KR101403054B1

KR101403054B1 - 에칭액 공급구조체

Info

Publication number: KR101403054B1
Application number: KR1020120142852A
Authority: KR
Inventors: 김종학
Original assignee: 주식회사 태성
Priority date: 2012-12-10
Filing date: 2012-12-10
Publication date: 2014-06-03

Abstract

본 발명은 에칭액을 노즐관에 공급하는 공급 구조를 플렉시블한 소재의 연결호스가 아닌 경질의 파이프 배관을 채택하여 내구성을 향상시킴과 아울러, 노즐관의 좌,우 요동에 대응되도록 좌,우 이동 및 회전 동작이 가능하도록 그 구조가 개선된 에칭액 공급구조체에 관한 것이다.
본 발명은 에칭액이 압송되어 공급되는 에칭액 공급관과, 에칭액 공급관에 연결되는 결합배관과, 일단부가 상기 결합배관의 단부에 제 1커플러수단을 매개로 연결되어 결합배관의 단부에 대해 좌,우 이동가능하게 결합되는 연결관과, 일단부가 연결관의 타단부에 제 2커플러수단을 매개로 연결되어 연결관에 대해 회전 가능하도록 연결되고 타단부가 에칭액의 분사를 위한 분사노즐이 마련된 노즐관에 연결되는 제 1엘보우관으로 구성된다.

Description

에칭액 공급구조체{ETCHING LIQUID SUPPLY STRUCTURE}

본 발명은 에칭액 공급구조체에 관한 것으로, 특히 내구성이 우수한 경질의 파이프 배관으로 구성되며, 에칭액 분사를 위한 노즐관의 좌,우 요동에 대응하도록 좌,우 방향으로 신축 가능하면서 회전 동작이 가능하도록 그 구조가 개선된 에칭액 공급구조체에 관한 것이다.

일반적으로, 피씨비(PCB, Printed Circuit Board)로 통칭되는 인쇄회로기판은, 절연기판 표면에 구리의 박막으로 배선을 구성하고, 집적회로나 저항 등의 전기 부품을 상기 박막 상에 장치해 사용하는 합성수지판으로서, 페이퍼 페놀수지 또는 클래스 에폭시수지 등과 같은 판 상에 동박판을 적층시키고, 회로패턴의 인쇄 및 식각(etching) 등의 기술에 의해 상기 배선을 완성시키도록 구성된다.

상기와 같이 구성되는 인쇄회로기판을 제조할 때에는, 동박판이 적층된 인쇄회로기판을 일정속도로 이송시키면서 에칭액을 분사하여 인쇄회로기판의 표면을 에칭하는 식각 공정 등을 거치게 되고, 상기한 식각 공정에서 표면에 형성된 회로패턴이 비로소 노출된다.

상기한 에칭액 분사와 관련된 선행기술은 에칭액, 세정액 등을 분사하는 공정에서 에칭액 및 세정액이 다른 부재에 간섭되지 않고 직접 박판의 양면으로 분사될 수 있는 것과 관련하여, 한국 등록특허공보 제 1102518 " 박판의 습식 에칭 장치 " (등록일자 : 2011. 12. 28.)의 선행특허가 알려져 있다.

또한, 에칭액 분사와 관련된 다른 선행기술은 한국 등록특허공보 제 10-1127981호 "연성회로기판의 에칭액 도포장치"(등록일자 : 2012.03.12.)에 나타난 바와 같이, 에칭액을 도포하는 과정에서 에칭액의 보다 효율적인 도포, 원판에 도포된 에칭액이 이송기구에 영향을 주지 않도록 하기 위한 배출, 에칭액을 분사하기 위한 노즐부의 손쉬운 교체를 수행하도록 된 것이 알려져 있다.

종래 에칭장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 에칭액 저장탱크(미도시)로부터 에칭액이 공급되는 에칭액 공급관(10)과, 상기 에칭액 공급관(10)의 단부에 연결되고 플렉시블한 소재의 연결호스(20)와, 상기 연결호스(20)의 단부에 커넥터(30)를 매개로 연결되고 상기 연결호스(20)를 통해 공급되는 에칭액을 분배하기 위한 노즐관(40)과, 상기 노즐관(40)에 복수개 이격되게 마련되어 이송롤러(50)에 의해 이송되는 인쇄회로기판의 표면으로 에칭액을 분사하는 분사노즐(45)로 구성된다.

기존 에칭장치는, 인쇄회로기판의 표면에 골고루 에칭액을 분사하기 위해 분사노즐(45)들이 마련된 노즐관(40)이 좌,우 요동되는 구조를 갖게 된다.

그런데, 상기한 연결호스(20)는 노즐관(40)의 좌,우 요동에 따라 연동 이동하게 되며, 이로 인해 연결호스(20)의 연결부위가 이탈되거나, 연결호스(20)들 간의 간섭이 발생될 우려가 있으며, 반복적인 요동에 의한 피로 하중이 집중되어 연결호스(20)가 파열될 우려가 있다.

이로 인해, 종래 에칭액 공급장치는, 연결호스(20)의 이탈, 파손등의 원인으로 인해 악취가 있는 에칭액이 외부로 누설되면서 작업 환경을 오염시키게 되는 문제점을 갖는다.

한국 등록특허공보 제 1102518 " 박판의 습식 에칭 장치 " (등록일자 : 2011. 12. 28.) 한국 등록특허공보 제 10-1127981호 "연성회로기판의 에칭액 도포장치"(등록일자 : 2012.03.12.)

본 발명은 상기한 제반문제점을 감안하여 이를 해결하고자 창출된 것으로써, 그 목적은 에칭액을 에칭액 공급관으로부터 분사노즐이 마련된 노즐관측으로 공급하는 에칭액 공급구조를 기존의 연결호스 대신에 경질의 파이프 배관으로 대체함과 아울러, 일정 범위내에서 좌,우 이동 및 회전이 가능한 공급 구조를 갖도록 그 구조가 개선된 에칭액 공급구조체를 제공하는 데 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 에칭액이 공급되는 에칭액 공급관과, 상기 에칭액 공급관의 단부에 연결되는 결합배관과, 일단부가 상기 결합배관의 단부에 제 1커플러수단을 매개로 연결되어 상기 결합배관의 단부에 대해 좌,우 이동가능하게 결합되는 연결관과, 일단부가 상기 연결관의 타단부에 제 2커플러수단을 매개로 연결되어 상기 연결관에 대해 회전 가능하도록 연결되고 타단부가 에칭액의 분사를 위한 분사노즐이 마련된 노즐관에 연결되는 제 1엘보우관을 구비한 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 제 1커플러수단은 일단부가 상기 결합배관의 단부에 삽입되어 체결되는 제 1조인트부재와, 일단부가 상기 연결관의 일측에 삽입되어 체결되고 상기 제 1조인트부재의 타단부와 이격되게 배치되는 제 2조인트부재와, 상기 제 1,2조인트부재의 타단부가 각각 양측으로 삽입되고 외주면에 나사산이 형성된 니플부재와, 상기 니플부재의 내부에 수용되도록 결합되는 제 1슬리브부재와, 상기 제 1,2조인트부재의 타단부 내부에 삽입되어 상기 제 1,2조인트부재를 연결하기 위한 제 2슬리브부재와, 상기 니플부재의 나사산에 체결되어 상기 제 1조인트부재를 상기 결합배관에 고정시키는 제 1고정부재와, 상기 니플부재의 나사산에 체결되어 상기 제 2조인트부재를 상기 연결관에 고정시키는 제 2고정부재를 구비한다.

상기 제 1,2고정부재는 상기 니플부재의 나사산과 체결되도록 내주면에 암나사산이 형성되는 제 1,2유니언부재와, 상기 니플부재의 양단부 나사산과 각각 체결되어 상기 제 1,2유니언부재들의 간격을 유지시키기 위한 너트부재를 구비한다.

또, 제 2커플러수단은 일단이 상기 연결관의 타측에 체결되는 제 3조인트부재와, 일단이 상기 제 3조인트부재의 타단 내부에 회전 가능하도록 수용되고 타단이 상기 제 1엘보우관의 일측에 고정되도록 체결되는 헤드 파이프와, 상기 제 3조인트부재의 타단 외측면에 체결되는 제 3유니언부재와, 상기 제 3유니언부재와 상기 헤드 파이프 사이에 개재되는 관 연결구와, 상기 제 3조인트부재의 내부에 수용되고 상기 헤드 파이프와 상기 관 연결구 사이에 개재되는 스러스트 와셔와, 상기 헤드 파이프의 외측에 결합되어 상기 에칭액의 외부 누설을 방지하도록 기밀을 유지하는 복수의 링부재를 구비한다.

그리고 본 발명은 상기 에칭액 공급관과 상기 결합배관 사이에 상기 에칭액의 이송 방향 전환을 위한 제 2엘보우관이 연결되고, 상기 에칭액 공급관에 대해 상기 제 2엘보우관의 회전이 가능하도록 연결시키는 제 3커플러수단을 더 구비한다.

첫째, 본 발명은 에칭액 공급관과 노즐관을 연결하는 연결 배관 구조를 내구성이 우수한 경질의 파이프 배관으로 구성함으로써, 기존 연결호스의 이탈 및 파손으로 인한 에칭액의 외부 누설을 방지할 수 있는 유용한 효과를 갖는다.

둘째, 본 발명은 제 1커플러수단(230)을 매개로 좌,우 요동하는 노즐관(400)의 움직임에 대응하도록 좌,우 방향 이동 동작이 가능하면서 제 2커플러수단(250)에 의해 회전 동작이 가능하므로, 경질의 파이프 배관으로 기존 플렉시블한 연결호스의 기능을 대체할 수 있게 된다.

도 1은 종래 에칭장치를 개략적으로 나타낸 정면도.
도 2는 본 발명에 따른 에칭액 공급구조체의 일 실시예를 나타낸 구성도.
도 3은 도 2의 분해도.
도 4는 본 발명의 에칭액 공급 구조체가 적용된 에칭장치를 나타낸 사용상태도.
도 5는 본 발명 에칭액 공급구조체의 다른 실시예를 나타낸 구성도.

본 발명은 에칭액을 노즐관에 공급하는 공급 구조를 플렉시블한 소재의 연결호스가 아닌 경질의 파이프 배관을 채택하여 내구성을 향상시킴과 아울러, 노즐관의 좌,우 요동에 대응되도록 좌,우 이동 및 회전 동작이 가능하도록 그 구조가 개선된 것이다.

본 발명에 따른 에칭액 공급구조체의 일 실시예는, 도 2 내지 도 4를 참조하여 설명하면, 에칭액 저장탱크(미도시)로부터 개폐밸브(150)의 동작에 따라 에칭액이 압송되어 공급되는 에칭액 공급관(100)과, 에칭액 공급관(100)에 연결되는 결합배관(220)과, 일단부가 상기 결합배관(220)의 단부에 제 1커플러수단(230)을 매개로 연결되어 상기 결합배관(220)의 단부에 대해 좌,우 이동가능하게 결합되는 연결관(240)과, 일단부가 상기 연결관(240)의 타단부에 제 2커플러수단(250)을 매개로 연결되어 상기 연결관(240)에 대해 회전 가능하도록 연결되고 타단부가 에칭액의 분사를 위한 분사노즐(450)이 마련된 노즐관(400)에 연결되는 제 1엘보우관(260)으로 구성된다.

더 상세히 설명하면, 제 1커플러수단(230)은 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 일단부가 결합배관(220)의 단부 내부로 삽입되어 나사 결합방식으로 체결되는 제 1조인트부재(231)와, 일단부가 연결관(240)의 일측에 삽입되어 체결되고 상기 제 1조인트부재(231)의 타단부와 이격되게 배치되는 제 2조인트부재(236)와, 제 1,2조인트부재(231,236)를 연결하도록 제 1,2조인트부재(231,236)의 타단부가 각각 양측으로 삽입되고 외주면에 나사산이 형성된 니플부재(233)와, 상기 니플부재(233)의 내부에 수용되도록 결합되는 제 1슬리브부재(234)와, 상기 제 1,2조인트부재(231,236)의 타단부 내부에 삽입되어 상기 제 1,2조인트부재(231,236)를 연결하기 위한 제 2슬리브부재(235)와, 상기 니플부재(233)의 나사산에 체결되어 상기 제 1조인트부재(231)를 상기 결합배관(220)에 고정시키는 제 1고정부재(232,238)와, 상기 니플부재(233)의 나사산에 체결되어 상기 제 2조인트부재(236)를 상기 연결관(240)에 고정시키는 제 2고정부재(237,238)로 구성된다.

제 1슬리브부재(234)는 내부에 제 1,2조인트부재(231,236)의 타단부가 서로 이격되게 삽입되며, 내주면과 제 1,2조인트부재(231,236)와의 기밀을 유지하도록 복수의 O링이 결합되는 구조를 갖는다.

제 2슬리브부재(235)는 제 1,2조인트부재(231,236)의 타단부 내부에 결합되어 상기 제 2조인트부재(236)의 이동 거리를 제한하는 스톱퍼기능을 가지게 되며, 제 1,2조인트부재(231,236)간의 간격을 유지시키는 기능을 수행하게 된다.

제 1,2고정부재(232,237,238)는 상기 니플부재(233)의 나사산과 체결되도록 내주면에 암나사산이 형성되는 제 1,2유니언부재(232,237)와, 상기 니플부재(233)의 양단부 나사산과 각각 체결되어 상기 제 1,2유니언부재(232,237)들의 간격을 유지시키기 위한 너트부재(238)로 구성된다.

제 1유니언부재(232)는 내부에 통공(232a)이 형성되며, 너트부재(238)와 병행되어 니플부재(233)의 일단부 나사산과 체결되고 결합배관(220)과 일체로 고정된 제 1조인트부재(231)와 니플부재(233)의 이탈을 방지하는 기능을 수행하게 된다.

제 2유니언부재(237)는 내부에 통공(237a)이 형성되며, 너트부재(238)와 병행되어 니플부재(233)의 타단부에 체결되고 연결관(240)과 일체로 고정된 제 2조인트부재(236)와 니플부재(233)의 이탈을 방지하는 기능을 갖는다.

제 1,2조인트부재(231,236)는 외주면에 상기 제 1,2유니언부재(232,237)의 내주면과 간섭되는 플랜지(231b,236b)가 형성된다.

상기 플랜지(231b,236b)는 제 1,2유니언부재(232,237)의 일단 내주면에 형성된 고정턱(232b,237b)과 간섭되어 상기 제 1,2유니언부재(232,237)를 지지하는 기능을 갖는다.

또 제 1조인트부재(231)는 일단부 외주면에 수 나사산을 갖는 제 1체결부(231a)가 형성되고, 제 1체결부(231a)가 결합배관(220)의 단부 내부에 암나사산을 갖는 체결홀(222)에 체결되는 구조를 갖는다.

제 2조인트부재(236)는 일단부 외주면에 수 나사산을 갖는 제 2체결부(236a)가 형성되고, 상기 제 2체결부(236a)가 연결관(240)의 일측 내부로 삽입되어 연결관(240)의 일측 내주면과 체결되는 연결구조를 갖는다.

이를 위해 연결관(240)은 엘보우(elbow)관 형태를 가지며, 에칭액의 공급방향을 전환시키는 기능을 갖는다.

또한, 제 2커플러수단(250)은 일단이 연결관(240)의 타측 내부에 삽입되어 연결관(240)의 내주면과 나사 결합방식으로 체결되는 제 3조인트부재(251)와, 일단이 제 3조인트부재(251)의 타단 내부에 회전 가능하도록 수용되고 타단이 상기 제 1엘보우관(260)의 일측에 고정되도록 체결되는 헤드 파이프(253)와, 상기 제 3조인트부재(251)의 타단 외측면에 체결되는 제 3유니언부재(252)와, 상기 제 3유니언부재(252)와 상기 헤드 파이프(253) 사이에 개재되는 관 연결구(254)와, 상기 제 3조인트부재(251)의 내부에 수용되고 상기 헤드 파이프(253)와 상기 관 연결구(254) 사이에 개재되는 스러스트 와셔(256; thrust washer)와, 상기 헤드 파이프(253)의 외측에 결합되어 상기 에칭액의 외부 누설을 방지하도록 기밀을 유지하는 복수의 링부재(255)로 구성된다.

제 3조인트부재(251)는 외주면에 수 나사산이 형성된 구조로서, 일단부가 연결관(240)의 타측 내주면과 체결되고, 타단부 내주면에 상기 헤드 파이프(253)의 일단부가 회전 가능하게 수용되는 연결구조를 갖는다.

헤드 파이프(253)는 단부에 외측으로 돌출되도록 연장된 걸림턱(253a)이 형성되어 있으며, 걸림턱(253a)이 링부재(255)와 스러스트 와셔(256)를 지지하는 기능을 갖는다.

제 3유니언부재(252)는 내부에 암나사산이 형성된 통공(252a)을 가지며, 통공(252a)의 가장자리 내측에 상기 관 연결구(254)의 외주면과 간섭되도록 연장된 지지턱(252b)이 형성된 구조를 갖는다.

제 1엘보우관(260)은 일측이 상기 헤드 파이프(253)와 배관 연결되고, 타측이 노즐관(400)과 배관 연결되는 연결구조를 갖게 되므로, 기존 노즐관과의 연결을 위한 커넥터를 생략할 수 있는 이점을 갖는다.

그리고 결합배관(220)은 에칭액 공급관(100)과 직접 연결되거나, 도 4에 도시된 바와 같이, 결합배관(220)과 에칭액 공급관(100) 사이에 배치되는 제 2엘보우관(210)에 의해 에칭액의 이송방향이 전환되도록 연결될 수 있다.

링부재(255)는 공지의 O링을 채용할 수 있으며, 배관 내의 기밀을 유지하는 기능을 갖는다.

상기한 본 발명의 구성요소인 결합배관(220), 제 1,2커플러수단(230,250), 연결관(240), 제 1엘보우관(260)들은 경질(금속소재)의 파이프 배관으로 구성되어 충분한 내구성을 갖는다.

이러한 구성을 갖는 본 발명의 일 실시예는, 도 3 및 도 4를 참조하여 설명하면, 기존 연결호스 대신에 에칭액 공급관(100)과 노즐관(400)을 연결하여 에칭액을 공급하는 에칭액 공급 구조를 제 1커플러수단(230)에 의해 좌,우 이동이 가능하고, 제 2커플러수단(250)에 의해 회전 동작이 가능한 파이프 배관구조를 적용한 것이다.

간략하게 설명하면, 에칭액 공급관(100)의 단부에 결합배관(220)을 배관 연결시키고, 결합배관(220)을 제 1커플러수단(230)을 매개로 연결관(240)의 일측에 연결시킨 후에, 연결관(240)의 타측에 제 2커플러수단(250)을 매개로 제 1엘보우관(260)을 연결시키면 조립이 완료된다.

더 상세히 설명하면, 결합배관(220)과 연결관(240)의 조립구조는, 결합배관(220)의 체결홀(222)에 제 1조인트부재(231)의 제 1체결부(231a)가 체결되고, 제 2조인트부재(236)의 제 2체결부(236a)가 엘보우관인 연결관(240)의 일측에 나사 체결방식으로 체결되며, 제 1,2조인트부재(231,236)를 연결하도록 니플부재(233)와 제 1슬리브(234) 내에 제 1,2조인트부재(231,236)의 타단부가 서로 이격된 상태로 조립된다.

상기한 제 1,2조인트부재(231,236)는 서로 간의 간격이 노즐관(400)과 연결된 연결관(240) 및 제 2조인트부재(236)의 좌측 방향 이동이 가능한 유격으로 작용하게 된다.

즉, 노즐관(400)이 좌측으로 요동하면, 도 2의 화살표와 같이 연결관(240) 및 제 2조인트부재(236)가 제 1조인트부재(231)측으로 이동되고, 노즐관(400)이 우측으로 요동하면 다시 연결관(240) 및 제 2조인트부재(236)가 원 위치로 복귀된다.

또한, 제 1엘보우관(260)과 제 2커플러수단(250)의 결합과정은 헤드 파이프(253)가 제 1엘보우관(260)의 일측과 나사 체결방식으로 체결되고, 제 1엘보우관(260)과 일체로 고정된 헤드 파이프(253)가 제 3조인트부재(251)의 내부로 삽입되어 회전 가능하게 결합된다.

그리고, 제 1엘보우관(260)은 노즐관(400)과 연통 가능하도록 배관 연결되고, 연결관(240)을 통해 이송되는 에칭액의 이송 방향을 전환시켜 노즐관(400) 내부로 이송시키는 기능을 갖는다.

이로 인해 제 1커플러수단(230)은 에칭액의 누설을 방지하면서 결합배관(220)과 연결관(240)을 연결함과 아울러, 제 2조인트부재(236)가 제 1조인트부재(231)측으로 일정 범위 내에서 이동 및 복귀 가능하도록 연결시키는 기능을 갖는다.

또한, 제 2커플러수단(250)은 제 1엘보우관(260)의 회전 동작이 가능하도록 연결관(240)과 제 1엘보우관(260)을 연결시키는 기능을 갖는다.

이로 인해 본 발명의 에칭액 공급 구조체는 에칭액 공급관(100)으로부터 에칭액이 결합배관(220)과 제 2엘보우관(210)을 통해 제 1커플러수단(230)측으로 이송되고, 제 1커플러수단(230)을 통과한 후에는 연결관(240)과 제 2커플러수단(250) 및 제 1엘보우관(260)을 거쳐 노즐관(400) 내부로 공급되는 에칭액의 공급경로를 갖는다.

노즐관(400) 내부로 공급된 에칭액은 각각의 분사노즐(450)을 통해 이송롤러에 의해 이송중인 인쇄회로기판의 상,하 표면에 분사되어 식각작업을 수행하게 된다.

도 5는 본 발명의 다른 실시예를 보인 도면으로서, 앞서 설명한 일 실시예의 구성요소에 더하여 에칭액 공급관(100)과 제 2엘보우관(210) 사이에 마련되어 제 2엘보우관(210)을 회전시키기 위한 제 3커플러수단(270)이 더 구비된 것이다.

제 3커플러수단(270)은 일단부가 에칭액 공급관(100)의 내부로 삽입되어 체결되는 제 4조인트부재(271)와, 일단이 제 4조인트부재(271)의 내부에 삽입되어 회전 가능하도록 수용되고 타단이 제 2엘보우관(210)에 체결되는 제 2헤드 파이프(273)와, 제 4조인트부재(271)의 타단 외측면에 체결되는 제 4유니언부재(272)와, 상기 제 4유니언부재(272)와 상기 제 2헤드 파이프(273) 사이에 개재되는 제 2관 연결구(274)와, 상기 제 4조인트부재(271)의 내부에 수용되고 상기 제 2헤드 파이프(273)와 상기 제 2관 연결구(274) 사이에 개재되는 제 2스러스트 와셔(276; thrust washer)와, 상기 제 2헤드 파이프(273)의 외측에 결합되어 상기 에칭액의 외부 누설을 방지하도록 기밀을 유지하는 복수의 제 2링부재(275)로 구성된다.

상기한 제 3커플러수단(270)은 앞서 설명한 제 2커플러수단(250)의 구성 요소와 유사하며, 에칭액 공급관(100)과 제 2엘보우관(210)을 연결시키고 제 2엘보우관(210)을 에칭액 공급관(100)으로부터 회전시키는 기능을 갖는다.

상기한 바와 같이 본 발명의 실시예들은 내구성이 우수한 경질의 파이프 배관으로 에칭액 공급관(100)과 노즐관(400)을 연결함과 아울러, 제 1,2커플러수단(230,250)을 이용하여 좌,우 이동되는 노즐관(400)의 움직임에 대응하여 일정 범위내에서 좌,우 이동이 가능하고 회전 동작이 가능하도록 연결됨으로써, 기존 연결호스의 이탈 및 파손으로 인한 에칭액의 외부 누설을 방지할 수 있다.

한편, 본 발명은 기재된 실시예들에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변경할 수 있음은 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 변형예 또는 수정예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다고 해야 할 것이다.

100 : 에칭액 공급관 210 : 제 2엘보우관
220 : 결합배관 230 : 제 1커플러수단
231 : 제 1조인트부재 232 : 제 1유니언부재
233 : 니플부재 234 : 제 1슬리브부재
235 : 제 2슬리브부재 236 : 제 2조인트부재
237 : 제 2유니언부재 238 : 너트부재
240 : 연결관 250 : 제 2커플러수단
251 : 제 3조인트부재 252 : 제 3유니언부재
253 : 헤드 파이프 254 : 관 연결구
255 : 링부재 256 : 스러스트 와셔
260 : 제 1엘보우관 270 : 제 3커플러수단
400 : 노즐관 450 : 분사노즐

Claims

에칭액이 공급되는 에칭액 공급관(100)과;
상기 에칭액 공급관(100)의 단부에 연결되는 결합배관(220)과;
일단부가 상기 결합배관(220)의 단부에 제 1커플러수단(230)을 매개로 연결되어 상기 결합배관(220)의 단부에 대해 좌,우 이동가능하게 결합되는 연결관(240); 및
일단부가 상기 연결관(240)의 타단부에 제 2커플러수단(250)을 매개로 연결되어 상기 연결관(240)에 대해 회전 가능하도록 연결되고 타단부가 에칭액의 분사를 위한 분사노즐(450)이 마련된 노즐관(400)에 연결되는 제 1엘보우관(260);을 포함하여 이루어지고,
상기 제 1커플러수단(230)은, 일단부가 상기 결합배관(220)의 단부에 삽입되어 체결되는 제 1조인트부재(231)와, 일단부가 상기 연결관(240)의 일측에 삽입되어 체결되고 상기 제 1조인트부재(231)의 타단부와 이격되게 배치되는 제 2조인트부재(236)와, 상기 제 1,2조인트부재(231,236)의 타단부가 각각 양측으로 삽입되고 외주면에 나사산이 형성된 니플부재(233)와, 상기 니플부재(233)의 내부에 수용되도록 결합되는 제 1슬리브부재(234)와, 상기 제 1,2조인트부재(231,236)의 타단부 내부에 삽입되어 상기 제 1,2조인트부재(231,236)를 연결하기 위한 제 2슬리브부재(235)와, 상기 니플부재(233)의 나사산에 체결되어 상기 제 1조인트부재(231)를 상기 결합배관(220)에 고정시키는 제 1고정부재(232,238) 및 상기 니플부재(233)의 나사산에 체결되어 상기 제 2조인트부재(236)를 상기 연결관(240)에 고정시키는 제 2고정부재(237,238)를 구비한 것을 특징으로 하는 에칭액 공급구조체.
삭제
청구항 1에 있어서,
상기 제 1,2고정부재(232,237,238)는 상기 니플부재(233)의 나사산과 체결되도록 내주면에 암나사산이 형성되는 제 1,2유니언부재(232,237)와,
상기 니플부재(233)의 양단부 나사산과 각각 체결되어 상기 제 1,2유니언부재(232,237)들의 간격을 유지시키기 위한 너트부재(238)를 구비한 것을 특징으로 하는 에칭액 공급구조체
에칭액이 공급되는 에칭액 공급관(100)과;
상기 에칭액 공급관(100)의 단부에 연결되는 결합배관(220)과;
일단부가 상기 결합배관(220)의 단부에 제 1커플러수단(230)을 매개로 연결되어 상기 결합배관(220)의 단부에 대해 좌,우 이동가능하게 결합되는 연결관(240); 및
일단부가 상기 연결관(240)의 타단부에 제 2커플러수단(250)을 매개로 연결되어 상기 연결관(240)에 대해 회전 가능하도록 연결되고 타단부가 에칭액의 분사를 위한 분사노즐(450)이 마련된 노즐관(400)에 연결되는 제 1엘보우관(260);을 포함하여 이루어지고,
상기 제 2커플러수단(250)은 일단이 상기 연결관(240)의 타측에 체결되는 제 3조인트부재(251)와, 일단이 상기 제 3조인트부재(251)의 타단 내부에 회전 가능하도록 수용되고 타단이 상기 제 1엘보우관(260)의 일측에 고정되도록 체결되는 헤드 파이프(253)와, 상기 제 3조인트부재(251)의 타단 외측면에 체결되는 제 3유니언부재(252)와, 상기 제 3유니언부재(252)와 상기 헤드 파이프(253) 사이에 개재되는 관 연결구(254)와, 상기 제 3조인트부재(251)의 내부에 수용되고 상기 헤드 파이프(253)와 상기 관 연결구(254) 사이에 개재되는 스러스트 와셔(256) 및 상기 헤드 파이프(253)의 외측에 결합되어 상기 에칭액의 외부 누설을 방지하도록 기밀을 유지하는 복수의 링부재(255)를 구비한 것을 특징으로 하는 에칭액 공급구조체.
청구항 1 또는 청구항 4중 어느 한 항에 있어서,
상기 에칭액 공급관(100)과 상기 결합배관(220) 사이에 상기 에칭액의 이송 방향 전환을 위한 제 2엘보우관(210)이 연결되고,
상기 에칭액 공급관(100)에 대해 상기 제 2엘보우관(210)의 회전이 가능하도록 연결시키는 제 3커플러수단(270)을 더 구비한 것을 특징으로 하는 에칭액 공급구조체.