KR101194085B1 - 필름 접합 장치 - Google Patents

Abstract

필름 이동 기구(20)에 의해 풀어내어지는 롤 형상 필름(A)으로부터 소편 형상 필름(A1)을 절단하고, 헤드 유닛 이동 기구(30)에 의해 소편 형상 필름(A1)을 반송하여, 기판 이동 기구(15)에 의해 반송되는 시트 형상 전자 기판(B)에 접합하는 필름 접합 장치(10)에, 헤드 유닛 이동 기구(30)의 Y 레일(33a, 33b)을 따라서 이동 가능한 헤드 유닛(31a, 31b)을 설치하였다. 헤드 유닛(31a, 31b)에 각각 개별적으로 상하 이동이 가능해진 4개의 금형(36)을 설치하고, 각 금형(36)에 각각 금형 절삭날(37), 흡인용 포트(38), 고정용 히터(39)를 설치하였다. 또한, 헤드 유닛(31a, 31b)에 기판 검출 유닛(29)을 설치함과 함께, 헤드 유닛(31a, 31b)의 이동 범위의 하방에 상태 검출부(42)를 설치하였다.

Description

필름 접합 장치{DEVICE FOR STICKING FILMS}

본 발명은 롤 형상 필름으로부터 소편(小片) 형상 필름을 잘라내어 시트 형상 전자 기판에 접합하는 필름 접합 장치를 포함하는, 필름 형상 또는 시트 형상의 정착 대상 부재로부터 소편 부품을 잘라내어 피측정 대상 부재에 고정하는 소편 부재의 이동 탑재 정착 장치, 및 소편 부재의 이동 탑재 정착 장치에 적용되는 헤드 장치에 관한 것이다.

종래부터, 예를 들어 플렉시블 프린트 기판을 작성할 때에는, 도체 패턴이 형성된 수지제의 시트 형상 전자 기판(베이스 필름)의 도체 패턴 형성면에 절연체로 이루어지는 소편 형상 필름(커버레이 필름)을 부착하여 도체 패턴을 보호하고 있다. 이러한 경우에, 롤 형상 필름으로부터 소정의 형상의 소편 형상 필름을 절단하여, 시트 형상 전자 기판에 접합하기 위한 필름 접합 장치가 사용되고 있다(예를 들어, 일본 특허 제4097679호 공보).

이 필름 접합 장치(커버레이 필름 접합 장치)에는, 베이스 필름 공급 장치, 가압착 장치, 적층 필름 회수 장치 및 커버레이 필름 재단ㆍ공급 장치 등의 각종 장치가 구비되어 있다. 그리고, 커버레이 필름을 베이스 필름에 접합할 때에는, 베이스 필름 공급 장치에 의해 간헐적으로 풀어내어진 베이스 필름에, 커버레이 필름 재단ㆍ공급 장치에 의해 소정 형상으로 재단되어 반송되어 오는 커버레이 필름을 가압착 장치에 의해 가압착하여 적층 필름을 형성한다.

이 커버레이 필름 재단ㆍ공급 장치는, 커버레이 필름을 재단하는 커버레이 필름 재단 장치와, 이동 가능한 이동 클램퍼와, 흡착 패드로 이루어지는 커버레이 필름 공급 장치로 구성되어 있고, 커버레이 필름 재단 장치에 의해 직사각형으로 재단된 커버레이 필름을 흡착 패드로 흡착하여 베이스 필름의 소정 위치까지 반송한다. 또한, 가압착 장치는, 가압착 테이블과, 가압착 테이블을 받는 완충 기구를 구비하고 있고, 가압착 테이블과 완충 기구 사이에 베이스 필름과 커버레이 필름을 배치한 상태에서 가압착 테이블을 완충 기구측으로 이동시킴으로써, 베이스 필름에 커버레이 필름을 가압착한다. 그리고, 형성된 적층 필름은 적층 필름 회수 장치에 의해 회수된다.

그러나, 전술한 종래의 커버레이 필름 접합 장치에서는, 커버레이 필름의 재단, 재단된 커버레이 필름의 반송, 커버레이 필름의 베이스 필름에의 가압착이 각각 다른 장치에 의해 행하여지기 때문에, 장치 전체가 대형화됨과 함께, 처리 속도가 느려졌다.

본 발명은, 이러한 문제에 대처하기 위해 이루어진 것으로, 그 목적은 소형화 및 고속 처리가 가능해지는 필름 접합 장치, 소편 부재의 이동 탑재 정착 장치, 및 소편 부재의 이동 탑재 정착 장치에 적용되는 헤드 장치를 제공하는 것이다.

전술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 관한 필름 접합 장치의 구성 상의 특징은, 롤 형상 필름(A)을 풀어내는 필름 이동 기구(20)와, 시트 형상 전자 기판(B)을 반송하는 기판 이동 기구(15)와, 상기 풀어내어진 롤 형상 필름으로부터 소편 형상 필름(A1)을 절단하여, 상기 절단한 소편 형상 필름을 상기 반송된 시트 형상 전자 기판에 접합하는 헤드 유닛(31a, 31b)과, 헤드 유닛을 상기 풀어내어진 롤 형상 필름의 위치로부터 상기 반송된 시트 형상 전자 기판의 위치까지 이동시키는 헤드 유닛 이동 기구(30)를 구비하고, 헤드 유닛은, 개별적으로 상하 이동이 가능해진 복수의 금형(36)과, 복수의 금형의 하면에 각각 설치되어 롤 형상 필름에 가압됨으로써 롤 형상 필름으로부터 소편 형상 필름을 절단하는 절단부(37)와, 복수의 금형에 각각 설치되어 절단부에 의해 절단된 소편 형상 필름을 유지하는 유지부(38, 68, 88)와, 복수의 금형에 각각 설치되어 유지부에 의해 유지되어 반송되는 소편 형상 필름을 시트 형상 전자 기판에 고정하는 고정부(39, 59, 79, 99)를 구비한 것에 있다.

본 발명에 관한 필름 접합 장치에서는, 헤드 유닛 이동 기구에 의해 이동되는 헤드 유닛에, 개별적으로 상하 이동이 가능해진 복수의 금형을 포함시킴과 함께, 복수의 금형에 각각 설치된 절단부, 유지부 및 고정부를 포함시키고 있다. 즉, 절단부, 유지부 및 고정부를 각각 필름 접합 장치를 구성하는 별개의 장치에 설치하는 것이 아니라, 이들을 모두 금형에 설치하여, 금형, 절단부, 유지부 및 고정부로 헤드 유닛을 구성하고 있다. 이에 의해, 헤드 유닛이 이동할 때에 복수조의 절단부, 유지부 및 고정부가 복수의 금형과 함께 모두 이동하도록 하고 있다.

따라서, 필름 접합 장치 전체를 소형화할 수 있음과 함께, 헤드 유닛의 이동 범위 내에서, 롤 형상 필름으로부터의 소편 형상 필름의 절단, 절단된 소편 형상 필름의 유지, 소편 형상 필름의 반송 및 소편 형상 필름의 시트 형상 전자 기판에의 접합의 모든 처리를 행할 수 있다. 또한, 헤드 유닛에, 각각 절단부, 유지부 및 고정부가 설치된 복수의 금형이 구비되어 있고, 각 금형이 개별적으로 상하 이동이 가능하게 되어 있다. 이로 인해, 롤 형상 필름으로부터 복수의 소편 형상 필름을 동시 또는 순서대로 절단하여 유지할 수 있음과 함께, 복수의 소편 형상 필름을 동시 또는 순서대로 시트 형상 전자 기판에 접합할 수 있다.

복수의 소편 형상 필름을 동시에 절단하거나 고정하는 경우에는, 고속 처리가 가능해지기 때문에, 소편 형상 필름의 시트 형상 전자 기판에의 접합 시의 효율이 향상될 수 있다. 또한, 복수의 소편 형상 필름을 순서대로 절단하는 경우에는, 롤 형상 필름에서의 각 소편 형상 필름을 절단하는 부분을 접근시키거나, 롤 형상 필름으로부터 복수의 소편 형상 필름을 절단할 때마다, 헤드 유닛의 방향을 바꾸거나 함으로써, 롤 형상 필름의 낭비를 적게 할 수 있다. 또한, 복수의 소편 형상 필름을 순서대로 접합하는 경우에는, 소편 형상 필름을 시트 형상 전자 기판에 접합할 때마다, 각 소편 형상 필름(헤드 유닛)의 방향을 바꿈으로써, 시트 형상 전자 기판에서의 소편 형상 필름을 접합하는 부분의 배치가 변칙적인 것이라도 각 소편 형상 필름을 고정밀하게 시트 형상 전자 기판에 접합할 수 있다.

또한, 본 발명에 관한 필름 접합 장치의 다른 구성 상의 특징은, 헤드 유닛에 설치되어, 시트 형상 전자 기판의 상태를 검출하는 기판 검출부(29)를 더 구비한 것에 있다. 이에 따르면, 시트 형상 전자 기판의 설치 위치나 시트 형상 전자 기판에서의 소편 형상 필름을 접합하는 부분의 위치를 확인할 수 있어, 소편 형상 필름을 시트 형상 전자 기판에서의 정확한 위치에 접합할 수 있다.

또한, 본 발명에 관한 필름 접합 장치의 다른 구성 상의 특징은, 헤드 유닛의 이동로에 설치되어, 유지부가 유지하는 소편 형상 필름의 상태를 검출하는 소편 형상 필름 검출부(42)를 더 구비한 것에 있다. 이에 따르면, 유지부에 유지된 소편 형상 필름의 상태, 즉 소편 형상 필름의 존재, 위치, 방향 등을 확인할 수 있어, 소편 형상 필름을 시트 형상 전자 기판에서의 더욱 정확한 위치에 접합할 수 있다. 또한, 이 소편 형상 필름 검출부의 존재에 의해, 후술하는 상태 변경부에 의한 소편 형상 필름에 대한 처리도 확인할 수 있게 된다.

또한, 본 발명에 관한 필름 접합 장치의 또 다른 구성 상의 특징은, 또한 헤드 유닛 이동 기구에 의해 반송되는 소편 형상 필름에 대하여, 부가재의 추가, 불필요재의 제거, 및 상기 소편 형상 필름의 상태의 변경 중 적어도 어느 하나를 행하는 상태 변경부(41)를 구비한 것에 있다. 이 경우, 상태 변경부를, 소편 형상 필름에 소정의 부재, 액체 또는 기체를 부가하는 부가 장치, 소편 형상 필름으로부터 불필요부, 액체, 기체 또는 정전기재의 제거를 행하는 제거 장치, 및 소편 형상 필름의 자세를 수정하는 자세 수정 장치 중 어느 하나에 의해 구성하는 것이 바람직하다.

이에 따르면, 롤 형상 필름으로부터 절단된 소편 형상 필름을 시트 형상 전자 기판에 접합하기 전에, 소편 형상 필름에 대하여 어떠한 처리가 필요한 경우에는, 이 상태 변경부에 의해 그 처리를 행할 수 있다. 상태 변경부가 소정의 부재를 부가하는 부가 장치인 경우에는, 예를 들어 시트 형상 전자 기판에 접합하는 소편 형상 필름 또는 그 일부를 시트 형상 전자 기판으로부터 박리하는 처리가 필요한 경우에, 소편 형상 필름의 단부 등에 박리용의 소(小) 필름을 부착하는 처리를 행할 수 있다. 이 경우, 상태 변경부로서는 박리용 소 필름의 부착 장치가 사용된다.

상태 변경부가 액체나 기체를 부가하는 부가 장치인 경우에는, 소편 형상 필름을 시트 형상 전자 기판에 접합할 때의 습윤성을 향상시켜 소편 형상 필름의 시트 형상 전자 기판에의 적정한 접합을 가능하게 할 수 있다. 또한, 상태 변경부가 불필요부를 제거하는 제거 장치인 경우에는, 소편 형상 필름의 외주부에 발생한 버어나 소편 형상 필름에 부착된 이물질 등을 제거할 수 있다. 또한, 상태 변경부가 액체, 기체 또는 정전기재를 제거하는 제거 장치인 경우에는, 소편 형상 필름에 부착되는 여분의 액체나 소편 형상 필름에 포함되는 기체나 정전기를 제거함으로써, 소편 형상 필름의 시트 형상 전자 기판에의 적정한 접합을 가능하게 할 수 있다. 또한, 상태 변경부가 소편 형상 필름의 자세를 수정하는 자세 수정 장치인 경우에는, 유지부에 유지된 소편 형상 필름의 자세를 적정한 상태로 수정할 수 있다.

또한, 본 발명에 관한 필름 접합 장치의 또 다른 구성 상의 특징은, 필름 이동 기구가, 상기 롤 형상 필름이 풀어내어진 부분을 고정하기 위한 필름 고정부(25, 26)를 구비한 것에 있다. 이에 따르면, 필름 고정부에 의해 롤 형상 필름이 고정되기 때문에, 절단부에서 롤 형상 필름으로부터 소편 형상 필름을 절단할 때의 처리를 정확하면서 원활하게 행할 수 있다.

또한, 본 발명에 관한 필름 접합 장치의 또 다른 구성 상의 특징은, 헤드 유닛 이동 기구가, 평행하게 배치된 한쌍의 레일(33a, 33b)을 구비하고, 각 레일마다 1개의 헤드 유닛을 이동시키도록 한 것에 있다. 이에 따르면, 복수의 금형을 구비한 헤드 유닛을 이동시키기 위한 한쌍의 레일이 설치되어 있기 때문에, 더욱 고속도의 처리가 가능해진다.

또한, 본 발명에 관한 필름 접합 장치의 또 다른 구성 상의 특징은, 절단부를 톰슨형의 절단날로 구성한 것에 있다. 이에 따르면, 소편 형상 필름의 형상을 복잡한 형상으로 하여도 절단부의 형상을 소편 형상 필름의 형상에 맞추어 고정밀하게 형성할 수 있음과 함께, 절단부를 저렴하게 할 수 있다.

또한, 본 발명에 관한 필름 접합 장치의 또 다른 구성 상의 특징은, 유지부가, 흡인 장치에 접속된 흡인부(38), 하면이 점착성을 구비한 면으로 구성되는 점착부(68), 및 소편 형상 필름의 외주부에 결합하는 결합부(88) 중 어느 하나인 것에 있다. 유지부를 흡인 장치에 접속된 흡인부로 구성한 경우에는, 흡인 장치의 흡인력에 의해 소편 형상 필름을 확실하게 유지할 수 있다. 유지부를 점착부로 구성한 경우에는, 간단한 구조이면서 저렴하게 붙는 유지부를 얻을 수 있다. 유지부를 소편 형상 필름의 외주부에 결합하는 결합부로 구성한 경우에는, 더욱 간단한 구조이면서 저렴하게 붙는 유지부를 얻을 수 있다.

또한, 본 발명에 관한 필름 접합 장치의 또 다른 구성 상의 특징은, 고정부가, 고정용 히터 또는 초음파 발진기인 것에 있다. 고정부를 고정용 히터로 구성한 경우에는, 시트 형상 전자 기판에 적재된 소편 형상 필름의 상면을 고정용 히터로 가압하면서 가열함으로써, 소편 형상 필름의 일부를 용융시켜 시트 형상 전자 기판에 접합할 수 있다. 또한, 고정부를 초음파 발진기로 구성한 경우에는, 시트 형상 전자 기판에 적재된 소편 형상 필름의 상면을 초음파 발진기로 가압하면서 초음파를 발진함으로써, 소편 형상 필름을 시트 형상 전자 기판에 고밀도로 밀착시켜 고정할 수 있다. 이 경우, 롤 형상 필름 및 시트 형상 전자 기판으로서는, 가열이나 초음파에 의해 접합이 가능한 수지 재료나 금속 재료 등을 사용한다.

또한, 본 발명에 관한 필름 접합 장치의 또 다른 구성 상의 특징은, 절단부가 롤 형상 필름으로부터 소편 형상 필름을 절단함과 동시에, 유지부가 소편 형상 필름을 유지하도록 한 것에 있다. 이에 따르면, 절단부가 롤 형상 필름으로부터 소편 형상 필름을 절단하는 처리와, 절단된 소편 형상 필름을 유지부가 유지하는 처리가 동시에 행하여지기 때문에, 또한 처리 시간의 단축이 가능해진다.

또한, 본 발명에 관한 소편 부재의 이동 탑재 정착 장치의 구성 상의 특징은, 필름 형상 또는 시트 형상의 정착 대상 부재(A)로부터 소편 부재(A1)를 절단하는 절단 수단(37)과, 상기 절단된 소편 부재를 피정착 대상 부재(B)가 설치되어 있는 위치에 반송하는 반송 수단(30, 38, 68, 88)과, 소편 부재를 피정착 대상 부재에 고정하는 고정 수단(39, 59, 79, 99)을 구비하고, 반송 수단은 상기 절단된 소편 부재를 유지하는 유지 수단(38, 68, 88)을 구비하고 있고, 절단 수단 및 고정 수단을 유지 수단과 일체로 한 것에 있다.

본 발명에 관한 소편 부재의 이동 탑재 정착 장치는, 절단 수단, 반송 수단 및 고정 수단을 구비함으로써, 필름 형상 또는 시트 형상의 정착 대상 부재로부터 소편 부재를 절단하여 피정착 대상 부재에 고정할 수 있도록 하고 있다. 그리고, 반송 수단이 갖는 유지 수단과, 절단 수단 및 고정 수단을 일체로 하고 있다. 즉, 유지 수단, 절단 수단 및 고정 수단을 각각 다른 장치에 설치하는 것이 아니라, 반송 수단이 구비하는 이동 부재에, 절단 수단, 고정 수단 및 유지 수단을 포함시키고, 이들 각 수단을 함께 이동시키도록 구성하고 있다. 따라서, 소편 부재의 이동 탑재 정착 장치를 소형화할 수 있음과 함께, 반송 수단이 구비하는 유지 수단의 이동 범위 내에서, 정착 대상 부재로부터의 소편 부재의 절단, 절단된 소편 부재의 유지, 소편 부재의 반송 및 소편 부재의 피정착 대상 부재에의 고정의 모든 처리를 행할 수 있다. 이 결과, 고속 처리가 가능해진다.

또한, 본 발명에 관한 소편 부재의 이동 탑재 정착 장치의 다른 구성 상의 특징은, 절단 수단이 정착 대상 부재로부터 소편 부재를 절단함과 동시에, 유지 수단이 소편 부재를 유지하도록 한 것에 있다. 이에 따르면, 절단 수단에 의해 정착 대상 부재로부터 소편 부재를 절단하는 처리와, 절단된 소편 부재를 유지 수단이 유지하는 처리가 동시에 행하여지기 때문에, 또한 처리 시간의 단축이 가능해진다.

또한, 본 발명에 관한 소편 부재의 이동 탑재 정착 장치의 다른 구성 상의 특징은, 또한 반송 수단에 설치되어, 피정착 대상물을 검출하는 피정착 대상물 검출 수단(29)을 구비한 것에 있다. 이에 따르면, 피정착 대상물의 설치 위치나 피정착 대상물에서의 소편 부재를 고정하는 부분의 위치를 확인할 수 있어, 소편 부재를 피정착 대상물에서의 정확한 위치에 고정할 수 있다.

또한, 본 발명에 관한 소편 부재의 이동 탑재 정착 장치의 다른 구성 상의 특징은, 반송 수단에 의한 소편 부재의 반송로에 설치되어, 유지 수단이 유지하는 소편 부재를 검출하는 소편 부재 검출 수단(42)을 더 구비한 것에 있다. 이에 따르면, 유지 수단에 유지된 소편 부재의 존재, 위치, 방향 등을 확인할 수 있어, 소편 부재를 피정착 장치에서의 더욱 정확한 위치에 고정할 수 있다. 또한, 이 소편 부재 검출 수단의 존재에 의해, 후술하는 상태 변경 수단에 의한 소편 부재에 대한 처리도 확인할 수 있게 된다.

또한, 본 발명에 관한 소편 부재의 이동 탑재 정착 장치의 또 다른 구성 상의 특징은, 반송 수단에 의해 반송되는 소편 부재에 대하여, 부가 부재의 추가, 불필요 부재의 제거, 및 소편 부재의 상태의 변경 중 적어도 어느 하나를 행하는 상태 변경 수단을 더 설치한 것에 있다. 이에 따르면, 정착 대상 부재로부터 절단된 소편 부재가 피정착 대상 부재에 고정되기 전에, 소편 부재에 대하여 어떠한 처리가 필요한 경우에는, 이 상태 변경 수단에 의해 그 처리를 행할 수 있다. 이 경우의 처리로서는, 소편 부재에 대하여 다른 소 부재를 부착하거나, 소편 부재로부터 버어 등의 불필요 부분을 제거하거나, 소편 부재의 자세를 수정하는 등, 소편 부재의 종류에 따라서 적절히 설정할 수 있다.

본 발명에 관한 헤드 장치의 구성 상의 특징은, 소편 부재의 이동 탑재 정착 장치에 적용되고, 필름 형상 또는 시트 형상의 정착 대상 부재(A)로부터 소편 부재(A1)를 절단하여, 상기 절단한 소편 부재를 피정착 대상 부재(B)에 고정하는 헤드 장치이며, 반송 수단(30)에 의해 반송되는 헤드 본체(36, 36a, 36b)와, 헤드 본체의 하면에 설치되어 정착 대상 부재에 가압됨으로써 정착 대상 부재로부터 소편 부재를 절단하는 절단부(37)와, 헤드 본체의 하면에 설치되어 절단부에 의해 절단된 소편 부재를 유지하는 유지부(38, 68, 88)와, 헤드 본체의 하면에 설치되어 유지부에 의해 유지되는 소편 부재를 피정착 대상 부재에 고정하는 고정부(39, 59, 79, 99)를 구비한 것에 있다.

본 발명에 관한 헤드 장치는, 반송 수단에 의해 반송되는 헤드 본체에, 절단부, 유지부 및 고정부를 설치하고 있다. 즉, 절단부, 유지부 및 고정부를 각각 다른 장치에 설치하는 것이 아니라, 이들을 모두 헤드 본체에 설치하여, 헤드 본체가 이동할 때에 절단부, 유지부 및 고정부가 함께 이동하도록 구성하고 있다. 따라서, 헤드 장치를 구비하는 소편 부재의 이동 탑재 정착 장치의 전체를 소형화할 수 있음과 함께, 헤드 장치의 이동 범위 내에서, 정착 대상 부재로부터의 소편 부재의 절단, 절단된 소편 부재의 유지, 소편 부재의 반송 및 소편 부재의 피정착 대상 부재에의 고정의 모든 처리를 행할 수 있다. 이 결과, 고속 처리가 가능해진다.

또한, 본 발명에 관한 헤드 장치의 다른 구성 상의 특징은, 헤드 본체가, 독립적으로 상하로 이동 가능한 복수의 금형(36)을 갖고, 절단부, 유지부 및 고정부가 각 금형에 각각 설치되어 있는 것에 있다. 이에 따르면, 정착 대상 부재로부터 복수의 소편 부재를 동시 또는 순서대로 절단하여 유지할 수 있음과 함께, 복수의 소편 부재를 동시 또는 순서대로 피정착 대상 부재에 고정할 수 있다. 이 결과, 추가적인 고속 처리가 가능해진다. 이 경우, 각 금형에는, 각각 금형을 승강시키기 위한 승강 기구를 설치해 둔다.

또한, 본 발명에 관한 헤드 장치의 또 다른 구성 상의 특징은, 절단부를 톰슨형의 절단날로 구성한 것에 있다. 이에 따르면, 소편 부재의 형상을 복잡한 형상으로 하여도 고정밀하게 대응할 수 있음과 함께, 절단부를 저렴하게 할 수 있다.

또한, 본 발명에 관한 헤드 장치의 또 다른 구성 상의 특징은, 유지부가, 흡인 장치에 접속된 흡인부, 하면이 점착성을 갖는 면으로 구성되는 점착부, 및 소편 부재의 외주부에 결합하는 결합부 중 어느 하나인 것에 있다. 유지부를 흡인 장치에 접속된 흡인부로 구성한 경우에는, 흡인 장치의 흡인력에 의해 소편 부재를 확실하게 유지할 수 있고, 유지부를 점착부로 구성한 경우에는, 간단한 구조이면서 저렴하게 붙는 유지부를 얻을 수 있다. 또한, 유지부를 소편 부재의 외주부에 결합하는 결합부로 구성한 경우에는, 더욱 간단한 구조이면서 저렴하게 붙는 유지부를 얻을 수 있다.

또한, 본 발명에 관한 헤드 장치의 또 다른 구성 상의 특징은, 고정부가, 고정용 히터 또는 초음파 발진기인 것에 있다. 고정부를 고정용 히터로 구성한 경우에는, 피정착 대상 부재에 적재된 소편 부재의 상면을 고정용 히터로 가압하면서 가열함으로써, 소편 부재의 일부를 용융시켜 피정착 대상 부재에 고정할 수 있다. 또한, 고정부를 초음파 발진기로 구성한 경우에는, 피정착 대상 부재에 적재된 소편 부재의 상면을 초음파 발진기로 가압하면서 초음파를 발진함으로써, 소편 부재의 일부를 피정착 대상 부재에 고밀도로 밀착시켜 고정할 수 있다. 이 경우, 정착 대상 부재 및 피정착 대상 부재로서는, 가열이나 초음파에 의해 접합이 가능한 수지 재료나 금속 재료 등을 사용한다.

또한, 본 발명에 관한 헤드 장치의 또 다른 구성 상의 특징은, 절단부가 정착 대상 부재로부터 소편 부재를 절단함과 동시에, 유지부가 소편 부재를 유지하도록 한 것에 있다. 이에 따르면, 절단부가 정착 대상 부재로부터 소편 부재를 절단하는 처리와, 절단된 소편 부재를 유지부가 유지하는 처리가 동시에 행하여지기 때문에, 또한 처리 시간의 단축이 가능해진다.

도 1은, 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 필름 접합 장치를 도시한 사시도.
도 2는, 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 필름 접합 장치가 구비하는 헤드 유닛을 도시한 단면도.
도 3은, 필름 접합 장치의 주요부를 도시한 사시도.
도 4는, 헤드 유닛을 롤 형상 필름의 상방에 위치시킨 상태를 도시한 설명도.
도 5a는, 헤드 유닛을 하강시키는 상태를 도시한 도면.
도 5b는, 롤 형상 필름을 도시한 설명도.
도 6a는, 헤드 유닛의 한쪽의 금형 절삭날로 롤 형상 필름을 절단하는 상태를 도시한 도면.
도 6b는, 그때의 롤 형상 필름을 도시한 설명도.
도 7a는, 한쪽의 금형 절삭날을 상승시키고 다른 쪽의 금형 절삭날로 롤 형상 필름을 절단하는 상태를 도시한 도면.
도 7b는, 그때의 롤 형상 필름을 도시한 설명도.
도 8a는, 다른 쪽의 금형 절삭날을 상승시킴과 함께 헤드 유닛을 상승시키는 상태를 도시한 도면.
도 8b는, 그때의 롤 형상 필름을 도시한 설명도.
도 9a는, 헤드 유닛을 시트 형상 전자 기판의 상방에서 위치 정렬하는 상태를 도시한 도면.
도 9b는, 시트 형상 전자 기판의 상면을 도시한 설명도.
도 10a는, 헤드 유닛의 한쪽의 금형에서 소편 형상 필름을 시트 형상 전자 기판에 고정하는 상태를 도시한 도면.
도 10b는, 그때의 시트 형상 전자 기판의 상면을 도시한 설명도.
도 11은, 한쪽의 금형을 상승시킨 상태를 도시한 설명도.
도 12a는, 다른 쪽의 금형에서 소편 형상 필름을 시트 형상 전자 기판에 고정하는 상태를 도시한 도면.
도 12b는, 그때의 시트 형상 전자 기판의 상면을 도시한 설명도.
도 13은, 다른 쪽의 금형 절삭날을 상승시킴과 함께 헤드 유닛을 상승시키는 상태를 도시한 설명도.
도 14는, 헤드 유닛을 시트 형상 전자 기판에 대하여 하강시키고, 한쪽의 금형에서 소편 형상 필름을 시트 형상 전자 기판에 고정하는 상태를 도시한 설명도.
도 15는, 헤드 유닛을 시트 형상 전자 기판에 대하여 하강시키고, 다른 쪽의 금형에서 소편 형상 필름을 시트 형상 전자 기판에 고정하는 상태를 도시한 설명도.
도 16은, 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 필름 접합 장치가 구비하는 헤드 유닛을 도시한 단면도.
도 17은, 본 발명의 제3 실시 형태에 관한 필름 접합 장치가 구비하는 헤드 유닛을 도시한 단면도.
도 18은, 본 발명의 제4 실시 형태에 관한 필름 접합 장치가 구비하는 헤드 유닛을 도시한 단면도.
도 19a는, 본 발명의 제5 실시 형태에 관한 필름 접합 장치가 구비하는 헤드 유닛을 도시한 단면도.
도 19b는, 그 주요부를 도시한 부분 확대도.
도 20은, 본 발명의 제6 실시 형태에 관한 필름 접합 장치가 구비하는 헤드 유닛을 도시한 단면도.

a. 제1 실시 형태

이하, 본 발명의 제1 실시 형태를 도면을 사용하여 설명한다. 도 1은, 동 실시 형태에 관하여, 소편 부재의 이동 탑재 정착 장치로서의 필름 접합 장치(10)를 도시하고 있다. 이 필름 접합 장치(10)는, 정착 대상 부재로서의 수지제의 롤 형상 필름(A)으로부터 소편 부재로서의 소편 형상 필름(A1)을 절단함과 함께, 그 절단한 소편 형상 필름(A1)을 반송하여, 피정착 대상 부재로서의 수지제의 시트 형상 전자 기판(B)의 상면에 형성된 전극 패턴의 소정 부분에 고정, 즉 접합한다. 필름 접합 장치(10)는, 베이스(도시하지 않음)와, 기판 이동 기구(15)와, 필름 이동 기구(20)와, 반송 수단으로서의 헤드 유닛 이동 기구(30)와, 상태 변경 수단(또는 상태 변경부)으로서의 상태 변경 유닛(40)을 구비하고 있다.

기판 이동 기구(15)는, 베이스의 상방에서 시트 형상 전자 기판(B)을 X 방향(도 1에 화살표 X로 나타낸 방향에서 좌우 방향)으로 이동시켜 미리 설정된 설치부에 설치한다. 필름 이동 기구(20)는, 베이스의 상면에 기판 이동 기구(15)와 평행하게 배치되어 롤 형상 필름(A)을 X 방향으로 간헐적으로 이동시켜 각 부분을 미리 설정된 설치부에 설치한다. 헤드 유닛 이동 기구(30)는, 베이스의 상방에 배치된 한쌍의 헤드 유닛(31a, 31b)을 각각 롤 형상 필름(A) 및 시트 형상 전자 기판(B)의 상방에서 Y 방향(도 1에 화살표 Y로 나타낸 방향으로 전후 방향) 및 Z 방향(도 1에 화살표 Z로 나타낸 방향으로 상하 방향)으로 이동시킨다.

그리고, 상태 변경 유닛(상태 변경 수단)(40)은, 필름 이동 기구(20)의 소정의 부분에 설치되어 한쌍의 헤드 유닛(31a, 31b)에 의해 반송되는 소편 형상 필름(A1)에 대하여 후술하는 소정의 처리를 실시한다. 기판 이동 기구(15)는, 베이스의 상면에 배치된 한쌍의 X 레일(16a, 16b)과, 상면에 시트 형상 전자 기판(B)이 설치되는 평면 판 형상의 이동 테이블(17)과, 이동 테이블(17)의 하면 네 구석에 설치되어, 각각 X 레일(16a, 16b)에 결합한 상태로 미끄럼 이동함으로써 이동 테이블(17)을 X 레일(16a, 16b)을 따라서 이동 가능하게 하는 결합 미끄럼 이동부(18a, 18b)(2개만 도시함)를 구비하고 있다.

또한, 도시하고 있지 않지만, 기판 이동 기구(15)에는 반송 모터를 구비한 기판 구동 장치가 구비되어 있다. 이동 테이블(17)은, 이 기판 구동 장치의 구동에 의해 X 레일(16a, 16b)을 따라서 이동한다. 즉, X 레일(16a, 16b)은, 베이스 상에서, 이동 테이블(17)의 전후 방향의 길이에 맞추어 전후 방향으로 일정 간격을 유지하여 좌우 방향으로 연장되어 있고, 기판 구동 장치는 반송 모터의 작동에 의해 이동 테이블(17)을 이동시켜 이동 테이블(17)의 상면에 설치되는 시트 형상 전자 기판(B)을 순차적으로 설치부에 반송한다. 그리고, 설치부에 있어서 시트 형상 전자 기판(B)에의 소편 형상 필름(A1)의 고정이 종료되면, 그 시트 형상 전자 기판(B)을 하류측으로 반송한다.

필름 이동 기구(20)는, 기판 이동 기구(15)의 후방에 기판 이동 기구(15)와 평행하게 배치되어 있고, 베이스의 상면에 일정 간격을 유지하여 배치된 한쌍의 X 레일(21a, 21b)과, X 레일(21a, 21b)을 따라서 이동 가능한 이동 테이블 유닛(22)과, X 레일(21a, 21b)의 길이 방향의 양단부측에 각각 배치된 롤 형상 필름 권출 유닛 및 롤 형상 필름 폐기부 권취 유닛(모두 도시하지 않음)을 구비하고 있다. 이동 테이블 유닛(22)은, 평면에서 보아 직사각형의 저면부(23)의 상면에서의 폭 방향(전후 방향)의 중앙부에 상방으로 돌출되는 다이 형상의 필름 지지부(24)를 형성하여 본체 부분이 구성되어 있다. 그리고, 본체 부분의 좌우 양단부에 각각 필름 고정부로서의 벽면 형상의 롤 형상 필름 고정 유닛(25, 26)이 형성되어 있다.

롤 형상 필름 고정 유닛(25, 26)은, 좌우 대칭 구조를 하고 있으며, 저면부(23)의 양단부면으로부터 각각 상방으로 연장되는 판 형상의 벽면 형상 고정부(25a, 26a)와, 벽면 형상 고정부(25a, 26a)의 상면에 대하여 진퇴하도록 상하 이동하는 사각 막대 형상의 막대 형상 이동부(25b, 26b)로 구성되어 있다. 그리고, 벽면 형상 고정부(25a, 26a)의 상면에서의 폭 방향(전후 방향)의 중앙에, 벽면 형상 고정부(25a, 26a)와 막대 형상 이동부(25b, 26b) 사이에 간극을 형성하는 필름 삽입 관통 슬릿(25c, 26c)이 설치되어 있다. 필름 삽입 관통 슬릿(25c, 26c)은, 폭이 필름 지지부(24)의 폭과 동일하게 설정되고, 하단부의 높이가 필름 지지부(24)의 상면의 높이와 동일하게 설정되어 있다.

그리고, 벽면 형상 고정부(25a, 26a)의 상단부에서의 전후 양측 부분의 높이는, 필름 지지부(24)의 상면의 높이보다도 약간 높게 되어 있고, 양쪽 높이의 차이(필름 삽입 관통 슬릿(25c, 26c)의 높이)는, 롤 형상 필름(A)의 두께와 동일한 약간 짧은 길이로 되어 있다. 또한, 필름 지지부(24) 및 필름 삽입 관통 슬릿(25c, 26c)의 폭은, 롤 형상 필름(A)의 폭보다도 약간 크게 설정되어 있다. 이로 인해, 롤 형상 필름(A)을, 필름 삽입 관통 슬릿(25c)과 필름 삽입 관통 슬릿(26c)에 삽입 관통시킨 상태에서, 필름 지지부(24) 상에 설치하고, 막대 형상 이동부(25b, 26b)를 각각 하방으로 이동시킴으로써, 롤 형상 필름(A)에서의 이동 테이블 유닛(22)의 양단부에 위치하는 부분을 필름 지지부(24) 상에 고정할 수 있다.

또한, 이동 테이블 유닛(22)에는, 막대 형상 이동부(25b, 26b)를 승강시키기 위한 승강 장치(도시하지 않음)가 구비되어 있고, 이 승강 장치의 작동에 의해, 막대 형상 이동부(25b)는 벽면 형상 고정부(25a)에 대하여 진퇴하고, 막대 형상 이동부(26b)는 벽면 형상 고정부(26a)에 대하여 각각 진퇴한다. 그리고, 저면부(23)의 하면 네 구석에는, X 레일(21a, 21b)에 결합한 상태에서 미끄럼 이동함으로써, 이동 테이블 유닛(22)을 X 레일(21a, 21b)을 따라서 이동 가능하게 하는 결합 미끄럼 이동부(27a, 27b, 27c)(3개만 도시함)가 설치되어 있다. 또한, 도시하고 있지 않지만, 이동 테이블 유닛(22)에는 반송 모터를 구비한 구동 장치가 구비되어 있고, 이동 테이블 유닛(22)은, 이 구동 장치의 구동에 의해 X 레일(21a, 21b)을 따라서 이동한다.

롤 형상 필름 권출 유닛은, X 레일(21a, 21b)의 상류측(좌측)에 배치되어 있고, 처리 전의 롤 형상 필름(A)의 권회부의 중심을 축 주위 방향으로 회전 가능하게 지지하는 지지축부와, 그 지지축부를 회전 구동시키는 송출 구동 장치를 구비하고 있다. 그리고, 송출 구동 장치의 구동에 의해, 롤 형상 필름(A)을 간헐적으로 이동 테이블 유닛(22)의 필름 지지부(24)의 상면에 송출한다. 롤 형상 필름 폐기부 권취 유닛은, X 레일(21a, 21b)의 하류측(우측)에 배치되어 있고, 소편 형상 필름(A1)이 절단되어 폐기되는 처리 후의 롤 형상 필름 폐기부(A2)를 외주면에 권취해 가는 권취축부와, 그 권취축부를 회전 구동시키는 권취 구동 장치를 구비하고 있다. 그리고, 권취 구동 장치의 구동에 의해, 권취축부가 롤 형상 필름 폐기부(A2)를 순차적으로 권취해 간다.

헤드 유닛 이동 기구(30)는, 좌우로 설치된 한쌍의 이동 기구(30a, 30b)로 구성되어 있고, 각각 베이스의 전후 양측에 걸쳐진 상태에서 X 레일(16a, 16b) 및 X 레일(21a, 21b)의 상방으로 일정 간격을 유지하여 배치되어 있다. 이동 기구(30a, 30b)는，모두 베이스의 상면에서의 X 레일(16a, 16b)과 X 레일(21a, 21b)의 외측 부분으로부터 상방으로 연장되는 다리부(32a, 32b)와, 다리부(32a, 32b)의 상단부측 부분에 걸쳐져 X 레일(16a, 16b)과 X 레일(21a, 21b)의 상방에서 일정 간격을 유지한 상태에서 전후 방향으로 연장되는 막대 형상의 한쌍의 Y 레일(33a, 33b)을 구비하고 있다.

그리고, 이동 기구(30a)의 Y 레일(33a, 33b)에 이동축부(34a)를 통하여 헤드 유닛(31a)이 전후 방향으로 이동 가능한 상태로 설치되고, 이동 기구(30b)의 Y 레일(33a, 33b)에 이동축부(34b)를 통하여 헤드 유닛(31b)이 전후 방향으로 이동 가능한 상태로 설치되어 있다. 이동축부(34a, 34b)에는, 각각 Y축 모터(도시하지 않음)를 구비한 Y축 구동 장치가 설치되어 있고, 헤드 유닛(31a)은 이동축부(34a)와 함께, 헤드 유닛(31b)은 이동축부(34b)와 함께, 각각 Y축 구동 장치의 구동에 의해 개별적으로 전후 방향으로 이동한다.

또한, 헤드 유닛(31a, 31b)에는, 각각 헤드 유닛(31a, 31b)을 Z축 방향(상하 방향)으로 이동 가능하게 하는 헤드 유닛 승강축(35a, 35b)을 구비한 Z축 구동 장치 및 헤드 유닛(31a, 31b)을 R 방향(도 1에 화살표 R로 나타낸 방향으로 Z축 주위 방향)으로 회전시키는 R 방향 구동 장치(도시하지 않음)도 구비되어 있다. 이로 인해, 헤드 유닛(31a, 31b)은, Y축 구동 장치의 구동에 의해 전후 방향으로 이동함과 함께, Z축 구동 장치의 구동에 의해 헤드 유닛 승강축(35a, 35b)을 따라서 상하 방향으로 이동하고, 또한 R 방향 구동 장치의 구동에 의해 Z축 주위로 회전한다.

또한, 헤드 유닛(31a, 31b)은 각각 4개의 별체로 이루어지는 금형(36)(도 2(2개만 도시함) 참조)을 구비하고 있고, 각 금형(36)은, 승강 가이드부(36a)를 통하여 후판 형상의 베이스부(36b)의 하면에 대하여 각각 개별적으로 진퇴 가능하게 되어 있다. 즉, 승강 가이드부(36a)에는, 각각 금형 승강 구동부(도시하지 않음)가 구비되어 있고, 각 금형(36)은, 각각의 금형 승강 구동부의 구동에 의해 베이스부(36b)에 대하여 승강한다. 이들 금형(36), 승강 가이드부(36a) 및 베이스부(36b)가 헤드 본체를 구성한다. 또한, 각 금형(36)의 하면에는, 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 절단부(또는 절단 수단)로서의 금형 절삭날(37)이 각각 설치되어 있고, 각 금형(36)의 내부에는, 유지부(또는 유지 수단)로서의 흡인용 포트(38) 및 고정부(또는 고정 수단)로서의 고정용 히터(39)가 각각 설치되어 있다.

금형 절삭날(37)은, 톰슨형의 절단날로 구성되어 있고, 각 금형 절삭날(37)은 각각 소편 형상 필름(A1)의 외주부와 동일한 형태의 L형의 프레임 형상으로 형성되어 있다. 그리고, 도 3에 도시한 바와 같이, 각 2개의 금형 절삭날(37)이 조합되어 정사각형을 형성하도록 각각 배치되고, 4개의 금형 절삭날(37)이 조합되어 직사각형을 형성하도록 배치되어 있다. 또한, 흡인용 포트(38)는, 금형(36)을 상하로 관통하는 관 형상체로 구성되어 있고, 상단부는 흡인 장치(도시하지 않음)에 접속되고, 하단부는 금형(36)의 하면에서 개구되어 있다. 흡인용 포트(38)는, 흡인 장치의 작동에 의해, 도 2에 도시한 바와 같이, 금형 절삭날(37)에 의해 롤 형상 필름(A)으로부터 절단된 소편 형상 필름(A1)을 금형 절삭날(37)의 내부(상부)에 흡인 유지하고, 흡인 장치의 작동이 정지함으로써 소편 형상 필름(A1)을 해방한다.

고정용 히터(39)는, 통전에 의해 발열하는 막대 형상의 히터로 구성되어 있고, 히터 승강 장치(도시하지 않음)의 작동에 의해, 금형(36) 내에서 상하 이동하고, 최하부에 위치하였을 때에는 하단부가 금형(36)의 하면으로부터 하방으로 돌출된다. 이로 인해, 헤드 유닛(31a, 31b)은, 기판 이동 기구(15)에 의해 반송되는 시트 형상 전자 기판(B) 및 필름 이동 기구(20)에 의해 반송되는 롤 형상 필름(A)의 상방에서 시트 형상 전자 기판(B) 및 롤 형상 필름(A)에 대하여 상대적으로 어느 방향으로도 이동할 수 있고, 각 금형(36)은, 각각 개별적으로 헤드 유닛(31a, 31b)의 다른 부분에 대하여 승강할 수 있다.

또한, 흡인용 포트(38)는, 흡인 장치의 작동에 의해 발생하는 흡인력에 의해 소편 형상 필름(A1)을 흡착하여 픽업하고, 헤드 유닛(31a, 31b)의 이동에 의해 시트 형상 전자 기판(B)의 상방으로 이동한 후에 흡인 장치에 의한 흡인이 해제됨으로써 소편 형상 필름(A1)을 해방한다. 또한, 고정용 히터(39)는, 금형(36)에 대하여 승강할 수 있고, 통전에 의해 소편 형상 필름(A1)을 가열할 수 있다. 이 가열에 의해, 소편 형상 필름(A1)을 시트 형상 전자 기판(B)에 고정할 수 있다.

또한, 헤드 유닛(31a, 31b)에는, 시트 형상 전자 기판(B)의 상면의 상태를 검출하는 기판 검출부(또는 피정착 대상물 검출 수단)로서의 기판 검출 유닛(29)이 구비되어 있다. 기판 검출 유닛(29)은, 예를 들어 CCD 카메라로 이루어지는 기판인식 카메라로 구성할 수 있고, 헤드 유닛(31a, 31b)의 측면에 고정되어, 헤드 유닛(31a, 31b)과 함께 이동한다. 이 기판 검출 유닛(29)은, 시트 형상 전자 기판(B)의 설치 위치의 확인, 시트 형상 전자 기판(B)의 상면에서의 소편 형상 필름(A1)을 고정하는 부분의 위치의 확인, 시트 형상 전자 기판(B)의 도전 패턴의 위치의 확인, 및 시트 형상 전자 기판(B)의 상면에 접합된 소편 형상 필름(A1)의 배치의 확인을 위한 것 등에 사용된다.

상태 변경 유닛(40)은, 이동 테이블 유닛(22)의 저면부(23)에서의 기판 이동 기구(15)측 부분의 길이 방향의 대략 중앙 상면에 설치되어 이동 테이블 유닛(22)과 함께 이동할 수 있고, 소편 형상 필름(A1)의 반송로에 배치된다. 이 상태 변경 유닛(40)은, 상태 변경부(41)와, 소편 형상 필름 검출부(또는 소편 부재 검출 수단)로서의 상태 검출부(42)를 구비하고 있다. 상태 변경부(41)는, 예를 들어 흡인용 포트(38)에 흡착되고, 헤드 유닛(31a, 31b)에 의해 반송되는 소편 형상 필름(A1)의 일부에 박리용의 소 필름을 부착하는 경우에 사용되는 박리용 필름 부착 장치로 구성할 수 있다.

이 박리용 필름 부착 장치는, 상하로 연장되는 통 형상의 공급부의 하방으로부터 상면을 향하여 순차적으로 소 필름을 송출하는 기구를 구비하고 있다. 상태 검출부(42)는, 예를 들어 CCD 카메라로 이루어지는 소편 형상 필름 인식 카메라로 구성할 수 있고, 흡인용 포트(38)에 흡착된 소편 형상 필름(A1)의 상태의 검출 및 확인을 위한 것 등에 사용된다. 이 경우의 소편 형상 필름(A1)의 상태란, 소편 형상 필름(A1)의 존재, 방향 및 위치에 추가하여 흡인용 포트(38)에의 흡착 상태 등이다. 또한, 소 필름은, 예를 들어 소편 형상 필름(A1)이 복수층으로 구성되어 있어, 소편 형상 필름(A1)을 시트 형상 전자 기판(B)에 부착한 후에 소편 형상 필름(A1)의 일부를 박리하는 경우 등에 박리의 개시부로서 이용된다.

필름 접합 장치(10)에는, 전술한 장치 외에, CPU, ROM 및 RAM으로 이루어지는 기억 장치, 화상 처리 장치, 입력 장치, 센서 등으로 이루어지는 각종 검출 장치, 및 필름 접합 장치(10)를 작동하기 위해 필요한 각종 장치가 구비되어 있다. 기억 장치에는, 필름 접합 장치(10)가 구비하는 각 장치를 작동시키기 위한 각종 프로그램이나, 시트 형상 전자 기판(B), 롤 형상 필름(A) 및 소편 형상 필름(A1)의 설치 위치나 형상에 관한 데이터 등의 각종 데이터가 기억되어 있다.

화상 처리 장치는, 기판 검출 유닛(29) 및 상태 검출부(42)에 접속되어 있고, 기판 검출 유닛(29) 및 상태 검출부(42)의 촬영 화상을 화상 처리하여, 화상 데이터로서 기억 장치에 기억시킨다. 입력 장치는, 기억 장치에 기억된 프로그램을 선택하기 위한 입력이나, 각종 데이터 등의 입력에 사용된다. 또한, 검출 장치는, 반송 모터 등의 각종 모터의 회전수를 검출하여, 이동 테이블(17) 및 이동 테이블 유닛(22)의 위치나, 헤드 유닛(31a, 31b)의 X, Y, Z, R 방향의 위치를 인식한다. 그리고, CPU는, 기억 장치가 기억하는 프로그램이나 각종 데이터, 입력 장치의 입력 데이터 및 검출 장치의 검출값 등에 기초하여, 필름 접합 장치(10)가 구비하는 각 장치를 작동시킨다. 이들 CPU, ROM, RAM, 화상 처리 장치, 검출 장치 등이, 필름 접합 장치(10)를 제어하는 제어 장치로서 기능한다.

이와 같이 구성된 필름 접합 장치(10)를 사용하여, 시트 형상 전자 기판(B)의 표면에 소편 형상 필름(A1)을 고정하는 경우의 처리는, CPU가, 전술한 각종 프로그램을 실행함으로써 행하여진다. 이 경우, 우선, 시트 형상 전자 기판(B)이 설치된 이동 테이블(17)을 헤드 유닛(31a, 31b)의 이동 범위의 하방으로 반송함과 함께, 이동 테이블 유닛(22)을 헤드 유닛(31a, 31b)의 이동 범위의 하방으로 반송한다. 계속해서, 롤 형상 필름(A)의 소정 부분(소편 형상 필름(A1)을 절단하는 부분)을 이동 테이블 유닛(22)의 필름 지지부(24)의 상면에 풀어낸다.

그리고, 롤 형상 필름 고정 유닛(25, 26)으로 롤 형상 필름(A)에서의 필름 지지부(24)의 상면 양단부에 위치하는 부분을 고정한 후에, 도 4에 도시한 바와 같이, 헤드 유닛(31a, 31b)의 한쪽(이하, 헤드 유닛(31a)으로서 설명함)을 롤 형상 필름(A)에서의 소편 형상 필름(A1)을 절단하는 부분의 상방에 위치시킨다. 다음에, 흡인 장치를 작동시켜 롤 형상 필름(A)의 상면의 공기를 흡인용 포트(38)로 흡인하면서 도 5a에 도시한 바와 같이 헤드 유닛(31a)을 하강시킨다. 도 5b는, 이 때의 롤 형상 필름(A)을 상방으로부터 본 상태를 도시하고 있다.

계속해서, 도 6a에 도시한 바와 같이, 금형(36)의 한쪽을 베이스부(36b)나 다른 금형(36)에 대하여 하강시켜, 금형 절삭날(37)로 롤 형상 필름(A)을 절단한다. 이 절단과 동시에, 롤 형상 필름(A)으로부터 절단된 소편 형상 필름(A1)은 흡인용 포트(38)에 흡인된다. 또한, 여기에서는, 설명의 편의상, 금형(36)의 개수는 2개로 한다. 또한, 이하, 한쪽의 금형(36)을 금형(36A), 다른 쪽의 금형(36)을 금형(36B)으로서 설명한다. 도 6b는, 도 6a에 도시한 조작에 의해 롤 형상 필름(A)으로부터 절단되는 절단 대상 부분인 소편 형상 필름(A1)을 도시하고 있다.

다음에, 도 7a에 도시한 바와 같이, 금형(36A)을 상승시키고, 금형(36B)을 하강시킨다. 이에 의해, 절단된 소편 형상 필름(A1)은 흡인용 포트(38)의 흡인에 의해 금형(36A)의 금형 절삭날(37)의 내부 상부측에 유지된 상태로 금형(36A)과 함께 상승하고, 금형(36B)의 금형 절삭날(37)은 롤 형상 필름(A)의 다른 부분으로부터 소편 형상 필름(A1)을 절단한다. 또한, 도 7b에 도시한 바와 같이, 롤 형상 필름(A)에는, 소편 형상 필름(A1)이 절단되어 취출된 후의 구멍(A3)과 소편 형상 필름(A1)의 절단선이 형성된다.

그리고, 도 8a에 도시한 바와 같이, 금형(36B)을 상승시킴으로써, 절단된 다른 한쪽의 소편 형상 필름(A1)은 금형(36B)의 흡인용 포트(38)에 흡인되어 금형(36B)의 금형 절삭날(37)의 내부 상부측에 유지된 상태로, 금형(36B)과 함께 상승한다. 이에 의해, 도 8b에 도시한 바와 같이, 롤 형상 필름(A)에는, 소편 형상 필름(A1)이 절단되어 취출된 후의 2개의 구멍(A3)이 형성된다.

다음에, 헤드 유닛(31a)은, 2개의 소편 형상 필름(A1)을 유지한 채, 상태 변경 유닛(40)의 상방으로 이동한 후에 하강하여, 상태 변경부(41)의 상면에 공급된 박리용의 소 필름(도시하지 않음)에 소편 형상 필름(A1)을 접촉시킴으로써, 소편 형상 필름(A1)에 박리용의 소 필름을 부착한다. 그리고, 상태 검출부(42)에서, 흡인용 포트(38)에 흡착된 소편 형상 필름(A1)의 상태를 확인한다. 계속해서, 헤드 유닛(31a)은, 도 9a에 도시한 바와 같이, 시트 형상 전자 기판(B)의 상방으로 이동한다. 도 9b는, 이 때의 시트 형상 전자 기판(B)의 상면의 상태를 도시하고 있다.

다음에, R 방향 구동 장치를 구동시킴으로써 헤드 유닛(31a)을 회전시켜, 금형(36A)이 유지하는 소편 형상 필름(A1)의 방향을, 시트 형상 전자 기판(B)에서의 소편 형상 필름(A1)을 접합하는 부분의 방향에 맞춘다. 시트 형상 전자 기판(B)에서의 소편 형상 필름(A1)을 접합하는 부분은, 전극 패턴의 상면이며, 표면에 소편 형상 필름(A1)을 고정함으로써 전극 패턴을 보호한다. 또한, 시트 형상 전자 기판(B)에서의 소편 형상 필름(A1)을 접합하는 부분은, 미리 기판 검출 유닛(29)에 의해 촬상되어, 화상 데이터로서 기억 장치에 기억되어 있고, 이 화상 데이터와 금형(36A)의 회전 방향의 위치나 소편 형상 필름(A1)의 방향을 비교하면서, R 방향 구동 장치가 구동한다.

다음에, 도 10a에 도시한 바와 같이, 금형(36A)이 하강하여, 소편 형상 필름(A1)을 시트 형상 전자 기판(B)의 전극 패턴에 겹친다. 이 때, 고정용 히터(39)가 하강하여, 소편 형상 필름(A1)의 소정 부분을 가압하면서 가열함으로써, 소편 형상 필름(A1)을 시트 형상 전자 기판(B)에 고정한다. 이 경우, 소편 형상 필름(A1)의 복수 개소, 예를 들어 도 10b에 도시한 바와 같이, 2군데의 열 압착점(B1)에서 소편 형상 필름(A1)을 고정하는 것이 바람직하다. 계속해서, 도 11에 도시한 바와 같이, 소편 형상 필름(A1)을 시트 형상 전자 기판(B) 상에 남긴 채 고정용 히터(39)를 상승시킴과 함께, 금형(36A)을 상승시킨다.

다음에, R 방향 구동 장치를 구동시킴으로써 헤드 유닛(31a)을 회전시켜, 금형(36B)이 유지하는 소편 형상 필름(A1)의 방향을, 시트 형상 전자 기판(B)에서의 다음의 소편 형상 필름(A1)을 접합하는 부분의 방향에 맞춘다. 그리고, 도 12a에 도시한 바와 같이, 금형(36B)이 하강하여, 소편 형상 필름(A1)을 시트 형상 전자 기판(B)의 전극 패턴에 겹친다. 이 때, 고정용 히터(39)가 하강하여, 소편 형상 필름(A1)의 소정 부분을 가압하면서 가열함으로써, 소편 형상 필름(A1)을 시트 형상 전자 기판(B)에 고정한다.

이에 의해, 도 12b에 도시한 바와 같이, 2개의 소편 형상 필름(A1)이 각각 2군데의 열 압착점(B1)에서 시트 형상 전자 기판(B)에 고정된다. 그리고, 도 13에 도시한 바와 같이, 금형(36B)을 상승시킴과 함께, 헤드 유닛(31a)을 상승시킨다. 이 때, 흡인 장치의 작동을 정지한다. 이와 같이 하여, 전술한 조작을 반복함으로써, 시트 형상 전자 기판(B)에 모든 소편 형상 필름(A1)이 부착된다. 그리고, 시트 형상 전자 기판(B)에의 소편 형상 필름(A1)의 부착이 종료되면, 새로운 시트 형상 전자 기판(B)을 이동 테이블(17)에 설치함과 함께, 롤 형상 필름(A)의 다음 부분을 이동 테이블 유닛(22)의 필름 지지부(24)의 상면에 풀어내고, 전술한 처리가 반복된다.

또한, 도 10a에 도시한 처리를 행할 때에, 이 처리 대신에 도 14에 도시한 처리를 행할 수도 있다. 즉, 도 10a에 도시한 처리에서는, 금형(36A)만을 하강시킴과 함께, 금형(36A)의 고정용 히터(39)를 하강시켜, 소편 형상 필름(A1)을 시트 형상 전자 기판(B)에 고정하고 있지만, 도 14에 도시한 바와 같이, 헤드 유닛(31a) 전체를 시트 형상 전자 기판(B)의 상면까지 하강시켜, 금형(36A)의 고정용 히터(39)를 하강시켜도 된다. 마찬가지로, 도 12a에 도시한 처리를 행할 때에, 이 처리 대신에 도 15에 도시한 처리를 행할 수도 있다.

즉, 도 12a에 도시한 처리에서는, 금형(36B)만을 하강시킴과 함께, 금형(36B)의 고정용 히터(39)를 하강시켜, 소편 형상 필름(A1)을 시트 형상 전자 기판(B)에 고정하고 있지만, 도 15에 도시한 바와 같이, 헤드 유닛(31a) 전체를 시트 형상 전자 기판(B)의 상면까지 하강시켜, 금형(36B)의 고정용 히터(39)를 하강시켜도 된다. 또한, 양쪽의 금형(36A, 36B)에서 동시에 롤 형상 필름(A)으로부터 2개의 소편 형상 필름(A1)을 절단하거나, 양쪽의 금형(36A, 36B)에서 동시에 2개의 소편 형상 필름(A1)을 시트 형상 전자 기판(B)에 고정하거나 할 수도 있다.

이와 같이, 본 실시 형태에 관한 필름 접합 장치(10)에서는, 헤드 유닛 이동 기구(30)를 구성하는 이동 기구(30a, 30b)가 각각 구비하는 Y 레일(33a, 33b)을 따라서 이동 가능한 헤드 유닛(31a, 31b)에, 개별적으로 상하 이동이 가능해진 4개의 금형(36)을 각각 설치하고 있다. 그리고, 각 금형(36)에, 각각 금형 절삭날(37), 흡인용 포트(38) 및 고정용 히터(39)를 설치하여, 헤드 유닛(31a, 31b)이 이동할 때에 4조의 금형 절삭날(37), 흡인용 포트(38) 및 고정용 히터(39)가 함께 이동하도록 하고 있다.

따라서, 필름 접합 장치(10)의 전체를 소형화할 수 있음과 함께, 헤드 유닛(31a, 31b)의 이동 범위 내에서, 롤 형상 필름(A)으로부터의 소편 형상 필름(A1)의 절단, 절단된 소편 형상 필름(A1)의 유지, 소편 형상 필름(A1)의 반송, 소편 형상 필름(A1)에의 소 필름의 부착, 소편 형상 필름(A1)의 유지 상태의 확인, 및 소편 형상 필름(A1)의 시트 형상 전자 기판(B)에의 접합의 모든 처리를 행할 수 있다. 또한, 헤드 유닛(31a, 31b)에, 각각 설치된 4개의 금형(36)이 개별적으로 상하 이동이 가능하게 되어 있기 때문에, 롤 형상 필름(A)으로부터 4개의 소편 형상 필름(A1)을 동시 또는 순서대로 절단하여 유지할 수 있음과 함께, 4개의 소편 형상 필름(A1)을 동시 또는 순서대로 시트 형상 전자 기판(B)에 접합할 수 있다.

이로 인해, 고속 처리를 행하는 경우에는, 4개의 소편 형상 필름(A1)을 동시에 절단하여 동시에 고정하여, 롤 형상 필름(A)의 낭비를 적게 하는 경우에는, 롤 형상 필름(A)에서의 각 소편 형상 필름(A1)을 절단하는 부분을 접근시키거나 절단할 때마다 헤드 유닛(31a, 31b)의 방향을 바꿈으로써, 롤 형상 필름(A)의 낭비를 적게 할 수 있다. 또한, 시트 형상 전자 기판(B)에서의 소편 형상 필름(A1)을 접합하는 부분의 배치가 변칙적인 것인 경우에는, 각 소편 형상 필름(A1)을 시트 형상 전자 기판(B)에 접합할 때마다, 소편 형상 필름(A1)의 방향을 바꿈으로써, 각 소편 형상 필름(A1)을 고정밀하게 시트 형상 전자 기판(B)에 접합할 수 있다.

즉, 개별적으로 상하 이동이 가능해진 4개의 금형(36)에, 각각 금형 절삭날(37), 흡인용 포트(38) 및 고정용 히터(39)가 설치되어 있기 때문에, 롤 형상 필름(A)으로부터 복수의 소편 형상 필름(A1)을 절단할 때에, 각 금형(36)의 회전 방향의 각도를 조절하면서 순서대로 각 소편 형상 필름(A1)을 절단할 수 있음과 함께, 각 소편 형상 필름(A1)을 고정할 때에, 각 금형(36)의 회전 방향의 각도를 조절하면서 순서대로 각 소편 형상 필름(A1)을 시트 형상 전자 기판(B)에 고정할 수 있다. 이 결과, 롤 형상 필름(A)의 낭비(롤 형상 필름 폐기부(A2))를 적게 할 수 있음과 함께, 시트 형상 전자 기판(B)에서의 소편 형상 필름(A1)을 고정하는 부분의 배치가 복잡한 경우에도 용이하게 대응할 수 있다.

또한, 기판 검출 유닛(29)과 상태 검출부(42)를 설치하였기 때문에, 기판 검출 유닛(29)에서, 시트 형상 전자 기판(B)의 설치 위치나 시트 형상 전자 기판(B)에서의 소편 형상 필름(A1)을 접합하는 부분의 위치를 검출함과 함께, 상태 검출부(42)에서, 흡인용 포트(38)에 유지된 소편 형상 필름(A1)의 방향을 검출하고, 양쪽 검출 결과를 비교함으로써, 소편 형상 필름(A1)을 시트 형상 전자 기판(B)에서의 정확한 위치에 접합할 수 있다. 또한, 상태 변경부(41)를 설치하였기 때문에, 후속 공정에서, 시트 형상 전자 기판(B)에 접합된 소편 형상 필름(A1)의 일부를 시트 형상 전자 기판(B)으로부터 박리하는 처리가 필요한 경우에, 소편 형상 필름(A1)에 박리용의 소 필름을 부착하는 처리를 행할 수 있다.

또한, 필름 지지부(24)에 설치된 롤 형상 필름(A)의 양측을 롤 형상 필름 고정 유닛(25, 26)에서 고정하기 때문에, 금형 절삭날(37)로 롤 형상 필름(A)으로부터 소편 형상 필름(A1)을 절단할 때의 처리를 정확하면서 원활하게 행할 수 있다. 또한, 금형 절삭날(37)을 톰슨형의 절단날로 구성하였기 때문에, 소편 형상 필름(A1)의 형상을 복잡한 형상으로 하여도 고정밀하게 대응할 수 있음과 함께, 금형 절삭날(37)을 저렴하게 할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 금형 절삭날(37)이 롤 형상 필름(A)으로부터 소편 형상 필름(A1)을 절단하는 처리와, 절단된 소편 형상 필름(A1)을 흡인용 포트(38)가 유지하는 처리가 동시에 행하여지기 때문에, 또한 처리 시간의 단축이 가능해진다.

b. 제2 실시 형태

도 16은, 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 필름 접합 장치가 구비하는 헤드 유닛(51)을 도시하고 있다. 이 헤드 유닛(51)에서는, 고정부(고정 수단)로서, 전술한 고정용 히터(39) 대신에 초음파 발진기(59)가 설치되어 있다. 이 초음파 발진기(59)는, 시트 형상 전자 기판(B)에 대하여 소편 형상 필름(A1)을 가압하면서 초음파를 발진함으로써, 시트 형상 전자 기판(B)에 소편 형상 필름(A1)을 고정하는 것이다. 이 헤드 유닛(51)을 구비한 필름 접합 장치의 그 이외의 부분의 구성에 대해서는, 전술한 필름 접합 장치(10)와 동일하다. 따라서, 동일 부분에 동일 부호를 기재하고 설명은 생략한다. 또한, 본 실시 형태에 관한 필름 접합 장치의 작용 효과에 대해서도, 전술한 필름 접합 장치(10)의 작용 효과와 마찬가지이다.

c. 제3 실시 형태

도 17은, 본 발명의 제3 실시 형태에 관한 필름 접합 장치가 구비하는 헤드 유닛(61)을 도시하고 있다. 이 헤드 유닛(61)에서는, 유지부(유지 수단)로서, 제1 실시 형태에서의 흡인용 포트(38) 대신에 금형(66)의 하면에 설치된 점착부로서의 점착 유지 부재(68)가 사용되고 있다. 이 점착 유지 부재(68)는 금형(66)의 하면에서의 고정용 히터(69)가 진퇴하는 개구를 제외한 부분에 설치되어 있고, 이 점착 유지 부재(68)의 하면은 점착성을 갖는 면으로 구성되어 있다. 이로 인해, 금형(66)을 하강시켜 점착 유지 부재(68)에서 소편 형상 필름(A1)을 가압함으로써, 소편 형상 필름(A1)은 점착 유지 부재(68)에 점착하여 유지된다.

이 헤드 유닛(61)을 구비한 필름 접합 장치의 그 이외의 부분의 구성에 대해서는, 전술한 제1 실시 형태에 관한 필름 접합 장치(10)와 동일하다. 따라서, 동일 부분에 동일 부호를 기재하고 설명은 생략한다. 이 헤드 유닛(61)을 사용하면, 금형(66)의 내부에 유지부를 설치하기 위한 구멍부 등을 형성할 필요가 없어지기 때문에, 금형(66) 및 유지부(유지 수단)의 구조가 간단해져, 저비용화도 도모된다. 이 실시 형태에 관한 필름 접합 장치의 그 이외의 작용 효과에 대해서는, 전술한 필름 접합 장치(10)의 작용 효과와 마찬가지이다.

d. 제4 실시 형태

도 18은, 본 발명의 제4 실시 형태에 관한 필름 접합 장치가 구비하는 헤드 유닛(71)을 도시하고 있다. 이 헤드 유닛(71)에서는, 고정부(고정 수단)로서, 제3 실시 형태에서의 고정용 히터(69) 대신에 초음파 발진기(79)가 설치되어 있다. 이 헤드 유닛(71)을 구비한 필름 접합 장치의 그 이외의 부분의 구성에 대해서는, 전술한 제3 실시 형태에 관한 필름 접합 장치와 동일하다. 따라서, 동일 부분에 동일 부호를 기재하고 설명은 생략한다. 또한, 본 실시 형태에 관한 필름 접합 장치의 작용 효과에 대해서도, 전술한 제3 실시 형태에 관한 필름 접합 장치의 작용 효과와 마찬가지이다.

e. 제5 실시 형태

도 19a는, 본 발명의 제5 실시 형태에 관한 필름 접합 장치가 구비하는 헤드 유닛(81)을 도시하고 있다. 이 헤드 유닛(81)에서는, 유지부(유지 수단)로서, 제3 실시 형태에서의 점착 유지 부재(68) 대신에 금형 절삭날(87)의 내주면에 형성된 톱날 형상 유지부(88)(도 19b 참조)가 사용되고 있다. 이 톱날 형상 유지부(88)는 금형 절삭날(87)의 내주면에 상하로 설치된 복수의 오목부와 볼록부로 이루어지는 요철면으로 구성되어 있다. 이로 인해, 금형(86)을 하강시켜 금형 절삭날(87)로 롤 형상 필름(A)으로부터 소편 형상 필름(A1)을 절단하면, 소편 형상 필름(A1)의 외주부가 톱날 형상 유지부(88)의 오목부(볼록부간)에 결합하여 소편 형상 필름(A1)은 금형 절삭날(87)에 유지된다.

이 헤드 유닛(81)을 구비한 필름 접합 장치의 그 이외의 부분의 구성에 대해서는, 전술한 제3 실시 형태에 관한 필름 접합 장치와 동일하다. 따라서, 동일 부분에 동일 부호를 기재하고 설명은 생략한다. 이 헤드 유닛(81)을 구비한 필름 접합 장치에 따르면, 유지부(유지 수단)의 구조가 더욱 간단해짐과 함께, 헤드 유닛(81)의 저비용화가 도모된다. 이 헤드 유닛(81)을 구비한 필름 접합 장치의 그 이외의 작용 효과에 대해서는, 전술한 제3 실시 형태에 관한 필름 접합 장치의 작용 효과와 마찬가지이다.

f. 제6 실시 형태

도 20은, 본 발명의 제6 실시 형태에 관한 필름 접합 장치가 구비하는 헤드 유닛(91)을 도시하고 있다. 이 헤드 유닛(91)에서는, 고정부(고정 수단)로서, 제5 실시 형태에서의 고정용 히터(69) 대신에 초음파 발진기(99)가 설치되어 있다. 이 헤드 유닛(91)을 구비한 필름 접합 장치의 그 이외의 부분의 구성에 대해서는, 전술한 제5 실시 형태에 관한 필름 접합 장치와 동일하다. 따라서, 동일 부분에 동일 부호를 기재하고 설명은 생략한다. 또한, 헤드 유닛(91)을 구비한 필름 접합 장치의 작용 효과에 대해서도, 전술한 제5 실시 형태에 관한 필름 접합 장치의 작용 효과와 마찬가지이다.

g. 그 밖의 변형예

본 발명에 관한 필름 접합 장치는, 전술한 각 실시 형태에 한정되는 것이 아니며, 적절히 변경하여 실시할 수 있다. 예를 들어, 전술한 각 실시 형태에서는, 기판 검출 유닛(29) 및 상태 검출부(42)를 CCD 카메라로 구성하고 있지만, 이 대신에 레이저 센서 등의 검출 장치를 사용하여도 된다. 또한, 전술한 실시 형태에서는, 흡인 장치의 작동을 롤 형상 필름(A)으로부터 소편 형상 필름(A1)을 절단하기 전에 개시하고, 모든 금형 절삭날(37) 등으로 소편 형상 필름(A1)을 절단한 후에 정지시키고 있지만, 필름 접합 장치(10)가 작동하고 있는 동안, 흡인 장치도 작동시켜 둘 수도 있다. 또한, 각 금형(36) 등의 흡인용 포트(38)에 각각 다른 흡인 장치를 접속할 필요가 있을 때에 개별적으로 작동시키도록 하여도 된다.

전술한 실시 형태에서는, 상태 변경부(41)를, 소편 형상 필름(A1)에 박리용의 소 필름을 부착하기 위해 사용되는 박리용 필름 부착 장치로 구성하고 있지만, 이 상태 변경부(41)는, 소편 형상 필름(A1)에 다른 부재, 액체 또는 기체를 부가하는 부가 장치, 소편 형상 필름(A1)으로부터 불필요부, 액체, 기체 또는 정전기재의 제거를 행하는 제거 장치, 헤드 유닛(31a) 등에 의해 반송되는 소편 형상 필름(A1)의 자세를 양호한 상태로 수정하는 자세 수정 장치 등으로 구성하여도 된다. 이에 따르면, 롤 형상 필름(A)으로부터 절단된 소편 형상 필름(A1)을 시트 형상 전자 기판(B)에 접합하기 전에, 소편 형상 필름(A1)에 대하여 어떠한 처리가 필요한 경우에는, 이 상태 변경부(41)에 의해 그 필요한 처리를 행할 수 있다.

상태 변경부(41)가 소 필름 이외의 부재를 부가하는 부가 장치인 경우에는, 박리용 필름 부착 장치와 마찬가지의 장치를 사용할 수 있다. 상태 변경부(41)가 액체나 기체를 부가하는 부가 장치인 경우에는, 소편 형상 필름(A1)을 시트 형상 전자 기판(B)에 접합할 때의 습윤성을 향상시켜 소편 형상 필름(A1)의 시트 형상 전자 기판(B)에의 적정한 고정이 가능하도록 할 수 있다. 또한, 상태 변경부(41)가 불필요부를 제거하는 제거 장치인 경우에는, 소편 형상 필름(A1)의 외주부에 발생한 버어나 소편 형상 필름(A1)에 부착한 이물질 등을 제거할 수 있다. 이 경우, 상태 변경부(41)로서는, 초음파를 사용한 이물질 제거 장치를 사용할 수 있다.

또한, 상태 변경부(41)가 액체, 기체 또는 정전기재를 제거하는 제거 장치인 경우에는, 소편 형상 필름(A1)에 부착하는 여분의 액체나 소편 형상 필름(A1)에 포함되는 기체나 정전기를 제거함으로써, 소편 형상 필름(A1)의 시트 형상 전자 기판(B)에의 적정한 접합을 가능하게 할 수 있다. 또한, 상태 변경부(41)가 소편 형상 필름(A1)의 자세를 수정하는 자세 수정 장치인 경우에는, 흡인용 포트(38)에 유지된 소편 형상 필름(A1)의 자세를 적정한 상태로 수정할 수 있다. 이 경우, 상태 변경부(41)를 막대 형상의 가압부 등으로 구성할 수 있다.

또한, 롤 형상 필름(A) 및 시트 형상 전자 기판(B)을 구성하는 재료로서는, 고정용 히터(39, 69)나 초음파 발진기(59) 등으로 접합(고정)이 가능한 수지 재료를 사용하는 것이 바람직하지만, 고정 방법으로서 다른 방법을 이용하는 경우에는, 수지 재료 이외의 재료를 사용할 수 있다. 예를 들어, 롤 형상 필름(A)과 시트 형상 전자 기판(B)을 접착에 의해 고정하는 경우에는, 롤 형상 필름(A) 및 시트 형상 전자 기판(B)을 구성하는 재료는 특별히 한정되지 않는다. 이 경우, 고정 수단으로서는 막대 형상의 가압부 등을 사용한다.

또한, 제5 실시 형태 및 제6 실시 형태에서는, 유지부를 금형 절삭날(87)의 내주면에 형성된 톱날 형상 유지부(88)로 구성하고, 이 톱날 형상 유지부(88)의 오목부에 소편 형상 필름(A1)의 외주부를 결합시킴으로써 소편 형상 필름(A1)을 유지하고 있지만, 이 결합 대신에 금형 절삭날(87)의 내주면에 발생하는 마찰의 유지력에 의해 소편 형상 필름(A1)을 유지할 수도 있다. 이 경우, 톱날 형상 유지부(88)는 불필요해지거나, 또는 톱날 형상이 아니라 완만한 요철면으로 구성할 수 있다. 또한, 본 발명에 관한 필름 접합 장치를 구성하는 그 이외의 각 부분의 구성에 대해서도, 적절히 변경할 수 있다.

10: 필름 접합 장치
A: 롤 형상 필름
A1: 소편 형상 필름
B: 시트 형상 전자 기판
15: 기판 이동 기구
20: 필름 이동 기구
30: 헤드 유닛 이동 기구
40: 상태 변경 유닛

Claims (22)

1. 롤 형상 필름을 풀어내는 필름 이동 기구와,
   시트 형상 전자 기판을 반송하는 기판 이동 기구와,
   상기 풀어내어진 롤 형상 필름으로부터 소편(小片) 형상 필름을 절단하고, 상기 절단한 소편 형상 필름을 상기 반송된 시트 형상 전자 기판에 접합시키는 헤드 유닛과,
   상기 헤드 유닛을 상기 풀어내어진 롤 형상 필름의 위치로부터 상기 반송된 시트 형상 전자 기판의 위치까지 이동시키는 헤드 유닛 이동 기구를 구비하고,
   상기 헤드 유닛은,
   개별적으로 상하 이동이 가능해진 복수의 금형과,
   상기 복수의 금형의 하면에 각각 설치되어 상기 롤 형상 필름에 가압됨으로써 상기 롤 형상 필름으로부터 상기 소편 형상 필름을 절단하는 절단부와,
   상기 복수의 금형에 각각 설치되어 상기 절단부에 의해 절단된 상기 소편 형상 필름을 유지하는 유지부와,
   상기 복수의 금형에 각각 설치되어 상기 유지부에 의해 유지되어 반송되는 상기 소편 형상 필름을 상기 시트 형상 전자 기판에 고정하는 고정부를 구비한 것을 특징으로 하는 필름 접합 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 헤드 유닛에 설치되어 상기 시트 형상 전자 기판의 상태를 검출하는 기판 검출부를 더 구비한 필름 접합 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 헤드 유닛의 이동로에 설치되어 상기 유지부가 유지하는 상기 소편 형상 필름의 상태를 검출하는 소편 형상 필름 검출부를 더 구비한 필름 접합 장치.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 헤드 유닛 이동 기구에 의해 반송되는 소편 형상 필름에 대하여, 부가재의 추가, 불필요재의 제거, 및 상기 소편 형상 필름의 상태의 변경 중 적어도 어느 하나를 행하는 상태 변경부를 더 구비한 필름 접합 장치.
5. 제4항에 있어서, 상기 상태 변경부는, 상기 소편 형상 필름에 소정의 부재, 액체 또는 기체를 부가하는 부가 장치, 상기 소편 형상 필름으로부터 불필요부, 액체, 기체 또는 정전기재의 제거를 행하는 제거 장치, 및 소편 형상 필름의 자세를 수정하는 자세 수정 장치 중 어느 하나인 필름 접합 장치.
6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 필름 이동 기구는, 상기 롤 형상 필름의 풀어내어진 부분을 고정하기 위한 필름 고정부를 구비한 필름 접합 장치.
7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 헤드 유닛 이동 기구는, 평행하게 배치된 한쌍의 레일을 구비하고, 각 레일마다 1개의 헤드 유닛을 이동시키도록 한 필름 접합 장치.
8. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 절단부를 톰슨형의 절단날로 구성한 필름 접합 장치.
9. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 유지부는, 흡인 장치에 접속된 흡인부, 하면이 점착성을 갖는 면으로 구성되는 점착부, 및 상기 소편 형상 필름의 외주부에 결합하는 결합부 중 어느 하나인 필름 접합 장치.
10. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 고정부는 고정용 히터 또는 초음파 발진기인 필름 접합 장치.
11. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 절단부가 상기 롤 형상 필름으로부터 상기 소편 형상 필름을 절단함과 동시에, 상기 유지부가 상기 소편 형상 필름을 유지하도록 한 필름 접합 장치.
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