KR101177223B1 - 플라즈마 클리닝 장치의 클램프 - Google Patents

Abstract

본 발명의 일 실시예는 플라즈마 클리닝 장치의 클램프에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 봉지부로 봉지된 인쇄회로기판의 경우 상기 인쇄회로기판의 양단을 그 내부에 압축스프링이 관통되도록 결합된 가압수단을 이용하여 클램핑함과 동시에 눌러줌으로써, 상기 인쇄회로기판을 수평으로 유지시킬 수 있고, 나아가 상기 인쇄회로기판의 하면의 솔더 볼과 그 하부의 공간을 최소화하여 버닝(burning) 및 솔더 볼의 손상을 방지시키고자 하는 데 있다.
이를 위해 본 발명의 일 실시예는, 플라즈마 클리닝 챔버 내에 인쇄회로기판을 클램핑하는 플라즈마 클리닝 장치의 클램프에 있어서, 상기 인쇄회로기판의 하면에는 다수의 솔더 볼(solider ball)이 소정간격으로 부착되어 있고, 그 중앙 부위에 상기 인쇄회로기판이 안착되는 안착홈이 다수 형성되고, 그 양측 부위에 상기 안착홈에 이격되어 가이드 홈이 각각 형성되는 바닥판; 상기 가이드 홈 상에 수직으로 설치된 압축스프링; 및 상기 가이드 홈 상에 상기 압축스프링이 관통되도록 결합되고, 상기 인쇄회로기판의 양단을 클램핑하는 가압수단;을 포함하며, 상기 인쇄회로기판이 상기 가압수단에 슬라이딩된 상태에서 상기 가압수단의 상부를 가압하여 상기 인쇄회로기판의 양단을 눌러줌으로써, 상기 인쇄회로기판을 수평으로 유지시킬 수 있는 플라즈마 클리닝 장치의 클램프를 개시한다.

Description

플라즈마 클리닝 장치의 클램프{CLAMPOF PLASMA CLEANING DEVICE}

본 발명은 플라즈마 클리닝 장치의 클램프에 관한 것이다.

최근, 반도체 칩의 급속한 고집적 소형화 및 고성능화 추세에 따라 전자 기기나 가전 제품들도 소형화 및 고성능화되어 가고 있으므로, 이러한 추세에 따라 반도체 패키지에 있어서도 고집적 소형화 및 고성능화된 반도체 칩의 성능이 최적하게 구현될 수 있도록 우수한 전기적 성능, 고방열성 및 입출력 단자수의 대용량화가 요구되고 있다.이러한 요구에 부응하여, 최근 TMV(Through Mold Via) 타입의 반도체 패키지가 연구 및 개발되고 있는데, 이러한 TMV 타입의 반도체 패키지는 인쇄회로기판의 상면에 다수의 솔더볼을 형성하고, 이를 덮는 봉지부를 형성하며, 이어서 레이저로 상기 솔더볼과 대응되는 봉지부의 일정 영역을 제거함으로써, 상기 봉지부를 통하여 다수의 솔더볼이 외부로 노출되도록 한 형태이다. 물론, 인쇄회로기판의 하면에는 또다른 다수의 솔더볼이 형성되어 외부 장치에 실장된다. 여기서, 상기와 같이 봉지부가 제거되어 솔더볼이 노출된 형태를 통상 TMV라고 한다.

이러한 반도체 패키지를 제조하는 데 있어서 상기 봉지부의 일정 영역이 레이저로 태워 제거됨으로써, 상기 TMV 근처에는 다량의 이물질이 잔류되고, 따라서, 이러한 TMV 반도체 패키지는 통상 플라즈마 클리닝 장치에 투입되어 이물질의 클리닝이 수행된다.

이때 플라즈마 클리닝 장치의 챔버 내에서 상기 인쇄회로기판을 고정시키는 클램프를 사용하게 된다. 그런데, 이러한 종래의 클램프에 의하면 인쇄회로기판의 양단을 단순히 하부에서 지지하는 형태로 형성되어 있기 때문에, 클램프 위에 위치된 인쇄회로기판이 하부 방향으로 휘는 경우가 많다. 즉, 상기 인쇄회로기판의 중앙 부위가 쳐지게 되어 하부에 부착된 솔더볼이 바닥면과 접촉 및 손상되고, 또한 경우에 따라 버닝(burning)되는 경우가 있다.

본 발명은 봉지부를 통하여 TMV가 형성된 인쇄회로기판의 경우 상기 인쇄회로기판의 양단을 그 내부에 압축스프링이 관통되도록 결합된 가압수단을 이용하여 클램핑함과 동시에 눌러줌으로써, 상기 인쇄회로기판을 수평으로 유지시킬 수 있고, 나아가 상기 인쇄회로기판의 하면의 솔더 볼과 그 하부의 공간을 최소화하여 버닝(burning) 및 솔더 볼의 손상을 방지할 수 있는 플라즈마 클리닝 장치의 클램프를 제공한다.

본 발명은 인쇄회로기판을 클램핑하는 플라즈마 클리닝 장치의 클램프에 있어서, 상기 인쇄회로기판의 하면에는 다수의 솔더 볼(solider ball)이 소정간격으로 부착되어 있고, 그 중앙 부위에 상기 인쇄회로기판이 안착되는 안착홈이 다수 형성되고, 그 양측 부위에 상기 안착홈에 이격되어 가이드 홈이 각각 형성되는 바닥판; 상기 가이드 홈 상에 수직으로 설치된 압축스프링; 및 상기 가이드 홈 상에 상기 압축스프링이 관통되도록 결합되고, 상기 인쇄회로기판의 양단을 클램핑하는 가압수단;을 포함하며, 상기 인쇄회로기판이 상기 가압수단에 슬라이딩된 상태에서 상기 가압수단의 상부를 가압하여 상기 인쇄회로기판의 양단을 눌러줌으로써, 상기 인쇄회로기판을 수평으로 유지시킬 수 있다.

상기 인쇄회로기판은 그 하면의 다수의 솔더 볼과 상기 안착홈의 상면이 이격되도록 상기 가압수단에 클램핑된다.

상기 안착홈의 깊이는 상기 인쇄회로기판의 하면으로부터 상기 다수의 솔더 볼의 표면까지의 두께보다 크게 형성된다.

상기 바닥판은 상기 안착홈과 상기 가이드 홈 사이에 상부 방향으로 돌출형성된 고정부를 포함한다.

상기 가이드 홈은 수직으로 형성된 홈부를 포함하고, 상기 압축스프링은 상기 홈부에 삽입될 수 있다.

상기 압축스프링은 상기 홈부에 삽입되는 고정축; 및 상기 고정축의 외주연 상에 상하방향으로 순차적으로 설치된 메인 스프링과 보조 스프링을 포함한다.

상기 가이드 홈 상부에 상기 압축스프링이 관통되도록 결합되어 그 하면이 상기 바닥판의 상부면에 접촉되는 제1 가압수단; 및 상기 제1 가압수단의 상부에 상기 압축스프링이 관통되도록 결합되어 그 하면이 상기 제1 가압수단의 상부면에 접촉되는 제2 가압수단을 포함한다.

상기 제2 가압수단은 상기 보조 스프링이 관통되도록 결합되어 그 상부를 가압하여 그 하면이 상기 제1 가압수단의 상부면에 접촉 고정되고, 상기 제1 가압수단은 상기 메인 스프링이 관통되도록 결합되어 그 상면이 상기 제2 가압수단의 하면과 접촉된 상태에서 상기 제2 가압수단의 상부를 가압하여 그 하면이 상기 바닥판의 상면과 접촉 고정된다.

상기 제1 가압수단은 상기 안착홈을 기준으로 서로 마주보는 양단에 상기 인쇄회로기판의 양단이 안착되도록 지지홈이 길이방향으로 형성되어 있다.

상기 제2 가압수단은 상기 안착홈을 기준으로 서로 마주보는 양단에 상기 제1 가압수단의 지지홈의 형상에 대응되도록 돌출형성된 돌출부가 형성되어 있다.

상기 제1 가압수단은 상기 지지홈의 상부영역이 상기 지지홈 방향으로 경사지도록 제1 경사부가 형성되어 있다.

상기 제2 가압수단은 상기 돌출부의 상부영역이 상기 돌출부 방향으로 경사지도록 제2 경사부가 형성되어 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명은, 봉지부에 TMV가 형성된 인쇄회로기판의 경우 상기 인쇄회로기판의 양단을 그 내부에 압축스프링이 관통되도록 결합된 가압수단을 이용하여 클램핑함과 동시에 눌러줌으로써, 상기 인쇄회로기판을 수평으로 유지시킬 수 있고, 나아가 상기 인쇄회로기판의 하면의 솔더 볼과 그 하부의 공간을 최소화하여 버닝(burning) 및 솔더 볼의 손상을 방지할 수 있게 된다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 클리닝 장치의 클램프를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 I-I'를 절단한 단면도이다.
도 3은 도 1의 A부분을 확대하여 나타내는 부분확대 사시도이다.
도 4a 내지 4c는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 클리닝 장치의 클램프의 동작을 설명하기 위한 도면이다.

이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 클리닝 장치의 클램프를 나타내는 사시도이다. 도 2는 도 1의 I-I'를 절단한 단면도이다. 도 3은 도 1의 A부분을 확대하여 나타내는 부분확대 사시도이다. 한편, 도 2에서는 설명의 편의를 위하여 후술하는 가압수단이 눌러진 상태와 눌러지지 않은 상태를 각각 좌우측으로 구분하여 도시하였다.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 클리닝 장치의 클램프(10)는, 플라즈마 클리닝 챔버 내에 인쇄회로기판(20)를 클램핑하는 장치로서, 인쇄회로기판(20), 바닥판(110), 압축스프링(120), 가압수단(130)을 포함한다.

상기 인쇄회로기판(20)는 대략 평평한 상면과, 상기 상면의 반대면으로서 대략 평평한 하면을 가진다. 이러한 인쇄회로기판(20)는 플라즈마 클리닝 챔버내에 삽입되어 클리닝처리되고, 그 상면에는 다수의 봉지부(210)이 설치되고, 그 하면에는 다수의 솔더 볼(220)이 부착되어 있다. 여기서, 비록 도면에 도시되어 있지는 않지만 상기 봉지부(210)에는 TMV를 통하여 다수의 상부 솔더볼이 외부로 노출되고, 이러한 노출된 상부 솔더볼이 클리닝 챔버 내에서 클리닝된다.

상기 바닥판(110)은 상면의 중앙 부위에 상기 인쇄회로기판(20)이 안착되는 안착홈(111)이 다수 형성되고, 상기 상면의 양측 부위에 상기 안착홈(111)에 이격되어 가이드 홈(112)이 각각 형성되어 있다. 또한, 상기 바닥판(110)은 상기 상면의 반대면인 하면은 대략 평평하게 형성되어 있다.

여기서, 상기 안착홈(111)의 깊이(H1)는 상기 인쇄회로기판(20)의 하면으로부터 상기 다수의 솔더 볼(220)의 표면까지의 두께보다 크게 형성된다. 이는 상기 인쇄회로기판(20)가 상기 안착홈(111)에 안착되는 때 상기 다수의 솔더 볼(220)의 외표면과 상기 안착홈(111)의 바닥면이 이격되도록 하기 위함이다.

또한, 상기 가이드 홈(112)은 수직으로 형성된 홈부(114)를 포함한다. 상기 홈부(114)에는 후술하는 압축스프링(120)의 일단이 수직으로 삽입되어 결합되게 된다.

또한, 상기 바닥판(110)은 상기 안착홈(111)과 상기 가이드 홈(112) 사이에 상부 방향으로 돌출 형성된 고정부(113)를 포함한다. 상기 고정부(113)는 상기 인쇄회로기판(20)이 후술하는 가압수단(130)에 슬라이딩 및 결합되어 클램핑되는 때, 상기 인쇄회로기판의 양단(230)을 하부에서 지지하는 역할을 수행한다. 한편, 상기 고정부(113)는 상기 안착홈(111) 방향에서의 측벽의 높이는 상기 안착홈(111)의 높이와 동일하게 형성되고, 상기 가이드 홈(112) 방향에서의 측벽의 높이는 상기 안착홈(111) 방향에서의 측벽의 높이보다는 상대적으로 크게 형성될 수 있다.

상기 압축스프링(120)은, 상기 가이드 홈(112) 상에 수직으로 설치된다. 즉, 상기 압축스프링(120)은 상기 가이드 홈(112) 상에 형성된 홈부(114)에 삽입되어 설치될 수 있다. 이러한 압축스프링(120)은 상기 홈부(114)에 삽입되는 고정축(120a)과, 상기 고정축(120a)의 외주연 상에 상하방향으로 순차적으로 설치된 메인 스프링(120b)과 보조 스프링(120c)을 포함한다. 상기 고정축(120a)은 후술하는 가압수단(130)을 관통하도록 설치된다. 또한, 상기 메인 스프링(120b)은 상기 고정축(120a)의 상부 외주연에 설치되어 후술하는 제2 가압수단(130b)의 동작에 의하여 상기 고정축(120a)의 축방향으로 움직일 수 있다. 또한, 상기 보조 스프링(120c)은 상기 고정축(120a)의 하부 외주연에 설치되어 상기 제2 가압수단(130b)의 하면이 후술하는 제1 가압수단(130a)의 상면과 접촉된 상태에서 상기 제2 가압수단(130b)의 동작에 의하여 상기 고정축(120a)의 축방향으로 움직일 수 있다.

그러나, 본 발명에서는 상기 압축스프링(120)이 메인 스프링(120b)과 보조 스프링(120c)으로 이루어진 2단의 구조에 한정하는 것은 아니고, 1단의 구조도 포함할 수 있다.

상기 가압수단(130)은 상기 가이드 홈(112) 상에 상기 압축스프링(120)이 관통되도록 결합되어 있다. 이러한 가압수단(130)은 제1 가압수단(130a)과 제2 가압수단(130b)을 포함한다. 상기 제1 가압수단(130a)은 상기 가이드 홈(112) 상부에 상기 압축스프링(120)이 관통되도록 결합된다. 또한, 상기 제2 가압수단(130b)은 상기 제1 가압수단(130a)의 상부에 상기 압축스프링(120)이 관통되도록 결합된다. 여기서, 상기 가압수단(130)은 상기 인쇄회로기판의 양단(230)이 슬라이딩되어 상기 인쇄회로기판(20)을 클램핑한다. 즉, 상기 가압수단(130)은 상기 제1 가압수단(130a)에 형성된 지지홈(131a)에 슬라이딩된 인쇄회로기판의 양단(230)을 클램핑한다.

보다 구체적으로 설명하자면, 상기 제2 가압수단(130b)은 상기 보조 스프링(120c)이 관통되도록 결합되어 그 상부를 가압하여 그 하면이 상기 제1 가압수단(130a)의 상부면에 접촉 고정된다. 또한, 상기 제1 가압수단(130a)은 상기 메인 스프링(120b)이 관통되도록 결합되어 그 상면이 상기 제2 가압수단(130b)의 하면과 접촉된 상태에서 상기 제2 가압수단(130b)의 상부를 가압하여 그 하면이 상기 바닥판(110)의 상면과 접촉 고정된다. 이때, 상기 인쇄회로기판(20)는 그 하면의 다수의 솔더 볼(220)과 상기 안착홈(111)의 상면이 이격되도록 상기 가압수단(130)에 클램핑된다.

또한, 상기 제1 가압수단(130a)은 상기 안착홈(111)을 기준으로 서로 마주보는 양단에 상기 인쇄회로기판의 양단(230)이 안착되도록 지지홈(131a)이 길이방향으로 형성되어 있다. 여기서, 상기 제1 가압수단(130a)은 상기 지지홈(131a)의 상부영역이 상기 지지홈(131a) 방향으로 경사지도록 제1 경사부(132a)가 형성되어 있다.

또한, 상기 제2 가압수단(130b)은 상기 안착홈(111)을 기준으로 서로 마주보는 양단에 상기 제1 가압수단(130a)의 지지홈(131a)의 형상에 대응되도록 돌출형성된 돌출부(131b)가 형성되어 있다. 여기서, 상기 제2 가압수단(130b)은 상기 돌출부(131b)의 상부영역이 상기 돌출부(131b) 방향으로 경사지도록 제2 경사부(132b)가 형성되어 있다. 이러한 제2 가압수단(130b)은 챔버 상부에서 눌러지는 외압에 의하여 상기 돌출부(131b)와 제2 경사부(132b)가 상기 제1 가압수단(130a)의 지지홈(131a)과 제1 경사부(131b)와 서로 맞물리게 함으로써, 상기 지지홈(131a)에 위치하는 인쇄회로기판의 양단을 눌러주고, 이를 통하여 상기 인쇄회로기판(20)가 휘지 않고 펴지게 할 수 있다.

도 4a 내지 4c는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 클리닝 장치의 클램프의 동작을 설명하기 위한 도면이다.

도 4a에 도시된 바와 같이, 인쇄회로기판(20)는 플라즈마 클리닝 챔버 내로 인입되어 제1 가압수단(130a)의 지지홈(131a) 상에 슬라이드되어 설치된다. 이때, 상기 인쇄회로기판(20)는 그 하면의 안착홈(111)의 상면과 충분한 수직공간을 유지한 상태이다.

도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 플라즈마 클리닝 챔버의 상부에 설치된 누름핀(push pin)과 같은 외압수단(P1)에 의하여 제2 가압수단(130b)의 상부가 눌러지게 된다. 이때, 상기 제2 가압수단(130b)에 관통되어 결합된 메인 스프링(120b)이 압축되어, 상기 제2 가압수단(130b)의 하면은 제1 가압수단(130a)의 상면과 접촉되어 밀착되고, 이로 인하여 상기 제2 가압수단(130b)의 돌출부(131b)와 제2 경사부(132b)와 상기 제1 가압수단(130a)의 지지홈(131a)과 제1 경사부(132a)가 서로 맞물리게 된다. 따라서, 상기 제1 가압수단(130a)의 지지홈(131a)에 설치된 인쇄회로기판의 양단(230)이 클램핑되게 된다.

도 4c에 도시된 바와 같이, 상기 플라즈마 클리닝 챔버의 상부에 설치된 누름핀(push pin)과 같은 외압수단(P2)에 의하여 제2 가압수단(130b)의 상부가 다시 눌러지게 된다. 이때, 상기 제1 가압수단(130a)에 관통되어 결합된 보조 스프링(120c)이 압축되어, 상기 제1 가압수단(130a)의 하면은 바닥판(110)의 가이드 홈(112)의 상면과 접촉되어 밀착되게 된다. 따라서, 상기 제1 가압수단(130a)은 상기 바닥판(110)과 밀착되어 고정됨과 동시에, 상기 인쇄회로기판(20)는 수평으로 펴지게 되어 상기 인쇄회로기판(20)의 하면과 상기 안착홈(111)의 상면의 이격된 상태를 유지시킬 수 있게 된다. 한편, 상기 인쇄회로기판(20)의 하면과 상기 안착홈(111)의 상면의 이격거리(H2)는 0.5mm 내지 1mm일 수 있다. 그러나, 본 발명에서는 상기 인쇄회로기판(20)의 하면과 상기 안착홈(111)의 상면의 이격거리에 다하여 한정하는 것은 아니다.

따라서, 본 발명에서는 상기와 같이 구성된 플라즈마 클리닝 장치의 클램프에 클램핑된 인쇄회로기판(20)이 상기 가압수단(130)에 슬라이딩된 상태에서 상기 가압수단(130)의 상부를 가압하여 상기 인쇄회로기판의 양단(230)을 눌러줌으로써, 상기 인쇄회로기판(20)을 수평으로 유지시킬 수 있고, 나아가 상기 인쇄회로기판(20)의 하면의 솔더 볼(220)과 그 하부의 공간을 최소화하여 버닝(burning) 및 솔더 볼(220)의 손상(damage)을 방지할 수 있게 된다.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 플라즈마 클리닝 장치의 클램프를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

10: 플라즈마 클리닝 장치의 클램프 20: 인쇄회로기판
110: 바닥판 111: 안착홈
112: 가이드 홈 113: 고정부
114: 홈부 120: 압축스프링
120a: 고정축 120b: 메인 스프링
120c: 보조 스프링 130a: 제1 가압수단
130b: 제2 가압수단 131a: 지지홈
131b: 돌출부 132a: 제1 경사부
132b: 제2 경사부 210: 봉지부봉지부
220: 솔더 볼 230: 인쇄회로기판의 양단

Claims (12)

1. 플라즈마 클리닝 챔버 내에 인쇄회로기판을 클램핑하는 플라즈마 클리닝 장치의 클램프에 있어서,
   상면의 중앙 부위에 상기 인쇄회로기판이 안착되는 안착홈이 다수 형성되고, 상면의 양측 부위에 상기 안착홈에 이격되어 가이드 홈이 각각 형성되는 바닥판;
   상기 가이드 홈 상에 수직으로 설치된 압축스프링; 및
   상기 가이드 홈 상에 상기 압축스프링이 관통되도록 결합되고, 상기 인쇄회로기판의 양단을 클램핑하는 가압수단;을 포함하며,
   상기 인쇄회로기판이 상기 가압수단에 슬라이딩되어 결합된 상태에서 상기 가압수단의 상부를 가압하여 상기 인쇄회로기판의 양단을 눌러줌으로써, 상기 인쇄회로기판을 수평으로 유지시키는 것을 특징으로 하는 플라즈마 클리닝 장치의 클램프.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 인쇄회로기판은 하면에 다수의 솔더 볼이 형성되고, 상기 솔더 볼은 상기 안착홈의 상면과 이격되도록 상기 가압수단에 클램핑되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 클리닝 장치의 클램프.
   
3. 제2항에 있어서,
   상기 안착홈의 깊이는 상기 인쇄회로기판의 하면으로부터 상기 다수의 솔더 볼의 표면까지의 두께보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 클리닝 장치의 클램프.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 바닥판은 상기 안착홈과 상기 가이드 홈 사이에 상부 방향으로 돌출형성된 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 클리닝 장치의 클램프.
   
5. 제1항에 있어서,
   상기 가이드 홈은 수직으로 형성된 홈부를 포함하고,
   상기 압축스프링은 상기 홈부에 삽입될 수 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 클리닝 장치의 클램프.
   
6. 제5항에 있어서,
   상기 압축스프링은 상기 홈부 상에 삽입되는 고정축; 및 상기 고정축의 외주연 상에 상하방향으로 순차적으로 설치된 메인 스프링과 보조 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 클리닝 장치의 클램프.
   
7. 제6항에 있어서,
   상기 가이드 홈 상부에 상기 압축스프링이 관통되도록 결합되어 그 하면이 상기 바닥판의 상부면에 접촉되는 제1 가압수단; 및
   상기 제1 가압수단의 상부에 상기 압축스프링이 관통되도록 결합되어 그 하면이 상기 제1 가압수단의 상부면에 접촉되는 제2 가압수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 클리닝 장치의 클램프.
   
8. 제7항에 있어서,
   상기 제2 가압수단은 상기 보조 스프링이 관통되도록 결합되어 그 상부를 가압하여 그 하면이 상기 제1 가압수단의 상부면에 접촉 고정되고,
   상기 제1 가압수단은 상기 메인 스프링이 관통되도록 결합되어 그 상면이 상기 제2 가압수단의 하면과 접촉된 상태에서 상기 제2 가압수단의 상부를 가압하여 그 하면이 상기 바닥판의 상면과 접촉 고정되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 클리닝 장치의 클램프.
   
9. 제8항에 있어서,
   상기 제1 가압수단은 상기 안착홈을 기준으로 서로 마주보는 양단에 상기 인쇄회로기판의 양단이 안착되도록 지지홈이 길이방향으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 클리닝 장치의 클램프.
   
10. 제9항에 있어서,
    상기 제2 가압수단은 상기 안착홈을 기준으로 서로 마주보는 양단에 상기 제1 가압수단의 지지홈의 형상에 대응되도록 돌출 형성된 돌출부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 클리닝 장치의 클램프.
    
11. 제10항에 있어서,
    상기 제1 가압수단은 상기 지지홈의 상부영역이 상기 지지홈 방향으로 경사지도록 제1 경사부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 클리닝 장치의 클램프.
    
12. 제11항에 있어서,
    상기 제2 가압수단은 상기 돌출부의 상부영역이 상기 돌출부 방향으로 경사지도록 제2 경사부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 클리닝 장치의 클램프.

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