KR101204738B1

KR101204738B1 - Slim hybrid robot

Info

Publication number: KR101204738B1
Application number: KR1020060009712A
Authority: KR
Inventors: 김성우
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2006-02-01
Filing date: 2006-02-01
Publication date: 2012-11-26
Also published as: KR20070079188A

Abstract

본 발명은 기판을 각 장비로부터 반출 및 반입하기 위한 슬림 하이브리드 로봇(slim hybrid robot)에 관한 것이다.The present invention relates to a slim hybrid robot for carrying out and carrying out a substrate from each device.

본 발명은 각각의 공정을 수행하는 기판을 해당 공정을 수행하는 평판표시장치용 제조장비로 각각 운반할 때, 컨베이어(conveyor)와 슬림로봇(slim robot)으로 구성된 슬림 하이브리드 로봇을 사용함으로써, 기판의 오염방지 및 각각의 평판표시장치용 제조장비로 안정적으로 운반할 수 있는 효과가 있다. The present invention uses a slim hybrid robot composed of a conveyor and a slim robot to transport the substrates performing the respective processes to the manufacturing equipment for the flat panel display apparatus performing the corresponding processes. There is an effect that can be stably transported to the pollution prevention and manufacturing equipment for each flat panel display device.

또한, 공간의 활용도가 높아 공정의 효율성이 높아지는 효과가 있으며, 공정비용 절감의 효과가 있다. In addition, there is an effect of increasing the efficiency of the process due to the high utilization of space, there is an effect of reducing the process cost.

카세트, 기판이송로봇, 컨베이어, 슬림로봇, 슬림 하이브리드 로봇 Cassette, Substrate Transfer Robot, Conveyor, Slim Robot, Slim Hybrid Robot

Description

Slim hybrid robot

도 1은 일반적인 기판이송로봇을 나타낸 사시도.1 is a perspective view showing a typical substrate transfer robot.

도 2는 도 1의 기판이송로봇을 사용하여 기판의 반입 및 반출 과정을 개략적으로 도시한 도면. 2 is a view schematically showing a process of loading and unloading a substrate using the substrate transfer robot of FIG. 1.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 슬림 하이브리드 로봇(slim hybrid robot)을 개략적으로 도시한 도면.3 schematically illustrates a slim hybrid robot according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3의 슬림로봇의 구조를 개략적으로 도시한 도면. Figure 4 is a schematic view showing the structure of the slim robot of Figure 3;

도 5a ~ 5b는 본 발명의 슬림 하이브리드 로봇을 사용하여 기판의 반입 및 반출 과정을 개략적으로 도시한 도면.5a to 5b schematically illustrate the process of loading and unloading a substrate using the slim hybrid robot of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

102 : 기판 111 : 컨베이어102 substrate 111 conveyor

113 : 그루브 115 : 샤프트축113: groove 115: shaft axis

117 : 회전롤러 119 : 지지판117: rotating roller 119: support plate

121 : 슬림로봇 170 : 슬림 하이브리드 로봇121: slim robot 170: slim hybrid robot

본 발명은 기판을 각 장비로부터 반출 및 반입하기 위한 슬림 하이브리드 로봇(slim hybrid robot)에 관한 것이다. The present invention relates to a slim hybrid robot for carrying out and carrying out a substrate from each device.

일반적으로 널리 사용되고 있는 표시장치들 중의 하나인 CRT(cathode ray tube) TV를 비롯해서 계측기기, 정보단말기기 등의 모니터에 주로 이용되어 오고 있으나, CRT 자체의 큰 무게나 크기로 인하여 전자 제품의 소형화, 경량화의 요구에 적극 대응할 수 없었다. In general, it has been mainly used for monitors such as measuring ray and tube, CRT (cathode ray tube) TV, which is one of the widely used display devices, but due to the large weight and size of CRT itself, It could not actively respond to the demand for weight reduction.

이러한 CRT를 대체하기 위해 소형, 경량화의 장점을 갖고 있는 액정표시장치(liquid crystal display device : LCD), 플라즈마표시장치(plasma display panel device : PDP) 등이 활발하게 개발되어 왔다. In order to replace the CRT, liquid crystal display devices (LCDs), plasma display panel devices (PDPs), and the like, which have advantages of small size and light weight, have been actively developed.

이들은 공통적으로 고유의 형광 또는 편광층을 사이에 두고 한쌍의 투명기판을 대면 합착시킨 평판표시패널(flat display panel)을 필수적인 구성요소로 갖추고 있는데, 이와 같은 패널은 소정물질의 박막을 형성하는 증착(deposition)공정, 포토리소그라피(photo lithography)공정, 식각(etching)공정을 여러번 반복하여 구성하며 이 외에 세정, 합착, 절단 등의 여러 가지 서로 다른 공정이 수반된다. They commonly have a flat display panel in which a pair of transparent substrates are bonded to each other with a unique fluorescent or polarizing layer interposed therebetween as an essential component. The deposition process, the photolithography process, and the etching process are repeated several times, and various other processes such as cleaning, bonding, and cutting are involved.

이로써, 상기 각각의 공정을 수행하는 기판은 해당 공정을 수행하는 평판표시장치용 제조장비로 각각 운반되어 지는데, 이 같은 기판의 이송을 위해서는 오염방지와 함께 보다 안정적인 운반을 위하여 별도의 기판이송로봇이 이용된다. As a result, the substrates performing the respective processes are respectively transported to the manufacturing equipment for the flat panel display apparatus performing the corresponding processes. In order to transport the substrates, a separate substrate transfer robot is provided for more stable transportation and pollution prevention. Is used.

도 1은 일반적인 기판이송로봇을 나타낸 사시도이다. 1 is a perspective view showing a general substrate transfer robot.

도시한 바와 같이, 일반적인 기판이송로봇(70)은 상하로 움직임으로써 높이의 조절이 용이한 본체(10)와, 이에 구성되어 접혀지거나 펼쳐질 수 있는 로봇암(20) 그리고 로봇암(20)의 일 끝단에 대략 포크 형상으로 구성되어 직접적으로 기판(2)을 지지하는 핸드(30)로 구성된다.As shown in the drawing, the general substrate transfer robot 70 moves up and down to easily adjust the height of the main body 10, the robot arm 20 which can be folded or unfolded, and the robot arm 20. It consists of a hand 30 which is configured in a substantially fork shape at the end and directly supports the substrate 2.

이때, 상기 로봇암(20)은 회전이 가능하게 구성된다. At this time, the robot arm 20 is configured to be rotatable.

이와 같은 기판이송로봇(70)은 평판표시장치용 제조장비의 일예로써 다수의 기판(2)이 상하 복층으로 수납되어진 카세트(미도시)로부터 기판(2)을 하나씩 반출하여 제조장비로 공급한다.The substrate transfer robot 70 is an example of a flat panel display manufacturing apparatus, and the substrates 2 are transported one by one from a cassette (not shown) in which a plurality of substrates 2 are stored in upper and lower layers.

이를 도 2를 참조하여 좀더 자세히 설명하면, 상기 카세트(90)가 각 로더(미도시)에 이송되어 오면, 상기 카세트(90)는 상기 로더(미도시)의 상부에 안착되어지고, 상기 로더(미도시)의 상부에 카세트(90)가 안착되어진 신호를 인가받은 기판이송로봇(70)에는 작업 명령이 내려지게 된다.This will be described in more detail with reference to FIG. 2. When the cassette 90 is transferred to each loader (not shown), the cassette 90 is seated on an upper portion of the loader (not shown), and the loader ( The work order is given to the substrate transfer robot 70 to which the signal on which the cassette 90 is seated is applied.

이때, 상기 기판이송로봇(70)은 상기 장비(80)와 카세트(90) 사이에 위치된다. At this time, the substrate transfer robot 70 is located between the equipment 80 and the cassette 90.

이에 따라, 상기 기판이송로봇(70)은 상기 로봇암(20)을 카세트(90)로 뻗어 상기 카세트(90) 내부에 수납되어 있는 기판(2)을 상기 로봇암(20)의 일 끝단에 구성된 핸드(30) 상에 안착시킨 다음 상기 핸드(30)와 기판(2)을 얼라인(align)한 후, 상기 핸드(30) 상에 구성된 베큠패드(31)를 통해 상기 기판(2)을 상기 핸드(30)에 흡착시켜 반출한다. Accordingly, the substrate transfer robot 70 extends the robot arm 20 to the cassette 90 so that the substrate 2 accommodated in the cassette 90 is formed at one end of the robot arm 20. After placing on the hand 30 and aligning the hand 30 with the substrate 2, the substrate 2 is moved through the vacuum pad 31 formed on the hand 30. It adsorb | sucks to the hand 30, and it carries out.

다음으로, 상기 기판(2)이 안착되어 있는 핸드(30)와 함께 로봇암(20)을 회전시켜 상기 카세트(90)의 반대편에 위치한 장비(80)의 스테이지(미도시)에 언로딩(unloading)하게 된다. Next, the robot arm 20 is rotated together with the hand 30 on which the substrate 2 is seated and unloaded to a stage (not shown) of the equipment 80 located opposite the cassette 90. )

또한, 상기 기판이송로봇(70)은 장비(80)에서 공정이 완료된 기판(2)을 다시 반출하여 상기 카세트(90)에 수납시킨다. 이와 같은 과정을 반복하여 상기 카세트(90)에 수납된 모든 기판(2)에 대한 작업을 완료한다.In addition, the substrate transfer robot 70 is carried out again in the equipment 80, the substrate (2) is completed to be stored in the cassette (90). This process is repeated to complete the work on all the substrates 2 contained in the cassette 90.

그러나, 이와 같은 기판이송로봇(70)은 회전을 통해 상기 기판(2)을 카세트(90)에서 장비(80)로 또는, 장비(80)에서 카세트(90)로 반출 및 반입하게 됨으로써, 상기 기판이송로봇(70)이 차지하는 공간이 많아 공간 활용도가 떨어진다. 이는 공정의 효율성이 낮아지는 문제점가 된다. However, such a substrate transfer robot 70 is to be carried out and brought into the cassette 90 from the cassette 90 to the equipment 80, or from the equipment 80 to the cassette 90 through the rotation, thereby the substrate The space occupied by the transfer robot 70 is much lower space utilization. This becomes a problem that the efficiency of the process is lowered.

또한, 상기 기판이송로봇(70)은 그 제조공정이 복잡하여 그에 따른 제조비용이 비싸기 때문에, 전체적인 공정비용이 상승되는 문제점이 있다. In addition, the substrate transfer robot 70 has a problem that the overall process cost is increased because the manufacturing process is complicated and the manufacturing cost is high accordingly.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 종래의 기판이송로봇으로 인해 발생되는 여러 가지 문제점을 해결하면서도, 기판의 오염방지 및 각각의 평판표시장치용 제조장비로 안정적으로 운반되는 것을 제 1 목적으로 한다.The present invention is to solve the above problems, while solving a variety of problems caused by the conventional substrate transfer robot, while preventing the contamination of the substrate and to be stably transported to the manufacturing equipment for each flat panel display device 1 The purpose.

또한, 공정의 효율성 상승 및 공정비용 절감을 제 2 목적으로 한다. In addition, the second object is to increase the efficiency of the process and to reduce the process cost.

전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 직사각형의 철골구조물 형태로, 상면에 그루브(groove) 및 기판을 슬라이딩 시키는 다수의 샤프트축과 회전롤러가 구성된 컨베이어와; 상기 기판을 안착시켜 이동시키며, 상기 그루브를 통과하여 상하로 승강되는 로봇포크(robot fork)와, 상기 로봇포크를 승강운동 시키는 실린더(cylinder) 그리고 직선왕복이 가능한 선형모션가이드(LM guide)로 구성된 슬림로봇을 포함하는 슬림 하이브리드 로봇을 제공한다.In order to achieve the object as described above, the present invention is a rectangular steel structure in the form, a conveyor comprising a plurality of shaft shafts and rotating rollers for sliding a groove (groove) and the substrate on the upper surface; It consists of a robot fork that moves up and down through the groove, moves up and down the substrate, a cylinder for lifting and moving the robot fork, and a linear motion guide (LM guide) capable of linear reciprocation. Provided is a slim hybrid robot including a slim robot.

상기 선형모션가이드는 다수의 레일과, 상기 레일을 따라 슬라이딩되고 상기 실린더를 지지하는 슬라이딩판을 포함하는 것을 특징으로 하며, 상기 컨베이어의 하부면에는 상기 레일을 지지하는 지지판을 더욱 구성하는 것을 특징으로 한다. The linear motion guide may include a plurality of rails and a sliding plate sliding along the rails to support the cylinder, and further comprising a support plate supporting the rails on a lower surface of the conveyor. do.

또한, 상기 그루브는 상기 컨베이어의 길이방향을 따라 구성되는 것을 특징으로 하며, 상기 슬림로봇의 로봇포크의 상면에 다수의 베큠패드를 더욱 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, the groove is characterized in that configured along the longitudinal direction of the conveyor, characterized in that it further comprises a plurality of vacuum pads on the upper surface of the robot fork of the slim robot.

또한, 상기 슬림로봇은 상기 로봇포크를 상기 실린더에 지지하는 지지대를 더욱 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, the slim robot is characterized in that it further comprises a support for supporting the robot fork to the cylinder.

이때, 상기 슬림 하이브리드 로봇을 이용하는 기판의 이송방법으로서, 제 1 장치에서 제 2 장치 사이에 상기 슬림 하이브리드 로봇을 위치하는 단계와; 상기 슬라이딩판이 상기 제 1 장치를 향해 상기 레일을 따라 슬라이딩됨과 동시에 상기 실린더가 상하로 승강운동하여 높이를 조절하는 단계와; 상기 실런더의 높이 조절을 통해 상기 로봇포크가 상기 컨베이어의 그루브를 통과한 후 상승하여, 상기 제 1 장치 내부로 삽입되는 단계와; 상기 로봇포크가 상기 기판을 들어올리는 단계와; 상기 로봇포크 상에 상기 기판을 안착시킨 후, 상기 슬라이딩판이 상기 제 2 장치를 향해 레일을 따라 슬라이딩되고, 상기 실린더가 상하로 승강운동하여 상기 로봇포크를 상기 컨베이어 하부로 위치시키는 단계와; 상기 기판을 상기 컨베이어에 안착시키는 단계와; 상기 컨베이어에 안착된 기판은 상기 회전롤러에 의해 제 2 장치를 향해 슬라이딩되는 단계와; 상기 기판이 제 2 장치의 스테이지 상에 언로딩되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송방법을 제공한다.In this case, a method of transferring a substrate using the slim hybrid robot, comprising: positioning the slim hybrid robot between a first device and a second device; Adjusting the height by sliding the cylinder up and down while the sliding plate slides along the rail toward the first device; The robot fork is raised after passing through the groove of the conveyor through height adjustment of the cylinder, and inserted into the first device; The robot fork lifting the substrate; After seating the substrate on the robot fork, the sliding plate is slid along the rail toward the second device and the cylinder is moved up and down to position the robot fork under the conveyor; Mounting the substrate on the conveyor; The substrate seated on the conveyor is slid toward the second device by the rotating roller; And unloading the substrate onto the stage of the second device.

또한, 상기 제 2 장치에서 공정이 완료된 기판은 상기 회전롤러에 의해 상기 컨베이어로 슬라이딩되는 단계와; 상기 컨베이어로 슬라이딩 된 기판이 상기 로봇포크 상에 안착되는 단계와; 상기 슬라이딩판이 제 1 장치를 향해 슬라이딩됨과 동시에 상기 실린더가 상하로 승강운동하여 높이를 조절하는 단계와; 상기 실런더의 높이 조절을 통해 상기 기판이 안착된 로봇포크가 상기 제 1 장치 내부로 삽입되어 상기 기판이 수납되는 단계를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송방법을 제공한다.In addition, the substrate is completed the process in the second device is a step of sliding to the conveyor by the rotary roller; Placing the substrate slid by the conveyor onto the robot fork; Adjusting the height by sliding the cylinder upward and downward while the sliding plate slides toward the first device; The method may further include inserting the robot fork on which the substrate is seated by adjusting the height of the cylinder into the first device to accommodate the substrate.

상기 제 1 또는 제 2 장치 중 하나는 상기 기판이 일정간격으로 상하 복층 수납되는 카세트이고, 다른 하나는 편판표시장치 제조공정을 수행하는 프로세스모듈인 것을 특징으로 하며, 상기 평판표시장치 제조공정은 박막증착, 포토리소그라피, 에칭, 세정 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다. One of the first and second devices may be a cassette in which the substrate is stacked in a plurality of layers at a predetermined interval, and the other may be a process module that performs a plate display device manufacturing process. And vapor deposition, photolithography, etching, and cleaning processes.

이때, 상기 로봇포크 상에 기판이 안착되는 단계에서 상기 로봇포크에 상기 기판이 밀착되면 상기 베큠패드를 통해 상기 기판을 흡착하는 단계를 더욱 포함하 는 것을 특징으로 하며, 상기 기판을 컨베이어의 상면에 안착시키면 상기 베큠패드가 진공을 해제하는 단계를 더욱 포함하는 것을 특징으로 한다. At this time, when the substrate is in close contact with the robot fork in the step of mounting the substrate on the robot fork further comprising the step of adsorbing the substrate through the vacuum pad, characterized in that the substrate on the upper surface of the conveyor When seated, the vacuum pad further includes releasing the vacuum.

또한, 상기 기판이 상기 제 2 장치에 수납되면 상기 베큠패드가 진공을 해제하는 단계를 더욱 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, when the substrate is accommodated in the second device, the vacuum pad further comprises the step of releasing the vacuum.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 슬림 하이브리드 로봇(slim hybrid robot)을 개략적으로 도시한 도면이며, 도 4는 도 3의 슬림로봇의 구조를 개략적으로 도시한 도면이다. FIG. 3 is a diagram schematically showing a slim hybrid robot according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a diagram schematically showing the structure of the slim robot of FIG.

도 3에 도시한 바와 같이, 슬림 하이브리드 로봇(170)은 크게 컨베이어(conveyor : 111)와 슬림로봇(slim robot : 121)으로 구성하는데, 상기 컨베이어(111)는 직사각형의 철골구조물 형태로, 상면에는 이격된 두개의 그루브(groove : 113)를 구성하여, 상기 상면을 셋 영역으로 나뉘어 이들 각각의 영역에 기판(102)이 슬라이딩 되도록 회전 가능한 다수의 샤프트축(115)을 서로 나란하게 일렬로 배열하며, 각각의 샤프트축(115)에는 고리형상을 갖는 복수개의 회전롤러(117)를 일정 간격을 두고 둘러 장착한다. As shown in FIG. 3, the slim hybrid robot 170 is largely composed of a conveyor 111 and a slim robot 121. The conveyor 111 is in the form of a rectangular steel structure. Comprising two grooves (113) spaced apart, the upper surface is divided into three areas and the plurality of shaft shafts 115 rotatable in parallel with each other in such a way that the substrate 102 is slid in each of these areas, , Each shaft shaft 115 is mounted around a plurality of rotating rollers 117 having a ring shape at a predetermined interval.

이때, 상기 그루브(113)는 상기 컨베이어(111)의 길이방향을 따라 긴 홀의 형태로 구성한다. At this time, the groove 113 is configured in the form of a long hole along the longitudinal direction of the conveyor 111.

또한, 상기 하부면에는 일정 넓이의 지지판(119)을 구성하며, 상기 지지판(119) 상부에는 승강운동 및 직선왕복이 가능한 슬림로봇(121)을 구비한다.In addition, the lower surface comprises a support plate 119 of a predetermined width, the support plate 119 is provided with a slim robot 121 capable of lifting and linear reciprocation.

즉, 도 4를 참조하여 자세히 설명하면, 상기 슬림로봇(121)은 상하로 승강운 동 함으로써 높이 조절이 가능한 실린더(cylinder : 131)와 기판(102)이 직접적으로 안착되어 상기 기판(102)을 지지하는 로봇포크(robot fork : 133), 그리고 상기 로봇포크(133)를 상기 실린더(131)에 지지하는 지지대(135)를 포함한다.That is, when described in detail with reference to Figure 4, the slim robot 121 is a cylinder (131) and the substrate 102 that can be height-adjusted by moving up and down to directly seat the substrate 102 A robot fork (133) for supporting, and a support (135) for supporting the robot fork 133 to the cylinder (131).

이때, 상기 로봇포크(133)는 상기 컨베이어(111)의 길이방향을 따라 이격되게 구성된 두개의 그루브(113)를 통과할 수 있도록 구성하며, 상기 로봇포크(133)의 상면을 따라서는 진공형성이 가능한 다수의 베큠패드(137)를 구성하는데 이는, 상기 로봇포크(133) 상에 기판(102)이 위치하게 되면 상기 베큠패드(137)에 진공을 부여하여 상기 기판(102)이 상기 로봇포크(133)와 흡착되어 안정적으로 안착하게 하기 위함이다. At this time, the robot fork 133 is configured to pass through the two grooves 113 configured to be spaced along the longitudinal direction of the conveyor 111, the vacuum forming along the upper surface of the robot fork 133 A plurality of vacuum pads 137 are constructed as possible. When the substrate 102 is positioned on the robot fork 133, the vacuum pad is applied to the vacuum pad 137 so that the substrate 102 is provided with the robot fork. 133) to be stably adsorbed.

또한, 상기 로봇포크(133)와, 상기 로봇포크(133)를 지지하는 지지대(135)는 상기 실린더(131)의 상부측에 위치하도록 구성한다. In addition, the robot fork 133 and the support 135 for supporting the robot fork 133 is configured to be located on the upper side of the cylinder 131.

이때, 상기 실린더(131)의 하부측에는 상기 실린더(131)를 지지하며, 직선왕복이 가능한 선형모션가이드(linear motion guide : LM guide)를 구성하는데, 상기 선형모션가이드는 두개의 레일(141)과 상기 레일(141)을 따라 직선으로 슬라이딩되는 슬라이딩판(139)으로 구성된다. At this time, the lower side of the cylinder 131 supports the cylinder 131 and constitutes a linear motion guide (LM guide) capable of linear reciprocation. The linear motion guide includes two rails 141 and It consists of a sliding plate 139 sliding in a straight line along the rail 141.

한편, 이 같은 본 발명에 따른 슬림 하이브리드 로봇(도 3의 170)은 상기 선형모션가이드의 직선왕복운동과 상기 실린더(131)의 상하 승강운동, 그리고 상기 로봇포크(133)의 베큠패드(137)를 제어할 수 있는 별도의 구동어셈블리가 구성된다. On the other hand, the slim hybrid robot according to the present invention (170 of FIG. 3) is a linear reciprocating motion of the linear motion guide and the vertical lifting and lowering motion of the cylinder 131, and the vacuum pad 137 of the robot fork 133 A separate drive assembly that can control is configured.

이와 같은 슬림 하이브리드 로봇(도 3의 170)은 그 구조가 간단하여 제조비 용이 낮으며, 컨베이어 대응 장비에는 단지 컨베이어로서만 사용이 가능하기 때문에 공정의 효율성을 높일 수 있다.Such a slim hybrid robot (170 of FIG. 3) is simple in structure and low in manufacturing cost, and can be used only as a conveyor in a conveyor-adaptive device, thereby increasing process efficiency.

도 5a ~ 5b는 본 발명의 슬림 하이브리드 로봇을 사용하여 기판의 반입 및 반출 과정을 개략적으로 도시한 도면이다. 5a to 5b schematically illustrate a process of loading and unloading a substrate using the slim hybrid robot of the present invention.

도 5a에 도시한 바와 같이, 카세트(180)는 기판(102)이 수납될 수 있는 사각의 박스형상을 가지며, 서로 마주보는 양 측면으로는 각각 기판(102)이 얹어질 수 있는 단(181)이 한쌍을 이루며 상하방향을 따라 서로 이격되게 복수개 돌출되어 있다. 이에 동일 높이를 유지하는 한쌍의 단(181)에 1장의 기판(102)의 양가장자리가 지지되어 수납되어 지며, 이러한 복수개의 한쌍의 단(181) 마다 1장의 기판(102)이 각각 적재되어 있다. As shown in FIG. 5A, the cassette 180 has a rectangular box shape in which the substrate 102 can be accommodated, and a stage 181 on which the substrate 102 can be placed on both sides facing each other. A pair of the plurality of protrusions are spaced apart from each other along the vertical direction. Both edges of one substrate 102 are supported and stored in a pair of stages 181 maintaining the same height, and one substrate 102 is loaded for each of the pair of stages 181, respectively. .

이와 같이 기판(102)이 상하 복층으로 수납되어진 카세트(180)가 각 로더(미도시)에 이송되어 오면, 상기 카세트(180)는 상기 로더(미도시)의 상부에 안착되어지며, 슬림 하이브리드 로봇(170)이 상기 카세트(180)와 장비(190) 사이로 위치한다. When the cassettes 180, in which the substrate 102 is stored in the upper and lower duplex layers, are transferred to each loader (not shown), the cassette 180 is seated on an upper portion of the loader (not shown), and a slim hybrid robot. 170 is located between the cassette 180 and the equipment 190.

이때, 상기 슬림 하이브리드 로봇(170)은 상기 장비(190)와 직접적으로 접촉되도록 위치하며, 상기 장비(190)는 박막증착, 포토리소그라피, 에칭, 세정 공정 등과 같은 평판표시장치 제조공정을 각각 수행하는 일체의 프로세스모듈이다. In this case, the slim hybrid robot 170 is positioned in direct contact with the equipment 190, and the equipment 190 performs a flat panel display device manufacturing process such as thin film deposition, photolithography, etching, and cleaning processes, respectively. All process modules.

다음으로, 상기 로더(미도시)의 상부에 카세트(180)가 안착되어진 신호를 인가받은 슬림 하이브리드 로봇(170)에 작업 명령이 내려지게 된다. Next, a work command is given to the slim hybrid robot 170 receiving the signal on which the cassette 180 is seated on the loader (not shown).

이에 따라, 상기 슬림 하이브리드 로봇(170)은 슬림로봇에 구성된 선형모션가 이드에 의해 상기 슬라이딩판(139)이 상기 카세트(180)를 향해 레일(141)을 따라 슬라이딩됨과 동시에, 상기 실린더(131)가 상기 카세트(180)에서 반출할 기판(102)이 적재되어 있는 높이에 맞춰 상하로 승강운동하여 높이를 조절한다.Accordingly, in the slim hybrid robot 170, the sliding plate 139 slides along the rail 141 toward the cassette 180 by a linear motion guide configured in the slim robot, and the cylinder 131 is moved. The height is adjusted by moving up and down in accordance with the height on which the substrate 102 to be carried out from the cassette 180 is loaded.

이때, 상기 실린더(131)의 높이가 조절되면 상기 실린더(131)의 상부측에 구성된 로봇포크(133)가 상기 컨베이어(111)의 그루브(113)를 통과하면서 상기 카세트(180) 내부로 들어가 상기 반출하고자 하는 기판(102)의 하부면과 접촉하게 된다. At this time, when the height of the cylinder 131 is adjusted, the robot fork 133 configured on the upper side of the cylinder 131 passes through the grooves 113 of the conveyor 111 and enters into the cassette 180. In contact with the lower surface of the substrate 102 to be carried out.

다음으로, 상기 로봇포크(133)의 상면을 따라 형성된 다수의 베큠패드(137)에 진공을 부여하여 상기 로봇포크(133) 상에 위치한 기판(102)이 상기 로봇포크(133)와 흡착되어 안정적으로 안착하게 된다. Next, a vacuum is applied to the plurality of vacuum pads 137 formed along the upper surface of the robot fork 133 so that the substrate 102 positioned on the robot fork 133 is adsorbed with the robot fork 133 and is stable. Will be seated.

상기 반출하고자 하는 기판(102)이 로봇포크(133)에 안착되어지면, 도 5b에 도시한 바와 같이, 상기 슬라이딩판(도 5a의 139)이 상기 카세트(180)의 반대방향으로 슬라이딩됨과 동시에, 상기 실린더(도 5a의 131) 역시 다시 승강운동을 하여, 상기 기판(102)을 상기 컨베이어(111)의 샤프트축(115)과 회전롤러(117)가 구성된 상면에 안착시킨다. When the substrate 102 to be taken out is seated on the robot fork 133, as shown in FIG. 5B, the sliding plate (139 of FIG. 5A) is slid in the opposite direction of the cassette 180. The cylinder (131 of FIG. 5A) also moves up and down again, and seats the substrate 102 on the upper surface of the shaft shaft 115 and the rotating roller 117 of the conveyor 111.

상기 기판(102)이 상기 컨베이어(111)의 상면에 안착되면, 상기 로봇포크(133) 상에 다수로 구성된 베큠패드(137)의 진공을 해제한 후, 상기 기판(102)과 로봇포크(133)를 각각 분리되도록 한다. When the substrate 102 is seated on the upper surface of the conveyor 111, after releasing the vacuum of the vacuum pad 137 composed of a plurality on the robot fork 133, the substrate 102 and the robot fork 133 ) To separate.

이로 인하여, 상기 기판(102)은 각 샤프트축(115)에 장착된 회전롤러(117)에 얹혀져 상기 샤프트축(115)과 회전롤러(117)의 회전에 의해 슬라이딩 방식으로 상기 장비(190)의 스테이지(미도시)에 로딩(loading)하게 된다.Due to this, the substrate 102 is mounted on the rotary rollers 117 mounted on the respective shaft shafts 115 so that the substrate 190 can be slid by the rotation of the shaft shafts 115 and the rotary rollers 117. It is loaded on a stage (not shown).

상기 장비(190)에서 공정이 완료된 기판(102)은 상기 슬림 하이브리드 로봇(170)의 컨베이어(111)로 다시 반출되는데, 이때는 상기 슬림 하이브리드 로봇(170)이 앞서 전술한 기판(102)의 반입되는 과정과 반대로 작동하여 상기 기판(102)을 상기 카세트(180)에 수납한다.The substrate 102 having completed the process in the equipment 190 is carried back to the conveyor 111 of the slim hybrid robot 170, in which case the slim hybrid robot 170 is carried in the substrate 102 described above. The reverse operation of the process accommodates the substrate 102 in the cassette 180.

즉, 도시하지는 않았지만 상기 기판이 장비 내부에서 샤프트축과 회전롤러의 회전에 의한 슬라이딩 방식으로 상기 컨베이어로 반출되면, 상기 슬림로봇의 로봇포크가 승강운동 되면서 상기 컨베이어 상면에 구성된 그루브를 통과하여 상기 기판의 하부면과 직접적으로 접촉되도록 한다. That is, although not shown, when the substrate is transported to the conveyor in a sliding manner by the rotation of the shaft shaft and the rotating roller inside the equipment, the robot fork of the slim robot is moved up and down through the grooves formed on the upper surface of the conveyor. Make direct contact with the bottom of the

다음으로, 상기 로봇포크에 구성된 베큠패드를 통해 상기 기판을 상기 로봇포크에 흡착시켜 안정적으로 안착시킨다.Next, the substrate is adsorbed to the robot fork through the vacuum pad configured in the robot fork, thereby stably seating the robot fork.

상기 로봇포크 상에 기판이 안정적으로 안착되어 지면, 상기 슬림로봇에 구성된 선형모션가이드의 상기 슬라이딩판이 상기 카세트를 향해 레일을 따라 슬라이딩됨과 동시에, 상기 실린더가 상기 기판을 상기 카세트의 반입하고자하는 단의 높이에 맞춰 상하로 승강운동하여 높이를 조절한다.When the substrate is stably seated on the robot fork, the sliding plate of the linear motion guide configured in the slim robot slides along the rail toward the cassette, and the cylinder is configured to carry the substrate into the cassette. Adjust the height by moving up and down according to the height.

이때, 상기 실린더의 높이가 조절되면, 상기 기판이 안착되어진 로봇포크가 상기 카세트 내부로 들어간 상태에서 상기 베큠패드는 진공을 해제하게 되고 이어서, 상기 기판의 양 가장자리를 지지하는 카세트의 단 상에 상기 기판을 옮김으로써 상기 기판의 반입을 완료한다.In this case, when the height of the cylinder is adjusted, the vacuum pad releases the vacuum while the robot fork on which the substrate is seated enters the cassette. Transfer of the substrate is completed to carry in the substrate.

이와 같은 과정을 반복하여 상기 카세트(180)에 수납된 모든 기판(102)에 대 한 작업이 완료되면, 상기 슬림 하이브리드 로봇(170)은 다음 로더(미도시)로 이동하여 카세트(180)에 적재된 기판(102)을 다시 반출하고 반입하는 작업을 수행한다.By repeating this process, when the work on all the substrates 102 stored in the cassette 180 is completed, the slim hybrid robot 170 moves to the next loader (not shown) and loads the cassette 180. The substrate 102 is again taken out and carried out.

전술한 바와 같은 슬림 하이브리드 로봇(170)은 서로 마주보도록 위치하고 있는 카세트(180)로부터 장비(190)로, 또는 장비(190)로부터 카세트(180)로 기판(102)을 반입 및 반출할 때, 기판(102)의 턴(turn) 없이 기판(102)의 반입 및 반출을 할 수 있으므로 공간 활용도가 높다. When the hybrid hybrid robot 170 as described above is brought into and out of the substrate 102 from the cassette 180, which is located to face each other, to the equipment 190, or from the equipment 190 to the cassette 180, the substrate Since the substrate 102 can be loaded and unloaded without turning the 102, the space utilization is high.

또한, 기존의 기판이송로봇(도 1의 70)에 비해 구조가 간단하여 제조비용이 낮아 공정비용의 절감의 효과를 가져오면서, 기판(102)을 안정적으로 운반할 수 있다. In addition, the structure is simpler than the conventional substrate transfer robot (70 in FIG. 1), the manufacturing cost is low, bringing the effect of reducing the process cost, it is possible to transport the substrate 102 stably.

본 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다. The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

위에 상술한 바와 같이, 각각의 공정을 수행하는 기판을 해당 공정을 수행하는 평판표시장치용 제조장비로 각각 운반할 때, 본 발명에 따라 슬림 하이브리드 로봇을 사용함으로써, 기판의 오염방지 및 각각의 평판표시장치용 제조장비로 안정적으로 운반할 수 있는 효과가 있다. As described above, when transporting the substrates performing the respective processes to the manufacturing equipment for the flat panel display apparatus performing the respective processes, by using the slim hybrid robot according to the present invention, the contamination of the substrates and the respective flat plates There is an effect that can be stably transported to the manufacturing equipment for the display device.

Claims

In a slim hybrid robot for transferring a substrate between a cassette in which a plurality of substrates are stored in a plurality of upper and lower layers at a predetermined interval and a process module for performing a flat panel display device manufacturing process,

A conveyor in the form of a rectangular steel frame structure having a plurality of shaft shafts and rotating rollers for sliding a groove and the substrate on an upper surface thereof;

It consists of a robot fork that moves up and down through the groove, moves up and down the substrate, a cylinder for lifting and moving the robot fork, and a linear motion guide (LM guide) capable of linear reciprocation. Slim Robot

/ RTI >

The robot fork is inserted into the cassette through up and down and straight reciprocation to bring the substrate into and out of the cassette from the cassette, and the rotating roller slides the substrate through rotation to move the process from the top of the conveyor. Slim hybrid robots to import and export into modules.

The method of claim 1,

The linear motion guide includes a plurality of rails and a sliding plate sliding along the rails and supporting the cylinder.

The method of claim 2,

Slim hybrid robot, characterized in that the lower surface of the conveyor further comprises a support plate for supporting the rail.

Claim 4 has been abandoned due to the setting registration fee.

The method of claim 1,

The groove is a slim hybrid robot, characterized in that configured along the longitudinal direction of the conveyor.

The method of claim 1,

Slim hybrid robot, characterized in that it further comprises a plurality of vacuum pads on the upper surface of the robot fork of the slim robot.

The method of claim 1,

The slim robot further comprises a support for supporting the robot fork to the cylinder.

A substrate transfer method using the slim hybrid robot of claim 2,

Positioning the slim hybrid robot between the process modules in the cassette;

Adjusting the height by sliding the cylinder upward and downward while the sliding plate slides along the rail toward the cassette;

The robot fork is moved up through the groove of the conveyor through height adjustment of the cylinder, and then inserted into the cassette;

The robot fork lifting the substrate;

Placing the substrate on the robot fork, and sliding the sliding plate along the rail toward the process module, and moving the cylinder up and down to position the robot fork under the conveyor;

Mounting the substrate on the conveyor;

A substrate seated on the conveyor is slid toward the process module by the rotating roller;

Loading the substrate onto a stage of the process module

Substrate transfer method comprising a.

The method of claim 7, wherein

Comprising the step of the substrate is completed in the process module sliding the roller by the rotary roller;

Placing the substrate slid by the conveyor onto the robot fork;

Adjusting the height by sliding the cylinder upward and downward while the sliding plate slides toward the cassette;

The robot fork seated on the substrate is inserted into the cassette by adjusting the height of the cylinder to accommodate the substrate

Substrate transfer method characterized in that it further comprises.

delete

Claim 10 has been abandoned due to the setting registration fee.

The method according to claim 7 or 8,

The manufacturing method of the flat panel display device includes a thin film deposition, photolithography, etching, cleaning process.

9. The method of claim 8,

And adsorbing the substrate through a vacuum pad positioned on an upper surface of the robot fork when the substrate is seated on the robot fork in the step of mounting the substrate on the robot fork.

The method of claim 11,

And placing the substrate on the upper surface of the conveyor to release the vacuum from the vacuum pad.

The method of claim 11,

And the vacuum pad releases the vacuum when the substrate is stored in the cassette.