KR101155305B1 - Screen printer - Google Patents

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KR101155305B1 KR1020100058011A KR20100058011A KR101155305B1 KR 101155305 B1 KR101155305 B1 KR 101155305B1 KR 1020100058011 A KR1020100058011 A KR 1020100058011A KR 20100058011 A KR20100058011 A KR 20100058011A KR 101155305 B1 KR101155305 B1 KR 101155305B1
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Abstract

본 발명은 웨이퍼를 지지하기 위한 인쇄 테이블과, 상기 인쇄 테이블의 상측에 설치되는 스크린과, 상기 스크린의 상측에서 이동 가능하게 구성되며 상기 스크린을 가압하면서 이동함에 따라 상기 웨이퍼에 잉크를 전사하는 스퀴지, 및 상기 인쇄 테이블의 일측에 구비되며, 상기 스퀴지가 상기 웨이퍼의 외측 영역에서 상기 웨이퍼 위로 진입할 때 상기 스퀴지의 단부의 수평 이동을 가이드하는 가이드부를 포함하는 스크린 프린터에 관한 것으로서, 스퀴징시 웨이퍼의 파손을　방지할 수 있는 스크린 프린터의 구조를 제공하기 위한 것이다.The present invention provides a printing table for supporting a wafer, a screen installed on an upper side of the printing table, a squeegee configured to be movable above the screen, and transferring ink onto the wafer as the screen moves while pressing the screen. And a guide part provided at one side of the printing table and configured to guide horizontal movement of an end portion of the squeegee when the squeegee enters the wafer from an outer region of the wafer. It is to provide a structure of a screen printer that can prevent damage.

Description

스크린 프린터{SCREEN PRINTER}Screen Printer {SCREEN PRINTER}

본 발명은　스퀴징시 웨이퍼의 파손을　방지할 수 있는 구조를 갖는 스크린 프린터에 관한 것이다.The present invention relates to a screen printer having a structure that can prevent the damage of the wafer during wet squeezing.

일반적으로 스크린 프린터라 함은 잉크를 스크린에 통과시켜 피인쇄물에 원하는 패턴을 전사하기 위한 장치를 말하며, 이는 기판의 회로 배선 형성, 디스플레이 패널의 전극 형성, 태양전지의 전극 형성 등 다양한 분야에 활용되고 있다.In general, a screen printer refers to a device for transferring ink through a screen to transfer a desired pattern onto a printed object, which is used in various fields such as circuit wiring of a substrate, electrode formation of a display panel, and electrode formation of a solar cell. have.

도 1은 일반적인 스크린 프린터의 구조를 나타내고 있으며, 도 2는 스크린 프린터를 이용한 인쇄 과정을 개략적으로 나타내고 있다.1 illustrates the structure of a general screen printer, and FIG. 2 schematically illustrates a printing process using a screen printer.

도 1을 참조하면, 스크린 프린터는 본체(10), 스크린(30), 및 프린트 헤드(20) 등을 포함한다.Referring to FIG. 1, the screen printer includes a main body 10, a screen 30, a print head 20, and the like.

본체(10)에는 피인쇄물인 웨이퍼(40,wafer)를 지지하기 위한 인쇄 테이블(50)이 설치되고, 인쇄 테이블(50)의 상측에는 스크린(30, 또는 제판)이 설치된다. The main body 10 is provided with a printing table 50 for supporting a wafer 40 as a to-be-printed object, and a screen 30 or plate making is provided above the printing table 50.

프린트 헤드(20)는 스크린(30) 위에서 이동 가능하게 구성된다. 프린터 헤드(20)는 본체(10)에 수평 이동 및 상하 이동 가능하게 설치될 수 있다. 프린트 헤드(20)는 이송 유닛(25)에 의해 스크린(30) 위를 수평 이동하며, 모터 등의 구동 유닛에 의해 상하로 구동될 수 있다.The print head 20 is configured to be movable on the screen 30. The printer head 20 may be installed in the main body 10 so as to be movable horizontally and vertically. The print head 20 horizontally moves on the screen 30 by the transfer unit 25, and may be driven up and down by a drive unit such as a motor.

프린터 헤드(20)는 스크린(20)을 가압하면서 이동하는 스퀴지(21,squeege)와, 스크린(30) 상에 잉크를 펼치기 위한 스크레이퍼(23,scraper) 등을 구비한다. The printer head 20 includes a squeegee 21 that moves while pressing the screen 20, and a scraper 23 for spreading ink on the screen 30.

작업자는 스크린(30) 위에 잉크를 도포하고, 스크레이퍼(23)가 스크린(30)을 이동하여 스크린(30) 상에 잉크를 펼치게 된다. 다음으로, 도 2에 도시된 바와 같이 스퀴지(21)는 스크린(30)을 가압하면서 스퀴지(21)를 웨이퍼(40)의 일측으로부터 타측으로 이동하게 된다. 스크린(30)은 스크린 프레임(121)에 의해 지지되는 구조를 가지며, 스퀴지(21)에 의해 가압됨에 따라 변형되어 웨이퍼(40)에 밀착되게 된다. 스퀴지(21)의 이동에 따라 스크린(30) 위의 잉크가 스크린(30)을 통과하여 웨이퍼(40)로 전사되게 되며, 이에 따라 웨이퍼(40)에 원하는 패턴이 형성되게 되는 것이다.The operator applies ink on the screen 30, and the scraper 23 moves the screen 30 to spread the ink on the screen 30. Next, as shown in FIG. 2, the squeegee 21 moves the squeegee 21 from one side of the wafer 40 to the other side while pressing the screen 30. The screen 30 has a structure supported by the screen frame 121 and is deformed as it is pressed by the squeegee 21 to be in close contact with the wafer 40. As the squeegee 21 moves, ink on the screen 30 passes through the screen 30 to be transferred to the wafer 40, thereby forming a desired pattern on the wafer 40.

도 3은 스크린 프린터에 안착된 웨이퍼(40)의 가장자리 부분을 확대한 도면이다.3 is an enlarged view of an edge portion of the wafer 40 seated in the screen printer.

도 3을 참조하면, 웨이퍼(40)와 인쇄 테이블(50)의 사이, 즉, 웨이퍼(40)의 가장자리 부분에는 웨이퍼(40)의 두께만큼의 단차가 형성되게 된다. 이러한 단차로 인하여, 스퀴지(21)가 웨이퍼의 외측 영역, 즉 인쇄 테이블에서 웨이퍼(40)의 위로 진입할 때 스퀴지(21)의 단부가 웨이퍼(40)의 가장자리를 타고 넘어가게 된다. 이 때, 스퀴지(21)의 인쇄압이 웨이퍼(40)의 가장자리에 모두 실리게 되는 바, 이는 웨이퍼의 일부가 부서지거나 크랙이 발생하는 등 웨이퍼(40)의 파손을 야기한다. Referring to FIG. 3, a step corresponding to the thickness of the wafer 40 is formed between the wafer 40 and the printing table 50, that is, at an edge portion of the wafer 40. This step causes the end of the squeegee 21 to ride over the edge of the wafer 40 when the squeegee 21 enters the outer region of the wafer, ie above the wafer 40 in the print table. At this time, all of the printing pressure of the squeegee 21 is loaded on the edge of the wafer 40, which causes breakage of the wafer 40, such as cracking or cracking of a portion of the wafer.

웨이퍼(40)는 취성이 강하여 작은 힘에도 쉽게 파손되며, 최근 인쇄공정에 사용되는 웨이퍼(40)의 두께가 갈수록 얇아지고 있는 경향에 따라 웨이퍼(40)의 두께가 얇아질수록 상대적으로 웨이퍼(40)의 파손율이 증가하게 될 것이다. 이에 따라, 웨이퍼(40)의 두께 감소에도 불구하고 웨이퍼(40)의 파손율을 감소시킬 수 있는 구조가 요구되고 있다.The wafer 40 is brittle and easily broken even with a small force, and as the thickness of the wafer 40 becomes thinner as the thickness of the wafer 40 used in the printing process becomes thinner, the wafer 40 becomes relatively thinner. ) Will increase the failure rate. Accordingly, there is a demand for a structure capable of reducing the breakage rate of the wafer 40 despite the reduction in the thickness of the wafer 40.

본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로서, 스퀴징시 스퀴지의 수평 이동을 가이드하는 구조를 통해 스퀴징시 웨이퍼의 파손을　방지할 수 있는 구조를 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above, and is intended to provide a structure that can prevent breakage of a wafer during squeegeeing through a structure that guides horizontal movement of the squeegee during squeegeeing.

상기한 과제를 실현하기 위해 본 발명은 웨이퍼를 지지하기 위한 인쇄 테이블과, 상기 인쇄 테이블의 상측에 설치되는 스크린과, 상기 스크린의 상측에서 이동 가능하게 구성되며 상기 스크린을 가압하면서 이동함에 따라 상기 웨이퍼에 잉크를 전사하는 스퀴지, 및 상기 인쇄 테이블의 일측에 구비되며, 상기 스퀴지가 상기 웨이퍼의 외측 영역에서 상기 웨이퍼 위로 진입할 때 상기 스퀴지의 단부의 수평 이동을 가이드하는 가이드부를 포함하는 스크린 프린터를 개시한다.In order to realize the above object, the present invention provides a printing table for supporting a wafer, a screen provided on the upper side of the printing table, and a moveable upper side of the screen, and the wafer is moved while pressing the screen. And a squeegee for transferring ink to the printing table, and a guide part provided at one side of the printing table and for guiding a horizontal movement of an end of the squeegee when the squeegee enters the wafer from an outer region of the wafer. do.

상기 인쇄 테이블의 상면은 상기 웨이퍼의 크기에 대응되는 면적을 가지며, 상기 가이드부는 상기 테이블의 사이드에 설치된 가이드 테이블로서 구현 가능하다여기서, 상기 가이드 테이블의 상면은 상기 웨이퍼의 상면과 동일 평면을 이룰 수 있다.The upper surface of the printing table has an area corresponding to the size of the wafer, and the guide portion may be implemented as a guide table installed on the side of the table. Here, the upper surface of the guide table may be coplanar with the upper surface of the wafer. have.

상기 가이드 테이블에는 상기 가이드 테이블을 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동 유닛이 더 구비될 수 있다.The guide table may further include a horizontal moving unit for moving the guide table in a horizontal direction.

상기 수평 이동 유닛은 상기 가이드 테이블의 하측에 설치되는 지지 플레이트와, 상기 지지 플레이트와 가이드 테이블의 사이에 설치되며 상기 가이드 테이블을 직선 구동시키는 리니어 구동부를 포함할 수 있다.The horizontal moving unit may include a support plate installed below the guide table, and a linear drive unit installed between the support plate and the guide table to linearly drive the guide table.

상기 인쇄 테이블 또는 가이드 테이블에는 상기 웨이퍼의 두께에 따라 상기 인쇄 테이블에 대한 가이드 테이블의 상대 높이를 조절하는 높이 조절 유닛이 더 구비될 수 있다.The printing table or the guide table may further include a height adjusting unit that adjusts a relative height of the guide table with respect to the printing table according to the thickness of the wafer.

상기 가이드부는 상기 인쇄 테이블의 외곽을 한정하는 프레임과, 상기 프레임에서 내측 방향으로 연장되며 상기 웨이퍼의 외곽을 한정하는 홀을 갖는 시트를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 프레임에는 상기 프레임을 상하 방향으로 이동시키는 프레임 구동부가 더 구비될 수 있다.The guide part may include a frame defining an outline of the printing table and a sheet extending inwardly from the frame and having a hole defining an outline of the wafer. Here, the frame may further include a frame driving unit for moving the frame in the vertical direction.

상기와 같은 구성의 본 발명에 의하면, 스퀴징시 스퀴지 단부의 수평 이동을 가이드하는 가이드부를 구비함으로써 웨이퍼 가장자리의 파손을　방지할 수 있다. According to the present invention having the above-described configuration, by providing the guide portion for guiding the horizontal movement of the squeegee end during squeegeeing, it is possible to prevent damage to the wafer edge.

또한, 본 발명은 높이 조절 유닛과 수평 이동 유닛을 추가적으로 구비함으로써 다양한 두께 및 크기의 웨이퍼에 가이드부를 사용하도록 할 수 있다.In addition, the present invention may further include a height adjusting unit and a horizontal moving unit so that the guide part may be used for wafers having various thicknesses and sizes.

도 1은 일반적인 스크린 프린터의 구조를 나타내는 사시도.
도 2는 도 1의 스크린 프린터를 이용한 인쇄 과정을 개략적으로 나타낸 개념도.
도 3은 스크린 프린터에 안착된 웨이퍼의 가장자리 부분을 확대한 확대도.
도 4은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린 프린터의 구조를 개념적으로 보인 개념도.
도 5 및 6은 도 4에 도시된 스크린 프린터의 평면도들.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 스크린 프린터를 보인 개념도.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 스크린 프린터의 개념도.
도 9는 도 8에 도시된 가이드부의 평면도.1 is a perspective view showing the structure of a general screen printer.
2 is a conceptual diagram schematically showing a printing process using the screen printer of FIG.
3 is an enlarged view illustrating an edge portion of a wafer seated in a screen printer;
4 is a conceptual view conceptually showing the structure of a screen printer according to an embodiment of the present invention;
5 and 6 are plan views of the screen printer shown in FIG.
7 is a conceptual view illustrating a screen printer according to another embodiment of the present invention.
8 is a conceptual diagram of a screen printer according to another embodiment of the present invention.
9 is a plan view of the guide unit shown in FIG. 8;

이하, 본 발명과 관련된　스크린 프린터에 대하여 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다. Hereinafter, a screen printer according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린 프린터의 구조를 개념적으로 보인 개념도이며, 도 5 및 6은 도 4에 도시된 스크린 프린터의 평면도들이다.4 is a conceptual view showing the structure of a screen printer according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 5 and 6 are plan views of the screen printer shown in FIG.

도 4 를 참조하면, 본 발명과 관련된 스크린 프린터는 인쇄 테이블(110), 스크린(120), 스퀴지(130), 가이드부를 포함한다.Referring to FIG. 4, a screen printer related to the present invention includes a print table 110, a screen 120, a squeegee 130, and a guide part.

인쇄 테이블(110)은 웨이퍼(140)를 지지하는 기능을 하며, 인쇄시 웨이퍼(140)는 인쇄 테이블(110)에 고정되게 된다. 본 실시예에 따르면, 인쇄 테이블(110)의 상면은 웨이퍼(140)의 크기에 대응되는 면적을 갖는다.The print table 110 functions to support the wafer 140, and when printed, the wafer 140 is fixed to the print table 110. According to the present embodiment, the upper surface of the print table 110 has an area corresponding to the size of the wafer 140.

스크린(120)은 인쇄 테이블(110)의 상측에 설치되며, 인쇄하고자 하는 패턴을 구비한다. 인쇄시 잉크는 스크린(120)의 패턴을 통과하여 웨이퍼(140)로 전사되게 된다. 스크린(120)은 스크린 프레임(121)에 의해 지지되어 있으며, 스크린 프레임(121)은 스크린 프린터의 본체(10, 도 1 참조) 내에 고정 설치되게 된다. The screen 120 is installed above the printing table 110 and has a pattern to be printed. In printing, the ink passes through the pattern of the screen 120 and is transferred to the wafer 140. The screen 120 is supported by the screen frame 121, and the screen frame 121 is fixedly installed in the main body 10 of the screen printer (see FIG. 1).

스퀴지(130)는 스크린(120)의 상측에서 이동 가능하게 구성되며, 스퀴지(130)의 이동은 앞서 살펴본 바와 같이 프린터 헤드(20, 도 1 참조)의 이동에 의해 이루어진다. 스퀴지(130)는 스크린(120)을 가압하면서 이동하며, 그에 따라 스크린(120) 위의 잉크가 웨이퍼(140)로 전사되어 인쇄가 이루어진다.Squeegee 130 is configured to be movable on the upper side of the screen 120, the movement of the squeegee 130 is made by the movement of the printer head 20 (see Fig. 1) as described above. The squeegee 130 moves while pressing the screen 120, so that the ink on the screen 120 is transferred to the wafer 140 to print.

가이드부는 인쇄 테이블(110)의 일측에 구비되며, 스퀴지(130)가 웨이퍼(140)의 외측 영역에서 웨이퍼(140)의 위로 진입할 때 스퀴지(130) 단부(끝단)의 수평 이동을 가이드하는 구성을 갖는다. The guide part is provided at one side of the printing table 110 and configured to guide the horizontal movement of the end (end) of the squeegee 130 when the squeegee 130 enters the wafer 140 in the outer region of the wafer 140. Has

본 실시예에 따르면, 가이드부는 인쇄 테이블(110)의 사이드에 설치된 가이드 테이블(150)의 형태를 갖는다.According to this embodiment, the guide portion has the form of a guide table 150 provided on the side of the printing table 110.

가이드 테이블(150)의 상면은 인쇄 테이블(110)로부터 웨이퍼(140)의 두께만큼 높은 위치에 형성되며, 그에 따라 가이드 테이블(150)의 상면은 웨이퍼(140)의 상면과 동일 평면을 이루게 된다. 스퀴지(130)는 가이드 테이블(150) 위를 가압하면서 이동한 후 웨이퍼(140)의 위로 진입하게 되며, 이 때 가이드 테이블(150)과 웨이퍼(140)의 상면은 동일 평면을 이루는 바, 스퀴지(130)의 단부는 웨이퍼(140)로 진입시 수평 이동 할 수 있게 된다. 따라서, 웨이퍼(140)의 가장자리에 강한 인쇄압이 걸리는 문제가 발생하지 않는다.The upper surface of the guide table 150 is formed at a position as high as the thickness of the wafer 140 from the printing table 110, so that the upper surface of the guide table 150 is coplanar with the upper surface of the wafer 140. The squeegee 130 moves while pressing on the guide table 150 and enters the wafer 140. At this time, the top surface of the guide table 150 and the wafer 140 form the same plane bar. An end portion of the 130 may move horizontally when entering the wafer 140. Therefore, a problem that strong printing pressure is applied to the edge of the wafer 140 does not occur.

도 5 및 6은 가이드 테이블(150)의 형태들을 두 가지로서 예시하고 있다. 다만, 가이드 테이블(150)은 이러한 형태들에 한정되지 않고 다양한 형태를 가질 수 있다.5 and 6 illustrate the shapes of the guide table 150 in two ways. However, the guide table 150 is not limited to these forms and may have various forms.

이들 도면을 참조하면, 가이드 테이블(150)은 스퀴지(130)의 진행 방향을 따라 웨이퍼(140)의 전단과 후단에 각각 배치되는 제1 및 제2가이드 테이블(151.152)을 포함할 수 있다. 인쇄방향, 즉 스퀴지(130)의 진행 방향을 도면의 좌측에서 우측 방향으로 가정할 경우, 제1가이드 테이블(151)은 스퀴지(130)의 진입시 스퀴지(130) 단부의 수평 이동을 가이드하며, 제2가이드 테이블(152)은 스퀴지(130)가 웨이퍼(140)의 외부로 이탈할 때 그 수평 이동을 가이드하는 기능을 한다. 아울러, 제2가이드 테이블(152)은 스퀴지(130)가 역방향(도면의 우측에서 좌측 방향)으로 인쇄 공정을 수행할 때 제1가이드 테이블(151)과 같은 기능을 수행하게 될 것이다.Referring to these drawings, the guide table 150 may include first and second guide tables 151.152 disposed at the front and rear ends of the wafer 140 along the advancing direction of the squeegee 130. Assuming that the printing direction, that is, the advancing direction of the squeegee 130 from left to right in the drawing, the first guide table 151 guides the horizontal movement of the end of the squeegee 130 when the squeegee 130 enters. The two guide table 152 functions to guide the horizontal movement of the squeegee 130 when it is moved out of the wafer 140. In addition, the second guide table 152 may perform the same function as the first guide table 151 when the squeegee 130 performs the printing process in the reverse direction (right to left in the drawing).

한편, 웨이퍼(140)의 양 측면에는 제3 및 제4가이드 테이블(153,154)이 추가로 설치되는 것도 가능하다. 이는 스퀴지(130)의 폭(진행방향과 수직한 방향의 길이)이 웨이퍼(140)의 폭보다 큰 경우, 웨이퍼(140)의 측면 가장자리 부분이 파손되는 것을 방지하기 위한 구조이다.Meanwhile, the third and fourth guide tables 153 and 154 may be further provided on both side surfaces of the wafer 140. This is a structure for preventing the side edge portion of the wafer 140 from being damaged when the width of the squeegee 130 (length in the direction perpendicular to the traveling direction) is larger than the width of the wafer 140.

이러한 가이드 테이블(150)에는 가이드 테이블(150)을 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 이동 유닛(160)이 추가적으로 설치될 수 있다. 본 실시예는 이러한 수평 이동 유닛(160)이 제1 내지 제4가이드 테이블(151 내지 154)에 각각 설치된 것을 예시하고 있다.The guide table 150 may be further provided with a horizontal moving unit 160 for moving the guide table 150 in the horizontal direction. This embodiment illustrates that the horizontal moving unit 160 is installed in the first to fourth guide tables 151 to 154, respectively.

본 실시예에 따르면, 수평 이동 유닛(160)은 지지 플레이트(161)와, 리니어 구동부(162)를 포함할 수 있다. According to the present embodiment, the horizontal moving unit 160 may include a support plate 161 and a linear driver 162.

지지 플레이트(161)는 스크린 프린터의 본체(10, 도 1 참조) 내의 지지구조에 의해 지지되며, 가이드 테이블(150)의 하측에 설치된다.The support plate 161 is supported by a support structure in the main body 10 (see FIG. 1) of the screen printer, and is installed below the guide table 150.

리니어 구동부(162)는 지지 플레이트(161)와 가이드 테이블(150)의 사이에 설치되며, 가이드 테이블(150)을 직선 구동시킨다. 리니어 구동부(162)는 예를 들어 가이드 테이블(150)을 기설정된 두 지점으로 이동시키는 에어 실린더의 형태로 구현될 수 있다. 이러한 경우, 가이드 테이블(150)을 외측 방향으로 이동시킨 상태에서 웨이퍼(140)를 인쇄 테이블(110)에 안착시킨 후 가이드 테이블(150)을 내측 방향으로 이동시켜 웨이퍼(140)를 견고하게 지지하게 할 수도 있다. The linear driving unit 162 is installed between the support plate 161 and the guide table 150 to linearly drive the guide table 150. The linear driver 162 may be implemented, for example, in the form of an air cylinder for moving the guide table 150 to two predetermined points. In this case, the wafer 140 is seated on the printing table 110 while the guide table 150 is moved outward, and then the guide table 150 is moved inward to firmly support the wafer 140. You may.

또한, 리니어 구동부(162)는 가이드 테이블(150)을 임의의 위치로 이동시킬 수 있는 리니어 모터의 형태로 구현되거나, 회전 모터의 회전력을 직선운동으로 변환하는 구조(예를 들어, 볼 스크루)로 구현 가능하다. 이러한 경우, 가이드 테이블(150)을 다양한 위치에 고정할 수 있는 바, 다양한 크기의 웨이퍼(140)가 인쇄 테이블(110)에 안착되더라도 웨이퍼(140)의 크기에 따라 가이드 테이블(150)의 위치를 다양하게 조절할 수 있다.In addition, the linear driving unit 162 may be implemented in the form of a linear motor capable of moving the guide table 150 to an arbitrary position, or as a structure (for example, a ball screw) that converts the rotational force of the rotating motor into linear motion. It can be implemented. In this case, the guide table 150 may be fixed at various positions. Even though the wafer 140 having various sizes is seated on the printing table 110, the guide table 150 may be positioned according to the size of the wafer 140. Various adjustments are possible.

가이드 테이블(150)과 지지 플레이트(161) 사이에는 가이드 테이블(150)의 직선 이동을 가이드 하기 위한 리니어 가이드부(163)가 추가적으로 구비될 수 있다. 리니어 가이드부(163)는 지지 플레이트(161)에 고정되는 슬라이드 레일(164)와, 가이드 테이블(150)의 하면에 고정되어 슬라이드 레일(164)에 슬라이드 가능하게 결합되는 슬라이드 부재(165)를 포함할 수 있다.A linear guide part 163 may be additionally provided between the guide table 150 and the support plate 161 to guide the linear movement of the guide table 150. The linear guide part 163 includes a slide rail 164 fixed to the support plate 161 and a slide member 165 fixed to the lower surface of the guide table 150 and slidably coupled to the slide rail 164. can do.

한편, 본 발명의 스크린 프린터는 인쇄 테이블(110)에 대한 가이드부의 상대 높이를 조절하기 위한 높이 조절 유닛(140)을 추가적으로 구비할 수 있다. Meanwhile, the screen printer of the present invention may further include a height adjusting unit 140 for adjusting the relative height of the guide unit with respect to the printing table 110.

그 예로서, 도 4는 인쇄 테이블(110)에 인쇄 테이블(110)에 대한 가이드 테이블(150)의 상대 높이를 조절하기 위한 높이 조절 유닛(170)이 설치된 것을 예시하고 있다. 본 실시예에 따르면, 높이 조절 유닛(170)은 인쇄 테이블(110)의 하면에 설치되며, 스크린 프린터의 본체 내에 고정되게 된다. 높이 조절 유닛(170)은 인쇄 테이블(110)을 상하 방향으로 구동시킬 수 있는 구조로서, 수평 이동 유닛(160)과 같이 리니어 모터 또는 회전 모터의 회전력을 직선운동으로 변환하는 구조(예를 들어, 볼 스크루)로 구현되거나 조절 나사(171) 등을 조작하여 수동으로 높이를 조절하는 랩-잭(Lab-Jack)과 같은 구조로서 구현 가능하다 할 것이다.As an example, FIG. 4 illustrates that the height adjustment unit 170 is installed in the print table 110 to adjust the relative height of the guide table 150 with respect to the print table 110. According to this embodiment, the height adjustment unit 170 is installed on the lower surface of the print table 110, it is fixed in the body of the screen printer. The height adjusting unit 170 is a structure capable of driving the printing table 110 in the vertical direction, such as a horizontal moving unit 160, a structure for converting the rotational force of the linear motor or the rotary motor into a linear motion (for example, Ball screw) or as a structure such as a lab-jack for manually adjusting the height by manipulating the adjusting screw 171 or the like.

높이 조절 유닛(170)은 인쇄 테이블(110)의 높이를 조절함으로써 가이드부에 다양한 두께의 웨이퍼(140)를 적용시킬 수 있다. 즉, 다른 두께의 웨이퍼가 인쇄 테이블(110)에 안착되더라도, 그에 맞추어 인쇄 테이블의 높이를 조절하기만 하면 된다. 여기서, 웨이퍼(140)의 두께는 200 마이크로 미터의 이하를 갖는 바, 높이 조절 유닛(170)은 매우 미세한 높이를 조절할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다 할 것이다.The height adjusting unit 170 may apply the wafer 140 having various thicknesses to the guide part by adjusting the height of the printing table 110. That is, even if wafers of different thickness are seated on the print table 110, the height of the print table may be adjusted accordingly. Here, since the thickness of the wafer 140 has a thickness of 200 micrometers or less, the height adjusting unit 170 may be preferably configured to adjust a very fine height.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 스크린 프린터를 보인 개념도이다.7 is a conceptual diagram illustrating a screen printer according to another embodiment of the present invention.

본 실시예는 높이 조절 유닛(170')을 제외하고 앞선 실시예와 동일한 구조를 가지며, 이에 대한 설명은 앞선 설명에 갈음하기로 한다.This embodiment has the same structure as the previous embodiment except for the height adjustment unit 170 ', and the description thereof will be replaced with the above description.

도 7을 참조하면, 높이 조절 유닛(170')은 가이드 테이블(150)에 설치되어 가이드 테이블(150)의 높이를 조절하도록 구성된다. 가이드 테이블(150)에 수평 이동 유닛(160)이 설치되지 않은 경우라면 높이 조절 유닛(170')이 가이드 테이블(150)의 하부에 직접 설치될 것이나, 본 실시예와 같이 수평 이동 유닛(160)이 설치된 경우 높이 조절 유닛(170')은 수평 이동 유닛(160), 즉, 지지 플레이트(161)의 하부에 설치되게 된다. 본 실시예에 의하면, 높이 조절 유닛(170')은 제1 내지 제4가이드 테이블(151 내지 154)의 하측에 설치되게 된다.Referring to FIG. 7, the height adjusting unit 170 ′ is installed on the guide table 150 to adjust the height of the guide table 150. If the horizontal moving unit 160 is not installed in the guide table 150, the height adjusting unit 170 'will be directly installed in the lower portion of the guide table 150, but as in the present embodiment, the horizontal moving unit 160 In this case, the height adjusting unit 170 ′ is installed below the horizontal moving unit 160, that is, the support plate 161. According to the present embodiment, the height adjusting unit 170 ′ is installed below the first to fourth guide tables 151 to 154.

이러한 경우, 지지 플레이트(161)는 스크린 프린터의 본체(10, 도 1 참조) 내에 고정되는 구조가 아니며, 높이 조절 유닛(170')에 의해 지지되게 된다. 높이 조절 유닛(170')은 지지 플레이트(161)를 상하 구동시킴으로써 그에 의해 지지된 가이드 테이블(150)의 높이를 조절하게 된다.In this case, the support plate 161 is not a structure fixed in the main body 10 (see FIG. 1) of the screen printer, and is supported by the height adjusting unit 170 '. The height adjusting unit 170 ′ drives the support plate 161 up and down to adjust the height of the guide table 150 supported thereby.

도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 스크린 프린터의 개념도이며, 도 9는 도 8에 도시된 가이드부의 평면도이다.8 is a conceptual diagram of a screen printer according to another embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a plan view of the guide unit shown in FIG. 8.

본 실시예의 스크린 프린터는 앞선 실시예와 마찬가지로 인쇄 테이블(210), 스크린(220), 스퀴지(230)를 포함하고 있으며, 이들과 관련된 구성의 도면부호는 앞선 실시예의 도면부호의 연장선상의 부호로 표기하였다.The screen printer of the present embodiment includes a print table 210, a screen 220, and a squeegee 230 as in the previous embodiment, and the reference numerals of the configuration related thereto are denoted by the extension lines of the reference numerals of the previous embodiment. It was.

본 실시예에 따르면, 인쇄 테이블(210)의 상면은 웨이퍼(240)의 면적보다 넓은 면적을 갖는다. 웨이퍼(240)는 인쇄 테이블(210)의 중앙 영역에 안착되게 된다.According to this embodiment, the upper surface of the print table 210 has an area larger than that of the wafer 240. The wafer 240 is to be seated in the central area of the print table 210.

본 실시예의 스크린 프린터 또한 스퀴지(230)의 단부의 수평 이동을 가이드하는 가이드부(250)을 포함하고 있으며, 이는 앞서 설명된 가이드 테이블(150)과 다른 구조로 형성된다.The screen printer of this embodiment also includes a guide portion 250 for guiding the horizontal movement of the end of the squeegee 230, which is formed in a structure different from the guide table 150 described above.

본 실시예의 가이드부(250)는 인쇄 테이블(210)의 외곽을 한정하는 프레임(251)과, 프레임(251)의 내측 방향으로 연장되는 시트(252)를 포함한다.The guide part 250 of the present exemplary embodiment includes a frame 251 defining an outline of the printing table 210 and a sheet 252 extending inwardly of the frame 251.

프레임(251)은 인쇄 테이블(210)의 외곽에 대응되는 형태를 갖는다. 본 실시예와 같이 인쇄 테이블(210)이 사각 단면을 갖는 경우, 프레임(251) 또한 사각 테두리의 형상을 갖는다. 아울러, 프레임(251)은 인쇄 테이블(210)의 두께보다 약간 큰 두께를 갖는다.The frame 251 has a shape corresponding to the outline of the print table 210. When the print table 210 has a rectangular cross section as in the present embodiment, the frame 251 also has a rectangular border shape. In addition, the frame 251 has a thickness slightly larger than the thickness of the print table 210.

시트(252)는 프레임(251)의 측면에서 그 내측 방향으로 연장 형성되며, 웨이퍼(240)의 외곽을 한정하는 홀(253)을 갖는다. 여기서, 홀(253)은 웨이퍼(240)의 외곽에 대응되는 형태를 가지며, 본 실시예는 홀(253)이 사각형의 형태로 형성된 것을 예시하고 있다.The sheet 252 extends in an inward direction of the side of the frame 251 and has a hole 253 that defines an outline of the wafer 240. Here, the hole 253 has a shape corresponding to the outside of the wafer 240, this embodiment illustrates that the hole 253 is formed in the shape of a rectangle.

시트(252)는 인쇄 테이블(210)의 상면을 덮으며 이에 의해 지지된다. 시트(252)는 금속 재질로 형성 가능하며, 웨이퍼(240)의 두께에 대응되는 두께를 갖는다. 또한, 시트(252)는 프레임(251)과 일체로 형성되는 것도 가능하다.Sheet 252 covers and is supported by an upper surface of printing table 210. The sheet 252 may be formed of a metal material and have a thickness corresponding to the thickness of the wafer 240. In addition, the sheet 252 may be formed integrally with the frame 251.

스퀴지(230)는 시트(252)의 위를 가압하면서 이동한 후 웨이퍼(240)의 위로 진입하게 되며, 이 때 시트(252)과 웨이퍼(240)의 상면은 동일 평면을 이루는 바, 스퀴지(230)의 단부는 웨이퍼(240)로 진입시 수평 이동 할 수 있게 되는 것이다.The squeegee 230 moves while pressing on the sheet 252 and enters the wafer 240. At this time, the top surface of the sheet 252 and the wafer 240 forms the same plane, and the squeegee 230 is moved. The end of) is to be able to move horizontally when entering the wafer (240).

한편, 본 발명의 스크린 프린터는 인쇄 테이블(210)에 대한 가이드부(250)의 상대 높이를 조절하기 위한 높이 조절 유닛(미도시)을 구비할 수 있다. 이러한 경우, 높이 조절 유닛은 프레임(251)을 상하 구동시키기 위한 프레임 구동부의 형태를 가지며, 이는 프레임(251)과 본체(10)의 사이에 설치된다. 프레임 구동부는 가이드부(250)의 높이를 조절하는 기능뿐 아니라, 인쇄 테이블(210)이 컨베이어 벨트의 형태를 갖는 경우에 컨베이어 이송시 프레임(251)을 상승 구동시키고, 인쇄시 프레임(251)을 웨이퍼(210)로 하강 구동시키는데 사용될 수 있다.On the other hand, the screen printer of the present invention may be provided with a height adjustment unit (not shown) for adjusting the relative height of the guide portion 250 relative to the printing table 210. In this case, the height adjusting unit has a form of a frame driver for driving the frame 251 up and down, which is installed between the frame 251 and the main body 10. In addition to the function of adjusting the height of the guide part 250, the frame driving part drives the frame 251 up during conveyance when the printing table 210 has the form of a conveyor belt, and drives the frame 251 during printing. It can be used to drive down to the wafer 210.

이상에서 설명한　스크린 프린터는 위에서 설명된 실시예들의 구성과 방법에 한정되는 것이 아니라, 상기 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.The above-described screen printer is not limited to the configuration and method of the above-described embodiments, but the above embodiments may be configured by selectively combining all or some of the embodiments so that various modifications can be made.

Claims (12)

웨이퍼를 지지하기 위한 인쇄 테이블;
상기 인쇄 테이블의 상측에 설치되는 스크린;
상기 스크린의 상측에서 이동 가능하게 구성되며, 상기 스크린을 가압하면서 이동함에 따라 상기 웨이퍼에 잉크를 전사하는 스퀴지;
상기 인쇄 테이블의 사이드에 구비되며, 상기 스퀴지가 상기 웨이퍼의 외측 영역에서 상기 웨이퍼 위로 진입할 때 상기 스퀴지의 단부의 수평 이동을 가이드하는 가이드 테이블; 및
상기 가이드 테이블에 설치되며, 상기 가이드 테이블을 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동 유닛을 포함하고,
상기 수평 이동 유닛은,
상기 가이드 테이블의 하부에 설치되는 지지 플레이트; 및
상기 지지 플레이트와 가이드 테이블의 사이에 설치되며, 상기 가이드 테이블을 직선 구동시키는 직선 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크린 프린터.A printing table for supporting a wafer;
A screen installed above the printing table;
A squeegee configured to be movable above the screen and transferring ink onto the wafer as the screen moves while pressing the screen;
A guide table provided at a side of the printing table, the guide table guiding a horizontal movement of an end portion of the squeegee when the squeegee enters the wafer in an outer region of the wafer; And
A horizontal moving unit installed on the guide table to move the guide table in a horizontal direction,
The horizontal moving unit,
A support plate installed below the guide table; And
And a linear driving part installed between the support plate and the guide table to linearly drive the guide table. 제1항에 있어서,
상기 인쇄 테이블의 상면은 상기 웨이퍼의 크기에 대응되는 면적을 갖는 것을 특징으로 하는 스크린 프린터.The method of claim 1,
And a top surface of the printing table has an area corresponding to the size of the wafer. 제1항에 있어서,
상기 가이드 테이블의 상면은 상기 웨이퍼의 상면과 동일 평면을 이루는 것을 특징으로 하는 스크린 프린터.The method of claim 1,
And an upper surface of the guide table is coplanar with an upper surface of the wafer. 제2항에 있어서, 상기 가이드 테이블은,
상기 스퀴지의 진행 방향을 따라 상기 웨이퍼의 전단과 후단에 배치되는 제1 및 제2가이드 테이블을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크린 프린터.The method of claim 2, wherein the guide table,
And first and second guide tables disposed at the front and rear ends of the wafer along the advancing direction of the squeegee. 제4항에 있어서, 상기 가이드 테이블은,
상기 웨이퍼의 양 측면에 배치되는 제3 및 제4가이드 테이블을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스크린 프린터.The method of claim 4, wherein the guide table,
And a third and fourth guide table disposed on both sides of the wafer. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 인쇄 테이블 또는 가이드 테이블에 설치되며, 상기 웨이퍼의 두께에 따라 상기 인쇄 테이블에 대한 가이드 테이블의 상대 높이를 조절하는 높이 조절 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스크린 프린터.The method of claim 1,
And a height adjusting unit installed on the printing table or the guide table and adjusting a relative height of the guide table with respect to the printing table according to the thickness of the wafer. 웨이퍼를 지지하기 위한 인쇄 테이블;
상기 인쇄 테이블의 상측에 설치되는 스크린;
상기 스크린의 상측에서 이동 가능하게 구성되며, 상기 스크린을 가압하면서 이동함에 따라 상기 웨이퍼에 잉크를 전사하는 스퀴지; 및
상기 인쇄 테이블의 일측에 구비되며, 상기 스퀴지가 상기 웨이퍼의 외측 영역에서 상기 웨이퍼 위로 진입할 때 상기 스퀴지의 단부의 수평 이동을 가이드하는 가이드부를 포함하고,
상기 가이드부는,
상기 인쇄 테이블의 외곽을 한정하는 프레임; 및
상기 프레임에서 내측 방향으로 연장 형성되며, 상기 웨이퍼의 외곽을 한정하는 홀을 구비하는 시트를 포함하며,
상기 프레임에는 상기 프레임을 상하 이동시키기 위한 프레임 구동부가 설치되는 것을 특징으로 하는 스크린 프린터.A printing table for supporting a wafer;
A screen installed above the printing table;
A squeegee configured to be movable above the screen and transferring ink onto the wafer as the screen moves while pressing the screen; And
It is provided on one side of the printing table, and includes a guide for guiding the horizontal movement of the end of the squeegee when the squeegee enters the wafer in the outer region of the wafer,
The guide unit,
A frame defining an outline of the printing table; And
A sheet extending in an inward direction from the frame and having a hole defining an outline of the wafer,
The frame printer, characterized in that the frame drive unit for moving the frame up and down is installed. 제9항에 있어서,
상기 시트는 상기 인쇄 테이블의 상면에 의해 지지되며, 상기 웨이퍼의 두께에 대응되는 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 스크린 프린터.10. The method of claim 9,
And the sheet is supported by an upper surface of the printing table and has a thickness corresponding to the thickness of the wafer. 삭제delete 삭제delete
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