KR101218561B1 - 세정액 공급 모듈 - Google Patents

세정액 공급 모듈 Download PDF

Info

Publication number
KR101218561B1
KR101218561B1 KR1020120065014A KR20120065014A KR101218561B1 KR 101218561 B1 KR101218561 B1 KR 101218561B1 KR 1020120065014 A KR1020120065014 A KR 1020120065014A KR 20120065014 A KR20120065014 A KR 20120065014A KR 101218561 B1 KR101218561 B1 KR 101218561B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
unit
nozzle
cleaning liquid
pipe
main pipe
Prior art date
Application number
KR1020120065014A
Other languages
English (en)
Inventor
김양기
Original Assignee
주식회사 대진트라텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 대진트라텍 filed Critical 주식회사 대진트라텍
Priority to KR1020120065014A priority Critical patent/KR101218561B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101218561B1 publication Critical patent/KR101218561B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/14—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means with multiple outlet openings; with strainers in or outside the outlet opening
    • B05B1/20—Arrangements of several outlets along elongated bodies, e.g. perforated pipes or troughs, e.g. spray booms; Outlet elements therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B13/00—Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00
    • B05B13/02—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work
    • B05B13/0278—Arrangement or mounting of spray heads
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

본 발명은 평판 디스플레이 세정 장치에 사용되는 세정액 분사 모듈에 관한 것으로서, 노즐공을 형성하기 위해 노즐 파이프 외주면을 용이하게 드릴 가공할 수 있고, 탈부착이 용이한 세정액 분사 모듈을 제공하여 세정액 분사 모듈의 교체시 소요되는 시간과 비용을 줄일 수 있도록 한다.

Description

세정액 공급 모듈{MODULE FOR SUPPLYING CLEANING LIQUID}
본 발명은 평판 디스플레이 세정 장치에 사용되는 세정액 분사 모듈에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이(FPD, Flat Pannel Display)란 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)을 대체하기 위해 개발된 표시장치로서, LCD(Liquid Crystal Display)나 PDP(Plasma Display Pannel)를 비롯하여 다양한 디스플레이를 포함한다.
평판 디스플레이의 고집적화가 진행될수록, 제조 공정 중에서 발생하는 오염을 제어하는 일이 제조 수율 및 제품의 품질 관리를 위해서 매우 중요하다. 이에 따라, 평판 디스플레이의 제조에 사용되는 기판은 그 위의 이물질 및 입자들을 제거하는 세정 공정을 필수로 요구한다.
이러한 세정 공정에서는 세정액의 분사작용에 의한 세정장치에 의해 세정이 이루어지는 것이 일반적이다.
구체적으로, 세정액 분사에 의한 세정장치는 기판의 표면에 부착된 이물질을 세정액을 분사하여 제거하는 것으로서, 기판 세정을 위한 세정액 분사 노즐이 기판 이송 구간내에 설치되어 기판이 노즐 설치 영역을 통과할 때 세정액을 일정한 압력으로 분사하여 기판 표면의 이물질을 제거한다.
세정장치에 사용되는 노즐 파이프는 환상(環狀)의 형태로 이루어지는 것이 일반적이다.
노즐 파이프에 노즐을 설치하기 위하여는 노즐 파이프 외부에 노즐공을 형성하여야 하는데, 노즐 파이프의 외관이 환형인 경우 노즐공 형성을 위한 드릴가공이 용이하지 않다.
또한, 세정액을 패널에 공급하기 위한 노즐 파이프가 세정액 저장부에 연결되어 세정액이 흐르는 공간을 제공하는 메인 파이프에 일체화되어 있거나 볼트 결합에 의해 결합되어 있는 경우, 복수의 노즐 파이프중 일부가 파손된 경우 그 교체에 과다한 비용과 시간이 소요되어 만족할 만한 세정장치의 효율성을 기대하기 어렵다.
본 발명의 목적은, 노즐 파이프 외주면에 평탄부를 마련하여 노즐이 결합되는 노즐공을 용이하게 가공할 수 있는 평판 디스플레이 세정 장치에 사용되는 세정액 분사 모듈을 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 메인 파이프에서 노즐 파이프의 탈,부착이 용이하도록 하는 결합 유닛을 포함하는 평판 디스플레이 세정 장치에 사용되는 세정액 분사 모듈을 제공함에 있다.
세정액이 흐르는 공간을 제공하는 메인 파이프와, 상기 메인 파이프와 노즐 파이프를 연결하는 연결 유닛을 포함하고, 상기 노즐 파이프는 일단부가 상기 연결 유닛에 연결되어 상기 메인 파이프로부터 상기 세정액을 공급받아 기판으로 상기 세정액을 공급하고 타단부는 밀폐되며, 상기 기판 배치 방향으로 복수의 노즐공이 마련된 평탄부를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정액 공급 모듈을 제공한다.
상기 연결 유닛은 내주면에 적어도 하나의 돌출부에 의해 형성된 결합홈을 갖는 암유닛과, 상기 결합홈에 삽입되어 회전체결 되는 결합돌기를 갖는 수유닛을 포함할 수 있다.
이때, 상기 수유닛의 결합돌기 단부에서 길이 방향으로 연장된 제 1회전방지면을 형성하고, 상기 결합돌기의 회전체결시 상기 제 1회전방지면에 맞닿도록 상기 암유닛의 돌출부 단부에서 내주 방향으로 연장된 제 2회전방지면을 형성할 수 있다.
상기와 같은 구성의 본 발명에 의하면, 노즐공을 형성하기 위해 노즐 파이프 외주면을 용이하게 드릴 가공할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 탈부착이 용이한 결합 유닛을 포함하는 평판 디스플레이 세정 장치에 사용되는 세정액 분사 모듈을 제공하여 세정액 분사 모듈의 교체시 소요되는 시간과 비용을 줄일 수 있다.
도 1은 평판 디스플레이 세정 장치의 개략도이다.
도 2는 본 발명에 따른 세정액 분사 모듈의 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 결합 유닛의 분해도로서, 암유닛 수유닛의 사시도이다.
도 4는 수유닛의 정면도이다.
도 5a는 암유닛에 수유닛을 삽입시 결합 유닛의 단면도이다.
도 6b는 암유닛에 수유닛을 삽입 후 회전 체결시 결합 유닛의 단면도이다.
이하, 본 발명과 관련된 세정액 공급 모듈에 대하여 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.
도 2은 본 발명의 실시예에 따른 세정액 공급 모듈의 개념도이다.
세정액 공급 모듈은 연결 유닛(100), 노즐 파이프(200)를 포함한다.
연결 유닛(100)은 메인 파이프(400)와 노즐 파이프(200)를 연결한다.
메인 파이프(400)는 세정액 저장부(미도시)에 저장 되어 있던 세정액을 노즐 파이프(200)로 공급한다.
노즐 파이프(200)는 일단부가 연결 유닛(100)에 의해 메인 파이프(400)와 연결되어 있고, 타단부는 밀폐되어 있다.
노즐 파이프(200)는 기판(P) 세정을 위한 세정역역에서 기판(P)의 이송 구간내에 위치하여 이 구간을 따라 이동하는 기판(P) 표면의 세정이 가능하게 설치된다.(도 1참조)
노즐 파이프(200)의 단부의 밀폐는 파이프 캡(pipe cap)(300)에 의해 이루어질 수 있다.
노즐 파이프(200)의 외주면에는 기판(P)배치 방향으로 평탄부(210)가 형성되어있다. 이는 평탄부(210)가 곡면에 비해 드릴 가공이 용이하므로 노즐 파이프(200)에 노즐공(220)이 용이하게 형성되도록 하기 위한 것이다.
평탄부(210)에 노즐 파이프(200) 길이 방향으로 복수개의 노즐공(220)이 이격되어 마련되어있으며, 노즐(230)이 노즐공(220)에 나사결합된다.
노즐 파이프(200)는 기판(P)에 세정액을 공급한다.
구체적으로, 평탄부(210)를 갖는 노즐 파이프(200)에 결합된 노즐(230)을 통해 메인 파이프(400)로부터 공급받은 세정액을 기판(P) 표면으로 분사하여 기판(P) 표면에 달라붙은 이물질을 제거한다.
기판(P)의 이송구간을 가로지르는 방향으로 메인 파이프(400)에 복수개의 세정액 분사 모듈이 연결될 수 있다.
도 3은 연결 유닛(100)의 분리도이고, 도 5a는 수유닛(100b)이 암유닛(100a)에 삽입된 상태에서의 연결 유닛(100)의 단면도이고, 도 5b는 암유닛(100a)과 수유닛(100b)이 회전 체결된 상태에서의 연결 유닛(100)의 단면도이다.
연결 유닛(100)은 암유닛(100a)과 수유닛(100b)을 포함한다.
암유닛(100a)은 메인 파이프(400)에 연결된다.
암유닛(100a)은 내주면에 적어도 하나의 돌출부(110a,110b)에 의해 형성된 결합홈(120)을 포함한다. 암유닛(100a)과 수유닛(100b)이 견고하게 결합되기 위하여 결합홈(120)은 암유닛(100a) 내주면 상에 마주보는 위치에 두개가 형성되는 것이 바람직하다.
수유닛(100b)은 노즐 파이프(200)와 연결된다.
수유닛(100b)의 외주면은 삽입시 암유닛(100a)의 내주면에 대응되도록 형성된다.
수유닛(100b)은 외주면에 암유닛(100a)의 결합홈(120)의 수와 동일한 수의 결합돌기(130)를 포함한다.
결합돌기(130)는 수유닛(100b)의 외주면을 따라 형성된다.
결합돌기(130)의 길이는 암유닛(100a)의 돌출부(110b)에 의해 형성된 제2 평탄면(112)의 길이와 결합돌기(130)에 의해 형성된 제1 평탄면(132)의 길이가 대응되도록 형성된다.
결합돌기(130)의 높이는 암유닛(100a)의 결합홈(120)의 깊이에 대응되도록 형성되는 것이 바람직하다.
암유닛(100a)과 수유닛(100b)의 결합은 수유닛(100b)이 암유닛(100a)에 삽입된 후 회전하여 수유닛(100b)의 결합돌기(130)가 암유닛(100a)의 결합홈(120)에 위치되는 것으로 이루어진다.(도5a, 도5b 참조)
구체적으로, 메인 파이프(400)에 부착된 암유닛(100a)에 수유닛(100b)이 삽입된다. 이때, 암유닛(100a)의 제 2평탄면(112)과 수유닛(100b)의 제 1평탄면(132)이 맞닿도록 삽입된다.(도 5a 참조)
암유닛(100a)에 수유닛(100b)이 삽입된 후, 수유닛(100b)이 회전하여 암유닛(100a)의 결합홈(120)에 수유닛(100b)의 결합돌기(130)가 위치되고, 결합돌기(130)가 결합홈(120)에 걸리게 되어 암유닛(100a)에 수유닛(100b)이 결합된다.(도 5b 참조)
또한, 암유닛(100a)에 결합된 수유닛(100b)의 분리는 회전 체결된 방향과 반대 방향으로 수유닛(100b)을 회전하여 수유닛(100b)을 삽입 위치에서 빼내는 것으로 이루어진다.
수유닛(100b)의 결합돌기(130) 단부에서 소정의 길이 방향으로 연장된 제1회전 방지면(135)이 형성될 수 있다.
암유닛(100a)의 돌출부(110a) 단부에서 내주 방향으로 연장된 제 2회전방지면(115)이 형성될 수 있다.
제1회전방지면(135)과 제2회전방지면(115)은 암유닛(100a)과 수유닛(100b)의 회전체결시 서로 맞닿도록 형성된다. 이는 수유닛(100b)의 결합돌기(130)가 암유닛(100a)의 결합홈(120)에 정확하게 위치되도록 한다.(도 5b 참조)
이러한 연결 유닛(100)의 구조는 암유닛(100a)과 수유닛(100b)의 원터치 결합을 가능케 한다.
이로써, 일부 노즐 파이프(200)가 파손되거나 고장난 경우 노즐 파이프(200)의 교체가 용이하게 되어 노즐 파이프(200) 교체시 교체 비용과 시간을 절약할 수 있다.
이상에서는 본 발명에 따른 세정액 공급 모듈을 첨부한 도면을 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 본 명세서에 개시된 실시예와 도면에 의해 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 당업자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있다.
100 : 연결 유닛 100a : 암유닛 100b : 수유닛
110a, 110b : 돌출부 112 : 제2평탄면 115 : 제2회전방지면 120 : 결합홈 130 : 결합 돌기 132 : 제1평탄면 135 : 제1회전방지면 200 : 노즐 파이프 210 : 평탄부 220 : 노즐공 P : 기판

Claims (3)

  1. 세정액이 흐르는 공간을 제공하는 메인 파이프; 및
    상기 메인 파이프와 노즐 파이프를 연결하는 연결 유닛을 포함하고,
    상기 노즐 파이프는,
    일단부가 상기 연결 유닛에 연결되어 상기 메인 파이프로부터 상기 세정액을 공급받아 기판으로 상기 세정액을 공급하고, 타단부는 밀폐되며, 상기 기판 배치 방향으로 복수의 노즐공이 마련된 평탄부를 포함하며,
    상기 연결 유닛은,
    내주면에 적어도 하나의 돌출부에 의해 형성된 결합홈을 갖는 암유닛 및 상기 결합홈에 삽입되어 회전 체결되는 결합돌기를 갖는 수유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 세정액 공급 모듈.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 수유닛의 결합돌기 단부에서 길이 방향으로 연장된 제 1회전방지면을 형성하고,
    상기 결합돌기의 회전체결시 상기 제 1회전방지면에 맞닿도록 상기 암유닛의 돌출부 단부에서 내주 방향으로 연장된 제 2회전방지면을 형성하는 것을 특징으로 하는 세정액 공급 모듈.
KR1020120065014A 2012-06-18 2012-06-18 세정액 공급 모듈 KR101218561B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120065014A KR101218561B1 (ko) 2012-06-18 2012-06-18 세정액 공급 모듈

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120065014A KR101218561B1 (ko) 2012-06-18 2012-06-18 세정액 공급 모듈

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101218561B1 true KR101218561B1 (ko) 2013-01-21

Family

ID=47841181

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120065014A KR101218561B1 (ko) 2012-06-18 2012-06-18 세정액 공급 모듈

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101218561B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101819613B1 (ko) * 2016-02-12 2018-01-24 (주)선우하이테크 유체 분사장치
KR20200056743A (ko) * 2018-11-15 2020-05-25 양명구 세정 물질 이송 구조체 및 세정 물질 이송 구조체가 설치된 세정 장비

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5280832U (ko) 1975-12-15 1977-06-16
JPS5355812U (ko) * 1976-10-14 1978-05-12
JP2003265985A (ja) * 2002-03-15 2003-09-24 Makushisu Corp:Kk 高圧洗浄機の狭所洗浄用ランス
US20110105238A1 (en) 2009-09-01 2011-05-05 Alan Amron Water device for use in a water game

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5280832U (ko) 1975-12-15 1977-06-16
JPS5355812U (ko) * 1976-10-14 1978-05-12
JP2003265985A (ja) * 2002-03-15 2003-09-24 Makushisu Corp:Kk 高圧洗浄機の狭所洗浄用ランス
US20110105238A1 (en) 2009-09-01 2011-05-05 Alan Amron Water device for use in a water game

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101819613B1 (ko) * 2016-02-12 2018-01-24 (주)선우하이테크 유체 분사장치
KR20200056743A (ko) * 2018-11-15 2020-05-25 양명구 세정 물질 이송 구조체 및 세정 물질 이송 구조체가 설치된 세정 장비
KR102137239B1 (ko) * 2018-11-15 2020-07-23 양명구 세정 물질 이송 구조체 및 세정 물질 이송 구조체가 설치된 세정 장비

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101218561B1 (ko) 세정액 공급 모듈
KR20130022936A (ko) 유리기판 식각장치
KR101709906B1 (ko) 회전식 물 배출 세척솔
JP2014233682A (ja) タンク洗浄用スプレーボール
KR101874714B1 (ko) 대면적 기판의 건식 세정 장치용 노즐 어셈블리
KR20130031802A (ko) 처리액 토출 노즐 및 기판 처리 장치
CN104858195A (zh) 一种喷淋装置和清洗设备
KR200482218Y1 (ko) 노즐 간격 조절이 가능한 나이프
KR200475126Y1 (ko) 샤워 헤드 유닛
CN208572573U (zh) 喷淋架结构
KR20080054147A (ko) 습식 설비의 약액 분사 장치
KR20110015804A (ko) 에어나이프의 공기공급장치
KR101090347B1 (ko) 기판 식각장치
KR20070102030A (ko) 기판세정장치 및 그 세정방법
KR101159497B1 (ko) 소자 실장용 흡착노즐 클리닝 장치
CN215482606U (zh) 一种带有降尘功能的洒水车用中喷装置
KR20140115829A (ko) 식각 장치
CN204866246U (zh) 喷嘴结构及清洗装置
KR101121194B1 (ko) 기판 처리 장치
KR200377019Y1 (ko) 정전기 제거 장치
KR101403054B1 (ko) 에칭액 공급구조체
KR20080002368A (ko) 액정표시장치의 액정기판 세척용 롤러 브러시
KR101205599B1 (ko) 반도체 제조장치
KR20100027345A (ko) 착탈가능한 세정용 노즐부재를 구비한 세정 유닛 및 이를 구비한 세정 시스템
KR100842350B1 (ko) 기판 건조 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151007

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161017

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171023

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191021

Year of fee payment: 8