KR101108804B1

KR101108804B1 - 건조도 측정 장치 및 이를 이용한 건조도 측정 방법

Info

Publication number: KR101108804B1
Application number: KR1020100035967A
Authority: KR
Inventors: 신동주; 임성택; 박문수; 이춘근; 정형미
Original assignee: 삼성전기주식회사
Priority date: 2010-04-19
Filing date: 2010-04-19
Publication date: 2012-01-31
Also published as: KR20110116515A

Abstract

본 발명은 건조도 측정 장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 건조도 측정 장치는 기판을 지지하는 지지판, 지지판을 이동시키는 구동부, 그리고 기판의 건조도 정도에 따라 기판의 상이한 범위로 마크를 형성하는 마킹부를 포함하되, 마킹부는 기판에 대향되는 플레이트 및 플레이트로부터 서로 상이한 높이로 돌출된 높이를 갖는 접촉 돌기들을 포함한다.

Description

건조도 측정 장치 및 이를 이용한 건조도 측정 방법{APPARATUS FOR MEASURING A DRYING RATE AND METHOD FOR MEASURING THE DRYING RATE USING THE SAME}

본 발명은 건조도 측정 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전자 장치의 제조를 위한 기판 재료의 건조도를 측정하기 위한 건조도 측정 장치 및 이를 이용한 건조도 측정 방법에 관한 것이다.

반도체 패키지 기술은 제조된 반도체 집적회로 칩(IC)을 외부 환경으로부터 보호하고, 상기 반도체 집적회로 칩을 외부 전자 장치에 장착시키기 위해 제공된다. 보통 상기 반도체 패키지는 인쇄회로기판(Printed Circuit Board:PCB)과 같은 회로 기판 및 상기 회로 기판에 실장된 집적회로 칩을 구비한 구조를 갖는다. 상기 회로 기판은 세라믹 그린 시트(ceramic green sheet) 등과 같은 빌드-업(build-up) 절연 필름들을 적층 및 소정 등의 공정을 수행하여 제조될 수 있다.

한편, 상기 절연 필름의 제조 공정은 캐스팅 공정(casting process)과 건조 공정(drying process) 등을 포함한다. 특히, 상기 건조 공정은 상기 절연 필름 내 솔벤트를 대부분 제거시키는 공정으로, 상기 절연 필름의 특성 중 하나인 건조도(drying rate)를 정의하는 공정이다. 상기 건조 공정 이후에 상기 절연 필름의 건조도는 후속 공정에 중요한 영향을 미치며, 상기 절연 필름의 건조도에 따라 패키지 기판의 제조 효율 및 신뢰성 등에 큰 영향을 준다. 그러나, 현재, 상기 절연 필름의 건조도는 작업자의 능률과 기능에 의한 주관적인 측정에 의해 이루어지고 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 기판의 건조도를 효과적이고 정밀하게 측정할 수 있는 건조도 측정 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 기판의 건조도를 객관적으로 수치화하여, 건조도를 자동화 관리하기 위한 건조도 측정 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 기판의 건조도를 효과적이고 정밀하게 측정할 수 있는 건조도 측정 방법을 제공하는 것에 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 기판의 건조도를 객관적으로 수치화하여, 건조도를 자동화 관리하기 위한 건조도 측정 방법을 제공하는 것에 있다.

본 발명에 따른 건조도 측정 장치는 기판을 지지하는 지지판, 상기 지지판을 이동시키는 구동부 및 상기 기판의 건조도에 따라 상기 기판의 상이한 범위로 마크를 형성하는 마킹부를 포함하되, 상기 마킹부는 상기 기판에 대향되는 플레이트 및 상기 플레이트로부터 서로 상이한 높이로 돌출된 높이를 갖는 접촉 돌기들을 포함한다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 접촉 돌기들은 상기 기판과의 접촉시 상기 기판에 마크를 형성하는 접촉면을 가질 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 접촉면에는 상기 기판에 마크를 형성하기 위한 마크 형성 물질이 도포될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 기판의 마크 형성 영역을 측정하는 측정부를 더 포함하되, 상기 측정부는 상기 기판을 촬영하는 카메라를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 마크 형성 영역이 기설정된 기준 영역을 만족하는지 여부를 판단하는 제어부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 기판은 인쇄회로기판의 제조를 위한 세라믹 그린 시트를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 구동부는 상기 지지판에 결합된 픽업체 및 상기 픽업체를 홀딩 및 릴리즈하는 홀더를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 픽업체는 적어도 하나의 자석을 포함하고, 상기 홀더는 상기 자석에 대응되는 전자석을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 측정돌기들은 상기 플레이트의 중앙으로 갈수록 높이가 낮아지도록 배치될 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 측정돌기들은 상기 플레이트의 가장자리로 갈수록 높이가 낮아지도록 배치될 수 있다.

본 발명에 따른 건조도 측정 방법은 서로 상이한 높이를 갖는 접촉 돌기들을 갖는 마킹부를 준비하는 단계, 기판을 접촉 돌기들 상에 로딩(loading)시켜, 상기 기판에 마크(mark)를 형성시키는 단계, 그리고 상기 마크의 형성 영역이 기설정된 기준 영역을 만족하는지 여부를 판단하는 단계를 포함한다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 마크의 형성 영역이 기설정된 기준 영역을 만족하는지 여부를 판단하는 단계는 상기 기판을 카메라로 촬영하는 단계를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 기판에 마크를 형성하는 단계는 상기 기판을 상기 접촉 돌기들 상에 로딩시키기 이전에, 상기 접촉 돌기들의 상기 기판과의 접촉면에 마크 형성 물질을 도포하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 기판에 대향되는 홀딩면을 갖는 지지판을 이용하여, 상기 기판을 상기 홀딩면에 지지시켜, 상기 기판을 이동시키는 단계를 더 포함하되, 상기 기판에 마크를 형성시키는 단계는 상기 지지판이 상기 기판을 지지한 상태에서, 상기 지지판과 함께 상기 기판을 상기 접촉 돌기들 상에 안착시켜 이루어질 수 있다.

본 발명에 따른 건조도 측정 방법은 기판에 상기 기판의 건조도에 따라 상기 기판의 휘어짐 정도가 달라지는 것을 이용하여, 상기 기판이 서로 상이한 높이들을 갖는 접촉 돌기들 상에 안착시킴으로써, 상기 접촉 돌기들과 접촉된 상기 기판의 접촉 부분의 범위에 따라, 상기 기판의 건조도를 측정한다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 기판의 건조도가 커질수록 상기 접촉 부분의 범위는 작아지고, 상기 기판의 건조도가 작을수록 상기 접촉의 범위는 커지도록 하여, 상기 기판의 건조도를 측정할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 기판의 접촉 부분의 분포에 따라 상기 기판의 건조도를 측정하는 것은 상기 기판을 촬영하여 상기 접촉 부분의 영역이 기설정된 기준 영역에 포함되는지 여부를 판단하여 이루어질 수 있다.

본 발명에 따른 건조도 측정 장치는 기판의 건조도를 객관적으로 측정하여, 상기 기판의 건조도가 기설정된 건조도를 만족하는지 여부에 따라, 상기 기판의 후속 처리를 제어함으로써, 상기 기판의 건조도 측정 공정을 객관화, 정밀화, 그리고 자동화할 수 있다.

본 발명에 따른 건조도 측정 방법은 기판의 건조도를 객관적으로 측정하여, 상기 기판의 건조도가 기설정된 건조도를 만족하는지 여부에 따라, 상기 기판의 후속 처리를 제어함으로써, 상기 기판의 건조도 측정 공정을 객관화, 정밀화, 그리고 자동화할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 건조도 측정 장치를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 건조도 측정 장치를 보여주는 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 건조도 측정 장치의 변형예를 보여주는 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 건조도 측정 방법을 보여주는 순서도이다.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 실시예에 따른 건조도 측정 과정을 설명하기 위한 도면들이다.
도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 실시예에 따른 건조도 측정 과정에서, 기판의 건조도가 기설정된 건조도를 만족하지 여부의 판단 과정을 설명하기 위한 도면들이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면들과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공될 수 있다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

본 명세서에서 사용된 용어들은 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprise)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 건조도 측정 장치 및 이를 이용한 건조도 측정 방법에 대해 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 건조도 측정 장치를 보여주는 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 건조도 측정 장치를 보여주는 측면도이다. 그리고, 도 3은 도 1에 도시된 건조도 측정 장치의 변형예를 보여주는 도면이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 건조도 측정 장치(100)는 기판 지지부(110), 구동부(120), 마킹부(130), 측정부(140), 그리고 제어부(150)를 포함할 수 있다.

상기 기판 지지부(110)는 소정의 기판을 지지할 수 있다. 예컨대, 상기 기판 지지부(110)는 지지판(112)을 가질 수 있다. 상기 지지판(112)은 인쇄회로기판(Printed Circuit Board:PCB)의 제조를 위한 절연 기판(10)을 지지하기 위한 것일 수 있다. 상기 절연 기판(10)은 세라믹 그린 시트(ceramic green sheet)와 같은 박막 형태의 기판일 수 있다. 상기 지지판(112)은 지지면(112a) 및 상기 지지면(112a)의 반대편인 홀딩면(112b)을 가지며, 대체로 사각 플레이트 형상을 가질 수 있다. 상기 지지면(112a)은 상기 기판(10)의 건조도 측정시, 상기 기판(10)가 밀착되어 지지되는 면일 수 있다. 상기 홀딩면(112b)은 상기 구동부(120)가 상기 지지판(112)을 홀딩(holding)하거나 릴리즈(release)하기 위해 제공된 면일 수 있다.

상기 구동부(120)는 상기 기판 지지부(110)를 이동시킬 수 있다. 예컨대, 상기 구동부(120)는 픽업체(122) 및 홀더(124)를 포함할 있다. 상기 픽업체(122)는 상기 홀딩면(112b)에 결합되며, 상기 홀더(124)는 상기 픽업체(122)를 홀딩(holding)하거나 릴리즈(release)할 수 있다. 상기 홀더(124)는 상하 및 회전, 그리고 직선 운동 등을 수행하여, 상기 픽업체(122)를 다양한 각도 및 방향으로 동작시킬 수 있다. 여기서, 상기 픽업체(122)와 상기 홀더(124)의 홀딩 및 릴리즈 동작은 다양과 방식으로 이루어질 수 있다. 일 예로서, 상기 픽업체(122)와 상기 홀더(124)는 자력을 이용하여 상기 홀딩 및 릴리즈 동작을 수행할 수 있다. 이를 위해, 상기 픽업체(122)는 적어도 하나의 자석을 가지며, 상기 홀더(124)는 상기 자석에 대응하는 전자석을 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 홀더(124)는 선택적으로 상기 픽업부(122)에 대해 선택적으로 인력을 가하여, 상기 픽업체(122)를 홀딩하거나 릴리즈할 수 있다. 다른 예로서, 상기 픽업체(122)와 상기 홀더(124)는 물리적으로 척킹(chucking) 및 언척킹(unchucking)하는 방식을 이용하여, 상기 홀딩 및 릴리즈 동작을 수행할 수 있다. 이를 위해, 상기 홀더(124)는 상기 픽업체(122)를 기구적인 방식으로 클램핑(clampin)하고, 이를 다시 릴리즈(releasing)하도록 구성될 수 있다.

상기 마킹부(130)는 플레이트(132) 및 상기 플레이트(132)에 구비된 측정 돌기들(134)을 포함할 수 있다. 상기 플레이트(132)의 가장자리에는 상기 기판(10)의 건조도 측정시, 상기 기판(10)의 측방향으로의 이탈을 방지하기 위한 측벽이 구비될 수 있다. 상기 측정 돌기들(134)은 상기 플레이트(132)로부터 상방향으로 돌출된 기둥 형상을 가질 수 있다. 상기 측정 돌기들(134)은 상기 플레이트(132)의 영역별로 서로 상이한 높이를 갖도록 배치될 수 있다. 일 예로서, 상기 측정 돌기들(134)은 상기 측정판(132)의 중앙으로 갈수록 돌출된 높이가 낮아지도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 측정 돌기들(134)은 상기 기판(10)을 향해 오목한 형상을 이루도록, 구비될 수 있다.

상기 마킹부(130)는 상기 기판(10)에 마크(mark)를 형성할 수 있다. 여기서, 상기 마킹부(130)는 상기 기판(10)의 건조 정도에 따라, 상기 마크의 형성 영역이 달라지도록 상기 기판(10)에 상기 마크를 형성할 수 있다. 일 예로서, 상기 기판(10)은 건조 공정이 완료된 세라믹 그린 시트(ceramic green sheet)일 수 있으며, 이 경우 상기 기판(10)에는 소량의 솔벤트가 잔류하고 있을 수 있다. 이에 따라, 상기 접속 돌기들(134)의 접촉만으로도, 상기 기판(10)에는 소정의 상기 마크가 형성될 수 있다. 또는, 보다 정확한 마크의 형성을 위해, 상기 측정 돌기들(134)은 상기 기판(10)과 접촉하는 접촉면에 상기 마크를 형성시킬 수 있는 마크 형성 물질(미도시됨)이 도포될 수도 있다. 상기 마크 형성 물질로는 상기 기판(10)의 건조도 측정이 실시된 이후에, 휘발되어 없어질 수 있는 휘발성 물질이 사용될 수 있다. 그 밖에도 상기 마크 형성 물질로는 다양한 물질이 사용될 수 있으며, 상술한 휘발성 물질로 한정되는 것은 아니다.

상기 측정부(140)는 상기 접촉 돌기들(134)이 접촉된 상기 기판(10)의 접촉 부분들을 검출하기 위한 것일 수 있다. 예컨대, 상기 측정부(140)는 적어도 하나의 카메라를 구비할 수 있다. 상기 카메라는 상기 접촉 돌기들(134)과 접촉되는 상기 기판(10)의 일면을 촬영할 수 있다. 즉, 상기 접촉 돌기들(134)에 접촉되는 상기 기판(10)의 일면에는 상술한 마크가 형성될 수 있으며, 상기 카메라에 의해 촬영된 영상에는 상기 마크의 형성 영역이 포함될 수 있다. 상기 카메라가 촬영한 영상 데이터는 상기 제어부(150)로 전송될 수 있다.

상기 제어부(150)는 상기 영상 데이터를 분석하여, 상기 기판(10)의 건조도를 판단하고, 이에 따라 상기 구동부(120) 및 상기 측정부(140)를 제어할 수 있다. 상기 제어부(150)가 건조도 측정 과정을 제어하는 상세한 과정은 후술한다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치(100)에서는 상기 측정 돌기들(134)이 상기 플레이트(132)의 중앙으로 갈수록 높이가 낮아지도록 배치된 경우를 예로 들어 설명하였으나, 상기 측정 돌기들(134)의 배치는 다양하게 변경될 수 있다. 예컨대, 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 예로서, 상기 측정 돌기들(134)은 상기 플레이트(132)의 중앙으로 갈수록 높이가 높아지도록 배치될 수 있다. 상술한 측정 돌기들(134)의 배치 및 각각의 형상 등은 다양하게 변경 및 변형될 수 있으며, 상술한 실시예에 한정되는 것은 아니다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 건조도 측정 장치(100)는 상기 기판(10)에 대해 마크를 형성하는 마킹부(130) 및 상기 기판(10)에 형성된 마크 형성 영역에 대한 이미지를 촬영하는 측정부(140), 그리고 상기 측정부(140)에 의해 촬영된 상기 기판(10)의 마크 형성 영역의 분포 정도에 따라 상기 기판(10)의 건조도를 판단하는 제어부(150)를 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 건조도 측정 장치(100)는 상기 기판(10)의 건조도를 객관적으로 측정하여, 상기 기판(10)의 건조도가 기설정된 건조도를 만족하는지 여부에 따라, 상기 기판(10)의 후속 처리를 제어함으로써, 상기 기판(10)의 건조도 측정 공정을 객관화, 정밀화, 그리고 자동화할 수 있다.

계속해서, 앞서 살펴본 본 발명의 실시예에 따른 건조도 측정 장치의 건조도 측정 과정에 대해 상세히 설명한다. 여기서, 상술한 건조도 측정 장치(100)에 대해 중복되는 내용들은 생략하거나 간소화할 수 있다.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 건조도 측정 방법을 보여주는 순서도이다. 도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 실시예에 따른 건조도 측정 과정을 설명하기 위한 도면들이다. 그리고, 도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 실시예에 따른 건조도 측정 과정에서, 기판의 건조도가 기설정된 건조도를 만족하지 여부의 판단 과정을 설명하기 위한 도면들이다.

도 4 및 도 5a를 참조하면, 건조 공정이 수행된 기판(10)의 건조도에 따라 상긱 기판(10)에 상이한 범위의 마크(mark)를 형성할 수 있다(S110). 예컨대, 상기 기판(10)은 인쇄회로기판(PCB)의 제조를 위한 세라믹 그린 시트와 같은 절연 필름일 수 있으며, 상기 건조 공정은 상기 절연 필름을 건조하여, 상기 절연 필름 내 솔벤트를 90% 이상 제거시키는 공정일 수 있다. 이에 더하여, 상기 기판(10)은 측정하고자 하는 상기 절연 필름의 전체 중 일 부분일 수 있다. 예컨대, 상기 기판(10)은 상기 절연 필름의 일 영역을 절단한 상기 절연 필름의 일 부분일 수 있다. 이와 같이, 상기 절연 필름의 일 부분만을 채취하여, 상기 절연 필름의 전체에 대한 건조도 측정을 하는 경우, 상기 절연 필름의 건조도 측정은 상기 절연 필름의 서로 다른 영역에서 채취한 복수의 상기 기판들(10)의 건조도를 각각 측정하여, 이들 각각의 건조도가 기설정된 건조도를 모두 또는 대부분 만족하는지 여부를 판단하여 이루어질 수 있다. 또는, 상기 절연 필름의 건조도 측정은 상기 채취한 복수의 상기 기판들(10)의 건조도에 대한 평균값이 기설정된 평균값을 만족하는지 여부를 판단하여 이루어질 수도 있다.

상기 기판(10)에 상기 마크를 형성단하는 단계는 구동부(120)의 홀더(124)가 픽업체(122)를 홀딩하는 단계, 상기 지지판(112)이 상기 기판(10)을 지지하도록 상기 구동부(120)가 상기 홀더(122)를 구동시키는 단계, 그리고 상기 지지판(112)에 지지된 상기 기판(10)을 상기 측정부(130)의 측정 돌기들(134) 상에 로딩(loading)시키는 단계를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 지지판(112)이 상기 기판(10)을 지지하는 단계는 소정의 접착 물질을 상기 지지판(112)의 지지면(112a)에 제공하여, 상기 접착 물질에 의해 상기 기판(10)이 상기 지지면(112a)에 부착시켜 이루어질 수 있다. 그 밖에도, 상기 지지판(112)이 상기 기판(10)을 지지하는 방식으로는 물리적인 클램핑 방식으로 상기 기판(10)을 지지하도록 상기 지지판(112)을 구성하거나, 상기 지지판(112)이 상기 기판(10)을 진공압으로 흡착하는 진공 흡착하도록 구성하여 이루어질 수 있다.

상기 기판(10)을 상기 측정 돌기들(134) 상에 로딩시키는 단계는 상기 기판(10)이 플레이트(132) 상에 대향되도록, 상기 구동부(120)가 상기 지지판(112)을 위치시킨 후 상기 홀더(124)가 상기 지지판(112)을 릴리즈시켜 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 측정 돌기들(134) 상에 상기 기판(10)이 놓여지게 되며, 상기 접촉 돌기들(134)은 영역별로 상이한 돌출 정도를 가지므로, 상기 기판(10)의 건조 정도에 따라 상기 접촉 돌기들(134)에 접촉되는 상기 기판(10)의 영역은 달라질 수 있다. 즉, 상기 기판(10)의 건조도가 높을수록, 상기 기판(10)의 휘어짐이 감소하므로, 상기 접촉 돌기들(134)에 접촉되는 상기 기판(10)의 영역은 감소할 수 있다. 이에 반해, 상기 기판(10)의 건조도가 낮을수록, 상기 기판(10)의 휘어지밍 증가하므로, 상기 접촉 돌기들(134)에 접촉되는 상기 기판(10)의 영역은 증가할 수 있다.

한편, 본 실시예에서는 상기 기판(10)이 상기 접촉 돌기들(134) 상에 놓여질 때, 상기 지지판(112)이 상기 기판(10)과 함께 상기 접촉 돌기들(134) 상에 놓여지는 경우를 예로 들어 설명하였다. 상기 기판(10)이 세라믹 그린 시트와 같은 박막 필름 형태를 갖는 경우, 상기 기판(10)만을 상기 접촉 돌기들(134) 상에 안착시킬 때, 상기 기판(10)의 하중이 고르게 분산되기 힘들어, 상기 기판(10)의 전면이 고르게 상기 접촉 돌기들(134)에 놓여지지 않을 수 있다. 이에 따라, 상기 기판(10)이 전체 상기 접촉 돌기들(134)에 대해 효과적으로 놓여질 수 있도록, 상기 기판(10)의 전면에 대해 하중을 가할 수 있는 수단이 필요할 수 있다. 이를 위해, 상기 기판(10)은 상기 지지판(112)에 의해 지지된 상태로 상기 접촉 돌기들(134) 상에 놓여지도록 제공될 수 있다. 이에 따라, 상기 기판(10)의 효과적인 하중 분산을 위해, 상기 지지판(112)의 하중, 플렉시블 정도, 그리고 두께 등이 조절될 수 있다.

도 4 및 도 5b를 참조하면, 기판(10)의 마크 형성면을 촬영할 수 있다(S120). 상기 기판(10)을 촬영하는 단계는 상기 기판(10)의 마크 형성면이 측정부(140)에 의한 촬영 위치에 위치도록 구동부(120)의 홀더(124)가 상기 지지판(122)을 이동시키는 단계 및 상기 측정부(140)가 상기 기판(10)을 촬영하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 기판(10)을 촬영하는 단계는 상기 측정부(140)의 카메라에 의해 이루어질 수 있으며, 촬영된 상기 기판(10)에 대한 영상 데이터는 제어부(150)로 전송될 수 있다.

그리고, 기판(10)의 건조도가 기설정된 건조도를 만족하는지 여부를 판단할 수 있다(S130). 예컨대, 상기 제어부(150)는 상기 영상 데이터를 분석하여, 상기 기판(10)의 마크 형성 영역이 기설정된 기준 영역(a)에 대응되는지 여부를 판단할 수 있다. 일 예로서, 도 6a에 도시된 바와 같이, 상기 기판(10)의 마크 형성 영역이 상기 기준 영역(a)을 포함되도록 형성된 경우, 상기 제어부(150)는 상기 기판(10)의 건조도가 기설정된 건조도를 만족하는 것으로 판단할 수 있다. 이 경우, 상기 제어부(150)는 상기 기판(10)을 후속 공정이 수행되는 장소로 이송시킬 수 있다(S140).

반면, 도 6b에 도시된 바와 같이, 상기 마크 형성 영역이 상기 기준 영역(a)을 초과하여, 상기 기판(10)의 중앙 영역까지 형성된 경우, 상기 제어부(150)는 상기 기판(10)의 건조도가 기설정된 건조도에 비해 낮은 것으로 판단할 수 있다. 즉, 상기 제어부(150)는 상기 기판(10)의 건조 공정이 충분하게 이루어지지 않은 것으로 판단할 수 있다. 또한, 도 6c에 도시된 바와 같이, 상기 마크 형성 영역이 상기 기준 영역(a)에 형성되지 않은 경우, 상기 제어부(150)는 상기 기판(10)의 건저도가 기설정된 건조도에 비해 높은 것으로 판단할 수 있다. 즉, 상기 제어부(150)는 상기 기판(10)의 건조 공정이 과도하게 이루어진 것으로 판단할 수 있다. 상기와 같인 상기 기판(10)의 건조도가 기설정된 건조도를 만족하지 못하는 경우, 상기 제어부(150)는 상기 기판(10)을 회수시킬 수 있다(S150).

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 건조도 측정 방법은 상기 기판(10)에 대해 건조 공정을 수행한 이후에, 상기 기판(10)의 건조 정도에 따라, 상기 기판(10)의 마크(10a)의 형성 영역이 달라지도록 하여, 상기 기판(10)의 건조도를 측정할 수 있다. 이에 따라, 상기 건조도 측정 방법은 상기 기판(10)의 건조도를 객관적으로 측정하여, 상기 기판(10)의 건조도가 기설정된 건조도를 만족하는지 여부에 따라, 상기 기판(10)의 후속 공정을 제어함으로써, 상기 기판(10)의 건조도 측정 공정을 객관화, 정밀화, 그리고 자동화할 수 있다.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예들은 본 발명을 실시하는데 있어 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 단계으로 해석되어야 한다.

10 : 절연 기판
100 : 건조도 측정 장치
110 : 기판 지지부
112 : 지지판
120 : 구동부
122 : 픽업체
124 : 홀더
130 : 마킹부
132 : 플레이트
134 : 접촉 돌기들
140 : 측정부
150 : 제어부

Claims

기판을 지지하는 지지판;
상기 지지판을 이동시키는 구동부; 및
상기 기판의 건조도에 따라 상기 기판의 상이한 범위로 마크를 형성하는 마킹부를 포함하되,
상기 마킹부는:
상기 기판에 대향되는 플레이트; 및
상기 플레이트로부터 서로 상이한 높이로 돌출된 높이를 가지며, 상기 기판과의 접촉시 상기 기판에 마크를 형성하는 접촉면을 갖는 접촉 돌기들을 포함하는 건조도 측정 장치.
삭제
제 1 항에 있어서,
상기 접촉면에는 상기 기판에 마크를 형성하기 위한 마크 형성 물질이 도포된 건조도 측정 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 기판의 마크 형성 영역을 측정하는 측정부를 더 포함하되,
상기 측정부는 상기 기판을 촬영하는 카메라를 포함하는 건조도 측정 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 마크 형성 영역이 기설정된 기준 영역을 만족하는지 여부를 판단하는 제어부를 더 포함하는 건조도 측정 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 기판은 인쇄회로기판의 제조를 위한 세라믹 그린 시트를 포함하는 건조도 측정 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 구동부는:
상기 지지판에 결합된 픽업체; 및
상기 픽업체를 홀딩 및 릴리즈하는 홀더를 포함하는 건조도 측정 장치.
제 7 항에 있어서,
상기 픽업체는 적어도 하나의 자석을 포함하고,
상기 홀더는 상기 자석에 대응되는 전자석을 포함하는 건조도 측정 장치.
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 측정돌기들은 상기 플레이트의 중앙으로 갈수록 높이가 낮아지도록 배치되는 건조도 측정 장치.
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 측정돌기들은 상기 플레이트의 가장자리로 갈수록 높이가 낮아지도록 배치되는 건조도 측정 장치.
서로 상이한 높이를 갖는 접촉 돌기들을 갖는 마킹부를 준비하는 단계;
기판을 접촉 돌기들 상에 로딩(loading)시켜, 상기 기판에 마크(mark)를 형성시키는 단계; 및
상기 마크의 형성 영역이 기설정된 기준 영역을 만족하는지 여부를 판단하는 단계를 포함하는 건조도 측정 방법.
제 11 항에 있어서,
상기 마크의 형성 영역이 기설정된 기준 영역을 만족하는지 여부를 판단하는 단계는 상기 기판을 카메라로 촬영하는 단계를 포함하는 건조도 측정 방법.
제 11 항에 있어서,
상기 기판에 마크를 형성하는 단계는 상기 기판을 상기 접촉 돌기들 상에 로딩시키기 이전에, 상기 접촉 돌기들의 상기 기판과의 접촉면에 마크 형성 물질을 도포하는 단계를 더 포함하는 건조도 측정 방법.
제 11 항에 있어서,
상기 기판에 대향되는 홀딩면을 갖는 지지판을 이용하여, 상기 기판을 상기 홀딩면에 지지시켜, 상기 기판을 이동시키는 단계를 더 포함하되,
상기 기판에 마크를 형성시키는 단계는 상기 지지판이 상기 기판을 지지한 상태에서, 상기 지지판과 함께 상기 기판을 상기 접촉 돌기들 상에 안착시켜 이루어지는 건조도 측정 방법.
기판에 상기 기판의 건조도에 따라 상기 기판의 휘어짐 정도가 달라지는 것을 이용하여, 상기 기판이 서로 상이한 높이들을 갖는 접촉 돌기들 상에 안착시킴으로써, 상기 접촉 돌기들과 접촉된 상기 기판의 접촉 부분의 범위에 따라, 상기 기판의 건조도를 측정하는 건조도 측정 방법.
제 15 항에 있어서,
상기 기판의 건조도가 커질수록 상기 접촉 부분의 범위는 작아지고,
상기 기판의 건조도가 작을수록 상기 접촉의 범위는 커지도록 하여, 상기 기판의 건조도를 측정하는 건조도 측정 방법.
제 15 항에 있어서,
상기 기판의 접촉 부분의 분포에 따라 상기 기판의 건조도를 측정하는 것은 상기 기판을 촬영하여 상기 접촉 부분의 영역이 기설정된 기준 영역에 포함되는지 여부를 판단하여 이루어지는 건조도 측정 방법.