been made to solve the problems described above, it is an object of the present invention to provide a probe card that can lower the manufacturing cost by simplifying the structure of the hole formed in the guide film.

이를 위해 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 카드는, 베이스 기판과, 상기 베이스 기판에 부착된 복수개의 니들 타입의 프로브 핀과, 상기 복수개의 프로브 핀을 고정하는 가이드 부재를 포함하되, 상기 가이드 부재는, 상기 프로브 핀이 삽입되며 세로로 배치되는 복수의 장공의 홀이 형성된 제1 가이드 부재와 상기 프로브 핀이 삽입되며 가로로 배치되는 복수의 장공의 홀이 형성된 제2 가이드 부재가 순서대로 적층되고, 상기 복수개의 프로브 핀은 상기 제1 가이드 부재에 형성된 세로로 배치되는 장공의 홀과, 상기 제2 가이드 부재에 형성된 가로로 배치되는 장공의 홀이 서로 겹쳐져 형성된 사각형의 홀에 삽입 고정될 수 있다.
To this end, a probe card according to an embodiment of the present invention includes a base substrate, a plurality of needle-type probe pins attached to the base substrate, and a guide member for fixing the plurality of probe pins. The first guide member in which the probe pin is inserted and the holes of the plurality of long holes that are vertically disposed is formed, and the second guide member in which the probe pin is inserted and the holes of the plurality of long holes that are horizontally arranged is sequentially stacked. The plurality of probe pins may be fixedly inserted into a rectangular hole formed by overlapping a vertically formed hole formed in the first guide member and a horizontally formed long hole formed in the second guide member. .

상기 제1가이드 부재 및 상기 제2가이드 부재는, 합성 수지 재질의 필름 및 세라믹 기판일 수 있다.The first guide member and the second guide member may be a film made of a synthetic resin material and a ceramic substrate.

상기 제1 가이드 부재 및 상기 제2 가이드 부재에 형성되는 장공의 홀은, 장공의 한쪽이 오픈(open)된 슬릿(slit) 타입으로 형성되어 핀 정렬시 가이드 핀의 역할을 수행할 수 있다.The hole of the long hole formed in the first guide member and the second guide member may be formed in a slit type in which one side of the long hole is opened, and thus may serve as a guide pin when aligning the pins.

또한, 본 발명의 일실시예에 따른 수직형 프로브 카드의 제조 방법은, 베이스 기판에 복수개의 니들 타입의 프로브 핀을 부착하는 제1단계와, 상기 프로브 핀의 핀들이 각각의 세로열로 구분되도록 상기 프로브 핀을 상기 제1 가이드 부재에 형성된 세로로 배치되는 장공의 홀에 삽입하는 제2단계와, 상기 프로브 핀의 핀들이 각각의 가로열로 구분되도록 상기 프로브 핀을 제2가이드 부재에 형성된 가로로 배치되는 복수의 장공의 홀에 삽입하는 제3 단계를 포함함으로써, 상기 복수개의 프로브 핀이 상기 제1 가이드 부재에 형성된 세로로 배치되는 장공의 홀과, 상기 제2 가이드 부재에 형성된 가로로 배치되는 장공의 홀이 서로 겹쳐져 형성된 사각형의 홀에 삽입 고정될 수 있다.In addition, the manufacturing method of the vertical probe card according to an embodiment of the present invention, the first step of attaching a plurality of needle-type probe pins to the base substrate, so that the pins of the probe pins are divided into a vertical column A second step of inserting the probe pin into a longitudinally formed hole formed in the first guide member, and horizontally forming the probe pin in the second guide member so that the pins of the probe pin are divided into respective horizontal rows; And a third step of inserting the holes into the holes of the plurality of long holes arranged in the vertical direction, such that the plurality of probe pins are vertically disposed in the long holes formed in the first guide member and horizontally formed in the second guide member. The holes of the long holes may be inserted into and fixed to the rectangular holes formed by overlapping each other.

또한, 상기 제1단계와 상기 제2단계 사이에 상기 프로브 핀의 핀들이 각각의 세로열로 구분되도록 막대 형태의 제1정렬핀을 상기 프로브 핀의 핀들 사이에 삽입하는 단계와, 상기 제2 단계 이후 상기 제1 정렬핀을 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다.The method may further include inserting a rod-shaped first alignment pin between the pins of the probe pin so that the pins of the probe pins are divided into vertical columns between the first and second steps. Thereafter, the method may further include removing the first alignment pin.

또한, 상기 제2단계와 상기 제3단계 사이에 상기 프로브 핀의 핀들이 각각의 가로열로 구분되도록 막대 형태의 제2정렬핀을 상기 프로브 핀의 핀들 사이에 삽입되는 단계와, 상기 제3단계 이후 상기 제2 정렬핀을 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다.
In addition, inserting a second alignment pin of the bar shape between the pins of the probe pin so that the pins of the probe pins are divided into horizontal rows between the second step and the third step, and the third step Thereafter, the method may further include removing the second alignment pin.

본 발명에 따른 프로브 카드는, 복수개의 원형의 홀이 형성된 종래의 가이드 필름을 가로로 형성되는 장공의 홀이 형성되는 제1 가이드 필름 및 세로로 형성되는 장공의 홀이 형성되는 제2 가이드 필름으로 변경함으로써, 프로브 카드의 조립 시간을 현저히 단축시킬 수 있는 효과를 가진다.The probe card according to the present invention includes a first guide film in which a long hole is formed horizontally and a second guide film in which a long hole is formed vertically. By changing, the assembly time of the probe card can be significantly shortened.

또한, 본 발명에 따른 프로브 카드에 장착되는 가이드 필름은 원형의 홀이 아닌 긴 장공의 홀을 포함하여 가공시 제작 단가가 저렴하므로, 프로브 카드의 제작 단가를 낮출 수 있는 효과를 가진다.
In addition, the guide film mounted on the probe card according to the present invention includes a long hole, not a circular hole, the manufacturing cost is low at the time of processing, has the effect of lowering the manufacturing cost of the probe card.

도 1a는 종래기술에 따른 수직형 프로브 카드의 사시도이다.
도 1b는 종래기술에 따른 수직형 프로브 카드에 적용되는 가이드 필름의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 수직형 프로브 카드의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 수직형 프로브 카드에 적용되는 제1 가이드 부재의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 수직형 프로브 카드에 적용되는 제2 가이드 부재의 사시도이다.
도 5는 제1 가이드 부재 및 제2 가이드 부재가 적층된 상태의 평면도이다.
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 수직형 프로브 카드의 제조방법에서 베이스 기판에 프로프 핀을 부착한 상태를 나타내는 도면이다.
도 7은 도 6의 프로프 핀의 측면도이다.
도 8은 도 6의 상태에 제1 가이드 부재를 결합한 상태를 나타내는 도면이다.
도 9은 도 8의 상태에 제2 가이드 부재를 결합한 상태를 나타내는 도면이다.
도 10는 도 9의 상태에 따른 수직형 프로브 카드의 결합 단면도이다.
도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 수직형 프로브 카드의 사시도이다.
도 12은 본 발명의 제2 실시예에 따른 수직형 프로브 카드의 결합 단면도이다.
도 13은 본 발명의 제2 실시예에 따른 수직형 프로브 카드의 분해 사시도이다.
도 14는 본 발명에 적용될 수 있는 다른 실시예에 따른 프로브 핀을 나타내는 도면이다.1A is a perspective view of a vertical probe card according to the prior art.
1B is a perspective view of a guide film applied to a vertical probe card according to the prior art.
2 is a perspective view of a vertical probe card according to a first embodiment of the present invention.
3 is a perspective view of a first guide member applied to a vertical probe card according to a first embodiment of the present invention.
4 is a perspective view of a second guide member applied to a vertical probe card according to a first embodiment of the present invention.
5 is a plan view of a state in which the first guide member and the second guide member are stacked.
FIG. 6 is a view illustrating a state in which a prop pin is attached to a base substrate in a method of manufacturing a vertical probe card according to a first embodiment of the present invention.
7 is a side view of the prop pin of FIG. 6.
8 is a view illustrating a state in which the first guide member is coupled to the state of FIG. 6.
9 is a view illustrating a state in which the second guide member is coupled to the state of FIG. 8.
10 is a cross-sectional view of the combination of the vertical probe card according to the state of FIG.
11 is a perspective view of a vertical probe card according to a second embodiment of the present invention.
12 is a cross sectional view of a combination of a vertical probe card according to a second embodiment of the present invention.
13 is an exploded perspective view of a vertical probe card according to a second embodiment of the present invention.
14 is a view showing a probe pin according to another embodiment that can be applied to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 아래의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시예들로 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시예는 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하며 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공하는 것이다.Embodiments of the present invention are provided to more fully describe the present invention to those skilled in the art, and the following embodiments may be modified in various other forms, The present invention is not limited to the following embodiments. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art.

본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 “포함한다(comprise)” 및/또는 “포함하는(comprising)”은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다. 본 명세서에서 사용되는 바와 같이, 용어 “및/또는”은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. As used herein, the singular forms "a", "an," and "the" include plural forms unless the context clearly dictates otherwise. Also, " comprise " and / or " comprising " as used herein specify the presence of stated shapes, numbers, steps, operations, elements, elements, and / , But does not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, operations, elements, elements, and / or groups. As used herein, the term " and / or " includes any and all combinations of any of the listed items.

본 명세서에서 제1, 제2 등의 용어가 다양한 부재, 영역 및/또는 부위들을 설명하기 위하여 사용되지만, 이들 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부위들은 이들 용어에 의해 한정되어서는 안됨은 자명하다. 이들 용어는 특정 순서나 상하, 또는 우열을 의미하지 않으며, 하나의 부재, 영역 또는 부위를 다른 부재, 영역 또는 부위와 구별하기 위하여만 사용된다. 따라서, 이하 상술할 제1 부재, 영역 또는 부위는 본 발명의 가르침으로부터 벗어나지 않고서도 제2 부재, 영역 또는 부위를 지칭할 수 있다.Although the terms first, second, etc. are used herein to describe various elements, regions and / or regions, it should be understood that these elements, components, regions, layers and / Do. These terms do not imply any particular order, top, bottom, or top row, and are used only to distinguish one member, region, or region from another member, region, or region. Thus, the first member, region or region described below may refer to a second member, region or region without departing from the teachings of the present invention.

이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면, 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings schematically showing embodiments of the present invention. In the figures, for example, variations in the shape shown may be expected, depending on manufacturing techniques and / or tolerances. Accordingly, embodiments of the present invention should not be construed as limited to any particular shape of the regions illustrated herein, but should include variations in shape resulting from, for example, manufacture.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 수직형 프로브 카드의 사시도이다.2 is a perspective view of a vertical probe card according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 수직형 프로브 카드(200)는 제1베이스 기판(210)과, 제2 베이스 기판(220)과, 제2 가이드 부재(260)과, 프로브 핀(20)을 포함하여 구성된다. 제2 가이드 부재(260) 아래에는 제1 가이드 부재(240)가 결합되며, 도 2의 확대도에는 제2 가이드 부재(260)의 아래에 점선으로 제1 가이드 부재(240)의 홀(240a)가 표시되어 있음을 알 수 있다. 2, a vertical probe card 200 according to an embodiment of the present invention may include a first base substrate 210, a second base substrate 220, a second guide member 260, and a probe. It comprises a pin 20. The first guide member 240 is coupled to the bottom of the second guide member 260, and in the enlarged view of FIG. 2, the hole 240a of the first guide member 240 is indicated by a dotted line under the second guide member 260. It can be seen that is displayed.

제1 베이스 기판(210) 및 제2 베이스 기판(220)은 플라스틱 등의 합성수지 계열의 재질로 형성될 수 있으며, 제2 베이스 기판(220)의 하부에는 세라믹 기판이 형성되어 있으며, 세라믹 기판에 형성된 홀들에 프로브 핀(20)의 하부 연결단이 부착된다. The first base substrate 210 and the second base substrate 220 may be formed of a synthetic resin-based material such as plastic. A ceramic substrate is formed below the second base substrate 220 and is formed on the ceramic substrate. The lower connection end of the probe pin 20 is attached to the holes.

프로브 핀(20)은 탄성력을 가지는 탄성체로 이루어지는 니들 타입의 핀으로 형성된다. 프로브 핀(20)은 복수개로 이루어지는 핀의 다발로 형성되며, 보통 이러한 니들 타입의 프로브 핀은 코브라 핀으로 불리운다. 물론, 프로브 핀(20)은 코브라 핀은 물론 블레이드 버티칼(vertical) 핀 등으로 구성될 수 있음은 물론이다.The probe pin 20 is formed of a needle-type pin made of an elastic body having an elastic force. The probe pin 20 is formed of a bundle of a plurality of pins, and usually these needle-type probe pins are called cobra pins. Of course, the probe pin 20 may be composed of a cobra pin, as well as a blade vertical pin (vertical).

제2 가이드 부재(260)는 폴리이미드 재질과 같은 탄성력을 가지는 재질로 이루어지는 얇은 필름으로써 프로브 핀(20)의 위치를 가이드(guide)하는 역할을 한다. 이는 후에 설명될 제1 가이드 부재(240) 역시 마찬가지이다.The second guide member 260 is a thin film made of a material having an elastic force such as a polyimide material, and serves to guide the position of the probe pin 20. The same applies to the first guide member 240 which will be described later.

도 2의 우측 확대도를 참조하면, 제2 가이드 부재(260)에는 가로로 길게 형성된 장공의 홀(260a)들이 복수개 형성된 것을 알 수 있다. 이러한 장공의 홀(260a)에 프로브 핀(20)의 삽입되어 돌출되어 있다. 또한, 제2 가이드 부재(260)의 아래에는 제1 가이드 부재(240)가 배치되어 있으며, 제1 가이드 부재(240)에는 세로로 길게 형성된 장공의 홀(240a)가 형성되어 있음을 알 수 있다.Referring to the enlarged right view of FIG. 2, it can be seen that the second guide member 260 has a plurality of long holes 260a formed to be horizontally long. The probe pin 20 is inserted into and protrudes into the long hole 260a. Further, it can be seen that the first guide member 240 is disposed below the second guide member 260, and the first guide member 240 is formed with a long hole 240a formed vertically long. .

확대도 중 아래의 확대도에서 볼 수 있듯이, 제1 가이드 부재(240)와 제2 가이드 부재(260)가 순서대로 적층된 구조를 취하고 있으며, 장공의 홀(240a) 및 장공의 홀(260a)가 서로 직교하도록 배치되어 있음을 알 수 있다. As can be seen in the enlarged view below, the first guide member 240 and the second guide member 260 have a stacked structure in order, and the hole 240a of the long hole and the hole 260a of the long hole are arranged. It can be seen that are arranged to be orthogonal to each other.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 수직형 프로브 카드에 적용되는 제1 가이드 부재의 사시도이다.3 is a perspective view of a first guide member applied to a vertical probe card according to an embodiment of the present invention.

제1 가이드 부재(240)에는 세로로 긴 장공의 홀(240a)들이 복수개 형성되어 있다. 프로브 핀(20)에는 이러한 제1 가이드 부재(240)가 먼저 결합되는데, 세로로 긴 장공의 홀(240a)에 각각의 핀들이 세로의 열로 각각 구분되도록 삽입된다. A plurality of vertically long holes 240a are formed in the first guide member 240. The first guide member 240 is first coupled to the probe pin 20, and the pins 20 are inserted into the vertically long holes 240a so that the respective pins are divided into vertical columns.

기존에는, 각각의 프로브 핀의 개수에 대응되는 각각의 홀들이 가이드 필름에 형성되고, 이러한 각각의 홀에 각각의 프로브 핀을 수작업으로 끼워야 했었다. 하지만, 본 발명은 제1 가이드 부재(240)에 형성된 긴 장공의 홀(240a)에 복수의 세로의 열들의 핀들을 한꺼번에 삽입시킴으로써 보다 간편하게 가이드 필름을 결합시킬 수 있다.
In the past, respective holes corresponding to the number of each probe pin were formed in the guide film, and each probe pin had to be manually inserted into each of these holes. However, according to the present invention, the guide film may be more easily combined by inserting a plurality of vertical rows of pins at a time into the elongated hole 240a formed in the first guide member 240.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 수직형 프로브 카드에 적용되는 제2 가이드 부재의 사시도이다.4 is a perspective view of a second guide member applied to a vertical probe card according to an embodiment of the present invention.

제2 가이드 부재(260)는 제1 가이드 부재(240)와는 반대로 가로로 긴 장공의 홀(260a)들이 복수개 형성되어 있다. 이러한 장공의 홀(260a)에 역시 각각의 핀들이 가로의 열로 구분되도록 프로브 핀(20)이 삽입된다. In contrast to the first guide member 240, the second guide member 260 has a plurality of holes 260a having a long horizontal length. The probe pin 20 is inserted into the long hole 260a so that each of the pins is divided into horizontal rows.

이때, 이미 제1 가이드 부재(260)가 결합된 상태이기 때문에 제1 가이드 부재(240)에 형성된 장공의 홀(240a)에 프로브 핀(20)이 1차적으로 세로의 열로 구분된 상태에서, 제2 가이드 부재(260)를 추가로 결합시키는 경우 장공의 홀(240a)과 장공의 홀(260a)이 서로 수직으로 직교하면서 형성되는 공간에 의하여 프로프 핀(20)의 위치가 고정되게 된다.At this time, since the first guide member 260 is already in the coupled state, the probe pins 20 are primarily divided into vertical columns in the hole 240a of the long hole formed in the first guide member 240. When the second guide member 260 is further coupled, the position of the prop pin 20 is fixed by a space in which the hole 240a of the long hole and the hole 260a of the long hole are perpendicular to each other.

도 5에는 제1 가이드 부재(240) 및 제2 가이드 부재(260)가 적층된 상태의 평면도가 도시되어 있다. 즉, 제1 가이드 부재(240)의 장공의 홀(240a)와 제2 가이드 부재(260)의 장공의 홀(260a)가 수직으로 직교하며, 이렇게 수직으로 직교할때에 겹쳐지는 사각형 영역(A)이 바로 프로브 핀(20)이 삽입되는 영역이 된다. 즉, 정리하면, 종래 프로브 카드의 가이드 필름에는 각각의 프로브 핀에 대응되는 각각의 원형의 홀이 형성되었고, 이러한 각각의 홀에 수작업으로 프로브 핀을 각각 삽입해야 했던 반면에, 본 발명은 수직으로 긴 장공의 홀(240a)들이 형성된 제1 가이드 부재(240)와 가로로 긴 장공의 홀(260a)들이 형성된 제2 가이드 부재(260)를 순차적으로 결합시킴으로써 한꺼번에 많은 개수의 핀들을 결합시킴으로써 프로브 카드의 제조 시간을 현저히 단축시킬 수 있게 된다.
FIG. 5 is a plan view showing a state in which the first guide member 240 and the second guide member 260 are stacked. That is, the rectangular hole A overlaps when the hole 240a of the long hole of the first guide member 240 and the hole 260a of the long hole of the second guide member 260 are perpendicular to each other. ) Is an area into which the probe pin 20 is inserted. That is to say, in the guide film of the conventional probe card, each circular hole corresponding to each probe pin was formed, and the probe pins had to be manually inserted into each of the holes, whereas the present invention vertically Probe card by joining a large number of pins at once by sequentially joining the first guide member 240 having the long long hole 240a and the second guide member 260 having the long long hole 260a horizontally. It is possible to remarkably shorten the production time of.

이하에는, 도 6 내지 도 10을 참조하여, 본 발명에 따른 수직형 프로브 카드의 제조 방법을 설명한다.Hereinafter, the manufacturing method of the vertical probe card according to the present invention will be described with reference to FIGS. 6 to 10.

먼저, 도 6과 같이 제1 베이스 기판(210)에 프로브 핀(20)을 부착한다. 구체적으로는, 앞에서 설명한 바와 같이 제1 베이스 기판(220) 하부 위에 형성된 세라믹 기판에 형성된 홀들에 프로브 핀(20)의 하단부를 결합킨다.First, the probe pin 20 is attached to the first base substrate 210 as shown in FIG. 6. Specifically, as described above, the lower end of the probe pin 20 is coupled to holes formed in the ceramic substrate formed on the lower portion of the first base substrate 220.

프로브 핀(20)은 도 7에 도시된 바와 같이 수직으로 형성된 상단 연결부(22)와, 수직으로 형성된 하단 연결부(26)와, 상단 연결부(22)와 하단 연결부(24)와 연결되며 일정 곡률로 벤딩되는 벤딩부(24)를 포함하여 구성된다. 프로프 핀(20)은 벤딩부(240)가 사선으로 라운드 형성되어 전체적으로 벤딩부(240)의 위치에서 오버 드라브(Over Drive) 값이 형성되며, 사선으로 상하 운동이 되는 니들 구조를 채택하고 있다.The probe pin 20 is connected to the upper connecting portion 22 formed vertically, the lower connecting portion 26 formed vertically, the upper connecting portion 22 and the lower connecting portion 24 as shown in FIG. It is configured to include a bending portion 24 to be bent. The prop pin 20 has a bent portion 240 formed in an oblique round shape to form an overdrive value at a position of the bent portion 240 as a whole, and adopts a needle structure that vertically moves in an oblique line. have.

도 6에서 제1 베이스 기판(210)의 하부에 부착되는 부분은 프로브 핀(20)의 하단 연결부(26) 이다.In FIG. 6, the portion attached to the lower portion of the first base substrate 210 is the lower connection portion 26 of the probe pin 20.

다음으로, 도 8에 도시된 바와 같이 제1 가이드 부재(240)가 제2 베이스 기판(220) 상부에 형성된 돌출부에 끼워져 결합된다. 이때, 제1 가이드 부재(240)에 형성된 세로로 긴 장공의 홀(240a)에 세로의 열로 구분되도록 핀들이 돌출되도록 삽입된다. Next, as shown in FIG. 8, the first guide member 240 is fitted to the protrusion formed on the second base substrate 220 to be coupled thereto. At this time, the pins are inserted into the vertically long holes 240a formed in the first guide member 240 to protrude into vertical columns.

이때, 제1 가이드 부재(240)를 결합하기 전에 프로브 핀(20)의 핀들 각각을 세로의 열들로 더 쉽게 정렬하기 위하여 막대 모양의 제1 정렬핀(미도시)를 핀들 사이에 삽입할 수 있다. 이러한 제1 정렬핀은 제1 가이드 부재(240)의 장공의 홀(240a)들에 프로브 핀(20)이 모두 삽입되어 정렬되면 제거될 수 있다.At this time, before coupling the first guide member 240, a rod-shaped first alignment pin (not shown) may be inserted between the pins to more easily align each of the pins of the probe pin 20 in the vertical rows. . The first alignment pin may be removed when all of the probe pins 20 are inserted into and aligned with the holes 240a of the long hole of the first guide member 240.

다음 도 9와 같이, 같은 방법으로 그 위에 제2 가이드 부재(260)를 제1 베이스 기판(220)의 상부와 결합시킨다. 이때, 제1 가이드 부재(240)가 결합된 상태에서 프로브 핀(20)이 가로의 열들로 구분되도록 프로브 핀(20) 각각을 가로로 긴 장공의 홀(260a)에 삽입 돌출시킬 수 있다. Next, as shown in FIG. 9, the second guide member 260 is coupled to the upper portion of the first base substrate 220 thereon in the same manner. In this case, the probe pins 20 may be inserted into and projected into the holes 260a of the elongated long holes so that the probe pins 20 are divided into horizontal rows while the first guide member 240 is coupled.

이때, 앞에서와 유사하게, 제2 가이드 부재(260)를 삽입하기 전에, 프로브 핀(20)의 핀들 각각을 가로의 열들로 더 쉽게 정렬하기 위하여 막대 모양의 제2 정렬핀(미도시)를 핀들 사이에 삽입할 수 있다. 이러한 제2 정렬핀은 제2 가이프 부재(260)의 장공의 홀(260a)에 프로브 핀(20)이 모두 삽입되어 정렬되는 제거될 수 있다.At this time, similarly to the above, before inserting the second guide member 260, the rod-shaped second alignment pin (not shown) to more easily align each of the pins of the probe pin 20 in the horizontal rows pins Can be inserted in between. The second alignment pin may be removed in which all of the probe pins 20 are inserted and aligned in the hole 260a of the long hole of the second guide member 260.

도 10은 상기와 같은 방법으로 결합된 상태의 수직형 프로브 카드의 결합 단면도이다.10 is a cross-sectional view of the combination of the vertical probe card in the coupled state as described above.

프로브 핀(20)의 하단 연결부(26)는 제1 베이스 기판(210)의 하단에 형성된 홀들에 관통되어 하방으로 일부가 돌출되어 있다. 이때, 제1 베이스 기판(210)의 하단부는 세라믹 기판으로 형성될 수 있다. 그리고, 상단 연결부(22)는 제1 가이드 부재(240) 및 제2 가이드 부재(260)을 관통하여 끝단의 일부가 돌출되어 있다. The lower connection part 26 of the probe pin 20 penetrates through holes formed in the lower end of the first base substrate 210 to protrude downwardly. In this case, the lower end of the first base substrate 210 may be formed of a ceramic substrate. In addition, the upper end portion 22 penetrates through the first guide member 240 and the second guide member 260, and a part of the end thereof protrudes.

이렇게 프로브 핀(20)의 상항 방향으로 돌출된 부분은 반도체 소자 간들 또는 반도체 소자와 기타 소자간의 전기적 연결을 가능하게 한다. 이때, 벤딩부(24)는 프로크 카드(200)의 접촉시 수직으로 가해지는 압력에 탄성을 제공하는 역할을 수행한다.
The upwardly protruding portion of the probe pin 20 enables electrical connection between semiconductor devices or between semiconductor devices and other devices. At this time, the bending part 24 serves to provide elasticity to the pressure applied vertically during the contact of the prok card 200.

도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 수직형 프로브 카드의 사시도이며, 도 12은 본 발명의 제2 실시예에 따른 수직형 프로브 카드의 결합 단면도이며, 도 13은 본 발명의 제2 실시예에 따른 수직형 프로브 카드의 분해 사시도이다.11 is a perspective view of a vertical probe card according to a second embodiment of the present invention, FIG. 12 is a cross sectional view of a combination of a vertical probe card according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 13 is a second embodiment of the present invention. An exploded perspective view of a vertical probe card according to an example.

도 11 내지 도 13을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 수직형 프로브 카드(300)는 제1 베이스 기판(310)과, 제2 베이스 기판(320)과, 프로브 핀(40)과, 제1 가이드 부재(340) 및 제2 가이드 부재(360)으로 구성된다.11 to 13, the vertical probe card 300 according to the second embodiment of the present invention may include a first base substrate 310, a second base substrate 320, a probe pin 40, and the like. , The first guide member 340 and the second guide member 360.

제1 베이스 기판(310) 및 제2 베이스 기판(320) 및 프로브 핀(40)은 앞의 제1 실시예에 따른 프로브 카드(200)와 동일하므로 자세한 설명을 생략한다.Since the first base substrate 310, the second base substrate 320, and the probe pin 40 are the same as the probe card 200 according to the first embodiment, detailed description thereof will be omitted.

제2 실시예에 따른 수직형 프로브 카드(300)는 제1 가이드 부재(340) 및 제2 가이드 부재(360)의 재질 및 형상이 제1 실시예에 따른 수직형 프로브 카드(200)와 상이하다.In the vertical probe card 300 according to the second embodiment, the material and the shape of the first guide member 340 and the second guide member 360 are different from the vertical probe card 200 according to the first embodiment. .

즉, 제1 가이드 부재(340) 및 제2 가이드 부재(360)는 세라믹 기판으로 형성되어 보다 강성을 가지는 재질로 형성되며, 장공의 홀이 슬릿(slit) 타입으로 형성되어 있다.That is, the first guide member 340 and the second guide member 360 are formed of a ceramic substrate and have a more rigid material, and the holes of the long holes are formed in a slit type.

구체적으로, 제1 가이드 부재(340)에는 프로브 핀(40)이 삽입되는 중앙 부분에서부터 타측면까지 장공의 홀이 오픈(open)되어 형성되도록 다수의 슬릿이 형성되어 있으며, 제2 가이드 부재(360)에는 프로브 핀(40)이 삽입되는 중앙 부분에서부터 타측면까지 장공의 홀이 오픈(open)되어 형성되어 있으며, 제1 가이드 부재(340)에 형성되는 슬릿은 제2 가이드 부재(360)에 형성되는 슬릿과 직교를 이룬다. Specifically, a plurality of slits are formed in the first guide member 340 so that the holes of the long holes are formed from the central portion in which the probe pin 40 is inserted to the other side thereof, and the second guide member 360 is formed. ) Is formed by opening the hole of the long hole from the central portion in which the probe pin 40 is inserted to the other side, the slit formed in the first guide member 340 is formed in the second guide member 360 Orthogonal to the slit being.

이때, 제1 가이드 부재(340) 및 제2 가이드 부재(360)의 일측면까지 오픈되도록 형성된 슬릿은 핀 정렬시 가이드 핀과 유사한 역할을 수행될 수 있다. 따라서, 별도의 가이드 핀을 구성하지 않아도 되는 장점이 있다.In this case, the slit formed to open to one side of the first guide member 340 and the second guide member 360 may play a role similar to that of the guide pin when the pin is aligned. Therefore, there is an advantage that does not need to configure a separate guide pin.

도 12의 단면도 역시 제1 실시예에 따른 프로브 카드(200)와 유사하므로 자세한 설명은 생략한다.
12 is also similar to the probe card 200 according to the first embodiment, and thus a detailed description thereof will be omitted.

도 14은 본 발명에 적용될 수 있는 다른 실시예에 따른 프로브 핀을 나타내는 도면이다.14 is a view showing a probe pin according to another embodiment that can be applied to the present invention.

도 14를 참조하면, 프로브 핀(60)은 수직으로 형성된 상단 연결부(62)와, 수직으로 형성된 하단 연결부(66)와, 상단 연결부(62)와 하단 연결부(66)와연결되어 V자로 벤딩된 벤딩부(64)를 포함하여 구성된다. 프로브 핀(60)은 벤딩부(64)가 V자 형상으로 형성되어 V자 형상의 구부러진 정 중앙에서 오버 드라이브 값이 형성되며, 일직선으로 상하 운동이 되는 구조의 핀이다.
Referring to FIG. 14, the probe pin 60 is connected to the upper connection part 62 formed vertically, the lower connection part 66 formed vertically, the upper connection part 62 and the lower connection part 66, and bent in a V shape. It is configured to include a bending portion (64). The probe pin 60 is a fin having a structure in which the bending portion 64 is formed in a V shape and an overdrive value is formed at the center of the bent V shape.

본 발명에 따른 수직형 프로브 카드는 이와 같은 방법으로 가로 및 세로로 긴 장공의 홀들이 형성된 가이드 부재를 두 개로 개별 형성하고, 두 개의 가이드 부재를 순차적으로 결합시킴으로써, 프로브 카드의 제작 단가를 낮출 수 있을 뿐만 아니라, 제조 시간 또한 현저히 단축시킬 수 있다.The vertical probe card according to the present invention can form a guide member having two long and long holes formed separately in this manner, and by combining the two guide members sequentially, the manufacturing cost of the probe card can be reduced. Not only that, but also the manufacturing time can be significantly shortened.

이상 도면을 참조하여 본 발명의 실시 형태에 대하셔 설명하였다. 하지만, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 기술된 것이고 본 발명의 내용을 이에 한정하거나 제한하기 위하여 기술된 것은 아니다, 그러므로, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예를 실시하는 것이 가능할 것이다, 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사항에 의해 정해져야 할 것이다.
The embodiments of the present invention have been described with reference to the drawings. It is to be understood, however, that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. It will be possible to implement other embodiments, and therefore the true scope of protection of the present invention should be determined by the technical scope of the appended claims.

200: 수직형 프로브 카드 210: 제1 베이스 기판
220: 제2 베이스 기판 240: 제1 가이드 부재
260: 제2 가이드 부재 20: 프로브 핀200: vertical probe card 210: first base substrate
220: second base substrate 240: first guide member
260: second guide member 20: probe pin

Claims (6)

베이스 기판;
상기 베이스 기판에 부착된 복수개의 프로브 핀; 및
상기 복수개의 프로브 핀을 고정하는 가이드 부재를 포함하되,
상기 가이드 부재는,
상기 프로브 핀이 삽입되며 세로로 배치되는 복수의 장공의 홀이 형성된 제1 가이드 부재; 및
상기 프로브 핀이 삽입되며 가로로 배치되는 복수의 장공이 홀이 형성된 제2 가이드 부재가 순서대로 적층되어 구성되고,
상기 복수개의 프로브 핀은 상기 제1 가이드 부재에 형성된 세로로 배치되는 장공의 홀과, 상기 제2 가이드 부재에 형성된 가로로 배치되는 장공의 홀이 서로 겹쳐져 형성된 사각형의 홀에 삽입 고정되는 것을 특징으로 하는 수직형 프로브 카드.
A base substrate;
A plurality of probe pins attached to the base substrate; And
It includes a guide member for fixing the plurality of probe pins,
The guide member,
A first guide member in which the probe pin is inserted and formed with a plurality of holes having a length; And
The probe pin is inserted into a plurality of long holes arranged horizontally is formed by stacking a second guide member having a hole in order,
The plurality of probe pins are inserted into and fixed in a rectangular hole formed by overlapping a hole of a vertically long hole formed in the first guide member and a hole of a horizontally arranged long hole formed in the second guide member. Vertical probe card.
제1항에 있어서,
상기 제1가이드 부재 및 상기 제2가이드 부재는,
합성 수지 재질의 필름 또는 세라믹 기판인 것을 특징으로 하는 수직형 프로브 카드.
The method of claim 1,
The first guide member and the second guide member,
Vertical probe card, characterized in that the film or a ceramic substrate of a synthetic resin material.
제1항에 있어서,
상기 제1 가이드 부재 및 상기 제2 가이드 부재에 형성되는 장공의 홀은, 장공의 한쪽이 오픈(open)된 슬릿(slit) 타입으로 형성되어 핀 정렬시 가이드 핀의 역할을 수행하는 것을 특징으로 하는 수직형 프로브 카드.
The method of claim 1,
The holes of the long holes formed in the first guide member and the second guide member are formed in a slit type in which one side of the long holes is opened to serve as a guide pin during pin alignment. Vertical probe card.
베이스 기판에 복수개의 프로브 핀을 부착하는 제1단계;
상기 프로브 핀의 핀들이 각각의 세로열로 구분되도록 상기 프로브 핀을 제1가이드 부재에 형성된 세로로 배치되는 복수의 장공의 홀에 삽입하는 제2단계; 및
상기 프로브 핀의 핀들이 각각의 가로열로 구분되도록 상기 프로브 핀을 제2가이드 부재에 형성된 가로로 배치되는 복수의 장공의 홀에 삽입하는 제3단계를 포함함으로써,
상기 복수개의 프로브 핀이 상기 제1 가이드 부재에 형성된 세로로 배치되는 장공의 홀과, 상기 제2 가이드 부재에 형성된 가로로 배치되는 장공의 홀이 서로 겹쳐져 형성된 사각형의 홀에 삽입 고정되는 것을 특징으로 하는 수직형 프로브 카드의 제조방법.
Attaching a plurality of probe pins to the base substrate;
Inserting the probe pin into a plurality of vertically disposed holes formed in the first guide member such that the pins of the probe pin are divided into respective vertical columns; And
And inserting the probe pin into a plurality of horizontally formed holes formed in the second guide member so that the pins of the probe pin are divided into respective horizontal rows.
The plurality of probe pins are inserted into a rectangular hole formed in the vertical hole formed in the first guide member and a hole formed in the horizontal hole formed in the second guide member overlapping each other is fixed Method of manufacturing a vertical probe card.
제4항에 있어서,
상기 제1단계와 상기 제2 단계 사이에 상기 프로브 핀의 핀들이 각각의 세로열로 구분되도록 막대 형태의 제1정렬핀을 상기 프로브 핀의 핀들 사이에 삽입하는 단계; 및
상기 제2 단계 이후 상기 제1 정렬핀을 제거하는 단계를 더 포함하는 수직형 프로브 카드의 제조 방법.
5. The method of claim 4,
Inserting a rod-shaped first alignment pin between the pins of the probe pins so that the pins of the probe pins are divided into respective vertical columns between the first and second steps; And
And removing the first alignment pin after the second step.
제4항에 있어서,
상기 제2단계와 상기 제3 단계 사이에 상기 프로브 핀의 핀들이 각각의 가로열로 구분되도록 막대 형태의 제2정렬핀을 상기 프로브 핀의 핀들 사이에 삽입하는 단계; 및
상기 제3 단계 이후 상기 제2 정렬핀을 제거하는 단계를 더 포함하는 수직형 프로브 카드의 제조 방법.
5. The method of claim 4,
Inserting a rod-shaped second alignment pin between the pins of the probe pins so that the pins of the probe pins are divided into horizontal rows between the second and third steps; And
And removing the second alignment pin after the third step.
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