KR101117285B1 - 잉크젯 프린트헤드의 제조방법 - Google Patents

Abstract

균일한 두께의 잉크 유로층을 형성하는 잉크젯 프린트헤드의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 기판의 상면에 히터를 형성하는 단계와 상기 기판의 상면에 유로층을 형성하는 단계와 상기 유로층의 상면에 종점검출층을 형성하는 단계와 상기 유로층의 소정 부분을 제거하여 잉크유로를 형성하는 단계와 상기 종점검출층과 상기 잉크유로를 매립하는 희생층을 형성하는 단계와 상기 희생층을 상기 종점검출층이 노출될 때까지 CMP 공정에 의해 평탄화하는 단계와 상기 희생층 및 상기 유로층의 상면에 노즐층을 형성하는 단계와 상기 희생층을 제거하는 단계를 포함한다.

잉크젯 프린터, 프린트헤드, CMP, 종점검출

Description

잉크젯 프린트헤드의 제조방법{Fabrication Method For Ink-jet Printhead}

도 1은 종래의 일반적인 열 구동 방식의 잉크젯 프린트헤드를 나타낸 단면도이다.

도 2a 내지 도 2k는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 제조 방법을 순차적으로 나타낸 단면도이다.

도 3a 내지 도 3d는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 제조 방법을 순차적으로 나타낸 단면도이다.

도 4a 와 도 4b는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 제조 방법을 순차적으로 나타낸 단면도이다.

** 도면의 주요부분의 부호에 대한 설명 **

100, 200, 300 : 기판,

110, 210, 310 : 히터,

120, 220, 320 : 유로층,

130, 230, 330 : 종점검출층,

140 : 희생층

본 발명은 잉크젯 프린트헤드의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 균일한 두께의 잉크 유로층을 형성하는 잉크젯 프린트헤드의 제조 방법에 관한 것이다.

잉크젯 프린터는 카트리지에 저장된 잉크를 미세한 액적의 형태로 인쇄 매체의 표면에 분사하여 원하는 형태의 인쇄물을 얻어내는 화상 형성 장치의 일종으로서, 카트리지에 저장된 잉크는 프린트헤드를 통해서 분사되게 된다.

잉크젯 프린터가 잉크를 분사하는 방법은 크게 열 구동 방식과 압전 구동 방식으로 구별할 수 있는데, 전자는 프린트헤드 내에 히터를 장착하여 히터에서 발생된 열로 인해 버블을 형성한 후 그에 의한 압력으로 잉크 액적을 분사하는 방식이며, 후자는 압전 소자에 전원을 인가하여 압전 소자의 기계적인 변형으로 인해 발생된 압력으로 잉크 액적을 분사하는 방식이다.

열 구동 방식의 잉크젯 프린트헤드의 구조 및 제조방법에 대하여는 대한민국 공개특허번호 제 10-2004-0033183 호 또는 대한민국 공개특허번호 제 10-2004-0101862 호 등에 개시되어 있다.

도 1은 종래의 열 구동 방식 잉크젯 프린트헤드의 일 예로서, 대한민국 공개특허번호 제 10-2004-0033183 호에 개시된 잉크젯 프린트헤드의 구조를 간략하게 나타낸 단면도이다.

도 1을 참조하면, 종래의 열 구동 방식 잉크젯 프린트헤드는 히터(20)가 형성된 기판(10)과 기판(10) 상에 형성된 유로층(30)과 유로층(30) 상에 형성된 노즐 층(40)을 구비한다. 이와 같이 구성된 종래의 잉크젯 프린트헤드는, 히터(20)에 펄스 형태의 전류가 인가되면, 순간적으로 가열되어 히터(20)의 표면에 버블이 형성되고, 이로 인해 증가된 압력에 의해서 잉크 액적이 노즐층(40)의 노즐(42)을 통해 배출되게 된다.

기판(10)은 일반적으로 실리콘 기판이 사용되며, 배면에는 잉크저장부(미도시)와 연결된 매니폴드(60)가 형성된다. 기판(10) 상에는 잉크를 가열하여 버블을 발생시키는 히터(20)가 형성된다. 히터(20)는 불순물이 도핑된 다결정 실리콘이나 탄탈륨-알루미늄 합금과 같은 저항 발열체로 이루어진다. 한편 히터(20)에는 펄스 형태의 전류를 인가하기 위한 전극(미도시)이 접속되며, 히터(20) 주위에는 잉크와의 반응으로 손상을 입는 것을 방지하기 위해 하나 또는 다수의 보호층(passivation layer)이 형성될 수 있다.

기판(10)의 상면에는 유로층(30)이 형성된다. 유로층(30)은 에폭시(epoxy)계 또는 이미드(imide)계의 감광성 폴리머(photosensitive polymer)로 이루어지며, 잉크유로(50)가 형성되어 있다. 잉크유로(50)는 노즐(42)을 통해 토출될 잉크가 채워지는 잉크챔버(52)와 상기 잉크챔버(52)와 매니폴드(60)를 연결하는 잉크피드홀(미도시)을 포함한다. 유로층(30)의 두께는 토출되는 잉크 액적의 부피에 따라 요구되는 잉크챔버(52)의 높이에 따라 달라지나 대략 10μm 내지 80μm 의 두께로 형성된다.

유로층(30)의 상면에는 잉크가 토출되는 노즐(42)이 형성된 노즐층(40)이 형성된다. 노즐층(40)도 유로층(30)과 마찬가지로 감광성 폴리머로 이루어진다.

유로층(30)의 상면에 노즐층(40)을 형성하기 위해서는 먼저 유로층(30)을 식각하여 잉크유로(50)를 형성한다. 그 다음 희생층(sacrificial layer; 미도시)을 기판(10)의 전면에 도포하여 유로층(30)을 덮는다. 희생층(미도시)도 일반적으로 감광성 폴리머로 이루어진다. 이어서 희생층(미도시)을 유로층(30)이 노출될 때까지 평탄화한다. 희생층(미도시)의 상면과 유로층(30)의 상면에 걸쳐서 노즐층(40)을 형성한다. 마지막으로 희생층(미도시)을 제거함으로써 공정이 완료된다.

상기와 같이 종래의 잉크젯 프린트헤드의 제조방법에 있어서, 희생층을 평탄화하기 위해 일반적으로 화학적 기계적 연마(chemical mechanical polishing; 이하 'CMP') 공정이 사용된다. CMP 기술의 원리는 기판을 연마 패드(polishing pad) 표면 위에서 접촉하도록 한 상태에서 연마액(slurry)를 공급하여 기판 표면을 화학적으로 반응시키면서 플래튼(platen)과 기판을 상대 운동시켜 기계적으로 기판 표면의 요철 부분을 평탄화하는 것이다. 이러한 CMP 공정을 수행하는 장치에 대하여는 미국특허 제 4,193,226 호 또는 미국특허 제 4,811,522 호 등에 개시되어 있다.

CMP 공정을 이용한 평탄화 과정에 있어서, CMP 공정을 정확하게 원하는 위치에서 종료하는 것이 중요하다. 일반적인 잉크젯 프린터 헤드의 제조에 있어서 유로층은 토출되는 잉크 액적의 부피에 따라 적절한 두께로 형성되므로 CMP 공정은 유로층의 상면이 노출되는 시점에서 종료하는 것이 바람직하다. 만약 희생층의 연마가 과소하게 이루어져 유로층의 상면이 완전히 노출되지 않으면 이후의 공정에서 희생층이 제거되면서 노즐층이 완전히 접합되지 않아 잉크가 새는 문제가 발생한다. 희생층의 연마가 과대하게 이루어져 유로층이 본래의 두께보다 얇아지면 토출 되는 잉크 액적의 부피가 달라져 인쇄 품질이 저하되는 문제가 발생한다.

종래의 잉크젯 프린트헤드의 제조방법에 있어서, 희생층과 유로층은 모두 폴리머로 이루어져 CMP 공정에 의한 평탄화를 진행하면 두 물질간 변별력이 없어 종점(end-point)을 검출하기가 어렵다. 따라서 원하는 종점에서 정확히 CMP 공정을 종료하기 위해서는 CMP 공정의 공정변수들이 세심하게 설정되고 제어되어야 한다. 이는 공정변수를 설정하는 데 많은 시간이 소요되고 또한 환경의 변화에 민감하여 반복재현성(repeatability)이 보장되지 못해 결국 잉크젯 프린트헤드의 생산성이 떨어지는 문제점이 있다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상기의 문제점을 해결하기 위해 CMP 공정의 종점을 검출할 수 있는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법을 제공하는 데에 있다.

본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 균일한 두께의 유로층을 형성할 수 있는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법을 제공하는 데에 있다.

상기 기술적 과제를 해결하기 위해 본 발명은 기판의 상면에 히터를 형성하는 단계와 상기 기판의 상면에 유로층을 형성하는 단계와 상기 유로층의 상면에 종점검출층을 형성하는 단계와 상기 유로층의 소정 부분을 제거하여 잉크유로를 형성하는 단계와 상기 종점검출층과 상기 잉크유로를 매립하는 희생층을 형성하는 단계와 상기 희생층을 상기 종점검출층이 노출될 때까지 CMP 공정에 의해 평탄화하는 단계와 상기 희생층 및 상기 유로층의 상면에 노즐층을 형성하는 단계와 상기 희생층을 제거하는 단계를 포함한다.

본 발명은 희생층을 CMP 공정에 의하여 평탄화하기 전 유로층의 상면에 종점검출층을 형성하여 이를 CMP 공정의 종점으로 삼는다. 이로 인해 CMP 공정의 종점을 감지하기 쉽고 이로 인해 균일한 두께의 유로층을 형성할 수 있게 된다.

상기 종점검출층을 형성하는 단계의 일예는 상기 유로층의 상면에 소정 물질을 증착하는 단계와 상기 소정 물질을 상기 잉크유로의 형상에 따라 제거하는 단계를 포함할 수 있다. 이로써 종점검출층을 유로층의 상면에서 형성시켜 종점검출층과 희생층을 이루는 물질간의 물리적 화학적 차이를 검출함으로써 CMP 공정의 종점을 찾을 수 있다.

상기 종점검출층을 형성하는 단계의 또다른 예는 상기 유로층에 상기 잉크유로의 패턴을 노광하는 단계와 상기 유로층의 상면에 소정 물질을 증착하는 단계를 포함할 수 있다. 이로써 종점검출층에서 잉크유로의 형상에 대한 패터닝 공정을 생략할 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있다.

상기 종점검출층을 형성하는 단계의 또다른 예는 상기 잉크유로의 패턴을 가지는 쉐도우마스크를 이용하여 소정 물질을 증착하는 단계를 포함할 수 있다. 이로써 유로층의 상면에 직접 잉크유로의 패턴을 가지는 종점검출층을 형성함으로써 종점검출층을 형성하기 위한 공정의 수를 줄일 수 있다.

한편, 상기 소정 물질은 에폭시(epoxy)계 또는 이미드(imide)계의 폴리머, 금속 계열 및 실리콘계의 무기물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나의 재료로 이루어지는 것이 바람직하다.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 그러나 본 실시예가 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 도면들에 있어서, 층 및 영역들의 두께는 명확성을 기하기 위하여 과장되어진 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조 번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.

도 2a 내지 도 2k는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 제조 방법을 순차적으로 나타낸 단면도이다.

도 2a를 참조하면, 기판(100)의 상면에 잉크를 가열하여 버블을 발생시키는 히터(110)를 형성한다. 히터(110)는 기판(100) 상에 불순물이 도핑된 다결정 실리콘이나 탄탈륨-알루미늄 합금을 증착한 다음 이를 소정의 형태로 패터닝함으로써 형성한다. 히터(110)에는 펄스 형태의 전류를 인가하기 위한 전극(미도시)이 접속된다. 한편 도면에는 도시되지 않지만, 히터(110)의 전후에는 히터(110)가 잉크와 반응하는 것을 방지하기 위한 다수의 보호층을 형성할 수 있다.

이어서 기판(100)의 상면에 유로층(120)을 형성한다. 유로층(120)은 에폭시계(epoxy)나 이미드(imide)계의 폴리머를 스핀 코팅(spin coating)하여 형성한다.

다음으로, 도 2b에 도시된 바와 같이 유로층(120)의 상면에 종점검출층(end-point detection layer; 130)을 형성한다. 종점검출층(130)은 후술할 CMP 공정의 종점으로 이용되는 층이다. 따라서 종점검출층(130)은 유로층(120) 및 희생층(도 2g의 140)과는 다른 물질이며, 희생층(140)과 CMP 공정에 의해 연마되는 정도가 확연히 구분되는 물질이어야 한다.

예를 들어, 종점검출층(130)은 에폭시(epoxy)계 또는 이미드(imide)계의 폴리머를 이용할 수 있다. 또한, 탄탈륨(Ta), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 구리(Cu) 등의 금속 물질을 이용할 수 있으며 또는 질화실리콘(SiNx), 산화실리콘(SiOx)과 같은 실리콘계의 무기물을 이용할 수도 있다. 다만 경도, 마찰력, 표면에너지, 전도도, 광학적 특성 등의 면에서 희생층(140)을 이루는 물질과 적어도 하나의 면에서 차이가 크게 나는 물질을 선택한다. 종점검출층(130)을 유로층(120)에 형성하기 위해서는 상기 선택된 물질에 따라 스퍼터링(sputtering), 물리적 기상 침적(physical vapor deposition), 화학적 기상 침적(chemical vapor deposition) 등의 방법을 사용할 수 있다.

종점검출층(130)은 후술할 CMP 공정의 종점 역할을 하므로 두께가 두꺼울 필요는 없으나 지나치게 얇으면 종점 검출이 곤란하다. 본 발명에서 종점검출층(130)의 두께는 0.01μm 내지 1μm 의 두께를 가지는 것이 바람직하다.

다음으로, 도 2c와 도 2d에 순차적으로 도시된 바와 같이 종점검출층(130)을 잉크유로(도 2f의 150)의 형상에 따라 패터닝한다. 이를 구체적으로 설명하면, 종점검출층(130) 상단에 제1포토레지스트(P1)를 도포하고 도 2f에 도시된 잉크유로(150)의 패턴을 가지는 제1마스크(M1)를 이용하여 노광하고 현상(develop)한다. 그 다음 종점검출층(130)을 건식 식각 또는 습식 식각 공정을 통해 식각하고 마지막으로 상기 제1포토레지스트(P1)를 제거한다.

다음으로, 도 2e에 도시된 바와 같이 잉크유로(150)의 패턴을 가지는 제2마스크(M2)를 이용하여 노광한다. 본 공정은 유로층(120)이 감광성 폴리머로 이루어져 있으므로 이를 음각 포토레지스트(negative photoresist)로 이용한 것이다. 즉 종점검출층(130) 하단에 존재하는 유로층(120a)은 빛에 노출되어 경화되고, 빛에 노출되지 않은 유로층(120b)은 이하의 현상 공정에서 제거된다. 따라서 종점검출층(130) 하단의 유로층(120a)이 빛에 노출되기 위해서는 종점검출층(130)이 투명한 재질로 이루어져야 한다.

다만, 유로층(120)을 이루는 물질을 적절하게 선택하여 양각 포토레지스트(positive photoresist)로 이용한다면, 즉 종점검출층(130) 하단의 유로층(120a)이 빛에 노출될 필요가 없다면 종점검출층(130)이 투명한 재질일 필요는 없다.

이어서, 도 2f에 도시된 바와 같이 빛에 노출되지 않은 유로층(120b)을 현상시켜 제거하면 잉크유로(150)가 형성된다.

다음으로, 도 2g에 도시된 바와 같이 기판(100)의 상면에 희생층(140)을 형성한다. 희생층(140)은 에폭시계 또는 이미드계의 폴리머로 이루어진다. 희생층(140)은 종점검출층(130)이 형성된 유로층(120)을 완전히 덮도록 유로층(120)의 두께보다 두껍게 도포한다.

다음으로, 도 2h에 도시된 바와 같이 CMP 공정을 통해 희생층(140)을 평탄화한다.

다음으로, 도 2i에 도시된 바와 같이 CMP 공정 진행 중 종점검출층(130)이 노출되면 CMP 공정을 종료한다. 즉 본 발명에 의하면 종점검출층(130)을 CMP의 공정의 종점으로 삼아 일정한 시점에서 CMP 공정이 종료되도록 한다. 따라서 CMP 공정 후에 균일한 두께의 유로층(120)을 보장할 수 있다.

종점검출층(130)을 감지하는 방법에 대하여는 다양한 방법이 있을 수 있다. 상기에서 설명한 바와 같이 종점검출층(130)은 경도, 마찰력, 표면에너지, 전도도, 광학적 특성 등의 면에서 희생층(140)을 이루는 물질과 적어도 하나의 면에서 차이가 크게 나는 물질이다. 예를 들어 광학적 특성이 서로 다르다면 포토디텍터(photodetector)를 설치하여 종점검출층(130)이 노출되는 시점을 찾을 수 있다. 경도나 마찰력에서 차이가 난다면 CMP 장치의 제어부(미도시)에서 연마 패드에 걸리는 마찰력 등을 측정하여 종점검출층(130)이 노출되는 시점을 찾을 수 있다.

한편, 본 실시예에서는 종점검출층(130)이 노출되는 시점을 CMP 공정의 종점으로 하였으나, 필요에 따라 CMP 공정을 소정 시간 동안 계속 진행하여 종점검출층(130)을 제거할 수도 있다.

다음으로, 도 2j에 도시된 바와 같이 유로층(120)과 희생층(140)의 상면에 노즐층(180)을 형성한다. 노즐층(180)은 에폭시계나 이미드계의 폴리머로 이루어지며 스핀 코팅 방법을 이용하거나 또는 상기 폴리머를 가열 가압하여 압착하는 라미네이션(lamination) 방법으로 형성할 수 있다. 이어서 노즐층(180)에 포토리쏘그라피(photolithography) 공정을 통해 패턴을 형성한 후 이를 식각하여 노즐(182)을 형성한다.

마지막으로, 도 2k에 도시된 바와 같이 기판(100)의 하면에 매니폴드(190) 을 형성하고 이어서 희생층(140)을 제거하여 잉크유로(150)를 형성한다. 잘 알려진 바와 같이, 매니폴드(190)를 형성하기 위해서는 식각마스크를 기판(100)의 배면에 형성하고 이를 식각한다. 또한 희생층(140)은 용매제를 통해 제거한다.

도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 제조 방법을 순차적으로 나타낸 단면도이다. 본 실시예는 유로층의 상면에 종점검출층을 형성하는 방법을 제외하고 제 1 실시예와 동일하므로 이하에서는 종점검출층을 형성하는 단계에 대하여만 설명하기로 한다.

도 3a를 참조하면, 기판(200)의 상면에 히터(210)와 유로층(220)을 차례로 형성한다. 이어서 잉크유로(도 3d의 250) 패턴을 가지는 제3마스크(M3)를 이용하여 유로층(220)을 노광한다.

이어서, 도 3b에 도시된 바와 같이 노광후 베이크(post exposure bake) 공정을 거치면 빛에 노출된 부분(220a)과 빛에 노출되지 않은 부분(220b) 사이에 단차가 형성된다.

다음으로, 도 3c에 도시된 바와 같이 유로층(220) 전면에 종점검출층(230)을 형성한다. 종점검출층(230)도 마찬가지로 단차를 가지고 형성된다.

마지막으로, 도 3d에 도시된 바와 같이 리프트오프(lift-off) 공정에 의해 잉크유로(250)를 형성한다. 즉 용매를 유로층(220)의 빛에 노출된 부분(220a)과 빛에 노출되지 않은 부분(220b) 사이의 불연속적인 면에 침투시켜 상기 빛에 노출되지 않은 부분(220b)과 그 상면의 종점검출층(230)을 동시에 제거한다.

이후의 공정은 전술한 제 1 실시예의 도 2g 이하의 공정과 동일하므로 이하 설명을 생략한다.

도 4a 와 도 4b는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 제조 방법을 순차적으로 나타낸 단면도이다. 본 실시예는 유로층의 상면에 종점검출층을 형성하는 방법을 제외하고 제 1 실시예와 동일하므로 이하에서는 종점검출층을 형성하는 단계에 대하여만 설명하기로 한다.

도 4a와 도 4b를 참조하면, 기판(300)의 상면에 히터(310)와 유로층(320)을 차례로 형성한다. 이어서 잉크유로 패턴을 가지는 쉐도우마스크(SM)를 이용하여 종점검출층(330)을 유로층(320) 상면에 형성한다. 이 경우 종점검출층을 이루는 물질에 따라 스퍼터링(sputtering), 물리적 기상 침적(physical vapor deposition), 화학적 기상 침적(chemical vapor deposition) 등의 방법이 사용될 수 있다. 즉 본 실시예에서는 잉크유로의 패턴을 가지는 종점검출층(330)을 직접 형성한다.

이후의 공정은 전술한 제 1 실시예의 도 2e 이하의 공정과 동일하므로 이하 설명을 생략한다.

상기에서는 잉크젯 프린트헤드의 제조 방법에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한하지 않고 유로층과 희생층을 CMP 공정을 이용하여 평탄화하는 MEMS(micro electro mechanical system) 구조물 형성에도 적용될 수 있다. 이경우 유로층과 희생층은 감광성 폴리머 뿐만 아니라 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 구리(Cu), 탄탈륨(Ta) 등의 금속계열이거나 실리콘계 무기물일 수 있다.

상기에서 상술한 바와 같이 본 발명에 의하면 종점검출층을 통해 CMP 공정 의 종점을 검출할 수 있도록 함으로써 균일한 두께의 유로층을 형성시킬 수 있다. 따라서 잉크젯 프린터 헤드의 신뢰성과 인쇄품질을 향상시킬 수 있다.

Claims (5)

1. 기판의 상면에 히터를 형성하는 단계;

   상기 기판의 상면에 유로층을 형성하는 단계;

   상기 유로층의 상면에 종점검출층을 형성하는 단계;

   상기 유로층의 소정 부분을 제거하여 잉크유로를 형성하는 단계;

   상기 종점검출층과 상기 잉크유로를 매립하는 희생층을 형성하는 단계;

   상기 희생층을 상기 종점검출층이 노출될 때까지 CMP 공정에 의해 평탄화하는 단계;

   상기 희생층 및 상기 유로층의 상면에 노즐층을 형성하는 단계;

   상기 희생층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.
2. 제 1항에 있어서, 상기 종점검출층을 형성하는 단계는

   상기 유로층의 상면에 소정 물질을 증착하는 단계;

   상기 소정 물질을 상기 잉크유로의 형상에 따라 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.
3. 제 1항에 있어서, 상기 종점검출층을 형성하는 단계는

   상기 유로층에 상기 잉크유로의 패턴을 노광하는 단계;

   상기 유로층의 상면에 소정 물질을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.
4. 제 1항에 있어서, 상기 종점검출층을 형성하는 단계는

   상기 잉크유로의 패턴을 가지는 쉐도우마스크를 이용하여 소정 물질을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.
5. 제 2항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 소정 물질은

   에폭시(epoxy)계 또는 이미드(imide)계의 폴리머, 금속 계열 및 실리콘계의 무기물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나의 재료로 이루어진 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.

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