JP6940267B2 - Screen printing machine - Google Patents

Screen printing machine Download PDF

Info

Publication number
JP6940267B2
JP6940267B2 JP2016208261A JP2016208261A JP6940267B2 JP 6940267 B2 JP6940267 B2 JP 6940267B2 JP 2016208261 A JP2016208261 A JP 2016208261A JP 2016208261 A JP2016208261 A JP 2016208261A JP 6940267 B2 JP6940267 B2 JP 6940267B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
mask
screen printing
printing machine
pin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016208261A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2018069467A (en
Inventor
立雄 蛭川
立雄 蛭川
毅 近藤
毅 近藤
加藤 光昭
光昭 加藤
実 絹田
実 絹田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to JP2016208261A priority Critical patent/JP6940267B2/en
Publication of JP2018069467A publication Critical patent/JP2018069467A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6940267B2 publication Critical patent/JP6940267B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、基板の状態に対応したスクリーン印刷機に関する。 The present invention relates to a screen printing machine corresponding to the state of the substrate.

スクリーン印刷機では、印刷パターン(印刷用の貫通孔)を有するマスクが保持され、その下に配置された基板に対してクリームはんだによるスクリーン印刷が行われる。そのスクリーン印刷機には、基板の搬送を行う基板搬送装置、搬送された基板を保持して印刷箇所に位置決めするための基板保持装置、マスクを位置決めして保持するためのマスク保持装置、更にスクリーンマスクに対して上面からクリームはんだを塗り延ばすスキージ装置などが設けられている。そして、ペースト状のクリームはんだが、スキージによってマスク上でローリングしながら印刷パターンに押し込まれ、下に位置する基板に対して塗布(印刷)が行われる。 In the screen printing machine, a mask having a printing pattern (through holes for printing) is held, and screen printing with cream solder is performed on a substrate arranged under the mask. The screen printing machine includes a substrate transfer device for transporting a substrate, a substrate holding device for holding the transported board and positioning it at a printing location, a mask holding device for positioning and holding a mask, and a screen. A squeegee device or the like is provided on the mask to spread cream solder from the upper surface. Then, the paste-like cream solder is pushed into the printed pattern while rolling on the mask by the squeegee, and is applied (printed) to the substrate located below.

その際、マスク直下の印刷位置に基板が位置決めされる。つまり、基板は搬送装置によって機内に搬送された後、基板支持装置によって持ち上げられ、さらに基板保持装置によってクランプされる。その基板支持装置は、下記特許文献1に開示されているように、基板に対して実装される電子部品を避ける位置に、複数のバックアップピンがテーブルに立設され、そのテーブルが上昇することによって基板を下から支えるように構成されている。 At that time, the substrate is positioned at the printing position directly under the mask. That is, the substrate is transported into the machine by the transport device, then lifted by the board support device, and further clamped by the board holding device. As disclosed in Patent Document 1 below, the substrate support device has a plurality of backup pins erected on a table at positions avoiding electronic components mounted on the substrate, and the table rises. It is configured to support the board from below.

特開2016−043502号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-043502 特開2005−093766号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-093766

ところで、バックアップピンによって支持される基板は、全てが平面状態を保って搬送されてくるわけではなく、上方に湾曲した上反り状態や下方に湾曲した下反り状態、或いは捻じれ状態のものなどがある。こうした状態は、例えば、基板が一次印刷、部品実装、そしてリフローの工程などを経て送られるため、はんだ溶融の際のリフロー熱によって生じ得る。そこで、基板の二次面を印刷する場合に、その基板が上反りの状態であると、高さが一定のバックアップピンは、高さが足りずに浮いた状態になってしまう。そして、その状態で基板に対し印圧を加えながらスキージが移動すると、支えの無い浮いた部分を通過する際に基板とマスクを変形させてしまい、印刷位置にズレを生じさせてしまうことなどがある。さらに、スキージが通過して基板とマスクの変形が戻ることにより、印刷形状が崩れてしまうという問題も生じ得る。 By the way, not all of the substrates supported by the backup pins are conveyed in a flat state, and may be in an upwardly curved upward warp state, a downwardly curved downwardly warped state, or a twisted state. be. Such a state can occur due to the reflow heat during solder melting, for example, because the substrate is sent through the processes of primary printing, component mounting, and reflow. Therefore, when printing the secondary surface of the substrate, if the substrate is in a warped state, the backup pin having a constant height will be in a floating state due to insufficient height. Then, if the squeegee moves while applying printing pressure to the substrate in that state, the substrate and the mask may be deformed when passing through the unsupported floating portion, which may cause a deviation in the printing position. be. Further, there may be a problem that the printed shape is deformed due to the passage of the squeegee and the return of the deformation of the substrate and the mask.

そこで、本発明は、かかる課題を解決すべく、基板の状態に対応したスクリーン印刷機を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a screen printing machine corresponding to the state of the substrate in order to solve such a problem.

本発明に係るスクリーン印刷機は、印刷パターンが形成されたマスクが保持され、当該マスクの下に位置する基板に対してクリームはんだを印刷するものであり、高さ調整が可能なスキージによって前記マスクに対して上からクリームはんだを塗り延ばすスキージ装置と、前記マスクの下に基板を搬送する搬送装置と、搬送方向と直交する方向から基板を保持する基板保持装置と、先端の高さが異なる複数のバックアップピンを備えて基板を下から支える基板支持装置と、前記基板支持装置を昇降させる昇降装置と、前記各装置の駆動を制御する制御装置とを有し、前記制御装置は、前記スキージ装置に対して、前記基板保持装置におけるバックアップピンの先端高さの変化に応じて移動しながら前記スキージの高さを調整するクーリムはんだの塗り延ばしを行わせるものである。

The screen printing machine according to the present invention holds a mask on which a printing pattern is formed and prints cream solder on a substrate located under the mask, and the mask is provided with a height-adjustable squeegee. A squeegee device that spreads cream solder from above, a transfer device that conveys the substrate under the mask, and a substrate holding device that holds the substrate from a direction orthogonal to the transfer direction. It has a board support device that supports the board from below with a backup pin, an elevating device that raises and lowers the board support device, and a control device that controls the drive of each device. The control device is the squeegee device. On the other hand, the cooling rim solder for adjusting the height of the squeegee is spread while moving according to the change in the tip height of the backup pin in the substrate holding device.

本発明によれば、先端の高さが異なる複数のバックアップピンにより基板を下から支えるようにしたので、例えばその複数のバックアップピンからなるバックアップ部分が山形であれば、上反りした基板であっても、その基板の状態に対応してバックアップピンによって支持できる。 According to the present invention, the substrate is supported from below by a plurality of backup pins having different tip heights. Therefore, for example, if the backup portion composed of the plurality of backup pins is chevron, the substrate is warped. Can also be supported by backup pins according to the condition of the substrate.

スクリーン印刷機の一実施形態について内部構成を簡易的に示した図である。It is a figure which showed the internal structure simply about one Embodiment of a screen printing machine. 基板支持装置の一部を簡易的に示した図である。It is the figure which showed the part of the board support device simply. 第2実施形態の基板支持装置について、バックアップテーブル上のバックアップピンの配置について示した平面図である。It is a top view which showed the arrangement of the backup pin on the backup table about the substrate support device of 2nd Embodiment. 可変ピンの組み付け構造を示した断面斜視図である。It is sectional drawing which showed the assembly structure of a variable pin.

次に、本発明に係るスクリーン印刷機の一実施形態について、図面を参照しながら以下に説明する。図1は、本実施形態のスクリーン印刷機の内部構成を簡易的に示した図である。スクリーン印刷機1は、基板に対して電子部品を実装する部品装着機の前工程を行うものとして構成されている。そのスクリーン印刷機1には、基板搬送装置3やスキージ装置4、基板を把持するクランプ装置5、基板を下方から支持する基板支持装置7および、基板を上下方向に移動させて位置決めする昇降装置8などが設けられている。そして、スクリーン印刷機全体を制御する制御装置が搭載され、各装置の駆動部に対する所定の制御が行われるようになっている。 Next, an embodiment of the screen printing machine according to the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram simply showing the internal configuration of the screen printing machine of the present embodiment. The screen printing machine 1 is configured to perform a pre-process of a component mounting machine for mounting electronic components on a substrate. The screen printing machine 1 includes a substrate transfer device 3, a squeegee device 4, a clamp device 5 for gripping the substrate, a substrate support device 7 for supporting the substrate from below, and an elevating device 8 for moving and positioning the substrate in the vertical direction. Etc. are provided. Then, a control device for controlling the entire screen printing machine is mounted, and predetermined control for the drive unit of each device is performed.

スクリーン印刷機1は、基板搬送装置3によって基板10の搬入および搬出が行われるが、その基板搬送装置3は、基板10の両サイドを支持する一対のコンベアベルト11によって構成され、図1の図面を貫く方向(機体幅方向)に基板10が送られるようになっている。そして、その基板搬送装置3と、基板10を保持するクランプ装置5が、昇降装置8に対して組み付けられている。よって、スクリーン印刷機1に搬入された基板10はクランプ装置5によって保持され、上昇することによりマスク9直下の印刷位置に位置決めされることとなる。なお、マスク9は、矩形の枠部材18に嵌め込まれ、水平な状態で取り付けられている。 In the screen printing machine 1, the substrate 10 is carried in and out by the substrate transfer device 3, and the substrate transfer device 3 is composed of a pair of conveyor belts 11 that support both sides of the substrate 10. The substrate 10 is fed in the direction of penetrating (the width direction of the machine body). Then, the substrate transfer device 3 and the clamp device 5 for holding the substrate 10 are assembled to the elevating device 8. Therefore, the substrate 10 carried into the screen printing machine 1 is held by the clamp device 5, and is positioned at the printing position directly under the mask 9 by ascending. The mask 9 is fitted into the rectangular frame member 18 and attached in a horizontal state.

セットされたマスク9の上には、機体幅方向に線状のクリームはんだが供給される。クリームはんだは、スキージ装置4によってマスク9上でローリングしながら印刷パターンに押し込まれ、マスク9の下に位置する基板10に塗布される。そうしたスキージ装置4は、スキージを備えた一対のスキージヘッド401,402が、シリンダにより昇降可能な状態で走行台12に搭載されている。走行台12は、図面横方向(機体前後方向)に架設されたガイドロッド13に対して摺動可能に組み付けられ、水平方向に直線移動が可能なものである。また、スクリーン印刷機1には、ガイドロッド13と平行なネジ軸15が回転自在な状態で架設され、駆動モータによって回転が与えられるようになっている。そして、走行台12内部の固定ナットとネジ軸15とによってボールネジ機構が構成されている。 A linear cream solder is supplied on the set mask 9 in the width direction of the machine body. The cream solder is pushed into the print pattern while rolling on the mask 9 by the squeegee device 4, and is applied to the substrate 10 located under the mask 9. In such a squeegee device 4, a pair of squeegee heads 401 and 402 provided with squeegees are mounted on the traveling table 12 in a state in which the squeegee heads 401 and 402 can be raised and lowered by a cylinder. The traveling table 12 is slidably assembled with respect to the guide rod 13 erected in the lateral direction (front-back direction of the machine body) in the drawing, and can move linearly in the horizontal direction. Further, a screw shaft 15 parallel to the guide rod 13 is erected on the screen printing machine 1 in a rotatable state, and rotation is given by a drive motor. A ball screw mechanism is configured by the fixing nut inside the traveling table 12 and the screw shaft 15.

次に、セットされたマスク9の下方側には、基板10を把持して位置決めするためのクランプ装置5および昇降装置8などが構成されている。先ず、昇降装置8は、垂直なガイドレール21に沿って摺動するように昇降台22が組み付けられ、その昇降台22は、ボールネジ機構24を介して昇降用モータ23に連結されている。そして、昇降台22の上には支持台25を介して基板搬送装置3やクランプ装置5などが搭載されている。なお、詳しい説明は省略するが、支持台25は、昇降台22に対してX−Y平面上のX方向及びY方向とθ方向に位置調整が可能な構成となっている。 Next, on the lower side of the set mask 9, a clamp device 5 and an elevating device 8 for gripping and positioning the substrate 10 are configured. First, the elevating device 8 is assembled with an elevating table 22 so as to slide along a vertical guide rail 21, and the elevating table 22 is connected to the elevating motor 23 via a ball screw mechanism 24. A board transfer device 3 and a clamp device 5 are mounted on the elevating table 22 via a support base 25. Although detailed description will be omitted, the support base 25 has a configuration in which the positions of the support base 25 can be adjusted with respect to the lifting base 22 in the X direction, the Y direction, and the θ direction on the XY plane.

支持台25の上には、機体前後方向に一対のマスクサポート26が立設され、その間にクランプ装置5が配置されている。前後に位置する一対のマスクサポート26は、それぞれ機体幅方向に門型の脚体261が設けられ、その上面にはマスク9が接触するマスク支持プレート262が固定されている。一方のマスクサポート26には、脚体261内部の固定ナットと1本のネジ軸27とが螺合したボールネジ機構が構成されている。従って、ネジ軸27を回転させる駆動モータの制御によって他方のマスクサポート26との距離の調整が可能になる。 A pair of mask supports 26 are erected on the support base 25 in the front-rear direction of the machine body, and a clamp device 5 is arranged between them. Each of the pair of mask supports 26 located in the front-rear direction is provided with a gate-shaped leg body 261 in the width direction of the machine body, and a mask support plate 262 with which the mask 9 comes into contact is fixed on the upper surface thereof. One mask support 26 has a ball screw mechanism in which a fixing nut inside the leg body 261 and one screw shaft 27 are screwed together. Therefore, the distance from the other mask support 26 can be adjusted by controlling the drive motor that rotates the screw shaft 27.

クランプ装置5は、支持台31の前後に一対のサイドフレーム33が立設され、一方のサイドフレーム33には、内部の固定ナットにネジ軸36が螺合してボールネジ機構が構成され、ネジ軸36に対するクランプ用モータの回転によって他方のサイドフレーム33との距離が調整可能になっている。そして、サイドフレーム33の上端部にはクランプ部35が形成され、互いの距離の調整によって基板10を幅方向から把持できるようになっている。そうしたサイドフレーム33には、クランプ部35の下側にコンベアベルト11組み付けられ、一対のサイドフレーム33の間に基板10を搬送する基板搬送装置3が構成されている。 In the clamp device 5, a pair of side frames 33 are erected in front of and behind the support base 31, and a screw shaft 36 is screwed into an internal fixing nut on one side frame 33 to form a ball screw mechanism. The distance from the other side frame 33 can be adjusted by the rotation of the clamp motor with respect to 36. A clamp portion 35 is formed at the upper end portion of the side frame 33 so that the substrate 10 can be gripped from the width direction by adjusting the distance between the side frames 33. In such a side frame 33, a conveyor belt 11 is attached to the lower side of the clamp portion 35, and a substrate transport device 3 for transporting the substrate 10 between the pair of side frames 33 is configured.

また、一対のサイドフレーム33の間には基板支持装置7が設けられている。その基板支持装置7は、バックアップテーブル37に対して基板10に実装される電子部品を避けるように、複数のバックアップピン38が取り付けられている。そして、クランプ装置5の支持台31は、昇降用モータ41の回転出力を昇降運動に変換するボールネジ機構を介して支持されている。更に、支持台31に対して駆動モータ42が固定され、バックアップテーブル37が、昇降用モータ42の回転出力を昇降運動に変換するボールネジ機構を介して支持されている。 Further, a substrate support device 7 is provided between the pair of side frames 33. The board support device 7 has a plurality of backup pins 38 attached to the backup table 37 so as to avoid electronic components mounted on the board 10. The support base 31 of the clamp device 5 is supported via a ball screw mechanism that converts the rotational output of the elevating motor 41 into an elevating motion. Further, the drive motor 42 is fixed to the support base 31, and the backup table 37 is supported via a ball screw mechanism that converts the rotational output of the elevating motor 42 into an elevating motion.

ところで、本実施形態の基板支持装置7は、複数のバックアップピン38が従来のように高さ一定ではなく、異なる高さのものによって構成されている。特に、本実施形態では、図2に示すように、図面の左右横方向(スキージの移動方向)に見て中央部分のバックアップピン381が最も背が高く、その左右に位置するバックアップピン382,383が中央部分から遠ざかるに従って背が低くなっている。図2は、基板支持装置7の一部を簡易的に示した図であるため、3段階に変化させたバックアップピン38(381,382,382)が描かれているが、更に多くのバックアップピンによって多段階に高さが変化するものであってもよい。 By the way, in the substrate support device 7 of the present embodiment, the plurality of backup pins 38 are not constant in height as in the conventional case, but are configured by different heights. In particular, in the present embodiment, as shown in FIG. 2, the backup pin 381 in the central portion is the tallest when viewed in the left-right lateral direction (moving direction of the squeegee) of the drawing, and the backup pins 382 and 383 located on the left and right sides thereof. Is getting shorter as it goes away from the central part. Since FIG. 2 is a diagram showing a part of the substrate support device 7 in a simplified manner, backup pins 38 (381, 382, 382) changed in three stages are drawn, but more backup pins are drawn. The height may change in multiple stages.

バックアップピン38の構成は、上反りの基板に対応するようにしたものである。つまり、複数のバックアップピン38からなるバックアップ部分全体が上反りの基板に合わせた山形になっているので、基板10に浮いた箇所が生じないように全体をバックアップピン38によって支えられるようになっている。ただし、バックアップ部分を山形にすることにより、スクリーン印刷機1に搬送されてきた基板が平面状態や下反り状態のものであっても、印刷時の基板10の状態が全て山形に変形することになる。 The configuration of the backup pin 38 is designed to correspond to a warped substrate. That is, since the entire backup portion composed of the plurality of backup pins 38 has a chevron shape that matches the warped substrate, the entire backup pin 38 can be supported by the backup pins 38 so that no floating portion is generated on the substrate 10. There is. However, by making the backup portion chevron, even if the substrate conveyed to the screen printing machine 1 is in a flat state or a warped state, the state of the substrate 10 at the time of printing is completely deformed into a chevron shape. Become.

印刷時の基板10は、バックアップピン38によって下から押し上げられ、その幅方向端部が一対のクランプ部35の間に配置される。このとき、平面状態や下反り状態の基板10を上反り状態にするため、上昇する基板10の端部はクランプ部35に対して摺動し、その摺動抵抗によって端部の進みが中央部分よりも遅くなり、基板10がバックアップピン38の山形に倣うようになっている。また、クランプ部35には、つば部351が形成されたトップ型のクランプレール350が取り付けられ、そのクランプレール350が基板10の幅方向側面に横方向から押し当てられるとともに、基板10の幅方向端部につば部351が上方から当てられ、当該幅方向端部の跳ね上がりが押え込まれるようになっている。 The substrate 10 at the time of printing is pushed up from below by the backup pin 38, and its widthwise end portion is arranged between the pair of clamp portions 35. At this time, in order to bring the substrate 10 in the flat state or the downward warp state into the upward warp state, the end portion of the rising substrate 10 slides with respect to the clamp portion 35, and the advance of the end portion is the central portion due to the sliding resistance. The substrate 10 follows the chevron shape of the backup pin 38. Further, a top-type clamp rail 350 on which the brim portion 351 is formed is attached to the clamp portion 35, and the clamp rail 350 is pressed laterally against the side surface in the width direction of the substrate 10 and in the width direction of the substrate 10. The brim portion 351 is applied to the end portion from above, and the jumping up of the end portion in the width direction is suppressed.

一方、基板10の上に重ねられるマスク9は、枠部材18によって平面状態が保たれた状態で取り付けられている。そのため、印刷時の基板10が山形であると、マスク9と基板10との距離にバラツキが生じてしまう。例えば、最も背の高いバックアップピン381と最も背の低いバックアップピン383とは1〜2mm程度の差が設けられている。そのため、マスク9と基板10との距離の差が大きいと、スキージヘッド401,402から受ける印圧によってマスク9の撓む量が場所によって異なり、印刷品質に影響を及ぼすことになる。この点について、印刷時のマスク9が基板10の山形に倣うようにするための構成が採られている。すなわち、マスク9が接触するマスク支持プレート262に、上面に開口した複数の吸引孔263が形成され、その吸引孔263には不図示の真空装置が接続されている。 On the other hand, the mask 9 stacked on the substrate 10 is attached in a state of being maintained in a flat state by the frame member 18. Therefore, if the substrate 10 at the time of printing has a chevron shape, the distance between the mask 9 and the substrate 10 will vary. For example, a difference of about 1 to 2 mm is provided between the tallest backup pin 381 and the shortest backup pin 383. Therefore, if the difference in distance between the mask 9 and the substrate 10 is large, the amount of bending of the mask 9 varies depending on the printing pressure received from the squeegee heads 401 and 402, which affects the print quality. In this regard, a configuration is adopted so that the mask 9 at the time of printing imitates the chevron shape of the substrate 10. That is, a plurality of suction holes 263 opened on the upper surface are formed in the mask support plate 262 to which the mask 9 comes into contact, and a vacuum device (not shown) is connected to the suction holes 263.

そこで、以上のような構成のスクリーン印刷機1では、先ず、一対のサイドフレーム33の間にコンベアベルト11によって基板10が搬入される。そして、昇降用モータ42の駆動によりバックアップテーブル37が上昇し、バックアップピン38に突き上げられるようにして基板10がコンベアベルト11から持ち上げられ、図2に示すように山形の状態で支持される。また、ネジ軸36に回転が与えられることにより一方のサイドフレーム33が移動し、両方のサイドフレーム33のクランプ部35によって基板10が挟み込まれる。 Therefore, in the screen printing machine 1 having the above configuration, first, the substrate 10 is carried in between the pair of side frames 33 by the conveyor belt 11. Then, the backup table 37 is raised by the drive of the elevating motor 42, and the substrate 10 is lifted from the conveyor belt 11 so as to be pushed up by the backup pin 38, and is supported in a chevron shape as shown in FIG. Further, when the screw shaft 36 is rotated, one side frame 33 moves, and the substrate 10 is sandwiched by the clamp portions 35 of both side frames 33.

次に、昇降用モータ41の駆動により、基板10を保持した状態のクランプ装置5全体が上昇し、マスク支持プレート262の高さにクランプ部35と基板10の上面がほぼ揃えられた状態になる。その後、昇降用モータ23の駆動により昇降台22が上昇し、山形状態の基板10がマスク9の下面に軽く接触した印刷位置に停止し、同じく上昇したマスク支持プレート262もマスク9の直下に位置することになる。そこで、真空装置が駆動して吸引孔263を介して真空引きが行われることにより、マスク支持プレート262の上面にマスク9が吸着され、図2に示すように山形の基板10に倣うように撓んだマスク9の状態が維持される。 Next, by driving the elevating motor 41, the entire clamp device 5 holding the substrate 10 rises, and the clamp portion 35 and the upper surface of the substrate 10 are substantially aligned with the height of the mask support plate 262. .. After that, the elevating table 22 was raised by the drive of the elevating motor 23, stopped at the printing position where the chevron-shaped substrate 10 lightly touched the lower surface of the mask 9, and the similarly raised mask support plate 262 was also positioned directly under the mask 9. Will be done. Therefore, when the vacuum device is driven and the vacuum is drawn through the suction hole 263, the mask 9 is attracted to the upper surface of the mask support plate 262 and flexes so as to follow the chevron substrate 10 as shown in FIG. The state of the mask 9 is maintained.

そして、マスク9の上面側では、供給されたクリームはんだがスキージ装置4によってマスク9上でローリングしながら印刷パターンへの押し込みが行われる。これにより、印刷パターンの貫通孔を通ってマスク9の下に位置する基板10にクリームはんだが印刷される。このときスキージヘッド401,402は、マスク9上面の高さに応じて、移動しながらシリンダによる高さ調整が行われ、一定の印圧でクリームはんだのローリングが行われる。スキージヘッド401,402の高さ調整は、ロードセルなどを使用してマスク9の上面高さの変化を測定しながら行われる。或いは、複数あるバックアップピン38の高低差からマスク9表面の山形形状が把握できているため、予め入力した数値に基づいてスキージヘッド401,402の高さ調整を行うようにしてもよい。 Then, on the upper surface side of the mask 9, the supplied cream solder is pushed into the print pattern while being rolled on the mask 9 by the squeegee device 4. As a result, the cream solder is printed on the substrate 10 located under the mask 9 through the through holes of the print pattern. At this time, the heights of the squeegee heads 401 and 402 are adjusted by the cylinder while moving according to the height of the upper surface of the mask 9, and the cream solder is rolled at a constant printing pressure. The height adjustment of the squeegee heads 401 and 402 is performed while measuring the change in the height of the upper surface of the mask 9 using a load cell or the like. Alternatively, since the chevron shape on the surface of the mask 9 can be grasped from the height difference of the plurality of backup pins 38, the heights of the squeegee heads 401 and 402 may be adjusted based on the numerical values input in advance.

よって、本実施形態のスクリーン印刷機1によれば、複数のバックアップピン38(381,382,382)からなるバックアップ部分を山形し、印刷時の基板10の状態を全て山形に変形させるようにしたため、搬送されてきた基板10が上反りの状態であっても、バックアップピン38によって基板10の全体が支持されるので、印刷の位置ズレなど品質低下を防止することができる。 Therefore, according to the screen printing machine 1 of the present embodiment, the backup portion composed of a plurality of backup pins 38 (381, 382, 382) is formed into a chevron shape, and the state of the substrate 10 at the time of printing is all transformed into a chevron shape. Even if the conveyed substrate 10 is in a warped state, the backup pin 38 supports the entire substrate 10, so that it is possible to prevent quality deterioration such as misalignment of printing.

続いて、スクリーン印刷機の基板支持装置7について他の実施形態を説明する。前記実施形態では、バックアップピン38の高さに従って基板10の状態が変化するように構成されていたが、基板10の状態に合わせてバックアップピンの高さが変化するようにしてもよい。図3は、第2実施形態の基板支持装置について、バックアップテーブル上のバックアップピンの配置について示した平面図である。バックアップテーブル53には複数のバックアップピンが縦横に規則正しく並べられている。そして、複数あるバックアップピンのうち、ハッチングを付して示したものが高さを上下に変化させることが可能な可変ピン51であり、それ以外のものが高さ一定の固定ピン52である。 Subsequently, another embodiment of the substrate support device 7 of the screen printing machine will be described. In the above embodiment, the state of the substrate 10 is configured to change according to the height of the backup pin 38, but the height of the backup pin may be changed according to the state of the substrate 10. FIG. 3 is a plan view showing the arrangement of backup pins on the backup table for the substrate support device of the second embodiment. A plurality of backup pins are regularly arranged vertically and horizontally in the backup table 53. Among the plurality of backup pins, the one shown with hatching is the variable pin 51 whose height can be changed up and down, and the other one is the fixed pin 52 having a constant height.

可変ピン51と固定ピン52はほぼ半数ずつであり、バックアップテーブル53上に交互に配置されている。固定ピン52は、バックアップテーブル53に対して直立に固定されているが、可変ピン51は、図4に示すように直立姿勢のまま上下方向に変位可能な状態で組み付けられている。図4は、可変ピン51の組み付け構造を示した断面斜視図である。バックアップテーブル53は、図4に示すように上下2層のブロックに分けられ、更に平面視では図3に示すように、長手方向(図面横方向)に並べられた複数ピンの2列分あるいは1列分の横方向ブロック531,532,533に分けられている。 The variable pin 51 and the fixed pin 52 are about half each, and are arranged alternately on the backup table 53. The fixed pin 52 is fixed upright with respect to the backup table 53, but the variable pin 51 is assembled in a state of being displaceable in the vertical direction while maintaining the upright posture as shown in FIG. FIG. 4 is a cross-sectional perspective view showing the assembly structure of the variable pin 51. As shown in FIG. 4, the backup table 53 is divided into upper and lower two-layer blocks, and in a plan view, as shown in FIG. 3, two rows of a plurality of pins arranged in the longitudinal direction (horizontal direction in the drawing) or one. It is divided into horizontal blocks 531, 532, 533 for rows.

バックアップテーブル53は、下層のベースブロック55と上層のシリンダブロック56とが重ねられている。ベースブロック55には、上方に開口したピン穴551が鉛直方向に形成され、そこに可動ピン51が挿入されている。可動ピン51は、下端にピストン511が形成され、ピン穴551の底面との間にスプリング57が装填されている。一方、シリンダブロック56には、開口した横穴であるシリンダ穴61が形成され、底側端部がエア流路62に連通している。そして、シリンダ穴61には、その中の気密性を維持して摺動できるように、Oリングを備えたロック用ピストン58が挿入されている。 In the backup table 53, the base block 55 of the lower layer and the cylinder block 56 of the upper layer are overlapped with each other. A pin hole 551 opened upward is formed in the base block 55 in the vertical direction, and a movable pin 51 is inserted therein. A piston 511 is formed at the lower end of the movable pin 51, and a spring 57 is loaded between the movable pin 51 and the bottom surface of the pin hole 551. On the other hand, the cylinder block 56 is formed with a cylinder hole 61 which is an open horizontal hole, and the bottom end portion communicates with the air flow path 62. A locking piston 58 provided with an O-ring is inserted into the cylinder hole 61 so that the cylinder hole 61 can slide while maintaining the airtightness in the cylinder hole 61.

可変ピン51は、シリンダ穴61を横切るようにしてシリンダブロック56を貫通している。従って、シリンダブロック56には、シリンダ穴61の位置で貫通したピン貫通孔63が上下に形成されている。シリンダ穴61内に挿入されているロック用ピストン58は、そのシリンダ穴61を貫通した可変ピン51よりも奥のエア流路62側に配置されている。すなわち、シリンダ穴61は、ロック用ピストン58によって閉じられた空間が作動室611になっており、エア圧によってシリンダ穴61内をロック用ピストン58が移動可能な構成になっている。シリンダ穴61の作動室611との反対側は、大気解放するように開口し、そのため横方向ブロック531,532,533の間には隙間が設けられている。 The variable pin 51 penetrates the cylinder block 56 so as to cross the cylinder hole 61. Therefore, the cylinder block 56 is vertically formed with pin through holes 63 penetrating at the positions of the cylinder holes 61. The locking piston 58 inserted into the cylinder hole 61 is arranged on the air flow path 62 side behind the variable pin 51 penetrating the cylinder hole 61. That is, the cylinder hole 61 has a working chamber 611 in a space closed by the locking piston 58, and the locking piston 58 can move in the cylinder hole 61 by air pressure. The side of the cylinder hole 61 opposite to the working chamber 611 is opened so as to be open to the atmosphere, so that a gap is provided between the lateral blocks 531, 532, 533.

エア流路62は、図3において破線で示すように形成されており、エアホースを介して不図示のエア圧調整装置に接続されている。そのため、エア圧調整装置によって作動室611内の状態を正圧または負圧にコントロールすることができ、正圧の場合にはロック用ピストン58が可変ピン51側に移動し、負圧の場合にはロック用ピストン58が可変ピン51から離れる方向に移動するようになっている。そして、正圧によって作動するロック用ピストン58は、ゴム材で形成された先端部分が可変ピン51に押し当てられ、その摩擦抵抗によって可変ピン51の上下方向の移動を拘束するようになっている。つまり、スプリング57を押し縮めた可変ピン51が一時的に所定の高さで維持されることになる。一方、負圧によってロック用ピストン58が離れた可変ピン51は、スプリング57によって元の高さに戻される。また、このとき負圧ではなく、作動室611内を大気解放させるようにしてもよい。ロック用ピストン58との摩擦抵抗が小さくなった可変ピン51は、スプリング57により元の高さに戻されるからである。 The air flow path 62 is formed as shown by a broken line in FIG. 3, and is connected to an air pressure adjusting device (not shown) via an air hose. Therefore, the state inside the operating chamber 611 can be controlled to positive pressure or negative pressure by the air pressure adjusting device, and the locking piston 58 moves to the variable pin 51 side in the case of positive pressure, and in the case of negative pressure. Is designed so that the locking piston 58 moves away from the variable pin 51. The tip portion of the locking piston 58, which is operated by positive pressure, is pressed against the variable pin 51 by the rubber material, and the frictional resistance of the locking piston 58 restrains the movement of the variable pin 51 in the vertical direction. .. That is, the variable pin 51 that presses and contracts the spring 57 is temporarily maintained at a predetermined height. On the other hand, the variable pin 51 from which the locking piston 58 is separated by the negative pressure is returned to the original height by the spring 57. Further, at this time, the inside of the working chamber 611 may be released to the atmosphere instead of the negative pressure. This is because the variable pin 51, which has a reduced frictional resistance with the locking piston 58, is returned to its original height by the spring 57.

そこで、こうした基板支持装置を備えたスクリーン印刷機1では、前述したように基板10が搬入されると、昇降用モータ42の駆動によってバックアップテーブル53が上昇し、バックアップピン51,52に突き上げられるようにして基板10がコンベアベルト11から持ち上げられる。このとき、基板10が平面状態の場合には、その基板10からの反力によってスプリング57が押し縮められ、可変ピン51が下降することになる。固定ピン52の高さが平面状態の基板10に対応しているため、可変ピン51の高さがほぼ固定ピン52の高さに揃うことになる。また、基板10が下反り状態の場合にも、下方に撓んだ部分が押し上げられて基板10が平面状態になるため、可変ピン51の高さはほぼ固定ピン52の高さに揃うことになる。 Therefore, in the screen printing machine 1 provided with such a substrate support device, when the substrate 10 is carried in as described above, the backup table 53 is raised by the drive of the elevating motor 42 and pushed up to the backup pins 51 and 52. The substrate 10 is lifted from the conveyor belt 11. At this time, when the substrate 10 is in a flat state, the spring 57 is compressed by the reaction force from the substrate 10, and the variable pin 51 is lowered. Since the height of the fixed pin 52 corresponds to the flat substrate 10, the height of the variable pin 51 is substantially the same as the height of the fixed pin 52. Further, even when the substrate 10 is in a downward warp state, the bent portion is pushed up and the substrate 10 is in a flat state, so that the height of the variable pin 51 is substantially the same as the height of the fixed pin 52. Become.

一方で、基板10が上反り状態の場合には、上方に反っている部分で可変ピン51が押し下げられても、固定ピン52の高さまで下がることなく途中で止まることになる。従って、上反り状態の場合には、基板10の反力によって複数ある可変ピン51が下降するが、各々が異なる高さで止まることになる。この点は、基板10が捻じれた状態であっても、基板の各個所の高さに応じて可変ピン51が変位し、基板10の全体を可変ピン51と固定ピン52とで支えることになる。ただし、複数ある固定ピン52のうち、場所によっては基板10に高さが届かないものもあるが、そうした固定ピン52の周りでは可変ピン51が基板10を支えている。 On the other hand, when the substrate 10 is in the upward warped state, even if the variable pin 51 is pushed down at the portion warped upward, the variable pin 51 does not fall to the height of the fixed pin 52 and stops in the middle. Therefore, in the case of the upward warp state, a plurality of variable pins 51 are lowered by the reaction force of the substrate 10, but each of them stops at a different height. In this respect, even when the substrate 10 is twisted, the variable pin 51 is displaced according to the height of each part of the substrate, and the entire substrate 10 is supported by the variable pin 51 and the fixing pin 52. Become. However, among the plurality of fixing pins 52, the height may not reach the substrate 10 depending on the location, but the variable pins 51 support the substrate 10 around the fixing pins 52.

そして、このように基板支持装置の上昇によって可変ピン51が変位した後は、エア圧調整装置から作動エアによるエア圧よって作動室611内が正圧になり、ロック用ピストン58が可変ピン51側に押し当てられる。そのため、基板10の反力によって押し下げられた可変ピン51は、ロック用ピストン58との摩擦抵抗により上端を基板10に当てた状態でその高さが維持される。その後、基板10を保持したクランプ装置5全体が上昇し、マスク支持プレート262の高さにクランプ部35と基板10の上面がほぼ揃えられた状態になる。 Then, after the variable pin 51 is displaced due to the rise of the substrate support device in this way, the inside of the working chamber 611 becomes positive pressure due to the air pressure from the air pressure adjusting device due to the working air, and the locking piston 58 is on the variable pin 51 side. Is pressed against. Therefore, the height of the variable pin 51 pushed down by the reaction force of the substrate 10 is maintained in a state where the upper end thereof is in contact with the substrate 10 due to the frictional resistance with the locking piston 58. After that, the entire clamp device 5 holding the substrate 10 rises, and the clamp portion 35 and the upper surface of the substrate 10 are substantially aligned with the height of the mask support plate 262.

更に、昇降台22が上昇することにより、基板10がマスク9の下面に軽く接触した印刷位置に停止し、同じく上昇したマスク支持プレート262もマスク9の直下に位置することになる。そして、真空装置が駆動して吸引孔263を介して真空引きが行われる。マスク9の上面側では、供給されたクリームはんだがスキージ装置4によってマスク9上でローリングしながら印刷パターンへの押し込みが行われる。これにより、印刷パターンの貫通孔を通ってマスク9の下に位置する基板10にクリームはんだが印刷される。このときスキージヘッド401,402は、マスク9上面の高さに応じた調整をしながら移動し、一定の印圧でクリームはんだのローリングが行われる。 Further, when the elevating table 22 is raised, the substrate 10 is stopped at a printing position where the substrate 10 is in light contact with the lower surface of the mask 9, and the similarly raised mask support plate 262 is also located directly under the mask 9. Then, the vacuum device is driven to evacuate through the suction hole 263. On the upper surface side of the mask 9, the supplied cream solder is pushed into the print pattern while being rolled on the mask 9 by the squeegee device 4. As a result, the cream solder is printed on the substrate 10 located under the mask 9 through the through holes of the print pattern. At this time, the squeegee heads 401 and 402 move while adjusting according to the height of the upper surface of the mask 9, and the cream solder is rolled at a constant printing pressure.

よって、本実施形態のスクリーン印刷機1によれば、バックアップピンを複数の可変ピン51と固定ピン52によって構成したため、基板10が上反り状態や捻じれ状態などであって、基板10に届かない固定ピン52があったとしても、可変ピン51が基板10を支持することにより印刷の位置ズレなどの品質低下を防止することができる。特に、その可変ピン51と固定ピン52はほぼ半数ずつであり、バックアップテーブル53上に交互に配置されているため、高さが足りない固定ピン52の周りを可変ピン51によって支えることができる。 Therefore, according to the screen printing machine 1 of the present embodiment, since the backup pin is composed of a plurality of variable pins 51 and fixed pins 52, the substrate 10 is in a warped state or a twisted state and does not reach the substrate 10. Even if there is a fixed pin 52, the variable pin 51 supports the substrate 10 to prevent quality deterioration such as misalignment of printing. In particular, since the variable pins 51 and the fixed pins 52 are about half each and are arranged alternately on the backup table 53, the variable pins 51 can support the circumference of the fixed pins 52 having insufficient height.

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、前記第2実施形態の可変ピン51の組み付け構造は、米国特許公報US7942394に開示されたピン構造を改良したものであるが、そのほかの構造であってもよい。
また、第2実施形態では、分かり易くするため複数のバックアップピンを縦横に規則正しく並べたものを示したが、電子部品を避ける場合には、その個所のバックアップピンを除くようにすれば良い。更に、複数のバックアップピンは、不規則に配置したものであってもよい。
Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to this, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
For example, the assembly structure of the variable pin 51 of the second embodiment is an improvement of the pin structure disclosed in US Patent Publication US7942394, but other structures may be used.
Further, in the second embodiment, a plurality of backup pins are arranged regularly in the vertical and horizontal directions for the sake of clarity, but when avoiding electronic components, the backup pins at those locations may be removed. Further, the plurality of backup pins may be irregularly arranged.

また、前記第2実施形態の可変ピン51は、基板10からの反力によってスプリング57が押し縮められ、その先端の高さが基板10の状態に倣うように構成されている。このほかにも例えば、図4に示すピン穴551内であってピストン511の下方側へ連通するエア流路を形成し、エア圧によって上昇させた可動ピン51の先端を基板10の状態に倣うようにしてもよい。 Further, the variable pin 51 of the second embodiment is configured such that the spring 57 is compressed by the reaction force from the substrate 10 and the height of the tip thereof follows the state of the substrate 10. In addition to this, for example, an air flow path communicating with the lower side of the piston 511 is formed in the pin hole 551 shown in FIG. 4, and the tip of the movable pin 51 raised by the air pressure follows the state of the substrate 10. You may do so.

1…スクリーン印刷機 3…基板搬送装置 4…スキージ装置 5…クランプ装置 7…基板支持装置 8…昇降装置 9…マスク 10…基板 11…コンベアベルト 35…クランプ部 38…バックアップピン





1 ... Screen printing machine 3 ... Board transfer device 4 ... Squeegee device 5 ... Clamp device 7 ... Board support device 8 ... Elevating device 9 ... Mask 10 ... Board 11 ... Conveyor belt 35 ... Clamp part 38 ... Backup pin





Claims (5)

印刷パターンが形成されたマスクが保持され、当該マスクの下に位置する基板に対してクリームはんだを印刷するスクリーン印刷機において、
高さ調整が可能なスキージによって前記マスクに対して上からクリームはんだを塗り延ばすスキージ装置と、
前記マスクの下に基板を搬送する搬送装置と、
搬送方向と直交する方向から基板を保持する基板保持装置と、
先端の高さが異なる複数のバックアップピンを備えて基板を下から支える基板支持装置と、
前記基板支持装置を昇降させる昇降装置と、
前記各装置の駆動を制御する制御装置とを有し、
前記制御装置は、前記スキージ装置に対して、前記基板保持装置におけるバックアップピンの先端高さの変化に応じて移動しながら前記スキージの高さを調整するクーリムはんだの塗り延ばしを行わせることを特徴とするスクリーン印刷機。
In a screen printing machine in which a mask on which a printing pattern is formed is held and cream solder is printed on a substrate located under the mask.
A squeegee device that spreads cream solder on the mask from above with a height-adjustable squeegee,
A transport device that transports the substrate under the mask,
A board holding device that holds the board from a direction orthogonal to the transport direction,
A board support device that supports the board from below with multiple backup pins with different tip heights,
An elevating device that elevates and elevates the board support device, and
It has a control device that controls the drive of each of the above devices.
The control device is characterized in that the squeegee device is spread with a cool rim solder that adjusts the height of the squeegee while moving according to a change in the tip height of a backup pin in the substrate holding device. Screen printing machine.
前記基板支持装置は、前記複数のバックアップピンの先端の高さが、前記スキージの移動方向に見て、マスクの中央部分に位置するものが最も高く、その中央部分から遠くなるものに従い低くなるようにしたものであることを特徴とする請求項1に記載のスクリーン印刷機。 In the substrate support device, the height of the tips of the plurality of backup pins is highest when it is located in the central portion of the mask when viewed in the moving direction of the squeegee, and becomes lower as it is farther from the central portion. The screen printing machine according to claim 1, wherein the screen printing machine is made of the above. 前記基板保持装置は、基板を幅方向に挟み込んで保持するクランプ部材に対してマスクが接触する上面に開口した複数の吸引孔が形成され、その吸引孔を介してマスクを吸引保持する吸引保持手段を備えたものであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のスクリーン印刷機。 In the substrate holding device, a plurality of suction holes opened on the upper surface where the mask contacts the clamp member that sandwiches and holds the substrate in the width direction are formed, and the suction holding means for sucking and holding the mask through the suction holes. The screen printing machine according to claim 1 or 2, wherein the screen printing machine is provided with. 前記基板支持装置は、複数ある前記バックアップピンには先端の高さの高い可変ピンと先端の高さの低い固定ピンとがあり、前記可変ピンは、前記基板からの反力によって下降した位置で位置決め可能な可変機構を備えたものであることを特徴とする請求項1に記載のスクリーン印刷機。 The board support device has a plurality of backup pins having a variable pin having a high tip height and a fixing pin having a low tip height, and the variable pin can be positioned at a position lowered by a reaction force from the board. The screen printing machine according to claim 1, further comprising a variable mechanism. 前記基板支持装置は、複数の前記可変ピンと前記固定ピンとが、テーブル上にほぼ均等な状態で配置されたものであることを特徴とする請求項4に記載のスクリーン印刷機。 The screen printing machine according to claim 4, wherein the substrate support device is a device in which a plurality of the variable pins and the fixing pins are arranged on a table in a substantially even state.
JP2016208261A 2016-10-25 2016-10-25 Screen printing machine Active JP6940267B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016208261A JP6940267B2 (en) 2016-10-25 2016-10-25 Screen printing machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016208261A JP6940267B2 (en) 2016-10-25 2016-10-25 Screen printing machine

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018069467A JP2018069467A (en) 2018-05-10
JP6940267B2 true JP6940267B2 (en) 2021-09-22

Family

ID=62112002

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016208261A Active JP6940267B2 (en) 2016-10-25 2016-10-25 Screen printing machine

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6940267B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109698453B (en) * 2018-12-29 2020-04-21 中电科仪器仪表有限公司 USB female connector welding device and method
GB2602011A (en) * 2020-12-15 2022-06-22 Asm Assembly Systems Singapore Pte Ltd Determining component height deviations

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2583190Y2 (en) * 1993-09-10 1998-10-15 東海商事株式会社 Screen printing machine
US6775904B1 (en) * 1999-07-16 2004-08-17 Siemens Aktiengesellschaft Supporting pin for supporting substrates in automatic equipment units
KR100548025B1 (en) * 2003-06-21 2006-01-31 삼성테크윈 주식회사 Backup pin automatic setting device for board support, and backup pin setting method by it
JP4573692B2 (en) * 2005-04-13 2010-11-04 ヤマハ発動機株式会社 Substrate support apparatus and substrate support method

Also Published As

Publication number Publication date
JP2018069467A (en) 2018-05-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6833865B2 (en) Screen printing machine
JP4950530B2 (en) Substrate fixing device
JP5305507B2 (en) Substrate positioning device and substrate positioning method for screen printing machine
JPWO2014083605A1 (en) Substrate printing device
JP7015325B2 (en) Backup block and screen printer
JP6940267B2 (en) Screen printing machine
KR101164593B1 (en) Fixing apparatus for printed circuit board and printing method of PCB
JP5001633B2 (en) Printed circuit board holding method and apparatus
JP4950831B2 (en) Substrate transfer conveyor
JP6823429B2 (en) Screen printing machine
JP7002181B2 (en) Screen printing machine
JP2017226181A (en) Screen printer
JP5643540B2 (en) Screen printing machine
JP4567517B2 (en) Printing device
JP4128103B2 (en) Screen printing method
JP6949492B2 (en) Screen printing machine
JP6646811B2 (en) Component mounting device and component mounting method
JP7133041B2 (en) Conveyor
JP6738997B2 (en) Screen printer
JPH0423344Y2 (en)
KR101781003B1 (en) A mesh plate alignment apparatus for screen printer
JP4957685B2 (en) Screen printing machine and screen printing method
JP2019021853A (en) Component mounting device, component mounting method, and paste supply device
JP2009295861A (en) Minute ball mounting apparatus
JPH0324079B2 (en)

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190917

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200804

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200807

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200901

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210224

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210303

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210831

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20210902

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6940267

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150