KR101231855B1 - Spin coater - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 큰 사이즈의 시료를 안정적으로 고정하여 코팅할 수 있도록 된 새로운 구조의 스핀코팅기에 관한 것이다.
The present invention relates to a spin coater of a novel structure that can stably fix a large size sample to be coated.
일반적으로, 반도체용 웨이퍼 등과 같은 시료를 코팅할 때 사용되는 스핀코팅기는 도 1에 도시한 바와 같이, 하우징(10)과, 상기 하우징(10)의 내부에 구비되며 상면에 시료(1)가 고정되는 진공척(20)과, 상기 진공척(20)에 연결되어 진공척(20)을 회전시키는 구동모터(30)와, 상기 진공척(20)에 연결되어 진공척(20) 상부의 공기를 배출함으로써 시료(1)가 진공척(20)의 상면에 흡착되도록 하는 진공펌프(40)로 구성된다.In general, as shown in FIG. 1, a spin coater used to coat a sample, such as a semiconductor wafer, is provided in the
상기 하우징(10)은 내부에 공간부가 형성된 박스형태로 구성된 것으로, 하측면에는 상기 구동모터(30)의 구동축(31)이 관통하는 개구부(11)가 형성되며, 상기 개구부(11)의 상측 둘레면에는 코팅액이 개구부(11)를 통해 하부로 유출되지 않도록 하기 위한 단관형상의 격벽(12)이 구비된다.The
상기 진공척(20)은 중앙부에 상하면을 관통하는 배기공(21)이 형성되며 상면에는 상기 배기공(21)과 연결되는 다수개의 오목홈(22)이 동심원을 이루도록 형성된다.The
상기 구동모터(30)는 구동축(31)이 본체(32)의 상하측으로 연장되도록 구성되어 상단이 상기 진공척(20)의 하측면에 고정되며, 구동축(31)의 내부에는 상기 배기공(21)과 연결되는 배기통로(33)가 상하단을 관통하도록 형성된다.The
이때, 상기 구동모터(30)는 도시 안 된 지지프레임에 의해 상기 하우징(10)에 고정된다.At this time, the
상기 진공펌프(40)는 상기 구동축(31)의 하단에 커플러(41)를 통해 연결되어, 구동축(31)의 배기통로(33)와 배기공(21)을 통해 진공척(20) 상부의 공기를 배출할 수 있도록 구성된다.The
따라서, 상기 진공척(20)의 상면에 시료(1)를 올려놓고 상기 진공펌프(40)를 이용하여 진공척(20) 상부의 공기를 배출하면 시료(1)가 진공척(20)의 상면에 흡착고정되며, 상기 구동모터(30)를 구동시켜 진공척(20)을 고속으로 회전시킬 때 시료(1)가 움직이지 않도록 고정된다.Therefore, when the
그리고, 구동모터(30)를 이용하여 진공척(20)과 시료(1)를 회전시킨 상태에서 시료(1)의 상면에 코팅액을 공급하여 코팅액이 원심력에 의해 시료(1)의 상면에 넓게 퍼지도록 하여 코팅을 할 수 있다.Then, the coating liquid is supplied to the upper surface of the
이러한 스핀코팅기는 공개특허 10-2001-0052121호 등을 비롯한 다수의 선행문건에 자세히 나타나 있으므로, 자세한 설명은 생략한다.Such a spin coater is shown in detail in a number of prior documents, including the Patent Publication No. 10-2001-0052121, etc., a detailed description thereof will be omitted.
그런데, 이러한 스핀코팅기는 시료(1)가 진공척(20)의 중앙부에 위치되지 못할 경우, 상기 구동모터(30)에 의해 진공척(20)이 고속회전될 때 시료(1)에 의해 발생되는 중심편차에 의해 진동이 발생되며, 이러한 진공에 의해 시료(1)가 손상되거나 구동모터(30)를 비롯한 스핀코팅기의 각 부분이 손상될 수 있는 문제점이 있었다.However, such a spin coater is generated by the
따라서, 시료(1)를 진공척(20)에 배치할 때 시료(1)가 진공척(20)의 중심부에 위치되도록 하여야 한다.Therefore, when the
그러나, 상기 시료(1)가 진공척(20)에 비해 면적이 클 경우 상기 진공척(20)의 상면에 시료(1)를 올려놓을 때 시료(1)에 의해 진공척(20)의 상면이 가려지게 되므로, 작업자가 시료(1)의 중심부가 진공척(20)의 중심부에 일치되도록 시료(1)를 올려놓기 어려운 문제점이 있었다.However, when the
이러한 문제점을 해결하기 위하여 상기 진공척(20)을 사이즈가 크게 제작하는 것을 고려할 수 있으나, 이러한 경우 진공척(20)의 관성모멘트가 증가되어 진공척(20)을 고속으로 회전시키기 어려운 문제점이 있었다.In order to solve this problem, it may be considered that the size of the
따라서, 지금까지는 매우 큰 시료(1)를 스핀코팅기를 이용하여 코팅하는 것이 현실적으로 불가능하였을 뿐 아니라, 시료(1)의 크기가 달라지면 시료(1)의 사이즈에 맞게 다양한 크기와 형태의 진공척(20)을 별도로 제작하여야 하였으므로 비용이 많이 소요되었다.Therefore, up to now, it is not only practically impossible to coat a very
또한, 상기 시료(1)에 코팅액을 공급할 때, 코팅액이 시료(1)와 진공척(2) 사이의 틈을 통해 배기공(21)로 유입되고, 이와 같이 배기공(21)으로 유입된 코팅액이 상기 진공펌프(40)로 유입되어, 진공펌프(40)에 고장이 발생될 수 있는 문제점이 있었다.In addition, when the coating liquid is supplied to the
또한, 종래의 진공척(20)은 렌즈와 같이 곡면을 갖는 시료(1)나 두께가 두꺼운 유리판과 같이 무게가 많이 나가는 시료(1)를 견고하게 고정하기 어려운 문제점이 있었다.In addition, the
따라서, 이러한 문제점을 해결할 수 있는 새로운 스핀코팅기가 필요하게 되었다.
Therefore, there is a need for a new spin coater that can solve this problem.
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 큰 사이즈의 시료를 안정적으로 고정하여 코팅할 수 있도록 된 새로운 구조의 스핀코팅기를 제공함에 그 목적이 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a spin coater having a new structure capable of stably fixing and coating a large sample size.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 하우징(10)과, 상기 하우징(10)의 내부에 구비되며 상면에 시료(1)가 고정되는 진공척(20)과, 상기 진공척(20)에 연결되어 진공척(20)을 회전시키는 구동모터(30)와, 상기 진공척(20)에 연결되어 진공척(20) 상부의 공기를 배출함으로써 시료(1)가 진공척(20)의 상면에 흡착되도록 하는 진공펌프(40)를 포함하는 스핀코팅기에 있어서, 상기 진공척(20)에 비해 넓은 판형상으로 구성되며 중앙부에는 상기 진공척(20)에 대응되는 관통공(51)이 형성되어, 진공척(20)의 상단 둘레부에 탈착가능하게 결합되는 회전판(50)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀코팅기가 제공된다.The present invention for achieving the above object, the
본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 진공척(20)의 둘레면에는 상기 회전판(50)의 하측면을 지지하는 플랜지부(23)가 구비되며, 상기 회전판(50)은 회전판(50)을 관통하여 상기 플랜지부(23)에 결합되는 고정나사(52)에 의해 상기 진공척(20)에 탈착가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 스핀코팅기가 제공된다.According to another feature of the invention, the circumferential surface of the
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 회전판(50)의 상면에는 상기 관통공(51)을 중심으로 하는 원형을 이루도록 배치된 복수개의 가이드핀(60)이 구비된 것을 특징으로 하는 스핀코팅기가 제공된다.According to another feature of the invention, the upper surface of the rotating
본 고안의 또 다른 특징에 따르면, 상기 가이드핀(60)은 상기 회전판(50)의 상하면을 관통하도록 형성된 나사결합공(53)에 나사결합된 것을 특징으로 하는 스핀코팅기가 제공된다.According to another feature of the present invention, the
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 진공척(20)의 상면은 상기 회전판(50)의 상면에 비해 상측으로 돌출되도록 구성된 것을 특징으로 하는 스핀코팅기가 제공된다.According to another feature of the invention, the upper surface of the
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 진공척(20)의 상단둘레면에 결합되는 오링(70)을 더 포함하며, 상기 오링(70)은 상면이 상기 진공척(20)의 상면에 비해 상측으로 돌출되도록 구성된 것을 특징으로 하는 스핀코팅기가 제공된다.According to another feature of the invention, further comprises an O-
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 가이드핀(60)에 결합되어 상기 진공척(20)의 상면에 고정되는 시료(1)의 둘레면을 고정하는 고정수단(80)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀코팅기가 제공된다.
According to another feature of the invention, it is further characterized in that it further comprises a fixing means (80) coupled to the guide pin (60) to fix the circumferential surface of the sample (1) fixed to the upper surface of the vacuum chuck (20) A spin coater is provided.
본 발명에 따른 스핀코팅기는 진공척(20)의 상단 둘레부에 결합되는 회전판(50)이 구비되어, 진공척(20)에 진공척(20)의 상면면적에 비해 큰 시료(1)를 올려놓을 때 회전판(50)의 둘레부를 기준으로 하여 시료(1)를 올려놓을 수 있다.Spin coating machine according to the present invention is provided with a
따라서, 진공척(20)의 관성모멘트가 증가되는 것을 최소화하면서도 진공척(20)의 상면 면적을 넓히는 효과를 얻어서, 시료(1)를 진공척(20)의 중앙부에 정확히 배치할 수 있으며, 이에 따라, 진공척(20)이 고속회전될 때 시료(1)에 의해 발생되는 중심편차에 의해 진동이 발생되는 것을 방지하고, 이러한 진공에 의해 시료(1)가 손상되거나 구동모터(30)를 비롯한 스핀코팅기의 각 부분이 손상되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.Therefore, while minimizing an increase in the moment of inertia of the
특히, 진공척(20)을 교체하지 않고 진공척(20)에 결합되는 회전판(50)을 교체함으로써 다양한 사이즈의 시료(1)를 고정할 수 있으므로, 다양한 사이즈의 진공척(20)을 제작함에 따른 비용상승을 방지할 수 있는 장점이 있다.
In particular, by replacing the
도 1은 종래의 스핀코팅기를 도시한 측단면 구성도,
도 2는 본 발명에 따른 스핀코팅기를 도시한 측단면구성도,
도 3은 본 발명에 따른 스핀코팅기의 진공척과 회전판을 도시한 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 스핀코팅기의 진공척과 회전판이 분리된 상태를 도시한 분해사시도,
도 5는 본 발명에 따른 스핀코팅기의 진공척과 회전판을 도시한 측단면도,
도 6은 본 발명에 따른 스핀코팅기의 진공척과 회전판이 분리된 상태를 도시한 측단면도,
도 7은 본 발명에 따른 스핀코팅기의 진공척과 회전판의 상면에 시료를 고정한 상태를 도시한 평면도,
도 8은 본 발명에 따른 스핀코팅기의 제2 실시예를 도시한 측단면도,
도 9는 본 발명에 따른 스핀코팅기의 제2 실시예를 도시한 평면도,
도 10은 본 발명에 따른 스핀코팅기의 제2 실시예의 작용을 설명하기 위한 측단면도이다.Figure 1 is a side cross-sectional view showing a conventional spin coater,
Figure 2 is a side cross-sectional view showing a spin coater according to the present invention,
3 is a perspective view showing a vacuum chuck and a rotating plate of a spin coater according to the present invention;
Figure 4 is an exploded perspective view showing a state in which the vacuum chuck and the rotating plate of the spin coater according to the present invention,
Figure 5 is a side cross-sectional view showing a vacuum chuck and a rotating plate of the spin coater according to the present invention,
Figure 6 is a side cross-sectional view showing a state in which the vacuum chuck and the rotating plate of the spin coater according to the present invention,
7 is a plan view illustrating a state in which a sample is fixed to an upper surface of a vacuum chuck and a rotating plate of a spin coater according to the present invention;
8 is a side sectional view showing a second embodiment of a spin coater according to the present invention;
9 is a plan view showing a second embodiment of a spin coater according to the present invention;
10 is a side cross-sectional view for explaining the operation of the second embodiment of the spin coater according to the present invention.
이하, 본 발명을 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2 내지 7은 본 발명에 따른 스핀코팅기를 도시한 것으로, 하우징(10)과, 상기 하우징(10)의 내부에 구비되며 상면에 시료(1)가 고정되는 진공척(20)과, 상기 진공척(20)에 연결되어 진공척(20)을 회전시키는 구동모터(30)와, 상기 진공척(20)에 연결되어 진공척(20) 상부의 공기를 배출함으로써 시료(1)가 진공척(20)의 상면에 흡착되도록 하는 진공펌프(40)를 포함하는 것은 종래의 스핀코팅기와 동일하다.2 to 7 illustrate a spin coater according to the present invention, a
이때, 상기 진공척(20)은 중앙부에 상하면을 관통하는 배기공(21)이 형성되며 상면에는 상기 배기공(21)과 연결되는 다수개의 오목홈(22)이 동심원을 이루도록 형성된다.At this time, the
그리고, 본 발명에 따르면, 상기 진공척(20)에는 회전판(50)이 탈착가능하게 결합된다.And, according to the present invention, the
상기 진공척(20)은 강도가 높은 금속재질 또는 합성수지재질(테프론, 아세탈 등)로 구성되며 두께가 얇은 원형의 디스크형태로 구성된 것으로, 중앙부에는 상기 진공척(20)의 둘레부 지름에 대응되는 관통공(51)이 형성되어, 진공척(20)의 상단 둘레부에 탈착가능하게 결합된다.The
이를 위해, 상기 진공척(20)의 둘레면에는 상기 회전판(50)의 하측면을 지지하는 플랜지부(23)가 구비되며, 상기 회전판(50)은 회전판(50)을 관통하여 상기 플랜지부(23)에 결합되는 고정나사(52)에 의해 상기 진공척(20)에 탈착가능하게 결합된다.To this end, the circumferential surface of the
이때, 상기 진공척(20)은 상면이 상기 회전판(50)의 상면에 비해 상측으로 돌출되어, 회전판(50)과 진공척(20)의 사이에 턱이 형성되도록 구성된다.At this time, the
또한, 상기 고정나사(52)는 상기 관통공(51)을 중심으로 하는 원형을 이루면서 상호 균등한 각도로 이격되도록 결합되어, 고정나사(52)에 의해 무게중심이 변동되는 것을 방지할 수 있도록 구성된다.In addition, the
그리고, 상기 회전판(50)의 상면에는 복수개의 가이드핀(60)이 구비된다.In addition, a plurality of guide pins 60 are provided on the upper surface of the
상기 가이드핀(60)은 상기 회전판(50)의 상면 둘레부에 배치되어 작업자가 상기 진공척(20)에 시료(1)를 올려놓을 때 상기 가이드핀(60)을 기준으로 하여 시료(1)를 진공척(20)의 중심부에 정확하게 올려놓을 수 있도록 하기 위한 것이다.The
이를 위해, 상기 회전판(50)의 상면에는 상기 관통공(51)을 중심으로 하는 원형을 이루도록 배치된 복수개의 나사결합공(53)이 형성되며, 상기 가이드핀(60)은 하단이 상기 나사결합공(53)에 나사결합된다.To this end, a plurality of screw coupling holes 53 are formed on the upper surface of the
이때, 도 7에 도시한 바와 같이, 상기 가이드핀(60)은 시료(1)의 둘레면으로부터 일정간격 이격되어, 상기 진공척(20)에 시료(1)를 고정하였을 때 시료(1)의 둘레부가 가이드핀(60)에 간섭되지 않도록 설치된다.At this time, as shown in Figure 7, the
또한, 상기 가이드핀(60)은 균등한 각도로 이격되도록 배치되어, 상기 회전판(50)의 회전시 균형을 유지할 수 있도록 구성된다.In addition, the
이와 같이 구성된 스핀코팅기는 진공척(20)의 상단 둘레부에 결합되는 회전판(50)이 구비되어, 진공척(20)에 진공척(20)의 상면면적에 비해 큰 시료(1)를 올려놓을 때 회전판(50)의 둘레부를 기준으로 하여 시료(1)를 올려놓을 수 있다.The spin coater configured as described above is provided with a
따라서, 진공척(20)이 회전될 때 발생되는 관성모멘트가 증가되는 것을 최소화하면서도 진공척(20)의 상면 면적을 넓히는 효과를 얻어서, 시료(1)를 진공척(20)의 중앙부에 정확히 배치할 수 있으며, 이에 따라, 진공척(20)이 고속회전될 때 시료(1)에 의해 발생되는 중심편차에 의해 진동이 발생되는 것을 방지하고, 이러한 진동에 의해 시료(1)가 손상되거나 구동모터(30)를 비롯한 스핀코팅기의 각 부분이 손상되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.Therefore, while minimizing the increase of the moment of inertia generated when the
특히, 진공척(20)을 교체하지 않고 진공척(20)에 결합되는 회전판(50)을 교체함으로써 다양한 사이즈의 시료(1)를 고정할 수 있으므로, 다양한 사이즈의 진공척(20)을 제작함에 따른 비용상승을 방지할 수 있는 장점이 있다.In particular, by replacing the
또한, 상기 진공척(20)의 둘레면에는 상기 회전판(50)의 하측면을 지지하는 플랜지부(23)가 구비되며, 상기 회전판(50)은 회전판(50)을 관통하여 상기 플랜지부(23)에 결합되는 고정나사(52)에 의해 상기 진공척(20)에 탈착가능하게 결합되므로, 회전판(50)을 진공척(20)에 견고하게 결합할 수 있는 장점이 있다.In addition, the circumferential surface of the
그리고, 상기 회전판(50)의 상면에는 상기 관통공(51)을 중심으로 하는 원형을 이루도록 배치된 복수개의 가이드핀(60)이 구비되므로, 작업자가 진공척(20)에 시료(1)를 올려놓을 때, 시료(1)가 진공척(20)의 중심에 더욱 정확히 일치되도록 배치할 수 있는 장점이 있다.In addition, since a plurality of guide pins 60 are disposed on the upper surface of the
특히, 상기 가이드핀(60)은 상기 회전판(50)의 상하면을 관통하도록 형성된 나사결합공(53)에 나사결합되므로, 상기 회전판(50)에 나사결합공(53)이 여러개의 동심원을 이루도록 형성하여 작업자가 진공척(20)에 고정되는 시료(1)의 크기에 따라 적절한 나사결합공(53)에 선택적으로 결합할 수 있다.In particular, the
따라서, 시료(1)의 크기에 따라 회전판(50)을 교체하지 않고 상기 가이드핀(60)이 결합되는 위치만을 변경하여 다양한 크기에 대응하여 가이드핀(60)의 위치를 바꿀 수 있으므로, 사용이 더욱 편리한 장점이 있다.Therefore, it is possible to change the position of the
또한, 상기 진공척(20)은 상면이 상기 회전판(50)의 상면에 비해 상측으로 돌출되어, 회전판(50)과 진공척(20)의 사이에 턱이 형성되므로, 진공척(20)에 고정된 시료(1)에 공급된 코팅액이 시료(1)를 따라 하측으로 흘러내릴 때 코팅액이 상기 진공척(20) 상단 둘레의 턱에 걸려 진공척(20)의 둘레면으로 흘러내린다.In addition, since the upper surface of the
따라서, 코팅액이 시료(1)와 진공척(20) 사이의 틈을 통해 배기공(21)으로 유입되어 진공펌프(40)에 고장이 발생되는 것을 방지할 수 있다.Therefore, the coating liquid may be introduced into the
본 실시예의 경우, 상기 가이드핀(60)은 상기 진공척(20)에 고정되는 시료(1)의 둘레면과 간섭되지 않도록 상기 회전판(50)에 고정된 것을 예시하였으나, 상기 가이드핀(60)은 진공척(20)에 고정되는 시료(1)의 둘레면에 밀착되도록 설치될 수 있다.In this embodiment, the
또한, 상기 시료(1)는 사각형으로 구성되고, 상기 가이드핀(60)은 2개씩 쌍을 이루도록 배치된 것을 예시하였으나, 상기 시료(1)의 형태는 다양하게 변경될 수 있으며, 상기 가이드핀(60)의 배치 역시 다양하게 변경될 수 있다.In addition, the sample (1) is composed of a square, the guide pins 60 is illustrated to be arranged in pairs of two, but the shape of the sample (1) can be variously changed, the guide pin ( The arrangement of 60 may also vary.
도 8 내지 도 10은 본 발명에 따른 제2 실시예를 도시한 것으로, 상기 진공척(20)의 상단둘레면에는 오링(70)이 결합된다.8 to 10 show a second embodiment according to the present invention, the O-
상기 오링(70)은 탄성이 있는 합성수지재질의 링형상으로 구성된 것으로, 상면이 상기 진공척(20)의 상면에 비해 상측으로 돌출되도록 구성된다.The O-
따라서, 도 10에 도시한 바와 같이, 상기 시료(1)를 상기 진공척(20)의 상면에 올려놓으면 상기 오링(70)이 시료(1)의 하측면을 견고하게 지지하며, 상기 진공펌프(40)를 이용하여 진공척(20) 상부의 공기를 배출하면, 진공압에 의해 상기 시료(1)가 오링(70)을 가압하면서 진공척(20)의 상면에 견고하게 고정된다.Accordingly, as shown in FIG. 10, when the
또한, 상기 가이드핀(60)에는 상기 진공척(20)의 상면에 고정되는 시료(1)의 둘레면을 고정하는 고정수단(80)이 구비된다.In addition, the
상기 고정수단(80)은 상기 가이드핀(60)의 외부에 끼움결합된 복수개의 링체를 이용한다.The fixing means 80 uses a plurality of ring bodies fitted to the outside of the
상기 링체는 탄성이 있는 합성수지재질로 구성되어, 상기 가이드핀(60)의 외부에 결합하면 자체 탄성에 의해 움직이지 않도록 고정된다.The ring body is composed of a synthetic resin material having elasticity, and is fixed so as not to move by its elasticity when coupled to the outside of the guide pin (60).
따라서, 도 10에 도시한 바와 같이, 상기 시료(1)의 둘레면이 상기 링체의 사이에 끼워지도록 하면, 시료(1)의 둘레면이 견고하게 고정된다.Therefore, as shown in FIG. 10, when the circumferential surface of the
이와 같이 구성된 스핀코팅기는 진공척(20)의 상단 둘레부에 오링(70)이 결합되어 진공척(20)에 올려진 시료(1)가 상기 오링(70)에 의해 지지된다.The spin coater configured as described above has the O-
따라서, 렌즈와 같이 곡면을 갖는 시료(1)나 두께가 두꺼운 유리판과 같이 무게가 많이 나가는 시료(1)를 진공척(20)에 견고하게 고정할 수 있는 장점이 있다.Accordingly, there is an advantage in that the
또한, 상기 가이드핀(60)에는 상기 진공척(20)의 상면에 고정되는 시료(1)의 둘레면을 고정하는 고정수단(80)이 구비되므로, 진공척(20)에 올려진 시료(1)를 더욱 견고하게 고정할 수 있는 장점이 있다.In addition, the
본 실시예의 경우, 상기 고정수단(80)은 상기 가이드핀(60)의 외부에 끼움결합된 링체를 이용하는 것을 예시하였으나, 상기 고정수단(80)은 상기 가이드핀(60)에 상하방향으로 위치조절가능하게 결합되어 상기 시료(1)의 상면이나 하측면을 가압하여 고정할 수 있도록 된 것은 어떠한 것이라도 사용될 수 있다.In the present embodiment, the fixing means 80 is illustrated using a ring body fitted to the outside of the
또한, 상기 오링(70)과 고정수단(80)은 함께 사용되는 것을 예시하였으나, 상기 오링(70)과 고정수단(80)은 각기 별도로 사용될 수 있다.
In addition, although the o-
10. 하우징 20. 진공척
30. 구동모터 40. 진공펌프
50. 회전판 60. 가이드핀
70. 오링 80. 고정수단10.
30. Drive
50. Swivel plate 60.Guide pin
70. O-
Claims (7)
상기 하우징(10)의 내부에 구비되며 상면에 시료(1)가 고정되는 진공척(20)과,
상기 진공척(20)에 연결되어 진공척(20)을 회전시키는 구동모터(30)와,
상기 진공척(20)에 연결되어 진공척(20) 상부의 공기를 배출함으로써 시료(1)가 진공척(20)의 상면에 흡착되도록 하는 진공펌프(40)를 포함하는 스핀코팅기에 있어서,
상기 진공척(20)에 비해 넓은 판형상으로 구성되며 중앙부에는 상기 진공척(20)에 대응되는 관통공(51)이 형성되어 진공척(20)의 상단 둘레부에 탈착가능하게 결합되는 회전판(50)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀코팅기.
The housing 10,
A vacuum chuck 20 provided inside the housing 10 and having a sample 1 fixed to an upper surface thereof;
A driving motor 30 connected to the vacuum chuck 20 to rotate the vacuum chuck 20;
In the spin coating machine comprising a vacuum pump 40 is connected to the vacuum chuck 20 to discharge the air from the upper portion of the vacuum chuck 20 so that the sample 1 is adsorbed on the upper surface of the vacuum chuck 20,
Comprising a wider plate shape than the vacuum chuck 20, the through-hole 51 corresponding to the vacuum chuck 20 is formed in the center portion is a rotating plate detachably coupled to the upper circumference of the vacuum chuck 20 ( 50) further comprising a spin coater.
상기 진공척(20)의 둘레면에는 상기 회전판(50)의 하측면을 지지하는 플랜지부(23)가 구비되며,
상기 회전판(50)은 회전판(50)을 관통하여 상기 플랜지부(23)에 결합되는 고정나사(52)에 의해 상기 진공척(20)에 탈착가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 스핀코팅기.
The method of claim 1,
The peripheral surface of the vacuum chuck 20 is provided with a flange portion 23 for supporting the lower side of the rotating plate 50,
The rotating plate (50) is a spin coater, characterized in that detachably coupled to the vacuum chuck (20) by a fixing screw (52) coupled to the flange portion 23 through the rotating plate (50).
상기 회전판(50)의 상면에는 상기 관통공(51)을 중심으로 하는 원형을 이루도록 배치된 복수개의 가이드핀(60)이 구비된 것을 특징으로 하는 스핀코팅기.
The method of claim 1,
The upper surface of the rotating plate 50 is a spin coater, characterized in that provided with a plurality of guide pins (60) arranged to form a circle around the through hole (51).
상기 가이드핀(60)은 상기 회전판(50)의 상하면을 관통하도록 형성된 나사결합공(53)에 나사결합된 것을 특징으로 하는 스핀코팅기.
The method of claim 3,
The guide pin (60) is a spin coater, characterized in that screwed to the screw coupling hole (53) formed to pass through the upper and lower surfaces of the rotating plate (50).
상기 진공척(20)의 상면은 상기 회전판(50)의 상면에 비해 상측으로 돌출되는 것을 특징으로 하는 스핀코팅기.
The method of claim 1,
The upper surface of the vacuum chuck (20) is a spin coater, characterized in that protruding upward compared to the upper surface of the rotating plate (50).
상기 진공척(20)의 상단둘레면에 결합되는 오링(70)을 더 포함하며,
상기 오링(70)은 상면이 상기 진공척(20)의 상면에 비해 상측으로 돌출되도록 구성된 것을 특징으로 하는 스핀코팅기.
6. The method of claim 5,
O-ring 70 is further coupled to the upper circumferential surface of the vacuum chuck 20,
The O-ring 70 is a spin coater, characterized in that the upper surface is configured to protrude upward compared to the upper surface of the vacuum chuck (20).
상기 가이드핀(60)에 결합되어 상기 진공척(20)의 상면에 고정되는 시료(1)의 둘레면을 고정하는 고정수단(80)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀코팅기.The method of claim 3,
And a fixing means (80) coupled to the guide pin (60) to fix the circumferential surface of the sample (1) fixed to the upper surface of the vacuum chuck (20).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020120106539A KR101231855B1 (en) | 2012-09-25 | 2012-09-25 | Spin coater |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1020120106539A KR101231855B1 (en) | 2012-09-25 | 2012-09-25 | Spin coater |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR101231855B1 true KR101231855B1 (en) | 2013-02-08 |
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ID=47899274
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020120106539A KR101231855B1 (en) | 2012-09-25 | 2012-09-25 | Spin coater |
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| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101231855B1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101523944B1 (en) * | 2014-03-27 | 2015-06-01 | 주식회사에이엠피코리아 | a wafer coating device |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR890004876B1 (en) * | 1987-07-27 | 1989-11-30 | 삼성전자 주식회사 | Testing or mearsuring during treatment of semi-conductor device |
| JPH0697137A (en) * | 1992-09-14 | 1994-04-08 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Substrate cleaning equipment |
| KR101065627B1 (en) | 2011-01-06 | 2011-09-19 | (주)엠앤에스시스템 | Spin coater |
-
2012
- 2012-09-25 KR KR1020120106539A patent/KR101231855B1/en active IP Right Grant
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