KR101202744B1 - 기판 척킹／디척킹 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 위에 기판 척킹 플레이트가 로딩되는 척킹/디척킹 스테이지, 척킹/디척킹 스테이지에 승강 가능하게 설치되고 상승 시 기판 척킹 플레이트의 관통구멍을 각각 통과할 수 있도록 배치되며 끝에 흡입구가 마련된 복수의 석션 기구, 흡입구의 내부에 각각 흡입구를 폐쇄함이 없도록 마련되고 기체 공급원으로부터 제공되는 기체압으로 팽창하여 흡입구의 외부로 돌출되는 벌룬을 가지는 디척킹 기구를 포함하는 기판 척킹/디척킹 장치를 제공한다.

Description

기판 척킹／디척킹 장치{Substrate Chucking/De-chucking Apparatus}
본 발명은 OLED 등을 제조하기 위하여 기판을 척킹하거나 디척킹하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diode, OLED)는 형광성의 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계발광현상을 이용하여 스스로 빛을 내는 자체발광형 유기물질을 말한다. 이 유기발광다이오드에 의한 디스플레이는 낮은 전압에서 구동이 가능하고 얇은 박형으로 만들 수 있을 뿐만 아니라, 넓은 시야각과 빠른 응답속도를 가지고 있어 일반 LCD(Liquid Crystal Display)와 달리 바로 옆에서 보아도 화질이 변하지 않으며 화면에 잔상이 남지 않는다. 또, 소형 화면에서는 LCD 이상의 화질과 단순한 제조공정으로 인하여 유리한 가격 경쟁력을 가지므로 차세대 디스플레이 소자로 주목을 받고 있다.
유기발광다이오드를 이용하여 이동통신단말기용 디스플레이나 텔레비전 등을 생산할 때 필요한 것이 바로 박막증착장비인데, 박막증착장비는 기판에 유기물질을 증착하여 박막을 형성하는 것으로서 유기발광다이오드의 제조를 위한 중요 장비 중 하나이다.
박막증착장비로는 주로 진공열증착(thermal evaporation)을 이용하는 타입이 사용된다. 이 타입은 챔버(chamber)를 포함하는데, 챔버의 내부공간 상부에는 박막증착 시 기판이 위치되고, 챔버의 내부공간 하부에는 기판에 박막증착을 위한 유기물질을 제공하는 도가니장치(crucible assembly)가 위치된다.
박막증착은 기판에 마스크(mask)를 밀착시킨 상태에서 이루어진다. 마스크의 밀착은 챔버의 내부에서 이루어질 수도 있고 외부에서 이루어질 수도 있다. 마스크가 어떤 방식으로 밀착되든지 간에, 기판은 지지수단에 의하여 지지된 상태로 챔버에 반입되는 일반적이다.
기판 지지수단의 일례로는 점착 척(adhesive chuck)을 가지는 척킹 플레이트(chucking plate)가 있다. 척킹 플레이트에는 기판이 점착 척의 점착력으로 척킹된다. 이 척킹된 기판은 척킹 플레이트와 함께 챔버에 반입되고, 챔버에서 반출된 기판은 디척킹되어 척킹 플레이트와 분리된다. 이 때, 기판의 척킹과 디척킹은 척킹/디척킹 장치의 스테이지(stage) 상에서 이루어진다.
박막증착공정에 이렇게 척킹 플레이트를 이용하는 방식에서는 증착과정에 앞서서는 척킹 플레이트에 기판을 척킹하고 증착과정을 완료한 이후에는 척킹 플레이트로부터 기판을 분리하는 디척킹 기술이 박막증착공정의 성능에 중요한 영향을 미친다. 이에 따라, 한층 향상된 척킹, 디척킹을 실현할 수 있는 척킹/디척킹 장치의 개발이 요구되고 있다.
이상의 배경기술은 발명자가 본 발명의 도출을 위하여 보유하고 있었거나 본 발명의 도출과정에서 습득한 기술을 설명한 것이므로 반드시 본 발명의 출원 전 일반 공중에 공개된 기술이라 할 수 없다.
본 발명의 목적은 기판을 보다 효과적으로 척킹, 디척킹할 수 있고 구조적으로는 단순한 기판 척킹/디척킹 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하려는 과제는 위 과제에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제들은 통상의 기술자(본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자)라면 아래의 기재로부터 명확하게 이해할 수 있을 것이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 복수의 관통구멍을 가지며, 위에 로딩되는 기판을 점착력으로 척킹하는 기판 척킹 플레이트와; 위에 상기 기판 척킹 플레이트가 로딩되는 척킹/디척킹 스테이지와; 상기 척킹/디척킹 스테이지에 승강 가능하게 설치되고, 상승 시 상기 복수의 관통구멍을 각각 통과할 수 있도록 배치되며, 끝에 흡입구가 마련되어 기판을 상기 기판 척킹 플레이트에 흡입력으로 밀착시키는 복수의 석션(suction) 기구와; 상기 흡입구의 내부에 각각 이 흡입구를 폐쇄함이 없도록 마련되고, 기체 공급원으로부터 제공되는 기체에 의하여 팽창하여 상기 흡입구의 외부로 돌출되는 벌룬(balloon)을 가지는 디척킹 기구를 포함하는 기판 척킹/디척킹 장치가 제공된다.
상기 석션 기구는 파이프(pipe)의 구조를 가지도록 구성되고, 상기 디척킹 기구는 상기 석션 기구의 중앙부에 배치될 수 있다.
여기에서, 상기 디척킹 기구는 상기 기체 공급원으로부터의 기체를 공급하는 기체 공급관을 포함하고, 상기 벌룬은 상기 기체 공급관의 배출구에 기체압에 의하여 팽창 가능하도록 장착될 수 있다. 그리고, 상기 벌룬은 상기 기체 공급관의 배출구를 막는 막의 구조를 가질 수 있다.
또한, 상기 디척킹 기구는 상기 석션 기구의 내부에 승강 가능하도록 장착될 수 있다.
상기 석션 기구는 상기 흡입구가 마련된 끝 부분이 윤활성 부재로 피복될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 척킹/디척킹 장치는 상기 척킹/디척킹 스테이지에 상기 로딩된 기판 척킹 플레이트를 고정시키기 위한 클램핑 기구를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 복수의 관통구멍을 가지며, 위에 로딩되는 기판을 점착력으로 척킹하는 기판 척킹 플레이트와; 위에 상기 기판 척킹 플레이트가 로딩되는 척킹/디척킹 스테이지와; 상기 척킹/디척킹 스테이지에 설치되고, 끝에 흡입구가 마련되며, 이 흡입구가 상기 복수의 관통구멍과 각각 대향하도록 배치되어 기판을 상기 기판 척킹 플레이트에 흡입력으로 밀착시키는 복수의 석션 파이프와; 상기 석션 파이프의 내부 중앙부에 각각 승강 가능하게 설치되어 상승 시 상기 석션 파이프의 외부로 돌출되고, 끝에 기체 공급원으로부터 제공되는 기체에 의하여 팽창되는 벌룬을 가지는 디척킹 기구를 포함하는 기판 척킹/디척킹 장치가 제공될 수 있다.
위 같은 본 발명의 주요한 과제의 해결 수단은 이하에서 설명하는 실시예(발명을 실시하기 위한 구체적인 내용)나 도면 등을 통하여 보다 구체적이고 명확하게 될 것이고, 나아가서는 위 같은 본 발명의 주요한 과제의 해결 수단 이외에도 다양한 과제의 해결 수단이 이하에서 추가로 제시될 것이다.
본 발명은 기판 척킹 플레이트에 기판 밀착시키기 위한 석션 기구에 기판 디척킹용 디척킹 기구가 내장되므로 공간활용 및 이와 관련한 구조 단순화 면에서 유용하고 기판 척킹 플레이트에 기판을 들어 올리거나 내리는 데에 필요한 관통구멍, 기판의 척킹 및 디척킹에 필요한 관통구멍을 하나로 통일할 수 있어 이러한 작동에 요구되는 구멍의 개수를 대폭 줄일 수 있다는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 기판의 디척킹에 탄력을 가지는 벌룬을 이용하므로 기판을 디척킹하는 과정에서 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있다는 이점 등이 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 척킹/디척킹 장치를 위에서 본 상태가 도시된 구성도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 척킹/디척킹 장치를 앞에서 본 상태가 도시된 구성도이다.
도 3은 도 1, 2에 도시된 기판 척킹 플레이트를 나타내는 사시도이다.
도 4는 도 2에 도시된 석션 기구와 디척킹 기구를 나타내는 부분단면도이다.
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 척킹/디척킹 장치에 의한 기판 척킹 과정의 일부를 나타낸다.
도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 척킹/디척킹 장치에 의한 기판 디척킹 과정의 일부를 나타낸다.
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 척킹/디척킹 장치의 주요부분이 도시된 부분단면도이다.
도 8, 9는 도 7에 도시된 석션 기구와 디척킹 기구의 작동을 나타낸다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 본 발명을 설명하는 데 참조하는 도면에 도시된 구성요소의 크기, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다. 또, 본 발명의 설명에 사용되는 용어는 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이므로 사용자, 운용자 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 이 용어에 대한 정의는 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 내리는 것이 마땅하겠다.
도 1과 도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 척킹/디척킹 장치를 나타내는 구성도로, 이 도 1과 도 2에서, 도면부호 S는 기판이고, 도면부호 10은 기판 척킹 플레이트(이하, 척킹 플레이트라 한다)이다.
도 3은 척킹 플레이트(10)가 도시된 사시도로, 이 도 3에 도시된 바와 같이, 척킹 플레이트(10)는 평편한 플레이트 구조를 가지는바, 양면 중 한쪽을 기판 척킹면(F1)으로 하여, 양면 중 다른 쪽은 플레이트 이면(F2)이 된다. 이러한 척킹 플레이트(10)는 서로 이격되도록 일정한 간격을 두고 배치된 복수의 관통구멍(11)을 가지는 한편, 기판 척킹면(F1) 측에서 기판(S)(이하, 도면부호의 병기는 생략한다)을 점착력으로 지지하는 복수의 점착 척(15)을 가진다. 이 점착 척(15)은 기판 척킹면(F1) 측에서 관통구멍(11)에 각각 끼워진 형태로 장착되는바, 이렇게 장착된 때 관통구멍(11)과 일치하는 구멍을 가지도록 고리형으로 형성되어 각각 관통구멍(11)의 둘레를 따라 구비된다.
척킹 플레이트(10)의 관통구멍(11)은 기판 척킹면(F1)에 기판을 점착력에 의하여 척킹하거나 척킹된 기판을 분리하는 데 사용되는 것으로, 이와 관련해서는 후술하기로 한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 척킹 플레이트(10)는 척킹/디척킹 스테이지(20) 상에 기판 척킹면(F1)이 상측을 향하도록 로딩된다.
척킹/디척킹 스테이지(20)는 척킹 플레이트(10)를 지지할 수 있는 구조의 것이라면 어떠한 타입이라도 적용될 수 있다. 도 1, 도 2에는 이 척킹/디척킹 스테이지(20)가 서로 이격된 두 받침대(20a,20b)로 구성되어 척킹 플레이트(10)를 양쪽에서 받치는 타입을 예시하고 있다. 구체적인 도시는 없으나, 이 두 받침대(20a,20b)는 하부에 설치된 베이스 구조물 따위에 의하여 서로 연결된 구조를 가지도록 구성하는 것이 바람직하다.
척킹/디척킹 스테이지(20)는 그 상부 중 척킹 플레이트(10)가 올려지는 부분에 척킹 플레이트(10)를 일정한 범위 이내에서 수평이동 가능하게 지지하는 복수의 플로팅 유닛(floating unit)(25)이 서로 이격되도록 마련된다.
도 2를 참조하면, 플로팅 유닛(25)은 수평방향으로 일정한 거리 이동 가능한 한편, 로크 수단(도시되지 않음)에 의하여 수평이동이 구속되거나 구속이 해제되는 받침판(26)을 가진다. 이 같은 플로팅 유닛(25)에 의하면, 척킹 플레이트(10)의 로딩 초기에는 이 척킹 플레이트(10)의 위치를 조정하기 위하여 받침판(26)이 수평으로 이동되나, 이 받침판(26)은 척킹 플레이트(10)의 위치 조정이 완료되면 로크 수단이 작동하여 수평이동이 구속된다.
도 1을 참조하면, 로딩된 척킹 플레이트(10)는 척킹/디척킹 스테이지(20) 상에 복수의 클램핑 기구(30)에 의하여 고정된다. 이 클램핑 기구(30)는 공압이나 유압으로 작동하는 클램핑 암(clamping arm)이 척킹 플레이트(10)를 압박함으로써 척킹/디척킹 스테이지(20)에 이 척킹 플레이트(10)가 고정되도록 구성하는 것이 바람직하다.
도 2를 참조하면, 척킹/디척킹 스테이지(20)를 구성하는 두 받침대(20a,20b) 사이에는 척킹 플레이트(10) 상에 기판을 내려 놓거나 내려 놓은 기판을 들어 올리는 역할을 함과 아울러, 척킹 플레이트(10)에 로딩된 기판을 밀착시키는 역할을 하는 석션 기구(60)가 설치된다.
도 4는 석션 기구(60) 등을 나타낸다. 도 2, 4에 도시된 바와 같이, 석션 기구(60)는 척킹/디척킹 스테이지(20)에 승강 가능하게 설치되는 한편, 상승 시 척킹 플레이트(10)의 관통구멍(11)을 각각 통과할 수 있게 배치된 복수 개의 석션 파이프(61)를 포함하고, 이 밖으로는 이 석션 파이프(61)를 동시에 승강시키기 위한 적어도 하나의 구동 플레이트(62)를 더 포함한다.
석션 파이프(61)는 구동 플레이트(62)에 세워진다. 이 석션 파이프(61)는 흡입력 발생수단(65)과 연결되어 흡입력을 제공받고 상단의 흡입구(612)를 통하여 척킹 플레이트(10)의 상부에 기판을 밀착시키기 위한 부압을 형성함으로써 척킹 플레이트(10)에 기판이 첨착 척(15)에 의하여 척킹되게 한다.
석션 파이프(61)의 상단부는 척킹 플레이트(10) 상에 기판을 내려 놓거나 내려 놓은 기판을 들어 올린 때 기판과 접촉되는 부분이므로 테플론(Teflon) 등 마찰계수가 낮은 소재로 이루어진 윤활성 부재(614)로 피복된다.
구동 플레이트(62)는 볼 스크루(ball screw) 방식의 직선 이동기구를 비롯하여 직선의 구동력을 발생시키는 구동기구들을 이용하여 구동시킬 수 있다. 참고로, 석션 파이프(61)는 그 승강 동작이 구동 플레이트(62) 없이 개별적으로 이루어지도록 구동기구와 직결될 수도 있다.
도 4와 같이, 석션 파이프(61)의 내부에는 척킹 플레이트(10)에 척킹된 기판을 분리시키는 데 사용하는 디척킹 기구(70)가 각각 설치된다.
디척킹 기구(70)는 석션 파이프(61)의 중앙부에 배치된 기체 공급관(71), 이 기체 공급관(71)의 배출구(712)에 이 배출구(712)로부터 배출되는 기체(바람직하게는, 공기)에 의하여 팽창 가능하도록 장착된 벌룬(balloon)(72)을 포함한다.
기체 공급관(71)은 기체 공급수단(75)과 연결되어 이 기체 공급수단(75)으로부터의 기체를 유실 없이 수송한다. 벌룬(72)은 이 기체 공급관(71)의 배출구(712)를 폐쇄하는 막(diaphragm)의 구조를 가져 기체 공급관(71)의 관로를 폐쇄함이 없는 한편, 팽창 시 흡입구(612)의 외부로 돌출되도록 흡입구(612)의 내부에 위치된다. 바람직하게는, 이 벌룬(72)은 팽창 시 둘레 측으로 확장되어 흡입구(612)를 폐쇄할 수 있는 구조를 가진다.
도 1에서 설명되지 않은 도면부호 40 및 도면부호 50은 척킹 플레이트(10)와 이 척킹 플레이트(10) 위에 로딩된 기판의 위치를 각각 조정하는 복수의 척킹 플레이트 얼라인 기구(40) 및 복수의 기판 얼라인 기구(50)이다.
척킹 플레이트 얼라인 기구(40)는 척킹/디척킹 스테이지(20) 상에서 수평 이동하는 이동유닛, 이 이동유닛을 이동시키기 위한 구동수단, 이동유닛에 마련된 얼라인 암을 포함할 수 있다. 이 때, 이 얼라인 암은 척킹 플레이트(10)의 둘레와 접촉하면서 이 척킹 플레이트(10)를 이동시킨다.
기판 얼라인 기구(50)는 척킹/디척킹 스테이지(20) 상에서 수평 이동하는 이동유닛, 이 기판 얼라인 기구(50)의 이동유닛을 이동시키는 구동수단, 기판 얼라인 기구(50)의 이동유닛에 마련된 얼라인 암, 기판 얼라인 기구(50)의 이동유닛과 얼라인 암 사이에 개재되어 얼라인 암을 회전시키는 구동수단을 포함할 수 있다. 이 때, 판 얼라인 기구(50)의 얼라인 암은 기판의 둘레와 접촉하면서 이 기판을 이동시킨다.
이와 같이, 기판 얼라인 기구(50)는 그 기본적인 구성이 척킹 플레이트 얼라인 기구(40)와 유사할 수 있는바, 회전을 위한 구동수단을 추가적으로 더 포함하는 것이다. 이렇게 회전을 위한 구동수단을 더 포함하는 이유는 기판에 비하여 면적이 더 큰 척킹 플레이트(10)가 척킹/디척킹 스테이지(20) 위에 로딩될 때 척킹 플레이트(10)와 간섭을 방지하기 위함이다.
설명한 바와 같이 구성되는 제1실시예는 다음과 같이 기판이 척킹되고 디척킹될 수 있다.
척킹/디척킹 스테이지(20) 위에 척킹 플레이트(10)를 로딩한다. 척킹 프레이트(10)의 로딩이 확인되면, 척킹 플레이트 얼라인 기구(40)는 척킹 플레이트(10)의 위치를 조정한다. 이후, 척킹 프레이트(10)의 위치가 조정되면, 플로팅 유닛(25)은 작동이 구속되고, 클램프 기구(30)는 척킹 플레이트(10)를 고정한다.
다음, 척킹 플레이트(10) 위에 기판을 로딩시키기 위하여 석션 파이프(61)가 척킹 플레이트(10)의 관통구멍(11)을 통과하도록 일정한 높이 상승시킨다.(도 5 참조) 이 상태에서 석션 파이프(61) 위에 기판을 놓는다. 이 같이 기판이 올려진 것이 확인되면, 기판 얼라인 기구(50)는 기판의 위치를 조정한다. 이 때, 기판은 윤활성 부재(614)와 접촉하여 석션 파이프(61)와의 큰 마찰 없이 위치 조정이 이루어진다.
그 다음, 기판의 위치가 조정되면 석션 파이프(61)를 하강시켜 척킹 플레이트(10) 위에 기판을 내려 놓되, 바람직하게는 석션 파이프(61)의 흡입구(612)가 척킹 플레이트(10)의 관통구멍(11) 내에 위치함과 아울러, 기판과 접촉하고 있게 한다. 그런 후, 흡입력 발생수단(65)을 작동, 흡입력을 발생시켜 척킹 플레이트(10)에 기판을 밀착시킨다. 이 때, 기판은 척킹 플레이트(10)에 점착 척(15)에 의하여 척킹된다.
여기에서, 흡입력 발생은 기판의 위치 조정 후 석션 파이프(61)의 하강과 함께 이루어질 수도 있다.
척킹 플레이트(10)에 기판이 척킹되면 흡입력 발생수단(65)의 작동을 정지시키고, 클램핑 기구(30)에 의한 기판의 고정을 해제한 후, 반송 로봇 등을 이용하여 박막증착을 위한 다음 단계의 장치(증착챔버의 증착공간)로 이송한다.
다음, 기판의 디척킹 과정을 살펴보면, 앞서 설명한 기판 척킹 과정과 마찬가지로 척킹/디척킹 스테이지(20) 위에 기판이 척킹된 척킹 플레이트(10)를 로딩하고 얼라인한 후 고정한다.
그 다음, 기체 공급수단(75)을 작동시켜 벌룬(72)을 팽창시킨다.(도 6 참조) 이 때, 벌룬(72)은 흡입구(612)의 외부로 노출되고, 그 구조나 형상에 따라서는 흡입구(612)를 폐쇄할 수 있다.
석션 파이프(61)의 위치에 따라서는 벌룬(72)의 팽창만으로도 기판의 디척킹이 이루어질 수도 있으나, 보다 확실한 디척킹을 위해서는 석션 파이프(61)를 상승시키는 것이 바람직하다. 이 때, 기판의 디척킹은 탄력적인 벌룬(72)에 의하여 기판에 손상을 가함이 없이 안정적으로 이루어진다.
다음, 기판이 디척킹되었더라도 석션 파이프(61)를 계속 상승시켜 석션 파이프(61)가 척킹 플레이트(10)의 관통구멍(11)을 통과하게 함으로써 기판을 들어 올린다. 이렇게 디척킹된 기판은 반송 로봇 등에 의하여 반출될 수 있다.
한편, 척킹 플레이트(10)의 관통구멍(11)은 이상의 설명을 통하여 알 수 있듯이 기판을 들어 올리거나 내릴 때, 기판을 척킹하거나 디척킹할 때에 사용되는 것으로, 본 발명은 이렇게 관통구멍(11)을 통하여 모든 작동을 이루기 때문에 척킹 플레이트(10)의 구조가 간단하다는 이점도 있다. 즉, 용도별로 구멍을 구비하여야 할 필요가 없고, 이에 따라 구멍의 배치구조 등을 단순화할 수 있는 것이다.
도 7은 본 발명에 따른 제2실시예에 따른 기판 척킹/디척킹 장치의 주요부가 도시된 부분단면도로, 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 제2실시예에 따른 기판 척킹/디척킹 장치는 제1실시예와 비교하여 볼 때, 디척킹 기구(70)의 기체 공급관(71)이 석션 파이프(61) 내부에 승강 가능하게 설치된 점만이 상이한바, 이를 설명하면 다음과 같다.
석션 파이프(61)의 내부에 위치한 기체 공급관(71)은 석션 파이프(61)를 동시에 승강시키기 위한 구동 플레이트(이하, 제1 구동 플레이트라 한다)(62)에 승강 가능하도록 관통되고, 이 상태로 적어도 하나의 구동 플레이트(이하, 제2 구동 플레이트라 한다)(72)에 의하여 동시에 승강된다.
이에 따르면, 제2 구동 플레이트(72)는 제1 구동 플레이트(62)의 하측에 배치된다. 제2 구동 플레이트(72) 역시 제1 구동 플레이트(62)와 마찬가지로 볼 스크루 방식의 직선 이동기구를 비롯하여 직선의 구동력을 발생시키는 구동기구들을 이용하여 구동시킬 수 있다. 물론, 실시 조건에 따라서는 기체 공급관(71)의 승강 동작이 제2 구동 플레이트(72) 없이 개별적으로 이루어지게 해당 구동기구와 직결시킬 수도 있다.
참고로, 도 8은, 기체 공급관(71)은 고정시킨 상태에서 석션 파이프(61)만을 승강시킨 상태를 나타낸다. 또, 도 9는 이와 반대로, 석션 파이프(61)는 고정시킨 상태에서 기체 공급관(71)만을 승강시킨 상태를 나타낸다.
이와 같은 제2실시예에 따르면, 기판을 들어 올리거나 내리는 동작, 기판의 척킹 및 디척킹 동작을 작업 여건, 주변의 다른 장치와의 간섭 여부 등에 보다 유연하게 대처하면서 구현할 수 있다.
이상, 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 이 명세서에 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다.
예를 들면, 위에서는 석션 파이프(61), 또는 석션 파이프(61)와 기체 공급관(71)이 승강 가능한 것으로 설명하였으나, 석션 파이프(61)는 승강이 불가하고, 기체 공급관(71)만이 승강 가능하게 할 수도 있다.
10 : 기판 척킹 플레이트 11 : 관통구멍
15 : 점착 척 20 : 척킹/디척킹 스테이지
25 : 플로팅 유닛 30 : 클램핑 기구
40 : 척킹 플레이트 얼라인 기구 50 : 기판 얼라인 기구
60 : 석션 기구 61 : 석션 파이프
612 : 흡입구 614 : 윤활성 부재
70 : 디척킹 기구 71 : 기체 공급관
712 : 배출구 72 : 벌룬
S : 기판

Claims (8)

  1. 복수의 관통구멍을 가지며, 위에 로딩되는 기판을 점착력으로 척킹하는 기판 척킹 플레이트와;
    위에 상기 기판 척킹 플레이트가 로딩되는 척킹/디척킹 스테이지와;
    상기 척킹/디척킹 스테이지에 승강 가능하게 설치되고, 상승 시 상기 복수의 관통구멍을 각각 통과할 수 있도록 배치되며, 끝에 흡입구가 마련되어 기판을 상기 기판 척킹 플레이트에 흡입력으로 밀착시키는 복수의 석션 기구와;
    상기 흡입구의 내부에 각각 이 흡입구를 폐쇄함이 없도록 마련되고, 기체 공급원으로부터 제공되는 기체에 의하여 팽창하여 상기 흡입구의 외부로 돌출되는 벌룬을 가지는 디척킹 기구를 포함하는 기판 척킹/디척킹 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 석션 기구는 파이프의 구조를 가지도록 구성되고,
    상기 디척킹 기구는 상기 석션 기구의 중앙부에 배치된 기판 척킹/디척킹 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 디척킹 기구는 상기 기체 공급원으로부터의 기체를 공급하는 기체 공급관을 포함하고,
    상기 벌룬은 상기 기체 공급관의 배출구에 기체압에 의하여 팽창 가능하도록 장착된 기판 척킹/디척킹 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 벌룬은 상기 기체 공급관의 배출구를 막는 막의 구조를 가지는 기판 척킹/디척킹 장치.
  5. 청구항 2에 있어서,
    상기 디척킹 기구는 상기 석션 기구의 내부에 승강 가능하게 장착된 기판 척킹/디척킹 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 석션 기구는 상기 흡입구가 마련된 끝 부분이 윤활성 부재로 피복된 기판 척킹/디척킹 장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 척킹/디척킹 스테이지에 상기 로딩된 기판 척킹 플레이트를 고정시키는 클램핑 기구를 더 포함하는 기판 척킹/디척킹 장치.
  8. 복수의 관통구멍을 가지며, 위에 로딩되는 기판을 점착력으로 척킹하는 기판 척킹 플레이트와;
    위에 상기 기판 척킹 플레이트가 로딩되는 척킹/디척킹 스테이지와;
    상기 척킹/디척킹 스테이지에 설치되고, 끝에 흡입구가 마련되며, 이 흡입구가 상기 복수의 관통구멍과 각각 대향하도록 배치되어 기판을 상기 기판 척킹 플레이트에 흡입력으로 밀착시키는 복수의 석션 파이프와;
    상기 석션 파이프의 내부 중앙부에 각각 승강 가능하게 설치되어 상승 시 상기 석션 파이프의 외부로 돌출되고, 끝에 기체 공급원으로부터 제공되는 기체에 의하여 팽창되는 벌룬을 가지는 디척킹 기구를 포함하는 기판 척킹/디척킹 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH11277422A (ja) 1998-03-25 1999-10-12 Fujikoshi Mach Corp ウェーハの接着装置
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11277422A (ja) 1998-03-25 1999-10-12 Fujikoshi Mach Corp ウェーハの接着装置
KR100586928B1 (ko) 2005-03-16 2006-06-08 테크리카오엘이디 주식회사 진공시스템에서의 기판홀딩장치와 이를 이용한 기판 척킹및 디척킹장치

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