KR101226370B1 - 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 목적은 산화막이 상방으로 말려 올라가는 것을 억제함으로써 접합 부재에서의 접합부의 강도의 저하를 방지할 수 있는 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치를 제공하는 것이다. 본 발명에서는, 쇼울더부(6)를 갖는 로터(4)와, 로터(4)의 쇼울더부(6)로부터 돌출하도록 마련되고 또한 로터의 축심(C)과 동심으로 배치된 프로브부(5)를 구비하는 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치(1)에 있어서, 프로브부(5)의 주면에는 프로브부(5)의 선단부(5a)로부터 쇼울더부(6)를 향해 나선형의 홈부(7)가 형성되고, 홈부(7)의 깊이는 프로브부(5)의 선단부(5a)로부터 쇼울더부(6)를 향해 점차 감소하도록 형성된다.

Description

겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치{FRICTION STIR WELDING APPARATUS FOR OVERLAPPED JOINTS}
본 발명은 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치에 관한 것으로서, 더 구체적으로 금속재로 이루어진 2개의 접합 부재를 겹침 접합할 때 사용되는 마찰 교반 접합 장치에 관한 것이다.
종래부터, 2개의 접합 부재를 겹쳐 접합하기 위한 장치로서 다양한 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치가 제안되고 있다(예를 들어, 특허문헌 1 및 특허문헌 2 참조).
도 8은 종래의 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치의 예를 도시한다. 도 8에 도시된 바와 같이, 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치(21)는 한 쌍의 접합 부재(22, 23)를 겹쳐 접합한다. 장치(21)는 쇼울더부(25)를 갖는 로터(24), 및 쇼울더부(25)로부터 돌출하도록 마련된 원통형 프로브(probe)(26)를 포함한다. 프로브(26)는 직경이 로터(24)의 직경보다 작도록 형성되고, 로터(24)의 축심(C)과 동심(同心)으로 배치된다.
한 쌍의 부재(22, 23)가 겹쳐 접합될 때, 로터(24)를 로터(24)의 축심(C)을 중심으로 화살표(R) 방향으로 회전시키면서, 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치(21)는 겹쳐진 부재(22, 23) 중 상부 접합 부재(22)의 표면에 대해 가압되어 소정의 접합선(도시되지 않음)을 따라 이동하게 된다. 이때, 프로브의 주위의 접합 부재(22, 23)가 연화되고, 연화된 부재(22, 23)가 교반 및 소성 유동한다. 이것에 의해, 소정의 접합선을 따라서 접합부(27)가 형성된다.
도 9는 종래의 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치를 사용하여 형성된 접합부의 현미경 사진이다. 도 9b 내지 도 9d에 도시된 바와 같이, 종래의 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치(21)에서, 프로브(26)의 주위의 연화된 접합 부재(22, 23)가 상하방향으로 유동하는 것이 어렵고, 프로브(26)의 선단부(26a)의 주위에서 보이드 결함(void defect)이 생기기 쉽다고 하는 문제가 있었다.
한편, 종래 기술에서는, 이러한 보이드 결함의 문제를 해결하기 위한 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치도 제안되었다.
도 10은 종래의 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치의 다른 예를 도시한다. 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치(31)에서는, 도 10에 도시된 바와 같이, 프로브(36)의 주면(周面)에 프로브(36)의 선단부(36a)로부터 로터(34)의 쇼울더부(35)까지 나선형 홈(37)이 형성되어 있다.
이와 같은 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치에서는, 도 10에 도시된 바와 같이, 프로브(36)의 주위의 연화된 접합 부재(32, 33)가 나선형 홈(37) 때문에 상하방향으로 유동하고, 이것에 의해 프로브(36)의 선단부(36a)의 주위에서 보이드 결함이 생기는 것을 방지할 수 있다.
일본 공개 특허 공보 제 2002-35962 호 일본 공개 특허 공보 제 2002-35964 호
그러나, 전술한 구성에서는, 접합 부재(32, 33) 사이의 경계면(38) 부근에서의 접합 부재(32, 33)의 상하방향 유동이 증가하여, 도 10에 도시된 바와 같이 연화된 접합 부재가 하방으로 유동한 후에 상방으로 말려 올라가도록 유동한다. 그 결과, 도 11에 도시된 바와 같이, 접합 부재(32, 33) 사이의 경계면(38)에 있는 산화막이 상방으로 말려 올라간 상태로 잔존하게 된다.
접합력이 약한 개소인 산화막이 상방으로 말려 올라간 상태로 잔존하면, 도 12에 도시된 바와 같이, 상부 부재(32)의 실제 판두께(t1)가 그것의 원래 판두께(t0)보다 얇아지게 되고, 이것에 의해 접합 부재(32, 33)에서의 접합 강도가 감소해 버린다. 예를 들어, 도 12에 도시된 바와 같이, 부재(32, 33) 사이의 경계면(38)에 평행하고 또한 서로 반대 방향(인장 전단 방향)의 힘이 작용한 경우, 잔존한 산화막(39)에 균열이 생기는 경향이 있는 문제가 있었다.
본 발명은 전술한 실정을 감안하여 이루어진 것으로서, 산화막이 상방으로 말려 올라가는 것을 억제함으로써 한 쌍의 접합 부재 사이의 접합 강도의 저하를 방지할 수 있는 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
종래 기술의 전술한 문제를 해결하기 위해, 본 발명은 쇼울더부를 갖는 로터와, 상기 로터의 쇼울더부로부터 돌출하도록 마련되고 또한 상기 로터의 축심과 동심형상으로 배치된 프로브부를 구비하는 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치에 있어서, 상기 프로브부의 주면에는 상기 프로브부의 선단부로부터 상기 쇼울더부를 향해 나선형의 홈부가 형성되고, 상기 홈부의 깊이는 상기 프로브부의 선단부로부터 상기 쇼울더부를 향해 점차 감소하도록 형성된다.
본 발명에 따르면, 상기 나선형의 홈부는 상기 프로브부가 겹쳐진 한 쌍의 접합 부재에 삽입된 상태에서 상기 프로브부의 선단부로부터 상기 한 쌍의 접합 부재의 겹침면을 넘어서는 위치까지 연장한다.
본 발명에 따르면, 상기 프로브부의 주면에는, 상기 프로브부의 축심의 방향을 따라서 상기 프로브부의 선단부로부터 연장하는 채널-형상 홈이 마련된다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 채널-형상 홈은 상기 프로브부가 겹쳐진 상기 한 쌍의 접합 부재에 삽입된 상태에서 상기 프로브부의 선단부로부터 상기 한 쌍의 접합 부재의 겹침면을 넘어서는 위치까지 연장한다.
본 발명은 쇼울더부를 갖는 로터와, 로터의 쇼울더부로부터 돌출하도록 마련되고 또한 로터의 축심과 동심형상으로 배치된 프로브부를 구비하는 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치에 있어서, 프로브부의 주면에는 프로브부의 선단부로부터 쇼울더부를 향해 나선형의 홈부가 형성되고, 홈부의 깊이는 프로브부의 선단부로부터 쇼울더부를 향해 점차 감소하도록 형성되기 때문에, 나선형의 홈부 때문에 생기는 접합 부재의 상하방향의 유동이 쇼울더부를 향해 점차 감소한다. 이것에 의해, 접합 부재 사이의 경계면 부근에서의 접합부의 상하방향의 유동이 나선형의 홈부가 마련된 도 10의 종래 기술에 비해서 작기 때문에, 접합 부재 사이의 경계면에 있는 산화막이 상방으로 말려 올라간 상태로 잔존하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 한 쌍의 접합 부재에서의 접합부의 강도가 저하하는 일이 없다.
본 발명의 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치에 따르면, 나선형의 홈부는 프로브부가 겹쳐진 한 쌍의 접합 부재에 삽입된 상태에서 프로브부의 선단부로부터 한 쌍의 접합 부재의 겹침면을 넘어서는 위치까지 연장하기 때문에, 접합 부재의 경계면 부근의 접합 부재의 상하방향의 유동이 접합 부재 사이의 경계면에 있는 산화막이 상방으로 말려 올라가지 않을 정도로 억제된다. 따라서, 접합 부재의 상하방향의 유동에 의해 프로브부의 선단부 부근에 보이드 결함이 생기는 것을 방지할 수 있고, 또한 접합 부재 사이의 경계면에 있는 산화막이 상방으로 말려 올라가는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치에 따르면, 프로브부의 주면에는, 프로브부의 축심의 방향을 따라서 프로브부의 선단부로부터 연장하는 채널-형상 홈이 마련되기 때문에, 로터를 회전시키면, 프로브부의 주면의 요철 형상에 의해 프로브부의 주위의 접합 부재에 대해 수평방향(프로브부의 축심에 대해 직교하는 방향)의 유동을 생기게 하는 것이 가능하다. 이때, 나선형의 홈부로 인해 생기는 접합 부재의 상하방향의 유동이 억제되기 때문에, 접합 부재 사이의 경계면에 있는 산화막이 상방으로 말려 올라가는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치에 따르면, 채널-형상 홈은 프로브부가 겹쳐진 한 쌍의 접합 부재에 삽입된 상태에서 프로브부의 선단부로부터 한 쌍의 접합 부재의 겹침면을 넘어서는 위치까지 연장하기 때문에, 접합 부재 사이의 경계면 부근의 수평방향 유동이 커지게 되고, 접합 부재 사이의 경계면 부근에서의 상하방향의 유동을 더 효과적으로 억제할 수 있다. 이것에 의해, 접합 부재 사이의 경계면에 있는 산화막이 상방으로 말려 올라가는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치의 측면도,
도 2는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치의 프로브부의 확대 측면도,
도 3은 바닥으로부터 본 도 1의 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치를 나타내는 도면,
도 4는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치의 측면도,
도 5는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치의 프로브부의 확대 측면도,
도 6은 바닥으로부터 본 도 4의 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치를 나타내는 도면,
도 7은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치를 사용하여 형성된 접합부의 현미경 사진(배율:5배),
도 8은 종래의 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치의 측면도,
도 9는 도 8의 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치를 사용하여 형성된 접합부의 현미경 사진으로서, 도 9a는 접합부 전체를 보여주는 현미경 사진이고(배율:6배), 도 9b 내지 도 9d는 프로브부의 선단부 부근에 생긴 보이드 결함을 보여주는 확대 현미경 사진(배율:400배),
도 10은 종래의 다른 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치의 측면도,
도 11은 도 10의 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치를 사용하여 형성된 접합부의 현미경 사진으로서, 도 11a는 접합부 전체를 보여주는 현미경 사진이고(배율:6배), 도 11b는 전진측의 산화막의 상방으로 말려 올라감을 보여주는 현미경 사진이며(배율:25배), 도 11c는 후퇴측의 산화막의 상방으로 말려 올라감을 보여주는 현미경 사진(배율:25배),
도 12는 도 10의 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치를 사용하여 형성된 접합부의 단면도.
제 1 실시형태
본 발명의 제 1 실시형태에 따른 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치가 첨부 도면을 참조하여 아래에 설명된다. 도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치의 측면도이고, 도 2는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치의 프로브부의 확대 측면도이며, 도 3은 바닥으로부터 본 도 1의 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치를 나타내는 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 제 1 실시형태의 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치(1)는 한 쌍의 접합 부재(2, 3)를 겹침 접합하는 것이고, 원통형 로터(4) 및 로터(4)로부터 돌출하도록 마련된 원통형 프로브부(5)를 구비하고 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 로터(4)는 한 쌍의 접합 부재(2, 3) 중 상부 접합 부재(2)의 표면과 접촉하는 쇼울더부(6)를 구비하고 있고, 축심(C)을 중심으로 화살표(R) 방향으로 회전하도록 구성되어 있다. 프로브부(5)는 직경이 로터(4)의 직경보다 작도록 형성되고, 로터(4)의 축심(C)과 동심형상으로 배치된다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 프로브부(5)의 주면(周面)에 프로브부(5)의 선단부(5a)로부터 쇼울더부(6)를 향해 나선형의 홈부(7)가 형성된다. 도 2에 도시된 바와 같이, 나선형의 홈부(7)는 단면이 V-형상의 왼나사로서 구성되어 있다. 또한, 나선형의 홈부(7)는 프로브부(5)가 겹쳐진 한 쌍의 부재(2, 3) 안에 삽입된 상태에서 프로브부(5)의 선단부(5a)로부터 한 쌍의 접합 부재(2, 3) 사이의 경계면(겹침면)(8)을 넘어서 쇼울더부(6)의 위치까지 연장한다.
제 1 실시형태에서, 도 2에 도시된 바와 같이, 나선형의 홈부(7)의 깊이는 프로브부(5)의 선단부(5a)로부터 쇼울더부(6)를 향해 점차 감소하도록 형성된다. 이렇게 함으로써, 제 1 실시형태에서는, 나선형의 홈부(7) 때문에 생기는 접합 부재(2, 3)의 상하방향의 유동이 쇼울더부(6)를 향해 점차 감소한다.
다음에, 제 1 실시형태의 마찰 교반 접합 장치(1)를 사용하여 한 쌍의 접합 부재(2, 3)를 접합하는 순서가 설명될 것이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 먼저 한 쌍의 접합 부재(2, 3)를 겹치고, 로터(4)를 회전시키면서 마찰 교반 접합 장치(1)를 상부의 접합 부재(2)의 표면에 대해 가압한다. 이때, 본 실시형태에서는, 로터는 화살표(R) 방향으로 회전시킨다.
그 다음에, 로터(4)의 쇼울더부(6)가 상부 부재의 표면과 접촉하는 위치까지 로터(4)를 밀어 넣고, 그 상태에서 로터(4)를 소정의 접합선(도시되지 않음)을 따라서 이동시킨다. 이렇게 함으로써, 프로브부(5)의 주위의 연화된 접합 부재(2, 3)가 교반 및 소성 유동되고, 그 결과 접합부(9)가 형성된다.
제 1 실시형태의 마찰 교반 접합 장치(1)에 따르면, 쇼울더부(6)를 갖는 로터(4)와, 로터(4)의 쇼울더부(6)로부터 돌출하도록 또한 로터의 축심과 동심형상으로 배치되도록 마련된 프로브부(5)를 구비하고 있는 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치에서, 프로브부(5)의 주면에 프로브부(5)의 선단부(5a)로부터 쇼울더부(6)까지 나선형의 홈부(7)가 형성되고, 홈부(7)의 깊이가 프로브부(5)의 선단부(5a)로부터 쇼울더부(6)를 향해 점차 감소하도록 형성되기 때문에, 쇼울더부(6)에 더 가까울수록, 나선형의 홈부(7) 때문에 생기는 접합 부재(2, 3)의 상하방향의 유동이 작아진다. 즉, 접합 부재(2, 3)의 상하방향의 유동에 의해 프로브부(5)의 선단부(5a) 부근에 보이드 결함이 생기는 것을 방지할 뿐만 아니라, 부재(2, 3) 사이의 경계면(8)에 있는 산화막이 상방으로 말려 올라가는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 접합 부재(2, 3)에서의 접합부(9)의 강도가 저하하는 일이 없다.
제 2 실시형태
본 발명의 제 2 실시형태에 따른 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치가 첨부 도면을 참조하여 아래에 설명된다. 도 4는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치의 측면도이고, 도 5는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치의 프로브부의 확대 측면도이며, 도 6은 바닥으로부터 본 도 4의 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치를 나타내는 도면이다. 전술한 실시형태에서 설명한 것과 동일한 부분에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하고 중복 설명을 생략한다.
제 2 실시형태에서는, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 프로브부(5)의 주면에는, 프로브부(5)의 축심(C)의 방향을 따라서 프로브부(5)의 선단부(5a)로부터 쇼울더부(6)를 향해 연장하는 3개의 채널 형상 홈(10)이 마련된다.
도 5에 도시된 바와 같이, 쇼울더부측의 3개의 채널 형상 홈(10)의 단부는 측면에서 보았을 때 원호 형상이 되도록 형성된다. 또한, 도 6에 도시된 바와 같이, 3개의 채널 형상 홈(10)은 단면이 원호의 형상이 되도록 형성되며, 프로브부(5)의 둘레 방향에 균일 간격으로 각각 배치된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 채널 형상 홈(10)은 프로브부(5)가 겹쳐진 한 쌍의 부재(2, 3)에 삽입된 상태에서 프로브부(5)의 선단부(5a)로부터 한 쌍의 접합 부재(2, 3)의 경계면(8)을 넘어서는 위치까지 연장한다. 또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 채널 형상 홈(10)은 쇼울더부측 단부(10a)가 쇼울더부(6)로부터 소정의 거리(h)(예를 들어, 0.2mm)만큼 이격되도록 형성된다.
이상의 구성으로부터, 제 2 실시형태에서는 도 4에 도시된 바와 같이 로터(4)를 회전시키면, 프로브부(5)의 주면의 요철 형상에 의해 프로브부(5)의 주위의 접합 부재(2, 3)에 대해 수평방향[프로브부(5)의 축심(C)에 대해 직교하는 방향]의 유동을 생기게 하는 것이 가능하다. 이때, 접합 부재(2, 3)의 이 수평방향 유동에 의해, 나선형의 홈부(7)로 인해 생기는 접합 부재의 상하방향의 유동을 억제하는 것이 가능하다.
도 7은 제 2 실시형태에 따른 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치(1)를 사용하여 형성된 접합부(9)의 현미경 사진을 도시한다.
도 7에 도시된 바와 같이, 제 2 실시형태에서는, 나선형의 홈부(7) 때문에 생기는 상하방향의 유동이 수평방향 유동에 의해 억제되기 때문에, 접합 부재 사이의 경계면에 있는 산화막이 상방으로 말려 올라가는 일이 없이 접합부가 형성된다.
제 2 실시형태의 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치(1)에 의하면, 프로브부(5)의 주면에는 프로브부(5)의 축심의 방향을 따라서 프로브부(5)의 선단부(5a)로부터 연장하는 채널 형상 홈(10)이 마련되어 있기 때문에, 로터(4)를 회전시키면, 프로브부(5)의 주면의 요철 형상에 의해 프로브부(5)의 주위의 접합 부재(2, 3)에 대해 수평방향의 유동을 생기게 하는 것이 가능하다. 이때, 나선형의 홈부(7) 때문에 생기는 접합 부재(2, 3)의 상하방향의 유동이 부재(2, 3)의 이 수평방향 유동에 의해 억제되기 때문에, 접합 부재(2, 3) 사이의 경계면(8)에 있는 산화막이 상방으로 말려 올라가는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
또한, 제 2 실시형태의 마찰 교반 접합 장치(1)에 의하면, 채널 형상 홈(10)은 프로브부(5)가 겹쳐진 한 쌍의 접합 부재(2, 3)에 삽입된 상태에서 프로브부(5)의 선단부(5a)로부터 접합 부재(2, 3) 사이의 경계면(8)을 넘어서는 위치까지 연장하고 있기 때문에, 접합 부재(2, 3) 부근의 수평방향 유동이 더 커지게 되어, 접합 부재(2, 3) 사이의 경계면(8) 부근에서의 상하방향의 유동을 더 효과적으로 억제할 수 있다. 이것에 의해, 산화막이 상방으로 말려 올라가는 것을 더 효과적으로 방지할 수 있다.
이상 본 발명이 실시형태에 관해서 설명되었지만, 본 발명은 실시형태의 설명으로 한정되지 않으며, 본 발명의 기술 사상에 기초하여 다양한 변형 및 변경이 가능하다.
비록 전술한 제 1 및 제 2 실시형태에서, 나선형의 홈부(7)는 단면이 V 형상이도록 형성되었지만, 단면은 원호 형상 또는 직사각형 형상과 같은 다른 형상일 수 있다.
또한, 비록 전술한 제 2 실시형태에서 프로브부(5)의 주면에 3개의 채널 형상 홈(10)이 형성되었지만, 채널 형상 홈(10)의 개수는 3개로 한정되지 않으며, 프로브부(5)의 주면에 적어도 하나가 마련되어 있으면 좋다.
또한, 전술한 제 2 실시형태에서 채널 형상 홈의 단면이 원호 형상이었지만, V 형상 또는 직사각형 형상과 같은 다른 형상일 수 있다.
1 : 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치 2, 3 : 접합 부재
4 : 로터 5 : 프로브부
5a : 프로브부의 선단부 6 : 쇼울더부
7 : 나선형의 홈부
8 : 접합 부재 사이의 경계면 9 : 접합부
10 : 채널 형상 홈
21, 31 : (종래의) 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치
22, 23, 32, 33 : (종래의) 접합 부재
24, 34 : (종래의) 로터 25, 35 : (종래의) 쇼울더부
26, 36 : (종래의) 프로브 27 : (종래의) 접합부
37 : (종래의) 홈 38 : (종래의) 경계면
39 : (종래의) 산화막 C : 로터 축심
R : 로터의 회전 방향 AS : 전진측
RS : 후퇴측

Claims (4)

  1. 축심과 쇼울더부를 갖는 로터와, 상기 로터의 쇼울더부로부터 돌출하도록 마련되고, 또한 상기 로터의 상기 축심과 동심형상으로 배치된 프로브부를 구비하는 겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치에 있어서,
    상기 프로브부의 주면(周面)에는 상기 프로브부의 선단부로부터 상기 쇼울더부를 향해 나선형의 홈부가 형성되어 있고, 상기 나선형의 홈부는 상기 프로브부가 겹쳐진 한 쌍의 접합 부재에 삽입한 상태에서 상기 프로브부의 선단부로부터 상기 한 쌍의 접합 부재의 겹침면을 넘어서는 위치까지 연장하는 동시에, 상기 홈부의 산(山)부분의 외경이 상기 프로브부의 선단부로부터 상기 쇼울더부를 향해서 점차 감소하도록 형성되어 있고, 상기 나선형의 홈부의 홈의 깊이가 상기 프로브부의 선단부로부터 상기 쇼울더부를 향해 점차 감소하도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는
    겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로브부의 주면에는, 상기 프로브부의 축심의 방향을 따라서 상기 프로브부의 선단부로부터 연장하는 채널 형상 홈이 마련되는
    겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 채널 형상 홈은 상기 프로브부가 겹쳐진 상기 한 쌍의 접합 부재에 삽입된 상태에서 상기 프로브부의 선단부로부터 상기 한 쌍의 접합 부재의 겹침면을 넘어서는 위치까지 연장하는
    겹침 접합용 마찰 교반 접합 장치.
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