JP2013194242A - 板状ワークの片面めっき装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】第１に、手間，時間，工数，労力等の作業負担が軽減され、もってコスト面に優れると共に、第２に、作業ミスも一掃されるようになる、板状ワークの片面めっき装置を提案する。
【解決手段】この片面めっき装置１は、陰極に帯電された板状ワークＡの片面Ｂである下面Ｂ´に、陽極側のめっき液Ｃの液面Ｄが対応位置すると共に、板状ワークＡの下面Ｂ´が、めっき液Ｃのぬれ性を利用して電解めっき処理される。めっき液Ｃは、板状ワークＡの下面Ｂ´に対し、液面Ｄが接触すると共に吸い着き付着して、膜状に濡れ広がって張り付く。もって片面めっき装置１は、めっき液Ｃが貯留され陽極電極１４が配設されたディップ槽２と、ディップ槽２のめっき液Ｃの液面Ｄ付近に配設され、板状ワークＡを水平搬送すると共に陰極電極１８としても兼用されコンベア１５とを、有している。
【選択図】図２
【解決手段】この片面めっき装置１は、陰極に帯電された板状ワークＡの片面Ｂである下面Ｂ´に、陽極側のめっき液Ｃの液面Ｄが対応位置すると共に、板状ワークＡの下面Ｂ´が、めっき液Ｃのぬれ性を利用して電解めっき処理される。めっき液Ｃは、板状ワークＡの下面Ｂ´に対し、液面Ｄが接触すると共に吸い着き付着して、膜状に濡れ広がって張り付く。もって片面めっき装置１は、めっき液Ｃが貯留され陽極電極１４が配設されたディップ槽２と、ディップ槽２のめっき液Ｃの液面Ｄ付近に配設され、板状ワークＡを水平搬送すると共に陰極電極１８としても兼用されコンベア１５とを、有している。
【選択図】図２
Description
本発明は、板状ワークの片面めっき装置に関する。すなわち、板状ワークの片面を電解めっき処理する、片面めっき装置に関するものである。
板状ワークの片面めっき装置は、従来、次のようになっていた。例えば太陽電池のソーラーモジュールや、プリント配線基板，ガラス基板，シリコンウエハー等の板状ワークの片面めっきは、従来、次のように行われていた。
板状ワークについて、まず、めっき非対象面，非めっき面である反対面（例えば上面）を、ラミネート等によりマスキングし保護してから、めっき対象面，めっき面である片面（例えば下面）に対し、電解めっき処理が行われていた。
すなわち、予め非めっき面である反対面（例えば上面）が、マスキングされカバーされた板状ワークを、陰極に帯電せしめつつ、陽極側のめっき液が貯留されたディップ槽のめっき液中に浸潰して、全体的にディッピングしつつ液中搬送することにより、めっき面である片面（例えば下面）が、電解めっき処理されていた。
直流通電に伴う電極間電位差による金属折出に基づき、電解めっき被膜が、板状ワークの片面（例えば下面）に全体的に形成され、電解めっき処理されていた。そしてめっき処理後に、反対面（例えば上面）側のマスキングが、剥離，除去されていた。
板状ワークについて、まず、めっき非対象面，非めっき面である反対面（例えば上面）を、ラミネート等によりマスキングし保護してから、めっき対象面，めっき面である片面（例えば下面）に対し、電解めっき処理が行われていた。
すなわち、予め非めっき面である反対面（例えば上面）が、マスキングされカバーされた板状ワークを、陰極に帯電せしめつつ、陽極側のめっき液が貯留されたディップ槽のめっき液中に浸潰して、全体的にディッピングしつつ液中搬送することにより、めっき面である片面（例えば下面）が、電解めっき処理されていた。
直流通電に伴う電極間電位差による金属折出に基づき、電解めっき被膜が、板状ワークの片面（例えば下面）に全体的に形成され、電解めっき処理されていた。そしてめっき処理後に、反対面（例えば上面）側のマスキングが、剥離，除去されていた。
ところで、このような従来技術については、次の課題が指摘されていた。上述したように、この種従来技術の片面めっき装置では、めっき処理に先立ち、板状ワークの非めっき面をマスキングしてから、めっき面の電解めっき処理が行われ、事後、マスキングが剥離，除去されていた。
このように片面めっきに際しては、反対面がめっきされることを防止するため、ラミネート等によるマスキング作業が必須的であり、その分、作業負担が大きく、作業に手間や時間を要し、工数や労力が嵩み、コスト高となる、という問題が指摘されていた。
又、マスキングの作業ミス発生も指摘され、めっき性能面やめっき品質面に問題が指摘されることもあった。
このように片面めっきに際しては、反対面がめっきされることを防止するため、ラミネート等によるマスキング作業が必須的であり、その分、作業負担が大きく、作業に手間や時間を要し、工数や労力が嵩み、コスト高となる、という問題が指摘されていた。
又、マスキングの作業ミス発生も指摘され、めっき性能面やめっき品質面に問題が指摘されることもあった。
《本発明について》
本発明の板状ワークの片面めっき装置は、このような実情に鑑み、上記従来技術の課題を解決すべくなされたものである。
そして本発明は、第１に、手間，時間，工数，労力等が軽減され、もってコスト面に優れると共に、第２に、作業ミスも一掃されるようになる、板状ワークの片面めっき装置を提案することを、目的とする。
本発明の板状ワークの片面めっき装置は、このような実情に鑑み、上記従来技術の課題を解決すべくなされたものである。
そして本発明は、第１に、手間，時間，工数，労力等が軽減され、もってコスト面に優れると共に、第２に、作業ミスも一掃されるようになる、板状ワークの片面めっき装置を提案することを、目的とする。
《各請求項について》
このような課題を解決する本発明の技術的手段は、特許請求の範囲に記載したように、次のとおりである。
請求項１については、次のとおり。
請求項１の板状ワークの片面めっき装置は、板状ワークの片面をめっき処理する。そして、陰極に帯電された該板状ワークの片面である下面に、陽極側のめっき液の液面が対応位置すると共に、該板状ワークの下面が、該めっき液のぬれ性を利用して電解めっき処理されること、を特徴とする。
請求項２については、次のとおり。
請求項２の板状ワークの片面めっき装置では、請求項１において、該めっき液は、該板状ワークの下面に対し、液面が接触すると共に吸い着き付着して、膜状に濡れ広がって全体的に張り付く。もって、該板状ワークの下面が電解めっき処理されること、を特徴とする。
このような課題を解決する本発明の技術的手段は、特許請求の範囲に記載したように、次のとおりである。
請求項１については、次のとおり。
請求項１の板状ワークの片面めっき装置は、板状ワークの片面をめっき処理する。そして、陰極に帯電された該板状ワークの片面である下面に、陽極側のめっき液の液面が対応位置すると共に、該板状ワークの下面が、該めっき液のぬれ性を利用して電解めっき処理されること、を特徴とする。
請求項２については、次のとおり。
請求項２の板状ワークの片面めっき装置では、請求項１において、該めっき液は、該板状ワークの下面に対し、液面が接触すると共に吸い着き付着して、膜状に濡れ広がって全体的に張り付く。もって、該板状ワークの下面が電解めっき処理されること、を特徴とする。
請求項３については、次のとおり。
請求項３の板状ワークの片面めっき装置では、請求項２において、該片面めっき装置は、ディップ槽とコンベアとを有している。
そして該ディップ槽は、該めっき液が貯留されると共に、陽極電極が液中に配設されている。該コンベアは、該ディップ槽に貯留された該めっき液の液面付近に配設され、該板状ワークを水平搬送する上下のローラー群を備えており、該ローラー群は、選択されたローラーが陰極電極としても兼用されている。
もって該板状ワークは、直流通電に伴う電極間電位差による金属折出に基づき、電解めっき被膜が下面に全体的に形成されること、を特徴とする。
請求項４については、次のとおり。
請求項４の板状ワークの片面めっき装置では、請求項３において、該板状ワークは、太陽電池パネルのソーラーモジュールや、プリント配線基板，ガラス基板，シリコンウエハー，その他の回路基板よりなる。該めっき液は、金属イオンを含む金属めっき液よりなること、を特徴とする。
請求項３の板状ワークの片面めっき装置では、請求項２において、該片面めっき装置は、ディップ槽とコンベアとを有している。
そして該ディップ槽は、該めっき液が貯留されると共に、陽極電極が液中に配設されている。該コンベアは、該ディップ槽に貯留された該めっき液の液面付近に配設され、該板状ワークを水平搬送する上下のローラー群を備えており、該ローラー群は、選択されたローラーが陰極電極としても兼用されている。
もって該板状ワークは、直流通電に伴う電極間電位差による金属折出に基づき、電解めっき被膜が下面に全体的に形成されること、を特徴とする。
請求項４については、次のとおり。
請求項４の板状ワークの片面めっき装置では、請求項３において、該板状ワークは、太陽電池パネルのソーラーモジュールや、プリント配線基板，ガラス基板，シリコンウエハー，その他の回路基板よりなる。該めっき液は、金属イオンを含む金属めっき液よりなること、を特徴とする。
請求項５については、次のとおり。
請求項５の板状ワークの片面めっき装置では、請求項４において、該ディップ槽には、給液管と液面調整板が設けられている。
そして該給液管は、新鮮な該めっき液を該ディップ槽に供給する。該液面調整板は、該ディップ槽の左右両側壁に添設されており、若干上下動可能であることに基づき、その高さ位置を変更設定可能であると共に、オーバーフローした該めっき液を排出する調整穴を備えている。
もって該液面調整板により、該めっき液の液面を、該板状ワークのめっき処理に適した高さレベルに調整可能となっていること、を特徴とする。
請求項６については、次のとおり。
請求項６の板状ワークの片面めっき装置では、請求項４において、該ディップ槽には、給液管と液面調整管が設けられている。
そして該給液管は、新鮮な該めっき液を該ディップ槽に供給する。該液面調整管は、該ディップ槽内の左右両側部に延設されており、若干上下動可能であることに基づき、その高さ位置を変更設定可能であると共に、オーバーフローした該めっき液を排出する調整穴を備えている。
もって該液面調整管により、該めっき液の液面を、該板状ワークのめっき処理に適した高さレベルに調整可能となっていること、を特徴とする。
請求項５の板状ワークの片面めっき装置では、請求項４において、該ディップ槽には、給液管と液面調整板が設けられている。
そして該給液管は、新鮮な該めっき液を該ディップ槽に供給する。該液面調整板は、該ディップ槽の左右両側壁に添設されており、若干上下動可能であることに基づき、その高さ位置を変更設定可能であると共に、オーバーフローした該めっき液を排出する調整穴を備えている。
もって該液面調整板により、該めっき液の液面を、該板状ワークのめっき処理に適した高さレベルに調整可能となっていること、を特徴とする。
請求項６については、次のとおり。
請求項６の板状ワークの片面めっき装置では、請求項４において、該ディップ槽には、給液管と液面調整管が設けられている。
そして該給液管は、新鮮な該めっき液を該ディップ槽に供給する。該液面調整管は、該ディップ槽内の左右両側部に延設されており、若干上下動可能であることに基づき、その高さ位置を変更設定可能であると共に、オーバーフローした該めっき液を排出する調整穴を備えている。
もって該液面調整管により、該めっき液の液面を、該板状ワークのめっき処理に適した高さレベルに調整可能となっていること、を特徴とする。
《作用等について》
本発明は、このような手段よりなるので、次のようになる。
（１）板状ワークが搬送されてこない状態において、ディップ槽のめっき液の液面は、板状ワークの搬送面より極く僅か下位の高さレベルに、維持されている。
（２）このようなめっき液の液面の高さレベルは、例えば、ディップ槽の左右側壁に添設された液面調整板の高さ位置設定により、維持される。
（３）板状ワークが、めっき液の液面上に水平搬送されてくると、めっき液の液面が、板状ワークの下面に部分的に、接触，吸い着き，付着する。
（４）それからめっき液は、界面張力の基、ぬれ性により板状ワークの下面全体に、広がって覆い尽くす。
（５）これと共に直流通電に伴い、板状ワークのめっき面である下面に、電解めっき被膜が形成される。すなわち、コンベアの陰極電極ローラーにて陰極に帯電された板状ワークは、陽極側のめっき液との電位差に基づき、金属が折出して電解めっき被膜となる。
（６）これに対し、板状ワークの非めっき面である上面は、めっき液の液面とは接触せず、遮断されており、めっき処理に際し、マスキングしておく必要は一切ない。
（７）さてそこで、本発明の板状ワークの片面めっき装置は、次の効果を発揮する。
本発明は、このような手段よりなるので、次のようになる。
（１）板状ワークが搬送されてこない状態において、ディップ槽のめっき液の液面は、板状ワークの搬送面より極く僅か下位の高さレベルに、維持されている。
（２）このようなめっき液の液面の高さレベルは、例えば、ディップ槽の左右側壁に添設された液面調整板の高さ位置設定により、維持される。
（３）板状ワークが、めっき液の液面上に水平搬送されてくると、めっき液の液面が、板状ワークの下面に部分的に、接触，吸い着き，付着する。
（４）それからめっき液は、界面張力の基、ぬれ性により板状ワークの下面全体に、広がって覆い尽くす。
（５）これと共に直流通電に伴い、板状ワークのめっき面である下面に、電解めっき被膜が形成される。すなわち、コンベアの陰極電極ローラーにて陰極に帯電された板状ワークは、陽極側のめっき液との電位差に基づき、金属が折出して電解めっき被膜となる。
（６）これに対し、板状ワークの非めっき面である上面は、めっき液の液面とは接触せず、遮断されており、めっき処理に際し、マスキングしておく必要は一切ない。
（７）さてそこで、本発明の板状ワークの片面めっき装置は、次の効果を発揮する。
第１に、手間，時間，工数，労力等の作業負担が軽減され、もってコスト面に優れるようになる。
すなわち、本発明に係る板状ワークの片面めっき装置では、めっき面である板状ワークの片面（下面）が、めっき液のぬれ性を利用して電解めっき処理される。
もって、非めっき面である反対面（上面）のマスキング作業が不要化され、作業負担が大きく軽減される。前述したこの種従来技術のように、非めっき面である板状ワークの反対面を、ラミネート等によりマスキングすることなく、めっき処理が可能となる。
このように本発明によると、めっき作業が簡単容易化されて、作業負担が軽減し、手間や時間が省け、工数や労力も軽減される等々、コスト面に優れている。
すなわち、本発明に係る板状ワークの片面めっき装置では、めっき面である板状ワークの片面（下面）が、めっき液のぬれ性を利用して電解めっき処理される。
もって、非めっき面である反対面（上面）のマスキング作業が不要化され、作業負担が大きく軽減される。前述したこの種従来技術のように、非めっき面である板状ワークの反対面を、ラミネート等によりマスキングすることなく、めっき処理が可能となる。
このように本発明によると、めっき作業が簡単容易化されて、作業負担が軽減し、手間や時間が省け、工数や労力も軽減される等々、コスト面に優れている。
第２に、作業ミスも一掃される。すなわち、本発明に係る板状ワークの片面めっき装置では、非めっき面のマスキング作業が不要化されるので、前述したこの種従来技術のように、マスキングに伴う作業ミスも発生しない。もって、めっき性能面やめっき品質面について、問題が発生することもなくなる。
このように、この種従来技術に存した課題がすべて解決される等、本発明の発揮する効果は、顕著にして大なるものがある。
このように、この種従来技術に存した課題がすべて解決される等、本発明の発揮する効果は、顕著にして大なるものがある。
以下、本発明を実施するための形態について、詳細に説明する。
《発明の概要》
まず、本発明の概要について説明する。本発明に係る板状ワークＡの片面めっき装置１は、板状ワークＡの片面Ｂをめっき処理する。
そして、陰極に帯電された板状ワークＡの片面Ｂである下面Ｂ’に、陽極側のめっき液Ｃの液面Ｄが対応位置すると共に、板状ワークＡの下面Ｂ’が、めっき液Ｃのぬれ性を利用して、電解めっき処理される。
すなわちめっき液Ｃは、板状ワークＡの下面Ｂ’に対し、液面Ｄが接触すると共に吸い着き付着して、膜状に濡れ広がって全体的に張り付き、もって板状ワークＡの下面Ｂ’が、電解めっき処理される。板状ワークＡは、直流通電に伴う電極間電位差による金属折出に基づき、電解めっき被膜が下面Ｂ’に全体的に形成される。
本発明の概要については、以上のとおり。以下、このような本発明について、更に、詳述する。
《発明の概要》
まず、本発明の概要について説明する。本発明に係る板状ワークＡの片面めっき装置１は、板状ワークＡの片面Ｂをめっき処理する。
そして、陰極に帯電された板状ワークＡの片面Ｂである下面Ｂ’に、陽極側のめっき液Ｃの液面Ｄが対応位置すると共に、板状ワークＡの下面Ｂ’が、めっき液Ｃのぬれ性を利用して、電解めっき処理される。
すなわちめっき液Ｃは、板状ワークＡの下面Ｂ’に対し、液面Ｄが接触すると共に吸い着き付着して、膜状に濡れ広がって全体的に張り付き、もって板状ワークＡの下面Ｂ’が、電解めっき処理される。板状ワークＡは、直流通電に伴う電極間電位差による金属折出に基づき、電解めっき被膜が下面Ｂ’に全体的に形成される。
本発明の概要については、以上のとおり。以下、このような本発明について、更に、詳述する。
《ディップ槽２について》
まず、図１，図２，図３等を参照して、片面めっき装置１のディップ槽２について、説明する。
片面めっき装置１は、ディップ槽２を備えている。そしてディップ槽２は、前後壁３，左右側壁４，底壁５等にて槽状に形成され、例えば前後長さ寸法１ｍ，左右幅寸法２５０ｍｍ程度よりなる。
このようなディップ槽２下部の液槽６には、めっき液Ｃが貯留されている。めっき液Ｃは、例えば銀イオン，銅イオン，その他の金属イオンを含有した、銀めっき液，銅めっき液，その他の金属イオン電解液よりなる。
そして、ディップ槽２の液槽６には、新鮮なめっき液Ｃが、給液管７にて供給される。このような給液管７によるめっき液Ｃの供給制御は、付設された流量計での計測データに基づき、例えば弁の開度を自動調整することにより行われる。そして、このような給液管７による液槽６へのめっき液Ｃの供給に伴い、供給量に対応した量のめっき液Ｃ、つまり金属イオンが消耗して老廃しためっき液Ｃが、液槽６からオーバーフロー排出される。図２中に示した例では、後述する液面調整板８の調整穴９や左右側壁４のオーバーフロー穴１０を介し、オーバーフロー排出される。
まず、図１，図２，図３等を参照して、片面めっき装置１のディップ槽２について、説明する。
片面めっき装置１は、ディップ槽２を備えている。そしてディップ槽２は、前後壁３，左右側壁４，底壁５等にて槽状に形成され、例えば前後長さ寸法１ｍ，左右幅寸法２５０ｍｍ程度よりなる。
このようなディップ槽２下部の液槽６には、めっき液Ｃが貯留されている。めっき液Ｃは、例えば銀イオン，銅イオン，その他の金属イオンを含有した、銀めっき液，銅めっき液，その他の金属イオン電解液よりなる。
そして、ディップ槽２の液槽６には、新鮮なめっき液Ｃが、給液管７にて供給される。このような給液管７によるめっき液Ｃの供給制御は、付設された流量計での計測データに基づき、例えば弁の開度を自動調整することにより行われる。そして、このような給液管７による液槽６へのめっき液Ｃの供給に伴い、供給量に対応した量のめっき液Ｃ、つまり金属イオンが消耗して老廃しためっき液Ｃが、液槽６からオーバーフロー排出される。図２中に示した例では、後述する液面調整板８の調整穴９や左右側壁４のオーバーフロー穴１０を介し、オーバーフロー排出される。
図２，図３中に示した給液管７は、本管１１，分岐管１２，供給開口１３、等を有してなる。
本管１１は、めっき液Ｃの生成槽（図示せず）に、基端が接続されている。分岐管１２は、垂下された本管１１の末端に接続されると共に、ディップ槽２の液槽６内の左右両側部内、つまり貯留されているめっき液Ｃの左右両側部中に、搬送方向Ｅに沿って水平延設されている。
供給開口１３は、分岐管１２に所定ピッチで設けられており、圧送されてきためっき液Ｃを、図示例では斜め上方に向け噴流として供給する。勿論、噴流ではなく定流程度で供給するようにしてもよい。
図中１４は、貯留されるめっき液Ｃ中に配設された陽極電極であり、整流器等の直流電源（図示せず）のアノード側に接続されている。図示側の陽極電極１４は、液槽６の底壁５に、搬送方向Ｅに沿い所定ピッチで設けられている。
ディップ槽２については、以上のとおり。
本管１１は、めっき液Ｃの生成槽（図示せず）に、基端が接続されている。分岐管１２は、垂下された本管１１の末端に接続されると共に、ディップ槽２の液槽６内の左右両側部内、つまり貯留されているめっき液Ｃの左右両側部中に、搬送方向Ｅに沿って水平延設されている。
供給開口１３は、分岐管１２に所定ピッチで設けられており、圧送されてきためっき液Ｃを、図示例では斜め上方に向け噴流として供給する。勿論、噴流ではなく定流程度で供給するようにしてもよい。
図中１４は、貯留されるめっき液Ｃ中に配設された陽極電極であり、整流器等の直流電源（図示せず）のアノード側に接続されている。図示側の陽極電極１４は、液槽６の底壁５に、搬送方向Ｅに沿い所定ピッチで設けられている。
ディップ槽２については、以上のとおり。
《コンベア１５について》
次に、図１，図２，図３等を参照して、片面めっき装置１のコンベア１５について、説明する。
片面めっき装置１は、上述したディップ槽２と共に、コンベア１５を備えている。そしてコンベア１５は、ディップ槽２に貯留されためっき液Ｃの液面Ｄ付近に、配設されており、板状ワークＡを搬送方向Ｅに水平搬送する。
次に、図１，図２，図３等を参照して、片面めっき装置１のコンベア１５について、説明する。
片面めっき装置１は、上述したディップ槽２と共に、コンベア１５を備えている。そしてコンベア１５は、ディップ槽２に貯留されためっき液Ｃの液面Ｄ付近に、配設されており、板状ワークＡを搬送方向Ｅに水平搬送する。
このようなコンベア１５について、更に詳述する。まず、コンベア１５にて搬送される、めっき対象の板状ワークＡは、代表的には、太陽電池パネルのソーラーモジュールや、プリント配線基板，液晶用ＬＣＤガラス基板等のガラス基板，シリコンウエハー，その他の回路基板よりなる。そして、例えば前後寸法５０ｍｍ，左右幅寸法１５０ｍｍ程度のものが、めっき対象として搬送される。
コンベア１５は、このような金属製の板状ワークＡを、上下のローラー１６群により挟んで、水平に搬送方向Ｅに搬送する。ローラー１６としては、輪状ホイール、又は円柱状ストレートロールが用いられる。
図示例のローラー１６群は、輪状ホイールよりなり、下側の駆動用の搬送ローラー１６１群と、上側の従動用のフリーローラーよりなる押えローラー１６２群とで、構成されている。
又、図示例では、左右幅方向に複数個の搬送ローラー１６１と、押えローラー１６２とが、それぞれ、搬送方向Ｅに上下それぞれ例えば１６列、列設されている。なお、下側の搬送ローラー１６１と、上側の押えローラー１６２とは、板状ワークＡを上下で挟むものの、図２，図３の図示例では、相互間で上下対応位置することなく左右に位置をずらして配設されている。勿論、上下対をなし対応位置すべく配設することも可能である。
コンベア１５は、このような金属製の板状ワークＡを、上下のローラー１６群により挟んで、水平に搬送方向Ｅに搬送する。ローラー１６としては、輪状ホイール、又は円柱状ストレートロールが用いられる。
図示例のローラー１６群は、輪状ホイールよりなり、下側の駆動用の搬送ローラー１６１群と、上側の従動用のフリーローラーよりなる押えローラー１６２群とで、構成されている。
又、図示例では、左右幅方向に複数個の搬送ローラー１６１と、押えローラー１６２とが、それぞれ、搬送方向Ｅに上下それぞれ例えば１６列、列設されている。なお、下側の搬送ローラー１６１と、上側の押えローラー１６２とは、板状ワークＡを上下で挟むものの、図２，図３の図示例では、相互間で上下対応位置することなく左右に位置をずらして配設されている。勿論、上下対をなし対応位置すべく配設することも可能である。
そして、搬送ローラー１６１群と押えローラー１６２群とは、共にディップ槽２の液槽６に貯留されためっき液Ｃの液面Ｄ付近に、配設されている。
すなわち図示例では、下側の搬送ローラー１６１のシャフト１７１は、めっき液Ｃの液面Ｄ下に位置し、上側の押えローラー１６２のシャフト１７２は、めっき液Ｃの液面Ｄ上に位置している。
もって常時は、めっき液Ｃの僅かに液面Ｄ上に位置していた搬送ローラー１６１の頂面が（図１の左側を参照）、めっき処理に際しては、液面Ｄの吸い着き，盛り上がりに伴い、液面Ｄと同じ高さレベルに位置するようになる（図１の右側や図２を参照）。
これに対し押えローラー１６２は、その底面が、常時は勿論のこと、めっき処理時も板状ワークＡを介し、僅かながら液面Ｄの上位に位置している（図１や図２を参照）。
コンベア１５については、以上のとおり。
すなわち図示例では、下側の搬送ローラー１６１のシャフト１７１は、めっき液Ｃの液面Ｄ下に位置し、上側の押えローラー１６２のシャフト１７２は、めっき液Ｃの液面Ｄ上に位置している。
もって常時は、めっき液Ｃの僅かに液面Ｄ上に位置していた搬送ローラー１６１の頂面が（図１の左側を参照）、めっき処理に際しては、液面Ｄの吸い着き，盛り上がりに伴い、液面Ｄと同じ高さレベルに位置するようになる（図１の右側や図２を参照）。
これに対し押えローラー１６２は、その底面が、常時は勿論のこと、めっき処理時も板状ワークＡを介し、僅かながら液面Ｄの上位に位置している（図１や図２を参照）。
コンベア１５については、以上のとおり。
《陰極電極１８，その他について》
次に、図１，図２，図３等に参照して、陰極電極１８について、説明する。
片面めっき装置１のコンベア１５のローラー１６群は、その選択されたローラー１６が、陰極電極１８として兼用されている。すなわち、コンベア１５の搬送ローラー１６１や押えローラー１６２のいずれか一方、又は両方が、陰極電極１８として兼用されている。選択されたローラー１６が、板状ワークＡを陰極に帯電させる陰極電極１８用のロールとして、機能している。
図１，図２，図３の（１）図等に示した例では、搬送ローラー１６１が陰極電極１８として兼用されており、そのシャフト１７１の端部に、ロータリーコネクタ１９が付設されており、アースつまり直流電源のカソード側となっている。これに対し、図３の（２）図に示した例では、押えローラー１６２が陰極電極１８として兼用されており、そのシャフト１７１の端部に、ロータリーコネクタ１９が付設されている。
なお、このような図示例によらず、搬送ローラー１６１および押えローラー１６２の双方を、陰極電極１８として選択，兼用するようにしてもよい。
次に、図１，図２，図３等に参照して、陰極電極１８について、説明する。
片面めっき装置１のコンベア１５のローラー１６群は、その選択されたローラー１６が、陰極電極１８として兼用されている。すなわち、コンベア１５の搬送ローラー１６１や押えローラー１６２のいずれか一方、又は両方が、陰極電極１８として兼用されている。選択されたローラー１６が、板状ワークＡを陰極に帯電させる陰極電極１８用のロールとして、機能している。
図１，図２，図３の（１）図等に示した例では、搬送ローラー１６１が陰極電極１８として兼用されており、そのシャフト１７１の端部に、ロータリーコネクタ１９が付設されており、アースつまり直流電源のカソード側となっている。これに対し、図３の（２）図に示した例では、押えローラー１６２が陰極電極１８として兼用されており、そのシャフト１７１の端部に、ロータリーコネクタ１９が付設されている。
なお、このような図示例によらず、搬送ローラー１６１および押えローラー１６２の双方を、陰極電極１８として選択，兼用するようにしてもよい。
図２，図３中、２０は搬送ギア対である。この搬送ギア対２０は、コンベア１５の搬送ローラー１６１のシャフト１７１端部に付設されると共に、モーター等の搬送駆動機構（図示せず）に、連結されている。
図２，図４の（１）図中、２１は軸受である。軸受２１は、ディップ槽２の左右側壁４等に付設されており、コンベア１５のシャフト１７１，１７２を保持する。
図１中、２２はダムローラーである。ダムローラー２２は、円柱状ストレートロールよりなり、ディップ槽２の液槽６の前後壁３に介装されており、頂面が貯留されためっき液Ｃの液面Ｄ付近に位置し、入口壁や出口壁としても兼用，機能している。
陰極電極１８，その他については、以上のとおり。
図２，図４の（１）図中、２１は軸受である。軸受２１は、ディップ槽２の左右側壁４等に付設されており、コンベア１５のシャフト１７１，１７２を保持する。
図１中、２２はダムローラーである。ダムローラー２２は、円柱状ストレートロールよりなり、ディップ槽２の液槽６の前後壁３に介装されており、頂面が貯留されためっき液Ｃの液面Ｄ付近に位置し、入口壁や出口壁としても兼用，機能している。
陰極電極１８，その他については、以上のとおり。
《液面調整板８について》
次に、図１，図２，図３等を参照して、液面調整板８による液面Ｄ高さ調整について、説明する。
片面めっき装置１のディップ槽２には、液面Ｄ高さ調整用の液面調整板８が設けられている。この液面調整板８は、ディップ槽２の左右側壁４に添設されており、若干上下動可能であることに基づき、その高さ位置を変更設定可能であると共に、オーバーフローしためっき液Ｃを排出する調整穴９を備えている。
もって、このような液面調整板８により、めっき液Ｃの液面Ｄを、板状ワークＡのめっき処理に適した高さレベルに調整可能となっている。
次に、図１，図２，図３等を参照して、液面調整板８による液面Ｄ高さ調整について、説明する。
片面めっき装置１のディップ槽２には、液面Ｄ高さ調整用の液面調整板８が設けられている。この液面調整板８は、ディップ槽２の左右側壁４に添設されており、若干上下動可能であることに基づき、その高さ位置を変更設定可能であると共に、オーバーフローしためっき液Ｃを排出する調整穴９を備えている。
もって、このような液面調整板８により、めっき液Ｃの液面Ｄを、板状ワークＡのめっき処理に適した高さレベルに調整可能となっている。
このような液面調整板８について、更に詳述する。液面調整板８は長板状をなし、ディップ槽２の左右側壁４内側に、搬送方向Ｅに沿ってそれぞれ添設されている。
液面調整板８には、搬送方向Ｅに沿って所定ピッチで穿設された多数の調整穴９と、シャフト１７１，１７２挿通用の凹切欠２３とが、形成されている。各調整穴９は、ディップ槽２の液槽６に貯留されためっき液Ｃの液面Ｄに向け開口しており、共通の大きさ，形状，高さ位置等よりなる。
そして液面調整板８は、例えば手動操作に基づき、全体的に若干上下動可能であると共に、所定高さ位置にて停止位置決め可能となっている。もって、各調整穴９の高さ位置を、変更設定可能となっている。
液面調整板８には、搬送方向Ｅに沿って所定ピッチで穿設された多数の調整穴９と、シャフト１７１，１７２挿通用の凹切欠２３とが、形成されている。各調整穴９は、ディップ槽２の液槽６に貯留されためっき液Ｃの液面Ｄに向け開口しており、共通の大きさ，形状，高さ位置等よりなる。
そして液面調整板８は、例えば手動操作に基づき、全体的に若干上下動可能であると共に、所定高さ位置にて停止位置決め可能となっている。もって、各調整穴９の高さ位置を、変更設定可能となっている。
調整穴９は、まず前述したように、給液管７による新鮮なめっき液Ｃの供給に伴い、消耗，老廃しためっき液Ｃを、貯留されていたディップ槽２の液槽６中より回収し、もって左右側壁４のオーバーフロー穴１０を経由して、オーバーフロー排出すべく機能する。
このような機能と共に、調整穴９は、その高さ位置設定により、めっき液Ｃの液面Ｄの高さレベルを、めっき処理に最適となるように、調整する機能を発揮する。
すなわちめっき処理に際し、めっき液Ｃの液面Ｄは、板状ワークＡの下面Ｂ’に対し、接触，吸い着き，付着して，濡れ広がる。調整穴９は、このような液面Ｄの板状ワークＡに対する関係が可能となるように、液面Ｄの高さレベルを調整する。液面調整板８の高さ位置設定に伴い、調整穴９の底面高さ位置が設定され、もって液面Ｄの高さレベルが、めっき処理に最適に調整される。
液面調整板８については、以上のとおり。
このような機能と共に、調整穴９は、その高さ位置設定により、めっき液Ｃの液面Ｄの高さレベルを、めっき処理に最適となるように、調整する機能を発揮する。
すなわちめっき処理に際し、めっき液Ｃの液面Ｄは、板状ワークＡの下面Ｂ’に対し、接触，吸い着き，付着して，濡れ広がる。調整穴９は、このような液面Ｄの板状ワークＡに対する関係が可能となるように、液面Ｄの高さレベルを調整する。液面調整板８の高さ位置設定に伴い、調整穴９の底面高さ位置が設定され、もって液面Ｄの高さレベルが、めっき処理に最適に調整される。
液面調整板８については、以上のとおり。
《作用等》
本発明の板状ワークＡの片面めっき装置１は、以上説明したように構成されている。そこで、その作用等は以下のようになる。
（１）まず板状ワークＡが、コンベア１５にて搬送されてこない状態については、次のとおり。
ディップ槽２の液槽６に貯留されためっき液Ｃの液面Ｄは、板状ワークＡの搬送面つまり搬送高さレベルより、極く僅かだが下位の高さレベルとなっている（図１中の左側を参照）。液面Ｄは、後述するように板状ワークＡの下面Ｂ’に吸い着き，這い上がって濡れ広がる高さレベルより、僅かに下位の高さレベルに維持されている。
本発明の板状ワークＡの片面めっき装置１は、以上説明したように構成されている。そこで、その作用等は以下のようになる。
（１）まず板状ワークＡが、コンベア１５にて搬送されてこない状態については、次のとおり。
ディップ槽２の液槽６に貯留されためっき液Ｃの液面Ｄは、板状ワークＡの搬送面つまり搬送高さレベルより、極く僅かだが下位の高さレベルとなっている（図１中の左側を参照）。液面Ｄは、後述するように板状ワークＡの下面Ｂ’に吸い着き，這い上がって濡れ広がる高さレベルより、僅かに下位の高さレベルに維持されている。
（２）そして、このようなめっき液Ｃの液面Ｄの高さレベルは、図１，図２，図３等の図示例では、液面調整板８の調整穴９の高さ位置設定により、調整されている。液面Ｄと板状ワークＡの下面Ｂ’とが、極く僅かの間隙となるように、ディップ槽２の左右側壁４に添設された液面調整板８の調整穴９にて、維持されている。
（３）しかる後、板状ワークＡが搬送されてくると、次のようになる。例えば回路基板やソーラーモジュール等の板状ワークＡが、コンベア１５の搬送ローラー１６１と押えローラー１６２にて、ディップ槽２内を搬送方向Ｅに搬送され、もってディップ槽２の液槽６のめっき液Ｃの液面Ｄ上に、水平搬送されてくると、次のようになる。
まず、めっき液Ｃの液面Ｄが、板状ワークＡの片面Ｂである下面Ｂ’に対し、部分的に接触すると共に、吸い着き，付着する。このようなめっき液Ｃの液面Ｄの板状ワークＡの下面Ｂ’に対する接触，付着は、上述したように両者が、極めて僅かな上下間隔で位置設定されていることに、起因して発生する。
そして更に、液面Ｄが、完全水平面を常時維持している訳ではなく、僅かに上下動し，波立っていることも、その原因となる。このような上下動，波立ちは、給液管７によるめっき液Ｃの供給に伴い、自然発生する。特に、噴流となってめっき液Ｃが供給される場合は、一段と顕著化する。
まず、めっき液Ｃの液面Ｄが、板状ワークＡの片面Ｂである下面Ｂ’に対し、部分的に接触すると共に、吸い着き，付着する。このようなめっき液Ｃの液面Ｄの板状ワークＡの下面Ｂ’に対する接触，付着は、上述したように両者が、極めて僅かな上下間隔で位置設定されていることに、起因して発生する。
そして更に、液面Ｄが、完全水平面を常時維持している訳ではなく、僅かに上下動し，波立っていることも、その原因となる。このような上下動，波立ちは、給液管７によるめっき液Ｃの供給に伴い、自然発生する。特に、噴流となってめっき液Ｃが供給される場合は、一段と顕著化する。
（４）さて、めっき液Ｃは、コンベア１５にて水平搬送される板状ワークＡの下面Ｂ’に対し、上述により液面Ｄが部分的に接触して吸い着き，付着した後、このような接触，付着をきっかけとして、膜状に濡れ広がって行く。
すなわちめっき液Ｃは、界面張力の基、ぬれ性により板状ワークＡの下面Ｂ’全体に広がって行く。表面張力にて周囲から液面Ｄが盛り上がっためっき液Ｃは、板状ワークＡの下面Ｂ’に対し、這い上がると共に界面にそって張力が作用する。もって、めっき液Ｃが拡張ぬれにより全体的に広がって、下面Ｂ’を覆い尽くす（図１中の右側，図２，図３等を参照）。
なお、このようなめっき液Ｃの接触，付着が不足する場合や、その後の広がりが不足する場合は、その対策として板状ワークＡを、コンベア１５にて搬送方向Ｅに往復動させることも行われる。又、コンベア１５による板状ワークＡの搬送スピードを、遅速制御することにより、めっき時間を調節することも行われる。
すなわちめっき液Ｃは、界面張力の基、ぬれ性により板状ワークＡの下面Ｂ’全体に広がって行く。表面張力にて周囲から液面Ｄが盛り上がっためっき液Ｃは、板状ワークＡの下面Ｂ’に対し、這い上がると共に界面にそって張力が作用する。もって、めっき液Ｃが拡張ぬれにより全体的に広がって、下面Ｂ’を覆い尽くす（図１中の右側，図２，図３等を参照）。
なお、このようなめっき液Ｃの接触，付着が不足する場合や、その後の広がりが不足する場合は、その対策として板状ワークＡを、コンベア１５にて搬送方向Ｅに往復動させることも行われる。又、コンベア１５による板状ワークＡの搬送スピードを、遅速制御することにより、めっき時間を調節することも行われる。
（５）さて、コンベア１５にてディップ槽２内を搬送される板状ワークＡは、このように下面Ｂ’に、めっき液Ｃが濡れ広がって被覆される。
これと共に、アノード側からカソード側への直流通電に伴い、電極間の電位差に基づき、下面Ｂ’に金属が折出して、電解めっき被膜が形成される（図１中の右側，図２，図３等を参照）。
すなわち、陰極電極１８として機能するコンベア１５のローラー１６（ 図１，図２，図３の（１）図の例では搬送ローラー１６１、図３の（２）図の例では押えローラー１６２ ）により、陰極に帯電された板状ワークＡは、陽極電極１４側のめっき液Ｃとの間の直流通電に伴う電位差に基づき、めっき液Ｃ中の金属イオンにて、下面Ｂ’に金属が折出する。
もって板状ワークＡは、その下面Ｂ’について、銀めっき被膜や銅めっき被膜等、金属イオン電解被膜であるめっき被膜が、全体的に張り付き形成される。
このようにして、ディップ槽２内を搬送される板状ワークＡは、そのめっき対象面，めっき面である片面Ｂつまり下面Ｂ’が、ぬれ性を利用して電解めっき処理される。
これと共に、アノード側からカソード側への直流通電に伴い、電極間の電位差に基づき、下面Ｂ’に金属が折出して、電解めっき被膜が形成される（図１中の右側，図２，図３等を参照）。
すなわち、陰極電極１８として機能するコンベア１５のローラー１６（ 図１，図２，図３の（１）図の例では搬送ローラー１６１、図３の（２）図の例では押えローラー１６２ ）により、陰極に帯電された板状ワークＡは、陽極電極１４側のめっき液Ｃとの間の直流通電に伴う電位差に基づき、めっき液Ｃ中の金属イオンにて、下面Ｂ’に金属が折出する。
もって板状ワークＡは、その下面Ｂ’について、銀めっき被膜や銅めっき被膜等、金属イオン電解被膜であるめっき被膜が、全体的に張り付き形成される。
このようにして、ディップ槽２内を搬送される板状ワークＡは、そのめっき対象面，めっき面である片面Ｂつまり下面Ｂ’が、ぬれ性を利用して電解めっき処理される。
（６）これに対し、板状ワークＡの非めっき対象面，非めっき面である反対面Ｆ、つまり上面Ｇは、このような下面Ｂ’のめっき処理に際し、めっき液Ｃの液面Ｄと接触することは、一切ない。
ディップ槽２内を搬送される板状ワークＡの上面Ｇは、常時、雰囲気と界面接触しており、液槽６のめっき液Ｃと界面接触することはない。
従って、非めっき面である反対面Ｆつまり上面Ｇを、めっき処理に際し、めっき防止のためマスキングしておく必要は一切ない。上面Ｇは、板状ワークＡ本体にて、めっき面である下面Ｂ’側つまりめっき液Ｃ側とは、常に遮断されている。
本発明の作用等については、以上のとおり。
ディップ槽２内を搬送される板状ワークＡの上面Ｇは、常時、雰囲気と界面接触しており、液槽６のめっき液Ｃと界面接触することはない。
従って、非めっき面である反対面Ｆつまり上面Ｇを、めっき処理に際し、めっき防止のためマスキングしておく必要は一切ない。上面Ｇは、板状ワークＡ本体にて、めっき面である下面Ｂ’側つまりめっき液Ｃ側とは、常に遮断されている。
本発明の作用等については、以上のとおり。
《その他の例、まず第２例について》
以上、図１，図２，図３の（１）図等に示した第１例に基づき、本発明を説明した。以下、第２例，第３例，第４例，第５例等、本発明の他の例について、説明しておく。
まず、第２例で採用されている光照射方式等について、説明する。
図３の（２）図に示した第２例の片面めっき装置１では、ディップ槽２の液槽６の底壁５に、透明ガラス２４が組み込まれている。これと共に、その下側にランプ２５が、透明ガラス２４を介し設けられている。もって、ランプ２５による光照射方式により、電解めっき処理が一段と促進されるようになっている。
又、この第２例の片面めっき装置１にあっては、第１例とは異なり、搬送ローラー１６１ではなく押えローラー１６２が、陰極電極１８として兼用されている。
この第２例の片面めっき装置１について、その他の構成，機能，作用等は、第１例について前述した所に準じるので、同符号を付し、その説明は省略する。
第２例については、以上のとおり。
以上、図１，図２，図３の（１）図等に示した第１例に基づき、本発明を説明した。以下、第２例，第３例，第４例，第５例等、本発明の他の例について、説明しておく。
まず、第２例で採用されている光照射方式等について、説明する。
図３の（２）図に示した第２例の片面めっき装置１では、ディップ槽２の液槽６の底壁５に、透明ガラス２４が組み込まれている。これと共に、その下側にランプ２５が、透明ガラス２４を介し設けられている。もって、ランプ２５による光照射方式により、電解めっき処理が一段と促進されるようになっている。
又、この第２例の片面めっき装置１にあっては、第１例とは異なり、搬送ローラー１６１ではなく押えローラー１６２が、陰極電極１８として兼用されている。
この第２例の片面めっき装置１について、その他の構成，機能，作用等は、第１例について前述した所に準じるので、同符号を付し、その説明は省略する。
第２例については、以上のとおり。
《第３例について》
次に、第３例で採用されている給液管７について、説明する。
図４の（２）図に示した第３例の片面めっき装置１では、めっき液Ｃの給液管７の構成が、前述した図１，図２，図３等に示した第１例や第２例に示した給液管７とは、異なっている。
すなわち、この第３例の給液管７では、供給開口１３付の分岐管１２が、ディップ槽２の液槽６上に水平延設されている。つまり、第１例や第２例について前述した分岐管１２のように、貯留されためっき液Ｃ中に液中配設されるのではなく、この第３例の分岐管１２は、めっき液Ｃの液面Ｄより上位の雰囲気中に配設されている。
従って、この第３例では、分岐管１２に所定ピッチで設けられる供給開口１３も、第１例や第２例のように下位のめっき液Ｃ中ではなく、上位の雰囲気中に設けられている。
そこで、新鮮なめっき液Ｃが、このような上位の給液管７の各供給開口１３から、下位の液槽６に貯留されためっき液Ｃの液面Ｄに向けて、雰囲気を介して、流下供給されるようになっている。
次に、第３例で採用されている給液管７について、説明する。
図４の（２）図に示した第３例の片面めっき装置１では、めっき液Ｃの給液管７の構成が、前述した図１，図２，図３等に示した第１例や第２例に示した給液管７とは、異なっている。
すなわち、この第３例の給液管７では、供給開口１３付の分岐管１２が、ディップ槽２の液槽６上に水平延設されている。つまり、第１例や第２例について前述した分岐管１２のように、貯留されためっき液Ｃ中に液中配設されるのではなく、この第３例の分岐管１２は、めっき液Ｃの液面Ｄより上位の雰囲気中に配設されている。
従って、この第３例では、分岐管１２に所定ピッチで設けられる供給開口１３も、第１例や第２例のように下位のめっき液Ｃ中ではなく、上位の雰囲気中に設けられている。
そこで、新鮮なめっき液Ｃが、このような上位の給液管７の各供給開口１３から、下位の液槽６に貯留されためっき液Ｃの液面Ｄに向けて、雰囲気を介して、流下供給されるようになっている。
これにより、この第３例の片面めっき装置１によると、液槽６に貯留されためっき液Ｃの液面Ｄが、板状ワークＡの下面Ｂ’に対し、スムーズに接触，付着されるという利点がある。
すなわちめっき液Ｃが、上位の給液管７の各供給開口１３から、下位に貯留されためっき液Ｃの液面Ｄに向けて、雰囲気を介して、流下供給，落下供給されるので、液面Ｄの僅かな上下動，波立ちが促進される。もって、液面Ｄの板状ワークＡの下面Ｂ’に対する接触，付着も、促進され易くなる。
この第３例の片面めっき装置１について、その他の構成，機能，作用等は、第１例について前述した所に準じるので、同符号を付し、その説明は省略する。
第３例については、以上のとおり。
すなわちめっき液Ｃが、上位の給液管７の各供給開口１３から、下位に貯留されためっき液Ｃの液面Ｄに向けて、雰囲気を介して、流下供給，落下供給されるので、液面Ｄの僅かな上下動，波立ちが促進される。もって、液面Ｄの板状ワークＡの下面Ｂ’に対する接触，付着も、促進され易くなる。
この第３例の片面めっき装置１について、その他の構成，機能，作用等は、第１例について前述した所に準じるので、同符号を付し、その説明は省略する。
第３例については、以上のとおり。
《第４例について》
次に、第４例で採用されている液面調整管２６について、説明する。
図４の（３）図に示した第４例の片面めっき装置１では、ディップ槽２について、前述した図１，図２，図３等に示した第１例や第２例で採用されていた液面調整板８に代え、
液面調整管２６が採用されている。
すなわち、この第４例で採用された液面調整管２６は、ディップ槽２内の左右両側部に延設されており、若干上下動可能であることに基づき、その高さ位置を変更設定可能であると共に、オーバーフローしためっき液Ｃを排出する調整穴２７を備えている。
もって、このような液面調整管２６により、めっき液Ｃの液面Ｄを、板状ワークＡのめっき処理に適した高さレベルに調整可能となっている。
次に、第４例で採用されている液面調整管２６について、説明する。
図４の（３）図に示した第４例の片面めっき装置１では、ディップ槽２について、前述した図１，図２，図３等に示した第１例や第２例で採用されていた液面調整板８に代え、
液面調整管２６が採用されている。
すなわち、この第４例で採用された液面調整管２６は、ディップ槽２内の左右両側部に延設されており、若干上下動可能であることに基づき、その高さ位置を変更設定可能であると共に、オーバーフローしためっき液Ｃを排出する調整穴２７を備えている。
もって、このような液面調整管２６により、めっき液Ｃの液面Ｄを、板状ワークＡのめっき処理に適した高さレベルに調整可能となっている。
このような液面調整管２６について、更に詳述する。この第４例の液面調整管２６は、第１例や第２例について前述した液面調整板８のように、ディップ槽２の左右側壁４に添設されるのではなく、ディップ槽２の液槽６中に、液中配設されている。
すなわち、この液面調整管２６は、液槽６内の左右両側部に搬送方向Ｅに沿ってそれぞれ延出された延設管２８と、延設管２８の上面について、搬送方向Ｅに所定ピッチで付設された多数の調整穴２７と、延設管２８に垂下接続されたオーバーフロー管２９とを、備えている。
そして、このような液面調整管２６は、液槽６内に貯留されためっき液Ｃ中を、全体的に若干上下動可能であると共に、所定の高さ位置にて停止位置決め可能となっている。もって、各調整穴２７の高さ位置を、変更設定可能となっている。
各調整穴２７は、共通の大きさ，高さ位置よりなる。そして各調整穴２７は、給液管７による新鮮なめっき液Ｃの供給に伴い、消耗，老廃しためっき液Ｃを、貯留されていた液槽６中より液面Ｄ側から回収し、もって延設管２８やオーバーフロー管２９を経由して、オーバーフロー排出すべく機能し、液面Ｄ付近に開口している。
このような機能と共に、調整穴２７は、その高さ位置設定により、めっき液Ｃの液面Ｄの高さレベルを、めっき処理に最適となるように、調整する機能を発揮する。その詳細は、第１例において液面調整板８の調整穴９に関して述べた所に準じる。
この第４例の片面めっき装置１について、その他の構成，機能，作用等は、第１例について前述した所に準じるので、同符号を付し、その説明は省略する。
第４例については、以上のとおり。
すなわち、この液面調整管２６は、液槽６内の左右両側部に搬送方向Ｅに沿ってそれぞれ延出された延設管２８と、延設管２８の上面について、搬送方向Ｅに所定ピッチで付設された多数の調整穴２７と、延設管２８に垂下接続されたオーバーフロー管２９とを、備えている。
そして、このような液面調整管２６は、液槽６内に貯留されためっき液Ｃ中を、全体的に若干上下動可能であると共に、所定の高さ位置にて停止位置決め可能となっている。もって、各調整穴２７の高さ位置を、変更設定可能となっている。
各調整穴２７は、共通の大きさ，高さ位置よりなる。そして各調整穴２７は、給液管７による新鮮なめっき液Ｃの供給に伴い、消耗，老廃しためっき液Ｃを、貯留されていた液槽６中より液面Ｄ側から回収し、もって延設管２８やオーバーフロー管２９を経由して、オーバーフロー排出すべく機能し、液面Ｄ付近に開口している。
このような機能と共に、調整穴２７は、その高さ位置設定により、めっき液Ｃの液面Ｄの高さレベルを、めっき処理に最適となるように、調整する機能を発揮する。その詳細は、第１例において液面調整板８の調整穴９に関して述べた所に準じる。
この第４例の片面めっき装置１について、その他の構成，機能，作用等は、第１例について前述した所に準じるので、同符号を付し、その説明は省略する。
第４例については、以上のとおり。
《第５例について》
次に、第５例として昇降動搬送方式について、説明する。
上述した各例の片面めっき装置１は、コンベア１５にて板状ワークＡを水平搬送しつつ、めっき処理していたが、本発明の片面めっき装置１は、このような搬送方式に限定されるものではない。
例えば、板状ワークＡを、ディップ槽２の液槽６に貯留されためっき液Ｃに対し、水平状態を維持しつつ、昇降動させる搬送方式も可能である。この場合、板状ワークＡは昇降機構により、めっき液Ｃの液面Ｄの僅か上位まで降下され、もって、その下面Ｂ’が電解めっき処理される。なお昇降機構は、陰極電極１８と兼用される。
この第５例の片面めっき装置１について、その他の構成，機能，作用等は、第１例について前述した所に準じるので、その説明は省略する。
第５例については、以上のとおり。
次に、第５例として昇降動搬送方式について、説明する。
上述した各例の片面めっき装置１は、コンベア１５にて板状ワークＡを水平搬送しつつ、めっき処理していたが、本発明の片面めっき装置１は、このような搬送方式に限定されるものではない。
例えば、板状ワークＡを、ディップ槽２の液槽６に貯留されためっき液Ｃに対し、水平状態を維持しつつ、昇降動させる搬送方式も可能である。この場合、板状ワークＡは昇降機構により、めっき液Ｃの液面Ｄの僅か上位まで降下され、もって、その下面Ｂ’が電解めっき処理される。なお昇降機構は、陰極電極１８と兼用される。
この第５例の片面めっき装置１について、その他の構成，機能，作用等は、第１例について前述した所に準じるので、その説明は省略する。
第５例については、以上のとおり。
１ 片面めっき装置
２ ディップ槽
３ 前後壁
４ 左右側壁
５ 底壁
６ 液槽
７ 給液管
８ 液面調整板
９ 調整穴
１０ オーバーフロー穴
１１ 本管
１２ 分岐管
１３ 供給開口
１４ 陽極電極
１５ コンベア
１６ ローラー
１６１ 搬送ローラー
１６２ 押えローラー
１７１ シャフト
１７２ シャフト
１８ 陰極電極
１９ ロータリーコネクタ
２０ 搬送ギア対
２１ 軸受
２２ ダムローラー
２３ 凹切欠
２４ 透明ガラス
２５ ランプ
２６ 液面調整管
２７ 調整穴
２８ 延設管
２９ オーバーフロー管
Ａ 板状ワーク
Ｂ 片面
Ｂ’下面
Ｃ めっき液
Ｄ 液面
Ｅ 搬送方向
Ｆ 反対面
Ｇ 上面
２ ディップ槽
３ 前後壁
４ 左右側壁
５ 底壁
６ 液槽
７ 給液管
８ 液面調整板
９ 調整穴
１０ オーバーフロー穴
１１ 本管
１２ 分岐管
１３ 供給開口
１４ 陽極電極
１５ コンベア
１６ ローラー
１６１ 搬送ローラー
１６２ 押えローラー
１７１ シャフト
１７２ シャフト
１８ 陰極電極
１９ ロータリーコネクタ
２０ 搬送ギア対
２１ 軸受
２２ ダムローラー
２３ 凹切欠
２４ 透明ガラス
２５ ランプ
２６ 液面調整管
２７ 調整穴
２８ 延設管
２９ オーバーフロー管
Ａ 板状ワーク
Ｂ 片面
Ｂ’下面
Ｃ めっき液
Ｄ 液面
Ｅ 搬送方向
Ｆ 反対面
Ｇ 上面
Claims (6)
- 板状ワークの片面をめっき処理する片面めっき装置であって、陰極に帯電された該板状ワークの片面である下面に、陽極側のめっき液の液面が対応位置すると共に、
該板状ワークの下面が、該めっき液のぬれ性を利用して電解めっき処理されること、を特徴とする板状ワークの片面めっき装置。 - 請求項１において、該めっき液は、該板状ワークの下面に対し、液面が接触すると共に吸い着き付着して、膜状に濡れ広がって全体的に張り付き、
もって、該板状ワークの下面が電解めっき処理されること、を特徴とする板状ワークの片面めっき装置。 - 請求項２において、該片面めっき装置は、ディップ槽とコンベアとを有しており、該ディップ槽は、該めっき液が貯留されると共に、陽極電極が液中に配設されており、
該コンベアは、該ディップ槽に貯留された該めっき液の液面付近に配設され、該板状ワークを水平搬送する上下のローラー群を備えており、該ローラー群は、選択されたローラーが陰極電極としても兼用されており、
もって該板状ワークは、直流通電に伴う電極間電位差による金属折出に基づき、電解めっき被膜が下面に全体的に形成されること、を特徴とする板状ワークの片面めっき装置。 - 請求項３において、該板状ワークは、太陽電池パネルのソーラーモジュールや、プリント配線基板，ガラス基板，シリコンウエハー，その他の回路基板よりなり、
該めっき液は、金属イオンを含む金属めっき液よりなること、を特徴とする板状ワークの片面めっき装置。 - 請求項４において、該ディップ槽には、給液管と液面調整板が設けられており、該給液管は、新鮮な該めっき液を該ディップ槽に供給し、
該液面調整板は、該ディップ槽の左右両側壁に添設されており、若干上下動可能であることに基づき、その高さ位置を変更設定可能であると共に、オーバーフローした該めっき液を排出する調整穴を備えており、
もって該液面調整板により、該めっき液の液面を、該板状ワークのめっき処理に適した高さレベルに調整可能となっていること、を特徴とする板状ワークの片面めっき装置。 - 請求項４において、該ディップ槽には、給液管と液面調整管が設けられており、該給液管は、新鮮な該めっき液を該ディップ槽に供給し、
該液面調整管は、該ディップ槽内の左右両側部に延設されており、若干上下動可能であることに基づき、その高さ位置を変更設定可能であると共に、オーバーフローした該めっき液を排出する調整穴を備えており、
もって該液面調整管により、該めっき液の液面を、該板状ワークのめっき処理に適した高さレベルに調整可能となっていること、を特徴とする板状ワークの片面めっき装置。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105463537A (zh) * | 2016-01-14 | 2016-04-06 | 深圳市启沛实业有限公司 | 一种新型单面电镀冶具 |
| CN114990659A (zh) * | 2022-06-08 | 2022-09-02 | 苏州晶洲装备科技有限公司 | 一种晶硅光伏电池的水平电镀装置、电镀方法和用途 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004223484A (ja) * | 2003-01-27 | 2004-08-12 | Fujimori Kogyo Co Ltd | コーティング方法及びその装置 |
| JP2006307299A (ja) * | 2005-05-02 | 2006-11-09 | Mitsubishi Electric Corp | マスクレスめっき装置 |
| JP2007146195A (ja) * | 2005-11-24 | 2007-06-14 | Fujikura Ltd | メッキ装置 |
| JP2010539324A (ja) * | 2008-05-30 | 2010-12-16 | レナ ゲーエムベーハー | インライン設備における平面状製品の電気的接触装置および方法 |
-
2012
- 2012-03-15 JP JP2012059021A patent/JP2013194242A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004223484A (ja) * | 2003-01-27 | 2004-08-12 | Fujimori Kogyo Co Ltd | コーティング方法及びその装置 |
| JP2006307299A (ja) * | 2005-05-02 | 2006-11-09 | Mitsubishi Electric Corp | マスクレスめっき装置 |
| JP2007146195A (ja) * | 2005-11-24 | 2007-06-14 | Fujikura Ltd | メッキ装置 |
| JP2010539324A (ja) * | 2008-05-30 | 2010-12-16 | レナ ゲーエムベーハー | インライン設備における平面状製品の電気的接触装置および方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105463537A (zh) * | 2016-01-14 | 2016-04-06 | 深圳市启沛实业有限公司 | 一种新型单面电镀冶具 |
| CN114990659A (zh) * | 2022-06-08 | 2022-09-02 | 苏州晶洲装备科技有限公司 | 一种晶硅光伏电池的水平电镀装置、电镀方法和用途 |
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