KR101208700B1 - Ceramic heater having strap for ground - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 플라즈마 반응 챔버에 수용되어 챔버 내의 가스를 플라즈마로 상태 변환시킴으로써 화학기상증착하는 세라믹 히터에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 플라스마를 생성하기 위한 전극에 전기적으로 연결되는 로드를 접지함에 있어 로드의 열팽창에 대해 신축하며 접지상태를 안정되게 유지하고 열팽창을 반복하더라도 파손 없이 내구성을 유지하는 접지용 스트랩을 구비한 세라믹 히터에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
화학기상증착(CVD : chemical vapor deposition) 공정은 반도체 소자나 평판 디스플레이장치를 제조하는 과정에서 실리콘 웨이퍼나 글라스 패널과 같은 기판의 표면에 다양한 종류의 박막을 형성하는 공정으로서, 경량화 및 박막화 경향에 따라 플라즈마 화학기상증착(PECVD : plasma enhanced chemical vapor deposition) 공정이 널리 이용되고 있다.Chemical Vapor Deposition (CVD) is a process of forming various types of thin films on the surface of substrates such as silicon wafers and glass panels in the manufacture of semiconductor devices and flat panel display devices. Plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) is widely used.
플라즈마 화학기상증착 공정은 도 1에 간략하게 도시한 바와 같이 반응가스 주입하는 주입구(1-2)와 반응가스를 배출하는 배출구(1-3)를 구비한 챔버(1)의 내부에 세라믹 히터(A)을 수용한 상태에서, 세라믹 히터(A)의 상면에 기판(2)을 안착하여 증착하는 방식으로 이루어진다. Plasma chemical vapor deposition process is a ceramic heater (3) inside the chamber (1) having an injection port (1-2) for injecting the reaction gas and the outlet (1-3) for discharging the reaction gas as shown in FIG. In the state in which A) is accommodated, the
구체적으로 설명하면, 상기 세라믹 히터(A)는 열을 가하는 히터 엘레먼트(21)와 무선주파수 전압을 인가하기 위한 RF 전극(22)을 내장한 히터 플레이트(20), 및 히터 플레이트(20)의 저면에 장착되어 히터 엘레먼트(21)와 RF 전극(22)에 전기를 공급하기 위한 통로의 역할을 하고 히터 플레이트(20)를 지지하기 위한 지지체 역할도 하는 샤프트(10)로 구성된다. 그리고, 샤프트(10)에는 히터 엘레먼트(21)에 전기적으로 연결되는 히터 로드(31)와 RF 전극(22)에 전기적으로 연결되는 RF 로드(32)를 상하로 내부를 관통하게 수용하여서, 하단에서 히터 로드(31)를 외부의 히터 전원(3)에 연결하고, RF 로드(32)를 외부의 전극 전원(4)에 연결할 수 있게 한다. 이를 위해서, 상기 샤프트(10)는, 히터 로드(31)를 삽입하는 히터 삽입구(11)와 RF 로드(32)를 삽입하기 위한 RF 로드 삽입구(12)를 구비한다. 아울러, 챔버(1)의 내부에는 전극 전원(4)에 연결되는 별도의 전극(1-1)이 마련되어, RF전극(22)과 챔버 내부 전극(1-1) 간에 인가되는 무선주파수 전압에 의해서 챔버(1)의 내부에 주입되는 반응가스를 플라즈마로 상태변환하여 기판에 증착되게 한다. 여기서, 플라즈마 생성을 위해 상기 히터 엘레먼트(21)에도 전기를 공급하여 일정한 온도를 유지한다. Specifically, the ceramic heater A includes a
상기 도 1에 도시된 플라즈마 화학기상증착 장치는 간략하게 도시한 것으로, 상기 도 1에는 도시하지 아니하였지만, 기판(2)을 챔버 내부로 수용하기 위한 통로, 챔버 내에서 반응가스를 분사하는 샤워헤드, 반응가스의 주입 및 배출을 제어하기 위한 제어수단, 샤프트의 냉각수단, 세라믹 히터(A)의 온도 측정을 위한 열전대, 등도 포함하여 구성된다.The plasma chemical vapor deposition apparatus illustrated in FIG. 1 is briefly illustrated. Although not shown in FIG. 1, a passage for accommodating the
한편, 샤프트(10)를 상하로 관통하는 RF 로드(32)의 하단은 접지커넥터(40)에 의해 샤프트(10)의 하단에 접지된다. 여기서, 접지커넥터(40)는 챔버(1) 내부에 형성되는 플라즈마를 균일한 상태로 유지하기 위한 것으로서, 세라믹 히터(A)를 보통 400~550℃로 가열하고 예방정비 시에 상온까지 내리는 반복적인 가열 및 냉각의 반복에 의해서, RF 로드(32)의 열팽창 및 열수축이 반복되더라도 RF 로드(32)와 샤프트(10) 간의 접지상태를 양호하게 유지하도록 구성되어야 한다.On the other hand, the lower end of the
이러한 요구조건을 충족하기 위한 접지커넥터(40)의 구조는, 등록실용신안 제20-0420693호, 공개특허 제10-2009-0042050호, 공개특허 제10-2008-0046898호, 공개특허 제10-2011-0071162호 등에서 제안되었다. 등록실용신안 제20-0420693호는 클램프를 RF 로드에 클램핑하고, 클램프와 샤프트 간에 가요성 전도 시트로 접지 경로를 형성하여 RF 로드의 열팽창이 발생하더라도 가요성 전도 시트가 열팽창에 의한 신장 길이만큼 휘어지게 하였다. 이에 따라, 등록실용신안 제20-0420693호에 의한 가요성 전도 시트는 클램프와 샤프트에 견고하게 고정한 상태여서 아크 발생을 줄일 수 있었다. 공개특허 제10-2009-0042050호는 등록실용신안 제20-0420693호를 개선한 것으로서, RF 로드를 파지하는 부분과 샤프트에 고정되는 부분을 휨이 없는 견고한 형태로 형성하고 양 부분을 벤딩부로 연결한 일체형으로 구성되어서, 고정점에서 발생하는 아크를 원천 방지하였다. 공개특허 제10-2008-0046898호 및 공개특허 제10-2011-0071162호에 따른 접지 방식은 RF 로드와 샤프트 간에 케이블로 연결하는 방식을 채택하였다.The structure of the
하지만, 상기한 종래기술들은 접지커넥터(40)를 설치하기 위한 충분한 공간을 필요로 하여서, RF 로드 및 히터 로드 뿐만 아니라 일반적으로 열전대 및 냉각통로까지 구비하는 샤프트의 하단을 절개하여 설치하기란 매우 어렵게 되었다. 즉, 상기한 종래기술들을 자세히 살펴보면 접지커넥터(40)를 설치할 장착홈을 샤프트의 하단에 조성할 때에 RF 로드의 주변을 크게 절개하여 형성하고 장착홈의 내부에서 RF 로드에 클램프를 채운 후에 클램프와 장착홈의 내부 측벽 간을 가요성 전도체로 연결하는 구조를 갖추어서 장착홈을 크게 형성하여야만 하였던 것이다. 또한, 가요성 전도체를 고정하는 볼트를 체결하기 위해서도 충분한 크기의 장착홈이 필요하였던 것이다.However, the above-described prior arts require sufficient space for installing the
더욱이, 공개특허 제10-2009-0042050호, 공개특허 제10-2008-0046898호 및 공개특허 제10-2011-0071162호는 가요성 전도 시트로 구성한 등록실용신안 제20-0420693호를 개선한 것으로서, 수평면 상으로 연결되는 연결부재(공개특허 제10-2009-0042050호에서 벤딩부, 공개특허 제10-2008-0046898호 및 공개특허 제10-2011-0071162호에서 케이블)를 휘어지게 하여 RF 로드의 신축에 대응하게 하였으나, 장착의 편리성이라는 관점에서 보면 등록실용신안 제20-0420693호에서 제안한 가요성 전도 시트를 이용하는 것이 좋다.Further, Patent Publication Nos. 10-2009-0042050, 10-2008-0046898, and 10-2011-0071162 disclose a modification of Utility Model No. 20-0420693 composed of a flexible conductive sheet. , RF rod by bending the connection member (bending in the Patent Publication No. 10-2009-0042050, the cable in the Patent Publication Nos. 10-2008-0046898 and 10-2011-0071162) connected to the horizontal plane However, in view of the convenience of installation, it is better to use the flexible conductive sheet proposed in the Utility Model Registration No. 20-0420693.
하지만, 등록실용신안 제20-0420693호에서 제안한 가요성 전도 시트는, 가요성을 부여하기 위해 중간 부위를 절곡하여 측면에서 보면 'U'자형을 이루게 되므로, RF 로드가 열팽창할 때에 양측 절곡 부위 중에 한쪽 절곡 부위의 내각을 작아지는 방향으로 변형되게 함에 따라 반복적인 변형에 의해 절단되기 쉬웠다. 이에 따른 내구성의 저하로 인해 불의의 공정 중단이라는 사고로 이어지게 되었고, 이를 방지하기 위해서 가요성 전도 시트를 자주 교체해야만 하여서 생산성 저하 및 유지 관리의 어려움을 감수해야 하였던 것이다. However, the flexible conductive sheet proposed in Korean Utility Model Registration No. 20-0420693 has a 'U' shape when viewed from the side by bending an intermediate portion to impart flexibility, so that the RF rod is thermally expanded when the RF rod is thermally expanded. As the cabinet of one bent portion was deformed in a smaller direction, it was easy to be cut by repeated deformation. This resulted in an accidental process interruption due to the deterioration of durability, and in order to prevent this, the flexible conductive sheet had to be frequently replaced to take productivity and maintenance difficulties.
따라서, 세라믹 히터에 장착되는 접지커넥터(40)는 전도 시트로 구성하되, RF 로드의 주변을 넓게 절개하지 아니하고 설치할 수 있어서 허용되는 설치공간이 협소한 샤프트 단부에 용이하게 설치할 수 있고, RF 로드의 반복적인 팽창에 대해 내구성을 보장하며, 공개특허 제10-2009-0042050호에서도 문제점으로 지적한 바와 같이 전도 시트를 'U'자로 하여 양단을 고정함에 따라 RF 로드의 열팽창 시에 고정점이 들쳐지고 상온에서 다시 접촉되는 과정에서 아크가 발생하는 문제점을 해결하도록 구성하는 것이 요구된다.Therefore, the
따라서 본 발명의 목적은 RF 전극의 하단을 전도성 시트로 샤프트에 연결하되, 전도성 시트를 협소한 공간에 설치할 수 있도록 형성하여 제약 없이 샤프트에 설치할 수 있고, RF 전극의 반복적인 열팽창에도 내구성을 보장하며, 아크를 발생하지 아니하도록 하는 접지용 스트랩을 구비한 세라믹 히터를 제공하는 것이다.Therefore, an object of the present invention is to connect the lower end of the RF electrode to the shaft with a conductive sheet, the conductive sheet can be installed in a narrow space can be installed on the shaft without constraints, ensuring durability against repeated thermal expansion of the RF electrode The present invention provides a ceramic heater having a grounding strap for preventing arcing.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 플라즈마 반응 챔버에 수용되어 상면에 안착되는 기판에 열을 가하고, 플라즈마 생성을 위한 RF 전극(22)을 내장한 히터 플레이트(20); 상기 히터 플레이트(20)의 저면에 장착되며, 상기 RF 전극(22)에 전기적으로 연결되는 RF 로드(32)를 내부에 상하 관통되게 수용하되, 하부 측면에서 상기 RF 로드(32)를 향해 절개한 장착홈(200)을 형성한 후에 장착홈(200)에 접지커넥터(100)를 장착하여 RF 로드(32)와 전기적으로 연결되는 샤프트(10);를 포함하여 구성되는 세라믹 히터에 있어서, In order to achieve the above object, the present invention, the
상기 접지커넥터(100)는, 상기 장착홈(200) 내부에 노출된 RF 로드(32)에 장착되는 클램프(130); 수직으로 세운 전도성 띠로 형성되어 상기 장착홈(200)에 삽입되되, 하단을 상기 클램프(130)에 고정하고, 중간부위를 2회 이상 절곡한 후에, 상단을 상기 샤프트(10)의 외측면에 가깝게 고정하여서 상단이 하단보다는 상측 외부에 고정되게 하며, 상기 RF 로드(32)가 열팽창할 때에 절곡 부위를 펴지게 하여 하단을 하부방향로 이동 가능하도록 절곡 부위의 곡률을 형성한 스트랩(110);을 포함함을 특징으로 한다.The
상기 스트랩(110)은, 중간부위를 2회 절곡하되, 하단을 수직으로 세워 상기 클램프(130)에 고정한 상태에서, 하단에 이어지는 첫번째 절곡의 각을 샤프트(10)의 외측을 향해 직각 또는 둔각을 이루게 하고, 샤프트에 고정되는 상단이 연직방향을 향하도록 두번째 절곡을 형성한 것임을 특징으로 한다.The
상기 장착홈(200)은, 상기 스트랩(110)의 두번째 절곡 형상에 맞게 단차를 갖추어 상기 스트랩(110)에 밀착되되, 상기 스트랩(110)의 두번째 절곡에 닿지 아니하도록 모따기(chamfering)함을 특징으로 한다.The
상기 스트랩(110)은, 베릴륨동 재질로 0.1~0.4mm의 두께를 갖는 띠의 형상을 갖추고, 절곡된 부위의 곡률반경을 1.2~4.5mm로 형성한 것임을 특징으로 한다.The
상기 스트랩(110)은 상하단에 각각 볼트(140, 141)를 관통할 나사 홀(116, 117)을 조성하여 볼트 체결로 상기 클램프(130) 및 상기 샤프트(10)에 고정되되, 상기 나사홀(116, 117)은 폭보다는 상하로 길게 조성한 것임을 특징으로 한다.The
상기 장착홈(200)은, 상기 스트랩(110)의 상단이 고정되는 면을 제외한 면에 밀착되는 절연케이스(120)가 장착되어서, 상기 RF 로드(32)를 샤프트(10)에 직접 접촉되지 아니하게 하고, 상기 스트랩(110)의 상단을 제외한 부분 및 상기 클램프(130)를 상기 절연케이스(120)의 내부에 장착되게 함을 특징으로 한다.The
상기 장착홈(200)은, 상기 스트랩(110)의 하단을 클램프(130)에 면접촉되는 방향으로 측면에서 밀어넣는 통로를 갖추게 형성됨을 특징으로 한다.The
상기와 같이 구성되는 본 발명은, RF 로드(32)의 하부와 샤프트(10)의 하부 간에 전기적으로 접지하는 스트랩(110)을 RF 로드(32)의 열팽창에 따라 펼쳐지게 굴곡을 형성하여서, 굴곡 부위의 피로를 경감하며, 이에 따라 굴곡 부위의 파손 없이 장기간 사용할 수 있다.According to the present invention configured as described above, the
또한, 본 발명은 전도성 띠를 굴곡하여 접지용 스트랩을 형성하되, 정면에서 보면 일정한 폭을 갖는 장방형의 형상을 갖추게 하므로, 샤프트(10)의 하단에 스트랩의 정면 형상에 맞게 통로를 형성하여 장착할 수 있으며, 이에 따라, 열전대 삽입하기 위한 통로와 냉각수를 주입 및 배출하는 통로도 구비하여 협소한 설치공간만 허용하는 샤프트(10)의 하단에 제약 없이 설치 가능하다.In addition, the present invention bends the conductive strip to form a grounding strap, but when viewed from the front to have a rectangular shape having a constant width, to form a passage to fit the front shape of the strap at the bottom of the
또한, 본 발명은 전도성 띠로 접지용 스트랩을 형성하여 장착하되, 굴곡 부위가 샤프트(10)에 닿지 아니하게 아크를 발생시키지 아니하며, 이에 따라, 내구성을 높일 수 있다.In addition, the present invention is installed by forming a grounding strap with a conductive strip, and does not generate an arc so that the bent portion does not touch the
도 1은 일반적인 세라믹 히터의 사용 예시도.
도 2은 본 발명의 실시예에 따른 접지용 스트랩을 구비한 세라믹 히터의 저면 사시도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 접지용 스트랩을 구비한 세라믹 히터의 저면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 접지용 스트랩을 구비한 세라믹 히터의 측면 부분 단면도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 접지용 스트랩을 구비한 세라믹 히터에서, 접지커넥터(100)의 장착 방식을 보여주는 하부 분리 사시도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 접지용 스트랩을 구비한 세라믹 히터에서, 스트랩의 측면도 및 정면도.
도 7은 RF 로드의 열팽창에 따른 스트랩의 형상 변화를 보여주는 측면도.1 is an illustration of the use of a common ceramic heater.
2 is a bottom perspective view of a ceramic heater having a grounding strap according to an embodiment of the present invention.
3 is a bottom view of a ceramic heater with a grounding strap in accordance with an embodiment of the present invention.
4 is a side cross-sectional view of a ceramic heater with a grounding strap in accordance with an embodiment of the present invention.
5 is a bottom separated perspective view illustrating a mounting method of the
6 is a side view and a front view of the strap in the ceramic heater with a grounding strap according to an embodiment of the present invention.
Figure 7 is a side view showing the shape change of the strap due to thermal expansion of the RF rod.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 당해 분야에 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 설명한다. 첨부된 도면들에서 구성 또는 작용에 표기된 참조번호는, 다른 도면에서도 동일한 구성 또는 작용을 표기할 때에 가능한 한 동일한 참조번호를 사용하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지의 기능 또는 공지의 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. It should be noted that, in the drawings, the same reference numerals are used to denote the same or similar components in other drawings. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the following description of the present invention, detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.
도 2 내지 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 접지용 스트랩을 구비한 세라믹 히터를 설명하기 위한 도면들로서, 도 2는 세라믹 히터의 저면 사시도이고, 도 3은 세라믹 히터의 저면도이고, 도 4는 세라믹 히터의 하부 측면 단면도이고, 도 5는 접지커넥터(100)의 장착 방식을 보여주는 분리 사시도이고, 도 6은 스트랩의 측면도(a) 및 정면도(b)이다.2 to 6 are views for explaining a ceramic heater having a ground strap according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a bottom perspective view of the ceramic heater, Figure 3 is a bottom view of the ceramic heater, Figure 4 5 is a bottom side cross-sectional view of the ceramic heater, FIG. 5 is an exploded perspective view illustrating a mounting method of the
상기 도 2 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 접지용 스트랩을 구비한 세라믹 히터는, 플라즈마 반응 챔버에 수용되어 상면에 기판이 안착되는 히터 플레이트(20), 상기 히터 플레이트(20)의 저면에 장착되어 상기 히터 플레이트(20)를 지지하고 전기 공급을 위한 통로를 구비하는 샤프트(10), 상기 샤프트(10)를 상하로 관통하도록 상기 샤프트(10)에 형성된 통로에 수용되는 로드들(30 : 31, 32), 및 로드들 중에 RF 로드(32)를 샤프트(10)의 하부에 접지하는 접지커넥터(100), 를 포함하여 구성된다.2 to 6, the ceramic heater having a grounding strap according to an embodiment of the present invention includes a
여기서, 상기 히터 플레이트(20), 샤프트(10) 및 로드들(30 : 31, 32)은 공지된 기술이므로, 간략하게 설명한다. Here, the
상기 히터 플레이트(20)는, 상면에 기판을 안착할 수 있는 판의 형태로 형성되고, 챔버 내의 전극에 대응되는 RF 전극도 내장하여 RF 전극 및 챔버 내의 전극을 양단으로 하여 무선주파수의 전압을 인가함으로써 챔버에 플라즈마를 생성하며, 아울러, 플라즈마의 화학기상증착 환경을 조성하기 위해 기판을 일정한 온도로 가열하는 히터 엘레먼트도 내장한다. The
상기 샤프트(10)는 수직으로 세워 상기 히터 플레이트(20)의 저면에 고정되어서, 상기 히터 플레이트(20)를 지지하며, 다수의 통로들이 상하로 관통 형성된다. 여기서, 통로들은 하기의 히터 로드(31) 및 RF 로드(32)를 삽입하기 위한 통로 외에도, 히터 플레이트(20)의 온도를 측정하기 위한 열전대를 삽입하는 통로 또는 샤프트(10)와 히터 플레이트(20)를 결합할 시에 채워지는 오링(미도시)을 보호하기 위해 샤프트(10)의 온도를 낮추는 냉각수의 통로를 포함할 수 있다. 이러한 통로들을 하나씩 나열하면, 히터 로드(31)를 삽입하는 히터 삽입 통로, RF 로드(32)를 삽입하는 RF 로드 삽입 통로, 열전대를 삽입하는 열전대 삽입 통로(13), 및 냉각수를 주입 및 배출하는 냉각수 통로(14)로 이루어진다.The
상기 로드들(30 : 31, 32)은 상기 샤프트(10)에 형성된 통로에 삽입되는 것으로서, 상기 히터 엘레먼트에 전기적으로 연결되는 히터 로드(31)와 상기 RF 전극에 전기적으로 연결되는 RF 로드(32)를 포함한다. 여기서, 히터 로드(31)와 RF 로드(32)는 각각 샤프트(10)를 관통하여 샤프트(10)의 저면에 노출되므로, 저면에 노출된 부분을 외부 전원에 연결함으로써 상기 히터 플레이트(20)에 내장된 히터 엘레먼트 및 RF 전극에 전압을 인가하는 전기적 연결 역할을 하게 된다.The rods 30: 31 and 32 are inserted into a passage formed in the
또한, 상기 샤프트(10)의 하부에는 상기 RF 로드(32)의 하단 주변을 절개하여 접지를 위한 공간으로 사용되는 장착홈(200)을 형성한 후에, 장착홈(200)의 내부에 노출된 상기 RF 로드(32)를 상기 접지커넥터(100)를 이용하여 샤프트(10)의 하단에 전기적으로 연결함으로써, RF 로드(32)가 접지되게 한다.In addition, the lower portion of the
본 발명의 실시예에 따르면, RF 로드(32)를 샤프트(10)에 접지하기 위한 상기 접지커넥터(100)는 장착홈(200)의 내부 면을 일부 제외하고(후술하는 스트랩 고정홈의 내면을 제외하고) 얇은 두께로 덮는 절연케이스(120), 절연케이스(120)의 내부에서 상기 RF 로드(32)의 하단을 파지하며 장착되는 클램프(130), 하단(112)을 상기 클램프(130)에 고정하고 상단(111)을 상기 장착홈(200)에서 상기 절연케이스(120)에 덮이지 아니한 면(후술하는 스트랩 고정홈의 내면)에 고정한 전도성 띠로 형성된 스트랩(110), 및 상기 스트랩(110)의 하단(112)과 상단(111)을 고정하기 위한 다수의 볼트들(140, 141)을 포함하여 구성된다. According to an embodiment of the present invention, the
상기 클램프(130)는, 상하로 관통하게 형성되어 상기 RF 로드(32)의 하단을 관통되게 삽입하는 일측의 로드 관통구(131), 타측의 측면에서 상기 로드 관통구(131)를 향해 수직 절개 형성하되 소정의 폭을 갖도록 절개 형성한 절개부(132), 타측에서 절개부(132)에 의해 양분된 한쪽에 형성되는 암나사홈(133), 및 타측에서 절개부(132)에 의해 양분된 다른쪽에 형성되되 상기 암나사홈(133)의 위치에 맞추어 형성되는 관통구(134)를 구비하는 집개 형태의 단자로 형성된다. 여기서, 상기 절개부(132)는 상기 클램프(130)의 타측을 양분하도록 절개할 때에, 상기 스트랩(110)의 하단에 접촉되는 쪽(관통구가 형성되는 쪽)을 반대쪽(암나사홈이 형성되는 쪽)보다 얇게 형성하여서, 볼트를 관통구(134)에 관통시켜 암나사홈(133)에 나사체결하면 절개부(132)의 폭이 좁아지며 절개된 양쪽을 밀착하게 되므로, 로드 관통구(131)의 내경이 작아지게 되어 상기 RF 로드(32)을 파지하게 된다. The
이와 같이 샤프트(10)의 하부에 형성된 장착홈(200)의 내부에 노출되는 RF 로드(32)의 하단에 상기 클램프(130)를 장착하면, 상기 클램프(130)는 샤프트(10)의 외측면보다는 안쪽에 있게 된다.As such, when the
상기 스트랩(110)은, 전도성 띠로 형성되어 상기 장착홈(200)의 내부에 삽입되며, 수직으로 세워 하단(112)을 상기 클램프(130)의 관통구(134)가 형성된 면에 볼트(141)의 나사체결로 고정한 상태에서, 중간부위를 2회 절곡하여서 상단(111)을 하단(112)보다는 상측 외부에 놓이게 형성된다. 이에 따라, 스트랩(110)의 상단(111)은 샤프트(10)의 외측면에 가깝게 고정(후술하는 스트랩 고정홈에 볼트체결로 고정)하여 접지할 수 있다. The
이와 같이 형성되고 장착되는 상기 스트랩(110)은 RF 로드(32)가 열팽창함에 따라 신장하여 RF 로드(32)의 하단이 하부 방향으로 이동하면, 절곡 부위를 펴지게 하여서 상기 클램프(130)에 의해 RF 로드(32)에 전기적으로 이어진 상태를 유지할 수 있으며, 절곡된 부위를 절곡방향에 대한 역방향으로 펴지게 하는 것이므로 절곡된 부위의 피로 강도(fatigue strength)를 경감할 수 있다. 따라서, 절곡된 부위의 내구성을 보장할 수 있다.The
여기서, 상기 RF 로드(32)의 열팽창에 의한 최대 신장 길이는 세라믹 히터의 최대 가열온도 및 상기 RF 로드(32)의 길이 등에 따라 달라질 수 있으므로, 상기 스트랩(110)의 절곡(114, 115)은 RF 로드(32)가 최대 신장 길이로 신장할 수 있도록 충분한 크기의 곡률 반경을 갖게 한다.Here, since the maximum extension length due to thermal expansion of the
상기 스트랩(110)에 대한 구체적인 실시예를 설명한다.A specific embodiment of the
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 스트랩(110)은 상기 도 5 및 도 6에서 볼 수 있듯이 수직으로 세운 전도성 띠의 중간부위에서 서로 다른 2군데의 위치를 각각 절곡하여 도 6의 a에 도시된 바와 같이 2회 절곡(114, 115)한 형상을 갖추며, 도 6의 b에 도시된 바와 같이 정면에서 보면 띠의 폭을 갖는 장방형으로 보인다. According to an embodiment of the present invention, the
부연하면, 상기 스트랩(110)은 중간부위를 2회 절곡(114, 115)하여서 측면에서 보면 ''자로 보인다. 즉, 상기 스트랩(110)은 전도성 띠를 수직으로 세워 하단(112)에 이어지는 첫번째 절곡(115)의 각, 즉, 하단(112)과 중간(113)이 이루는 각이 직각 또는 둔각을 이루게 하고, 중간(113)과 상단(111) 사이에 절곡되는 두번째 절곡(114)의 각은 상단(111)이 연직방향을 향하게 결정된다. In other words, the
여기서, 상기 2군데의 절곡(114, 115)은 RF 로드(32)가 열팽창에 의해 신장함에 따라 펼쳐지는 부분이므로, 충분한 곡률 반경(R)을 갖추어야 한다. 통상적으로 반도체 제조에서 플라즈마 반응 챔버에 사용되는 세라믹 히터의 샤프트(10) 길이는 대략 17cm이고, 그에 맞게 RF 로드(32)를 샤프트(10)에 관통시킨다. 또한, 통상적으로 히터 플레이트(20)를 대략 550℃까지 가열한다. 또한, 본 발명의 실시예처럼 ''자형으로 스트랩(110)을 형성하여 샤프트(10)에 장착할 때에 샤프트(10)의 크기를 감안하여 스트랩(110)의 중간(113) 길이를 대략 1cm로 하는 것이 적당하다. 이러한 점을 감안하여 곡률반경을 1.2~4.5mm로 하였더니 적절하였다. 즉, 상기 스트랩(110)에 형성된 각각의 절곡부위의 곡률반경을 1.2mm보다 작게 하면 RF 로드(32)가 열팽창할 때에 절곡부위가 과하게 펴지므로 다시 원상태의 절곡 형상으로 복원되고 다시 펴지는 과정을 반복함에 따라 절곡부위가 쉽게 파손될 수 있다. 그리고, 스트랩(110)의 중간(113) 길이를 1cm로 하면 절곡부위의 최대 곡률반경은 4.5mm로 하는 것이 적당하다. Here, the two bends (114, 115) is a portion that is unfolded as the
한편, 상기 스트랩(110)은 통상적으로 베릴륨 동(beryllium copper) 재질로 구성된다. 그리고, 상기 스트랩(110)은 본 발명에 따르면 절곡 부위를 잘 휘어지게 하면서 반복적인 휨에 대해 내구성을 갖게 하여야 한다. 이러한 재질 및 요구사항을 감안하여 본 출원인이 반복적으로 실험해 본 결과, 상기 스트랩(110)의 두께(t)는 0.1~0.4mm로 제작하는 것이 적절하였다. 즉, 0.1mm보다 작은 두께로 제작하면 너무 잘 휘어져서 볼트 체결로 장착할 때에 불편하고 아크 발생의 우려가 있으며, 0.4mm보다 큰 두께로 제작하면 절곡 부위에서 잘 휘어지지 아니하여 절단되기 쉬웠다.On the other hand, the
그리고, 상기 스트랩(110)의 상단(111) 및 하단(112)에는 각각 볼트(140, 141)를 관통시킬 나사 홀(116, 117)이 조성되어서, 상단(111)에 볼트(140)를 관통시켜 후술하는 스트랩 고정홈(230)의 나사홈(232)에 나사체결하여 상단(111)를 고정하고, 하단(112)에 볼트(141)를 관통시켜 상기 클램프(130)의 암나사홈(133)에 나사체결하여 하단을 고정할 수 있다.In addition, screw holes 116 and 117 are formed at the
여기서, 상기 나사 홀(116, 117)은 폭(L1)보다는 상하 길이(L2)를 크게 하여서, 볼트를 나사체결함에 따라 상기 스트랩(110)의 상단 및 하단을 볼트머리로 눌러 클램프(130) 또는 하기의 스트랩 고정홈(230)에 밀착시킨 상태에서도 열팽창에 대한 유동을 허용한다. 물론, 상기 나사 홀(116, 117)의 폭(L1)은 볼트에서 나사체결되는 부분을 약간 여유있게 관통시키는 값을 갖게 한다.Here, the screw holes (116, 117) is larger than the width (L1) up and down length (L2), so as to tighten the bolts by pressing the upper and lower ends of the
상기 절연케이스(120)는, 상기 클램프(130)가 장착홈(200)의 내부 면에 직접 닿지 하게 하고, 상기 스트랩(110)에서 상단(111)을 제외한 하단(112) 및 중간(113)도 장착홈(200)의 내부 면에 직접 닿지 하게 하는 케이스로서, 장착홈(200)에서 하기에서 설명하는 스트랩 삽입홈(210) 및 클램프 삽입홈(220)의 내부 면을 일정한 두께로 덮는 형상, 즉, 내부공간을 갖으면서 스트랩 삽입홈(210) 및 클램프 삽입홈(220)의 내부 면 형상에 맞게 형성된다. The insulating
아울러, 상기 절연케이스(120)의 내부공간은 상기 클램프(130) 및 상기 스트랩(110)를 삽입할 수 있는 공간만을 갖게 형성된다. 이를 상기 도 5를 참조하여 부연 설명하면, 상기 클램프(130)를 하부에서 상부를 향해 삽입할 수 있는 클램프 삽입 공간(121)과, 상기 스트랩(110)을 측면에서 삽입할 수 있는 스트랩 삽입 공간(122)이 서로 이어지게 조성되되, 공간의 여유도를 최대한 줄여서, 억지 삽입 또는 내부공간의 면에 닿으면서 장착되게 한다.In addition, the inner space of the insulating
여기서, 상기 클램프 삽입 공간(121)은 클램프(130)에서 관통구(134)가 형성된 면, 즉, 스트랩(110)의 하단에 면접촉되어 고정되는 면이 샤프트(10)의 외주면을 향하게 함과 동시에 상기 스트랩 삽입 공간(122)을 통해 측방향 외부를 바라볼 수 있게 함으로써, 스트랩 삽입 공간(122)에 삽입되는 스트랩(110)의 하단을 삽입과 동시에 고정할 수 있게 한다. 물론, 상기 스트랩 삽입 공간(122)은 내부 상면을 스트랩(110)의 중간(113)에 면접촉되고 상기 스트랩 삽입 공간(122)의 내부 상하 높이는 스트랩(110)의 하단(112) 높이보다 크게 하여 스트랩(110)이 외부로 노출되지 않게 삽입할 수 있다. 그리고, 상기 클램프 삽입공간(121)의 상면에는 RF 로드(32)가 관통되는 구멍(123)도 조성된다.
Here, the
상기 장착홈(200)은, 상기와 같이 구성되는 접지커넥터(100)를 장착하기 위한 공간으로서, 상기 RF 로드(32)의 하단 주변을 절개하여 상기 클램프(130)의 장착 공간으로 사용되는 클램프 고정홈(220), 샤프트(10)의 외측면에서 상기 클램프 고정홈(220)을 향해 길게 절개하되 상기 스트랩(110)을 삽입할 정도의 폭을 갖도록 절개하여 상기 스트랩(110)의 상단(111)을 제외한 부분의 삽입 공간으로 사용되고 스트랩(110)의 중간(113) 형상에 맞게 내부 상면을 형성한 스트랩 삽입홈(210), 및 상기 스트랩 삽입홈(210)의 입구에서 상부 외측면에 홈 형태로 절개하되 상기 스트랩(110)의 상단을 삽입할 수 있는 폭을 갖게 하여 상기 스트랩(110)의 상단을 고정하기 위한 공간으로 사용되는 스트랩 고정홈(230),으로 이루어진다. The mounting
여기서, 상기 스트랩 고정홈(230)은 상기 스트랩 삽입홈(210)보다는 매우 낮게 형성되고, 상기 스트랩(110)의 상단(111)을 삽입한 후에 볼트(141)를 나사체결하여 고정하므로, 볼트(141)의 나사체결을 위한 나사홈(232)이 조성되며, 나사체결한 볼트(141)의 샤프트(10)의 외측면보다 돌출되지 아니할 정도의 깊이를 갖게 형성된다.Here, the
또한, 상기 도 4를 참조하면, 상기 스트랩 고정홈(230)과 상기 스트랩 삽입홈(210)이 만나는 부분은 단차가 형성되는 데, 이때 단차에 의한 모서리(231)는 서로 직각을 이룬 상태로 두지 아니하고, 모따기(chamfering)한다. 즉, 상기 모서리(231)는 상기 스트랩(110)의 상단과 중간 사이의 절곡(114) 부위에 닿지 아니하도록 모따기하는 것이다. 이는, 절곡(114) 부위가 펴지고 다시 굴곡 상태로 복원하는 형상 변화를 반복할 때에, 상기 절연케이스(120)로 덮이지 아니한 상기 스트랩 고정홈(230)의 내부면에 닿다 떨어지는 동작을 반복하게 되면, 아크가 발생하여 부식될 수 있기 때문이다. 아울러, 상기 모서리(231)의 모따기는 상기 스트랩(110)의 상단(111)에서 볼트(140)의 볼트머리에 눌리는 부분이 끝나는 지점에 시작되는 것이 좋다.In addition, referring to Figure 4, the part where the
상기 스트랩(110)에서 하단(112)과 중간(113) 사이의 절곡(115)은 절연케이스(120)의 내부에 있게 되므로 샤프트(10)에 형성된 장착홈(200)의 내면에 닿지는 아니한다.Since the
상기 스트랩 고정홈(230)을 제외한 상기 클램프 고정홈(220) 및 스트랩 삽입홈(210)은, 상기 절연케이스(120)에 의해 내부 면이 덮이므로, 절연케이스(120)를 덮은 상태에서 상기 클램프(130) 및 스트랩(110)을 장착할 수 있는 크기, 즉, 상기 절연케이스(120)의 외측면 형상에 맞게 형성된다. 그리고, 상기 스트랩 삽입홈(210) 및 스트랩 고정홈(230)은 띠의 형태로 형성된 상기 스트랩(110)의 폭과 상기 절연케이스(120)의 내외 두께에 맞추어 절개 폭이 결정된다. 여기서, 상기 장착홈(200)은 저면이 열려 있어서, 상기 절연케이스(120)를 하부에 상부를 향해 밀어 넣는 방식으로 상기 장착홈(200)에 삽입된다.
The
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따라 형성되는 상기 장착홈(200)은 상기 절연케이스(120)에 의해 일부 내부 면을 얇게 덮은 상태에서 상기 스트랩(110) 및 클램프(130)를 장착하지만, 저면에서 바라보면, 클램프(130)를 하부에서 꼭 맞게 삽입할 수 있는 클램프 삽입홈(220)이 RF 로드(32)의 하단 주변에 절개 형성되고, 측면에서 바라보면, 스트랩(110)의 하단(112)을 수직으로 세운 상태로 꼭 맞게 삽입할 수 있는 스트랩 삽입홈(210)이 상기 클램프 삽입홈(220)에 이어지게 절개형성되는 한편, 스트랩 삽입홈(210)의 입구 상측에 상기 스트랩 고정홈(220)을 형성하여서, 상기 클램프(130) 및 상기 스트랩(110)의 장착공간을 최소한도로 줄일 수 있다. 이에 따라, 샤프트(10)의 하단에 접지커넥터(100)를 장착하기 장착홈(200)이 차지는 부분을 최대한도로 줄일 수 있어서, 열전대를 삽입하는 열전대 삽입 통로(13) 및 냉각수를 주입/배출하는 냉각수 통로(14)를 구비하여 협소한 공간만을 허용하는 샤프트(10)에도 상기한 장착홈(200)을 형성하여 접지커넥터(100)를 장착할 수 있다.As described above, the mounting
또한, 상기 장착홈(200)에 장착되는 접지커넥터(100)는 RF 로드(32)가 열팽창할 때에 스트랩(110)을 펼쳐지게 하여 절곡 부위에서의 피로 강도를 줄인다. 이에 대해 도 7을 참조하여 부연설명한다.In addition, the
도 7은 RF 로드(32)의 열팽창에 따른 스트랩(110)의 형상 변화를 보여주는 측면도로서, 열팽창하기 전의 상태를 도 7의 a에 도시하였고, 열팽창한 후의 상태를 도 7의 b에 도시하였다. 상기 도 7의 b를 도시할 때에는 스트랩(110)의 형상 변화를 가시적으로 보기 좋게 하게 하기 위해서 스트랩(110)의 크기에 비해 RF 로드(32)가 과도하게 신장하는 것으로 도시하였다. FIG. 7 is a side view illustrating a shape change of the
상기 도 7의 a에서처럼 스트랩(110)은 상단(111)을 샤프트(10)에 접지되게 볼트로 고정되고 하단(112)을 RF 로드(32)에 장착한 클램프(130)에 볼트로 고정한 상태가 된다. 그리고, RF 로드(32)가 열팽창하면, 도 7의 b에 도시한 바와 같이 RF 로드(32)의 하단에 장착된 클램프(130)가 RF 로드의 신장에 의해 하부로 이동한다. 이때, 스트랩(110)의 절곡(114, 115)은 제작과정에서 절곡하기 전의 상태, 즉, 펴지는 형태로 변형되고, 양 절곡(114, 115) 사이의 중간(113)은 약간 기울어진다. 즉, 상기 스트랩(110)에 형성된 각각의 절곡(114, 115)은 RF 로드(32)의 열팽창에 따라 펴지는 형태로 변형되므로, 절곡을 굽히는 형태로 변형하는 경우보다 피로를 덜 받게 된다. 따라서, 본 발명에 따르면, 스트랩(110)의 내구성을 높일 수 있는 것이다.As shown in FIG. 7A, the
한편, 상기 스트랩(110)의 절곡 회수는 본 발명의 실시예로 첨부한 도면에서처럼 2회에 한정되는 것은 아니고, 2회보다 많은 회수로 절곡하여도 된다. 즉, 2회 이상 절곡하여도 된다. 이와 같이 상기 스트랩(110)을 2회를 초과하여 절곡할 때에는 계단 형상을 갖게 하며, 절곡 부위의 각도는 직각으로 하거나 아니면 둔각으로 한다. 절곡 부위의 각도를 둔각으로 할 때에는 수평면 아래로 절곡하지는 아니하고, 수직면으로 보면 샤프트(10)의 외측면에 편향되게 하여서, 상기 스트랩(110)이 잘 펴지게 한다. 그리고, 스트랩(110)의 중간, 즉, 볼트로 고정되는 상단 및 하단을 제외한 부분의 열팽창 전 형상에 맞게 절연케이스를 제작한다. 여기서도, 상기 스트랩(110)의 상단 및 하단은 장착의 편의를 위해서 수직으로 세워지게 하는 것이 좋다.
On the other hand, the number of bending of the
이상에서 본 발명의 기술적 사상을 예시하기 위해 구체적인 실시 예로 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기와 같이 구체적인 실시 예와 동일한 구성 및 작용에만 국한되지 않고, 여러가지 변형이 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 한도 내에서 실시될 수 있다. 따라서, 그와 같은 변형도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주해야 하며, 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의해 결정되어야 한다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, . ≪ / RTI > Accordingly, such modifications are deemed to be within the scope of the present invention, and the scope of the present invention should be determined by the following claims.
1 : 챔버 2 : 기판 3 : 히터 전원 4 : 전극 전원
10 : 샤프트 11 : 히터 삽입 통로 12 : RF 로드 삽입 통로
13 : 열전대 삽입 통로 14 : 냉각수 통로
20 : 히터 플레이트 21 : 히터 엘레먼트 22 : RF 전극
30 : 로드 31 : 히터 로드 32 : RF 로드
100 : 접지커넥터
110 : 스트랩(strap) 111 : 상단 112 : 하단
113 : 중간 114,115 : 절곡 116,117 : 나사 홀
120 : 절연케이스
121 : 클램프 삽입 공간 122 : 스트랩 삽입 공간
130 : 클램프 131 : 로드 관통구 132 : 절개부
133 : 암나사홈 134 : 관통구 135 : 몸체부
136 : 조임부
140, 141 : 볼트
200 : 장착홈
210 : 스트랩 삽입홈 220 : 클램프 삽입홈 230 : 스트랩 고정홈
10
13: thermocouple insertion passage 14: cooling water passage
20: heater plate 21: heater element 22: RF electrode
30: rod 31: heater rod 32: RF rod
100: Grounding connector
110: strap 111: top 112: bottom
113: middle 114,115: bending 116,117: screw hole
120: insulation case
121: clamp insertion space 122: strap insertion space
130: clamp 131: rod through hole 132: incision
133: female thread groove 134: through hole 135: body portion
136: tightening
140, 141: Bolt
200: mounting groove
210: strap insertion groove 220: clamp insertion groove 230: strap fixing groove
Claims (7)
상기 히터 플레이트(20)의 저면에 장착되며, 상기 RF 전극(22)에 전기적으로 연결되는 RF 로드(32)를 내부에 상하 관통되게 수용하되, 하부 측면에서 상기 RF 로드(32)를 향해 절개한 장착홈(200)을 형성한 후에 장착홈(200)에 접지커넥터(100)를 장착하여 RF 로드(32)와 전기적으로 연결되는 샤프트(10);
를 포함하여 구성되는 세라믹 히터에 있어서,
상기 접지커넥터(100)는,
상기 장착홈(200) 내부에 노출된 RF 로드(32)에 장착되는 클램프(130);
수직으로 세운 전도성 띠로 형성되어 상기 장착홈(200)에 삽입되며, 하단을 수직으로 세워 상기 클램프(130)에 고정한 상태에서, 중간부위를 2회 절곡하되, 하단에 이어지는 첫번째 절곡의 각을 샤프트(10)의 외측을 향해 직각 또는 둔각을 이루게 하고, 샤프트에 고정되는 상단이 연직방향을 향하도록 두번째 절곡을 형성한 후에, 상단을 상기 샤프트(10)의 외측면에 가깝게 고정하여서 상단이 하단보다는 상측 외부에 고정되게 하며, 상기 RF 로드(32)가 열팽창할 때에 절곡 부위를 펴지게 하여 하단을 하부방향으로 이동 가능하도록 절곡 부위의 곡률을 형성한 스트랩(110);
을 포함함을 특징으로 하는 접지용 스트랩을 구비한 세라믹 히터.A heater plate 20 configured to apply heat to a substrate accommodated in a plasma reaction chamber and mounted on an upper surface thereof, and to include an RF electrode 22 for generating plasma;
It is mounted on the bottom of the heater plate 20, and accommodates the RF rod 32 which is electrically connected to the RF electrode 22 to penetrate up and down therein, and is cut in the lower side toward the RF rod 32. A shaft 10 electrically connected to the RF rod 32 by mounting the ground connector 100 in the mounting groove 200 after the mounting groove 200 is formed;
In the ceramic heater comprising a,
The ground connector 100,
A clamp 130 mounted on the RF rod 32 exposed inside the mounting groove 200;
It is formed of a conductive strip vertically formed and inserted into the mounting groove 200, while bending the middle part twice in a state where the bottom is vertically fixed to the clamp 130, the angle of the first bending following the bottom of the shaft ( 10) orthogonal or obtuse to the outside, and after forming the second bend so that the upper end fixed to the shaft is directed in the vertical direction, the upper end is fixed closer to the outer surface of the shaft 10 so that the upper end is higher than the lower end. A strap 110 configured to be fixed to the outside and to form a curvature of the bent portion so that the bent portion is extended when the RF rod 32 is thermally expanded to move downward in a downward direction;
Ceramic heater with a strap for grounding, characterized in that it comprises a.
상기 장착홈(200)은,
상기 스트랩(110)의 두번째 절곡 형상에 맞게 단차를 갖추어 상기 스트랩(110)에 밀착되되, 상기 스트랩(110)의 두번째 절곡에 닿지 아니하도록 모따기(chamfering)함을 특징으로 하는 접지용 스트랩을 구비한 세라믹 히터.The method of claim 2,
The mounting groove 200,
With a step according to the second bent shape of the strap 110 is in close contact with the strap 110, provided with a grounding strap characterized in that the chamfering (chamfering) so as not to touch the second bend of the strap 110 Ceramic heater.
상기 스트랩(110)은, 베릴륨동 재질로 0.1~0.4mm의 두께를 갖는 띠의 형상을 갖추고, 절곡된 부위의 곡률반경을 1.2~4.5mm로 형성한 것임을 특징으로 하는 접지용 스트랩을 구비한 세라믹 히터.The method of claim 3,
The strap 110 is a beryllium copper material having a shape of a band having a thickness of 0.1 ~ 0.4mm, the ceramic having a strap for grounding, characterized in that the curvature radius of the bent portion is formed to 1.2 ~ 4.5mm heater.
상기 스트랩(110)은 상하단에 각각 볼트(140, 141)를 관통할 나사 홀(116, 117)을 조성하여 볼트 체결로 상기 클램프(130) 및 상기 샤프트(10)에 고정되되,
상기 나사홀(116, 117)은 폭보다는 상하로 길게 조성한 것임을 특징으로 하는 접지용 스트랩을 구비한 세라믹 히터.The method of claim 3,
The strap 110 is fixed to the clamp 130 and the shaft 10 by fastening bolts by forming screw holes 116 and 117 to penetrate the bolts 140 and 141 at upper and lower ends, respectively.
The screw hole (116, 117) is a ceramic heater having a strap for grounding, characterized in that it is formed longer than the width.
상기 장착홈(200)은,
상기 스트랩(110)의 상단이 고정되는 면을 제외한 면에 밀착되는 절연케이스(120)가 장착되어서, 상기 RF 로드(32)를 샤프트(10)에 직접 접촉되지 아니하게 하고, 상기 스트랩(110)의 상단을 제외한 부분 및 상기 클램프(130)를 상기 절연케이스(120)의 내부에 장착되게 함을 특징으로 하는 접지용 스트랩을 구비한 세라믹 히터.The method of claim 3,
The mounting groove 200,
The insulating case 120 is attached to the surface except the surface on which the upper end of the strap 110 is fixed, so that the RF rod 32 does not directly contact the shaft 10, and the strap 110 A ceramic heater having a grounding strap, except for the upper portion of the clamp and the clamp 130 to be mounted inside the insulating case 120.
상기 장착홈(200)은,
상기 스트랩(110)의 하단을 클램프(130)에 면접촉되는 방향으로 측면에서 밀어넣는 통로를 갖추게 형성됨을 특징으로 하는 접지용 스트랩을 구비한 세라믹 히터.The method of claim 3,
The mounting groove 200,
Ceramic heater having a strap for grounding, characterized in that it is formed to have a passage for pushing the lower end of the strap 110 in the surface contact direction with the clamp 130.
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