KR101216979B1 - 가변의 투과성을 갖는 나노구조 표면들 - Google Patents

가변의 투과성을 갖는 나노구조 표면들 Download PDF

Info

Publication number
KR101216979B1
KR101216979B1 KR1020050033475A KR20050033475A KR101216979B1 KR 101216979 B1 KR101216979 B1 KR 101216979B1 KR 1020050033475 A KR1020050033475 A KR 1020050033475A KR 20050033475 A KR20050033475 A KR 20050033475A KR 101216979 B1 KR101216979 B1 KR 101216979B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
nanostructures
substrate
liquid
fluid
openings
Prior art date
Application number
KR1020050033475A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20060047398A (ko
Inventor
토마스 니키타 크루펜킨
메리 루이스 맨디치
조셉 에쉴리 타일러
Original Assignee
알카텔-루센트 유에스에이 인코포레이티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 알카텔-루센트 유에스에이 인코포레이티드 filed Critical 알카텔-루센트 유에스에이 인코포레이티드
Publication of KR20060047398A publication Critical patent/KR20060047398A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101216979B1 publication Critical patent/KR101216979B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H75/00—Storing webs, tapes, or filamentary material, e.g. on reels
    • B65H75/02—Cores, formers, supports, or holders for coiled, wound, or folded material, e.g. reels, spindles, bobbins, cop tubes, cans, mandrels or chucks
    • B65H75/18—Constructional details
    • B65H75/30—Arrangements to facilitate driving or braking
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D69/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by their form, structure or properties; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D69/10—Supported membranes; Membrane supports
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B1/00—Devices without movable or flexible elements, e.g. microcapillary devices
    • B81B1/006—Microdevices formed as a single homogeneous piece, i.e. wherein the mechanical function is obtained by the use of the device, e.g. cutters
    • B81B1/008—Microtips
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2403/00—Power transmission; Driving means
    • B65H2403/60—Damping means, shock absorbers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2701/00—Handled material; Storage means
    • B65H2701/30—Handled filamentary material
    • B65H2701/36—Wires
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F1/00—Springs
    • F16F1/36—Springs made of rubber or other material having high internal friction, e.g. thermoplastic elastomers
    • F16F1/3605—Springs made of rubber or other material having high internal friction, e.g. thermoplastic elastomers characterised by their material

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Hybrid Cells (AREA)
  • Filling, Topping-Up Batteries (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Fuel Cell (AREA)
  • Prostheses (AREA)
  • Battery Electrode And Active Subsutance (AREA)
  • Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)

Abstract

기판 상의 나노구조들 간에 배치된 복수의 기판 개구들을 가진 나노구조 표면이 개시된다. 원하는 유체가 기판 상에 접촉하여 들어올 때, 적어도 유체의 일부는 개구들 중의 적어도 하나를 통과하게 된다. 제 1 실시예에서, 유체가 나노구조들을 통과하게 함으로써, 유체는 개구들을 통과하게 된다. 제 2 실시예에서, 기판은 밴딩 포스(bending force) 또는 스트레칭 포스(stretching force)와 같은 기계적 포스가 기판에 인가될 때, 기판 상의 나노포스트들(nanopost) 또는 나노셀들의 직경은 증가하고, 액체는 나노구조들을 통과한다. 다른 실시예에서, 물과 같은 제 1 유체는 제 2 유체가 기판에서의 개구들을 통하여 기판을 통과하게 되는 반면, 기판 상의 나노구조들을 통과하는 것이 방지된다.
나노구조, 나노포스트, 나노셀, 통과성

Description

가변의 투과성을 갖는 나노구조 표면들{Nanostructured surfaces having variable permeability}
도 1A, 1B, 1C, 1D 및 1E는 본 발명에서 사용되기에 적합한 미리 정의된 나노구조들의 다양한 종래의 나노구조 특징 패턴들을 도시하는 도면;
도 2는 액체 방울이 나노구조 특징 패턴 상에 배치되는 종래의 기술 디바이스 상에 도시되는 도면;
도 3A 및 도 3B는 일렉트로웨팅(electrowetting) 원리들이 나노구조 특징 패턴을 통과시키기 위하여 사용되는 본 발명의 원리들에 따른 디바이스를 도시한 도면;
도 4는 도 3A 및 3B의 나노구조 특징 패턴의 나노포스트의 세부사항을 도시한 도면;
도 5는 배터리 내의 전해액이 나노구조들에 의해 음의 전극으로부터 분리되는 액체-셀 배터리를 도시한 도면;
도 6은 배터리 내의 전해액이 나노구조들을 통과하게 되고, 따라서 음의 전극에 접촉되는 도 5의 배터리를 도시한 도면;
도 7A 및 7B는 나노셀 어레이를 도시한 도면;
도 8은 나노구조들 간에 개구들을 갖는 본 발명의 원리들을 따른 나노구조 표면을 도시한 도면;
도 9는 도 8의 표면과 같은 표면을 갖는 도 5의 배터리를 도시한 도면;
도 10은 어떻게 도 8의 표면이 유체로 하여금 표면을 통과하는 것을 허용함과 동시에 표면의 액체 통과를 방지하기 위해 사용될 수 있는 지를 도시한 도면; 및
도 11A 및 11B는 유체가 표면을 밴딩 또는 스트레칭함으로써 통과하게 되는 지를 도시한 도면.
본 발명은 일반적으로 나노구조 또는 마이크로구조 표면들에 관한 것이고, 특히, 나노구조 또는 마이크로구조 표면들은 다양한 통과성을 가진다.
무수한 애플리케이션들에서 많은 유익한 디바이스들 또는 구조들은, 적어도 하나의 고체 표면 또는 기판에 접촉하는 액체 또는 다른 유체를 가짐으로써 적어도 부분적으로 특징지어진다. 많은 이들 디바이스들 및 애플리케이션들은 표면에 접촉하는 동안 움직이는 액체에 의해서 특징지어진다. 액체 및 표면 모두의 특징들이 액체 및 표면 간의 상호 작용을 결정하기 때문에, 액체와 그들 표면들의 상호 작용의 제어를 달성하기 위하여 그들 특징들을 이해하고 제어하는 것이 종종 필요하다. 예를 들어, 액체가 표면과 접촉하였을 때, 액체에 의하여 경험되는 흐름 저항(flow resistance)을 제어하는 것이 종종 필요하다. 액체들 또는 유체들이 매우 낮은 흐름 저항을 나타내는 표면들은 수퍼하이드로포빅(superhydrophobic) 표면들로 언급된다.
도 1A-1E는 다양한 방법들을 사용하여 생성되는 상이한 수퍼하이드로포빅 표면들을 도시한다. 특히, 이들 도면들은 다양한 직경들 및 규칙성의 상이한 정도들을 가진 나노포스트들 또는 마이크로포스트들로서 알려진 작은 포스트들을 갖는 기판을 도시한다. 토누치(Tonucci) 등에 의해 발행된, "나노포스트 어레이들 및 등가물을 만들기 위한 과정"이라는 제목의 미국 특허 번호 6,185,961호에서 발견되는 나노포스트들 및 마이크로포스트들을 생성하는 방법은 여기서 완전히 참조에 의해 포함된다. 나노포스트들은, 템플레이트(template), 다양한 석판술 및 에칭의 다양한 방법들과 같은 다양한 방법들에 의해 제조되었다.
물과 같은 액체의 한 방울이 적절히 설계된 나노구조 또는 마이크로구조 특징 패턴을 갖는 기판 상에 놓여질 때, 물방울에 의하여 경험되는 흐름 저항은, 어떤 그러한 나노구조들 또는 마이크로구조들을 가지지 않는 기판 상의 물방울과 비교했을 때, 현격히 감소된다. 그러한 적절히 설계된 특징 패턴들을 갖는 표면들은, 여기서 참조에 의해 완전히 포함되는 IEEE Conf. MEMS, 라스 베가스, 네바다, 2002, 1월, J. 김 및 C. J. 김 공저, "방울 기반의 마이크로유체공학에서 흐름 저항의 현격한 감소를 위한 나노구조 표면들"이란 논문의 주제이다. 그 참조는 일반적으로, 미리 결정된 나노구조 특징들을 가진 표면들을 사용함으로써, 어떻게 표면에 접촉한 액체의 흐름 저항을 상당히 감소시키는 지를 기술한다. 특히, 김 참조는 액체와 접촉하는 표면을 미세하게 패턴화하고, 앞서 언급한 액체 표면 장력의 원리를 사용함으로써, 표면 상에 배치된 액체의 방울은 도 2에 도시된 바와 같이 나노구조 패턴의 상부에서 지지될 것이다. 도 2를 참조하면, 적절한 액체의 방울(201)(표면 구조에 의존)은 방울(201)로 하여금 방울 및 밑에 놓이는 고체 표면 간의 접촉없이 나노포스트들(203) 위에 부유할 수 있을 것이다. 이것은 방울 및 표면(202) 간에 매우 적은 면적이 접촉하게 되고,(즉, 방울은 단지 각각의 포스트(203)의 상부에 접촉됨), 따라서 저 흐름 저항으로 귀착된다.
많은 애플리케이션에서, 도 2의 방울(201)과 같은 주어진 액체의 도 2의 표면(202)과 같은 주어진 나노구조 또는 마이크로구조 표면으로의 통과를 제어하고 따라서 고체 표면의 웨팅(wetting) 특성들뿐만 아니라 그 액체에 가해진 흐름 저항을 제어할 수 있어야 할 필요가 있다. 도 3A 및 3B는 일렉트로웨팅이 나노구조 표면으로 액체의 통과를 제어하는 데 사용되는 본 발명의 원리들에 따른 하나의 실시예를 도시한다. 그러한 일렉트로웨팅은, 여기서 참조에 의해 완전히 포함되는 "나노구조 및 마이크로구조 표면 상에서 액체의 움직임을 제어하기 위한 방법 및 장치"로 명명된, 2003년 3월 31일에 출원된 미국 특허 출원, 일련 번호 10/403159호의 주제이다. 도 3A를 참조하면, 전도 액체의 방울(301)은, 방울(301)의 표면 장력이 방울이 나노포스트들(302) 위에 부유하도록, 위에 기술된 바와 같이 원뿔의 나노포스트(302)의 나노구조 특징 패턴 상에 배치된다. 이 배치에서, 방울은 단지 각각의 나노포스트의 표면 면적(f1)을 커버한다. 나노포스트(302)는 전도 기판(303)의 표면에 의해 지지된다. 방울(301)은 전압 소스(305)를 갖는 리드선(304)을 통하여 기판(303)에 전기적으로 연결된다. 도시된 나노포스트는 도 4에서 더 자세한 디테일로 도시된다. 그 도면에서, 나노포스트(302)는 유전체 재료의 절연층과 같은 재료(401)에 의하여 액체(도 3A의 (301))로부터 전기적으로 절연된다. 나노포스트는 또한 잘 알려진 플루오르중합체(fluoropolymer)와 같은 저 표면 에너지 재료(402)에 의하여 액체로부터 분리된다. 그러한 저 표면 에너지 재료는 액체와 나노포스트의 표면 간에 적절한 개시 접촉 각을 얻는 것을 허용한다. 상이한 재료의 2개의 분리된 층들을 사용하는 것 대신에, 저 표면 에너지 및 고 절연 특성들을 충분히 보유한 재료의 단일 층이 사용될 수 있다는 것은 당업자에게 명백할 것이다.
도 3B는, 예를 들어, 저전압을(예를 들어, 10-20 volts) 액체(301)의 전도 방울에 인가함으로써, 전압차가 액체(301)와 나노포스트(302) 간에서 초래되는 것을 도시한다. 액체와 나노포스트의 표면 간의 접촉각은 감소되고, 충분히 낮은 접촉각으로, 방울(301)은 나노포스트들(302)의 표면을 따라 y-방향으로 밑으로 이동하고, 각각의 나노포스트들(302)을 완전히 감쌀 때까지 나노구조 특징 패턴을 통과하며, 기판(303)의 상부 표면에 접촉하게 된다. 이 구성에서, 방울은 각각의 나노포스트의 표면 면적(f2)를 커버한다. f2>>f1이기 때문에, 방울(301)과 나노포스트(302) 간의 전체 접촉 면적은 비교적 높고, 따라서, 방울(301)에 의해서 경험되는 흐름 저항은 도 3A의 실시예에서보다 크다. 따라서, 도 3B에 도시된 바와 같이 방울(301)은 특징 패턴으로부터 방울(301)을 제거하는 데 충분한 다른 포스가 없을 때 나노구조 특징 패턴과 비교하여 효과적으로 고정적이게 된다. 그러한 제어는 "나노구조 표면 상에서 액체의 움직임을 가변적으로 제어하기 위한 방법 및 장치"라 명명된, 2003년 3월 31일에 제출된 미국 특허출원 일련번호 10/403159호의 부분적인 주제이고, 여기서 참조에 의해 완전히 포함된다.
다른 종래의 시도에서, 나노포스트들 또는 마이크로포스트들을 대신에, 폐쇄 셀 나노구조 또는 마이크로구조 표면은 표면의 하나 이상의 나노셀들 또는 마이크로셀들 내의 유체 압력이 감소할 때, 그 표면에 배치된 액체가 표면을 통과하게 되서, 예를 들어, 방울에 의해 경험되는 흐름 저항을 증가시킨다. 그러한 폐쇄 셀 구조는, 하나 이상의 셀들 내의 압력을 바람직한 레벨 또는 그 이상으로 압력을 증가시킴으로써 액체는 셀(들) 밖으로 밀려나가고, 적어도 부분적으로 원래의, 통과되지 않은, 저 흐름 저항 상태로 돌아온다는 점에서 유리하다. 이러한 방식으로, 표면으로의 방울의 통과는 액체의 방울에 의해 경험되는 원하는 레벨의 저저항을 달성하기 위하여 변경될 수 있다. 그러한 가역 통과(reversible penetration)는 "다이나믹하게 튜닝가능한 나노구조 또는 마이크로구조 표면들 상에서의 가역 변환들"이라 명명된, 2003년 9월 30일 제출된, 미국 특허출원 일련 번호 10/674,448호의 부분적인 주제이고, 여기서 참조에 의해 완전히 포함된다.
위에 기술된 것과 같은 종래의 시도들은 표면과 접촉하는 흐름 저항을 감소시키거나, 표면 상의 나노구조들 또는 마이크로구조들 간의 액체를 밑에 놓인 기판과 접촉하게 하는 것과 관련된다. 그러나, 본 발명자들은 그러한 흐름 저항을 감소시키거나, 그러한 통과를 야기하는 것에 부가하여 어떤 환경들에서 액체 또는 다른 유체들로 하여금 나노구조들 또는 마이크로구조들을 지지하는 기판을 통과하는 것을 허용하는 것이 바람직할 수 있다는 것을 인지하였다.
따라서, 우리는 나노구조 기판이 나노구조들 간에 배치된 복수의 기판 개구들을 갖는 복수의 나노구조들을 포함하는 방법 및 장치를 발명하였다. 원하는 유체가 기판과 접촉되게 할 때, 적어도 일부 유체는 개구들 중 적어도 하나를 통과하는 것이 허용된다. 제 1 실시예에서, 유체는 위에 기술된 바와 같은 방법에 의해 유체로 하여금 나노구조들을 통과하게 함으로써 개구들을 통과하게 된다. 제 2 실시예에서, 기판은 유연해서, 밴딩 또는 스트레칭 포스와 같은, 기계적 포스가 기판에 인가될 때, 기판 상의 나노셀들의 직경 또는 나노포스트들 간의 거리는 증가한다. 그러한 증가 시, 원하는 액체는 따라서, 나노포스트들 또는 나노셀들을 통과하는 것이 허용되고, 따라서 기판 개구들을 통과하는 것이 허용된다. 최종적으로, 제 3 실시예에서, 물과 같은 제 1 유체는 위에 기술된 바와 같이 기판 상의 나노구조들을 통과하지 못하게 되지만, 증기 또는 가스와 같은 제 2 유체는 기판 내의 개구들을 통하여 기판을 통과하는 것이 허용된다.
도 5는 도 3A 및 도 3B의 실시예들의 하나의 사용을 도시하고, 여기서, 배터리 내의 전해액은 배터리가 활성화될 때까지 전극으로부터 분리된다. 그러한 배터리는 2004년 3월 18일에 제출된, 미국 특허출원 일련번호 10/803,641호의 부분적인 주제이고 여기서 참조에 의해 완전히 포함된다. 도 5에서, 배터리(501)는 봉쇄벽들(503)을 갖는 용기 내에 포함된 전해액(502)을 가진다. 전해액(502)은 양의 전극(504)과 접촉하지만, 나노구조 표면(507)에 의하여 음의 전극(508)으로부터 분리된다. 나노구조 표면(507)은 음의 전극의 표면일 수 있거나, 대안으로, 음의 전극으로 연결된 표면일 수 있다. 당업자는 나노구조 표면이 또한 유사하게 유익한 결과들을 갖는 양의 전극과 연관되어 사용될 수 있다는 것을 인지할 것이다. 도 5에서, 전해액은 나노포스트의 상부에 정지되어 있고, 도 3A의 방울과 유사하다. 배터리(501)가 예를 들어, 로드(load)(506)를 갖는 전기 회로(505)에 삽입된다. 전해액(502)이 음의 전극과 접촉하지 않을 때, 전해질과 배터리(501)의 전극들(504 및 508) 간에 어떠한 반응도 실질적으로 없다.
도 6은 전기 회로(505)에 삽입된 도 5의 배터리(501)를 도시하고, 여기서, 위에 기술된 일렉트로웨팅의 원리들을 이용하여, 전압이 나노구조 표면(507)에 인가되고 따라서, 전해액(502)으로 하여금 표면(507)을 통과하게 하고 음의 전극(508)과 접촉하게 한다. 당업자는 이 전압은 예를 들어, 하나 이상의 RF 에너지를 배터리에 통과시킴으로써 어떤 수의 소스들로부터 생성될 수 있다는 것이 인지될 것이다. 나노구조로의 전해질의 통과가 일어날 때, 전자들은 위에 기술된 바와 같이 (601) 방향으로 회로(505)를 통하여 흐르기 시작하고, 로드(506)에 동력이 공급된다.
일반적으로 정의된 바와 같이, "나노구조"는 1 마이크로미터보다 작은 적어도 하나의 치수를 갖는 미리 정의된 구조이고, "마이크로구조"는 1 밀리미터보다 작은 적어도 하나의 치수를 갖는 미리 정의된 구조이다. 그러나, 공개된 실시예들이 나노구조들 및 나노구조 표면들을 언급하지만, 마이크로구조들이 많은 경우들에서 대체될 수 있다는 것은 본 발명자들에 의하여 의도되고, 당업자들에 의해 명백해질 것이다. 따라서, 본 발명자들은 여기서 나노구조들을 1 밀리미터보다 작은 적어도 하나의 치수를 갖는 구조들뿐만 아니라 1 마이크로미터보다 작은 적어도 하나의 치수를 갖는 두 개의 구조들 모두를 포함한다고 정의한다. 용어 "특징 패턴"은 마이크로구조들의 패턴 또는 나노구조들의 패턴을 언급한다. 또한, 용어들 "액체", "방울", 및 "액체 방울"은 상호 교환가능하게 사용된다. 각각의 이들 용어들은, 방울의 형태에 상관없이 액체 또는 액체의 일부를 언급한다.
도 7A 및 7B는 나노셀 어레이의 3차원 뷰 및 상부 단면 뷰를 각각 도시한다. 여기에 포함된 '641 출원에 기술된 바와 같이, 그러한 나노셀 어레이는 나노구조 표면(507)으로 또는 밖으로 도 5에서의 전해액(502)과 같은 액체의 가역 통과를 달성하기 위하여 사용될 수 있다. 특히, 도 7A 및 7B에서, 나노포스트들 대신에, 다수의 폐쇄 셀들(701), 여기서 6각의 단면도로 도시되는 셀들이 사용된다. 각각의 셀들(701)은 예를 들어, 셀의 내부 벽을 따라 배치된 전극(702)을 가질 수 있다. 여기서 사용된 바와 같이, 용어 폐쇄 셀은, 전해액과 같은 액체가 배치되는 것이 의도되는 면을 제외한 모든 면들 상을 감싸는 셀로서 정의된다. 그러한 폐쇄 셀들은 셀들 내에 배치된 액체가 예를 들어, 셀들 내의 압력을 증가시킴으로써 셀들로부터 배척될 수 있다는 점에서 유리하다. 당업자는 많은 동일하게 유리한 셀 구성들 및 기하학이 폐쇄 셀 배치들을 달성하는 것이 가능하다는 것을 인지할 것이다.
위에 논의된 바와 같은 종래의 나노구조 표면들은 나노구조들 상에 배치된 액체의 흐름 저항의 감소 및/또는 액체들로 하여금 바람직한 시간에 나노구조들을 통과하는 것을 야기하고 도 5 및 6의 배터리 실시예에서와 같이 밑에 놓인 기판에 접촉하기 위하여 사용된다. 그러나 본 발명자들은, 많은 애플리케이션들에서 선택적으로 어떤 나노구조들이 배치되는 지에 따라 액체로 하여금 밑에 놓인 기판을 통과하는 것을 허용하는 것이 바람직하다는 것을 알아내었다. 액체를 선택적으로 표면을 통과시키는 하나의 그러한 표면이 도 8에 도시된다. 특히, 도 8은 본 발명의 원리에 따라 나노구조 표면(801)을 도시하고, 여기서, 밑에 놓이는 기판(803)을 통과하는 복수의 개구들(802)은 그 기판 상의 나노구조들(804) 간에서 배치된다. 나노구조들, 여기서 나노포스트들은 도시적으로 직경 300nm 및 높이 7마이크론이고, 개구들은 도시적으로, 직경 2마이크론이다. 당업자는 많은 적절한 치수들이 도 8에 도시된 것과 유사한 표면들의 상이한 사용들을 위하여 사용될 수 있다는 것을 인지할 것이다. 유사하게, 당업자는 또한 나노구조들이 중합체 재료들로부터 제조되는 기판과 같은 많은 적절한 기판들 상에 배치될 수 있다는 것을 인지할 것이다. 따라서, 위에 이해되고 논의된 바와 같이 액체가 나노구조들 상에 배치될 때, 도 3A에 도시된 바와 같이, 액체는 나노구조들을 통과하지 않을 것이다. 그러나, 액체가 도 3B에 도시된 예와 유사하게 나노구조들을 통과하고 밑에 놓인 기판과 접촉하는 것이 야기될 때, 액체는 기판 내의 개구들을 통과할 것이다.
도 9는 본 발명의 원리들에 따른 도 5에서 도시된 것과 유사한 배터리의 실시예를 도시하고, 여기서, 개구들을 가진 표면들은 유리하게 사용된다. 특히, 도 5를 참조하면, '641 출원에서 더 완전히 논의된 바와 같이, 그 도면에서 나타내어진 배터리는 전극들 중 하나, 도시적으로 도 5에서의 음의 전극(508)의 표면 상에 복수의 나노구조들을 배치함으로써, 부분적으로 제조된다. 그러나, 그러한 전극 상에 나노구조들을 배치하는 것은 그러한 표면을 제조하는 데 관련된 공정 또는 비용에서의 어려움들 때문에 바람직하지 않을 수 있다. 따라서, 본 발명자들은 예를 들어, 잠재적으로 저비용이거나 기술적으로 나노구조들을 만들기 쉬운 것에 따라 재료들로부터 분리된 나노구조 표면을 제조하는 것이 바람직하다는 것을 알아냈다.
따라서, 도 9는 도 8의 표면이 배터리 애플리케이션에서 어떻게 사용되는 지를 도시한다. 특히, 도 9를 참조하면, 전해액(502)은 전극(508)으로부터 나노구조들에 의해 다시 한번 분리된다. 그러나, 전극(508) 상에 직접적으로 배치된 나노구조들 대신에, 나노구조들(804)은 도 8에 도시된 바와 같이, 기판(803) 상에 배치되고, 도 8에 도시된 바와 같이 직접적으로 또는 간접적으로 전극(508)에 차례로 부착된다. 개구들의 크기는, 전해질이 나노구조들(804)을 통과하는 경우, 전해질이 도 8의 개구들(802)을 통하여 기판(803)을 통과하고 전극(508)에 접촉하여서, 배터리의 화학적 반응을 개시하도록 선택된다. 당업자는 '641 출원에 더 완전히 논의된 바와 같이, 도 7A 및 7B의 나노셀들이 나노포스트의 위치에 사용될 수 있다는 것을 인지할 것이다. 그러한 경우에, 도 7의 셀들(701)은 나노셀들의 양 끝부분들에 개구들을 가지고 제조될 수 있을 것이다. 대안으로, 단일 개구는 다수의 셀들에 걸칠 수 있다. 따라서, 나노셀 어레이가 예를 들어, 도 9에서의 전극(508)에 부착되는 경우에, 동일한 결과는 나노포스트들이 사용된 것과 같이 달성될 수 있다. 특히, 액체 전해질들이 나노셀들에 통과되게 될 때, 액체는 셀들을 통과할 것이고, 전극(508)에 접촉할 것이며 따라서, 배터리 내에서 화학 반응을 개시한다. 나노셀 어레이는, 전극이 셀들의 한쪽 끝을 커버하여, 한쪽은 열려있고 한쪽은 전극 표면에의 부착으로 인하여 완전히 막힌 폐쇄셀 어레이를 효과적으로 생성하는 방식으로, 전극에 부착될 수 있다. 따라서, '641 출원에서 더 완전히 논의된 바와 같이, 전극은 예를 들어, 셀들 내의 압력을 증가시킴으로써 원하는 시간에 셀들로부터 배척될 수 있다.
도 10은 본 발명의 원리를 따른 도 8의 나노구조 표면(801)을 사용하는 다른 실시예를 도시한다. 특히 도 10에 도시된 바와 같이, 기판(803)은 액체의 방울(1001)이 표면(801)과 접촉될 때, 방울이 나노구조들(804)의 끝 부분들에 배치된 상태로 남아있고, 따라서, 밑에 놓이는 기판(803) 위에 정지되게 설계된다. 따라서 배치된 방울(1001)은 개구들(802)을 통과하지 않을 것이다. 그러나 어떤 구현들에 있어서, (1002) 방향으로 이동하는 액체 또는 유체가 기판(803)을 통과하는 것이 허용되는 것은 바람직할 것이다. 예를 들어, 액체 저항(liquid resistant), 통풍가능한 의류(brreathable clothing)는 그러한 표면들로부터 생성된다. 특히, 도 10에 도시된 표면(801)은 봉합될 수 있거나, 방수와 같이, 매우 동일한 방식으로 한점의 의류에서 직물, 뉴악, 델라웨어에 소재한 W. L. 고어 & 어소시에이트스, Inc.에 의해 상표명 Goretex
Figure 112010025373498-pat00001
으로 제조되고 팔리는 통풍가능한 플루오르중합체 직물의 2개의 층들 간에 배치된다. 그러한 의류는 빗방울들에서의 물과 같은 액체가 나노구조들을 통과하지 못하게 할 것이고 따라서, 밑에 놓이는 기판을 통과하지 못하게 할 것이다. 따라서, 비는 (1003) 방향으로 이동하고 의류를 입은 사람의 살에 닿는 것을 막을 것이다. 그러나, 비로 하여금 직물을 통과하지 못하게 하는 것은 바람직한 반면에, 착용자로부터의 증발하는 땀과 같은 다른 유체들로 하여금 반대 방향(1002)으로 직물을 통과하도록 허용하는 것은 바람직하다. 그러한 유체는 (1002) 방향으로 직물 내의 개구들(1004)을 쉽게 통과할 수 있다. 따라서, 방수의, 통풍가능한 직물이 나온다.
당업자는 그러한 직물이, 예를 들어, 고성능 수영복들과 같은 다른 의류 애플리케이션들에서 유리하게 사용될 수 있을 것을 인지할 것이다. 연구의 상당한 성과가 예를 들어, 수영 선수들이 물속에서 이동해서 수영 선수들에 의해 경험된 끌림을 감소시킬 수 있는 저 끌림 수영복들에 관하여 최근에 달성되었다. 위에 논의된 바와 같이, 나노구조 표면들의 하나의 장점은 그들이 적절히 구성되었을 때, 물과 같은 액체와 나노구조 표면 간에 저 흐름 저항을 생성하는 것이다. 수영복의 외부 직물로서 사용된다면, 따라서 도 8의 표면(801)은 수영 선수가 물속에서 움직일 때 저 흐름 저항을 가질 것이고, 동시에, 앞에서 논의된 바와 같이 직물을 통하여 땀을 배출하는 것을 허용할 것이다.
도 11은 본 발명의 원리에 따른 다른 실시예를 도시하고, 여기서, 액체는 나노구조 표면이 밴딩 또는 스트레칭 포스와 같은 기계적 포스를 경험할 때, 표면의 나노구조들을 통과하게 허용될 수 있다. 특히, 나노구조 표면(1108)의 기판(1102)은 유연한 중합체 재료로 제조된다. 이 목적에 유용한 다양한 중합체 재료들은 당업자에게 명백할 것이다. 도 11A를 참조하면, 나노구조들(1101)의 윗부분들, 여기서 나노포스트들은 거리(1105)만큼 떨어져 있다. 앞서 설명된 바와 같이 도 11A를 참조하면, 적절히 선택된 액체의 방울(1104)이 나노구조들(1101) 상에 배치될 때, 그것은 구조의 상부에 안착하고, 기판(1102) 위에 정지한다. 그러나, 도 11B를 참조하면, 표면이 (1109) 방향으로 밴딩되거나 스트레칭될 때, 나노구조들(1101) 간의 분리 거리는 거리(1106)로 증가한다. 따라서, 액체에 따른 특정 분리 거리에서, 그 액체의 표면 장력은 나노구조들(1101)의 끝 부분들에 액체를 붙잡고 있기 부족할 것이다. 따라서, 그 특정 분리 거리에서, 액체(1104)는 나노구조들(1101) 간에서 (1107)방향으로 이동할 것이고, 기판과 접촉할 것이다. 앞서 논의된 바와 같이, 액체(1104)가 기판(1102)에 접촉할 때, 개구들(1103)은 액체의 적어도 일부로 하여금 그 기판을 통과하는 것을 허용할 것이다.
도 11A 및 도 11B에 나타내어진 나노구조 표면은 액체들을 저장하도록 의도된 용기들에 있어서 유용할 수 있다. 특히, 도 11A에서 표면(1108)과 같은 표면은 그러한 용기의 하나 이상의 벽들의 부분에 대하여 사용될 수 있다. 용기 내의 압력이 바람직한 압력에 있거나 이하에 있을 때, 액체는 나노구조들에 의해 지지되고, 따라서, 어떤 용액도 표면을 통과하지 않을 것이다. 그러나, 용기 내의 압력이 미리 정의된 레벨만큼 올라갈 때, 표면은 스트레칭할 것이고, 나노구조들 간의 거리는 도 11B의 예시에서와 같이 변할 것이다. 따라서, 액체는 용기 내의 압력이 표면이 스트레칭되지 않고 나노구조들 간의 거리가 적어도 부분적으로 복원되는 지점으로 감소될 때까지 나노구조 표면을 통과할 것이다. 이러한 방식으로, 액체 저장 용기 내의 압력은 원하는 압력으로 또는 이하로 유지될 수 있다.
위의 것들은 단순하게 본 발명의 원리들을 도시한다. 따라서, 당업자들이 여기서 명백하게 기술되거나 도시되지 않았을 지라도 본 발명의 원리들을 실시하고 그것의 의도 및 범위 내에 있는 다양한 배치들을 고안할 수 있을 것이라는 것이 이해될 수 있을 것이다. 예를 들어, 당업자는 여기에서 다양한 실시예들의 설명들의 깨달음으로, 본 발명의 원리들이 다른 분야들 및 애플리케이션들에 광범위하게 이용될 수 있을 것이라는 것을 인지할 것이다. 예를 들어, 당업자는 여기 공개된 통과 가능한 나노구조 표면들이 바람직한 시간까지 시스템의 나머지 부분들로부터 연료를 분리하기 위하여 연료 전지에서 유리하게 사용될 수 있다는 것을 인지할 것이다. 다른 사용들은 당업자들에 의해 광범위하게 이해될 것이다.
모든 예들 및 여기서 열거된 조건적인 언어는 본 발명의 원리들을 이해하는 데 있어서 독자들을 도와주기 위한 단지 학습적인 목적을 위하여 설명적으로 의도되고, 그러한 지정되어 열거된 예시들 및 조건들에 제한없이 해석되기 위한 것이다. 또한, 여기서 본 발명의 양태들 및 실시예들을 열거하는 모든 문장들 및 그것의 특정 예시들은 그것의 기능적인 균등물들을 포함하기 위하여 의도된다.
원하는 유체가 기판과 접촉되게 할 때, 적어도 일부 유체는 개구들 중 적어도 하나를 통과하는 것이 허용된다. 제 1 실시예에서, 유체는 위에 기술된 바와 같은 방법에 의해 유체로 하여금 나노구조들을 통과하게 함으로써 개구들을 통과하도록 야기된다. 제 2 실시예에서, 기판은 유연해서, 밴딩 또는 스트레칭 포스와 같은, 기계적 포스가 기판에 인가될 때, 기판 상의 나노셀들의 직경 또는 나노포스트들 간의 거리는 증가한다. 그러한 증가 시, 원하는 액체는 따라서, 나노포스트들 또는 나노셀들을 통과하는 것이 허용되고, 따라서 기판 개구들을 통과하는 것이 허용된다. 최종적으로, 제 3 실시예에서, 물과 같은 제 1 유체는 위에 기술된 바와 같이 기판 상의 나노구조들을 통과하지 못하게 되지만, 증기 또는 가스와 같은 제 2 유체는 기판 내의 개구들을 통하여 기판을 통과하는 것이 허용된다.

Claims (10)

  1. 장치에 있어서:
    복수의 개구들을 갖는 기판; 및
    상기 기판의 표면 상에 배치되는 복수의 나노구조들로서, 유체가 상기 표면을 접촉하지 않고 상기 표면 위에서 상기 유체가 부유할(suspend) 수 있게 하는 상기 복수의 나노구조들을 포함하고,
    상기 복수의 개구들은 상기 나노구조들의 적어도 일부 사이에 배치되어, 상기 유체가 상기 복수의 나노구조들을 통과하여 상기 기판에 접촉되게 할 때, 상기 유체의 적어도 일부가 상기 복수의 개구들을 통과하도록 하는, 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 유체가 상기 복수의 나노구조들을 통과하여 상기 표면에 접촉하도록 상기 나노구조들과 상기 유체 사이에 전압차를 인가하기 위한 전압 소스를 더 포함하는, 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 유체가 상기 복수의 나노구조들을 통과하여 상기 표면에 접촉하도록 상기 나노구조들의 일부들 사이의 거리를 증가시키는 수단을 더 포함하는, 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 유체가 상기 복수의 나노구조들을 통과하여 상기 표면에 접촉하도록 상기 나노구조들의 치수를 증가시키는 수단을 더 포함하는, 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 치수는 적어도 상기 나노구조들의 직경인, 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 나노구조들은 나노포스트들을 포함하는, 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 나노구조들은 나노셀들을 포함하는, 장치.
  8. 복수의 나노구조들이 배치된 기판을 사용하는 방법으로서,
    상기 기판은 상기 복수의 나노구조들 중의 나노구조들의 적어도 일부 사이에 배치되는 복수의 개구들을 더 갖는, 상기 방법에 있어서:
    상기 나노구조들과 관련된 치수가 변하도록 상기 기판의 형태를 변형시키는 단계를 포함하고,
    상기 치수가 변하는 것에 응답하여, 상기 나노구조들 상에 배치된 액체가 상기 복수의 나노구조들을 통과하고, 상기 복수의 개구들 중 적어도 일부를 통과하는, 방법.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 변형 단계는 상기 기판을 스트레칭하는 단계를 포함하는, 방법.
  10. 제 8 항에 있어서, 상기 나노구조들은 나노포스트들을 포함하는, 방법.
KR1020050033475A 2004-04-30 2005-04-22 가변의 투과성을 갖는 나노구조 표면들 KR101216979B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/835,639 2004-04-30
US10/835,639 US7323033B2 (en) 2004-04-30 2004-04-30 Nanostructured surfaces having variable permeability

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060047398A KR20060047398A (ko) 2006-05-18
KR101216979B1 true KR101216979B1 (ko) 2013-01-02

Family

ID=34940859

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050033475A KR101216979B1 (ko) 2004-04-30 2005-04-22 가변의 투과성을 갖는 나노구조 표면들

Country Status (7)

Country Link
US (2) US7323033B2 (ko)
EP (1) EP1591415B1 (ko)
JP (1) JP5031199B2 (ko)
KR (1) KR101216979B1 (ko)
CN (1) CN1693189B (ko)
CA (1) CA2499595A1 (ko)
DE (1) DE602005000397T2 (ko)

Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7698550B2 (en) * 2002-11-27 2010-04-13 Microsoft Corporation Native wi-fi architecture for 802.11 networks
US7557433B2 (en) 2004-10-25 2009-07-07 Mccain Joseph H Microelectronic device with integrated energy source
US7227235B2 (en) * 2003-11-18 2007-06-05 Lucent Technologies Inc. Electrowetting battery having a nanostructured electrode surface
KR20050093018A (ko) * 2004-03-18 2005-09-23 한국과학기술연구원 고효율 3차원 나노 구조 분리막
US7323033B2 (en) * 2004-04-30 2008-01-29 Lucent Technologies Inc. Nanostructured surfaces having variable permeability
US7459121B2 (en) * 2004-07-21 2008-12-02 Florida State University Research Foundation Method for continuous fabrication of carbon nanotube networks or membrane materials
CN100528382C (zh) * 2005-05-28 2009-08-19 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 纳米筛选装置
US20070259156A1 (en) * 2006-05-03 2007-11-08 Lucent Technologies, Inc. Hydrophobic surfaces and fabrication process
US7449649B2 (en) * 2006-05-23 2008-11-11 Lucent Technologies Inc. Liquid switch
US8047235B2 (en) * 2006-11-30 2011-11-01 Alcatel Lucent Fluid-permeable body having a superhydrophobic surface
US20090042066A1 (en) * 2007-08-10 2009-02-12 Mphase Technologies, Inc. Adjustable Barrier For Regulating Flow Of A Fluid
US20090042065A1 (en) * 2007-08-10 2009-02-12 Mphase Technologies, Inc. Event Activated Micro Control Devices
WO2009070796A1 (en) * 2007-11-29 2009-06-04 President And Fellows Of Harvard College Assembly and deposition of materials using a superhydrophobic surface structure
US20090191409A1 (en) * 2008-01-25 2009-07-30 Steve Simon Combined Wetting/Non-Wetting Element For Low and High Surface Tension Liquids
US8435397B2 (en) * 2008-01-25 2013-05-07 Mphase Technologies, Inc. Device for fluid spreading and transport
US9039900B2 (en) * 2008-05-09 2015-05-26 New Jersey Institute Of Technology Membrane distillation apparatus and methods
US11786036B2 (en) 2008-06-27 2023-10-17 Ssw Advanced Technologies, Llc Spill containing refrigerator shelf assembly
US8286561B2 (en) 2008-06-27 2012-10-16 Ssw Holding Company, Inc. Spill containing refrigerator shelf assembly
US7993524B2 (en) * 2008-06-30 2011-08-09 Nanoasis Technologies, Inc. Membranes with embedded nanotubes for selective permeability
CA2739903C (en) 2008-10-07 2016-12-06 Ross Technology Corporation Highly durable superhydrophobic, oleophobic and anti-icing coatings and methods and compositions for their preparation
JP2012517910A (ja) * 2009-02-17 2012-08-09 ザ ボード オブ トラスティーズ オブ ザ ユニヴァーシティー オブ イリノイ 可撓性を有するマイクロ構造の超疎水性材料
WO2010096072A1 (en) 2009-02-17 2010-08-26 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Methods for fabricating microstructures
WO2011056742A1 (en) 2009-11-04 2011-05-12 Ssw Holding Company, Inc. Cooking appliance surfaces having spill containment pattern and methods of making the same
KR101636907B1 (ko) * 2009-12-08 2016-07-07 삼성전자주식회사 다공성 나노 구조체 및 그 제조 방법
WO2011116005A1 (en) 2010-03-15 2011-09-22 Ross Technology Corporation Plunger and methods of producing hydrophobic surfaces
WO2012054039A1 (en) * 2010-10-21 2012-04-26 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Article with controlled wettability
PE20140834A1 (es) 2011-02-21 2014-07-10 Ross Technology Corp Revestimiento superhidrofos y oleofobos con sistema aglutinantes con bajo contenido de cov
DE102011085428A1 (de) 2011-10-28 2013-05-02 Schott Ag Einlegeboden
DE102011121018A1 (de) * 2011-12-13 2013-06-13 Sartorius Stedim Biotech Gmbh Hydrophobe bzw. oleophobe mikroporöse Polymermembran mit strukturell induziertem Abperl-Effekt
WO2013090939A1 (en) 2011-12-15 2013-06-20 Ross Technology Corporation Composition and coating for superhydrophobic performance
US9492578B2 (en) * 2012-05-11 2016-11-15 President And Fellows Of Harvard College Reconfigurable surfaces for information security and protection of physical biometrics
MX2015000119A (es) 2012-06-25 2015-04-14 Ross Technology Corp Recubrimientos elastoméricos con propiedades hidrofóbicas y/u oleofóbicas.
US20140238645A1 (en) 2013-02-25 2014-08-28 Alcatel-Lucent Ireland Ltd. Hierarchically structural and biphillic surface energy designs for enhanced condensation heat transfer
US20140238646A1 (en) 2013-02-25 2014-08-28 Alcatel-Lucent Ireland Ltd. Sloped hierarchically-structured surface designs for enhanced condensation heat transfer
CN107074524B (zh) * 2014-07-18 2020-01-17 加利福尼亚大学董事会 在浸没的表面上的微特征中保持气体的设备和方法
CN104729579B (zh) * 2014-11-24 2017-05-31 清华大学 基于微纳米纤维阵列的流体传感器及其测量方法
US10184266B1 (en) * 2015-06-19 2019-01-22 X Development Llc Flexible sheet for forming a semi-rigid structure
CN109399548A (zh) * 2017-08-17 2019-03-01 南京理工大学 一种自动回复稳定超疏水状态的装置及其制备方法
KR102593559B1 (ko) * 2017-11-01 2023-10-25 비브이더블유 홀딩 에이쥐 미세구조화된 위상 계면 디바이스
CN107777761A (zh) * 2017-11-08 2018-03-09 江门市蓬江区鑫浩源科技有限公司 一种电解净化处理装置
JP2023531419A (ja) * 2020-06-19 2023-07-24 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー コンタクタモジュール及びコンタクタモジュールを含むコンタクタパネル
KR102365765B1 (ko) * 2020-07-09 2022-02-22 울산과학기술원 나노 트렌치 스위치
CN112973295B (zh) * 2021-03-18 2022-03-29 中国石油大学(北京) 具有排液功能的聚结滤芯

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6185961B1 (en) * 1999-01-27 2001-02-13 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Nanopost arrays and process for making same
JP2001312953A (ja) * 2000-04-27 2001-11-09 Sharp Corp 電界放出型電子源アレイ及びその製造方法
US6689439B2 (en) * 2000-03-08 2004-02-10 Zbigniew S. Sobolewski Micro-stud diffusion substrate for use in fuel cells
KR20050074283A (ko) * 2004-12-27 2005-07-18 진텍, 인크. 나노구조 복합체 전계 방출 음극에 대한 제조 및 활성화방법

Family Cites Families (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02146576A (ja) * 1988-11-29 1990-06-05 Fujitsu Ltd 記録装置の定着装置におけるオイル塗布装置
JPH0332729A (ja) * 1989-06-30 1991-02-13 Biomaterial Universe Kk 温度応答性濾過膜
US5651900A (en) * 1994-03-07 1997-07-29 The Regents Of The University Of California Microfabricated particle filter
JP3791999B2 (ja) * 1997-03-24 2006-06-28 株式会社アドバンス 液体微粒子ハンドリング装置
JPH1138336A (ja) * 1997-07-18 1999-02-12 Fujitsu Ltd 光スイッチング素子
CA2351325A1 (en) * 1998-12-02 2000-06-08 Aleksander J. Franz Integrated palladium-based micromembranes for hydrogen separation and hydrogenation/dehydrogenation reactions
AU2640099A (en) * 1999-02-25 2000-09-14 Seiko Epson Corporation Structure member excellent in water-repellency and manufacturing method thereof
EP1202791B1 (en) * 1999-06-11 2006-12-27 Gas Separation Technology, Inc. Porous gas permeable material for gas separation
US6602932B2 (en) 1999-12-15 2003-08-05 North Carolina State University Nanoparticle composites and nanocapsules for guest encapsulation and methods for synthesizing same
WO2001063273A2 (en) * 2000-02-22 2001-08-30 California Institute Of Technology Development of a gel-free molecular sieve based on self-assembled nano-arrays
US6893562B2 (en) * 2000-05-05 2005-05-17 Millipore Corporation Underdrain for filtration membrane
US6569225B2 (en) * 2000-12-07 2003-05-27 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Breathable barrier films containing cavated fillers
US6913697B2 (en) * 2001-02-14 2005-07-05 Science & Technology Corporation @ Unm Nanostructured separation and analysis devices for biological membranes
WO2003016040A1 (en) 2001-04-16 2003-02-27 The Regents Of The University Of California Membrane mimetic architectures on nanoporous materials
KR100447931B1 (ko) 2001-10-24 2004-09-08 한국화학연구원 초발수성 유／무기 복합막
PL204021B1 (pl) * 2001-11-02 2009-12-31 Cnt Spo & Lstrok Ka Z Ogranicz Powłoka superhydrofobowa
US7140495B2 (en) * 2001-12-14 2006-11-28 3M Innovative Properties Company Layered sheet construction for wastewater treatment
SE0201738D0 (sv) * 2002-06-07 2002-06-07 Aamic Ab Micro-fluid structures
US6977009B2 (en) * 2002-08-07 2005-12-20 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Metal coated polymer electrolyte membrane having a reinforcement structure
US7641863B2 (en) * 2003-03-06 2010-01-05 Ut-Battelle Llc Nanoengineered membranes for controlled transport
US20040191127A1 (en) * 2003-03-31 2004-09-30 Avinoam Kornblit Method and apparatus for controlling the movement of a liquid on a nanostructured or microstructured surface
US7156032B2 (en) 2003-08-22 2007-01-02 Lucent Technologies Inc. Method and apparatus for controlling friction between a fluid and a body
US8124423B2 (en) 2003-09-30 2012-02-28 Alcatel Lucent Method and apparatus for controlling the flow resistance of a fluid on nanostructured or microstructured surfaces
US7227235B2 (en) 2003-11-18 2007-06-05 Lucent Technologies Inc. Electrowetting battery having a nanostructured electrode surface
US8915957B2 (en) 2004-03-11 2014-12-23 Alcatel Lucent Drug delivery stent
KR20050093018A (ko) * 2004-03-18 2005-09-23 한국과학기술연구원 고효율 3차원 나노 구조 분리막
US7749646B2 (en) * 2004-03-18 2010-07-06 Alcatel-Lucent Usa Inc. Reversibly-activated nanostructured battery
US7048889B2 (en) 2004-03-23 2006-05-23 Lucent Technologies Inc. Dynamically controllable biological/chemical detectors having nanostructured surfaces
US20050211505A1 (en) 2004-03-26 2005-09-29 Kroupenkine Timofei N Nanostructured liquid bearing
US7108813B2 (en) * 2004-03-30 2006-09-19 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Gas/ion species selective membrane supported by multi-stage nano-hole array metal structure
US7005593B2 (en) 2004-04-01 2006-02-28 Lucent Technologies Inc. Liquid electrical microswitch
US7323033B2 (en) 2004-04-30 2008-01-29 Lucent Technologies Inc. Nanostructured surfaces having variable permeability
US7390760B1 (en) * 2004-11-02 2008-06-24 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Composite nanofiber materials and methods for making same

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6185961B1 (en) * 1999-01-27 2001-02-13 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Nanopost arrays and process for making same
US6689439B2 (en) * 2000-03-08 2004-02-10 Zbigniew S. Sobolewski Micro-stud diffusion substrate for use in fuel cells
JP2001312953A (ja) * 2000-04-27 2001-11-09 Sharp Corp 電界放出型電子源アレイ及びその製造方法
KR20050074283A (ko) * 2004-12-27 2005-07-18 진텍, 인크. 나노구조 복합체 전계 방출 음극에 대한 제조 및 활성화방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR20060047398A (ko) 2006-05-18
US20050269743A1 (en) 2005-12-08
US7695550B2 (en) 2010-04-13
EP1591415A3 (en) 2005-11-16
JP5031199B2 (ja) 2012-09-19
US7323033B2 (en) 2008-01-29
JP2005349558A (ja) 2005-12-22
CN1693184A (zh) 2005-11-09
EP1591415B1 (en) 2007-01-03
EP1591415A2 (en) 2005-11-02
CA2499595A1 (en) 2005-10-30
DE602005000397D1 (de) 2007-02-15
US20060255171A1 (en) 2006-11-16
CN1693189B (zh) 2012-01-11
DE602005000397T2 (de) 2007-11-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101216979B1 (ko) 가변의 투과성을 갖는 나노구조 표면들
Liu et al. Micrometer-sized electrically programmable shape-memory actuators for low-power microrobotics
KR101190521B1 (ko) 나노구조 또는 마이크로구조 표면상의 유체의 흐름 저항을제어하기 위한 방법 및 장치
Yong et al. Nature-inspired superwettability achieved by femtosecond lasers
JP6193501B2 (ja) 液体の機械エネルギーを採集する摩擦式電気ナノ発電機及び発電方法
Wang et al. Wetting effect on patterned substrates
JP6773638B2 (ja) 液中表面上の微細特徴部にガスを保持するデバイスおよび方法
WO2009023031A2 (en) Adjustable barrier for regulating flow of a fluid
Gulfam et al. Recent growth of wettability gradient surfaces: A review
US10927005B2 (en) Method for manufacturing doubly re-entrant microstructures
US20120267223A1 (en) Bistable nanoswitch
KR101984865B1 (ko) 마찰전기를 이용한 발전장치 및 그 발전장치의 제조방법
Tian et al. Design of waterborne superhydrophobic fabrics with high impalement resistance and stretching stability by constructing elastic reconfigurable micro-/micro-/nanostructures
US7833653B2 (en) Reserve cell-array nanostructured battery
CN109216562A (zh) 硅微细线聚合物复合体和透明太阳能电池及其制备方法
Yamashita et al. Fabrication of conductive polymer coated elastomer contact structures using a reel-to-reel continuous fiber process
KR102522825B1 (ko) 액체 조작 장치
JP2007519028A (ja) 第１の状態から第２の状態に不可逆的に切り替わるディスプレイ装置
Yamashita et al. Characterization of conductive polymer coated silicone elastomer contact structure for woven electronic textile
Kim Microfluidic platforms for gallium-based liquid metal alloy
Khan Characterizing, Rupturing, and Removing Surface Oxide to Manipulate Liquid Metals.
So Controlling the Shape and Interfacial Properties of Eutectic Gallium Indium

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151207

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee