KR101188364B1 - Chemical supplying system and method of the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A chemical supplying system and a supplying method thereof are provided to increase the use time of the chemical by mixing and supplying the chemical in the front end of a discharge nozzle if necessary. CONSTITUTION: A first chemical tank(120a) stores a first chemical. A second chemical tank(120b) stores a second chemical. An inline mixer(240) mixes the first chemical from the first chemical tank through a first chemical supply path with the second chemical from the second chemical tank through a second chemical supply path.

Description

약액 공급 장치 및 그 공급방법{Chemical Supplying System and Method of the Same}Chemical Supplying System and Method of Supplying the Same

본 발명은 반도체 공정을 위한 기판처리 장치에서 약액을 공급하는 장치 및그 공급방법에 관한 것으로, 약액을 탱크에서 미리 혼합하지 않고 필요시에만 토출 노즐 전단에서 혼합하여 사용함으로써 불필요한 약액의 소비를 방지하면서 약액의 사용 기간을 늘릴 수 있는 약액 공급 장치 및 그 공급방법에 관한 것이다.The present invention relates to a device for supplying a chemical liquid in a substrate processing apparatus for a semiconductor process, and a method for supplying the chemical liquid. The chemical liquid is not mixed in a tank in advance, but only mixed in front of a discharge nozzle when necessary, thereby preventing unnecessary consumption of the chemical liquid. The present invention relates to a drug supply device and a method of supplying the same, which can extend the period of use.

일반적으로, 반도체 장치는 반도체 기판으로 사용되는 실리콘 반도체 기판 상에 소정의 막을 형성하고, 그 막을 전기적 특성을 갖는 패턴으로 형성함으로써 제조된다. 패턴은 막 형성, 포토리소그래피, 식각, 이온주입, 연마 등과 같은 단위 공정들의 순차적 또는 반복적인 수행에 의해 형성된다.Generally, a semiconductor device is manufactured by forming a predetermined film on a silicon semiconductor substrate used as a semiconductor substrate and forming the film in a pattern having electrical properties. The pattern is formed by sequential or repeated performance of unit processes such as film formation, photolithography, etching, ion implantation, polishing, and the like.

이러한 각 공정에 있어서 약액이 사용될 때에는 별도의 약액 공급 장치를 통해 공정 장치에 약액이 공급된다. 이때, 해당 공정의 조건에 맞도록 약액이 공급되어야 한다. 조건이라 함은 약액 혼합비, 약액의 온도, 약액의 밀도, 점성 등을 말한다.When the chemical liquid is used in each of these processes, the chemical liquid is supplied to the process apparatus through a separate chemical liquid supply device. At this time, the chemical liquid must be supplied to meet the conditions of the process. The conditions refer to the mixing ratio of the chemical liquid, the temperature of the chemical liquid, the density of the chemical liquid, and viscosity.

그런데 종래의 약액 공급 장치에서는 2가지 이상의 약액들을 혼합하여 공급하는 경우, 혼합 탱크 내에서 그 약액들을 혼합한 후 혼합된 상태의 약액들을 약액 공급 라인을 통해 혼합 약액 사용부에 공급한다. However, in the conventional chemical liquid supplying device, when two or more chemical liquids are mixed and supplied, the chemical liquids are mixed in the mixing tank, and the mixed chemical liquids are supplied to the mixed chemical liquid using part through the chemical liquid supply line.

즉, 종래의 약액 공급 장치에서는 기판 처리 장치에 약액을 공급하기 전에 먼저 2종 이상의 약액들을 탱크 내에서 혼합한 후 공급하고 있다. That is, in the conventional chemical liquid supply apparatus, two or more chemical liquids are mixed and then supplied in a tank before the chemical liquid is supplied to the substrate processing apparatus.

그런데, 이처럼 약액들을 탱크 내에서 혼합한 후 혼합된 약액을 공용하는 경우, 약액의 사용 가능 기간(Life Time)이 저하되는 현상이 발생한다는 문제점이 있다. However, when the chemicals are mixed in a tank and then the mixed chemicals are shared, there is a problem in that a usable life time of the chemicals decreases.

또한 실제 사용되는 약액 양보다 탱크 내에서 혼합된 약액 양이 많을 경우, 약액 사용 기간 초과시 버려지는 약액으로 인해 장비 운영에 필요한 비용이 증가하게 되는 문제점이 있다. In addition, when the amount of the chemical liquid mixed in the tank than the actual amount of the chemical liquid used, there is a problem that the cost required to operate the equipment due to the chemical liquid discarded when the chemical liquid is used over the period.

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 기판처리 장치에서 사용하는 2종 이상의 약액들을 탱크에서 미리 혼합하지 않고 필요시에만 토출 노즐 전단에서 혼합하여 사용함으로써, 불필요하게 버려지는 약액의 발생을 방지하여 비용을 절감할 수 있도록 하는 데 그 목적이 있다.The present invention has been proposed to solve the above-mentioned problems of the prior art, and is unnecessaryly discarded by mixing the two or more chemical liquids used in the substrate processing apparatus in the tank at the front of the discharge nozzle only when necessary, without mixing them in advance. The purpose is to reduce the cost by preventing the occurrence of the drug solution.

또한 본 발명의 다른 목적은 약액의 사용 가능 기간이 저하되는 현상을 방지하는데 있다. In addition, another object of the present invention is to prevent the phenomenon that the usable period of the chemical liquid is lowered.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 약액 공급 장치는, 제 1 약액을 저장하는 제 1 약액 탱크, 제 2 약액을 저장하는 제 2 약액 탱크 및 제 1 약액 공급 경로를 통해 상기 제 1 약액 탱크로부터 공급받은 상기 제 1 약액과 제 2 약액 공급 경로를 통해 상기 제 2 약액 탱크로부터 공급받은 상기 제 2 약액을 혼합하여 노즐을 통해 토출하는 인라인 믹서를 포함한다.According to an embodiment of the present invention, a chemical liquid supply device may include a first chemical liquid tank storing a first chemical liquid, a second chemical liquid tank storing a second chemical liquid, and a first chemical liquid supply path. And an inline mixer configured to mix the first chemical liquid supplied from the first chemical liquid tank and the second chemical liquid supplied from the second chemical liquid tank through the second chemical liquid supply path and discharge the same through a nozzle.

본 발명의 약액 공급 장치는, 상기 제 1 약액 탱크와 상기 인라인 믹서 사이에 설치되며, 상기 제 1 약액 공급 경로를 통해 유입되는 상기 제 1 약액을 상기 인라인 믹서로 공급하거나 상기 제 1 약액 탱크로 바이패스 시키는 제 1 스위칭 밸브 및 상기 제 2 약액 탱크와 상기 인라인 믹서 사이에 설치되며, 상기 제 2 약액 공급 경로를 통해 유입되는 상기 제 2 약액을 상기 인라인 믹서로 공급하거나 상기 제 2 약액 탱크로 바이패스 시키는 제 2 스위칭 밸브를 더 포함할 수 있다.The chemical liquid supply device of the present invention is installed between the first chemical liquid tank and the in-line mixer, and supplies the first chemical liquid introduced through the first chemical liquid supply path to the in-line mixer or passes through the first chemical liquid tank. It is installed between the first switching valve and the second chemical tank and the in-line mixer to pass, and supply the second chemical liquid flowing through the second chemical liquid supply path to the in-line mixer or bypass to the second chemical tank A second switching valve may be further included.

본 발명의 약액 공급 장치에서 상기 제 1 스위칭 밸브 및 상기 제 2 스위칭 밸브는, 초기 대기 상태의 경우, 유입된 약액을 바이패스 경로로 공급하며, 상기 바이패스 경로 상에는 바이패스되는 약액의 역류를 방지하는 제 1 체크밸브가 더 포함될 수 있다.In the chemical liquid supply apparatus of the present invention, the first switching valve and the second switching valve, in the initial standby state, supply the introduced chemical liquid to the bypass path, and prevent the reverse flow of the chemical liquid bypassed on the bypass path. A first check valve may be further included.

본 발명의 약액 공급 장치는, 상기 인라인 믹서와 상기 제 1 스위칭 밸브 사이 및 상기 인라인 믹서와 상기 제 2 스위칭 밸브 사이에 각각 설치되어 상기 인라인 믹서로 공급된 약액이 스위칭 밸브로 역류하는 것을 방지하는 제 2 체크밸브를 더 포함할 수 있다.The chemical liquid supply apparatus of the present invention is provided between the inline mixer and the first switching valve and between the inline mixer and the second switching valve, respectively, to prevent the chemical liquid supplied to the inline mixer from flowing back to the switching valve. It may further include a check valve.

본 발명의 약액 공급 장치는, 약액 탱크에 저장된 약액을 토출시키는 펌프, 상기 펌프의 유량을 제어하는 제 1 유량계 및 상기 펌프의 토출 압력을 제어하는 제 1 압력센서를 더 포함할 수 있다.The chemical liquid supply apparatus of the present invention may further include a pump for discharging the chemical liquid stored in the chemical liquid tank, a first flow meter for controlling the flow rate of the pump, and a first pressure sensor for controlling the discharge pressure of the pump.

본 발명의 약액 공급 장치는, 상기 인라인 믹서로 공급되는 약액의 압력을 모니터링하는 제 2 압력센서, 상기 인라인 믹서로 공급되는 약액의 양을 조절하는 조절밸브 및 상기 조절밸브를 제어하는 유량계와 레귤레이터를 더 포함할 수 있다.The chemical liquid supply apparatus of the present invention includes a second pressure sensor for monitoring the pressure of the chemical liquid supplied to the inline mixer, a control valve for adjusting the amount of the chemical liquid supplied to the inline mixer, and a flow meter and regulator for controlling the control valve. It may further include.

본 발명의 일 실시 예에 따른 약액 공급 방법은, 제 1 약액 탱크 및 제 2 약액 탱크에 각각 제 1 약액 및 제 2 약액을 저장하는 단계, 상기 제 1 약액과 상기 제 2 약액을 각각 서로 다른 약액 공급 경로를 통해 인라인 믹서에 공급하는 단계 및 상기 인라인 믹서에서 상기 제 1 약액과 상기 제 2 약액을 혼합한 후 노즐을 통해 토출하는 단계를 포함한다.According to an embodiment of the present invention, a method of supplying a chemical liquid may include storing first and second chemical liquids in a first chemical tank and a second chemical liquid tank, respectively, wherein the first chemical liquid and the second chemical liquid are different from each other. Supplying to the inline mixer through a supply path, and mixing the first chemical liquid with the second chemical liquid in the inline mixer and then discharging the liquid through a nozzle.

본 발명의 약액 공급 방법은, 초기 대기 상태시, 상기 제 1 약액과 상기 제 2 약액을 상기 인라인 믹서에 공급하지 않고 각각 상기 제 1 약액 탱크와 상기 제 2 약액 탱크로 바이패스 시키는 단계를 더 포함할 수 있다.The chemical liquid supply method of the present invention may further include bypassing the first chemical liquid and the second chemical liquid to the first chemical liquid tank and the second chemical liquid tank, respectively, without supplying the first chemical liquid and the second chemical liquid to the in-line mixer. can do.

본 발명의 약액 공급 방법은, 상기 약액 공급 경로를 통해 공급되는 약액의 양은 유량계와 레귤레이터를 이용한 PID(Proportional Integral Derivative) 제어를 통해 제어할 수 있다.In the chemical liquid supply method of the present invention, the amount of the chemical liquid supplied through the chemical liquid supply path may be controlled through a PID (Proportional Integral Derivative) control using a flow meter and a regulator.

본 발명에 의하면, 2종 이상의 약액을 탱크에서 미리 혼합하지 않고 필요시에만 혼합하여 사용함으로써 불필요하게 버려지는 약액의 발생을 방지하여 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to reduce the cost by preventing the occurrence of unnecessary waste of the chemical liquid by mixing only two or more kinds of chemical liquid in the tank without mixing in advance if necessary.

또한 약액을 기판 처리장치의 최종 토출 노즐 직전에서 혼합하여 공급함으로써 약액의 사용 가능 기간이 저하되는 현상을 방지할 수 있는 효과가 있다.In addition, it is possible to prevent the phenomenon in which the usable period of the chemical liquid is lowered by mixing and supplying the chemical liquid just before the final discharge nozzle of the substrate processing apparatus.

또한 각 공정에 따라 적정한 양의 약액을 공급할 수 있으므로 약액 공급장치의 운영에 필요한 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다. In addition, it is possible to supply the appropriate amount of the chemical liquid according to each process has the effect of reducing the cost required for the operation of the chemical liquid supply device.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 약액 공급 장치의 구성을 간략하게 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 약액 공급 장치의 구성을 나타낸 도면.1 is a view briefly showing the configuration of a chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a view showing the configuration of a chemical liquid supply apparatus according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 보다 상세하게 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. To fully disclose the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 약액 공급 장치의 구성을 간략하게 나타낸 도면이다.1 is a view briefly showing the configuration of a chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1의 약액 공급 장치는 약액 공급부(100) 및 인라인 믹싱부(200)를 포함한다.The chemical liquid supply device of FIG. 1 includes a chemical liquid supply unit 100 and an in-line mixing unit 200.

약액 공급부(100)는, 기판 처리 장치에 공급할 약액들을 각각의 약액 소스부로부터 제공받아 저장하고 저장된 각 약액을 개별 공급 라인을 통해 인라인 믹싱부(200)에 공급한다.The chemical liquid supply unit 100 receives and stores chemical liquids to be supplied to the substrate processing apparatus from each chemical liquid source unit and supplies each stored chemical liquid to the in-line mixing unit 200 through a separate supply line.

이러한 약액 공급부(100)는, 약액 소스부(110a, 110b), 약액 탱크(120a, 120b), 약액 공급 라인(130a, 130b), 바이패스 라인(140a, 140b), 펌프(122a, 122b), 조절밸브(112a, 112b, 121a, 121b, 128a, 128b), 체크밸브(142a, 142b), 압력센서(124a, 124b, 125a, 125b), 유량계(123a, 123b, 126a, 126b) 및 레귤레이터(127a, 127b)를 포함한다.The chemical liquid supply unit 100 may include chemical liquid source units 110a and 110b, chemical liquid tanks 120a and 120b, chemical liquid supply lines 130a and 130b, bypass lines 140a and 140b, pumps 122a and 122b, Control valves 112a, 112b, 121a, 121b, 128a, 128b, check valves 142a, 142b, pressure sensors 124a, 124b, 125a, 125b, flow meters 123a, 123b, 126a, 126b and regulators 127a 127b).

약액 소스부(110a, 110b)는, 각각 외부로부터 서로 다른 약액을 제공받아 저장하고 저장된 약액을 연결된 약액 탱크(120a, 120b)에 공급한다. The chemical liquid sources 110a and 110b receive and store different chemical liquids from the outside, respectively, and supply the stored chemical liquids to the connected chemical liquid tanks 120a and 120b.

약액 탱크(120a, 120b)는, 약액 소스부(110a, 110b)로부터 공급된 약액을 저장하고 저장된 약액을 약액 공급 라인(130a, 130b)에 배출한다. The chemical liquid tanks 120a and 120b store chemical liquids supplied from the chemical liquid source parts 110a and 110b and discharge the stored chemical liquids to the chemical liquid supply lines 130a and 130b.

약액 소스부(110a, 110b)와 약액 탱크(120a, 120b)를 연결하는 약액 소스라인에는 조절밸브(112a, 112b)가 설치되어, 밸브(112a, 112b)의 온/오프 동작에 따라 약액 소스부(110a, 110b)에서 배출된 약액이 약액 탱크(120a, 120b)로 공급된다. Control valves 112a and 112b are installed in the chemical liquid source lines connecting the chemical liquid source portions 110a and 110b to the chemical liquid tanks 120a and 120b, and the chemical liquid source portions are changed according to the on / off operation of the valves 112a and 112b. The chemical liquid discharged from 110a and 110b is supplied to the chemical liquid tanks 120a and 120b.

각 약액 공급 라인(130a, 130b)에는, 약액 탱크(120a, 120b)에서 토출되는 약액의 유량과 토출 압력을 조절하는 조절밸브(121a, 121b)와 펌프(122a, 122b), 펌프(122a, 122b)의 유량을 제어하는 유량계(123a, 123b) 및 펌프(122a, 122b)의 토출 압력을 제어하는 압력센서(124a, 124b)가 설치된다.Each chemical liquid supply line 130a, 130b includes control valves 121a, 121b, pumps 122a, 122b, and pumps 122a, 122b that adjust the flow rate and discharge pressure of the chemical liquid discharged from the chemical liquid tanks 120a, 120b. Flowmeters 123a and 123b for controlling the flow rate of the pressure sensor and pressure sensors 124a and 124b for controlling the discharge pressure of the pumps 122a and 122b.

또한, 약액 공급 라인(130a, 130b)에는 인라인 믹싱부(200)에 공급되는 약액의 압력을 모니터링하는 압력센서(125a, 125b), 약액의 양을 조절하는 조절밸브(128a, 128b) 및 조절밸브(128a, 128b)를 제어하는 유량계(126a, 126b)와 레귤레이터(127a, 127b)가 설치된다.In addition, the chemical liquid supply lines 130a and 130b include pressure sensors 125a and 125b for monitoring the pressure of the chemical liquid supplied to the inline mixing unit 200, control valves 128a and 128b for adjusting the amount of the chemical liquid, and a control valve. Flowmeters 126a and 126b and regulators 127a and 127b for controlling 128a and 128b are provided.

이때, 인라인 믹싱부(200)에 공급되는 약액의 량은 유량계(126a, 126b)와 레귤레이터(127a, 127b)를 PID(Proportional Integral Derivative) 제어함으로써 설정된 공급량을 자동으로 제어할 수 있다. In this case, the amount of the chemical liquid supplied to the in-line mixing unit 200 may be automatically controlled by the PID (Proportional Integral Derivative) control of the flow meters (126a, 126b) and regulators (127a, 127b).

바이패스 라인(140a, 140b)은, 인라인 믹싱부(200)에서 약액을 혼합하여 배출하지 않는 경우, 예컨대 초기 대기 상태시 인라인 믹싱부(200)에 공급된 약액이 약액 탱크(120a, 120b)로 바이패스될 수 있도록 한다. When the bypass lines 140a and 140b do not mix and discharge the chemical liquid from the inline mixing unit 200, for example, the chemical liquid supplied to the inline mixing unit 200 in the initial standby state is transferred to the chemical liquid tanks 120a and 120b. Allow it to be bypassed.

바이패스 라인(140a, 140b) 상에는 약액의 역류를 방지하기 위한 체크밸브(142a, 142b)가 설치된다.Check valves 142a and 142b are installed on the bypass lines 140a and 140b to prevent backflow of the chemical liquid.

본 실시 예에서는 설명의 편의를 위해 2종류의 약액을 사용하는 경우를 설명하기 위해 2개의 약액 소스부(110a, 11b)와 약액 탱크(120a, 120b) 만을 도시하고 있으나, 약액 소스부와 약액 탱크의 수는 사용되는 약액의 수에 따라 증가될 수 있다.In the present embodiment, only two chemical liquid source parts 110a and 11b and chemical liquid tanks 120a and 120b are illustrated to explain the case where two types of chemical liquids are used for convenience of explanation. The number of can be increased depending on the number of chemicals used.

인라인 믹싱부(200)는, 약액 공급 라인(130a, 130b)을 통해 약액 공급부(100)로부터 서로 다른 종류의 약액들을 각각 공급받은 후, 공급받은 약액들을 혼합하여 노즐을 통해 배출하거나 약액 공급부(100)로 바이패스 시킨다.The in-line mixing unit 200 receives different types of chemical liquids from the chemical liquid supply unit 100 through the chemical liquid supply lines 130a and 130b, and then mixes the supplied chemical liquids and discharges them through the nozzle or the chemical liquid supply unit 100. Bypass

이러한 인라인 믹싱부(200)는, 유량계(210a, 210b), 스위칭 밸브(220a, 220b), 체크밸브(230a, 230b) 및 인라인 믹서(240)를 포함한다.The in-line mixing unit 200 includes flow meters 210a and 210b, switching valves 220a and 220b, check valves 230a and 230b, and inline mixer 240.

유량계(210a, 210b)는, 스위칭 밸브(220a, 220b) 전단의 약액 공급 라인(130a, 130b) 상에 설치되어 스위칭 밸브(220a, 220b)에 일정량의 약액이 공급될 수 있도록 조절한다. The flowmeters 210a and 210b are installed on the chemical liquid supply lines 130a and 130b in front of the switching valves 220a and 220b to adjust a predetermined amount of the chemical liquid to the switching valves 220a and 220b.

이러한 유량계(210a, 210b)로는 오리피스(Orifice)가 사용될 수 있다. Orifices may be used as the flow meters 210a and 210b.

스위칭 밸브(220a, 220b)는 유량계(210a, 210b)를 거쳐 유입된 약액의 공급 방향을 제어한다. The switching valves 220a and 220b control the supply direction of the chemical liquid introduced through the flow meters 210a and 210b.

즉, 스위칭 밸(220a, 220b)는 초기 대기 상태의 경우에는 유입된 약액을 바이패스 라인(140a, 140b) 측으로 공급하고, 혼합된 약액을 제공해야 하는 경우에는 유입된 약액을 인라인 믹서(240) 측으로 공급한다. That is, in the case of the initial standby state, the switching valves 220a and 220b supply the introduced chemical liquid to the bypass lines 140a and 140b, and when the mixed chemical liquid is to be provided, the inflow mixer 240 may be supplied. Supply to the side.

체크밸브(230a, 230b)는 인라인 믹서(240)에 공급된 약액이 역류하는 것을 방지한다. The check valves 230a and 230b prevent the chemical liquid supplied to the inline mixer 240 from flowing back.

즉, 체크밸브(230a, 230b)는, 서로 다른 약액들이 인라인 믹서(240)에 공급되는 경우, 인라인 믹서(240)에 공급된 서로 다른 종류의 약액이 역류하는 것을 방지하여, 인라인 믹서(240)가 아닌 다른 곳에서 서로 다른 약액들이 혼합되는 것을 방지한다. That is, the check valves 230a and 230b prevent the backflow of different kinds of chemical liquids supplied to the inline mixer 240 when different chemical liquids are supplied to the inline mixer 240. Prevents the mixing of different chemicals in different places.

인라인 믹서(240)는 유입된 서로 다른 약액들을 혼합한 후 노출을 통해 배출한다.The in-line mixer 240 mixes different chemical liquids introduced and discharges them through exposure.

도 1에 도시된 약액 공급 장치에 의한 약액 공급 방법을 간략하게 설명하면 다음과 같다.Brief description of the chemical liquid supply method by the chemical liquid supply device shown in FIG.

약액 소스부(110a)와 약액 소스부(110b)에서 공급되는 서로 다른 종류의 약액들은 각각 별도의 약액 탱크(120a, 120b)에 저장된다. Different kinds of chemical liquids supplied from the chemical liquid source unit 110a and the chemical liquid source unit 110b are stored in separate chemical liquid tanks 120a and 120b, respectively.

즉, 공급된 서로 다른 종류의 약액들은 탱크 내에서 혼합되지 않고 각각 별도의 약액 탱크(120a, 120b)에 저장된다.That is, different types of chemical liquids supplied are stored in separate chemical liquid tanks 120a and 120b without being mixed in the tank.

약액 탱크(120a, 120b)에 저장된 약액들은 각각 별도의 약액 공급 라인(130a, 130b)을 통해 스위칭 밸브(230a, 230b)에 공급된다. The chemical liquids stored in the chemical liquid tanks 120a and 120b are respectively supplied to the switching valves 230a and 230b through separate chemical liquid supply lines 130a and 130b.

이때, 약액 공급 라인(130a, 130b)에는 각각 펌프(122a, 122b), 유량계(123a, 123b, 126a, 126b, 210a, 210b) 및 압력센서(124a, 124b, 125a, 125b)가 설치되어 기 설정된 압력과 유량으로 약액이 스위칭 밸브(230a, 230b)에 공급될 수 있도록 한다.At this time, the pump liquid supply line (130a, 130b), the pump (122a, 122b), the flow meter (123a, 123b, 126a, 126b, 210a, 210b) and pressure sensors (124a, 124b, 125a, 125b) are respectively installed and set The chemical liquid can be supplied to the switching valves 230a and 230b at a pressure and a flow rate.

스위칭 밸브(230a, 230b)는, 초기 대기 상태인 경우, 즉 아직 공정이 진행되지 않아 약액을 혼합할 필요가 없는 경우에는, 유입된 약액을 바이패스 라인(140a, 140b)으로 바이패스 시킴으로써 약액이 다시 약액 탱크(120a, 120b)에 저장될 수 있도록 한다. When the switching valves 230a and 230b are in the initial standby state, that is, when the process has not yet proceeded and there is no need to mix the chemical liquids, the chemical liquids are bypassed by bypassing the introduced chemical liquids into the bypass lines 140a and 140b. Again, it can be stored in the chemical tank (120a, 120b).

반면에, 공정이 진행되어 약액을 혼합하여 배출해야 하는 경우에는 유입된 약액을 인라인 믹서(240) 측으로 공급한다.On the other hand, when the process is in progress to mix and discharge the chemical liquid is supplied to the in-line mixer 240, the introduced chemical liquid.

인라인 믹서(240)는 스위칭 밸브(220a)와 스위칭 밸브(220b)를 통해 유입된 서로 다른 종류의 약액을 혼합한 후 노즐을 통해 토출한다.The inline mixer 240 mixes different kinds of chemical liquids introduced through the switching valve 220a and the switching valve 220b and discharges the same through the nozzle.

이처럼 본 발명에서는 2종 이상의 서로 다른 약액들을 혼합하여 사용하는 경우, 약액들을 약액 탱크에서 혼합하지 않고 최종 노즈 전단의 인라인 믹서에서 약액들을 혼합하여 토출한다.As such, in the present invention, when two or more different chemical liquids are mixed and used, the chemical liquids are mixed and discharged in the in-line mixer at the front end of the final nose without mixing the chemical liquids in the chemical tank.

도 2는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 약액 공급 장치의 구성을 나타내는 도면으로서, 도 1의 약액 공급 장치 2개가 병렬 연결된 구조를 나타낸다. 2 is a view showing the configuration of a chemical liquid supply apparatus according to another embodiment of the present invention, showing a structure in which two chemical liquid supply apparatuses of FIG. 1 are connected in parallel.

즉, 도 2에 도시된 약액 공급 장치는, 하나의 메인 공급부에 2개의 인라인 믹싱부가 구비되어, 동시에 2곳의 노즐을 통해 혼합 약액을 토출할 수 있도록 구성된 약액 공급 장치이다. 이때, 인라인 믹싱부의 수는 필요에 따라 더 증가시킬 수 있다.That is, the chemical liquid supply device shown in FIG. 2 is a chemical liquid supply device provided with two in-line mixing parts in one main supply part and configured to discharge the mixed chemical liquid through two nozzles at the same time. At this time, the number of in-line mixing units may be further increased as necessary.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.It will be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the foregoing detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and the equivalents thereof are included in the scope of the present invention Should be interpreted.

100 : 약액 공급부
110a, 110b : 약액 소스부
120a, 120b : 약액 탱크
130a, 130b : 약액 공급 라인
140a, 140b : 바이패스 라인
122a, 122b : 펌프
112a, 112b, 121a, 121b, 128a, 128b : 조절밸브
142a, 142b, 230a, 230b : 체크밸브
124a, 124b, 125a, 125 : 압력센서
123a, 123b, 126a, 126b, 210a, 210b : 유량계
127a, 127b : 레귤레이터
200 : 인라인 믹싱부
220a, 220b : 스위칭 밸브
240 : 인라인 믹서100: chemical supply unit
110a, 110b: chemical source portion
120a, 120b: chemical tank
130a, 130b: chemical supply line
140a, 140b: bypass line
122a, 122b: pump
112a, 112b, 121a, 121b, 128a, 128b: regulating valve
142a, 142b, 230a, 230b: check valve
124a, 124b, 125a, 125: pressure sensor
123a, 123b, 126a, 126b, 210a, 210b: flow meter
127a, 127b: Regulator
200: inline mixing unit
220a, 220b: switching valve
240: inline mixer

Claims (10)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1 약액을 저장하는 제 1 약액 탱크와; 제 2 약액을 저장하는 제 2 약액 탱크와; 제 1 약액 공급 경로를 통해 상기 제 1 약액 탱크로부터 공급받은 상기 제 1 약액과 제 2 약액 공급 경로를 통해 상기 제 2 약액 탱크로부터 공급받은 상기 제 2 약액을 혼합하여 노즐을 통해 토출하는 인라인 믹서와; 상기 제 1 약액 탱크와 상기 인라인 믹서 사이에 설치되며, 상기 제 1 약액 공급 경로를 통해 유입되는 상기 제 1 약액을 상기 인라인 믹서로 공급하거나 상기 제 1 약액 탱크로 바이패스 시키는 제 1 스위칭 밸브와; 상기 제 2 약액 탱크와 상기 인라인 믹서 사이에 설치되며, 상기 제 2 약액 공급 경로를 통해 유입되는 상기 제 2 약액을 상기 인라인 믹서로 공급하거나 상기 제 2 약액 탱크로 바이패스 시키는 제 2 스위칭 밸브를 포함하여 이루어지는 약액 공급 장치에 있어서,
상기 제 1 스위칭 밸브 및 상기 제 2 스위칭 밸브는, 초기 대기 상태의 경우, 유입된 약액을 바이패스 경로로 공급하고,
상기 바이패스 경로 상에 설치되어 바이패스되는 약액의 역류를 방지하는 제 1 체크밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.A first chemical liquid tank for storing the first chemical liquid; A second chemical liquid tank for storing a second chemical liquid; An in-line mixer for mixing the first chemical liquid supplied from the first chemical liquid tank through a first chemical liquid supply path and the second chemical liquid supplied from the second chemical liquid tank through a second chemical liquid supply path, and discharging the liquid through a nozzle; ; A first switching valve installed between the first chemical liquid tank and the inline mixer and supplying the first chemical liquid introduced through the first chemical liquid supply path to the inline mixer or bypassing the first chemical liquid tank; A second switching valve installed between the second chemical liquid tank and the inline mixer and supplying the second chemical liquid introduced through the second chemical liquid supply path to the inline mixer or bypassing the second chemical liquid tank. In the chemical liquid supply device,
The first switching valve and the second switching valve, in the initial standby state, supplies the introduced chemical liquid to the bypass path,
And a first check valve installed on the bypass path to prevent backflow of the chemical liquid being bypassed. 제 4 항에 있어서,
상기 인라인 믹서와 상기 제 1 스위칭 밸브 사이 및 상기 인라인 믹서와 상기 제 2 스위칭 밸브 사이에 각각 설치되어, 상기 인라인 믹서로 공급된 약액이 스위칭 밸브로 역류하는 것을 방지하는 제 2 체크밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.The method of claim 4, wherein
And a second check valve disposed between the inline mixer and the first switching valve and between the inline mixer and the second switching valve, respectively, to prevent the chemical liquid supplied to the inline mixer from flowing back into the switching valve. A chemical liquid supply device, characterized in that. 제 4항에 있어서,
약액 탱크에 저장된 약액을 토출시키는 펌프;
상기 펌프의 유량을 제어하는 제 1 유량계; 및
상기 펌프의 토출 압력을 제어하는 제 1 압력센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.The method of claim 4, wherein
A pump for discharging the chemical liquid stored in the chemical liquid tank;
A first flow meter for controlling the flow rate of the pump; And
Chemical supply device further comprises a first pressure sensor for controlling the discharge pressure of the pump. 제 4항에 있어서,
상기 인라인 믹서로 공급되는 약액의 압력을 모니터링하는 제 2 압력센서;
상기 인라인 믹서로 공급되는 약액의 양을 조절하는 조절밸브; 및
상기 조절밸브를 제어하는 유량계와 레귤레이터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.The method of claim 4, wherein
A second pressure sensor for monitoring the pressure of the chemical liquid supplied to the inline mixer;
A control valve controlling an amount of the chemical liquid supplied to the inline mixer; And
The chemical liquid supply device further comprises a flow meter and a regulator for controlling the control valve. 삭제delete 삭제delete 제 1 약액 탱크 및 제 2 약액 탱크에 각각 제 1 약액 및 제 2 약액을 저장하는 단계와; 상기 제 1 약액과 상기 제 2 약액을 각각 서로 다른 약액 공급 경로를 통해 인라인 믹서에 공급하는 단계와; 상기 인라인 믹서에서 상기 제 1 약액과 상기 제 2 약액을 혼합한 후 노즐을 통해 토출하는 단계를 포함하여 이루어지는 약액 공급 방법에 있어서,
초기 대기 상태시, 상기 제 1 약액과 상기 제 2 약액을 상기 인라인 믹서에 공급하지 않고 각각 상기 제 1 약액 탱크와 상기 제 2 약액 탱크로 바이패스 시키는 단계를 더 포함하고,
상기 약액 공급 경로를 통해 공급되는 약액의 양은 유량계와 레귤레이터를 이용한 PID(Proportional Integral Derivative) 제어를 통해 제어되는 것을 특징으로 하는 약액 공급 방법.Storing the first chemical liquid and the second chemical liquid in the first chemical liquid tank and the second chemical liquid tank, respectively; Supplying the first chemical liquid and the second chemical liquid to the in-line mixer through different chemical liquid supply paths, respectively; In the chemical liquid supply method comprising the step of mixing the first chemical liquid and the second chemical liquid in the in-line mixer and then ejecting through a nozzle,
In the initial standby state, further comprising bypassing the first chemical liquid and the second chemical liquid to the first chemical liquid tank and the second chemical liquid tank, respectively, without supplying the in-line mixer,
The amount of the chemical liquid supplied through the chemical liquid supply path is controlled through the PID (Proportional Integral Derivative) control using a flow meter and a regulator.
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