WO2018062710A1 - Ground clamping unit and substrate support assembly comprising same - Google Patents

Ground clamping unit and substrate support assembly comprising same Download PDF

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WO2018062710A1
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clamping
hollow
clamping unit
clamping body
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정철호
최진영
이주성
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주식회사 미코
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    • C23C16/458—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for supporting substrates in the reaction chamber
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Definitions

  • a plasma processing apparatus In order to perform the thin film deposition process or the patterning process, a plasma processing apparatus is used that exposes the substrate to plasma in a substrate processing chamber to form a thin film on the substrate or partially etch the thin film formed on the substrate.
  • the plasma may be formed by passing microwaves through the process gas or by inductively or capacitively coupling energy to the process gas.
  • the plasma processing apparatus includes a process chamber, a substrate support disposed in the process chamber and supporting the substrate while heating the substrate, a ground rod connected to the ground terminal and extending below the substrate support, and the substrate support disposed in the process chamber. And a clamping unit for interconnecting the mounting member and the ground rod and the mounting member.
  • the heating support may maintain an electrical ground state through a mounting member connected to the ground rod, the clamping unit, and the process chamber in a ground state.
  • an object of the present invention is to provide a ground clapping unit capable of suppressing breakage of the ground rod caused by arcing.
  • Another object of the present invention is to provide a substrate support assembly having a ground clapping unit capable of suppressing breakage caused by arcing.
  • the ground clamping unit for grounding the hollow member and the ground rod mounted in the hollow hollow is formed with a through groove to surround the outer portion of the ground rod; And a clamping body provided therein, the elastic connecting portion elastically contacting the inner side of the hollow member in the hollow, and a fastening portion for fastening the elastic connecting portion to the clamping body.
  • the clamping body is provided to face the first clamper and a first clamper having a first recess extending in a first direction on a first inner surface and the first clamper, the first
  • the second clamper may include a second clamper formed on a second inner surface facing the inner surface and having a second recess to form the through groove together with the first recess.
  • chamfers may be formed at corner portions of each of the first and second clampers facing each other.
  • the clamping body may include an anti-oxidation coating layer formed on its surface.
  • the hollow is formed in a cylindrical shape
  • the elastic connecting portion may be in surface contact with the inner surface of the hollow member.
  • the elastic connecting portion, the first and second contact parts and the first and second contact parts that contact the outer surface of the clamping body is connected to the first and second contact parts and elastically contact with the hollow member It may include an arcing portion having an arc shape.
  • the first and second contact parts and the arcing part may be integrally formed.
  • the elastic connection may have a thickness in the range of 0.1 to 1.0 mm.
  • a substrate support assembly may include a substrate support part supporting a substrate and having a ground electrode for plasma formation, and a mounting part provided to mount the substrate support part and having a hollow formed therein in a vertical direction. Electrically connected to a ground electrode, the ground rod disposed inside the hollow and the hollow formed in the mounting portion, partially clamping an outer circumferential surface of the ground rod, and electrically connecting the mounting portion and the ground rod.
  • a first ground clamping unit connected to the ground to electrically ground the ground rod,
  • the elastic connecting portion may be in surface contact with the inner surface of the mounting member defining the hollow.
  • the substrate support portion, the heater is formed therein and includes a support plate for contacting the substrate and a heater tube provided to support the lower portion of the support plate and partially surround the ground rod;
  • the ground clamping unit which contacts the inner side of the hollow formed in the hollow member and clamps the ground rod may be electrically grounded more firmly between the ground rod and the hollow member.
  • the contact area between the ground clamping unit and the hollow member may be increased.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a ground clamping unit according to an exemplary embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a state in which the ground clamping unit of FIG. 1 clamps the ground rod and contacts the hollow member.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating a state in which the first and second ground clamping units illustrated in FIG. 4 are interconnected.
  • the clamping body 143 may include a first clamper 141 and a second clamper 142 spaced apart from each other.
  • the first clamper 141 and the second clamper 142 may have a separation distance of about 0.3 mm.
  • the elastic connecting portion 145 may be in surface contact with the inner surface 125 of the hollow member 120, that is, the inner surface 125 of the hollow area defining the hollow.
  • the contact area between the elastic connecting portion 145 and the inner surface 125 of the hollow member 120 is increased, the grounding characteristics of the ground clamping unit 140 may be improved.
  • the contact area may be adjusted to an area ratio of about 2.0 to 3.2% of the hollow plane formed on the hollow member 120.
  • the first and second contact portions 146 and 147 contact the outer surface of the clamping body 143. That is, the first contact portion 146 contacts the outer surface of the first clamper 141, while the second contact portion 147 contacts the outer surface of the second clamper 142.
  • the substrate support assembly 100 includes a substrate support 110, a mounting part 120, a ground rod 130, and a first ground clamping unit 140. .
  • the substrate support assembly 100 is disposed in a process chamber (not shown) that provides a processing region for a plasma process.
  • the substrate support assembly 100 may form a thin film on the substrate using a plasma formed in the processing region, or partially etch the thin film to form a thin film pattern while supporting the substrate thereon.
  • the support plate 111 has a heating element 115 such as a heating coil therein.
  • the substrate support 110 may adjust the temperature of the substrate disposed thereon.
  • the mounting part 120 may be fastened to the heater tube 117.
  • the mounting portion 120 has a hollow 125 formed in the vertical direction therein.
  • the mounting part 120 is connected to the process chamber. Accordingly, when the process chamber has a reference potential as the mounting unit 120 is electrically connected to the process chamber, the mounting unit 120 may have the mounting unit 120 or a reference potential (ground potential).
  • the ground rod 130 is disposed inside the hollow 125 formed in the mounting part 120. That is, the ground rod 130 extends in the vertical direction. In addition, the ground rod 130 is electrically connected to the ground electrode 113. The ground rod 130 is electrically connected to the substrate support 110, that is, the ground electrode 113. The ground rod 130 may have a cylindrical shape.
  • the first ground clamping unit 140 includes a clamping body 143, an elastic connecting portion 145, and a first fastening portion 149.
  • the first ground clamping unit 140 is provided in the hollow 125 of the mounting unit 120.
  • the first ground clamping unit 140 may electrically connect between the ground rod 130 and the mounting unit 120.
  • the ground rod 130 may be grounded through the first ground clamping unit 140.
  • the ground rod 130 may be electrically connected to the substrate support 110, in particular, the ground electrode 113, which is electrically connected, and thus the substrate support 110 may be grounded during plasma formation.
  • the elastic connecting portion 145 may have a thin plate shape.
  • the elastic connector 145 may have an arc shape.
  • the elastic connecting portion 145 may increase the contact area of the ground rod 130 by surface contact with the ground rod 130.
  • the first fastening part 149 fastens the elastic connecting part 145 to the clamping body 143.
  • the first fastening part 149 may fasten the elastic connection part 145 to the clamping body 143 by, for example, a bolt fastening method.
  • the second clamper 142 is provided to face the first clamper 141 spaced apart.
  • the second clamper 142 has a second recess formed in a second inner surface facing the first inner surface.
  • the second recess forms the through groove together with the first recess.
  • the ground rod 130 may pass through the through hole.
  • the first fastening part 149 may fasten the first and second clampers 141 and 142 and the elastic connection part 145 to each other.
  • the clamping body 143 is provided as a separate type separated into the first and second clampers 141 and 142, so that a portion having a relatively thin thickness is adjacent to the through groove formed in the integral clamping body. Can be prevented from being exposed to damage.
  • corner portions facing the first and second clampers 141 and 142 may be formed to have a round shape. As a result, the plasma can suppress the concentration of plasma in the corner portion.
  • the elastic connecting portion 145 may be in surface contact with the inner surface of the mounting portion 120, that is, the inner surface of the hollow area defining the hollow 125.
  • the contact area between the elastic connecting portion 145 and the inner side of the mounting portion 120 increases, the grounding characteristics of the first ground clamping unit 140 may be improved.
  • the contact area may be adjusted to an area ratio of about 2.0 to 3.2% of the plane of the hollow 125 formed in the mounting unit 120.
  • the area ratio may be adjusted according to the length of the elastic connector 145 in the first direction.
  • the area ratio may be adjusted by adjusting the length of the arc formed by the elastic connector 145 or the elastic force of the elastic connector 145.
  • the elastic connecting portion 145 may include first and second contact portions 146 and 147 and arcing portion 148. As a result, the elastic connecting portion 145 may have a U shape.
  • the first and second contact portions 146 and 147 contact outer surfaces of the clamping body 143, for example, outer surfaces of the first and second clampers 141 and 142.
  • the arcing part 148 may be connected to the first and second contact parts 146 and 147 and may elastically contact an inner surface of the mounting part 120 and have an arc shape.
  • the elastic connecting portion 145 may be in surface contact with the inner surface of the mounting portion 120 in a stable manner.
  • the first and second contact parts 146 and 147 and the arcing part 148 may be integrally formed.
  • the elastic connecting portion 145 may have a thickness in the range of 0.1 to 1.0mm.
  • the elastic connector 145 has a thickness less than 0.1 mm, its durability deteriorates, and when the elastic connector 145 has a thickness greater than 1.0 mm, the restoring force of the elastic connector 145 is too high, so that the first ground
  • the clamping unit 140 may apply an excessively high pressure to the ground rod 130.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view for describing the second ground clamping unit illustrated in FIG. 4.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating a state in which the first and second ground clamping units illustrated in FIG. 4 are interconnected.
  • the substrate support assembly 100 may further include a second ground clamping unit 180 and a clamping connection 190.
  • the second ground clamping unit 180 is disposed in the heater tube 117.
  • the second ground clamping unit 180 may partially clamp an outer circumferential surface of the ground rod 130.
  • the clamping connection 190 electrically connects the first and second ground clamping units 140 and 180 to each other.
  • the clamping connection 190 may have a plate shape.
  • the ground rod 130 is clamped at a plurality of positions using the first and second ground clamping units 140 and 180. Thus, the strength of the ground rod can be improved.
  • clamping connection 190 is electrically connected to the first and second ground clamping units 140 and 180. Accordingly, ground nodes 130 are formed in the ground rod 130 at a plurality of positions. As a result, the ground rod 130 may be grounded more stably.
  • the clamping body 183 is provided with an inclined inner wall forming an inclined through groove to surround the outer portion of the ground rod 130.
  • the wedge member 185 is interposed between the ground rods 130 in the inclined through groove to fix the second clamp body 183 between the ground rods 130.
  • the third ground clamping unit 160 may be disposed at the outer side of the mounting unit 120. It may optionally be provided to clamp the lower end.

Abstract

A ground clamping unit for grounding a hollow member having a hollow and a ground load mounted in the hollow comprises: a clamping body having a penetration groove so as to encompass an external part of the ground load; an elastic connection part elastically making contact with the inside of the hollow member in the hollow and connected to the clamping body; and a fastening part for fastening the elastic connection part to the clamping body. Therefore, the clamping unit can tightly and electrically connect the ground load and the hollow member.

Description

접지 클램핑 유닛 및 이를 포함하는 기판 지지 어셈블리Ground Clamping Unit and Substrate Support Assembly Comprising the Same
본 발명은 접지 클램핑 유닛 및 이를 포함하는 기판 지지 어셈블리에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 본 발명은 플라즈마 반응 챔버 내에 구비된 중공이 형성된 중공 부재 및 상기 중공 내에 장착된 접지 로드를 상호 연결시켜 전기적으로 접지시키는 접지 클램핑 유닛 및 상기 접지 클램핑 유닛을 포함하는 기판 지지 어셈블리에 관한 것이다. The present invention relates to a ground clamping unit and a substrate support assembly comprising the same. More specifically, the present invention relates to a substrate supporting assembly comprising a hollow member having a hollow formed in a plasma reaction chamber, a ground clamping unit interconnecting and electrically grounding a ground rod mounted in the hollow, and the ground clamping unit. will be.
전자 회로 및 디스플레이 제조에 있어서, 반도체, 유전체, 및 전기 전도성 재료를 이용한 박막이 기판 상에 형성된다. 이러한 박막을 형성하는 박막 형성 공정은 화학기상증착(CVD), 물리기상증착(PVD), 이온 주입, 산화 및 질화 프로세스에 의해 형성될 수 있다. 이후, 상기 박막을 플라즈마에 노출시켜 상기 박막을 패터닝하는 패터닝 공정이 수행된다.In electronic circuit and display fabrication, thin films using semiconductors, dielectrics, and electrically conductive materials are formed on a substrate. The thin film forming process for forming such a thin film may be formed by chemical vapor deposition (CVD), physical vapor deposition (PVD), ion implantation, oxidation and nitriding processes. Thereafter, a patterning process of patterning the thin film by exposing the thin film to plasma is performed.
상기 박막 증착 공정 또는 패터닝 공정을 수행하기 위하여, 상기 기판을 기판 처리 챔버 내의 플라즈마에 노출시켜 기판 상에 박막을 형성하거나, 기판 상에 형성된 박막을 부분적으로 식각하는 플라즈마 처리 장치가 이용된다. In order to perform the thin film deposition process or the patterning process, a plasma processing apparatus is used that exposes the substrate to plasma in a substrate processing chamber to form a thin film on the substrate or partially etch the thin film formed on the substrate.
상기 플라즈마는 프로세스 가스를 통해 마이크로웨이브를 통과시킴으로써 또는 프로세스 가스에 에너지를 유도적으로 또는 용량적으로 커플링(inductively or capacitively coupling)함으로써 형성될 수 있다.The plasma may be formed by passing microwaves through the process gas or by inductively or capacitively coupling energy to the process gas.
상기 플라즈마 처리 장치는 공정 챔버, 상기 공정 챔버 내부에 배치되며 상기 기판을 가열하면서 지지하며 접지 단자를 갖는 기판 지지부, 상기 접지 단자와 연결되며 그 하부로 연장된 접지 로드, 상기 기판 지지부를 상기 공정 챔버에 마운팅하는 마운팅 부재 및 상기 접지 로드 및 마운팅 부재를 상호 연결시키는 클램핑 유닛을 포함한다.The plasma processing apparatus includes a process chamber, a substrate support disposed in the process chamber and supporting the substrate while heating the substrate, a ground rod connected to the ground terminal and extending below the substrate support, and the substrate support disposed in the process chamber. And a clamping unit for interconnecting the mounting member and the ground rod and the mounting member.
상기 공정 챔버 내부에 플라즈마 상태가 형성된다. 이때, 상기 히팅 지지부는, 상기 접지 로드, 클램핑 유닛 및 접지 상태의 공정 챔버에 연결된 마운팅 부재를 통하여 전기적인 접지 상태를 유지할 수 있다. A plasma state is formed inside the process chamber. In this case, the heating support may maintain an electrical ground state through a mounting member connected to the ground rod, the clamping unit, and the process chamber in a ground state.
특히, 상기 박막 형성 공정의 효율을 증대시키기 위하여, 기존 13.56 MHz 대신에 27.2 MHz 주파수를 갖는 플라즈마 파워가 사용됨에 따라 플라즈마의 밀도를 증대시키는 공정이 최근에 수행되고 있다. 이로써, 상기 클램핑 유닛에 아킹 현상이 발생하여 상기 클램핑 유닛의 파손이 발생하는 문제가 있다.In particular, in order to increase the efficiency of the thin film forming process, as the plasma power having a frequency of 27.2 MHz is used instead of the existing 13.56 MHz, a process of increasing the density of the plasma has been recently performed. As a result, an arcing phenomenon occurs in the clamping unit, and thus there is a problem that breakage of the clamping unit occurs.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 일 목적은 아킹 현상에 따른 접지 로드의 파손을 억제할 수 있는 접지 클래핑 유닛을 제공하는 것이다. Accordingly, the present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide a ground clapping unit capable of suppressing breakage of the ground rod caused by arcing.
본 발명의 다른 목적은 아킹 현상에 따른 파손을 억제할 수 있는 접지 클래핑 유닛을 구비한 기판 지지 어셈블리를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a substrate support assembly having a ground clapping unit capable of suppressing breakage caused by arcing.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예들에 따르며, 중공이 형성된 중공 부재 및 상기 중공 내에 장착된 접지 로드를 접지시키는 접지 클램핑 유닛은 상기 접지 로드의 외각부를 감싸도록 관통홈이 구비된 클램핑 몸체, 상기 중공 내부에서 상기 중공 부재의 내측에 탄성적으로 접촉하며, 상기 클램핑 몸체에 연결된 탄성 연결부 및 상기 클램핑 몸체에 상기 탄성 연결부를 체결시키는 체결부를 포함한다.According to the embodiments of the present invention in order to achieve the above object of the present invention, the ground clamping unit for grounding the hollow member and the ground rod mounted in the hollow hollow is formed with a through groove to surround the outer portion of the ground rod; And a clamping body provided therein, the elastic connecting portion elastically contacting the inner side of the hollow member in the hollow, and a fastening portion for fastening the elastic connecting portion to the clamping body.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 클램핑 몸체는, 제1 내면에 제1 방향으로 연장된 제1 리세스를 구비하는 제1 클램퍼 및 상기 제1 클램퍼와 이격되어 마주보도록 구비되며, 상기 제1 내면과 마주보는 제2 내면에 형성되어 상기 제1 리세스와 함께 상기 관통홈을 형성하는 제2 리세스를 구비하는 제2 클램퍼를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제1 및 제2 클램퍼들 각각의 서로 마주보는 모서리부에는 모따기가 형성될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the clamping body is provided to face the first clamper and a first clamper having a first recess extending in a first direction on a first inner surface and the first clamper, the first The second clamper may include a second clamper formed on a second inner surface facing the inner surface and having a second recess to form the through groove together with the first recess. Here, chamfers may be formed at corner portions of each of the first and second clampers facing each other.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 클램핑 몸체는 그 표면에 형성된 산화 방지용 코팅층을 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the clamping body may include an anti-oxidation coating layer formed on its surface.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 중공은 원기둥 형상으로 형성되며, 상기 탄성 연결부는 상기 중공 부재의 내측면에 면접촉할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the hollow is formed in a cylindrical shape, the elastic connecting portion may be in surface contact with the inner surface of the hollow member.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 탄성 연결부 및 상기 중공 부재 사이에 면접촉하는 접촉 면적은 상기 중공의 평면적을 기준으로 0.2 내지 3.2% 범위를 가질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the contact area in surface contact between the elastic connecting portion and the hollow member may have a range of 0.2 to 3.2% based on the planar area of the hollow.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 탄성 연결부는 U자 형상을 가질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the elastic connecting portion may have a U-shape.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 탄성 연결부는, 상기 클램핑 몸체의 외면에 컨택하는 제1 및 제2 컨택부들 및 상기 제1 및 제2 컨택부들과 연결되며 상기 중공 부재와 탄성적으로 컨택하며 아크 형상을 갖는 아킹부를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제1 및 제2 컨택부들 및 아킹부는 일체로 형성될 수 있다. 또한, 상기 탄성 연결부는 0.1 내지 1.0 mm 범위의 두께를 가질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the elastic connecting portion, the first and second contact parts and the first and second contact parts that contact the outer surface of the clamping body is connected to the first and second contact parts and elastically contact with the hollow member It may include an arcing portion having an arc shape. The first and second contact parts and the arcing part may be integrally formed. In addition, the elastic connection may have a thickness in the range of 0.1 to 1.0 mm.
발명의 실시예들에 따를 기판 지지 어셈블리는, 기판을 지지하며, 플라즈마 형성을 위한 접지 전극을 구비하는 기판 지지부, 상기 기판 지지부를 마운팅하도록 구비되며 그 내부에 상하 방향으로 중공이 형성된 마운팅부, 상기 접지 전극과 전기적으로 연결되며, 상기 중공 내부에 배치된 접지 로드 및 상기 마운팅부에 형성된 상기 중공 내에서 위치하며, 상기 접지 로드의 외주면을 부분적으로 클램핑하며, 상기 마운팅부 및 상기 접지 로드 사이를 전기적으로 연결시켜 상기 접지 로드를 전기적으로 접지시키는 제1 접지 클랭핑 유닛을 포함하고, According to embodiments of the present invention, a substrate support assembly may include a substrate support part supporting a substrate and having a ground electrode for plasma formation, and a mounting part provided to mount the substrate support part and having a hollow formed therein in a vertical direction. Electrically connected to a ground electrode, the ground rod disposed inside the hollow and the hollow formed in the mounting portion, partially clamping an outer circumferential surface of the ground rod, and electrically connecting the mounting portion and the ground rod. A first ground clamping unit connected to the ground to electrically ground the ground rod,
상기 제1 접지 클램핑 유닛은, 상기 접지 로드의 외각부를 감싸도록 관통홈이 구비된 클램핑 몸체, 상기 마운팅 부재의 내측에 탄성적으로 접촉하며, 상기 클램핑 몸체와 연결된 탄성 연결부 및 상기 클램핑 몸체에 상기 탄성 연결부를 체결시키는 제1 체결부를 포함할 수 있다.The first ground clamping unit may include a clamping body provided with a through groove so as to surround an outer portion of the ground rod, an elastic contact part connected to the inside of the mounting member, and an elastic connection part connected to the clamping body and the elastic body to the clamping body. It may include a first fastening portion for fastening the connection.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 클램핑 몸체는, 제1 내면에 제1 방향으로 연장된 제1 리세스를 구비하는 제1 클램퍼 및 상기 제1 클램퍼와 이격되어 마주보도록 구비되며, 상기 제1 내면과 마주보는 제2 내면에 형성되어 상기 제1 리세스와 함께 상기 관통홈을 형성하는 제2 리세스를 구비하는 제2 클램퍼를 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the clamping body is provided to face the first clamper and a first clamper having a first recess extending in a first direction on a first inner surface and the first clamper, the first The second clamper may include a second clamper formed on a second inner surface facing the inner surface and having a second recess to form the through groove together with the first recess.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 탄성 연결부는 상기 중공을 정의하는 상기 마운팅 부재의 내측면에 면접촉할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the elastic connecting portion may be in surface contact with the inner surface of the mounting member defining the hollow.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 탄성 연결부는 상기 클램핑 몸체의 외면에 컨택하는 제1 및 제2 컨택부들 및 상기 제1 및 제2 컨택부들과 연결되며 상기 마운팅 부재와 탄성적으로 컨택하며 아크 형상을 갖는 아킹부를 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the resilient connecting portion is connected to the first and second contact portions and the first and second contact portions contacting the outer surface of the clamping body and elastically contact the mounting member and the arc It may include an arcing portion having a shape.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판 지지부는, 내부에 히터가 형성되며 기판과 컨택하는 지지 플레이트 및 상기 지지 플레이트의 하부를 지지하며 상기 접지 로드를 부분적으로 둘러싸도록 구비된 히터 튜브를 포함하고, In one embodiment of the present invention, the substrate support portion, the heater is formed therein and includes a support plate for contacting the substrate and a heater tube provided to support the lower portion of the support plate and partially surround the ground rod; ,
상기 히터 튜브 내에 상기 접지 로드의 외주면을 부분적으로 클램핑하며, 상기 제1 클램핑 유닛과 전기적으로 연결된 제2 접지 클램핑 유닛 및 상기 제1 및 제2 접지 클램핑 유닛들을 상호 전기적으로 연결시키는 클램핑 연결부가 추가적으로 구비될 수 있다.A clamping connection part is further provided to partially clamp an outer circumferential surface of the ground rod in the heater tube, and a second ground clamping unit electrically connected to the first clamping unit and an electrical connection between the first and second ground clamping units. Can be.
여기서, 상기 제2 접지 클램핑 유닛은, 상기 접지 로드의 외각부를 감싸도록 경사진 관통홈이 구비된 제2 클램핑 몸체, 상기 경사진 관통홈 내에 상기 접지 로드 사이에 개재되어 상기 제2 클램프 몸체를 상기 접지 로드 사이에 고정시키는 쇄기 부재 및 상기 쇄기 부재를 상기 제2 클램핑 몸체에 체결시키는 제2 체결부를 포함할 수 있다.Here, the second ground clamping unit, the second clamping body having a through groove inclined to surround the outer portion of the ground rod, interposed between the ground rod in the inclined through groove to the second clamp body to the It may include a wedge member for fixing between the ground rod and a second fastening portion for fastening the wedge member to the second clamping body.
이러한 접지 클램핑 유닛에 따르면, 중공 부재의 내부에 형성된 중공의 내측과 컨택하며 접지 로드를 클램핑하는 접지 클램핑 유닛이 구비됨에 따라 상기 접지 로드와 중공 부재 사이를 보다 견고하게 전기적으로 접지시킬 수 있다. 또한, 상기 중공 부재에 형성된 중공의 내측벽에 접지 클램핑 유닛이 면접촉함에 따라, 상기 접지 클램핑 유닛 및 중공 부재 사이의 접촉 면적이 증대될 수 있다. According to the ground clamping unit, the ground clamping unit which contacts the inner side of the hollow formed in the hollow member and clamps the ground rod may be electrically grounded more firmly between the ground rod and the hollow member. In addition, as the ground clamping unit is in surface contact with the hollow inner wall formed on the hollow member, the contact area between the ground clamping unit and the hollow member may be increased.
한편, 상기 중공 부재의 외부에 접지 클램핑 유닛과 비교할 때, 접지 클램핑 유닛이 상기 중공 내부에 구비됨에 따라 접지 클램핑 배치에 의한 어셈블리의 설계 자유도의 제한이 억제될 수 있다. On the other hand, as compared with the ground clamping unit on the outside of the hollow member, as the ground clamping unit is provided inside the hollow, the restriction of the design freedom of the assembly by the ground clamping arrangement can be suppressed.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 접지 클램핑 유닛을 설명하기 위한 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a ground clamping unit according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 2는 도 1의 접지 클램핑 유닛이 접지 로드를 클램핑하고 중공 부재와 컨택하는 상태를 나타내는 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a state in which the ground clamping unit of FIG. 1 clamps the ground rod and contacts the hollow member.
도 3은 도 1의 I-I 선을 따라 절단한 단면도이다.3 is a cross-sectional view taken along line II of FIG. 1.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 어셈블리를 설명하기 위한 단면도이다.4 is a cross-sectional view illustrating a substrate support assembly according to an embodiment of the present invention.
도 5는 도 4에 도시된 제2 접지 클램핑 유닛을 설명하기 위한 단면도이다.FIG. 5 is a cross-sectional view for describing the second ground clamping unit illustrated in FIG. 4.
도 6은 도 4에 도시된 제1 및 제2 접지 클램핑 유닛들이 상호 연결된 상태를 나타내는 도면이다.FIG. 6 is a diagram illustrating a state in which the first and second ground clamping units illustrated in FIG. 4 are interconnected.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예들에 따르며, 중공이 형성된 중공 부재 및 상기 중공 내에 장착된 접지 로드를 접지시키는 접지 클램핑 유닛은 상기 접지 로드의 외각부를 감싸도록 관통홈이 구비된 클램핑 몸체, 상기 중공 내부에서 상기 중공 부재의 내측에 탄성적으로 접촉하며, 상기 클램핑 몸체에 연결된 탄성 연결부 및 상기 클램핑 몸체에 상기 탄성 연결부를 체결시키는 체결부를 포함한다.According to the embodiments of the present invention in order to achieve the above object of the present invention, the ground clamping unit for grounding the hollow member and the ground rod mounted in the hollow hollow is formed with a through groove to surround the outer portion of the ground rod; And a clamping body provided therein, the elastic connecting portion elastically contacting the inner side of the hollow member in the hollow, and a fastening portion for fastening the elastic connecting portion to the clamping body.
첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 접지 클램핑 유닛 및 기판 지지 어셈블리에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 이해하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다.A ground clamping unit and a substrate support assembly according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. As the inventive concept allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the drawings, similar reference numerals are used for similar elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structure is shown to be larger than the actual size for clarity of the invention, or to reduce the actual size to understand the schematic configuration.
또한, 제1 및 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.In addition, terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as the second component, and similarly, the second component may also be referred to as the first component.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.On the other hand, unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art. Terms such as those defined in the commonly used dictionaries should be construed as having meanings consistent with the meanings in the context of the related art and shall not be construed in ideal or excessively formal meanings unless expressly defined in this application. Do not.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 접지 클램핑 유닛을 설명하기 위한 단면도이다. 도 2는 도 1의 접지 클램핑 유닛이 접지 로드를 클램핑하고 중공 부재와 컨택하는 상태를 나타내는 단면도이다. 도 3은 도 1의 I-I 선을 따라 절단한 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a ground clamping unit according to an exemplary embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a state in which the ground clamping unit of FIG. 1 clamps the ground rod and contacts the hollow member. 3 is a cross-sectional view taken along line II of FIG. 1.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 접지 클램핑 유닛(140)은 클램핑 몸체(143), 탄성 연결부(145) 및 체결부(149)를 포함한다. 상기 접지 클램핑 유닛(140)은 제1 방향으로 연장된 중공이 형성된 중공 부재(120; 도 4 참조)의 중공 내에 구비되며 제1 방향으로 연장된 접지 로드(130) 사이를 전기적으로 연결시킬 수 있다. 여기서, 상기 제1 방향은 도 1을 관통하는 방향에 해당할 수 있다. 이로써, 상기 중공 부재(120)가 전기적으로 접지될 경우, 상기 접지 클램핑 유닛(140)을 통하여 상기 접지 로드(130)가 접지될 수 있다. 여기서, 상기 접지 로드(130)는 기판을 지지하는 기판 지지부(미도시)와 전기적으로 연결되어, 플라즈마 형성시 기판 지지부를 접지시킬 수 있다.1 to 3, the ground clamping unit 140 according to an embodiment of the present invention includes a clamping body 143, an elastic connection part 145, and a fastening part 149. The ground clamping unit 140 may be provided in the hollow of the hollow member 120 (see FIG. 4) having the hollow extending in the first direction and may electrically connect the ground rods 130 extending in the first direction. . Here, the first direction may correspond to a direction passing through FIG. 1. Thus, when the hollow member 120 is electrically grounded, the ground rod 130 may be grounded through the ground clamping unit 140. Here, the ground rod 130 may be electrically connected to a substrate support (not shown) that supports the substrate to ground the substrate support during plasma formation.
상기 클램핑 몸체(143)는 상기 접지 로드(130)의 외각부를 감싸도록 관통홈(144)이 구비된다. 또한, 상기 클램핑 몸체(143)는 전기적 전도성을 가짐에 따라 상기 접지 로드(130) 및 중공 부재(120) 사이를 전기적으로 연결시킬 수 있다.The clamping body 143 is provided with a through groove 144 to surround the outer portion of the ground rod 130. In addition, the clamping body 143 may be electrically connected between the ground rod 130 and the hollow member 120 as it has electrical conductivity.
상기 접지 로드(130)가 원기둥 형상을 가질 경우, 상기 관통홈(144)은 상기 접지 로드(130)에 대응되는 원기둥 형상을 가질 수 있다. 이로써, 상기 클램핑 몸체(143)는 상기 접지 로드(130)와 면접촉함에 따라, 상기 클램핑 몸체(143)는 상기 접지 로드(130)를 보다 견고하게 클램핑할 수 있다. When the ground rod 130 has a cylindrical shape, the through groove 144 may have a cylindrical shape corresponding to the ground rod 130. As a result, the clamping body 143 is in surface contact with the ground rod 130, so that the clamping body 143 may clamp the ground rod 130 more firmly.
상기 탄성 연결부(145)는 상기 클램핑 몸체(143)에 연결된다. 또한, 상기 탄성 연결부(145)는 상기 중공 부재(120)의 내측면(125)에 탄성적으로 접촉한다. 이로써, 상기 탄성 연결부(145)가 상기 클램핑 몸체(143) 및 상기 중공 부재(120)를 상호 전기적으로 연결시킬 수 있다. 이로써, 상기 중공 부재(120)가 상기 탄성 연결부(145) 및 상기 클램핑 몸체(143)를 경유하여 상기 접지 로드(130)와 전기적으로 연결될 수 있다. 결과적으로 상기 접지 클램핑 유닛(140)이 상기 중공 부재(120)의 내부에 구비되고 상호 전기적으로 연결됨으로, 상기 접지 로드(130)를 전기적으로 접지시킬 수 있다.The elastic connecting portion 145 is connected to the clamping body 143. In addition, the elastic connecting portion 145 elastically contacts the inner surface 125 of the hollow member 120. As a result, the elastic connecting portion 145 may electrically connect the clamping body 143 and the hollow member 120 to each other. As a result, the hollow member 120 may be electrically connected to the ground rod 130 via the elastic connector 145 and the clamping body 143. As a result, the ground clamping unit 140 may be provided inside the hollow member 120 and electrically connected to each other, thereby electrically grounding the ground rod 130.
상기 탄성 연결부(145)는 박판 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 탄성 연결부(145)는 아크 형상을 가질 수 있다. 이로써, 상기 탄성 연결부(145)는 상기 접지 로드(130)와 면접촉 함으로써, 상기 접지 로드(130)의 접촉 면적을 증대시킬 수 있다.The elastic connecting portion 145 may have a thin plate shape. In addition, the elastic connector 145 may have an arc shape. Thus, the elastic connecting portion 145 may increase the contact area of the ground rod 130 by surface contact with the ground rod 130.
한편, 상기 중공 부재(120)의 외부에 상기 접지 로드(130)를 접지시키기 위한 별도의 접지 클램핑 유닛(미도시)이 구비될 경우, 상기 접지 클램핑 유닛을 위한 체결 공간이 부족할 수 있다. 본 발명과 같이 중공 부재(120)의 내부에 형성된 중공 내에 접지 클램핑 유닛(140)이 구비될 수 있도록 함에 따라 상기 접지 로드(130) 및 중공 부재(120)의 설계 자유도가 개선될 수 있다.Meanwhile, when a separate ground clamping unit (not shown) for grounding the ground rod 130 is provided outside the hollow member 120, a fastening space for the ground clamping unit may be insufficient. As the ground clamping unit 140 may be provided in the hollow formed inside the hollow member 120, the design freedom of the ground rod 130 and the hollow member 120 may be improved.
상기 체결부(149)는 상기 탄성 연결부(145)를 상기 클램핑 몸체(143)에 체결시킨다. 상기 체결부(149)는 예를 들면, 볼트 체결 방식으로 상기 탄성 연결부(145)를 상기 클램핑 몸체(143)에 체결시킬 수 있다. The fastening part 149 fastens the elastic connection part 145 to the clamping body 143. The fastening part 149 may fasten the elastic connection part 145 to the clamping body 143 by, for example, a bolt fastening method.
본 발명의 일 실시예 따른 클램핑 몸체(143)는, 상호 이격되어 분리된 제1 클램퍼(141) 및 제2 클램퍼(142)를 포함할 수 있다. 상기 제1 클램퍼(141) 및 제2 클램퍼(142)는 약 0.3 mm 정도로 이격 거리를 가질 수 있다.The clamping body 143 according to an embodiment of the present invention may include a first clamper 141 and a second clamper 142 spaced apart from each other. The first clamper 141 and the second clamper 142 may have a separation distance of about 0.3 mm.
상기 제1 클램퍼(141)는 제1 내면에 제1 방향으로 연장된 제1 리세스를 구비한다. 또한, 상기 제2 클램퍼(142)는 상기 제1 클램퍼(141)와 이격되어 마주보도록 구비된다. 상기 제2 클램퍼(142)는 상기 제1 내면과 마주보는 제2 내면에 형성되어 상기 제1 리세스와 함께 상기 관통홈(144)을 형성하는 제2 리세스를 구비한다. 이때, 상기 체결부(149)는 상기 제1 및 제2 클램퍼들(141, 142)을 구비하는 클램핑 몸체(143) 및 탄성 연결부(145)를 상호 체결할 수 있다.The first clamper 141 has a first recess extending in a first direction on a first inner surface. In addition, the second clamper 142 is provided to face the first clamper 141 spaced apart. The second clamper 142 has a second recess formed on a second inner surface facing the first inner surface to form the through hole 144 together with the first recess. In this case, the fastening part 149 may fasten the clamping body 143 and the elastic connection part 145 having the first and second clampers 141 and 142 to each other.
일체형의 클램핑 본체에 형성된 관통홈에 인접하여 상대적으로 얇은 두께를 갖는 관통홈 인접부가 플라즈마에 노출되어 손상될 수 있는 것과 비교할 때, 상기 클램핑 몸체(143)가 상기 제1 및 제2 클램퍼들(141, 142)로 분리된 분리형으로 구비됨으로써, 상기 플라즈마에 대한 노출로 인한 손상이 억제될 수 있다.The clamping body 143 is provided with the first and second clampers 141 when compared to a through groove adjacent portion having a relatively thin thickness adjacent to the through groove formed in the integral clamping body, which may be damaged by exposure to the plasma. By being separated into a separate type, 142, damage due to exposure to the plasma can be suppressed.
또한, 상기 제1 및 제2 클램퍼들(141, 142)이 상호 마주보는 모서리 부위가 라운드 형상을 갖도록 형성될 수 있다. 이로써, 상기 플라즈마가 상기 모서리 부위에 플라즈마의 집중 현상을 억제할 수 있다.In addition, corner portions facing the first and second clampers 141 and 142 may be formed to have a round shape. As a result, the plasma can suppress the concentration of plasma in the corner portion.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 탄성 연결부(145)는 상기 중공 부재(120)의 내측면(125), 즉 상기 중공을 정의하는 중공 영역의 내측면(125)과 면접촉할 수 있다. 이로써, 상기 탄성 연결부(145) 및 상기 중공 부재(120)의 내측면(125) 사이의 접촉 면적이 증대됨에 따라 상기 접지 클램핑 유닛(140)이 접지 특성이 개선될 수 있다. 예를 들면, 상기 접촉 면적은 상기 중공 부재(120)에 형성된 중공의 평면적 대비 약 2.0 내지 3.2 % 범위의 면적 비율로 조절될 수 있다. In one embodiment of the present invention, the elastic connecting portion 145 may be in surface contact with the inner surface 125 of the hollow member 120, that is, the inner surface 125 of the hollow area defining the hollow. Thus, as the contact area between the elastic connecting portion 145 and the inner surface 125 of the hollow member 120 is increased, the grounding characteristics of the ground clamping unit 140 may be improved. For example, the contact area may be adjusted to an area ratio of about 2.0 to 3.2% of the hollow plane formed on the hollow member 120.
예를 들면, 상기 탄성 연결부(145)의 상기 제1 방향에 따른 길이에 따라 상기 면적 비율은 조절될 수 있다. 이와 다르게, 상기 탄성 연결부(145)가 이루는 호의 길이 또는 상기 탄성 연결부(145)의 탄성력을 조절함에 따라 상기 면적 비율이 조절될 수 있다.For example, the area ratio may be adjusted according to the length of the elastic connector 145 in the first direction. Alternatively, the area ratio may be adjusted by adjusting the length of the arc formed by the elastic connector 145 or the elastic force of the elastic connector 145.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 탄성 연결부(145)는 제1 및 제2 컨택부들(146, 147) 및 아킹부(148)를 포함할 수 있다. 이로써, 상기 탄성 연결부(145)는 U자 형상을 가질 수 있다. In one embodiment of the present invention, the elastic connecting portion 145 may include first and second contact portions 146 and 147 and arcing portion 148. As a result, the elastic connecting portion 145 may have a U shape.
상기 제1 및 제2 컨택부들(146, 147)은 상기 클램핑 몸체(143)의 외면에 컨택한다. 즉, 상기 제1 컨택부(146)는 상기 제1 클램퍼(141)의 외면에 컨택하는 반면, 상기 제2 컨택부(147)는 상기 제2 클램퍼(142)의 외면에 컨택한다.The first and second contact portions 146 and 147 contact the outer surface of the clamping body 143. That is, the first contact portion 146 contacts the outer surface of the first clamper 141, while the second contact portion 147 contacts the outer surface of the second clamper 142.
상기 아킹부(148)는 상기 제1 및 제2 컨택부들(146, 147)과 연결된다. 상기 아킹부(148)는 상기 제1 및 제2 컨택부들(146, 147)의 단부들 각각으로부터 연장될 수 있다. The arcing part 148 is connected to the first and second contact parts 146 and 147. The arcing part 148 may extend from each of the ends of the first and second contact parts 146 and 147.
상기 아킹부(148)는 상기 중공 부재(120)의 내측면와 탄성적으로 컨택하며 아크 형상을 가질 수 있다. 이로써, 상기 탄성 연결부(145)가 상기 중공 부재(120)의 내측면(125)과 안정적으로 면접촉할 수 있다.The arcing part 148 may elastically contact the inner surface of the hollow member 120 and have an arc shape. As a result, the elastic connecting portion 145 may stably contact the inner surface 125 of the hollow member 120.
여기서, 상기 제1 및 제2 컨택부들(146, 147) 및 아킹부(148)는 일체로 형성될 수 있다. 또한, 상기 탄성 연결부(145)는 0.1 내지 1.0 mm 범위의 두께를 가질 수 있다. 이로써, 상기 탄성 연결부(145)는 0.1 mm 미만의 두께를 가질 경우, 자체의 내구성이 악화되는 한편, 1.0 mm 초과하는 두께를 가질 경우, 상기 탄성 연결부(145)의 복원력이 지나치게 높아 상기 접지 클램핑 유닛(140)이 상기 접지 로드(130)에 대하여 지나치게 높은 압력을 가할 수 있다.The first and second contact parts 146 and 147 and the arcing part 148 may be integrally formed. In addition, the elastic connection 145 may have a thickness in the range of 0.1 to 1.0 mm. Thus, when the elastic connector 145 has a thickness of less than 0.1 mm, its durability deteriorates, while when the elastic connector 145 has a thickness of more than 1.0 mm, the restoring force of the elastic connector 145 is too high so that the ground clamping unit 140 may apply an excessively high pressure to the ground rod 130.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 클램핑 몸체(143)는 그 표면에 산화 방지용 코팅층을 포함한다. 예를 들면, 상기 제1 클램퍼(141)는 바디부(141a) 및 상기 바디부(141a)의 표면에 형성된 산화 방지용 코팅층(141b)을 포함할 수 있다. 이로써, 상기 클램핑 몸체(143)의 표면에서 산화 반응을 억제하여 상기 클램핑 몸체(143)의 내구성을 개선할 수 있다. 즉, 상기 클램핑 몸체의 바디부(141a)가, 베릴륨, 구리 등으로 이루어질 경우, 상기 산화 방지용 코팅층(141b)은 금, 은 또는 이들의 합금 등으로 이루어질 질 수 있다.In one embodiment of the invention, the clamping body 143 includes an anti-oxidation coating on its surface. For example, the first clamper 141 may include a body portion 141a and an anti-oxidation coating layer 141b formed on the surface of the body portion 141a. Thus, by suppressing the oxidation reaction on the surface of the clamping body 143 it is possible to improve the durability of the clamping body 143. That is, when the body portion 141a of the clamping body is made of beryllium, copper, or the like, the anti-oxidation coating layer 141b may be made of gold, silver, or an alloy thereof.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 어셈블리를 설명하기 위한 단면도이다. 4 is a cross-sectional view illustrating a substrate support assembly according to an embodiment of the present invention.
도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 어셈블리(100)는 기판 지지부(110), 마운팅부(120), 접지 로드(130) 및 제1 접지 클램핑 유닛(140)을 포함한다. 상기 기판 지지 어셈블리(100)는 플라즈마 공정을 위한 처리 영역을 제공하는 공정 챔버(미도시) 내에 배치된다. 상기 기판 지지 어셈블리(100)는 그 상부에 기판을 지지한 상태에서, 상기 처리 영역 내에 형성된 플라즈마를 이용하여 기판에 박막을 형성하거나, 상기 박막을 부분적으로 식각하여 박막 패턴을 형성할 수 있다.Referring to FIG. 4, the substrate support assembly 100 according to an embodiment of the present invention includes a substrate support 110, a mounting part 120, a ground rod 130, and a first ground clamping unit 140. . The substrate support assembly 100 is disposed in a process chamber (not shown) that provides a processing region for a plasma process. The substrate support assembly 100 may form a thin film on the substrate using a plasma formed in the processing region, or partially etch the thin film to form a thin film pattern while supporting the substrate thereon.
상기 기판 지지부(110)는 기판을 지지한다. 예를 들면, 상기 기판 지지부(110)는 그 상부에 평탄면을 구비함으로써 상기 평탄면 상에 기판을 지지할 수 있다. 상기 기판 지지부(110)는 상기 플라즈마 상태를 형성하기 위하여 접지 전극(113)을 구비하는 지지 플레이트(111)를 포함한다. The substrate support 110 supports a substrate. For example, the substrate support 110 may support the substrate on the flat surface by providing a flat surface thereon. The substrate support 110 includes a support plate 111 having a ground electrode 113 to form the plasma state.
또한, 상기 지지 플레이트(111)는 그 내부에 발열 코일과 같은 발열체(115)를 구비한다. 이로써, 상기 기판 지지부(110)는 그 상부에 배치된 기판의 온도를 조절할 수 있다.In addition, the support plate 111 has a heating element 115 such as a heating coil therein. Thus, the substrate support 110 may adjust the temperature of the substrate disposed thereon.
또한, 상기 기판 지지부(110)는 상기 지지 플레이트(111)의 하부를 지지하는 히터 튜브(117)를 더 포함할 수 있다. 상기 히터 튜브(117)는 세라믹 재질로 이루어짐에 따라 내열성 및 내플즈마성을 가질 수 있다. 상기 히터 튜브(117)는 튜브 형상을 가질 수 있다.In addition, the substrate support 110 may further include a heater tube 117 that supports the lower portion of the support plate 111. The heater tube 117 may have heat resistance and plasma resistance as it is made of a ceramic material. The heater tube 117 may have a tube shape.
상기 마운팅부(120)는 상기 기판 지지부(110)를 마운팅할 수 있도록 구비된다. 또한, 상기 마운팅부(120)는, 반도체 제조 장치 예를 들면, 공정 챔버에 기판 지지 어셈블리(100)를 장착하기 위한 일 부분에 해당할 수 있다. The mounting part 120 is provided to mount the substrate support part 110. In addition, the mounting unit 120 may correspond to a portion for mounting the substrate support assembly 100 in a semiconductor manufacturing apparatus, for example, a process chamber.
예를 들면, 상기 마운팅부(120)는 상기 히터 튜브(117)와 체결될 수 있다. 상기 마운팅부(120)는 그 내부에 상하 방향으로 중공(125)이 형성된다. 상기 마운팅부(120)는 상기 공정 챔버와 연결된다. 이로써, 상기 마운팅부(120)가 상기 공정 챔버와 전기적으로 연결됨에 따라 상기 공정 챔버가 기준 전위를 가질 경우, 상기 마운팅부(120) 또는 기준 전위(접지 전위)를 가질 수 있다.For example, the mounting part 120 may be fastened to the heater tube 117. The mounting portion 120 has a hollow 125 formed in the vertical direction therein. The mounting part 120 is connected to the process chamber. Accordingly, when the process chamber has a reference potential as the mounting unit 120 is electrically connected to the process chamber, the mounting unit 120 may have the mounting unit 120 or a reference potential (ground potential).
상기 접지 로드(130)는 상기 마운팅부(120)에 형성된 중공(125) 내부에 배치된다. 즉, 상기 접지 로드(130)는 상하 방향으로 연장된다. 또한, 상기 접지 로드(130)는 상기 접지 전극(113)과 전기적으로 연결된다. 상기 접지 로드(130)는 상기 기판 지지부(110), 즉 접지 전극(113)과 전기적으로 연결된다. 상기 접지 로드(130)는 원기둥 형상을 가질 수 있다. The ground rod 130 is disposed inside the hollow 125 formed in the mounting part 120. That is, the ground rod 130 extends in the vertical direction. In addition, the ground rod 130 is electrically connected to the ground electrode 113. The ground rod 130 is electrically connected to the substrate support 110, that is, the ground electrode 113. The ground rod 130 may have a cylindrical shape.
상기 제1 접지 클램핑 유닛(140)은 상기 중공(125) 내에 배치된다. 상기 제1 접지 클램핑 유닛(140)은 상기 접지 로드(130)의 외주면을 부분적으로 클램핑한다. 또한, 상기 제1 접지 클램핑 유닛(140)은 상기 마운팅부(120) 및 상기 접지 로드(130) 사이를 전기적으로 연결시킨다. 이로써, 상기 제1 접지 클램핑 유닛(140)을 경유하여 상기 마운팅부(120) 및 상기 접지 로드(130)가 전기적으로 접지될 수 있다.The first ground clamping unit 140 is disposed in the hollow 125. The first ground clamping unit 140 partially clamps an outer circumferential surface of the ground rod 130. In addition, the first ground clamping unit 140 electrically connects the mounting unit 120 and the ground rod 130. Thus, the mounting part 120 and the ground rod 130 may be electrically grounded through the first ground clamping unit 140.
도 1 및 도 4를 참조하면, 상기 제1 접지 클램핑 유닛(140)은 클램핑 몸체(143), 탄성 연결부(145) 및 제1 체결부(149)를 포함한다. 상기 제1 접지 클램핑 유닛(140)은 마운팅부(120)의 중공(125) 내에 구비된다. 상기 제1 접지 클램핑 유닛(140)은 상기 접지 로드(130) 및 마운팅부(120) 사이를 전기적으로 연결시킬 수 있다. 이로써, 상기 마운팅부(120)가 전기적으로 접지될 경우, 상기 제1 접지 클램핑 유닛(140)을 통하여 상기 접지 로드(130)가 접지될 수 있다. 결과적으로, 상기 접지 로드(130)가 전기적으로 연결된 기판 지지부(110), 특히 접지 전극(113)과 전기적으로 연결되어, 플라즈마 형성시 기판 지지부(110)가 접지될 수 있다.1 and 4, the first ground clamping unit 140 includes a clamping body 143, an elastic connecting portion 145, and a first fastening portion 149. The first ground clamping unit 140 is provided in the hollow 125 of the mounting unit 120. The first ground clamping unit 140 may electrically connect between the ground rod 130 and the mounting unit 120. Thus, when the mounting unit 120 is electrically grounded, the ground rod 130 may be grounded through the first ground clamping unit 140. As a result, the ground rod 130 may be electrically connected to the substrate support 110, in particular, the ground electrode 113, which is electrically connected, and thus the substrate support 110 may be grounded during plasma formation.
상기 클램핑 몸체(143)는 상기 접지 로드(130)의 외각부를 감싸도록 관통홈이 구비된다.The clamping body 143 is provided with a through groove to surround the outer portion of the ground rod 130.
상기 접지 로드(130)가 원기둥 형상을 가질 경우, 상기 관통홈은 상기 접지 로드(130)에 대응되는 원기둥 형상을 가질 수 있다. 이로써, 상기 클램핑 몸체(143)는 상기 접지 로드(130)를 면접촉함에 따라, 상기 클램핑 몸체(143)는 상기 접지 로드(130)를 보다 견고하게 클램핑할 수 있다. When the ground rod 130 has a cylindrical shape, the through groove may have a cylindrical shape corresponding to the ground rod 130. As a result, the clamping body 143 may contact the ground rod 130 by surface contact, and thus the clamping body 143 may clamp the ground rod 130 more firmly.
상기 탄성 연결부(145)는 상기 클램핑 몸체(143)에 연결된다. 또한, 상기 탄성 연결부(145)는 상기 마운팅부(120)에 형성된 중공(125)의 내측면에 탄성적으로 접촉한다. 이로써, 상기 탄성 연결부(145)가 상기 클램핑 몸체(143) 및 상기 마운팅부(120)를 상호 전기적으로 연결시킬 수 있다. 따라서, 상기 마운팅부(120)가 상기 탄성 연결부(145) 및 상기 클램핑 몸체(143)를 경유하여 상기 접지 로드(130)와 전기적으로 연결될 수 있다. 결과적으로 상기 제1 접지 클램핑 유닛(140)이 상기 마운팅(120)의 내부에 구비되고 상호 전기적으로 연결됨으로, 상기 접지 로드(130)를 전기적으로 접지시킬 수 있다. The elastic connecting portion 145 is connected to the clamping body 143. In addition, the elastic connecting portion 145 elastically contacts the inner surface of the hollow 125 formed in the mounting portion 120. As a result, the elastic connecting portion 145 may electrically connect the clamping body 143 and the mounting portion 120 to each other. Therefore, the mounting part 120 may be electrically connected to the ground rod 130 via the elastic connecting part 145 and the clamping body 143. As a result, the first ground clamping unit 140 is provided inside the mounting 120 and electrically connected to each other, thereby electrically grounding the ground rod 130.
상기 탄성 연결부(145)는 박판 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 탄성 연결부(145)는 아크 형상을 가질 수 있다. 이로써, 상기 탄성 연결부(145)는 상기 접지 로드(130)와 면접촉 함으로써, 상기 접지 로드(130)의 접촉 면적을 증대시킬 수 있다. The elastic connecting portion 145 may have a thin plate shape. In addition, the elastic connector 145 may have an arc shape. Thus, the elastic connecting portion 145 may increase the contact area of the ground rod 130 by surface contact with the ground rod 130.
한편, 상기 마운팅부(120)의 중공 이외의 위부에 상기 접지 로드(130)를 접지시키기 위한 별도의 접지 클램핑 유닛(미도시)이 구비될 경우, 상기 접지 클램핑 유닛을 위한 체결 공간이 부족할 수 있다. 본 발명과 같이 마운팅부(120)의 내부에 형성된 중공(125) 내에 제1 접지 클램핑 유닛(140)이 구비될 수 있도록 함에 따라 상기 접지 로드(130) 및 마운팅부(120)의 설계 자유도가 개선될 수 있다. On the other hand, when a separate ground clamping unit (not shown) for grounding the ground rod 130 is provided above the hollow of the mounting portion 120, the fastening space for the ground clamping unit may be insufficient. . As the first ground clamping unit 140 may be provided in the hollow 125 formed in the mounting unit 120 as in the present invention, the design freedom of the ground rod 130 and the mounting unit 120 is improved. Can be.
상기 제1 체결부(149)는 상기 탄성 연결부(145)를 상기 클램핑 몸체(143)에 체결시킨다. 상기 제1 체결부(149)는 예를 들면, 볼트 체결 방식으로 상기 탄성 연결부(145)를 상기 클램핑 몸체(143)에 체결시킬 수 있다. The first fastening part 149 fastens the elastic connecting part 145 to the clamping body 143. The first fastening part 149 may fasten the elastic connection part 145 to the clamping body 143 by, for example, a bolt fastening method.
본 발명의 일 실시예에 따른 클램핑 몸체(143)는, 상호 이격되어 분리된 제1 클램퍼(141) 및 제2 클램퍼(142)를 포함할 수 있다. 상기 제1 클램퍼(141) 및 제2 클램퍼(142)는 약 0.3 mm 정도로 이격거리를 가질 수 있다.The clamping body 143 according to the embodiment of the present invention may include a first clamper 141 and a second clamper 142 spaced apart from each other. The first clamper 141 and the second clamper 142 may have a separation distance of about 0.3 mm.
상기 제1 클램퍼(141)는 제1 내면에 제1 방향으로 연장된 제1 리세스를 구비한다. 상기 제1 리세스는, 상기 제2 클램퍼를 향하는 상기 제1 내면 상에 형성된다. 상기 제1 리세스는 상기 접지 로드(130)의 외주면의 형상에 부분적으로 대응되는 형상을 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 접지 로드(130)가 원기둥 형상을 가질 경우, 상기 제1 리세스는 반원 기둥 형상을 가질 수 있다. 이로써, 상기 제1 리세스는 상기 접지 로드(130)를 부분적으로 둘러쌀 수 있다.The first clamper 141 has a first recess extending in a first direction on a first inner surface. The first recess is formed on the first inner surface facing the second clamper. The first recess may have a shape that partially corresponds to the shape of the outer circumferential surface of the ground rod 130. For example, when the ground rod 130 has a cylindrical shape, the first recess may have a semicircular column shape. Thus, the first recess may partially surround the ground rod 130.
또한, 상기 제2 클램퍼(142)는 상기 제1 클램퍼(141)와 이격되어 마주보도록 구비된다. 상기 제2 클램퍼(142)는 상기 제1 내면과 마주보는 제2 내면에 형성된 제2 리세스를 구비한다. 상기 제2 리세스는 상기 제1 리세스와 함께 상기 관통홈을 형성한다. 이로써, 상기 관통홈에는 상기 접지 로드(130)가 관통할 수 있다. In addition, the second clamper 142 is provided to face the first clamper 141 spaced apart. The second clamper 142 has a second recess formed in a second inner surface facing the first inner surface. The second recess forms the through groove together with the first recess. As a result, the ground rod 130 may pass through the through hole.
이때, 상기 제1 체결부(149)는 상기 제1 및 제2 클램퍼들(141, 142) 및 탄성 연결부(145)를 상호 체결할 수 있다.In this case, the first fastening part 149 may fasten the first and second clampers 141 and 142 and the elastic connection part 145 to each other.
이로써, 상기 클램핑 몸체(143)가 상기 제1 및 제2 클램퍼들(141, 142)로 분리된 분리형으로 구비됨으로써, 일체형의 클램핑 본체에 형성된 관통홈에 인접하여 상대적으로 얇은 두께를 갖는 부위가 플라즈마에 노출되어 손상되는 것을 억제할 수 있다.Thus, the clamping body 143 is provided as a separate type separated into the first and second clampers 141 and 142, so that a portion having a relatively thin thickness is adjacent to the through groove formed in the integral clamping body. Can be prevented from being exposed to damage.
또한, 상기 제1 및 제2 클램퍼들(141, 142)이 상호 마주보는 모서리 부위가 라운드 형상을 갖도록 형성될 수 있다. 이로써, 상기 플라즈마가 상기 모서리 부위에 플라즈마의 집중 현상을 억제할 수 있다.In addition, corner portions facing the first and second clampers 141 and 142 may be formed to have a round shape. As a result, the plasma can suppress the concentration of plasma in the corner portion.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 탄성 연결부(145)는 상기 마운팅부(120)의 내측면, 즉 상기 중공(125)을 정의하는 중공 영역의 내측면과 면접촉할 수 있다. 이로써, 상기 탄성 연결부(145) 및 상기 마운팅부(120)의 내측면 사이의 접촉 면적이 증대됨에 따라 상기 제1 접지 클램핑 유닛(140)이 접지 특성이 개선될 수 있다. 예를 들면, 상기 접촉 면적은 상기 마운팅부(120)에 형성된 중공(125)의 평면적 대비 약 2.0 내지 3.2 % 범위의 면적 비율로 조절될 수 있다. In one embodiment of the present invention, the elastic connecting portion 145 may be in surface contact with the inner surface of the mounting portion 120, that is, the inner surface of the hollow area defining the hollow 125. As a result, as the contact area between the elastic connecting portion 145 and the inner side of the mounting portion 120 increases, the grounding characteristics of the first ground clamping unit 140 may be improved. For example, the contact area may be adjusted to an area ratio of about 2.0 to 3.2% of the plane of the hollow 125 formed in the mounting unit 120.
예를 들면, 상기 탄성 연결부(145)의 상기 제1 방향에 따른 길이에 따라 상기 면적 비율은 조절될 수 있다. 이와 다르게, 상기 탄성 연결부(145)가 이루는 호의 길이 또는 상기 탄성 연결부(145)의 탄성력을 조절함에 따라 상기 면적 비율이 조절될 수 있다.For example, the area ratio may be adjusted according to the length of the elastic connector 145 in the first direction. Alternatively, the area ratio may be adjusted by adjusting the length of the arc formed by the elastic connector 145 or the elastic force of the elastic connector 145.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 탄성 연결부(145)는 제1 및 제2 컨택부들(146, 147) 및 아킹부(148)를 포함할 수 있다. 이로써, 상기 탄성 연결부(145)는 U자 형상을 가질 수 있다. In one embodiment of the present invention, the elastic connecting portion 145 may include first and second contact portions 146 and 147 and arcing portion 148. As a result, the elastic connecting portion 145 may have a U shape.
상기 제1 및 제2 컨택부들(146, 147)은 상기 클램핑 몸체(143)의 외면, 예를 들면, 제1 및 제2 클램퍼(141, 142)의 외면에 컨택한다. 상기 아킹부(148)는 상기 제1 및 제2 컨택부들(146, 147)과 연결되며, 상기 마운팅부(120)의 내측면과 탄성적으로 컨택하며 아크 형상을 가질 수 있다. 이로써, 상기 탄성 연결부(145)가 상기 마운팅부(120)의 내측면과 안정적으로 면접촉할 수 있다.The first and second contact portions 146 and 147 contact outer surfaces of the clamping body 143, for example, outer surfaces of the first and second clampers 141 and 142. The arcing part 148 may be connected to the first and second contact parts 146 and 147 and may elastically contact an inner surface of the mounting part 120 and have an arc shape. As a result, the elastic connecting portion 145 may be in surface contact with the inner surface of the mounting portion 120 in a stable manner.
여기서, 상기 제1 및 제2 컨택부들(146, 147) 및 아킹부(148)는 일체로 형성될 수 있다. 또한, 상기 탄성 연결부(145)는 0.1 내지 1.0mm 범위의 두께를 가질 수 있다. 이로써, 상기 탄성 연결부(145)는 0.1 mm 미만의 두께를 가질 경우, 자체의 내구성이 악화되는 한편, 1.0 mm 초과하는 두께를 가질 경우, 상기 탄성 연결부(145)의 복원력이 지나치게 높아 상기 제1 접지 클램핑 유닛(140)이 상기 접지 로드(130)에 대하여 지나치게 높은 압력을 가할 수 있다.The first and second contact parts 146 and 147 and the arcing part 148 may be integrally formed. In addition, the elastic connecting portion 145 may have a thickness in the range of 0.1 to 1.0mm. Thus, when the elastic connector 145 has a thickness less than 0.1 mm, its durability deteriorates, and when the elastic connector 145 has a thickness greater than 1.0 mm, the restoring force of the elastic connector 145 is too high, so that the first ground The clamping unit 140 may apply an excessively high pressure to the ground rod 130.
도 5는 도 4에 도시된 제2 접지 클램핑 유닛을 설명하기 위한 단면도이다. 도 6은 도 4에 도시된 제1 및 제2 접지 클램핑 유닛들이 상호 연결된 상태를 나타내는 도면이다.FIG. 5 is a cross-sectional view for describing the second ground clamping unit illustrated in FIG. 4. FIG. 6 is a diagram illustrating a state in which the first and second ground clamping units illustrated in FIG. 4 are interconnected.
도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 기판 지지 어셈블리(100)는 제2 접지 클램핑 유닛(180) 및 클램핑 연결부(190)를 더 포함할 수 있다.5 and 6, the substrate support assembly 100 may further include a second ground clamping unit 180 and a clamping connection 190.
상기 제2 접지 클램핑 유닛(180)은 상기 히터 튜브(117) 내에 배치된다. 상기 제2 접지 클램핑 유닛(180)은 상기 접지 로드(130)의 외주면을 부분적으로 클램핑할 수 있다. The second ground clamping unit 180 is disposed in the heater tube 117. The second ground clamping unit 180 may partially clamp an outer circumferential surface of the ground rod 130.
상기 클램핑 연결부(190)는 상기 제1 및 제2 접지 클램핑 유닛들(140, 180)을 상호 전기적으로 연결시킨다. 상기 클램핑 연결부(190)는 플레이트 형상을 가질 수 있다. 상기 접지 로드(130)는 제1 및 제2 접지 클램핑 유닛들(140, 180)을 이용하여 복수의 위치에서 클램핑된다. 따라서, 상기 접지 로드의 강도가 개선될 수 있다.The clamping connection 190 electrically connects the first and second ground clamping units 140 and 180 to each other. The clamping connection 190 may have a plate shape. The ground rod 130 is clamped at a plurality of positions using the first and second ground clamping units 140 and 180. Thus, the strength of the ground rod can be improved.
또한, 상기 클램핑 연결부(190)가 상기 제1 및 제2 접지 클램핑 유닛들(140, 180)을 상호 전기적으로 연결된다. 따라서, 접지 로드(130)에는, 복수의 위치에서 접지 노드들(nodes)이 형성된다. 결과적으로, 접지 로드(130)가 보다 안정적으로 접지될 수 있다.In addition, the clamping connection 190 is electrically connected to the first and second ground clamping units 140 and 180. Accordingly, ground nodes 130 are formed in the ground rod 130 at a plurality of positions. As a result, the ground rod 130 may be grounded more stably.
도 5를 참조하면, 상기 제2 접지 클램핑 유닛(180)은, 제2 클램핑 몸체(183), 쇄기 부재(185) 및 제2 체결부(189)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 5, the second ground clamping unit 180 may include a second clamping body 183, a wedge member 185, and a second fastening unit 189.
상기 클램핑 몸체(183)에는 상기 접지 로드(130)의 외각부를 감싸도록 경사진 관통홈을 이루는 경사진 내벽이 구비된다. 상기 쇄기 부재(185)는 상기 경사진 관통홈 내에 상기 접지 로드(130) 사이에 개재되어 상기 제2 클램프 몸체(183)를 상기 접지 로드(130) 사이에 고정시킨다. The clamping body 183 is provided with an inclined inner wall forming an inclined through groove to surround the outer portion of the ground rod 130. The wedge member 185 is interposed between the ground rods 130 in the inclined through groove to fix the second clamp body 183 between the ground rods 130.
또한, 상기 제2 체결 부재(189)는 상기 쇄기 부재(185)를 상기 제2 클램핑 몸체(183)에 체결시킨다. 상기 제2 체결 부재(189)의 예로는 볼트를 들 수 있다.In addition, the second fastening member 189 fastens the wedge member 185 to the second clamping body 183. An example of the second fastening member 189 may be a bolt.
상기 제2 접지 클램핑 유닛(180)은 히트 튜브(117) 내부에서 상기 접지 로드(130)에 체결된다. 따라서, 상기 제2 접지 클램핑 유닛(180)은 히트 뷰브(117) 내에 상하 방향으로 이동하면서 상기 접지 로드(130)에 체결된다. 따라서, 상기 체결 부재(189) 및 상기 쇄기 부재(185)가 상호 수직 방향으로 체결될 때, 상기 쇄기 부재(185)가 상기 접지 로드(130)의 외벽 및 상기 클램핑 몸체(183)의 경사진 내벽 사이로 인입되어 면접촉하게 된다. 따라서, 체결 부재(189)가 상하 방향으로 상기 쇄기 부재(185)에 체결되어 상기 쇄기 부재(185)를 가압함에 따라 상기 제2 접지 클램핑 유닛(180)이 상기 접지 로드(130)를 보다 견고하게 고정할 수 있다The second ground clamping unit 180 is fastened to the ground rod 130 in the heat tube 117. Therefore, the second ground clamping unit 180 is fastened to the ground rod 130 while moving up and down in the heat view 117. Therefore, when the fastening member 189 and the wedge member 185 are fastened in the vertical direction to each other, the wedge member 185 is an outer wall of the ground rod 130 and an inclined inner wall of the clamping body 183. It comes in between and comes into surface contact. Accordingly, as the fastening member 189 is fastened to the wedge member 185 in the vertical direction to press the wedge member 185, the second ground clamping unit 180 firmly fixes the ground rod 130. I can fix it
다시 도4를 참조하면, 기판 지지 어셈블리(100)는 제3 접지 클램핑 유닛(160)을 더 포함할 수 있다. 상기 제3 접지 클램핑 유닛(160)은 상기 접지 로드(130)의 하단부를 클램핑하도록 구비될 수 있다. 또한, 상기 제3 접지 클램핑 유닛(160)은 상기 마운팅부(120)의 외곽에서 상기 마운팅부(120)와 전기적으로 연결될 수 있다.Referring back to FIG. 4, the substrate support assembly 100 may further include a third ground clamping unit 160. The third ground clamping unit 160 may be provided to clamp the lower end of the ground rod 130. In addition, the third ground clamping unit 160 may be electrically connected to the mounting unit 120 at the outside of the mounting unit 120.
기존에는 13.56MHz 의 주파수의 전원을 이용하는 플라즈마 장치는 제3 접지 클램핑 유닛(160)만 존재하는 구조를 가짐에 따라, 기존 플라즈마 장치에 제3 접지 클램핑 유닛(160)을 장착하기 위하여 공간이 한정되는 문제가 있었다. 반면에, 본 발명의 실시예들에 있어서, 제1 접지 클램핑 유닛(140)이 마운팅부(120) 내에 형성된 중공 내에 위치함에 따라, 상기 공간 제약의 문제가 해결될 수 있다. 또한, 플라즈마 장치의 전원 주파수가 높아짐에 따라 제3 접지 클램핑 유닛(160)이 추가적으로 요구될 경우, 제3 접지 클램핑 유닛(160)이 상기 마운팅부(120)의 외곽에서 상기 접지 로드(130)의 하단부를 클램핑하도록 선택적으로 구비될 수 있다.Conventionally, since a plasma apparatus using a power source having a frequency of 13.56 MHz has a structure in which only the third ground clamping unit 160 exists, space is limited to mount the third ground clamping unit 160 in the existing plasma apparatus. There was a problem. On the other hand, in the embodiments of the present invention, the first ground clamping unit 140 is located in the hollow formed in the mounting portion 120, the problem of the space constraint can be solved. In addition, when the third ground clamping unit 160 is additionally required as the power supply frequency of the plasma apparatus increases, the third ground clamping unit 160 may be disposed at the outer side of the mounting unit 120. It may optionally be provided to clamp the lower end.
본 발명의 실시예들에 따른 접지 클램핑 유닛은 플라즈마를 이용하는 식각 장치 또는 플라즈마를 이용한 증착 장치 등에 적용될 수 있다. 또한, 기판 지지 어셈블리는 플라즈마를 이용하여 기판 상에 박막을 형성하거나, 상기 박막을 부분적으로 식각하여 패터닝하는 플라즈마 처리 장치에 적용될 수 있다.The ground clamping unit according to the embodiments of the present invention may be applied to an etching apparatus using plasma or a deposition apparatus using plasma. In addition, the substrate support assembly may be applied to a plasma processing apparatus for forming a thin film on a substrate using plasma or partially etching and patterning the thin film.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. Although the detailed description of the present invention has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art or those skilled in the art will have the idea of the present invention described in the claims to be described later. It will be understood that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the scope of the present invention.

Claims (16)

  1. 중공이 형성된 중공 부재 및 상기 중공 내에 장착된 접지 로드를 접지시키는 접지 클램핑 유닛에 있어서,A ground clamping unit for grounding a hollow member having a hollow and a ground rod mounted in the hollow,
    상기 접지 로드의 외각부를 감싸도록 관통홈이 구비된 클램핑 몸체;A clamping body provided with a through groove to surround an outer portion of the ground rod;
    상기 중공 내부에서 상기 중공 부재의 내측에 탄성적으로 접촉하며, 상기 클램핑 몸체에 연결된 탄성 연결부; 및An elastic connecting portion elastically contacting the inside of the hollow member in the hollow and connected to the clamping body; And
    상기 클램핑 몸체에 상기 탄성 연결부를 체결시키는 체결부를 포함하는 접지 클램핑 유닛.Ground clamping unit including a fastening portion for fastening the elastic connection to the clamping body.
  2. 제1항에 있어서, 상기 클램핑 몸체는, The method of claim 1, wherein the clamping body,
    제1 내면에 제1 방향으로 연장된 제1 리세스를 구비하는 제1 클램퍼; 및A first clamper having a first recess extending in a first direction on a first inner surface thereof; And
    상기 제1 클램퍼와 이격되어 마주보도록 구비되며, 상기 제1 내면과 마주보는 제2 내면에 형성되어 상기 제1 리세스와 함께 상기 관통홈을 형성하는 제2 리세스를 구비하는 제2 클램퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 접지 클램핑 유닛.And a second clamper provided to be spaced apart from the first clamper and facing the first clamper, and having a second recess formed on a second inner surface facing the first inner surface to form the through groove together with the first recess. Ground clamping unit, characterized in that.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2 클램퍼들 각각의 서로 마주보는 모서리부에는 모따기가 형성된 것을 특징으로 하는 접지 클램핑 유닛.The ground clamping unit according to claim 2, wherein a chamfer is formed at an edge portion of each of the first and second clampers facing each other.
  4. 제1항에 있어서, 상기 클램핑 몸체는 그 표면에 형성된 산화 방지용 코팅층을 포함하는 것을 특징으로 하는 접지 클램핑 유닛.The ground clamping unit according to claim 1, wherein the clamping body includes an anti-oxidation coating formed on a surface thereof.
  5. 제1항에 있어서, 상기 중공은 원기둥 형상으로 형성되며, 상기 탄성 연결부는 상기 중공 부재의 내측면에 면접촉하는 것을 특징으로 하는 접지 클램핑 유닛.The ground clamping unit of claim 1, wherein the hollow is formed in a cylindrical shape, and the elastic connection portion is in surface contact with an inner surface of the hollow member.
  6. 제1항에 있어서, 상기 탄성 연결부 및 상기 중공 부재 사이에 면접촉하는 접촉 면적은 상기 중공의 평면적을 기준으로 0.2 내지 3.2% 범위를 갖는 것을 특징으로 하는 접지 클램핑 유닛.The ground clamping unit according to claim 1, wherein the contact area in surface contact between the elastic connecting portion and the hollow member has a range of 0.2 to 3.2% based on the plane area of the hollow.
  7. 제1항에 있어서, 상기 탄성 연결부는 U자 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 접지 클램핑 유닛.The ground clamping unit according to claim 1, wherein the elastic connecting portion has a U shape.
  8. 제1항에 있어서, 상기 탄성 연결부는, The method of claim 1, wherein the elastic connecting portion,
    상기 클램핑 몸체의 외면에 컨택하는 제1 및 제2 컨택부들; 및First and second contact portions contacting an outer surface of the clamping body; And
    상기 제1 및 제2 컨택부들과 연결되며 상기 중공 부재와 탄성적으로 컨택하며 아크 형상을 갖는 아킹부를 포함하는 것을 특징으로 하는 접지 클램핑 유닛.And an arcing portion connected to the first and second contact portions and elastically contacting the hollow member and having an arc shape.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제1 및 제2 컨택부들 및 아킹부는 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 접지 클램핑 유닛.The ground clamping unit of claim 8, wherein the first and second contact portions and the arcing portion are integrally formed.
  10. 제9항에 있어서, 상기 탄성 연결부는 0.1 내지 1.0 mm 범위의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 접지 클램핑 유닛.10. The ground clamping unit according to claim 9, wherein the elastic connection has a thickness in the range of 0.1 to 1.0 mm.
  11. 기판을 지지하며, 플라즈마 형성을 위한 접지 전극을 구비하는 기판 지지부;A substrate support part supporting a substrate and having a ground electrode for plasma formation;
    상기 기판 지지부를 마운팅하도록 구비되며 그 내부에 상하 방향으로 중공이 형성된 마운팅부;A mounting part provided to mount the substrate support part and having a hollow formed therein in a vertical direction;
    상기 접지 전극과 전기적으로 연결되며, 상기 중공 내부에 배치된 접지 로드; 및A ground rod electrically connected to the ground electrode and disposed in the hollow; And
    상기 마운팅부에 형성된 상기 중공 내에서 위치하며, 상기 접지 로드의 외주면을 부분적으로 클램핑하며, 상기 마운팅부 및 상기 접지 로드 사이를 전기적으로 연결시켜 상기 접지 로드를 전기적으로 접지시키는 제1 접지 클랭핑 유닛을 포함하고,A first ground clamping unit positioned in the hollow formed in the mounting part and partially clamping an outer circumferential surface of the ground rod and electrically connecting the mounting part and the ground rod to electrically ground the ground rod Including,
    상기 제1 접지 클램핑 유닛은,The first ground clamping unit,
    상기 접지 로드의 외각부를 감싸도록 관통홈이 구비된 클램핑 몸체;A clamping body provided with a through groove to surround an outer portion of the ground rod;
    상기 마운팅 부재의 내측에 탄성적으로 접촉하며, 상기 클램핑 몸체와 연결된 탄성 연결부; 및An elastic connection part elastically contacting the inside of the mounting member and connected to the clamping body; And
    상기 클램핑 몸체에 상기 탄성 연결부를 체결시키는 제1 체결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 어셈블리.And a first fastening portion for fastening the elastic connection portion to the clamping body.
  12. 제11항에 있어서, 상기 클램핑 몸체는, The method of claim 11, wherein the clamping body,
    제1 내면에 제1 방향으로 연장된 제1 리세스를 구비하는 제1 클램퍼; 및A first clamper having a first recess extending in a first direction on a first inner surface thereof; And
    상기 제1 클램퍼와 이격되어 마주보도록 구비되며, 상기 제1 내면과 마주보는 제2 내면에 형성되어 상기 제1 리세스와 함께 상기 관통홈을 형성하는 제2 리세스를 구비하는 제2 클램퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 어셈블리.And a second clamper provided to be spaced apart from the first clamper and facing the first clamper, and having a second recess formed on a second inner surface facing the first inner surface to form the through groove together with the first recess. Substrate support assembly, characterized in that.
  13. 제11항에 있어서, 상기 탄성 연결부는 상기 중공을 정의하는 상기 마운팅 부재의 내측면에 면접촉하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 어셈블리.12. The substrate support assembly of claim 11, wherein the resilient connection is in surface contact with an inner surface of the mounting member defining the hollow.
  14. 제11항에 있어서, 상기 탄성 연결부는 상기 클램핑 몸체의 외면에 컨택하는 제1 및 제2 컨택부들 및 상기 제1 및 제2 컨택부들과 연결되며 상기 마운팅 부재와 탄성적으로 컨택하며 아크 형상을 갖는 아킹부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 어셈블리.The method of claim 11, wherein the resilient connecting portion is connected to the first and second contact portions and the first and second contact portions that contact the outer surface of the clamping body and has elastic contact with the mounting member and have an arc shape. A substrate support assembly comprising an arcing portion.
  15. 제11항에 있어서, 상기 기판 지지부는, 내부에 히터가 형성되며 기판과 컨택하는 지지 플레이트 및 상기 지지 플레이트의 하부를 지지하며 상기 접지 로드를 부분적으로 둘러싸도록 구비된 히터 튜브를 포함하고,12. The method of claim 11, wherein the substrate support portion, the heater is formed therein and includes a support plate for contacting the substrate and a heater tube provided to support the lower portion of the support plate and partially surround the ground rod,
    상기 히터 튜브 내에 상기 접지 로드의 외주면을 부분적으로 클램핑하며, 상기 제1 클램핑 유닛과 전기적으로 연결된 제2 접지 클램핑 유닛; 및A second ground clamping unit partially clamping an outer circumferential surface of the ground rod in the heater tube and electrically connected to the first clamping unit; And
    상기 제1 및 제2 접지 클램핑 유닛들을 상호 전기적으로 연결시키는 클램핑 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 어셈블리.And a clamping connection for electrically connecting the first and second ground clamping units to each other.
  16. 제15항에 있어서, 상기 제2 접지 클램핑 유닛은,The method of claim 15, wherein the second ground clamping unit,
    상기 접지 로드의 외각부를 감싸도록 경사진 관통홈이 구비된 제2 클램핑 몸체;A second clamping body having an inclined through groove to surround an outer portion of the ground rod;
    상기 경사진 관통홈 내에 상기 접지 로드 사이에 개재되어 상기 제2 클램프 몸체를 상기 접지 로드 사이에 고정시키는 쇄기 부재; 및A wedge member interposed between the ground rods in the inclined through groove to fix the second clamp body between the ground rods; And
    상기 쇄기 부재를 상기 제2 클램핑 몸체에 체결시키는 제2 체결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 어셈블리.And a second fastening portion for fastening the wedge member to the second clamping body.
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