JP2007046164A - 有機‐無機コンポジットシートのリサイクルシステム及び方法 - Google Patents

Abstract

【課題】二次汚染を引き起こさないワークピースのリサイクルシステム及びその方法の提供。
【解決手段】ワークピースをリサイクルするシステム及び方法であって、ワークピースの金属層をエッチングする電解エッチング構造体を含み、電解エッチング構造体は電解エッチングユニット、ワーク台、電源装置、及び電解液供給装置を備え、電解エッチングユニットは陽極と、この陽極の隣にある陰極と、陽極を覆う絶縁カバーを含み、陰極と陽極が絶縁カバーにより隔離され、ワーク台は金属層が陽極及び陰極に対面するようワークピースを輸送し、電源装置は電解エッチングユニットの陽極に接続された正極と、陰極に接続された負極を備え、さらに電解液供給装置は電解エッチングユニットの絶縁カバーに連通され、電解液を陽極上に注ぎ、その後ワークピース上に衝突させ、ワークピースと陽極により定義される通路を通過させる。
【選択図】図１

Description

本発明は基板のリサイクルに関するものであり、詳細には、基板表面の電解エッチングと化学剥離によるリサイクル装置及びその方法に関し、特に、電解エッチング装置の使用とパターン形成のため金属のワークピース（基板）の表面から金属材料を取り除く方法に関する。

マイクロエレクトロニクス産業において、半導体部材はスピンコーティングやスパッタリング等、有機層及び無機金属層、即ち、有機‐無機コンポジットシートで基板表面を被覆する手順を含む被覆プロセスを用いて製造される。有機‐無機コンポジットシートを構成するそのような電子部材の一つがＬＣＤパネルのカラーフィルター基板であり、これは図７に示すように、樹脂ブラックマトリクス９２、ＲＧＢフォトレジスト９３、オーバーコート９４の有機層と、最も外側を覆うＩＴＯ膜９５の金属層で被覆されたガラス基板９１を含む。

一般的に、半導体部材は壊れやすく、複雑な製造工程が必要であるため、歩留まりが低くなる。パーティクルや被膜の不良、ずれ、または高インピーダンス等のあらゆる問題が不良基板の原因となる。この製造工程から出るこれら不良基板は、ＬＣＤ廃棄物等の基礎廃棄物と共に、深刻な環境汚染物質となっている。

低い歩留まり率によるロスと環境汚染を減少するため、不良のワークピース、即ち基板をリサイクルするさまざまな技術が製造工程において採用されている。台湾特許第５４６，２６４号及び第５４６，２６５号の２つの先行技術においては、それぞれ不良Ｃｒ−ＢＭカラーフィルター基板と不良樹脂ＢＭカラーフィルター基板をリサイクルする化学プロセスが示されている。これら先行技術には主に不良カラーフィルター基板を酸性エッチング液に浸漬させる手順を含む方法が開示されており、基板表面にブラシをかけてきれいにし、第５４６，２６４号によれば再利用可能なＣｒ−ブラックマトリクスが残った状態のガラス基板が得られ、第５４６，２６５号によれば新しくなったガラス基板が得られるものである。

しかしながら、酸性エッチング液はカラーフィルター基板の有機層だけでなく、金属層も剥離してしまい、重金属を含む毒性のある廃液が出るため、二次汚染を引き起こしてしまう。このため、二次汚染を引き起こさないリサイクルシステム及び工程が必要である。

金属薄膜のパターン形成におけるエッチング技術に関しては、ドライエッチング、ウェットエッチングまたは電解エッチングが広く用いられている。電解エッチング工程を用いたものの例としては、台湾特許第Ｉ２２３３５０号及び米国特許第５，２８４，５５４及び第６，１０３，５５４号がある。これらはすべてサンプルの電気化学マイクロマシン加工に関するものである。このうち、台湾特許第Ｉ２２３３５０号は比較的大きな表面の電解エッチングに用いる完全浸漬型の電解エッチング装置を開示するものであり、この装置においてはワークピースが電源の正極に接続され、陽極として働き、電解液が電源の負極に接続される。しかしながらその実施において、完全浸漬型の電解エッチングシステムは、高電力を必要とするなど特定の問題を引き起こす。そのような問題を多少なりとも解決すべく、米国特許第５，２８４，５５４号及び第６，１０３，５５４号は、ウエハのごく一部のみを徐々にエッチングする電解エッチングシステムをそれぞれ開示しているが、その目的を達するために、エッチングを施す表面の全体寸法に対して小幅のマルチノズル陰極構造体が提供されている。この陰極構造体は、ノズル部材がウエハ表面を走査するにつれ、表面の限られた部分のみに電解液を供給するために用いられる。

前述の電解エッチング技術はワークピース（陽極）に電源の正極端を接触させて実施されるが、自動化された連続処理工程においては多くの制限が課されてしまう。

このため、金属材料を効果的且つ完全に取り除くことができ、自動化された連続処理工程への適用に適した電解システムが必要である。
台湾特許第５４６，２６４号 台湾特許第５４６，２６５号 台湾特許第Ｉ２２３３５０号 米国特許第５，２８４，５５４号 米国特許第６，１０３，５５４号

前述の問題に鑑みて、本発明の目的は二次汚染を引き起こさないワークピースのリサイクルに用いることができる改良されたリサイクルシステム及びその方法を提供することである。

本発明の別の目的は、ワークピースの表面から金属を選択的且つ効率的に取り除くことができる、改良された電解エッチング構造体及び方法を提供することである。

本発明のさらに別の目的は、自動化された連続処理工程に採用可能な改良された電解エッチング構造体を提供することである。

上述及びその他の目的を達するため、本発明が提供するワークピースをリサイクルするためのシステムは、ワークピースの金属層をエッチングするための電解エッチング構造体を含み、この電解エッチング構造体は電解エッチングユニット、ワーク台、電源装置、及び電解液供給装置を含み、この電解エッチングユニットは陽極、陽極の横に配置された陰極、及び絶縁カバーを備え、この絶縁カバーが陽極を覆い、陰極と陽極が隔離されると共に、このワーク台は金属層が陽極と陰極に対面するようワークピースを輸送し、この電源装置は電解エッチングユニットの陽極に接続された正極と、陰極に接続された負極を備え、さらに、この電解液供給装置は電解エッチングユニットの絶縁カバーに連通され、電解液を陽極上に注いだ後ワークピースに衝突させ、ワークピースと陽極により定義される通路を通過させる。

上述において、電解エッチング構造体の電解エッチングユニットは電解液の供給と表面（ワークピースの金属層）の走査の両方に用いられるが、陽極または陰極のどちらもワークピースに接触しないため、「無接触電解エッチング法」と呼ぶことができる。

好ましくは、本システムはさらに、ワークピースの有機層のエッチングのための化学剥離構造体を含む。即ち、本発明は金属層と有機層を個別に扱うものであり、これにより、先行技術のように二次汚染を引き起こすことがない。

好ましくは、本システムはさらに、金属層の貴金属など金属材料のリサイクル、または電解液の還元のための金属リサイクルユニットを含む。

好ましくは、本システムはさらに、化学剥離構造体により生成された有機廃棄物のリサイクルのための廃棄物処理構造体を含む。

本発明による有機‐無機コンポジットシートのワークピースのリサイクル方法は、ワークピースの金属層を電解エッチングする手順と、ワークピースの有機層を化学剥離する手順とを含む。このため、二次汚染を回避しながら有機‐無機コンポジット膜を備えた基板をリサイクルすることができる。

本発明の更なる利点は、以下の図面に基づく詳細な説明を読むことで明らかになる。

本発明は、以下の説明、特許請求の範囲及び図面により説明される。

図１を参照しながら、本発明の好ましい実施例によるリサイクルシステムについて説明する。有機‐無機コンポジットシートを備えたワークピースのリサイクルのためのこのリサイクルシステムは、電解エッチング構造体１００、化学剥離構造体２００、金属リサイクルユニット３００、廃棄物処理構造体４００を含み、そのうち、電解エッチング構造体１００は主に有機‐無機コンポジットシートの金属層を電解エッチングするために用いられ、化学剥離構造体２００はワークピースから有機‐無機コンポジットシートの有機層を取り除くために用いられ、金属リサイクルユニット３００はエッチングされた金属層の金属材料をリサイクルするために用いられ、そして廃棄物処理構造体４００は化学剥離構造体２００により生成された有機廃棄物をリサイクルするために用いられる。

図２からわかるように、このリサイクルシステムは、電解エッチング構造体１００及び金属リサイクルユニット３００と部分的に一体を成している。電解エッチング構造体１００は主に電解エッチングユニット１、ワーク台２、電源装置３、電解液供給源４を備えている。好ましい実施例においては、電解エッチングユニット１は陽極１０、２つの陰極１１及び絶縁カバー１２を備え、そのうち、２つの陰極１１と陽極１０は、陽極１０を覆う絶縁カバー１２により隔離される。２つの陰極１１は２つの固定板１３により絶縁カバー１２近くに保持される。当業者によって理解されるように、この実施例においては同様の目的のため陰極１１を１つだけとすることもできるが、２つの陰極１１を用いたほうがより優れたエッチング効果が得られる。

ワーク台２は、ワークピース８の金属層８１が上向きに陽極１０及び陰極１１に対面するようワークピース８を輸送するために用いられる。電源装置３は、電解エッチングユニット１の陽極１０に接続された正極（プラスのマークで示される）と、陰極１１に接続された負極（マイナスのマークで示される）を備え、電解に必要な電源を供給する。電解液供給装置４は電解エッチングユニット１の絶縁カバー１２に連通され、電解液４１を陽極１０上に注いだ後ワークピース８に衝突させ、ワークピース８と陰極１１により定義される通路１４を通過させる。つまり、通路１４は継続的に電解液４１で定常的に満たされ、陽極１０、陰極１１、金属層８１がこの電解液４１を介して電気的に接続される。これにより、陽極１０の直下に位置する金属層８１の一部が陽極１０から注がれる電解液４１を介して電気分解によりエッチングされる。ここで留意が必要なのは、陽極１０または陰極１１のいずれも直接ワークピースに接触しないという先行技術とは異なる点である。本発明は革新的な「無接触電解エッチング法」の先駆けである。

重度に腐食されることなく安定した状態で作用させるため、陽極１０はプラチナや半導体材料などのインサート材から成る。さらに、陽極１０は時間の延長を目的として回転可能に設けることもできる。回転している間に陽極１０の外側周辺の表面が時間経過に伴い軽度に且つ平均的に腐食されるため、この回転可能な陽極１０は静止状態のものと比較し、より長いリフトスパンを持っており、より優れた均一なエッチング効果が得られる。

さらに、電解液４１が静止状態で金属層８１全体上には衝突しない場合、電解エッチングユニット１またはワーク台２のいずれかを横方向へ移動することができ、図３Ａに示すように電解エッチングユニット１を横方向にワーク台２の上に移動させるか、或いは図３Ｂに示すようにワーク台２を横方向に電解エッチングユニット１の下に移動させることで、電解液４１を金属層８１全体に対して衝突させることができる。またもう一つの方法として、図３Ｃに示すように、電解エッチングユニット１及びワーク台２の両方を反対の方向へ移動させても同じ目的を達成することができる。自動連続処理工程への適用には２つ目の方法、即ち図３Ｂが望ましい。つまり、この無接触電解エッチング法は、電解エッチング構造体１がワークピース８の前もって定義された範囲を選択的にエッチングするという点において有利であり、これら条件下での処理は、静止状態と比較した場合、よりよい表面仕上がりと金属溶解の均一性が得られる。

図４Ａに示すように、電解エッチングユニット１はさらに、絶縁カバー１２一端の近く、且つ、ワーク台２に隣接する位置に金属部材１０１が配置され、この金属部材１０１を陽極１０の延長として作用させることができる。この状態で、ワークピース８の金属層８１の端部を金属層８１の中央部分と同じようにエッチングすることができる。さらに、よりよいエッチング効果を得るため、金属部材１０１は電源装置３の正極に接続してもよい。

もう一つの方法として、図４Ｂに示すように、電解エッチングユニット１は、上述の金属部材１０１の代わりとして、移動可能な金属部品１０２を設けてもよく、この移動可能な金属部品１０２はその一端が絶縁カバー１２一端の近く、且つ、ワーク台２に隣接する位置に配置され、他端が絶縁カバー１２の内側へ陽極に隣接するよう延伸される。さらに、金属部品１０２は、ワークピース８及び陽極１０に接触するように、或いはワークピース８及び陽極１０から離れるように同時に移動される。この場合、上述の金属部材１０１とは違い、この移動可能な金属部品１０２を電源装置３の正極に電気的に接続する必要はない。通常、この移動可能な金属部品１０２は高い位置に配置される。金属の端がエッチングされるとき、この移動可能な金属部品１０２は陽極１０及び金属層８１の両方に接触する低い位置へ下げられる。反対にエッチングが終了すると、この移動可能な金属部品１０２は陽極１０及び金属層８１から離される。

再び図２に示すように、電解エッチングユニット１の陰極１１はプレート状、そして陽極１０は棒状に形成され、よりよい電流の広がりまたは電流の分布により、より優れたエッチング効果が得られるよう、陰極１１は陽極１０に比べワークピース８に向いたより大きな表面エリアを有する。

図５Ａに電解エッチングユニット１の陽極１０ａの別の例を示すべく、電解エッチングユニット１のワークピース８に対する上面図を示す。陽極１０ａはアレイ配置された複数の電極棒１０３を備え、各電極棒１０３の一端はワークピース８に向いており、これにより、上に複数の電極棒１０３が配置されたワークピース８の特定の射影エリアを電解エッチングユニット１が集中的にエッチングすることができる。ここで、陽極１０ａはその全体としてのサイズが棒形の陽極１０に近似しており、陰極１１より小さいことに留意が必要である。さらに、上述の陽極１０がワークピース８に平行であるのに対し、これら複数の電極棒１０３はそれぞれがワークピース８に対して垂直を成す。従って、陽極１０ａの下端が、ワークピース８の特定の射影エリアを集中的にエッチングする一定の作業領域として作用する。これは半導体産業におけるフォトリソグラフィ及びエッチング工程への適用に適している。つまり、業界においてよく知られるドライエッチングまたはウェットエッチングの代わりとして電解エッチング構造体１００を使用することができ、且つ、高精度、高い選択性及び低電力消費量という利点を組み合わせることができる。

図５Ｂに、陽極１０ａの複数の電極１０３の別の配列例を示す。複数の電極１０３は視覚的パターンとして配置され、電解エッチングを介してワークピース８の特定の射影エリアにこの視覚的パターンを移すことができる。例えば図５Ｂに示されるように、陽極１０ａの配列を文字「Ｉ−Ｌ−Ｕ」として示した場合、対応する射影エリアが集中的にエッチングされ、電気分解後に文字「Ｉ−Ｌ−Ｕ」が表示される。

再び図２に示すように、電解エッチング構造体１００はさらに、ワーク台２の下に設けられた貯蔵部５を備え、金属リサイクルのために使用後の電解液４１を集めることができる。典型として、リサイクルシステムの金属リサイクルユニット３００は主に選択的溶解装置４０、濾過ユニット２１、沈殿槽２２及び電気めっき構造体３０を含む。

再び図１に示すように、ＤＣのバイアスが電解エッチング構造体１００に印加されると、ワークピース８の金属層８１が電気分解され、流れる電解液４１になる。このような反応は、例として、以下のように表わされる：

金属層８１の酸化反応：

Ｍ→Ｍ^＋Ｚ＋ｚｅ⁻

一方、電解液４１中の溶解された金属イオンの部分は、ここでは金属原子、即ち電気めっき金属へと還元され、陰極１１の片側上に被覆される。このような反応は、例として、以下のように表わされる：

最初の還元反応：（金属イオンの部分）

Ｍ^＋Ｚ＋ｚｅ⁻→Ｍ

次に、作業者は、スクレイパを使用して陰極１１の片側から電気めっき金属を容易に取り出し、選択的溶解装置４にかけて第一の金属（Ｍ１）を電気めっき金属から溶解させ分離することができる。例えば、カラーフィルター基板を例とすると、インジウム金属の融点１５６．６０℃はＳｎ金属の融点（２３１．９１℃）より低いため、インジウム金属が最初に溶解しＳｎ金属から分離される。

電解液４１中に溶解された金属イオンの別の部分は貯蔵部５から排出され、濾過ユニット２１を通過してそこに設置されたフィルター材で使用済みの電解液４１が精製され、次にもう一度精製を行うため沈殿槽２２に移されて電解液１３中に浮遊する粒子が貯蔵部５の底に沈殿される。これにより、濾過ユニット２１と沈殿槽２２による２回の精製を経て、金属イオンのその他部分を含む清浄化した電解液４１が得られる。

次に、この清浄化した電解液４１から別の金属（Ｍ２）を引き出すために特定のバイアス電圧を印加することができる電気めっき構造体３０にこの清浄化した電解液４１を移すことができる。このときの一般的な化学反応は、電解エッチング構造体１００における第１の還元反応と同じであり、再度ここに示す：

二回目の還元反応：（金属イオンの別の部分）

Ｍ^＋Ｚ＋ｚｅ⁻→Ｍ

図２に示すように、電気めっき構造体３０は複数の電極を備え、異なるバイアス電圧を印加することができ、このとき各種類の金属が他と異なる特定の化学特性を有するため結果として異なる電気めっき金属を生成することができる。例えば、カラーフィルターを例とした場合、複数の電極３０ａ、３０ｂ、３０ｃに異なるバイアス電圧３．０ｖ（３．５ｖより小さい）、３．５ｖ及び４ｖ（３．５ｖより大きい）が供給されると、各電極３０ａ、３０ｂ、３０ｃ上に錫（Ｓｎ）、クロミウム（Ｃｒ）及びインジウム（Ｉｎ）が同時にそれぞれ堆積される。

金属イオンが電気めっきによって電解液４１から取り出された後、金属イオンを全く、またはほとんど含んでいない電解液４１は、図２に示されるように、導管１７により電解エッチング構造体１００に戻すか、別のタンク３１に後処理のために格納することができる。

貴金属インジウムなど特に同じ化学元素で成り、且つ、電解エッチング構造体１００の陰極１１及び電気めっき構造体３０からそれぞれ生成された第１の金属（Ｍ１）及び第２の金属（Ｍ２）を精製するため、リサイクルシステムはさらに、熱を使って金属Ｍ１及びＭ２を超高純度金属に精製する精製炉５０を含む。

前述の説明において、電解エッチング構造体１００はワークピース８の金属層８１のエッチングと、再利用可能なワークピースのリサイクルに用いられる。さらに、金属リサイクルユニット３００は二次汚染を引き起こすことなく電解液４１から金属層の金属材料をリサイクルするために用いられる。このリサイクルシステムは、金属層を備えたあらゆるワークピースのリサイクルにおいて有益であり、金属層と有機層の両方を持つワークピース、即ち、有機‐無機コンポジットシートのみに制限されないことに留意が必要である。

さらに、リサイクルシステムの化学剥離構造体２００は、先行技術において使用される濃縮酸溶液とは異なり、水酸化ナトリウム溶液などのアルカリ溶液を使用することで、ワークピース８の有機層（図示しない）を剥離するために用いられる。濃硫酸は有機層だけでなく金属層もエッチングすることができる。しかし当然のことながら、化学剥離構造体２００は、ワークピース８上に金属材がないことが確認された場合のみ、有機層を剥離するために酸溶液を使用することがあり得る。従って、本発明によるリサイクルシステムでは、有毒重金属に汚染された二次汚染の原因となる廃水の生成を回避するため金属層と有機層が別々に処理される。

再び図１に示すように、このリサイクルシステムの廃棄物処理構造体４００は、オゾン発生器５１及び貯蔵タンク５２を備えている。オゾン発生器５１は、化学剥離構造体２００から生成された有機性廃棄物を分解するために用いられる。加熱条件下において、廃棄物処理構造体４００は、Ｈ_２ＯやＣＯ_２などの小さな分子へ有機性廃棄物を分解するために有機性廃棄物が貯蔵された貯蔵タンク５２にオゾン発生器５１により生成されたオゾンを送り込むことができる。これにより、有機性廃棄物は有毒な物質を含まない清浄化した溶液に精製され、リサイクルして再利用することができる。

上述のように、本発明のリサイクルシステムは電解エッチング構造体１００と化学剥離構造体２００を用い、金属層及び有機層を個別に処理し、再利用可能なワークピースをリサイクルするものである。特に、このリサイクルシステムはさらに、金属材料と電解液をリサイクルするための金属リサイクルユニット３００と、有機性廃棄物を処理するための廃棄物処理構造体４００を使用する。これらは本発明のリサイクルシステムをこれまでに考え出されたものの中で最も理想的で環境にやさしいシステムとしている。

図６に示すように、本発明の好ましい実施例に基づく有機‐無機コンポジットシートのワークピースをリサイクルする方法は、上述したように、金属層の金属を電解液に溶解させることによるワークピースの金属層の電解エッチングのステップ７０と、ワークピースを化学エッチング液に浸漬させることによるワークピースの有機層の化学剥離のステップ７１を含む。ここで留意すべきなのは、電解エッチング７０の方法が無接触電解エッチング法のみに制限されない点であり、従来の電解エッチング法もこのステップ７０に適している。

ステップの順序は、環境保護の観点からワークピース８の最も上に位置する層がどんな層であるかによる。金属層が一番上にある場合、電解エッチング７０は化学剥離７１より先に最初に行なわれることが望ましい。これに対して、有機層が一番上に被覆されている場合、化学剥離７１のステップを先に行なったほうがよい。

次に、この方法はさらに電解エッチング７０により生成された電解液の収集ステップ７３； 電解液からの第一の金属７７の電気めっきステップ７５； 電解エッチング７０により生成された電気めっき金属の収集ステップ７４；そして電気めっき金属から第二の金属７８を分離する電気めっき金属の溶解ステップ７６を含む。

第１の金属７７及び第２の金属７８が同じ化学元素で成る貴金属であると仮定した場合、この方法はさらに、第１の金属及び第２の金属を超高純度金属に戻すための第１の金属７７及び第２の金属７８の精製ステップ７９を含む。

さらにこの方法は、オゾンまたはＵＶ放射線を加え、化学剥離７１によって生成された有機性廃棄物を分解するステップ７２を含む。これにより、環境を汚染することなく有機性廃棄物をリサイクル用の清浄化した溶液に変えることができる。

このため、本発明のリサイクルシステムと方法はこれまでで最も理想的且つ環境にやさしいものである。

上述の説明において、本発明の数々の特性及び利点を 本発明の構造及び機能の詳細と共に述べてきたが、本発明の新規的特徴は添付の特許請求の範囲において示される。しかしながら、この開示は一例に過ぎず、本発明の要旨の範囲内で、添付の特許請求の範囲が表現される言葉の広い一般的な意味によって示される範囲の及ぶ限りにおいて、特に部材及び材料の形状、大きさ、配置及びそれらの組み合わせに関する細部の変更は可能である。

図１は本発明の好ましい実施例によるリサイクルシステムを示すブロック図である。 図２は電解エッチング構造体と金属リサイクルユニットを示す図１の部分フロー図である。 図３Ａは電解エッチングユニットとワーク台の相関的移動を示す動的透視図である。 図３Ｂは電解エッチングユニットとワーク台の相関的移動を示す動的透視図である。 図３Ｃは電解エッチングユニットとワーク台の相関的移動を示す動的透視図である。 図４Ａは電解エッチング構造体の実施例を示す断面図である。 図４Ｂは電解エッチング構造体の実施例を示す断面図である。 図５Ａは別の電解エッチング構造体の実施例による陽極の異なる配置例を示す上面図である。 図５Ｂは別の電解エッチング構造体の実施例による陽極の異なる配置例を示す上面図である。 図６は本発明の方法の好ましい実施例を示すフロー図である。 図７は従来のカラーフィルター基板を示す断面図である。

符号の説明

１ 電解エッチングユニット
２ ワーク台
３ 電源装置
４ 電解液供給源
５ 貯蔵部
８ ワークピース
１０、１０ａ 陽極
１１ 陰極
１２ 絶縁カバー
１７ 導管
２１ 濾過ユニット
２２ 沈殿槽
３０ 電気めっき構造体
３０ａ、３０ｂ、３０ｃ電極
４０ 選択的溶解装置
４１ 電解液
５０ 精製炉
５１ オゾン発生器
５２ 貯蔵タンク
７０ 電解エッチングのステップ
７１ 化学剥離のステップ
７２ 有機性廃棄物の分解ステップ
７３ 電解液の収集ステップ
７４ 電気めっき金属の収集ステップ
７５ 電気めっきのステップ
７６ 電気めっき金属の溶解ステップ
７７ 第一の金属
７８ 第二の金属
７９ 第１の金属及び第２の金属の精製ステップ
８ ワークピース
８１ 金属層
９１ ガラス基板
９２ 樹脂ブラックマトリクス
９３ ＲＧＢフォトレジスト
９４ オーバーコート
９５ ＩＴＯ膜
１００ 電解エッチング構造体
１０１ 金属部材
１０２ 金属部品
１０３ 電極棒
２００ 化学剥離構造体
３００ 金属リサイクルユニット
４００ 廃棄物処理構造体

Claims (10)

1. リサイクルシステムであって、
   ワークピースの金属層をエッチングする電解エッチング構造体を含み、前記電解エッチング構造体が、
   陽極、陰極、及び絶縁カバーを備え、前記陽極を被覆する前記絶縁カバーにより前記陰極と前記陽極が隔離された電解エッチングユニットと、
   前記金属層を前記陽極及び前記陰極に対面させて前記ワークピースを輸送するワーク台と、
   前記電解エッチングユニットの前記陽極に接続された正極、及び前記陰極に接続された負極を備えた電源装置と、
   前記電解エッチングユニットの前記絶縁カバーに連通され、電解液を前記陽極上に注ぎ、その後前記ワークピースに衝突させて、前記ワークピースと前記陽極により定義される通路を通過させる電解液供給装置と、を含むことを特徴とするリサイクルシステム。
2. 前記電解エッチングユニットまたはワーク台が相互に対して移動可能であることを特徴とする請求項１に記載のリサイクルシステム。
3. 前記電解エッチングユニットがさらに、前記絶縁カバー一端の近く、且つ、前記ワーク台に隣接する位置に配置された金属部材を備えていることを特徴とする請求項１に記載のリサイクルシステム。
4. 前記電解エッチングユニットの前記陰極の前記ワークピースに対面する露出されたエリアが前記陽極のそれより大きいことを特徴とする請求項１に記載のリサイクルシステム。
5. 前記電解エッチングユニットの前記陽極がアレイ配置された複数の電極棒を備え、各電極棒の一端が前記ワークピースに向いており、これにより、上に前記複数の電極棒が配置されたワークピースの特定の射影エリアを前記電解エッチングユニットが集中的にエッチングすることができることを特徴とする請求項４に記載のリサイクルシステム。
6. さらに、前記電解エッチングユニットの前記陰極の片側に堆積された電気めっき金属から第一の金属を溶解させ分離することができる選択的溶解装置と、特定のバイアス電圧を印加して前記電解エッチング構造体からくる電解液から第二の金属を取り出すことができる電気めっき構造体を含むことを特徴とする請求項１に記載のリサイクルシステム。
7. さらに、前記第一の金属及び前記第二の金属を超高純度金属に精製する精製炉を含むことを特徴とする請求項６に記載のリサイクルシステム。
8. さらに、前記ワークピースの有機層を剥離する化学剥離構造体を含むことを特徴とする請求項１に記載のリサイクルシステム。
9. さらに、前記化学剥離構造体から生成された有機性廃棄物を分解するオゾン発生器を含むことを特徴とする請求項８に記載のリサイクルシステム。
10. ワークピースのリサイクル方法であって、以下のステップを含む：
    ワークピースの金属層を電解エッチングするステップと、
    前記ワークピースの有機層を化学剥離するステップ。