KR101197045B1 - 표시 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents
표시 장치 및 그 제조 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR101197045B1 KR101197045B1 KR1020050011466A KR20050011466A KR101197045B1 KR 101197045 B1 KR101197045 B1 KR 101197045B1 KR 1020050011466 A KR1020050011466 A KR 1020050011466A KR 20050011466 A KR20050011466 A KR 20050011466A KR 101197045 B1 KR101197045 B1 KR 101197045B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- lens
- electrode
- light emitting
- transparent electrode
- display device
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 28
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 claims abstract description 15
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 27
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 17
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 14
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 12
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 abstract description 20
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 4
- 230000007480 spreading Effects 0.000 abstract description 3
- 238000003892 spreading Methods 0.000 abstract description 3
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 19
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 16
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 6
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 3
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 3
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 3
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/875—Arrangements for extracting light from the devices
- H10K59/879—Arrangements for extracting light from the devices comprising refractive means, e.g. lenses
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/85—Arrangements for extracting light from the devices
- H10K50/852—Arrangements for extracting light from the devices comprising a resonant cavity structure, e.g. Bragg reflector pair
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/12—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
- H05B33/22—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the chemical or physical composition or the arrangement of auxiliary dielectric or reflective layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/85—Arrangements for extracting light from the devices
- H10K50/858—Arrangements for extracting light from the devices comprising refractive means, e.g. lenses
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/875—Arrangements for extracting light from the devices
- H10K59/876—Arrangements for extracting light from the devices comprising a resonant cavity structure, e.g. Bragg reflector pair
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
본 발명은 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 이 표시 장치는, 투명 기판, 상기 투명 기판상에 형성되는 투명전극, 상기 투명전극상에 형성되는 발광층, 상기 발광층상에 형성되는 전극, 상기 투명기판의 일측면과 상기 투명전극 사이에 복수개의 유기 또는 무기물질로 형성된 반사판과 상기 투명기판의 타측면상에 형성된 렌즈를 포함하는 표시장치를 포함한다. 본 발명에 의하면, 외부 광추출 효율은 향상되고, 발광 빛의 직진성을 방해하여 빛을 퍼트려서 시야각에 따른 색좌표와 추출 광 세기의 변화를 줄일 수 있다.
표시 장치, 유기 발광 소자, 브라그 반사판 ,렌즈
Description
도 1은 일반적인 광추출 효율에 대한 도면이다
도 2은 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.
도 3는 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광층에 대한 단면도도이다.
도 4은 본 발명의 한 실시예에 따른 반사판과 렌즈를 가진 유기 발광 표시 장치를 도시한 단면도이다.
도 5은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반사판과 렌즈를 가진 유기 발광 표시 장치를 도시한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 개선된 광추출 효율에 대한 도면이다.
본 발명은 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
최근 퍼스널 컴퓨터나 텔레비전 등의 경량화 및 박형화에 따라 표시 장치도 경량화 및 박형화가 요구되고 있으며, 이러한 요구에 따라 음극선관(cathode ray tube, CRT)이 평판 표시 장치로 대체되고 있다.
이러한 평판 표시 장치에는 액정 표시 장치(liquid crystal display, LCD), 전계 방출 표시 장치(field emission display, FED), 유기 발광 표시 장치(organic light emitting display), 플라스마 표시 장치(plasma display panel, PDP) 등이 있다.
일반적으로 액티브 매트릭스형 평판 표시 장치에서는 복수의 화소가 매트릭스 형태로 배열되며, 주어진 휘도 정보에 따라 각 화소의 광 강도를 제어함으로써 화상을 표시한다. 이 중 유기 발광 표시 장치는 형광성 유기 물질을 전기적으로 여기 발광시켜 화상을 표시하는 표시 장치로서, 자기 발광형이고 소비 전력이 작으며, 시야각이 넓고 화소의 응답 속도가 빠르므로 고화질의 동영상을 표시하기 용이하다.
유기 발광 표시 장치는 유기 발광 소자(organic light emitting diode, OLED)와 이를 구동하는 박막 트랜지스터(thin film transistor, TFT)를 구비한다. 이 박막 트랜지스터는 활성층(active layer)의 종류에 따라 다결정 규소(poly silicon) 박막 트랜지스터와 비정질 규소(amorphous silicon) 박막 트랜지스터 등으로 구분된다. 다결정 규소 박막 트랜지스터를 채용한 유기 발광 표시 장치는 여러 가지 장점이 있어서 일반적으로 널리 사용되고 있으나 다결정 규소 박막 트랜지스터의 제조 공정이 복잡하고 이에 따라 비용도 증가한다. 또한 이러한 유기 발광 표시 장치는 대화면을 얻기가 어렵다.
한편, 도1을 참고하여, 유기 발광소자의 이론적인 광추출 효율을 설명한다. 유기 발광 소자에서 발광된 빛은 양극인 ITO(Indium Tin Oxide)막과 유기기판과의 경계면(oraganic/ITO mode)과 음극인 금속막 사이에서 도판로를 형성하여 발광된 빛의 약 50%가 외부로 추출되지 못하게 된다. 또한 유리기판과 공기의 경계면(substrate mode)에서 전반사되는 빛이 존재하여 소실되어 약 30%가 외부로 추출되지 못한다. 그러므로, 이론상 발광된 빛의 외부 광추출 효율은 약 20%이다.
추가로, 대비비를 향상시키기 위해, 반사방지 필름 등을 사용하는 경우, 실제 외부 광추출 효율은 약 10%이하로 감소한다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 유기 발광 소자의 광 추출효율을 개선하여, 대비비를 향상시킬 수 있는 표시 장치를 제공하는 것이다.
이러한 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치는,
투명 기판, 상기 투명 기판상에 형성되는 투명전극, 상기 투명전극상에 형성되는 발광층, 상기 발광층상에 형성되는 전극, 상기 투명기판의 일측면과 상기 투명전극 사이에 복수개의 유기 또는 무기물질로 형성된 반사판과 상기 투명기판의 타측면상에 형성된 렌즈를 포함한다.
상기 반사판은 복수개의 유기 물질만 형성된 것, 복수개의 무기물질로만 형성된 것,또는 무기와 유기의 혼합층으로 형성된 것을 포함한다.
상기 무기물질은 실리콘 질화막 또는 실리콘 산화막으로 형성된 것을 포함한다.
상기 렌즈는 화소크기보다 작은 것으로 형성된 것을 포함한다.
상기 렌즈는 직경이 5마이크로 미터 이하로 형성된 것을 포함한다.
상기 렌즈는 오목렌즈 또는 볼록렌즈인 것을 포함한다.
상기 반사판과 상기 투명전극사이에 형성된 박막 트랜지스터를 더 가질수 있다. 상기 반사판과 상기 투명기판사이에 형성된 박막 트랜지스터를 더 가질수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치는 투명 기판, 상기 투명 기판상에 형성되는 투명전극; 상기 투명전극상에 형성되는 발광층, 상기 발광층상에 형성되는 전극; 상기 투명기판상에 복수개의 유기 또는 무기물질로 형성된 반사판과
상기 반사판상에 형성된 렌즈를 포함한다.
상기 반사판은 복수개의 유기 물질만 형성된 것, 복수개의 무기물질로만 형성된 것,또는 무기와 유기의 혼합층으로 형성된 것을 포함한다.
상기 무기물질은 실리콘 질화막 또는 실리콘 산화막으로 형성된 것을 포함한다.
상기 렌즈는 화소크기보다 작은 것으로 형성된 것을 포함한다.
상기 렌즈는 직경이 5마이크로 미터 이하로 형성된 것을 포함한다.
상기 렌즈는 오목렌즈 또는 볼록렌즈인 것을 포함한다.
상기 반사판과 상기 투명전극사이에 형성된 박막 트랜지스터를 더 가질수 있다.
상기 투명기판과 상기 투명전극사이에 형성된 박막 트랜지스터를 더 가질 수 있다.
첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.
이제 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.
먼저, 도 1 내지 도 2를 참고하여, 이러한 유기 발광 표시 장치의 구동 트랜지스터(Qd)와 유기 발광 소자(OLED)의 구조에 대하여 설명한다. 도 1은 일반적인 유기 발광 표시 장치의 단면도이고, 도 2는 유기 발광층에 대한 단면도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 절연 기판(110) 위에 제어 단자 전극(control electrode)(124)이 형성되어 있다. 제어 단자 전극(124)은 기판(110) 면에 대하여 경사져 있으며 그 경사각은 20-80 도이다.제어 단자 전극(124) 위에는 질화규소(SiNx) 따위로 이루어진 절연막(insulating layer)(140)이 형성되어 있다. 절연막(140) 상부에는 수소화 비정질 규소(hydrogenated amorphous silicon)(비정질 규소는 약칭 a-Si로 씀) 또는 다결정 규소(polycrystalline silicon) 등으로 이루어진 반도체(154)가 형성되어 있다. 반도체(154)의 상부에는 실리사이드(silicide) 또는 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 따위의 물질로 만들어진 저항성 접촉 부재(ohmic contact)(163, 165)가 형성되어 있다. 반도체(154)와 저항성 접촉 부재(163, 165)의 측면은 경사져 있으며 경사각은 30-80 도이다.저항성 접촉 부재(163, 165) 및 절연막(140) 위에는 출력 단자 전극(output electrode)(173)과 입력 단자 전극(input electrode)(175)이 형성되어 있다. 출력 단자 전극(173)과 입력 단자 전극(175)은 서로 분리되어 있으며 제어 단자 전극(124)을 기준으로 양쪽에 위치한다. 제어 단자 전극(124), 출력 단자 전극(173) 및 입력 단자 전극(175)은 반도체(154)와 함께 구동 트랜지스터를 이루며, 구동 트랜지스터의 채널(channel)은 출력 단자 전극(173)과 입력 단자 전극(175) 사이의 반도체(154)에 형성된다.출력 단자 전극(173) 및 입력 단자 전극(175)도 반도체(154) 등과 마찬가지로 그 측면이 약 30-80 도의 각도로 각각 경사져 있다.
출력 단자 전극(173) 및 입력 단자 전극(175)과 노출된 반도체(154) 부분의 위에는 유기 물질, 플라스마 화학 기상 증착(plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD)으로 형성되는 a-Si:C:O, a-Si:O:F 등의 저유전율 절연 물질 또는 질화규소(SiNx) 등으로 이루어진 보호막(passivation layer)(802)이 형성되어 있다. 보호막(802)을 이루는 물질은 평탄화 특성 또는 감광성(photosensitivity)을 가질 수 있다.
보호막(802)에는 출력 단자 전극(173)을 드러내는 접촉 구멍(contact hole)(183)이 형성되어 있다. 보호막(802) 위에는 접촉 구멍(183)을 통하여 출력 단자 전극(173)과 물리적, 전기적으로 연결되어 있는 화소 전극(190)이 형성되어 있다. 화소 전극(190)은 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide) 등의 투명한 도전 물질이나 알루미늄 또는 은 합금의 반사성이 우수한 물질로 형성할 수 있다. 격벽(803)에 둘러싸인 화소 전극(190) 위의 영역에는 유기 발광층(70)이 형성되어 있다.
유기 발광층(70)은, 도 2에 도시한 바와 같이, 발광층(emitting layer, EML) 외에 전자와 정공의 균형을 좋게 하여 발광 효율을 향상시키기 위해 전자 수송층(electron transport layer, ETL) 및 정공 수송층(hole transport layer, HTL)을 포함한 다층 구조로 이루어지고, 또한 별도의 전자 주입층(electron injecting layer, EIL)과 정공 주입층(hole injecting layer, HIL)을 포함할 수 있다. 격벽(803) 위에는 격벽(803)과 동일한 모양의 패턴으로 이루어져 있으며, 금속과 같이 낮은 비저항을 가지는 도전 물질로 이루어진 보조 전극(272)이 형성되어 있다. 보조 전극(272)은 이후에 형성되는 공통 전극(270)과 접촉하며, 공통 전극(270)에 전달되는 신호가 왜곡되는 것을 방지하는 기능을 한다. 불투명한 화소 전극(190)과 투명한 공통 전극(270)은 표시판(300)의 상부 방향으로 화상을 표시하는 전면 발광(top emission) 방식의 유기 발광 표시 장치에 적용하며, 투명한 화소 전극(190)과 불투명한 공통 전극(270)은 표시판(300)의 아래 방향으로 화상을 표시하는 배면 발광(bottom emission) 방식의 유기 발광 표시 장치에 적용한다. 화소 전극(190), 유기 발광층(70) 및 공통 전극(270)은 도 2에 도시한 유기 발광 소자(OLED)를 이루며, 화소 전극(190)은 애노드, 공통 전극(270)은 캐소드 또는 화소 전극(190)은 캐소드, 공통 전극(270)은 애노드가 된다. 유기 발광 소자(OLED)는 발광층(EML)을 형성하는 유기 물질에 따라 삼원색, 예를 들면 적색, 녹색, 청색 중 하나를 고유하게 표시하여 이들 삼원색의 공간적 합으로 원하는 색상을 표시한다.
격벽(803), 유기 발광층(70) 및 보조 전극(272) 위에는 공통 전압(V com )이 인가되는 공통 전극(270)이 형성되어 있다. 공통 전극(270)은 ITO 또는 IZO 등의 투명한 도전 물질로 이루어져 있다. 만약 화소 전극(190)이 투명한 경우에는 공통 전극(270)은 칼슘(Ca), 바륨(Ba), 알루미늄(Al) 등을 포함하는 금속으로 이루어질 수 있다.보호막(802) 상부에는 유기 절연 물질 또는 무기 절연 물질로 이루어져 있으며, 유기 발광 셀을 분리시키기 위한 격벽(803)이 형성되어 있다. 격벽(803)은 화소 전극(190) 가장자리 주변을 둘러싸서 유기 발광층(70)이 채워질 영역을 한정하고 있다.
도 4을 참고하여, 본 발명의 한 실시예에 따른 브라그 반사판을 이용하여, 외부 광추출 효율을 향상하는 구조에 대한 도면이다.
도 4에 도시한 바와 같이, 절연기판(110)상에는 반사판(120)을 형성하였다.
본 실시예에서는 브라그 반사판을 사용하였고, 브라그 반사판은 굴절율이 서로 다른 복수개의 물질을 단위 구조가 2주기이상 적층하여 형성한다. 본 발명에서는 실리콘 질화막과 실리콘 산화막을 이용하여 브라그 반사판을 형성하였다. 실리콘 질화막과 실리콘 산화막의 두께는 각각 70nm와 90nm로 형성하였다. 주기는 모두 4주기로 증착하였으며, 굴절율은 523nm에서 각각 1.75와 1.47이다.
이러한 브라그 반사판에 빛이 입사하게 되면, 빛은 적층된 박막의 각 경계면에서 반사되거나 굴절하며 투과된다. 빛의 입사각을 A라 하고 하면, 각 경계면에서 반사되는 빛들의 보강 간섭은 브라그 조건으로 알려진 조건에서 일어 난다. 이러한 브래그 조건을 만족하는 파장의 빛은 모두 반사되어 투과가 금지되는 소위 광 밴드 갭을 형성하게 된다.
이 때, 브라그 반사판이 반투과 거울의 기능을 하고, 음극인 금속박막을 증착하여, 전반사 거울의 기능을 하게 되어, 외부 광 추출 효율을 향상하게 한다.
상기 반사판은 박막트랜지스터의 상부와 투명전극사이에 형성하는 것도 가능하다.
또한, 상기 반사판(120)이 형성된 절연기판(110)의 반대면에 렌즈(130)를 형성한다. 반사판에서 나온 빛의 직진성을 완화시켜 램버시안 분포에 가까운 빛의 세기 분포를 이룰수 있다.
이러한 분포를 위해서, 불규칙하게 배열되어 있는 직경이 5um인 마이크로렌즈 필름을 이용하였다. 이 때 마이크로 렌즈에 의하여 발광된 빛은 유리와 공기와의 경계면에서 전반사되어 소멸되는 것을 줄일 수 있어서 외부 광추출 효율은 향상되고, 불규칙하게 되어서 확산 필름의 기능도 하여, 발광 빛의 직진성을 방해하여 빛을 퍼트려서 시야각에 따른 색좌표와 추출 광 세기의 변화를 줄일 수 있다.
상기 반사판(120) 위에 제어 단자 전극(control electrode)(124)이 형성되어 있다. 제어 단자 전극(124) 위에는 질화규소(SiNx) 따위로 이루어진 절연막(insulating layer)(140)이 형성되어 있다. 절연막(140) 상부에는 수소화 비정질 규소(hydrogenated amorphous silicon)(비정질 규소는 약칭 a-Si로 씀) 으로 이루어진 반도체(154)가 형성되어 있다. 반도체(154)의 상부에는 실리사이드(silicide) 또는 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 따위의 물질로 만들어진 저항성 접촉 부재(ohmic contact)(163, 165)가 형성되어 있다.저항성 접촉 부재(163, 165) 및 절연막(140) 위에는 출력 단자 전극(output electrode)(173)과 입력 단자 전극(input electrode)(175)이 형성되어 있다. 출력 단자 전극(173)과 입력 단자 전극(175)은 서로 분리되어 있으며 제어 단자 전극(124)을 기준으로 양쪽에 위치한다. 제어 단자 전극(124), 출력 단자 전극(173) 및 입력 단자 전극(175)은 반도체(154)와 함께 구동 트랜지스터를 이루며, 구동 트랜지스터의 채널(channel)은 출력 단자 전극(173)과 입력 단자 전극(175) 사이의 반도체(154)에 형성된다.
출력 단자 전극(173) 및 입력 단자 전극(175)과 노출된 반도체(154) 부분의 위에는 유기 물질, 플라스마 화학 기상 증착(plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD)으로 형성되는 a-Si:C:O, a-Si:O:F 등의 저유전율 절연 물질 또는 질화규소(SiNx) 등으로 이루어진 보호막(passivation layer)(802)이 형성되어 있다. 보호막(802)을 이루는 물질은 평탄화 특성 또는 감광성(photosensitivity)을 가질 수 있다.
보호막(802)에는 출력 단자 전극(173)을 드러내는 접촉 구멍(contact hole)(183)이 형성되어 있다. 보호막(802) 위에는 접촉 구멍(183)을 통하여 출력 단자 전극(173)과 물리적, 전기적으로 연결되어 있는 화소 전극(190)이 형성되어 있다. 화소 전극(190)은 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide) 등의 투명한 도전 물질이나 알루미늄 또는 은 합금의 반사성이 우수한 물질로 형성할 수 있다. 격벽(803)에 둘러싸인 화소 전극(190) 위의 영역에는 유기 발광층(70)이 형성되어 있다.
도 5을 참고하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 브라그 반사판을 이용하여, 외부 광추출 효율을 향상하는 구조에 대한 도면이다.
도 5에 도시한 바와 같이, 절연기판(110)외부에 반사판(120)을 형성하였다.
본 실시예에서는 브라그 반사판을 사용하였고, 브라그 반사판은 굴절율이 서로 다른 복수개의 물질을 단위 구조가 2주기이상 적층하여 형성한다. 본 발명에서는 실리콘 질화막과 실리콘 산화막을 이용하여 브라그 반사판을 형성하였다. 실리콘 질화막과 실리콘 산화막의 두께는 각각 70nm와 90nm로 형성하였다. 주기는 모두 4주기로 증착하였으며, 굴절율은 523nm에서 각각 1.75와 1.47이다.
이러한 브라그 반사판에 빛이 입사하게 되면, 빛은 적층된 박막의 각 경계면에서 반사되거나 굴절하며 투과된다. 빛의 입사각을 A라 하고 하면, 각 경계면에서 반사되는 빛들의 보강 간섭은 브라그 조건으로 알려진 조건에서 일어 난다. 이러한 브래그 조건을 만족하는 파장의 빛은 모두 반사되어 투과가 금지되는 소위 광 밴드 갭을 형성하게 된다.
이 때, 브라그 반사판이 반투과 거울의 기능을 하고, 음극인 금속박막을 증착하여, 전반사 거울의 기능을 하게 되어, 외부 광 추출 효율을 향상하게 한다.
또한, 상기 반사판(120)의 상부에 렌즈(130)를 형성한다. 반사판에서 나온 빛의 직진성을 완화시켜 램버시안 분포에 가까운 빛의 세기 분포를 이룰수 있다.
이러한 분포를 위해서, 불규칙하게 배열되어 있는 직경이 5um인 마이크로렌즈 필름을 이용하였다. 이 때 마이크로 렌즈에 의하여 발광된 빛은 유리와 공기와의 경계면에서 전반사되어 소멸되는 것을 줄일 수 있어서 외부 광추출 효율은 향상되고, 불규칙하게 되어서 확산 필름의 기능도 하여, 발광 빛의 직진성을 방해하여 빛을 퍼트려서 시야각에 따른 색좌표와 추출 광 세기의 변화를 줄일 수 있다.
상기 반사판(120)이 형성된 절연기판의 반대면에 단자 전극(control electrode)(124)이 형성되어 있다. 제어 단자 전극(124) 위에는 질화규소(SiNx) 따위로 이루어진 절연막(insulating layer)(140)이 형성되어 있다. 절연막(140) 상부에는 수소화 비정질 규소(hydrogenated amorphous silicon)(비정질 규소는 약칭 a-Si로 씀) 으로 이루어진 반도체(154)가 형성되어 있다. 반도체(154)의 상부에는 실리사이드(silicide) 또는 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 따위의 물질로 만들어진 저항성 접촉 부재(ohmic contact)(163, 165)가 형성되어 있다.저항성 접촉 부재(163, 165) 및 절연막(140) 위에는 출력 단자 전극(output electrode)(173)과 입력 단자 전극(input electrode)(175)이 형성되어 있다. 출력 단자 전극(173)과 입력 단자 전극(175)은 서로 분리되어 있으며 제어 단자 전극(124)을 기준으로 양쪽에 위치한다. 제어 단자 전극(124), 출력 단자 전극(173) 및 입력 단자 전극(175)은 반도체(154)와 함께 구동 트랜지스터를 이루며, 구동 트랜지스터의 채널(channel)은 출력 단자 전극(173)과 입력 단자 전극(175) 사이의 반도체(154)에 형성된다.
출력 단자 전극(173) 및 입력 단자 전극(175)과 노출된 반도체(154) 부분의 위에는 유기 물질, 플라스마 화학 기상 증착(plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD)으로 형성되는 a-Si:C:O, a-Si:O:F 등의 저유전율 절연 물질 또는 질화규소(SiNx) 등으로 이루어진 보호막(passivation layer)(802)이 형성되어 있다. 보호막(802)을 이루는 물질은 평탄화 특성 또는 감광성(photosensitivity)을 가질 수 있다.
보호막(802)에는 출력 단자 전극(173)을 드러내는 접촉 구멍(contact hole)(183)이 형성되어 있다. 보호막(802) 위에는 접촉 구멍(183)을 통하여 출력 단자 전극(173)과 물리적, 전기적으로 연결되어 있는 화소 전극(190)이 형성되어 있다. 화소 전극(190)은 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide) 등의 투명한 도전 물질이나 알루미늄 또는 은 합금의 반사성이 우수한 물질로 형성할 수 있다. 격벽(803)에 둘러싸인 화소 전극(190) 위의 영역에는 유기 발광층(70)이 형성되어 있다
도 6는 브라그 반사판 구조과 렌즈를 동시에 적용한 경우, 개선된 외부 광추출세기에 대한 도면이다.
브라그 반사판과 렌즈를 동시에 사용한 구조는 반사판만을 사용한 구조에 대비하여, 시야각에 따른 광 추출 세기가 일정하게 개선된 것을 알수 있다.
또한, 아래 표를 참고하면, 휘도와 효율 측면에 있어서, 반사판과 렌즈를 가지지 않은 기존 구조와 반사판만을 가진 구조에 대비하여 크게 개선된 결과를 볼수 있다.
이와 같이, 본 발명에 의하면, 마이크로 렌즈에 의하여 발광된 빛은 유리와 공기와의 경계면에서 전반사되어 소멸되는 것을 줄일 수 있어서 외부 광추출 효율은 향상되고, 불규칙하게 되어서 확산 필름의 기능도 하여, 발광 빛의 직진성을 방해하여 빛을 퍼트려서 시야각에 따른 색좌표와 추출 광 세기의 변화를 줄일 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
Claims (19)
- 절연 기판,상기 절연 기판의 제1면 상에 위치하는 투명전극,상기 투명전극 상에 위치하는 발광층,상기 발광층 상에 위치하는 전극,상기 절연 기판의 상기 제1면과 상기 투명전극 사이에 위치하며 굴절률이 서로 다른 복수의 층을 포함하는 반사판,상기 절연 기판의 상기 제1면의 반대면인 제2면 상에 위치하는 렌즈, 그리고상기 반사판과 상기 투명 전극 사이에 위치하고 상기 투명 전극과 연결되어 있는 박막 트랜지스터를 포함하는 표시장치.
- 제 1항에 있어서,상기 반사판은 유기 물질로 이루어진 층을 포함하는 표시장치.
- 제 1항에 있어서,상기 반사판은 무기물질로 이루어진 층을 포함하는 표시장치.
- 제 1항에 있어서,상기 반사판은 무기물질로 이루어진 층과 유기물질로 이루어진 층을 포함하는 표시장치.
- 제 3항에 있어서,상기 무기물질은 실리콘 질화막 또는 실리콘 산화막인 것을 특징으로 하는 표시장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 렌즈는 화소크기보다 작은 것을 특징으로 하는 표시장치.
- 제 6항에 있어서, 상기 렌즈는 직경이 5마이크로 미터 이하인 것을 특징으로 하는 표시장치.
- 제 1항에 있어서,상기 렌즈는 오목렌즈 또는 볼록렌즈 인 것을 특징으로 하는 표시장치.
- 삭제
- 삭제
- 절연 기판,상기 절연 기판의 제1면 상에 위치하는 투명전극,상기 투명전극 상에 위치하는 발광층,상기 발광층 상에 위치하는 전극,상기 절연 기판의 상기 제1면의 반대면인 제2면 상에 위치하며 굴절률이 서로 다른 복수의 층을 포함하는 반사판,상기 반사판 상에 위치하는 렌즈, 그리고상기 반사판과 상기 투명 전극 사이에 위치하고 상기 투명 전극과 연결되어 있는 박막 트랜지스터를 포함하는 표시장치.
- 제 11항에 있어서,상기 반사판은 유기 물질로 이루어진 층을 포함하는 표시장치.
- 제 11항에 있어서,상기 반사판은 무기물질로 이루어진 층을 포함하는 표시장치.
- 제 11항에 있어서,상기 반사판은 무기물질로 이루어진 층과 유기물질로 이루어진 층을 포함하는 표시 장치.
- 제 13항에 있어서,상기 무기물질은 실리콘 질화막 또는 실리콘 산화막인 것을 특징으로 하는 표시장치.
- 제 11항에 있어서,상기 렌즈는 화소크기보다 작은 것을 특징으로 하는 표시장치.
- 제 16항에 있어서,상기 렌즈는 직경이 5마이크로 미터 이하인 것을 특징으로 하는 표시장치.
- 제 11항에 있어서,상기 렌즈는 오목렌즈 또는 볼록렌즈 인 것을 특징으로 하는 표시장치.
- 삭제
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050011466A KR101197045B1 (ko) | 2005-02-07 | 2005-02-07 | 표시 장치 및 그 제조 방법 |
US11/349,303 US7692379B2 (en) | 2005-02-07 | 2006-02-07 | Display device with reflective structure for improved light emission |
TW095104037A TW200638794A (en) | 2005-02-07 | 2006-02-07 | Display device |
CNA2006100073065A CN1828971A (zh) | 2005-02-07 | 2006-02-07 | 显示装置 |
JP2006029941A JP2006221178A (ja) | 2005-02-07 | 2006-02-07 | 表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050011466A KR101197045B1 (ko) | 2005-02-07 | 2005-02-07 | 표시 장치 및 그 제조 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060090522A KR20060090522A (ko) | 2006-08-11 |
KR101197045B1 true KR101197045B1 (ko) | 2012-11-06 |
Family
ID=36779264
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020050011466A KR101197045B1 (ko) | 2005-02-07 | 2005-02-07 | 표시 장치 및 그 제조 방법 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7692379B2 (ko) |
JP (1) | JP2006221178A (ko) |
KR (1) | KR101197045B1 (ko) |
CN (1) | CN1828971A (ko) |
TW (1) | TW200638794A (ko) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101065404B1 (ko) * | 2009-12-10 | 2011-09-16 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기 발광 표시 장치 |
TW201250999A (en) * | 2011-06-13 | 2012-12-16 | Wintek Corp | Organic electroluminescent display device |
KR101758763B1 (ko) | 2011-07-25 | 2017-07-18 | 한국전자통신연구원 | 발광 소자 및 이를 제조하는 방법 |
KR101901832B1 (ko) | 2011-12-14 | 2018-09-28 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 |
KR102524529B1 (ko) * | 2015-04-01 | 2023-04-24 | 삼성디스플레이 주식회사 | 발열 패키지 테스트 장치 및 그 작동 방법 |
CN105185811B (zh) * | 2015-08-24 | 2018-06-26 | 昆山国显光电有限公司 | 一种具有增强可视角的显示装置及其制备方法 |
KR102354235B1 (ko) * | 2015-10-27 | 2022-01-21 | 동우 화인켐 주식회사 | 유기발광소자 |
KR102448325B1 (ko) | 2017-11-16 | 2022-09-30 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시패널 및 이를 포함하는 전자장치 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000277266A (ja) * | 1999-03-19 | 2000-10-06 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 有機電界発光素子 |
JP2000284726A (ja) * | 1999-03-31 | 2000-10-13 | Seiko Epson Corp | 表示装置 |
JP2002184567A (ja) * | 2000-12-15 | 2002-06-28 | Canon Inc | 有機発光素子及びその製造方法 |
JP2004152751A (ja) | 2002-10-08 | 2004-05-27 | Pioneer Electronic Corp | 有機エレクトロルミネッセンスデバイス |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5652067A (en) * | 1992-09-10 | 1997-07-29 | Toppan Printing Co., Ltd. | Organic electroluminescent device |
US5814416A (en) | 1996-04-10 | 1998-09-29 | Lucent Technologies, Inc. | Wavelength compensation for resonant cavity electroluminescent devices |
JPH10223367A (ja) | 1997-02-04 | 1998-08-21 | Mitsubishi Chem Corp | 有機電界発光素子 |
KR100306237B1 (ko) | 1998-03-27 | 2001-11-15 | 김상국 | 색조절가능한유기발광소자 |
JP2000208257A (ja) * | 1999-01-12 | 2000-07-28 | Sony Corp | 発光素子及び画像表示装置 |
GB2356713A (en) * | 1999-11-26 | 2001-05-30 | Seiko Epson Corp | Distributed Bragg reflector |
JP4614400B2 (ja) | 2000-01-17 | 2011-01-19 | 日東電工株式会社 | 有機el発光装置、偏光面光源装置及び液晶表示装置 |
JP2001235744A (ja) * | 2000-02-21 | 2001-08-31 | Seiko Epson Corp | 反射型液晶装置および電子機器 |
JP2002110362A (ja) | 2000-09-27 | 2002-04-12 | Seiko Epson Corp | 面発光装置 |
WO2002037580A1 (en) | 2000-11-02 | 2002-05-10 | 3M Innovative Properties Company | Brightness enhancement of emissive displays |
JP4243037B2 (ja) * | 2001-03-30 | 2009-03-25 | 三洋電機株式会社 | 有機電界発光型ディスプレイ |
US6984934B2 (en) * | 2001-07-10 | 2006-01-10 | The Trustees Of Princeton University | Micro-lens arrays for display intensity enhancement |
JP4302914B2 (ja) | 2001-07-30 | 2009-07-29 | 三星モバイルディスプレイ株式會社 | 発光素子、および表示装置 |
KR100781594B1 (ko) | 2001-12-28 | 2007-12-03 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 능동행렬 유기전기발광소자 및 그의 제조 방법 |
US6652996B2 (en) * | 2002-01-31 | 2003-11-25 | Eastman Kodak Company | Radiographic phosphor panel having improved speed and sharpness |
JP2003291406A (ja) | 2002-04-02 | 2003-10-14 | Seiko Epson Corp | 有機elアレイ露光ヘッド及びそれを用いた画像形成装置 |
US7511419B2 (en) * | 2002-05-14 | 2009-03-31 | Casio Computer Co., Ltd. | Luminescent panel having a reflecting film to reflect light outwardly which is shaped to condense the reflected light |
US6900941B2 (en) * | 2002-05-16 | 2005-05-31 | Eastman Kodak Company | Light diffuser with colored variable diffusion |
DE10392605T5 (de) * | 2002-05-22 | 2005-06-30 | Fuji Electric Holdings Co., Ltd., Kawasaki | Organische EL-lichtemittierende Vorrichtung |
JP2003337205A (ja) | 2002-05-22 | 2003-11-28 | Nitto Denko Corp | 反射防止樹脂シート、画像表示装置用基板、画像表示装置 |
JP2004004176A (ja) | 2002-05-30 | 2004-01-08 | Nitto Denko Corp | 反射防止樹脂シート、画像表示装置用基板、画像表示装置 |
CN1484349A (zh) | 2002-09-16 | 2004-03-24 | 铼德科技股份有限公司 | 发光元件的微共振腔的多层反射膜及其制程 |
JP2004127662A (ja) | 2002-10-01 | 2004-04-22 | Sony Corp | 表示装置 |
US6946790B2 (en) * | 2002-10-08 | 2005-09-20 | Pioneer Corporation | Organic electroluminescence device |
US6861800B2 (en) | 2003-02-18 | 2005-03-01 | Eastman Kodak Company | Tuned microcavity color OLED display |
JP2004227929A (ja) | 2003-01-23 | 2004-08-12 | Konica Minolta Holdings Inc | 照明装置および液晶表示装置 |
JP2004241130A (ja) | 2003-02-03 | 2004-08-26 | Seiko Epson Corp | 発光ディスプレイパネルおよびその製造方法 |
JP4495978B2 (ja) * | 2003-03-07 | 2010-07-07 | 日東電工株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子とこの素子を用いた面光源および表示装置 |
JP4439260B2 (ja) * | 2003-12-26 | 2010-03-24 | 三洋電機株式会社 | 表示装置の製造方法 |
JP2005310539A (ja) * | 2004-04-21 | 2005-11-04 | Fuji Photo Film Co Ltd | 発光素子 |
-
2005
- 2005-02-07 KR KR1020050011466A patent/KR101197045B1/ko active IP Right Grant
-
2006
- 2006-02-07 US US11/349,303 patent/US7692379B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-02-07 CN CNA2006100073065A patent/CN1828971A/zh active Pending
- 2006-02-07 TW TW095104037A patent/TW200638794A/zh unknown
- 2006-02-07 JP JP2006029941A patent/JP2006221178A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000277266A (ja) * | 1999-03-19 | 2000-10-06 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 有機電界発光素子 |
JP2000284726A (ja) * | 1999-03-31 | 2000-10-13 | Seiko Epson Corp | 表示装置 |
JP2002184567A (ja) * | 2000-12-15 | 2002-06-28 | Canon Inc | 有機発光素子及びその製造方法 |
JP2004152751A (ja) | 2002-10-08 | 2004-05-27 | Pioneer Electronic Corp | 有機エレクトロルミネッセンスデバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7692379B2 (en) | 2010-04-06 |
CN1828971A (zh) | 2006-09-06 |
US20060175965A1 (en) | 2006-08-10 |
TW200638794A (en) | 2006-11-01 |
KR20060090522A (ko) | 2006-08-11 |
JP2006221178A (ja) | 2006-08-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11063244B2 (en) | Electroluminescent display device | |
KR101197045B1 (ko) | 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
US20090206733A1 (en) | Organic light emitting diode display and method of manufacturing the same | |
US7626329B2 (en) | Organic electroluminescent device with black insulator | |
CN100473248C (zh) | 有机发光装置及其制造方法 | |
KR101994816B1 (ko) | 투명 유기발광소자 | |
US7402939B2 (en) | Organic EL display | |
US7909671B2 (en) | System and method for differentiating pictures and texts | |
US7928651B2 (en) | Top emission type organic electro luminescence device and fabrication method thereof | |
KR20170036179A (ko) | 유기발광 표시장치 | |
KR20170052455A (ko) | 유기발광 표시장치 | |
KR100563131B1 (ko) | 유기전계발광 소자 | |
CN110767826B (zh) | 显示面板和显示终端 | |
KR100438797B1 (ko) | 유기전계발광 소자 | |
US20060244371A1 (en) | OLED device having improved lifetime and output | |
CN101785130A (zh) | 显示装置 | |
CN101958096A (zh) | 显示单元 | |
US8221176B2 (en) | Organic light emitting diode device | |
KR102365036B1 (ko) | 유기 발광 표시 장치 | |
US20230217692A1 (en) | Display apparatus | |
US20070194318A1 (en) | Organic light emitting diode display | |
KR100781594B1 (ko) | 능동행렬 유기전기발광소자 및 그의 제조 방법 | |
KR101901350B1 (ko) | 유기전계발광표시장치 | |
US7517550B2 (en) | Methods of making combinational structures for electro-luminescent displays | |
KR102461206B1 (ko) | 전계발광 표시장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
N231 | Notification of change of applicant | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150930 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170928 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181001 Year of fee payment: 7 |