KR101232406B1 - 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법 및 이를 이용한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치 및 그로부터 제조된 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재 - Google Patents

박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법 및 이를 이용한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치 및 그로부터 제조된 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재 Download PDF

Info

Publication number
KR101232406B1
KR101232406B1 KR1020110006775A KR20110006775A KR101232406B1 KR 101232406 B1 KR101232406 B1 KR 101232406B1 KR 1020110006775 A KR1020110006775 A KR 1020110006775A KR 20110006775 A KR20110006775 A KR 20110006775A KR 101232406 B1 KR101232406 B1 KR 101232406B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
magnesium
chamber
thin film
superconducting wire
manufacturing
Prior art date
Application number
KR1020110006775A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20120085448A (ko
Inventor
강원남
조규환
정순길
성원경
정국채
Original Assignee
성균관대학교산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 성균관대학교산학협력단 filed Critical 성균관대학교산학협력단
Priority to KR1020110006775A priority Critical patent/KR101232406B1/ko
Publication of KR20120085448A publication Critical patent/KR20120085448A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101232406B1 publication Critical patent/KR101232406B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing conductors or cables
    • H01B13/0016—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing conductors or cables for heat treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B12/00—Superconductive or hyperconductive conductors, cables, or transmission lines
    • H01B12/02—Superconductive or hyperconductive conductors, cables, or transmission lines characterised by their form
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing conductors or cables
    • H01B13/0003—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing conductors or cables for feeding conductors or cables
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing conductors or cables
    • H01B13/0026—Apparatus for manufacturing conducting or semi-conducting layers, e.g. deposition of metal
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E40/00—Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
    • Y02E40/60—Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
  • Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)

Abstract

본 발명은 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법 및 이를 이용한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치 및 그로부터 제조된 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재에 관한 것으로서, 챔버내에 금속기판을 준비하는 기판준비단계; 상기 챔버내에 마그네슘을 공급하는 마그네슘공급단계; 상기 금속기판 및 상기 마그네슘을 가열하는 가열단계; 상기 챔버내에 붕소가 포함된 가스를 공급하는 가스공급단계; 및 상기 가열된 금속기판상에 상기 마그네슘과 상기 붕소가 반응하여, 마그네슘 보라이드가 증착되는 증착단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 종래와 달리, 완충층을 쌓지 않으면서도, 혼성물리화학증착법과 릴투릴방식을 결합하여, 마그네슘과 붕소, 그리고 도핑물질을 동시에 하나의 공정에서 반응시킴으로써, 단일공정으로 간단하게 초전도 마그네슘 보라이드 장선재를 제조할 수 있으며, 도핑으로 인해 임계자기장 및 임계전류밀도를 현저히 높일 수 있고, 마그네슘 및 금속기판을 연속적으로 공급할 수 있으므로, 제조효율을 현저히 높일 수 있으며, 장선재의 제조가 가능한 장점이 있다.

Description

박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법 및 이를 이용한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치 및 그로부터 제조된 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재 {MANUFACTURING METHOD FOR FILM TYPE MgB2 SUPERCONDUCTING LONG WIRE AND MANUFACTURING APPARATUS OF FILM TYPE MgB2 SUPERCONDUCTING LONG WIRE USING THE METHOD AND FILM TYPE MgB2 SUPERCONDUCTING LONG WIRE PREPARED BY USING THE METHOD}
본 발명은 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법 및 이를 이용한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치 및 그로부터 제조된 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 종래와 달리, 완충층을 쌓지 않고, 혼성물리화학증착법과 릴투릴방식을 결합하여, 마그네슘과 붕소, 그리고 도핑물질을 동시에 하나의 공정에서 반응시킴으로써, 단일공정으로 간단하게 제조가능하면서도, 높은 임계전류밀도를 갖는 등 성능이 우수한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재를 제조할 수 있는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법 및 이를 이용한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치 및 그로부터 제조된 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재에 관한 것이다.
박막형 초전도 선재는 임계온도(Tc) 이하에서 전기저항이 “0”이 되는 초전도 특성을 이용하여 모터, 발전기, 전력 케이블, 에너지저장장치(SMES) 등의 초전도전력기기 뿐만 아니라 MRI, NMR, 초전도핵융합장치, 자기부상열차, 입자가속기 등 수많은 산업, 의학, 그리고 과학 연구 분야 등에 이용 및 응용 가능하다.
일반적으로, 77 K의 액체 질소 보다 높은 온도에서 초전도 현상이 발생하는 YBCO, ReBCO(Re: 희토류계 원소) 등의 구리계산화물 고온 초전도체를 이용한 초전도 선재를 상업화하기 위해 많은 연구가 진행되어 왔다.
그러나, 구리계산화물 고온 초전도체는 4원자 이상의 성분계로 구성되어 매우 복잡한 격자구조를 가지고 있으며, 결정 구조에서 비롯되는 전기적자기적 이방성 및 결정입계에서의 약결합(weak-link) 등의 문제 때문에, 초전도 선재 제조시 다층의 완충층(buffer layer) 증착이 필수적이었다. 이 때문에 다단계 공정이 필요하며, 각각의 공정마다 다른 증착조건의 제어문제로 복잡한 기술까지 요구되기 때문에 제조가 어렵고 제작비용이 비싼 문제가 있었다.
하지만, 2001년 일본의 나가마쓰 그룹(J. Nagamatsu et al., Nature 410, 63(2001,3.1))에서 발견된 마그네슘 보라이드(MgB2) 초전도체는 비록 초전도 전이 온도가 40K로 고온 초전도에 비해 현저히 낮지만, 응용 측면에서 우수한 초전도 특성을 가지기 때문에 초전도 실용화를 위해 이를 초전도 선재로 제조하는 것이 시급하다. 마그네슘 보라이드는 격자구조가 간단하고, 금속성을 가지며, 고온 초전도체가 가지는 이방성 및 약결합 등의 문제가 없기 때문에 다단계 공정을 거치지 않고도 초전도 선재 제조가 가능하다.
이에, 마그네슘 보라이드를 선재로 제조하기 위해 일반적으로 분말 충진법이 사용되고 있는데, 이 방법을 이용하여 만들어진 초전도 선재는 충진율이 낮기 때문에 전류 수송능력을 현저하게 떨어뜨리는 문제가 있다. 이러한 문제를 해결하기 위해 많은 연구가 진행되고 있지만, 분말 충진법의 공정 특성상 근본적으로 이 문제를 해결하기 어려운 단점이 있다.
이러한 충진율 문제해결을 위해 박막형 초전도 선재를 고려할 수 있는데, 이는 박막 제조 방법을 이용하면 충진율이 높은 마그네슘 보라이드 박막 선재를 제조 할 수 있기 때문이다.
그러나, 초전도 박막 증착을 위한 종래의 기술방법으로는, 단시편의 박막만 제조가 가능할 뿐, 장선의 박막형 초전도 선재를 제조할 수 없으며, 선재의 임계전류밀도를 증가시키기 위한 도핑하기 어려운 문제가 있을 뿐만 아니라, 여러개의 챔버를 사용하는 등 다수의 복잡한 공정을 거쳐야 하므로, 경제성 또한 떨어지는 문제가 있었다.
따라서, 초전도 마그네슘 보라이드 선재를 간단한 공정으로 제조하여 경제성을 높일 뿐만 아니라, 그 성능을 개선하면서도, 장선으로 제조할 수 있어, 대형(large scale) 응용 즉, 초전도전력기기인 모터, 발전기, 전력 케이블, 에너지저장장치(SMES), 그리고 의료 산업에서의 자기공명영상(magnetic resonance imaging: MRI) 장치와 과학 산업분야에 사용되는 NMR, 초전도핵융합장치, 입자가속기 등에 쓰이는 고자장을 발생시키기 위한 초전도 자석에 필요한 초전도 선재에 사용될 수 있는 초전도 마그네슘 보라이드 선재의 제조방법 및 제조장치에 대한 개발이 요구되고 있다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 종래와 달리, 완충층을 쌓지 않으면서도, 혼성물리화학증착법과 릴투릴방식을 결합하여, 마그네슘과 붕소, 그리고 도핑물질을 동시에 하나의 공정에서 반응시킴으로써, 단일공정으로 간단하게 초전도 마그네슘 보라이드 장선재를 제조할 수 있는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법 및 이를 이용한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 하나의 챔버안에서, 마그네슘, 붕소, 그리고 도핑물질을 동시에 반응시킬 수 있어, 도핑으로 인해 임계자기장 및 임계전류밀도를 현저히 높일 수 있는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법 및 이를 이용한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
뿐만 아니라, 마그네슘 및 금속기판을 연속적으로 공급할 수 있으므로, 제조효율을 현저히 높일 수 있으며, 장선재의 제조가 가능한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법 및 이를 이용한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 선재제조시 챔버 내부의 압력을 수소가스를 이용하여 효과적으로 제어함으로써, 마그네슘의 강한 휘발성 및 낮은 점성계수의 문제를 해결하여, 우수한 초전도특성을 갖는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재를 단일챔버내에서 단시간에 제조가능한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법 및 이를 이용한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 마그네슘증발용기를 상하좌우로 이동가능하도록 구성함으로써, 기판 근처에서 마그네슘의 부분압력(partial pressure) 및 반응성을 효과적으로 제어할 수 있는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법 및 이를 이용한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법은, 챔버내에 금속기판을 준비하는 기판준비단계; 상기 챔버내에 마그네슘을 공급하는 마그네슘공급단계; 상기 금속기판 및 상기 마그네슘을 가열하는 가열단계; 상기 챔버내에 붕소가 포함된 가스를 공급하는 가스공급단계; 및 상기 가열된 금속기판상에 상기 마그네슘과 상기 붕소가 반응하여, 마그네슘 보라이드가 증착되는 증착단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 가스공급단계에서, 탄소가 포함된 가스를 더 공급하는 것을 특징으로 하며, 상기 탄소가 포함된 가스는 메탄가스인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 기판준비단계에서, 상기 금속기판은 릴투릴 방식에 의해 챔버내로 공급되는 것을 특징으로 하며, 상기 챔버내의 압력은 1 내지 700Torr인 것을 특징으로 하고, 상기 압력은 수소가스를 상기 챔버내로 주입하여 조절하는 것을 특징으로 한다.
상기 기판준비단계에서, 상기 금속기판의 재질은 철, 구리, 니켈, 하스텔로이 또는 스테인레스강인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 마그네슘공급단계에서, 상기 마그네슘은 분말형태이며, 상기 마그네슘 입자의 직경은 0.1 내지 10mm인 것을 특징으로 하며, 상기 마그네슘은 연속적으로 공급되는 것을 특징으로 한다.
상기 가열단계는, 상기 금속기판 및 상기 마그네슘의 온도가 350 내지 950℃가 되도록 가열하는 것을 특징으로 하며, 상기 가열단계는 유도코일을 이용한 자기유도가열방식으로 가열하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가스공급단계에서, 상기 붕소가 포함된 가스는 디보란(B2H6)가스이며, 상기 챔버내의 전체 가스 100중량부에 대하여, 상기 디보란가스는 0.01 내지 10중량부 투입되는 것을 특징으로 하며, 상기 증착단계에서, 증착시간은 10 내지 30분인 것을 특징으로 한다.
다음으로, 본 발명에 따른 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치는, 챔버; 상기 챔버의 양측을 관통하여 형성되며, 금속기판을 연속적으로 공급하는 릴투릴장치; 상기 챔버의 일측을 관통하여 형성되어, 가스를 공급하는 가스공급관; 상기 챔버의 일측을 관통하여 형성되어, 마그네슘을 공급하는 마그네슘공급장치; 및 상기 챔버의 상측 또는 하측 중 적어도 어느 한 쪽에 위치한 제 1가열기;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 챔버의 일측에 형성되어, 압력을 조절하는 압력펌프; 및 상기 금속기판보다 아래에 위치하고, 상기 금속기판과 소정의 간격을 두고 대향 배치되며,상기 마그네슘공급장치에 의해 공급되는 마그네슘을 담는 마그네슘용기; 상기 마그네슘용기의 외측에 위치한 제 2가열기;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 릴루릴장치는, 공급릴과 수거릴을 포함하여 이루어지며, 상기 공급릴은 상기 금속기판을 연속적으로 공급하고, 상기 수거릴은 마그네슘 보라이드가 증착된 금속기판을 연속적으로 수거하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가스공급관은, 붕소가 포함된 가스를 공급하는 제 1가스공급관;과 탄소가 포함된 가스를 공급하는 제 2가스공급관;으로 이루어지는 것을 특징으로 하며, 상기 탄소가 포함된 가스는 메탄가스이고, 상기 붕소가 포함된 가스는 디보란(B2H6)가스이며, 상기 챔버내의 전체 가스 100중량부에 대하여, 상기 디보란가스는 0.01 내지 10중량부 투입되는 것을 특징으로 한다.
상기 마그네슘공급장치는, 피스톤 방식으로 모터를 이용하여 상기 마그네슘을 연속적으로 공급하는 것을 특징으로 하며, 상기 제 1가열기는, 유도코일을 이용한 자기유도가열방식이며, 상기 금속기판의 온도가 350 내지 950℃가 되도록 가열하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 압력펌프는, 로터리 펌프를 사용하며, 수소가스를 상기 챔버내로 주입하여 압력을 조절하는 것을 특징으로 하며, 상기 압력펌프는 상기 챔버내의 압력은 1 내지 700Torr로 조절하는 것을 특징으로 한다.
상기 마그네슘용기는, 상기 마그네슘공급장치와 같이 이동가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하며, 상기 제 2가열기는, 상기 마그네슘용기를 둘러싸는 형태로 위치하며, 상기 마그네슘이 충분히 기화될 수 있도록 가열하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법 및 이를 이용한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치 및 그로부터 제조된 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재에 따르면, 종래와 달리, 완충층을 쌓지 않으면서도, 혼성물리화학증착법과 릴투릴방식을 결합하여, 마그네슘과 붕소, 그리고 도핑물질을 동시에 하나의 공정에서 반응시킴으로써, 단일공정으로 간단하게 초전도 마그네슘 보라이드 장선재를 제조할 수 있는 장점이 있다.
또한, 하나의 챔버안에서, 마그네슘, 붕소, 그리고 도핑물질을 동시에 반응시킬 수 있어, 도핑으로 인해 임계자기장 및 임계전류밀도를 현저히 높일 수 있는 장점이 있다.
뿐만 아니라, 마그네슘 및 금속기판을 연속적으로 공급할 수 있으므로, 제조효율을 현저히 높일 수 있으며, 장선재의 제조가 가능한 장점이 있다.
또한, 선재제조시 챔버 내부의 압력을 수소가스를 이용하여 효과적으로 제어함으로써, 마그네슘의 강한 휘발성 및 낮은 점성계수의 문제를 해결하여, 우수한 초전도특성을 갖는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재를 단일챔버내에서 단시간에 제조할 수 있는 장점이 있다.
또한, 마그네슘증발용기를 상하좌우로 이동가능하도록 구성함으로써, 기판 근처에서 마그네슘의 부분압력 및 반응성을 효과적으로 제어할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법을 순차적으로 나타낸 순서도
도 2는 본 발명에 따른 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치를 나타낸 단면도
도 3은 본 발명인 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법에 따라 제조된 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 단면도
<도면의 주요부분 부호에 대한 설명>
10: 본 발명의 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치
11: 공급릴
12: 수거릴
13: 금속기판
14: 금속기판에 증착된 마그네슘 보라이드
15: 열전대(thermocouple)
16: 제 1가열기
17: 압력펌프
18: 마그네슘공급장치의 모터
19: 마그네슘공급장치의 피스톤 타입의 공급관
20: 제 2가열기
21: 마그네슘용기
23: 마그네슘
24: 챔버
25: 가스공급관
이하, 본 발명에 의한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법 및 이를 이용한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치 및 그로부터 제조된 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재에 대하여 본 발명의 바람직한 하나의 실시형태를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 발명은 하기의 실시예에 의하여 보다 더 잘 이해될 수 있으며, 하기의 실시예는 본 발명의 예시목적을 위한 것이고, 첨부된 특허청구범위에 의하여 한정되는 보호범위를 제한하고자 하는 것은 아니다.
도 1에 나타난 바와 같이, 본 발명에 의한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법은, 기판준비단계(S10), 마그네슘공급단계(S20), 가열단계(S30), 가스공급단계(S40) 및 증착단계(S50)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
먼저, 기판준비단계(S10)는 챔버내에 금속기판을 준비하는 단계이다. 이는 마그네슘 보라이드를 증착시킬 금속기판을 챔버내에 위치시키는 공정이다.
상기 기판준비단계(S10)에서, 상기 금속기판은 챔버내에 위치하여 마그네슘 보라이드가 증착될 수 있으면 무방하나, 릴투릴 방식에 의해 챔버내로 공급되는 것이 보다 바람직하다. 공급릴을 통해 금속기판이 챔버내로 공급되며, 수거릴을 통해, 마그네슘 보라이드가 증착된 금속기판을 챔버밖에서 수거하게 된다.
릴투릴 방식을 적용함으로써, 연속공정으로 마그네슘보라이드 증착공정이 진행될 수 있어 초전도 마그네슘보라이드 선재의 길이를 길게 제조할 수 있으며, 보다 빠른 제조가 가능하고, 경제적인 장점이 있다.
또한, 상기 기판준비단계(S10)에서, 상기 챔버내의 압력은 1 내지 700Torr인 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 50 내지 200Torr인 것이 효과적이다. 보다 바람직하게는 챔버내부의 불순물을 제거하기 위해 10-3Torr 이하의 거의 진공상태를 유지한 후에, 수소가스를 주입하여 압력을 1 내지 700Torr로 조절하는 것이 효과적이다.
상기 최적의 압력범위를 벗어난 경우에는 선재의 제조 반응이 원활하게 이루어지기 어려워 증착효율이 저하되며, 마그네슘 보라이드 선재의 성능 또한 저하되는 문제가 있다.
또한, 마그네슘이 산소와의 반응성이 매우 크기 때문에 산화로 인한 불순물 형성을 없애기 위해, 본 발명에서는 압력조절에 수소가스를 사용하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 기판준비단계(S10)에서, 상기 금속기판의 재질은 금속재질로서 기판으로 사용될 수 있는 것이면 어느 것이든 무방하나, 본 발명에서는 철, 구리, 니켈, 하스텔로이 또는 스테인레스강인 것인 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 하스텔로이를 사용하는 것이 효과적이다.
일반 금속에 비해, 하스텔로이 재질은 릴투릴 공정을 통해 마그네슘보라이드가 기판에 증착이 가장 용이하여, 본 발명에 최적화된 물질이다.
또한, 상기 금속기판은 축배향성(axis-textured), 단결정질(single crystal), 다결정질(polycrystal) 또는 비정질(amorphous) 상태인 것이 바람직하다.
종래에는 금속기판과 초전도층과의 격자상수차이 및 계면간의 반응문제를 해결하기 위해 초전도층 증착전에 완충층(buffer layer)을 증착해야 했으나, 본 발명에서는 단일공정에 의한 증착반응형태의 제조방법으로 이러한 완충층 없이도 양질의 초전도 장선재를 제조할 수 있는 장점이 있다.
다음으로, 마그네슘 공급단계(S20)는 상기 챔버내에 마그네슘을 공급하는 단계이다. 이는 금속기판에 증착될 마그네슘성분을 챔버내로 공급하는 공정이다.
상기 마그네슘공급단계(S20)에서, 상기 마그네슘은 분말형태이며, 상기 마그네슘 입자의 직경은 0.1mm 내지 10mm인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 직경이 1mm 내지 4mm인 것이 효과적이다.
상기 마그네슘은 덩어리 형태로 공급되어도 무방하나, 보다 반응성을 높이고, 경제적이며 효율적으로 증착시키기 위해서는 분말형태이고, 마그네슘 입자의 직경 또한 상기 본 발명에 최적화된 범위로 유지하는 것이 가장 효과적이다.
또한, 상기 마그네슘공급단계(S20)에서, 상기 마그네슘은 연속적으로 공급되는 것이 바람직하다. 본 발명에서는 금속기판이 릴투릴방식으로 연속공급되므로, 마그네슘 또한 연속적으로 공급되어야 하며, 따라서, 모터를 이용한 피스톤방식 등으로 연속적으로 마그네슘을 공급하는 것이 효과적이다.
다음으로, 가열단계(S30)는 상기 금속기판 및 상기 마그네슘을 가열하는 단계이다. 이는 금속기판에 마그네슘이 증착되기 가장 용이한 온도를 맞춰주기 위해 금속기판 및 마그네슘을 가열하는 공정이다.
여기서, 반응성을 극대화하기 위해서는, 기판을 먼저 가열한 후에, 마그네슘을 가열하는 것이 보다 효과적이다.
상기 가열단계(S30)는, 상기 금속기판의 온도가 350 내지 950℃가 되도록 가열하는 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 400 내지 800℃가 되도록 가열하는 것이 효과적이다. 350℃미만인 경우에는 마그네슘이 충분히 증발되지 않으므로, 금속기판에의 증착 또한 용이하지 않은 문제가 있으며, 950℃를 초과하는 경우에는 마그네슘의 휘발성과 낮은 점성으로 인해 증착에 어려움이 있고, 금속기판과 마그네슘이 반응하는 문제가 있을 뿐만 아니라, 경제성 또한 낮은 문제가 있다.
또한, 상기 가열단계(S30)는, 전도, 복사 또는 대류를 이용하여 가열할 수 있으나, 가장 바람직하게는 유도코일을 이용한 자기유도가열방식으로 가열하는 것이 효과적이다. 자기유도가열방식에 의하면, 원하는 부분에 효과적으로 열을 전달할 수 있으므로, 본 발명에서 최적의 반응을 유도하기에 바람직하다.
또한, 상기 가열단계(S30)에서, 가열은 상기 챔버를 둘러싼 유도코일을 이용한 열발생기를 장착함으로써, 가열함이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 마그네슘용기하부에도 열발생기를 장착하여, 보다 정확하게 마그네슘의 부분압력을 제어하는 것이 반응성을 향상시키기 위해 효과적이다.
다음으로, 가스공급단계(S40)는 상기 챔버내에 붕소가 포함된 가스를 공급하는 단계이다. 이는 증착반응을 일으키기 위해 필요한 디보란가스와 도핑을 일으키기 위해 필요한 메탄가스를 공급하는 공정이다.
여기서, 붕소가 포함된 가스는 기판 및 마그네슘의 가열이 충분히 진행된 후에 주입해야 가스의 주입과 동시에 금속기판상에 마그네슘 보라이드가 증착되는 반응이 진행된다.
또한, 상기 가스공급단계(S40)에서, 상기 붕소가 포함된 가스는 붕소가 포함되어 있으면 무방하나, 본 발명의 타 물질과 반응하지 않고 증착효율을 극대화시키기 위해서는 디보란(B2H6)가스를 사용하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 챔버내의 전체 가스 100중량부에 대하여, 상기 디보란가스는 0.01 내지 10중량부 투입되는 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 1 내지 3중량부 투입되는 것이 효과적이다. 0.01중량부 미만인 경우에는 충분한 양의 붕소가 공급되지 않아 마그네슘 보라이드의 충분한 증착반응이 어려운 문제가 있으며, 10중량부를 초과하는 경우에는 과다한 양으로 오히려 증착반응을 방해하여 반응성이 떨어지는 문제가 있다.
상기 디보란가스의 함량은, 제품화되어 있는 수소 95중량%, 디보란5중량%의 다보란가스가 아닌, 실제 순수한 디보란가스의 함량만을 기준으로 챔버내의 전체가스와 대비하여 표시한 것이다.
또한, 상기 가스공급단계(S40)에서, 탄소가 포함된 가스를 더 공급하는 것이 바람직하다. 이는 탄소를 마그네슘 보라이드 선재에 공급함으로써, 도핑을 위한 불순물을 첨가하는 역할을 한다. 결과적으로, 본 발명의 마그네슘 보라이드 선재의 임계전류밀도를 크게 높임으로써, 초전도임계특성을 향상시키는 장점이 있다.
상기 탄소가 포함된 가스는 탄소가 포함되어 있으면 무방하나, 본 발명의 타 물질과 반응하지 않고 증착반응이 용이한 메탄가스를 사용하는 것이 바람직하다. 이 메탄가스는 마그네슘보라이드 증착반응에 같이 포함됨으로써, 한번의 공정으로 도핑불순물 첨가까지 가능하다.
마지막으로, 증착단계(S50)는 상기 가열된 금속기판상에 상기 마그네슘과 상기 붕소가 반응하여, 마그네슘 보라이드가 증착되는 단계이다. 이는 최종적으로 마그네슘 보라이드가 금속기판상에 증착되는 공정이다.
여기서는, 금속기판상에 증발된 마그네슘과 붕소가 반응하여 마그네슘보라이드를 형성하여 금속기판상에 증착된다. 이 과정에서, 상기 메탄가스가 같이 증착됨으로써, 탄소가 마그네슘보라이드 층에 포함되어 도핑을 위한 불순물로써 역할을 한다. 이에, 하나의 챔버에서 한 번의 반응으로 마그네슘보라이드층 형성과 도핑까지 가능한 장점이 있다.
또한, 증착단계(S50)에서, 증착시간은 10 내지 30분인 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 10 내지 20분인 것이 효과적이다. 본 발명에서는 연속공정으로 이루어지게 되믐로, 이는 한번에 증착되는 시간을 의미한다. 10분 미만인 경우에는 충분히 마그네슘보라이드 선재가 형성되기 어려우며, 30분을 초과하는 경우에는 이미 충분히 증착되었으므로, 비경제적인 문제가 있다.
이는 본 발명의 특징중 하나로써, 종래보다 증착시간을 현저히 단축시킨 것이다.
또한, 상기 각 단계는 순차적으로 이루어지는 것이 바람직하다.
다음으로, 도 2에 나타난 바와 같이, 본 발명에 의한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치(10)는, 챔버(24), 릴투릴장치(11,12), 가스공급관(25), 마그네슘공급장치(18,19), 제 1가열기(16), 압력펌프(17), 마그네슘용기(21) 및 제 2가열기(20)를 포함하여 이루어진다.
여기서, 릴투릴장치(11,12)는 상기 챔버(24)의 양측을 관통하여 형성되며, 금속기판을 연속적으로 공급하는 역할을 한다. 이는 공급릴(11)과 수거릴(12)로 구성되며, 상기 공급릴(11)은 상기 금속기판을 연속적으로 공급하는 역할을 하고, 상기 수거릴(12)은 마그네슘 보라이드가 증착된 금속기판을 연속적으로 수거하는 역할을 한다. 다만, 공급릴(11)과 수거릴(12)은 양방향으로 동작가능하므로, 서로 역할이 바뀔 수 있다.
또한, 상기 가스공급관(25)은 상기 챔버(24)의 일측을 관통하여 형성되어, 가스를 공급하는 역할을 한다. 가스투입량 조절이 가능한 가스밸브를 챔버(24) 외부에 설치하고, 챔버(24) 내부로 관을 관통시켜, 관을 통해 가스를 공급하는 형태이다. 상기 가스밸브는 버터플라이 벨브를 사용하는 것이 가장 효과적이다.
가스공급관(25)를 다수 사용하여도 무방하나, 붕소가 포함된 가스를 공급하는 제 1가스공급관;과 탄소가 포함된 가스를 공급하는 제 2가스공급관; 이렇게 2개의 가스공급관(25)으로 이루어지는 것이 더 바람직하다.
제 1가스공급관은 붕소를 공급하기 위함이고, 제 2공급관은 탄소를 공급하기 위함이며, 이는 2개의 가스가 혼합되지 않고 챔버(24)내로 각각 공급하는 역할을 한다.
상기 탄소가 포함된 가스는 메탄가스이고, 상기 붕소가 포함된 가스는 디보란(B2H6)가스이며, 상기 챔버(24)내의 전체 가스 100중량부에 대하여, 상기 디보란가스는 0.01 내지 10중량부 투입되는 것이 바람직하며, 이는 상기 본 발명의 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법에서 설명한 바와 같다.
다음으로, 마그네슘공급장치(18,19)는 상기 챔버(24)의 일측을 관통하여 형성되어, 마그네슘을 공급하는 역할을 한다. 이는 금속기판이 릴투릴방식으로 연속적으로 공급되므로, 마그네슘 또한 이에 맞게 연속적으로 공급하기 위한 장치이다.
마그네슘을 연속적으로 원하는 양을 공급할 수 있으면 어떠한 장치든지 무방하나, 본 발명에서는 모터(18)를 이용하여 피스톤(19) 방식으로 상기 마그네슘을 챔버(24)내의 마그네슘용기(21)로 밀어넣음으로써, 연속적으로 공급하는 것이 가장 바람직하다.
또한, 제 1가열기(16)는 상기 챔버(24)를 둘러싸는 형태로 위치하며, 이는 금속기판을 주로 가열하며, 결과적으로 챔버(24)내의 온도를 제어하는 역할을 한다.
상기 제 1가열기(16)는, 유도코일을 이용한 자기유도가열방식이며, 상기 금속기판의 온도가 350 내지 950℃가 되도록 가열하는 것이 바람직하다. 이에 대한 설명은 상기 본 발명의 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법에 기재된 바와 같다.
다음으로, 상기 압력펌프(17)는 상기 챔버(24)의 일측에 형성되어, 압력을 조절하는 역할을 한다. 이는 챔버(24)내부의 불순물제거를 위해 챔버(24)내의 압력을 10-3Torr이하로 낮춰, 거의 진공상태를 형성한 후, 다시 수소가스를 공급하여 챔버(24)내부 압력을 1 내지 700Torr로 조절하여, 반응성을 향상시키기 위한 장치이다.
여기서, 압력펌프(17)는 로터리 펌프를 사용하는 것이 본 발명의 압력조절에 가장 효과적이며, 챔버(24)내부의 압력은 상기 로터리펌프의 앞쪽에 버터플라이 밸브 등의 압력조절이 가능한 밸브를 이용하여 조절한다. 수소가스는 상기 가스공급관(25)을 이용하여 공급해도 무방하나, 보다 효과적으로 압력을 조절하기 위해서는 압력펌프(17)에 공급관을 설치하여 이를 통해 공급함으로써, 압력펌프(17)와 연동되도록 하여 압력조절하는 것이 효과적이다.
반응과정에 따른 압력조절에 관한 자세한 내용은 상기 본 발명의 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법에서 설명한 바와 같다.
또한, 마그네슘용기(21)는 상기 금속기판보다 아래에 위치하고, 상기 금속기판과 소정의 간격을 두고 대향 배치되며, 상기 마그네슘공급장치(18,19)에 의해 공급되는 마그네슘을 담는 역할을 한다. 이는 마그네슘이 금속기판에 증착되어야 하므로, 필연적으로 금속기판보다는 아래쪽에 위치하는 것이 바람직하며, 일정간격을 두고 배치되는 것이 효과적이다.
또한, 마그네슘용기(21)의 재질은 1000℃정도의 고온에도 반응하지 않는 물질이면 어느 것이든지 무방하다.
또한, 마그네슘용기(21)는, 상기 마그네슘공급장치(18,19)와 같이 이동가능하도록 구성되는 것이 바람직하다. 이동성이 없어도 무방하나, 마그네슘용기(21)가 상하좌우로 이동할 수 있도록 구성되면, 마그네슘의 양, 금속기판과의 거리, 압력 등의 반응조건에 따라, 마그네슘용기(21)의 위치를 조절함으로써, 반응의 효율성을 극대화시킬 수 있는 장점이 있다.
또한, 마그네슘공급장치(18,19)와 연결되어 있으므로, 마그네슘용기(21)이동시에 마그네슘공급장치(18,19) 또한 연동되도록 구성하는 것이 내구성 향상 및 원활한 이동성을 부여하기 위해 바람직하다.
마지막으로, 제 2가열기(20)는 상기 마그네슘용기(21)의 외측에 위치하여, 마그네슘이 충분히 기화되도록 보조하는 역할을 한다. 이는 어떠한 가열방식이든 무방하나, 전도나 복사방식의 가열장치를 사용하는 것이 효과적이다.
또한, 제 1가열기(16)를 통해 챔버(24)내부의 온도를 조절할 수 있으므로, 필수적인 장치는 아니나, 마그네슘의 기화를 세밀하게 제어하여 반응성을 극대화시키기 위해 제 2가열기(20)를 포함하는 것이 효과적이다.
또한, 상기 제 2가열기(20)는, 상기 마그네슘용기(21)를 가열할 수 있으면 어떠한 곳에 위치하든 무방하나, 마그네슘용기(21)을 둘러싸는 형태로 위치하는 것이 가장 효율적이다. 이에 대한 자세한 설명은 상기 본 발명의 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법에 기재된 바와 같다.
본 발명의 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법 및 이를 이용한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치를 사용하여 제조된 마그네슘 보라이드 초전도 장선재는 도 3에 나타난 바와 같다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 다양한 변화와 변경 및 균등물을 사용할 수 있다. 본 발명은 상기 실시예를 적절히 변형하여 동일하게 응용할 수 있음이 명확하다. 따라서 상기 기재 내용은 하기 특허청구범위의 한계에 의해 정해지는 본 발명의 범위를 한정하는 것이 아니다.

Claims (25)

  1. 챔버내에 재질이 철, 구리, 니켈, 하스텔로이 또는 스테인레스강인 금속기판을 준비하는 기판준비단계;
    상기 챔버내에 마그네슘을 공급하는 마그네슘공급단계;
    상기 금속기판 및 상기 마그네슘을 가열하는 가열단계;
    상기 챔버내에 디보란(B2H6)가스 및 메탄가스를 공급하고, 상기 디보란가스는 상기 챔버내의 전체 가스 100중량부에 대하여 0.01 내지 10중량부인 가스공급단계; 및
    상기 가열된 금속기판상에 상기 마그네슘과 상기 디보란가스가 반응하여, 마그네슘 보라이드가 증착되는 증착단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 기판준비단계에서, 상기 금속기판은 릴투릴 방식에 의해 챔버내로 공급되는 것을 특징으로 하는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 기판준비단계에서, 상기 챔버내의 압력은 1 내지 700Torr인 것을 특징으로 하는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 압력은 수소가스를 상기 챔버내로 주입하여 조절하는 것을 특징으로 하는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법
  7. 삭제
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 마그네슘공급단계에서, 상기 마그네슘은 분말형태이며, 상기 마그네슘 입자의 직경은 0.1 내지 10mm인 것을 특징으로 하는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 마그네슘공급단계에서, 상기 마그네슘은 연속적으로 공급되는 것을 특징으로 하는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 가열단계는, 상기 금속기판의 온도가 350 내지 950℃가 되도록 가열하는 것을 특징으로 하는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법
  11. 제 1항에 있어서,
    상기 가열단계는, 유도코일을 이용한 자기유도가열방식으로 가열하는 것을 특징으로 하는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법
  12. 삭제
  13. 제 1항에 있어서,
    상기 증착단계에서, 증착시간은 10 내지 30분인 것을 특징으로 하는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법
  14. 제 1항의 제조방법에 의해 제조된 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재
  15. 챔버;
    상기 챔버의 양측을 관통하여 형성되며, 재질이 철, 구리, 니켈, 하스텔로이 또는 스테인레스강인 금속기판을 연속적으로 공급하는 릴투릴장치;
    상기 챔버의 일측을 관통하여 형성되어, 가스를 공급하는 가스공급관;
    상기 챔버의 일측을 관통하여 형성되어, 마그네슘을 공급하는 마그네슘공급장치; 및
    상기 챔버를 둘러싸는 형태로 위치한 제 1가열기;를 포함하여 이루어지며,
    상기 가스공급관은, 디보란가스를 공급하는 제 1가스공급관;과 메탄가스를 공급하는 제 2가스공급관으로 이루어지고, 상기 디보란가스는 상기 챔버내의 전체가스 100중량부에 대하여 0.01 내지 10중량부 투입되는 것을 특징으로 하는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 챔버의 일측에 형성되어, 압력을 조절하는 압력펌프; 및
    상기 금속기판보다 아래에 위치하고, 상기 금속기판과 소정의 간격을 두고 대향 배치되며, 상기 마그네슘공급장치에 의해 공급되는 마그네슘을 담는 마그네슘용기;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 마그네슘용기의 외측에 위치한 제 2가열기;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치
  18. 제 15항 또는 제 16항에 있어서,
    상기 릴루릴장치는, 공급릴과 수거릴을 포함하여 이루어지며, 상기 공급릴은 상기 금속기판을 연속적으로 공급하고, 상기 수거릴은 마그네슘 보라이드가 증착된 금속기판을 연속적으로 수거하는 것을 특징으로 하는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치
  19. 삭제
  20. 삭제
  21. 제 15항 또는 제 16항에 있어서,
    상기 마그네슘공급장치는, 피스톤 방식으로 모터를 이용하여 상기 마그네슘을 연속적으로 공급하는 것을 특징으로 하는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치
  22. 제 15항 또는 제 16항에 있어서,
    상기 제 1가열기는, 유도코일을 이용한 자기유도가열방식이며, 상기 금속기판의 온도가 350 내지 950℃가 되도록 가열하는 것을 특징으로 하는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치
  23. 제 16항에 있어서,
    상기 압력펌프는, 로터리 펌프를 사용하며, 상기 챔버내로 주입된 수소의 압력을 조절하는 것을 특징으로 하는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치
  24. 제 16항에 있어서,
    상기 압력펌프는 상기 챔버내의 압력은 1 내지 700Torr로 조절하는 것을 특징으로 하는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치
  25. 제 16항에 있어서,
    상기 마그네슘용기는, 상기 마그네슘공급장치와 같이 이동가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치

KR1020110006775A 2011-01-24 2011-01-24 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법 및 이를 이용한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치 및 그로부터 제조된 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재 KR101232406B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110006775A KR101232406B1 (ko) 2011-01-24 2011-01-24 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법 및 이를 이용한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치 및 그로부터 제조된 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110006775A KR101232406B1 (ko) 2011-01-24 2011-01-24 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법 및 이를 이용한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치 및 그로부터 제조된 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120085448A KR20120085448A (ko) 2012-08-01
KR101232406B1 true KR101232406B1 (ko) 2013-02-12

Family

ID=46871676

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110006775A KR101232406B1 (ko) 2011-01-24 2011-01-24 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법 및 이를 이용한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치 및 그로부터 제조된 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101232406B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110544554B (zh) * 2019-08-15 2021-11-16 深圳市华科创智技术有限公司 一种无序共叠透明导电膜及其制备方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20090032606A (ko) * 2007-09-28 2009-04-01 한국전기연구원 박막선재 제조장치
KR20100013594A (ko) * 2008-07-31 2010-02-10 한국원자력연구원 붕화마그네슘 초전도 다심 선재의 제조 방법, 제조 장치 및이에 의해 제조된 붕화마그네슘 초전도 다심 선재

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20090032606A (ko) * 2007-09-28 2009-04-01 한국전기연구원 박막선재 제조장치
KR20100013594A (ko) * 2008-07-31 2010-02-10 한국원자력연구원 붕화마그네슘 초전도 다심 선재의 제조 방법, 제조 장치 및이에 의해 제조된 붕화마그네슘 초전도 다심 선재

Also Published As

Publication number Publication date
KR20120085448A (ko) 2012-08-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Ma et al. Low-temperature synthesis of MgB2 superconductors
CN103526297B (zh) 一种制备拓扑绝缘体Bi2Se3薄膜的方法
CN102884594B (zh) 形成陶瓷线的方法、形成陶瓷线的系统、以及采用其的超导体线
Ranot et al. MgB2 coated superconducting tapes with high critical current densities fabricated by hybrid physical–chemical vapor deposition
Krinitsina et al. MgB 2-Based Superconductors: Structure and Properties
Rafieazad et al. Review on magnesium diboride (MgB2) as excellent superconductor: Effects of the production techniques on the superconducting properties
EP3086328B1 (en) Method for manufacturing mgb2 superconductor
Zhu et al. Study on preparation of Nb3Sn films by bronze route
KR101232406B1 (ko) 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조방법 및 이를 이용한 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재의 제조장치 및 그로부터 제조된 박막형 마그네슘 보라이드 초전도 장선재
JP6208897B2 (ja) 二硼化マグネシウム超電導薄膜線材およびその製造方法
KR101006957B1 (ko) ＭｇＢ2 초전도 막 형성 및 이를 이용한 초전도 선재 제조 방법
Chen et al. A sol–gel method for growing superconducting MgB2 films
CN109019571B (zh) 层数可控氮掺杂石墨烯的制备方法
Yang et al. Rapid Pyrolysis of YBa 2 Cu 3 O 7-δ Films by Fluorine-Free Polymer-Assisted Chemical Solution Deposition Approach
US7090889B2 (en) Boride thin films on silicon
Braginski et al. Progress toward a practical Nb-Ge conductor
RU203742U1 (ru) Аппарат для получения микронных и наноразмерных монокристаллов топологических изоляторов методом физического осаждения из газовой фазы (PVD)
Sharma Practical Magnesium Diboride (MgB2) Superconductor
CN102496680A (zh) 一种碳掺杂的二硼化镁超导带材制备方法
Ryu et al. Superconductivity in Nb 4 M Si (M= Ni, Co, and Fe) with a quasi-two-dimensional Nb network
WO2019198402A1 (ja) 超電導薄膜線材の製造方法、及び製造装置
Cheng et al. Effects of morphology of Mg powder precursor on phase formation and superconducting properties of Mg 11 B 2 low activation superconductor
JP5764404B2 (ja) 超電導線の製造方法
CN105741977B (zh) Cu包覆Mg棒中心扩散法低温制备二硼化镁超导线材的方法
US20150005175A1 (en) Method for manufacturing superconducting wire, and superconducting wire

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160113

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170102

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee