KR101239163B1 - 반응기용 실린더 - Google Patents

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KR101239163B1
KR101239163B1 KR1020110085422A KR20110085422A KR101239163B1 KR 101239163 B1 KR101239163 B1 KR 101239163B1 KR 1020110085422 A KR1020110085422 A KR 1020110085422A KR 20110085422 A KR20110085422 A KR 20110085422A KR 101239163 B1 KR101239163 B1 KR 101239163B1
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cylinder
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bolt
reactor
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KR1020110085422A
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홍종팔
이희완
이경우
조은정
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(주) 라미나
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    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus

Abstract

반응기용 실린더가 개시되어 있다.
개시된 반응기용 실린더는, 내부에 반응챔버(11)를 가지며, 상면에 상기 반응챔버(11)와 연통되는 복수의 실린더 홀(14)이 형성된 반응기용 실린더(10)로서,
상기 실린더(10)의 일측과 타측에 반응챔버(11)와 연통되는 반응물 주입포트(12) 및 반응 결과물 배출포트(13)가 형성됨을 포함하며; 상기 반응물 주입포트(12) 및 반응 결과물 배출포트(13) 사이에 다수의 스페어 포트(100)가 형성됨을 더 포함하되,
상기 스페어 포트(100)는, 상기 각 실린더 홀(14) 상측에 고정 설치되며, 중앙에 상기 각 실린더 홀(14)과 연통되는 수직상의 베이스 홀(111)이 형성되고, 상기 베이스 홀(111)의 주변에는 복수의 제1 볼트홀(112)이 형성된 베이스(110); 상기 베이스(110)의 상부에 적층되며, 중앙에 상기 베이스 홀(111)과 연통되는 수직상의 하부홀(121)이 형성되고, 상기 하부홀(121)의 주변에는 상기 제1 볼트홀(112)과 연통되어 체결볼트(b)의 머리부가 삽입되는 복수의 제1 볼트 삽입홀(122)이 형성되며, 상기 제1 볼트 삽입홀(122)의 사이사이에는 제2 볼트홀(123)이 형성된 하부블록(120); 상기 하부블록(120)의 상부에 적층되며, 중앙에 상기 하부홀(121)과 연통되는 수직상의 상부 나사홀(131)이 형성되고, 상기 상부 나사홀(131)의 주변에는 상기 제2 볼트홀(123)과 연통되어 체결볼트(b)의 머리부가 삽입되는 복수의 제2 볼트 삽입홀(132)이 형성된 상부블록(130)으로 이루어진 것을 더 포함하는 것이다.

Description

반응기용 실린더{cylinder for reactor}
본 발명은, 반응기용 실린더에 관한 것이다.
특히, 반응기의 외부 구성물인 실린더 상에, 실린더 내부와 통하는 다수의 스페어 포트를 형성하되, 각 스페어 포트는 반응물 주입, 샘플링 등을 위한 용도는 물론 어댑터를 설치할 수 있어서 각종 센서 등을 용이하게 장착할 수 있는 반응기용 실린더에 관한 것이다.
반응기(reactor)는 2종 이상의 물질이 촉매나 유사 매개물질에 의해 일정한 온도, 압력에서 반응하여 조성, 구조 등이 다른 물질이 생성되게 하는 장치로서, 연속식 반응기와 회분식 반응기로 구분된다.
예컨대, 연속식 반응기는 유입된 반응물이 흐르는 과정에서 반응이 진행되고, 반응에 의한 생성물이 배출구를 통해 배출되어 지는 방식이며, 회분식 반응기는 반응물을 투입하여 정지된 상태에서 반응기 내에서 반응을 수행한 후 생성물을 회수하는 방식이다.
이러한 연속식 반응기는 표체인 실린더를 가지며, 실린더에는 반응물 투입구 및 반응생성물 배출구가 구비되어 있다. 그러나, 이러한 반응물 투입구 및 반응생성물 배출구는 단순히 반응물을 투입하기 위한 용도 및 반응생성물을 배출하기 위한 단일 용도로만 사용될 뿐 다른 용도로는 활용할 수 없다는 문제점이 있었다.
또한, 종래의 연속식 반응기는 예컨대, 반응물의 유량을 감지하기 위한 유량감지센서, 반응물의 온도를 감지하기 위한 온도감지센서 등을 설치할 만한 마땅한 장소가 없어서 통상 연속식 반응기의 외부에 설치하고 있다. 따라서, 연속식 반응기의 볼륨이 커지게 되고, 이들 장치들을 설치하기 위한 별도의 설치홀더를 마련해야하므로 비용상승의 원인이 되어 왔다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 본 발명의 주요 목적은, 반응기의 외부 구성물인 실린더 상에 실린더 내부와 통하는 다수의 스페어 포트를 구성하여 반응물 주입, 샘플링 작업 및 각종 감지센서를 설치할 수 있도록 한 반응기용 실린더를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제1 관점에 따르면,
내부에 반응챔버를 가지며, 상면에 상기 반응챔버와 연통되는 복수의 실린더 홀이 형성된 반응기용 실린더로서,
상기 실린더의 일측과 타측에 반응챔버와 연통되는 반응물 주입포트 및 반응 결과물 배출포트가 형성됨을 포함하며; 상기 반응물 주입포트 및 반응 결과물 배출포트 사이에 다수의 스페어 포트가 형성됨을 더 포함하되,
상기 스페어 포트는, 상기 각 실린더 홀 상측에 고정 설치되며, 중앙에 상기 각 실린더 홀과 연통되는 수직상의 베이스 홀이 형성되고, 상기 베이스 홀의 주변에는 복수의 제1 볼트홀이 형성된 베이스; 상기 베이스의 상부에 적층되며, 중앙에 상기 베이스 홀과 연통되는 수직상의 하부홀이 형성되고, 상기 하부홀의 주변에는 상기 제1 볼트홀과 연통되어 체결볼트의 머리부가 삽입되는 복수의 제1 볼트 삽입홀이 형성되며, 상기 제1 볼트 삽입홀의 사이사이에는 제2 볼트홀이 형성된 하부블록; 상기 하부블록의 상부에 적층되며, 중앙에 상기 하부홀과 연통되는 수직상의 상부 나사홀이 형성되고, 상기 상부 나사홀의 주변에는 상기 제2 볼트홀과 연통되어 체결볼트의 머리부가 삽입되는 복수의 제2 볼트 삽입홀이 형성된 상부블록으로 이루어진 것을 더 포함하는 반응기용 실린더이다.
또한, 본 발명의 제2 관점에 따르면,
내부에 반응챔버를 가지며, 상면에 상기 반응챔버와 연통되는 복수의 실린더 홀이 형성된 반응기용 실린더로서,
상기 실린더의 일측과 타측에 반응챔버와 연통되는 반응물 주입포트 및 반응 결과물 배출포트가 형성됨을 포함하며; 상기 반응물 주입포트 및 반응 결과물 배출포트 사이에 다수의 스페어 포트가 형성됨을 더 포함하되,
상기 스페어 포트는, 상기 각 실린더 홀 상측에 고정 설치되며, 중앙에 상기 각 실린더 홀과 연통되는 수직상의 베이스 홀이 형성되고, 상기 베이스 홀의 주변에는 복수의 제1 볼트홀이 형성된 베이스; 상기 베이스의 상부에 적층되며, 중앙에 상기 베이스 홀과 연통되는 수직상의 하부홀이 형성되고, 상기 하부홀의 주변에는 상기 제1 볼트홀과 연통되어 체결볼트의 머리부가 삽입되는 복수의 제1 볼트 삽입홀이 형성되며, 상기 제1 볼트 삽입홀의 사이사이에는 제2 볼트홀이 형성된 하부블록; 상기 하부블록의 상부에 적층되며, 중앙에 상기 하부홀과 연통되는 제1 어댑팅 홀이 형성되고, 상기 제1 어댑팅 홀의 주변에는 상기 제2 볼트홀과 연통되어 체결볼트의 머리부가 삽입되는 복수의 제2 볼트 삽입홀이 형성된 플랜지부; 상기 플랜지부의 상면 중앙부에 일체로 형성되며 중앙부에는 상기 제1 어댑팅 홀과 연통되는 제2 어댑팅 홀이 형성된 보스부로 이루어진 어댑터;로 구성된 것을 더 포함하는 반응기용 실린더이다.
이상의 본 발명은, 다수의 스페어 포트를 구비하고 있어서 이 스페어 포트를 이용하여 반응물을 주입하거나, 샘플링 작업을 하거나, 각종 감지센서를 설치하는 용도 등 다양한 용도로 활용할 수 있다.
또한, 각종 감지센서를 직결하여 설치함으로써 연속식 반응기의 구성을 단순화할 수 있고, 볼륨을 줄일 수 있는 장점을 갖는다.
도 1은 본 발명에 따른 반응기의 전체 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 스페어 포트의 제1 예를 도시한 종단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 스페어 포트의 제2 예를 도시한 분리사시도이다.
도 4는 도 3의 결합상태 단면 사시도이다.
도 5는 도 3의 결합상태 단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 스페어 포트의 제3 예를 도시한 단면도이다.
이하, 본 발명에 따른 실시예들이 개시된다.
실시예들을 설명함에 있어서, 동일부호는 동일한 구성을 의미하고, 중복되거나 발명의 의미를 한정적으로 해석되게 할 수 있는 부가적인 설명은 본 발명의 실시예들을 설명함에 있어서 생략될 수 있다.
개시되는 실시예들은 본 발명의 사상을 당업자가 용이하게 이해할 수 있도록 제공되는 것으로, 이에 의해 본 발명이 한정되지 않는다. 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술적 사상 및 범위 내에서 다른 형태로 변형될 수 있다. 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다. 본 명세서에서 다른 구성요소 '상에' 위치한다는 것은 일 구성요소 상에 다른 구성요소가 직접 위치한다는 의미는 물론, 상기 일 구성요소 상에 제 3의 구성요소가 더 위치할 수 있다는 의미도 포함한다. 본 명세서 각 구성요소 또는 부분 등을 제1, 제2 등의 표현을 사용하여 지칭하였으나, 이는 명확한 설명을 위해 사용된 표현으로 이에 의해 한정되지 않는다. 도면에 표현된 구성요소들의 두께 및 상대적인 두께는 본 발명의 실시예들을 명확하게 표현하기 위해 과장된 것일 수 있다. 또한, 첨부된 도면에 표현된 사항들은 본 발명의 실시예들을 쉽게 설명하기 위해 도식화된 도면으로 실제로 구현되는 형태와 상이할 수 있다.
본 발명은 반응기용 실린더에 관한 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 반응기의 전체 사시도이다.
도 1에서 보듯이, 본 발명의 반응기는, 비 회전체인 실린더(10)와, 상기 실린더(10)의 일측에 배치되는 교반모터(20)와, 상기 교반모터(20)의 모터축과 결합된 채 상기 실린더(10)의 내부에 내장되는 교반봉(30)을 기본 구성으로 한다.
여기서, 본 발명에 따른 실린더(10)는 원통형으로 되어 있으며, 그 내부에는 반응공간인 반응챔버(11)가 형성되어 있다.
또한, 실린더(10)의 일측에는 상기 반응챔버(11)로 2종 이상의 반응물을 주입하기 위한 반응물 주입포트(12)가 구비되며, 타측에는 반응이 완료된 반응 결과물을 배출하기 위한 반응결과물 배출포트(13)가 구비된다.
또한, 실린더(10)의 상면 중, 상기 반응물 주입포트(12)와 반응결과물 배출포트(13) 사이에는 다수의 실린더 홀(14)이 형성되며, 상기 각 실린더 홀(14) 상에는 스페어 포트(spare port:100)가 다수 구비된다.
도 3는 본 발명에 따른 스페어 포트의 제1 예를 도시한 종단면도이다.
도 1에 도시된 스페어 포트(100)는 베이스(110), 하부블록(120) 및 상부블록(130)으로 구성된다.
상기 베이스(110)는 상기 각 실린더 홀(14)의 상측에 고정 설치된다.
상기 베이스(110)는 중앙에 상기 각 실린더 홀(14)과 연통되는 수직상의 베이스 홀(111)이 형성된다.
상기 베이스(110)는 상기 베이스 홀(111)의 주변에 복수의 제1 볼트홀(112)이 형성된다. 이 제1 볼트홀(112)은 베이스(110)의 상측에 적층되는 하부블록(120)과 볼트 체결하기 위한 용도로 사용된다.
여기서, 상기 베이스(110)의 바닥면(110a)은 상기 실린더(10)의 외주면에 형합되도록 오목한 만곡형을 이루고 있고, 상기 베이스(110)는 그 바닥면을 상기 실린더(10)의 상면에 안착시킨 상태에서 용접에 의해 일체화되어 있다.
상기 하부블록(120)은 원판형 구조를 가지며, 상기 베이스(110)의 상부에 적층된다.
상기 하부블록(120)은 중앙에 상기 베이스 홀(111)과 연통되는 수직상의 하부홀(121)이 형성된다.
상기 하부블록(120)은 상기 하부홀(121) 주변에 상기 제1 볼트홀(112)과 연통되어 체결볼트(b)의 머리부가 삽입되는 복수의 제1 볼트 삽입홀(122)이 형성된다. 이 제1 볼트 삽입홀(122)에는 체결볼트(b)를 삽입하여 하부블록(120)을 베이스(110)에 체결하게 된다.
상기 하부블록(120)은 상기 제1 볼트 삽입홀(122)의 사이사이에 제2 볼트홀(123)이 형성된다. 이 제2 볼트홀(123)은 상기 상부블록(130)과 볼트 체결하기 위한 용도로 사용된다.
상기 하부블록(130)은 그 바닥면 중, 상기 하부홀(121)의 주변에 환형의 외부 실링홈(124)이 형성되고, 상기 외부 실링홈(124)에는 외부 수밀링(125)이 압입된다. 따라서, 외부 수밀링(125)에 의해 하부블록(130)의 하면과 상기 베이스(110)의 상면 사이의 수밀도를 높일 수 있다.
상기 상부블록(130)은 원판형 구조를 가지며, 상기 하부블록(120)의 상부에 적층된다.
상기 상부블록(130)은 중앙에 상기 하부홀(121)과 연통되는 수직상의 상부 나사홀(131)이 형성된다.
상기 상부블록(130)은 상기 상부 나사홀(131)의 주변에 상기 제2 볼트홀(123)과 연통되어 체결볼트(b)의 머리부가 삽입되는 복수의 제2 볼트 삽입홀(132)이 형성된다. 이 제2 볼트 삽입홀(132)에는 체결볼트(b)를 삽입하여 상부블록(130)을 하부블록(120)에 체결하게 된다.
상기 상부블록(130)은 그 바닥면 중, 상기 상부 나사홀(131)의 주변에 환형의 외부 실링홈(133)이 형성되고, 상기 외부 실링홈(133)에는 외부 수밀링(134)이 압입된다. 따라서, 외부 수밀링(134)에 의해 상부블록(130)의 하면과 상기 하부블록(120) 상면 사이의 수밀도를 높일 수 있다.
도 1을 다시 참조하면, 상기 상부블록(130)의 상부 나사홀(131)에는 밸브(v)가 나사 결합될 수 있다. 여기서 밸브(v)의 용도는 상기 반응물 주입포트(12)를 통해 주입되는 반응물 외에 추가적인 반응물을 주입하는 용도 및 샘플링 작업 등에 쓰일 수 있다.
도 3은 본 발명에 따른 스페어 포트의 제2 예를 도시한 분리사시도이고, 도 4는 도 3의 결합상태 단면 사시도이며, 도 5는 도 3의 결합상태 단면도이다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명은 상기 상부블록(130)을 어댑터(140)로 대체할 수 있다. 상기 어댑터(140)에는 후술될 제1, 2 어댑팅 홀을 통해 스틱형 센서(s)(예컨대, 반응물의 유량감지센서, 반응물의 온도감지센서 등)를 설치하기 위한 것이다.
상기 어댑터(140)는, 상기 하부블록(120)의 상부에 적층되며, 중앙에 상기 하부홀(121)과 연통되는 제1 어댑팅 홀(142)이 형성되고 상기 제1 어댑팅 홀(142)의 주변에는 상기 제2 볼트홀(123)과 연통되어 체결볼트(b)의 머리부가 삽입되는 복수의 제3 볼트 삽입홀(143)이 형성된 플랜지부(141)를 갖는다.
또한, 상기 어댑터(140)는 상기 플랜지부(141)의 상면 중앙부에 일체로 형성되며 중앙부에는 상기 제1 어댑팅 홀(142)과 연통되는 제2 어댑팅 홀(145)이 형성된 보스부(144)로 이루어져 있다.
상기 어댑터(140)는 그 바닥면 중, 제1 어댑팅 홀(142)의 주변에 환형의 외부 실링홈(146)이 형성되고, 상기 외부 실링홈(146)에는 외부 수밀링(147)이 압입된다. 따라서, 외부 수밀링(147)에 의해 어댑터(140)의 하면과 상기 하부블록(120)의 상면 사이의 수밀도를 강화할 수 있다.
상기 어댑터(140)는 상기 제1 어댑팅 홀(142) 및 제2 어댑팅 홀(145)의 벽면에 제1, 2 내부실링홈(148,149)이 각각 형성되고, 상기 제1, 2 내부 실링홈(148,149)에는 제1, 2 내부 수밀링(148a,149a)이 각각 끼움 결합된다. 따라서, 상기 제1, 2 어댑팅 홀(142,145)의 내주면과 이 제1, 2 어댑팅 홀을 통해 관통 설치되는 센서와의 사이 수밀을 강화할 수 있게 된다.
한편, 도 6은 본 발명에 따른 스페어 포트의 제4 예이다.
도 6에 따르는 스페어 포트는 제1, 2 예와는 달리, 스페어 포트에 밸브나 센서를 설치하지 않을 때는 상부블록(130)이나 어댑터(140)를 대신하여 중앙에 구멍이 뚫려 있지 않은 막힘형의 원판인 차단블록(150)이 설치된 것이다. 이 차단블록(150)은 실린더 홀(14)이 불필요하게 개방됨을 방지하기 위해 설치될 수 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시 예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 내에 있는 것으로 보아야 할 것이다.
10 : 실린더 11 : 반응캠버
12 : 반응물 주입포트 13 : 반응결과물 배출포트
14 : 실린더 홀 100 : 스페어 포트
110 : 베이스 110a : 바닥면
111 : 베이스 홀 112 : 제1 볼트홀
120 : 하부블록 121 : 하부홀
122 : 제1 볼트 삽입홀 123 : 제2 볼트홀
124 : 외부 실링홈 125 : 외부 수밀링
130 : 상부블록 131 : 상부 나사홀
132 : 제2 볼트 삽입홀 133 : 외부 실링홈
134 : 외부 수밀링 140 : 어댑터
141 : 플랜지부 142 : 제1 어댑팅 홀
143 : 제3 볼트 삽입홀 144 : 보스부
145 : 제2 어댑팅 홀 146 : 외부 실링홈
147 : 외부 수밀링 148 : 제1 내부 실링홈
148a : 제1 내부 수밀링 149 : 제2 내부 실링홈
149a : 제2 내부 수밀링 150 : 차단블록

Claims (6)

  1. 내부에 반응챔버(11)를 가지며, 상면에 상기 반응챔버(11)와 연통되는 복수의 실린더 홀(14)이 형성된 반응기용 실린더(10)로서,
    상기 실린더(10)의 일측과 타측에 반응챔버(11)와 연통되는 반응물 주입포트(12) 및 반응 결과물 배출포트(13)가 형성됨을 포함하며;
    상기 반응물 주입포트(12) 및 반응 결과물 배출포트(13) 사이에 다수의 스페어 포트(100)가 형성됨을 더 포함하되,
    상기 스페어 포트(100)는, 상기 각 실린더 홀(14) 상측에 고정 설치되며, 중앙에 상기 각 실린더 홀(14)과 연통되는 수직상의 베이스 홀(111)이 형성되고, 상기 베이스 홀(111)의 주변에는 복수의 제1 볼트홀(112)이 형성된 베이스(110); 상기 베이스(110)의 상부에 적층되며, 중앙에 상기 베이스 홀(111)과 연통되는 수직상의 하부홀(121)이 형성되고, 상기 하부홀(121)의 주변에는 상기 제1 볼트홀(112)과 연통되어 체결볼트(b)의 머리부가 삽입되는 복수의 제1 볼트 삽입홀(122)이 형성되며, 상기 제1 볼트 삽입홀(122)의 사이사이에는 제2 볼트홀(123)이 형성된 하부블록(120); 상기 하부블록(120)의 상부에 적층되며, 중앙에 상기 하부홀(121)과 연통되는 수직상의 상부 나사홀(131)이 형성되고, 상기 상부 나사홀(131)의 주변에는 상기 제2 볼트홀(123)과 연통되어 체결볼트(b)의 머리부가 삽입되는 복수의 제2 볼트 삽입홀(132)이 형성된 상부블록(130)으로 이루어진 것을 더 포함하는 반응기용 실린더.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 하부블록(120)의 바닥면 중 하부홀(121)의 주변과, 상기 상부블록(130)의 바닥면 중 상부 나사홀(131)의 주변에는 환형의 외부 실링홈(124,133)이 각각 형성되고, 상기 외부 실링홈(124,133)에는 외부 수밀링(125,134)이 끼움 설치된 것을 특징으로 하는 반응기용 실린더.
  3. 내부에 반응챔버(11)를 가지며, 상면에 상기 반응챔버(11)와 연통되는 복수의 실린더 홀(14)이 형성된 반응기용 실린더(10)로서,
    상기 실린더(10)의 일측과 타측에 반응챔버(11)와 연통되는 반응물 주입포트 (12) 및 반응결과물 배출포트(13)가 형성됨을 포함하며;
    상기 반응물 주입포트(12) 및 반응결과물 배출포트(13) 사이에 다수의 스페어 포트(100)가 형성됨을 더 포함하되,
    상기 스페어 포트(100)는, 상기 각 실린더 홀(14) 상측에 고정 설치되며, 중앙에 상기 각 실린더 홀(14)과 연통되는 수직상의 베이스 홀(111)이 형성되고, 상기 베이스 홀(111)의 주변에는 복수의 제1 볼트홀(112)이 형성된 베이스(110); 상기 베이스(110)의 상부에 적층되며, 중앙에 상기 베이스 홀(111)과 연통되는 수직상의 하부홀(121)이 형성되고, 상기 하부홀(121)의 주변에는 상기 제1 볼트홀(112)과 연통되어 체결볼트(b)의 머리부가 삽입되는 복수의 제1 볼트 삽입홀(122)이 형성되며, 상기 제1 볼트 삽입홀(122)의 사이사이에는 제2 볼트홀(123)이 형성된 하부블록(120); 상기 하부블록(120)의 상부에 적층되며, 중앙에 상기 하부홀(121)과 연통되는 제1 어댑팅 홀(142)이 형성되고, 상기 제1 어댑팅 홀(142)의 주변에는 상기 제2 볼트홀(123)과 연통되어 체결볼트(b)의 머리부가 삽입되는 복수의 제3 볼트 삽입홀(143)이 형성된 플랜지부(141); 상기 플랜지부(141)의 상면 중앙부에 일체로 형성되며 중앙부에는 상기 제1 어댑팅 홀(142)과 연통되는 제2 어댑팅 홀(145)이 형성된 보스부(144)로 이루어진 어댑터(140);로 구성된 것을 더 포함하는 반응기용 실린더.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 하부블록(120)의 바닥면 중 하부홀(121)의 주변과, 상기 어댑터(140)의 바닥면 중 제1 어댑팅 홀(142)의 주변에는 환형의 외부 실링홈(124,146)이 각각 형성되고, 상기 각 외부 실링홈(124,146)에는 외부 수밀링(125,147)이 끼움 설치된 것을 특징으로 하는 반응기용 실린더.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서,
    상기 제1 어댑팅 홀(142) 및 제2 어댑팅 홀(145)의 벽면에는 제1, 2 내부 실링홈(148,149)이 각각 형성되고, 상기 제1, 2 내부 실링홈(148,149)에는 제1, 2 내부 수밀링(148a,149a)이 각각 끼움 결합된 것을 특징으로 하는 반응기용 실린더.
  6. 제1항 또는 제3항에 있어서,
    상기 베이스(110)의 바닥면(110a)은 상기 실린더(10)의 외주면에 형합되도록 오목한 만곡면을 이루고 있으며, 상기 베이스(110)는 그 바닥면(110a)을 상기 실린더의 상면에 안착시킨 상태에서 용접(w)에 의해 일체화시킨 것을 특징으로 하는 반응기용 실린더.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR940020471A (ko) * 1993-02-26 1994-09-16 제임스 조셉 드롱 반도체 웨이퍼의 처리작동을 위한 열 반응로
KR20090025153A (ko) * 2007-09-05 2009-03-10 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 플라즈마 반응기 챔버에서 웨이퍼 에지 가스 주입부를 갖는캐소드 라이너
KR20100061740A (ko) * 2007-10-10 2010-06-08 마이클 아이자 화학기상증착 반응기 챔버

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