KR101122707B1 - 직렬 통과형 장치에서 평면재에 대한 전기적 접촉을 제공하는 장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 접촉면(9)을 건조한 상태로 유지하는 동안 전기적인 외부 전류를 가하고 처리면(10)을 처리액(11)에 적심으로써, 물품의 처리면(10)을 전해처리 및/또는 전기적으로 습식 화사적 처리를 하는 인라인 장치에서 조각들 형태의 평면 물품(1)의 전기접촉에 관한 것이다.
상부 및 하부 수송 및/또는 접촉수단을 갖는 알려진 수송장치를 이용하여, 처리액(11)이 하부 수단으로부터 상부 수단으로 수송되면, 물품의 윗면이 보통 용인될 수 없게 적셔지고 하부 접점들이 전기도금되어, 연속적인 금속 제거가 필요하므로, 큰 수고가 요구된다.
본 발명에 따르면, 수위가 상부 접점들(6)의 부위에서 낮아진다. 따라서, 접점들(6)의 부위에 물품이 없는 경우에도, 접점이 젖지 않는다. 이는 각 접점(6)에 할당되어 있는 하향 파이프들(5)에 의해 달성된다. 완화된 상태에서 조차도, 접점들은 처리액과 접촉하지 않으므로, 물품의 윗면이 건조하게 유지되고 접점들의 금속제거를 요구하지 않는다.

Description

직렬 통과형 장치에서 평면재에 대한 전기적 접촉을 제공하는 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR PROVIDING ELECTRICAL CONTACT FOR PLANAR MATERIAL IN STRAIGHT-THROUGH INSTALLATIONS}

본 발명은 전해처리 또는 습식 화학처리 인라인 장치들에서의 평면 물품의 수송 또는 이송 및 전기접촉에 관한 것이다. 물품은, 적어도 하나의 공정에서 단지 하나 면만이 외부 전류의 공급에 의해, 예를 들어 전해적으로 처리되어야 하는, 예를 들어 웨이퍼, 실리콘 재질의 태양전지, 회로기판, 또는 혼성물에 관련된 것이다. 여기서, 물품의 처리되어서는 안되는 면은 처리액에 의해 적셔지거나 또는 오염되어서는 안된다. 아주 경미한 젖음의 흔적 조차도 물품이 불합격되는 것을 방지하기 위해 회피되어야 한다.

DE 10 2005 038 449 A1와 EP 0 992 617 A2 문헌들은 링들을 구비한 롤러들 및 롤들과 작은 바퀴들을 구비한 축들 등의 전형적인 구동 이송수단을 구비한 널리 사용되는 인라인 장치들을 보여준다.

이들 인라인 장치들 내의 이송수단의 배치에 기인하여, 물품의 아래면 뿐만 아니라 윗면이 의도된 대로 처리액에 적셔진다. 만약 물품의 아랫면만 적셔져야 하거나 또는 적셔질 수 있다면, 적어도 물품의 전해처리의 경우에 있어서는, 상당히 큰 기술적 노력이 필요하다. 이 경우, 처리액은 대개 얇은 물품의 아랫면까지만 도달한다. 확실한 전기접촉을 위해, 접촉력이 적어도 하나의 면에서부터 평탄한 물품 상으로 가해져야 한다. 이런 전기도금 장치는 DE 10 2005 039 100 A1 문헌에 설명되어 있다. 물품의 윗면들, 즉 태양전지 등의 기판들의 윗면들은 물품의 아랫면까지 도달하는 처리액의 침입으로부터 프레임 내의 밀봉수단에 의해 보호된다. 아주 부드러운 가압 롤들은 전기접촉을 위한 프레임 돌출부의 접점들을 향해 태양전지를 누른다. 프레임은 여러 태양전지를 위한 용기 구실을 한다.

처음에 언급한 두 문헌들에서, 수송수단 또는 접촉수단은 각각 물품의 윗면과 아랫면을 따라 회전한다. 수송수단은 오직 물품의 수송을 목적으로 사용된다. 접촉수단은 물품의 수송과 전기접촉, 또는 오직 물품 접촉만을 목적으로 사용된다.

비록 처리액의 수위와 수송선로의 높이가 물품의 아랫면만 적시도록 조절되었다 하더라도, 종래의 기술에 따르면 윗면이 적어도 부분적으로 건조되지 않은 상태로 유지하는데, 그 이유는 물품이 인라인 장치를 통해 태양전지들과 같은 조각들(segments)의 형태로 서로 평행하게 차례대로 이송되기 때문이다. 각각의 물품 사이에는 대략 10 ~ 30 ㎜의 둘레방향으로의 자유 공간이 존재한다. 이 공간은 다음에서 수송방향 또는 이송방향에 대해 각각 수직한 측면 틈새라고 한다. 하부 회전 이송수단들은 전체적으로 처리액에 잠겨져 처리액에 의해 적셔진다. 이들 이송수단들과 대향하여, 추가적으로 이송수단들이 물품의 윗면에 배치된다. 이들은 물품의 초기의 건조한 윗면을 따라 구동한다. 측면 틈새는 물품의 각각의 조각들을 따라 나 있다. 특히, 물품이 매우 얇거나 및/또는 이 측면 틈새가 전술된 길이를 갖는다면, 상부의 아직 건조한 이송수단은, 하부의 젖은 이송수단 위에서, 이 틈새로 짧은 시간 동안 굴러 들어간다. 여기서, 상부 이송수단은 하부 이송수단으로부터 처리액을 끌어 올린다. 그러면, 이 처리액은 다음 물품의 윗면의 표면으로 옮겨진다.

인라인 장치는, 이송방향에서 보면, 예를 들어 100 또는 그 이상의 회전 수송 축들(다음에서 축이라고 간단하게 칭한다)로 구성된다. 이들은 전체 수송선로를 따라 수송방향에 수직하게 뻗어 있다. 다수의 이송수단들은 이송선로들의 폭을 따라 축 상에 배열된다. 많은 수의 축들에 기인하여, 처리액이 하부 이송수단으로부터 물품의 윗면으로 옮겨지는 효과는 100 번 또는 그 이상 반복된다. 이에 따라, 처리액의 수위가 윗면까지 이르지 못하더라도, 적어도 수송선로의 부위에서, 물품은 이송수단에 의해 그 윗면이 적셔진다.

DE 690 00 361 T2 문헌에 따르면, 적셔져서는 안되는 물품의 윗면을 단일 면 분사 처리 중에 건조하게 유지하기 위해, 보호 덮개의 사용이 제안되었다. 그러나, 이 유형의 해결법은 현재 습식 처리의 경우에는 적합하지 않다. 그 이유는 원하지 않는 처리액이, 특히 경계 부위들에서, 밀봉수단 없이는 회피할 수 없는 모세관 틈새를 통해 물품의 윗면에 또한 도달할 것이기 때문이다. 밀봉수단을 추가적으로 사용하면, 밀봉수단들은 상대적으로 높은 표면 압력으로 물품의 윗면에 대해 가압되어야 하는데, 이러한 가압력은 반대로 물품의 손상 또는 심지어 물품의 파손을 야기할 수 있다. 이러한 밀봉수단은 DE 88 12 212 U1 문헌에 개시되어 있다. 이 문헌에 따르면, 밀봉수단은 처리될 물품의 아랫면에 이미 결합되어 있으므로, 에칭액이 건조하게 유지되어야 할 윗면으로 통하는 것을 피할 수 있다. 그러나, 아랫면 상의 밀봉수단의 배치는 자연히 아랫면의 불완전한 처리만을 허용할 것이며, 이는 현재 바람직하지 않다.

DE 103 13 127 B4 및 WO 2005/093788 문헌들에는, 처리액 수위가 가장자리들을 포함한 기판들의 아랫면만 적시도록 조절되는 인라인 장치들에서 수행될 수 있는 기판을 위한 습식 에칭 기술이 각각 개시되어 있다. 이 경우, 평면 물품이 단지 하부 이송수단에 위치되므로, 윗면이 적셔지지 않는다. 그러나, 물품의 윗면을 건조한 상태로 유지하는 본 방법은 물품의 전해 처리용으로 의도되지 않았다. 여기서, 음극인 아랫면, 즉, 전해액에서 전기도금되어야 할 면의 가능한 전기접촉은 이 전해액에서 접촉수단의 연속적인 산화전극의 탈 금속화를 요구한다. 이는 예를 들어, 실질적으로 사용되는 귀금속에 대해서는 불가능하다. 이들 귀금속들은 주어진 전해액에서 산화전극으로 용해되지 않는다. 따라서, 이러한 방법에서는 전기도금된 접점들의 탈 금속화가 불가능하다. 이는, 전기도금되면 안되는 윗면을 전기적으로 접촉시키면서, 이 면, 즉, 전해액 바깥쪽으로부터 건조하게 유지되도록 하는 시도가 이루어지는 이유이다. 그러나, 이들 알려진 상부 접촉수단은 상호 뒤따르는 2개의 물품들 사이의 언급한 측면 틈새에서 적셔진다. 이들이 산화되어 전극화되므로, 이들은 또한 측면 틈새들의 부위에서 특히 강하게 전기도금되며, 이는 방지되어야 한다.

본 발명의 목적은, 인라인 장치에서, 외부 전류를 가함으로써, 습식 화학적으로 또는 전해적으로 단지 하나의 면, 즉 물품의 아랫면만이 처리되어야 하는 물품의 수평 이송을 가능케 하는 것이다. 본 발명에서는, 접촉수단이 물품의 윗면에서 수송선로를 따라 물품과 접촉하고, 오직 평면 물품의 아랫면까지만 도달하는 처리액은 건조한 윗면 상으로 옮겨지지 않는다.

종래의 문제점은 청구항 1에 따른 장치 및 청구항 13에 따른 방법에 의해 해결된다. 하위 청구항들은 본 발명의 바람직한 실시 예들을 설명한다. 예를 들어, 웨이퍼들, 태양전지들, 또는 혼성물의 처리를 위한 방법은 특히 전기도금, 전해에칭, 및 전해연마에 관한 것이다. 만약 공정의 가속 또는 개선이 외부 전류에 의해 달성될 수 있으면, 또한, 본 발명은 예를 들어, 도핑(doping), 활성화(activating), 부동태화(passivating), 텍스춰링(texturing), 및 화학적 에칭(chemical etching) 등의 다른 습식 공정들에 적합하다. 이러한 공정들은 대량 생산되는 물품들과 관련하여 존재한다. 이를 위해, 인라인 장치들은, 적어도, 그 크기가 항상 일정하게 유지되는 물품의 생산을 위해 제작된다.

다음에서, 본 발명은 단지 전기도금의 예와 이에 따라 필요한 산화전극들의 이용을 설명한다. 그러나, 이는 외부 전류의 응용에 관한 다른 공정들에 대해서도 또한 적용된다. 이를 위해, 요구되는 반대전극들은 양극 또는 음극일 수 있으며, 물품 뿐만 아니라 접점들은 음극 또는 양극일 수 있다.

본 발명은 널리 이용되는 156 × 156 ㎟ 크기의 태양전지들의 예를 이용하는 것으로 설명되어 있다. 그러나, 본 발명은 인라인 장치들에서 조각들의 형태로 취급되어야 하는 다른 평면 물품에 제약없이 또한 유효하다.

태양전지들의 처리는 매우 특별한 기술적 도전을 나타낸다. 이들 실리콘 판들의 두께는 예를 들어 140 ㎛ 또는 그 이하이다. 따라서, 이들은 매우 깨지기 쉽다. 습식 처리 중 건조하게 유지되어야 하는 윗면의 표면은 종종 처리액과 매우 강하게 반응할 것이다. 즉, 표면은 젖음으로부터 안정적으로 보호되어야 한다. 이는 또한 상부 이송수단 및/또는 접촉수단이 앞서 설명한 측면 틈새들에서 하부 이송수단 또는 다른 구조수단에 의해 적셔져서는 안됨을 의미한다. 이는 윗면이 건조하게 처리되어야 하는 조각 형태의 다른 생산물들에 있어서도 동일하다.

인라인 장치에서, 여러 동일한 물품들, 예를 들어, 태양전지들은 일반적으로 평행하게, 즉, 나란히 적재되어 차례대로 공급된다. 수송방향에 대해 수직하게 배열된 축들은, 각각의 축 상에서 요구되는 수송수단 및/또는 접촉수단과 일치되는 수, 예를 들어 8개의 이송선로들을 포함한다. 이송선로들은 다음에서 8개의 이송선로에 대해 알파벳 대문자, 예를 들어, A ~ H 로 표시될 것이다. 여기서, 각 축은 숫자, 예를 들어, 인라인 장치의 제1축에 대해 위치 pos. 1로 표시될 인라인 장치의 위치에서 수송방향으로 정렬된다.

본 발명은 길이방향 및 측면방향 길이들이 물품의 크기에 의존하는 이송수단들을 오직 물품의 아래면에 제공한다. 본 발명은 또한 이송수단으로서도 동시에 기능할 수 있는 접촉수단을 물품의 윗면에 제공한다. 이들 수단의 수는 바람직하게는 물품의 양 면 상에서 서로 다르다. 전해액의 수위는 물품의 아랫면이 적셔질 수 있도록 물품의 아랫면까지 도달한다. 본 발명에 따른 전해액의 수위는, 적어도 상부 접촉수단 및/또는 하부 이송수단이 배열된 위치들에서, 접촉수단 또는 이송수단의 정면에 물품이 없는 경우에도 이들 접촉수단 및/또는 상부 이송수단이 적셔지지 않을 정도로 낮춰진다. 국지적으로 제한되어 작동하는 범람부가 수위를 낮추는 구실을 한다.

이송과 관련하여, 물품은 적어도 하부 축들에 배열된 이송수단에 의해 이송방향으로 운반 및 이송된다. 이송수단들은 회전 축들 상의 수송 바퀴들, 수송 링들, 수송 디스크들로 설계될 수 있다. 이송방향으로의 축들 또는 롤러들의 거리는 일반적으로 물품 및 측면 틈새의 크기에 의존되며, 특히, 물품의 길이에 의존된다. 이송수단을 구비한 적어도 2개의 축들은, 안정된 이송을 보장하기 위해, 이송방향에서 항상 물품과 맞닿아야 한다.

본 발명은 개략적이면서 축적되지 않은 도 1 - 도 3을 토대로 다음에서 상세히 설명될 것이다.
도 1은 작업탱크에서의 이송수단과 범람부의 배치를 상세히 나타낸 평면도이고, 도 2는 태양전지의 전해처리를 위한 인라인 장치를 나타낸 측면도이고, 도 3a는 전기접촉동안의 접촉 상태를 수송방향에서 본 것을 나타낸 것이고, 도 3b는 이 상태에서 측면 틈새에서의 접촉 부위를 나타낸 것이다.

도 1에서, 물품(1)은 수송방향 화살표(2)의 방향으로 이송된다. 이를 위해, 회전 구동 축들(3)이 이송수단으로서 기능한다. 묘사된 바와 같이, 이들 축들(3)은 이송수단의 최종 바깥 지름이 되는 링들(4)을 구비할 수 있다. 물품(1)은 축(3)과 함께 회전하는 링들(4) 상에 얹어진다. 물품은 적어도 범람 파이프(5)에서 발생하는 후술할 흡착에 의해 링들(4)에 대해 당겨지고, 그 결과로서, 물품(1)의 방향적으로 안정된 수송이 일어난다. 작은 바퀴 축들 또는 롤러들은 이송수단으로도 적합하다. 롤러들은 주로 그에 맞는 크기의 바깥 지름을 갖는다. 적어도 하나의 접촉수단은 각 이송선로 A, B, C 등의 부위에서 이송수단(3)으로 지정될 수 있다. 도 1에서, 도시되지 않은 접촉수단은 각각의 제3 이송수단(3) 뒤에 제공된다. 본 발명에 따르면, 전해액의 수위는, 접촉수단의 부위에서, 물품과 접촉하지 않는 접점이 적셔지지 않을 정도로 낮춰진다. 이는 작업탱크에 국지적으로 제한되어 정렬된 전해액의 범람에 의해 달성된다. 범람 파이프들(5) 또는 하향 파이프들은 도 1의 예에서 수위를 국지적으로 낮추는 구실을 한다. 상부에서, 물품의 수송이 방해받지 않으므로, 이들 범람부가 물품(1)의 아랫면의 평면에 가깝게 도달한다. 따라서, 범람 파이프들(5)의 범람부 가장자리는 작업탱크의 처리액의 공통 수위에서 약간 아래에 놓인다. 범람하는 처리액의 양은 이 높이 차이에 의해 각각의 범람부에 대해 조정될 수 있다. 범람 파이프(5)의 다른 끝은 하부탱크에서 끝난다. 하부탱크는 작업탱크와 분리되며, 수용탱크 및 펌프 섬프로서 기능한다.

수송방향으로의 접촉수단의 수는, 적어도 하나의 접점이 항상 각각의 개별 물품(1)과 맞닿을 수 있도록, 많이 선택된다. 범람부와 이에 따른 접촉수단의 접점들 뿐만 아니라 축들 상의 링들(4)은 선로형성, 바람직하게는 그에 따른 위치와 위치 사이의 오프셋을 방지하기 위해 수송방향에 대해 수직하게 배열된다.

도 2는 움직이지 않게 설치된 접촉수단(7)에 위치된 접점들(6)을 나타낸다. 접점들(6)은 전기적으로 도전성인 물품(1)의 윗면(9)을 따라 미끄러지는 슬라이딩 접점들이므로, 따라서, 전해처리를 위해 필요한 전류가 물품(1)으로 이동된다. 접점들(6)은, 예를 들어 전기적으로 도전성인 미세하고 뻣뻣한 줄들 또는 얇고 탄력있는 띠들로 이루어진다. 슬라이딩 접점들(6)을 대신하여, 회전 접점들이 역시 사용될 수 있다. 이들은, 각 접촉선로들과 범람부의 부위에 있는 물품(1)의 윗면(9)에서, 회전 구동 축에 정렬된다. 또한, 접촉바퀴의 실질적인 접촉수단은, 예를 들어, 전기적으로 도전성인 미세하고 뻣뻣한 줄들 또는 얇고 탄력있는 띠들이다. 접점들은 물품(1)의 윗면(9)을 따라 이동한다. 그 다음, 접점들은 물품의 수송을 지지하므로, 따라서 큰 접촉력을 달성할 수 있다. 이는 특히, 물품의 아랫면 전체가 높은 전류밀도로 처리되어야 한다면, 유리하다. 이 경우, 큰 전류, 예를 들어, 10 암페어가 각 회전 접점으로 전송되어야 한다.

이 전류는 윗면(9)으로부터 물품을 통해 실질적으로 처리되는 면인 아랫면(10)에 도달한다. 이 방식의 전기접촉에 의해, 음극 접점들(6)이 매우 바람직하게 전기도금되지 않는 것이 달성된다. 따라서, 경험상 매우 큰 기술적 노력이 요구될 접점들의 탈 금속화는, 또한 필요 없다.

접점들(6)은 접점들의 탈 금속화의 안정적인 방지를 위해 전해액과 접촉해서는 안된다. 여기서 범람 파이프(5)로 표시된 범람부는 이러한 목적을 위해 제공된다. 전해액(11)은, 작업탱크(12)에 있는 처리액과 분리되어, 범람 파이프(5)의 내벽을 따라, 작업탱크(12)의 바닥(14)을 통과하여, 수용탱크와 동시에 펌프탱크로 기능하는 하부탱크(13)로 얇은 층을 이루며 흐른다.

전해액(11)은, 전해회로가 폐쇄될 수 있도록, 적어도 하나의 펌프(15)에 의해 하부탱크(13)로부터 작업탱크(12)로 복귀된다.

접촉수단(7)에 부착된 접점들(6)은 기계적으로 전류를 흘러보내면서, 사전 긴장(pre-tension)상태로 물품(1)의 윗면(9) 위를 미끄러진다. 이 상태는 왼쪽에 도시되어 있다. 슬라이딩 또는 회전 접점은 측면 틈새(8)의 부위에서 완화되어 늘어져, 물품(1)의 아랫면(10)의 평면 아래로 돌출된다. 이러한 동작에서, 접점은 범람 파이프(5)의 젖은 내벽 및 전해액에 의해 역시 적셔질 수 있는 이송수단의 축과 각각 접촉하지 않는다. 이러한 상황은 오른쪽 흐름에 도시되어 있다.

길게 늘어진 범람부는 접촉수단의 부위에서 범람 파이프(5)를 대신하여 설치될 수 있다. 이러한 예는 수송방향에 수직한 범람 배수로이다.

축들(3)은 범람 파이프들(5)을 베어링 지지하면서 관통한다. 이는, 물품의 아랫면(10)으로부터 이 아랫면에 있는 범람 파이프들(5)의 개방부 높이까지의 물품의 높이를 매우 정확한 조정을 허용한다. 따라서, 온도와 관련된 구조요소들의 치수의 변화는, 큰 인라인 장치들에서 조차도, 물품과 범람 파이프 사이의 범람에 필요한 거리에 영향을 주지 않는다.

적어도 하나의 용해되는 또는 용해되지 않은 산화전극(16)은 전해조의 형성을 위해 작업탱크(12) 내부의 전해액(11)에 배치된다. 통상적으로 반대 전극이라고도 언급되는, 이 산화전극(16)은 적어도 하나의 도금 전원(17) 또는 일반적으로 전원에 전기적으로 연결된다. 따라서, 전기 도금 전원회로는 접촉수단(7), 접점들(6), 물품(1), 작업탱크(12)의 전해액(11), 및 산화전극(16)에 걸쳐 자체적으로 폐쇄된 회로가 된다. 이 회로를 위한 전제조건은 물품이 윗면(9)으로부터 아랫면(10)까지 전기적으로 도전성이 있어야 한다는 것이다. 예를 들어, 금속 기판이 이 경우가 된다. 태양면이 전기도금될 실리콘 재질의 태양전지는 우선적으로 주어진 극성에서 전기적 도전성이 없다. 태양전지는 일반적으로 태양면이 충분히 조사되어서야 저저항체가 되므로, 도금전류를 흘러보낼 수 있다. 빛이 이러한 적용을 위해 전해조로 유입된다. 이는 바람직하게는 수송방향에 수직한 이송수단들 사이에 설치된 광원(18)에 의해 발생한다.

도 3a는 도 2의 A - B 단면을 나타낸다. 탄성적으로 사전긴장된 접점(6)은 물품(1)의 윗면(9)에 전기적으로 접촉하며 얹어진다. 일반적으로, 접촉되어야 하는 전기전류가, 예를 들어, 1 암페어로 작고, 또한, 태양전지의 태양면을 위해 전해처리되는 면이 또한 작기 때문에, 따라서, 단지 작은 접촉력만이 필요하다. 실험들은 이러한 슬라이딩 접점들의 접촉력이 물품의 수송에 아무런 영향을 주지 않음을 보여줬다. 접점들이 물품(1) 위를 미끄러질 때 조차도, 상부 이송수단이 완전히 배제되었지만, 수송은 방향적으로 안정되게 이루어진다. 예를 들어 10 ㎜ 폭의 팬 형태로 서로 이웃하게 정렬된 구리, 스테인리스 스틸 또는 귀금속의 미세하고 뻣뻣한 줄들은 탄성적 접점들(6)로 적합하다.

도 3b는 도 2의 C - D 단면을 나타낸다. 여기서, 접촉수단(7)과 이에 따른 접점(6)은 2개의 물품들(1) 사이의 측면 틈새(8)의 부위에 순간적으로 위치된다. 탄성 접점(6)은 느슨해 진다(완화된다). 비록 작업탱크에 있는 전해액의 통상 수위 아래로 그 하부 끝이 배치될 수 있지만, 접점은 적셔지지 않는다. 음극화된 접점(6)은 범람부(5)에 의해 자유롭게 유지된다. 따라서, 접점은 전기도금되지 않는다.

연속된 전해액의 변화는, 물품(1)에서 처리되는 아랫면(10)에서, 영구적으로 범람하는 전해액에 의해 또한 일어난다. 전해처리의 과정에서, 이는 산성 구리 욕조에서 적합한 크기의 전류밀도, 예를 들어 10 A/d㎡의 적용을 허용한다. 따라서, 본 발명에 따라 설계된 범람부에 의해, 접점의 탈 금속화를 요구하지 않는 건조한 전기접촉이 달성될 뿐만 아니라 처리될 물품의 아랫면에서 유리한 수동력적인 조건들이 동시에 실현된다.

1 물품
2 수송방향 화살표
3 축, 이송수단
4 링, 오링
5 범람부, 하향 파이프
6 접점
7 접촉수단
8 측면 틈새
9 물품의 윗면, 접촉면
10 물품의 아랫면, 처리면
11 전해액, 처리액
12 작업탱크
13 하부탱크
14 바닥
15 펌프
16 산화전극, 반대전극
17 도금전원, 전원
18 광원

Claims (18)

1. 접촉면(9)을 건조한 상태로 유지하는 동안 접촉면(9)에 외부 전류를 가하고 처리면(10)을 처리액(11)에 적심으로써, 물품의 처리면(10)만을 전해처리 또는 전기적으로 습식 화학처리하는 인라인 장치에서, 상부 접촉면(9)과 하부 처리면(10)을 구비한 조각들 형태의 물품(1)을 수평 이송하고 전기 접촉하는 장치로서,
   - 접촉면(9)이 전기적으로 접촉하는 동안, 처리액(11)에 완전히 담겨서 적셔질 수 있고 물품(1)의 처리면(10)이 처리액(11)을 통과하여 또는 처리액(11) 위로 하여 물품(1)이 이송될 수 있도록, 이송 방향(2)과 수직하게 수평으로 배열된 복수의 하부 회전 이송수단(3)을 구비하는, 높은 수위의 처리액(11)을 제공하는 처리 구역들과, 낮은 수위의 처리액(11)을 제공하는 하향 파이프들(5) 형태의 범람 구역들과, 바닥(14)을 구비한 작업 탱크(12);
   - 물품(1)이 처리액(11)을 통과하거나 처리액(11) 위로 이송되는 동안 물품의 상면과 접촉하는 복수의 접점들(6); 및
   - 하향 파이프들(5)로부터 작업 탱크(12)의 바닥(14)을 통과하는 처리액(11)을 수용하는 하부 탱크(13);를 포함하고,
   상기 접점들(6)은 상기 범람 구역들에, 그리고 낮은 수위 구역들을 한정하고 높은 수위 구역들로 완전히 둘러싸인 상기 하향 파이프들(5) 위에 배열되는 것을 특징으로 하는 물품의 수평 이송 및 전기 접촉 장치.
2. 청구항 1에 있어서,
   하향 파이프들(5)의 범람 가장자리의 상단은, 물품의 이송에 방해가 되지 않는 정도가 되도록, 처리될 물품의 하면(10)까지만 도달하고, 하향 파이프들의 하단은 작업 탱크(12)의 바닥(14)을 통과하여 하부 탱크(13)로 연결되는 것을 특징으로 하는 물품의 수평 이송 및 전기 접촉 장치.
3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   작업 탱크(12)의 처리 구역들에 있는 처리액(11)의 수위는 범람 하향 파이프들(5)의 범람 가장자리보다 높은 것을 특징으로 하는 물품의 수평 이송 및 전기 접촉 장치.
4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   접점들(6)은 슬라이딩 접촉 또는 회전 접촉되도록 설계되고, 측면 틈새(8)의 부위에서, 느슨한 상태에서도, 처리액 및 처리액에 의해 적셔진 인라인 장치의 구조물 수단의 표면들과 접촉하지 않는 것을 특징으로 하는 물품의 수평 이송 및 전기 접촉 장치.
5. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   접점들(6)은 미세하고 뻣뻣한 줄 또는 부드럽고 탄력있는 띠인 것을 특징으로 하는 물품의 수평 이송 및 전기 접촉 장치.
6. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   하부 회전 이송 수단들(3)은, 그들의 높이 수위에 대하여, 범람 파이프들(5) 상에 또는 범람 파이프들(5) 내에 지탱되는 것을 특징으로 하는 물품의 수평 이송 및 전기 접촉 장치.
7. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   이송 수단들(3)은 수송 선로를 따라 위치에서 위치로 오프셋되고, 수송방향에 수직하게 배열된 링들(4)을 구비하는 것을 특징으로 하는 물품의 수평 이송 및 전기 접촉 장치.
8. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   적어도 하나의 접점(6)이 각각의 하향 파이프(5)에 배치되는 것을 특징으로 하는 물품의 수평 이송 및 전기 접촉 장치.
9. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   작업 탱크(12)는 태양전지인 물품의 조사를 위한 광원들(18)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 물품의 수평 이송 및 전기 접촉 장치.
10. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    작업 탱크(12)는 전기도금용 가용성 또는 불용성 산화전극들(16)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 물품의 수평 이송 및 전기 접촉 장치.
11. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    작업 탱크(12)는 공정에 영향을 주기 위해 전원이 공급되는 반대 전극들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 물품의 수평 이송 및 전기 접촉 장치.
12. 청구항 1에 기재된 장치를 이용하여, 접촉면(9)을 건조한 상태로 유지하는 동안 접촉면(9)에 전기적인 외부 전류를 가하고 처리면(10)을 처리액(11)에 적심으로써, 물품의 처리면(10)만을 전해처리 또는 전기적으로 습식 화학처리하는 인라인 장치에서, 상부 접촉면(9)과 하부 처리면(10)을 구비한 조각들 형태의 물품(1)을 수평 이송하고 전기 접촉하는 방법으로서,
    물품의 상부 접촉 영역에서의 처리액(11)의 수위는 범람 하향 파이프들(5)에 의해 작업 탱크(12)의 처리 구역들에의 나머지 수위보다 낮아지도록 조절되어, 처리되는 동안에 슬라이딩 접점들 또는 회전 접점들은 현재 어떤 물품과도 전기적으로 접촉하지 않는 완화된 상태에서도, 처리액(11)에 의해 적셔지지 않는 것을 특징으로 하는 물품의 수평 이송 및 전기 접촉 방법.
13. 청구항 12에 있어서,
    하향 파이프들(5) 상의 이송 수단(3)의 베어링은, 물품(1)의 하면(10)으로부터 범람 구역(5)의 상부 가장자리까지 거리의 순간적인 구조적 변화에도, 항상 수평을 유지하여 이 거리를 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 물품의 수평 이송 및 전기 접촉 방법.
14. 청구항 12 또는 청구항 13에 있어서,
    물품(1)은 작업 탱크(12)로부터 범람 하향 파이프들(5)로 넘쳐 흐르는 처리액(11)에 의해 하부 이송 수단(3, 4)까지 흡착되어 안정적으로 수송되는 것을 특징으로 하는 물품의 수평 이송 및 전기 접촉 방법.
15. 청구항 12 또는 청구항 13에 있어서,
    처리될 물품의 하면(10)에서의 액체 교환은 작업 탱크(12)로부터 범람 하향 파이프들(5)로 넘치는 처리액(11)의 흘러내림에 의해 일어나는 것을 특징으로 하는 물품의 수평 이송 및 전기 접촉 방법.
16. 청구항 12 또는 청구항 13에 있어서,
    태양전지의 태양면의 처리를 위해. 태양전지는 적어도 하나의 광원(18)에 의해 작업 탱크(12)에서 조사되는 것을 특징으로 하는 물품의 수평 이송 및 전기 접촉 방법.
17. 태양전지의 전기도금을 위한 청구항 1에 따른 물품의 수평 이송 및 전기 접촉 장치.
18. 태양전지의 전기도금을 위한 청구항 12에 따른 물품의 수평 이송 및 전기 접촉 방법.

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