KR101097501B1 - 웨이퍼용 평면연삭장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 외주면에 수직되게 복수의 연삭휠이 이격된 상태로 고정된 아버, 아버의 단부가 회전가능하게 고정 설치되는 아버베이스, 아버와 연결 설치되어, 아버를 회전시키는 아버회전모터, 아버베이스의 하부에 설치하며, 상면부에는 회전가능하게 구비된 상태로 연삭대상물이 연삭휠에 대해 수직되게 고정시키는 테이블이 마련된 작업대, 테이블과 연결 설치되어, 테이블을 회전시키는 테이블회전모터, 아버베이스 및 테이블에 각각 연결 설치되어, 아버베이스 및 작업대를 상호 수직되는 횡방향으로 이동시키면서, 연삭휠이 테이블 상의 연삭대상물과 수직상태로 선접촉하면서 원주방향으로 연삭되게 하는 횡축이동부를 포함하는 웨이퍼용 평면연삭장치를 제공한다.

이와 같은 웨이퍼용 평면연삭장치는, 연삭휠과 작업대 상에 고정 설치되는 연삭대상물이 상호 수직상태로 배치된 상태에서, 아버베이스 및 작업대가 횡축이동부에 의해 상호 수직되는 횡방향으로 이동하며 연삭작업이 이루어지게 된다. 따라서, 연삭휠이 연삭대상물과 선접촉하며 원주방향으로 연삭가공이 이루어지는 바, 가공부하가 적어지면서 가공속도는 빨라지게 된다.

Description

웨이퍼용 평면연삭장치{Circular feed grinder}

본 발명은 웨이퍼용 평면연삭장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체용 웨이퍼의 표면을 연삭하는 웨이퍼용 평면연삭장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 웨이퍼의 제조공정용 장비에는, 컵형의 연삭휠을 사용하여 웨이퍼을 원하는 두께로 연삭하기 위한 연삭공정을 수행하기 위한 장비가 구비된다. 도 1을 참조하면, 상기 연삭장비에는, 상면에 컵형의 연삭휠(11)을 구비한 휠 스핀들(10), 상기 연삭휠(11) 하부에 배치된 상태로 워크테이블(20) 위에 웨이퍼(1)가 장착되어, 상기 연삭휠(11)과 상기 웨이퍼(1)의 상호 접촉에 의해 상기 웨이퍼(1)의 두께 연삭가공이 이루어진다.

그러나, 종래의 웨이퍼 평면연삭장비는 상기 컵형의 연삭휠(11)과 상기 웨이퍼(1)가 면접촉 되면서 연삭가공이 이루어지게 된다. 이러한 방식은 반도체 재료로 가장 많이 사용되는 Si 웨이퍼의 경우는 연삭성이 좋아 높은 효율의 가공성을 얻을 수 있으나, LED의 재료로 사용되는 사파이어나 실리콘카바이드(SiC) 등의 난삭재로 형성된 웨이퍼의 가공시, 가공부하가 많이 걸리면서 연삭성이 좋지 않게 되며, 생산성이 저하되는 문제점이 있다.

본 발명은, 난삭재로 이루어진 웨이퍼의 표면가공시, 가공부하가 적게 걸리면서 가공성이 좋아져 생산성이 높아지는 웨이퍼용 평면연삭장치를 제공하는데 목적이 있다.

본 발명은, 외주면에 수직되게 복수의 연삭휠이 이격된 상태로 고정된 아버와, 상기 아버의 단부가 회전가능하게 고정 설치되는 아버베이스와, 상기 아버와 연결 설치되어, 상기 아버를 회전시키는 아버회전모터와, 상기 아버베이스의 하부에 설치하며, 상면부에는 회전가능하게 구비된 상태로 연삭대상물이 상기 연삭휠에 대해 수직되게 고정시키는 테이블이 마련된 작업대와, 상기 테이블과 연결 설치되어, 상기 테이블을 회전시키는 테이블회전모터 및, 상기 아버베이스 및 상기 테이블에 각각 연결 설치되어, 상기 아버베이스 및 상기 작업대를 상호 수직되는 횡방향으로 이동시키면서, 상기 연삭휠이 상기 테이블 상의 상기 연삭대상물과 수직상태로 선접촉하면서 원주방향으로 연삭되게 하는 횡축이동부를 포함하는 웨이퍼용 평면연삭장치를 제공한다.

또한, 상기 연삭휠은 상호 인접되게 배치되는 제1차휠 및 제2차휠을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제1차휠 및 상기 제2차휠의 표면은 서로 다른 크기의 입자가 형성되어, 상기 제1차휠은 상기 연삭대상물을 황삭시키며, 상기 제2차휠은 상기 연삭대상물을 정삭할 수 있다.

또한, 상기 횡축이동부는, 상기 아버베이스의 측부가 Y축 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되는 Y축지지대와, 상기 Y축지지대에 설치되며, 로드 단부가 상기 아버베이스에 연결되어 상기 Y축지지대를 Y축방향으로 슬라이딩 이동되게 하는 Y축방향이동수단과, 상기 작업대의 하부가 X방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되는 X축지지대와, 상기 X축지지대에 설치되며, 로드 단부가 상기 작업대에 연결되어 상기 작업대를 X축방향으로 슬라이딩 이동되게 하는 X축방향이동수단을 포함할 수 있다.

또한, 상기 X축지지대의 하부에 연결 설치되어, 상기 테이블을 종방향으로 이동시키면서, 상기 연삭휠에 의한 상기 연삭대상물의 연삭깊이를 조절하는 종축이동부를 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 종축이동부는, 상부에 상기 횡축이동부의 X축지지대가 거치되는 Z축지지대와, 상기 Z축지지대에 수직상태로 설치되며, 로드 단부가 상기 X축지지대에 연결되어 상기 X축지지대를 Z축 방향으로 승강시키는 Z축방향이동수단을 포함할 수 있다.

또한, 상기 아버베이스의 일측에 설치되며, 각각의 상기 테이블에 고정된 상기 연삭대상물 상면부에 연마액을 분사하는 복수의 연삭액분사노즐을 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 웨이퍼용 평면연삭장치는, 연삭휠과 작업대 상에 고정 설치되는 연삭대상물이 상호 수직상태로 배치된 상태에서, 아버베이스 및 작업대가 횡 축이동부에 의해 상호 수직되는 횡방향으로 이동하며 연삭작업이 이루어지게 된다. 따라서, 연삭휠이 연삭대상물과 선접촉하며 원주방향으로 연삭가공이 이루어지는 바, 가공부하가 적어지면서 가공속도는 빨라지게 된다.

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼용 평면연삭장치의 전체 정단면도이며, 도 3은 도 2의 측단면도이다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 웨이퍼용 평면연삭장치는, 아버(100), 아버베이스(200), 아버회전모터(300), 작업대(400), 테이블회전모터(500), 횡축이동부(600)를 구비한다.

상기 아버(100)는 외주면에 복수의 연삭휠(110)이 상호 이격된 상태로 고정된다. 여기서, 각각의 상기 연삭휠(110)은 상기 아버(100)의 길이방향에 대해 수직되게 배치된다. 이러한, 상기 아버(100)의 각 단부는 이후 설명될 상기 아버베이스(200)에 회전가능하게 구비되는 축 부재(210)(220)에 결합되어, 상기 아버베이스(200) 상에 회전가능 고정 설치된다. 여기서, 일실시예에서는 하나의 상기 아버(100) 양 단부를 각각 상기 축 부재(210)(220)에 결합함으로써 상기 아버베이스(200)에 고정 설치한 것으로 도시하였으나, 이에 한정하지 않고 도 4와 같이 한 쌍의 상기 아버(101)(102) 일 단부를 각각의 상기 축 부재(210)(220)에 개별적으로 결합하여, 상기 아버베이스(200)에 회전 가능하게 고정 설치할 수도 있다. 이렇게, 상기 아버(101)(102)가 독립적으로 상기 아버베이스(200)에 회전가능하게 설치될 경우에는 이후 설명될 상기 아버회전모터(300)도 각각의 상기 축 부재(210)(210)를 회전시키면서, 상기 아버(101)(102)에 회전력을 전달할 수 있도록 별도로 설치된다.

도 4 및 5를 참조하면, 상기 연삭휠(110)은 제1차휠(111), 제2차휠(112)을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제1차휠(111)과 상기 제2차휠(112)은 상호 인접되게 설치된다. 이러한, 상기 제1차휠(111)은 연삭대상물(도면미도시)을 황삭시키며, 상기 제2차휠(112)은 상기 연삭대상물을 정삭시키게 된다. 이같이, 상기 연삭휠(110)은 상호 인접되게 배치되는 상기 제1차휠(111) 및 상기 제2차휠(112)을 구비하여, 한 공정을 통해 황삭과 연삭이 동시에 이루어짐으로써, 가공이 빨라져 생산성이 높아지게 된다.

상기 아버베이스(200)는 상기 아버(100)의 단부를 회전 가능한 상태로 고정 설치되게 한다. 여기서, 상기 아버베이스(200)의 일 측부에는 이후 설명될 각각의 상기 작업대(400) 상으로 연마액을 분사시킬 수 있도록 연삭액분사노즐(도면미도시)을 구비할 수도 있다. 이러한, 상기 연삭액분사노즐을 통해 분사되는 상기 연마액은 상기 연삭휠(110)과 상기 작업대(400)에 고정 거치되는 상기 연삭대상물의 접촉에 의한 연삭이 용이하게 이루어지게 함과 더불어 상기 연삭휠(110)과 상기 연삭대상물의 마찰에 따른 가공열을 낮아지게 한다.

그리고, 상기 아버베이스(200)는 앞서 설명한 바와 같이, 축 회전되게 설치되는 축 부재(210)(220)를 구비한다. 이러한, 상기 축 부재(210)(220)는 이후 설명될 상기 아버회전모터(300)로부터 회전력을 전달받아 상기 아버(100)(101)(102)를 회전시키게 한다. 따라서, 상기 축 부재(210)(220)는 상기 아버회전모터(300)와 연결 설치된다. 여기서, 상기 아버베이스(200)에는 상기 축 부재010)를 회전 가능하게 지지하도록 베어링(도면미도시)을 구비할 수도 있다.

상기 아버회전모터(300)는 외부에서 전원을 공급받아 회전력을 발생시킨 후, 회전축(도면미도시)이 상기 축 부재(210)와 연결되어, 상기 축 부재(210)(220)를 통해 회전력이 상기 아버(100)로 전달되면서 상기 아버(100)를 회전되게 한다. 이러한, 상기 아버회전모터(300)는 회전력을 전달하기 위한 공지의 구조에 의해 상기 축 부재(210)(220)의 단부에 연결 설치되는데, 상기 회전축이 상기 축 부재(210)(220)의 일 단부에 연직되게 바로 결합 연결되거나, 기어나 벨트에 의해 연결 설치될 수 있다.

상기 작업대(400)는 상면부에 상기 연삭대상물을 고정시킨다. 이러한, 상기 작업대(400)는 상기 아버(100)에 구비된 각각의 상기 연삭휠(110)에 의한 연삭이 가능하도록 상기 아버베이스(200) 하부에 복수 설치된다.

그리고, 각각의 상기 작업대(400)의 상면부에는 회전 가능하게 테이블(410)이 구비된다. 이때, 상기 테이블(410)은 상기 연삭휠(110)에 대해 수직상태로 상기 작업대(400)에 설치된다. 이러한, 상기 테이블(410) 상에 상기 연삭대상물을 고정 설치함으로써, 상기 연삭휠(110)과 상기 연삭대상물이 상호 수직상태를 유지할 수 있게 된다.

도 6을 참조하면, 상기 작업대(400) 상에는 복수의 테이블(411)(412)(413)(414)을 구비할 수 있다. 이렇게, 하나의 상기 작업대(400)에 복 수의 테이블(411)(412)(413)(414)을 구비할 경우, 하나의 상기 작업대(400) 상에서 상기 연삭휠(110)이 움직이면서 연삭 가공작업을 수행할 수 있게 된다. 따라서, 상기 연삭휠(110)은 한 쌍의 상기 테이블(411)(412)상에 위치하는 상기 연삭대상물을 가공한 후, 가공되지 않은 상기 테이블(413)(414) 상으로 이동하여 상기 테이블(413)(414)상의 상기 연삭대상물을 가공하는 방법으로 번갈아가며 가공작업이 이루어질 수 있어 가공속도를 빨리할 수 있게 된다.

상기 테이블회전모터(500)는 외부에서 전원이 공급되면 작동하면서 발생되는 회전력을 상기 테이블(410)로 전달하여 상기 테이블(410)이 회전되게 한다. 이러한, 상기 테이블회전모터(500)는 회전력을 전달하기 위한 공지의 구조에 의해 상기 테이블(410)의 하 단부에 연결 설치된다. 즉, 상기 테이블회전모터(500)의 회전축(도면미도시)이 상기 테이블(410)의 하 단부에 바로 연직되게 연결되거나, 기어나 벨트에 의해 상기 테이블(410)과 연결 설치될 수 있음은 물론이다.

상기 횡축이동부(600)는 상기 아버베이스(200) 및 상기 작업대(400)를 각각 횡방향 즉, 상기 아버베이스(200)는 Y축방향, 상기 작업대(400)는 X축방향으로 이동시키면서, 상기 연삭휠(110)이 각각의 상기 테이블(410) 상에 고정된 상기 연삭대상물와 접촉되게 하여, 상기 연삭대상물의 상면부를 연삭되게 한다. 이때, 상기 횡축이동부(600)에 의한 상기 아버베이스(200) 및 상기 작업대(400)의 상호 수직되는 횡방향 이동에 따라, 상기 연삭휠(110)은 상기 연삭대상물과 선접촉하면서 원주방향으로 연삭가공이 이루어지게 된다. 이같이, 상기 횡축이동부(600)에 의해 상기 아버베이스(200) 및 상기 작업대(400)가 상호 수직되는 횡방향으로 이동시, 상기 연삭대상물은 상기 연삭휠(110)과 선접촉에 의한 연삭가공이 이루어지는데, 선접촉에 의한 가공부하가 적어져 상기 연삭휠(110)의 수명이 늘어나게 됨과 동시에 가공속도가 빨라져 생산성이 증대된다.

이러한, 상기 횡축이동부(600)는 Y축지지대(610), Y축방향이동수단(620), 지지베이스(630), X축지지대(640), X축방향이동수단(650)을 포함한다. 상기 Y축지지대(610)는 상기 아버베이스(200)를 지지한다. 이러한, 상기 Y축지지대(610)의 일측에 상기 아버베이스(200)의 측면이 Y축방향으로 슬라이딩 가능하게 연결 설치된다. 상기 Y축방향이동수단(620)은 상기 아버베이스(200)를 Y축방향으로 슬라이딩 이동되게 구동력을 발생시킨다. 이러한, 상기 Y축방향이동수단(620)은 실린더나 리니어모터를 사용할 수 있다. 이때, 상기 Y축방향이동수단(620)으로 유압 또는 공압에 의해 작동되는 실린더를 사용할 경우, 상기 실린더는 상기 Y축지지대(640)의 일측부에 수평상태로 고정 설치된다. 그리고, 상기 실린더의 로드 단부는 상기 아버베이스(200)에 연결된다. 따라서, 상기 실린더의 작동에 따라 로드가 이동하면서, 상기 아버베이스(200)를 횡방향, 즉 그 중에서 Y축방향으로 슬라이딩 이동되게 한다.

상기 지지베이스(630)는 상기 작업대(400)를 지지한다. 이러한, 상기 지지베이스(630)의 하 단부는 상기 X축지지대(640)의 상부에 X축 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치된다.

상기 X축지지대(640)는 상기 지지베이스(630)를 지지한다. 이러한, 상기 X축지지대(640)의 상부에 상기 지지베이스(630)의 하단부가 X축 방향으로 슬라이딩 가능하게 연결 설치된다.

상기 X축방향이동수단(650)은 상기 작업대(400)가 X축방향으로 슬라이딩 이동되게 구동력을 발생시킨다. 즉, 상기 X축방향이동수단(650)은 상기 X축지지대(640)에 설치된 상태로 상기 지지베이스(630)에 연결되어, 상기 X축지지대(640)를 X축 방향으로 슬라이딩 이동되게 한다. 여기서, 상기 X축방향이동수단(650)은 실린더나 리니어모터를 사용할 수 있다. 이때, 상기 X축방향이동수단(650)으로 유압 또는 공압에 의해 작동되는 실린더를 사용할 경우, 상기 실린더는 상기 X축지지대(640)의 일측부에 수평상태로 고정 설치된다. 그리고, 상기 실린더의 로드 단부는 상기 지지베이스(630)에 연결된다. 따라서, 상기 실린더의 작동에 따라 로드가 이동하면서, 상기 지지베이스(630) 및 상기 작업대(400)를 횡방향, 즉 그 중에서 X축방향으로 슬라이딩 이동되게 한다.

이러한, 일실시예의 상기 웨이퍼용 평면연삭장치에는 상기 작업대(400) 내부에 설치된 상태에서 상기 작업대(400)를 종방향으로 이동시키면서, 상기 연삭휠(110)이 각각의 상기 테이블(410) 상에 고정된 상기 연삭대상물의 연삭 가공깊이를 조절할 수 있게 하는 종축이동부(700)를 구비할 수 있다. 즉, 상기 종축이동부(700)에 의해 상기 테이블(410)의 Z축방향 위치가 조절되면서, 상기 테이블(410) 상에 고정된 상기 연삭대상물과 상기 연삭휠(110)의 교차되는 깊이를 제어하여 상기 연삭대상물의 연삭 가공깊이를 조절하게 된다.

상기 종축이동부(700)는 Z축지지대(710), Z축방향이동수단(720)을 포함한다. 상기 Z축지지대(710)는 상기 작업대(400) 내부에 설치된다. 이러한, 상기 Z축지지대(710)는 고정베이스(711)와 상기 고정베이스(711) 상부에 상하방향에 대해 대각 되게 슬라이딩 설치되는 승강베이스(712)를 포함한다. 여기서, 상기 고정베이스(711)의 하단부는 상기 지지베이스(630) 상에 결합된다. 그리고, 상기 승강베이스(712)의 상단부는 상기 작업대(400)에 결합 설치된다. 그리고, 상기 Z축방향이동수단(720)은 상기 Z축지지대(710)를 종방향, 즉 Z축방향으로 승강되도록 구동력을 발생시킨다. 즉, 상기 Z축방향이동수단(720)은 상기 승강베이스(712)를 상기 고정베이스(711) 상에서 슬라이딩 이동시키면서 상부에 거치된 상기 작업대(400)의 Z축방향에 대한 위치를 조절할 수 있게 된다. 이러한, 상기 Z축방향이동수단(720)은 실린더나 서보모터를 사용할 수 있다. 여기서, 상기 Z축방향이동수단(720)을 모터를 사용할 경우, 상기 모터의 회전에 의해 스크류기어가 회전하면서 상기 승강베이스(712)를 전후방향으로 이동시키며, 상기 고정베이스(711)의 경사면을 따라 승강이동하게 된다. 이때, 상기 Z축방향이동수단(720)으로 유압 또는 공압에 의해 작동되는 실린더를 사용할 경우, 상기 Z축방향이동수단(720)은 상기 지지베이스(630)의 일측부에 수직상태로 고정 설치된다. 그리고, 상기 Z축방향이동수단(720)의 로드 단부는 상기 승강베이스(712)의 일측부에 연결 결합된다. 따라서, 상기 Z축방향이동수단(720)의 작동에 따라 로드가 이동하면서, 상기 승강베이스(712)가 상기 고정베이스(711) 상에서 이동하며, 상기 작업대(400)를 Z축 방향으로 승강되게 하여, 결과적으로 상기 테이블(410) 상의 상기 연삭대상물이 종방향, 즉 Z축방향에 대해 승강하게 된다.

이와 같이 구성되는 일실시예에 따른 상기 웨이퍼용 평면연삭장치의 작동을 도 2 내지 도 6을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 각각의 상기 작업대(400)에 구비된 상기 테이블(410) 상으로 연삭가공할 상기 연삭대상물을 고정 설치한다. 이렇게, 상기 테이블(410) 상에 상기 연삭대상물을 고정한 후에는, 상기 아버회전모터(300) 및 상기 테이블회전모터(500)에 전원을 공급하여 작동시킨다. 그러면, 상기 하버(100) 및 상기 테이블(410)이 회전하게 된다.

이후, 상기 횡축이동부(600)의 상기 Y축방향이동수단(620) 및 상기 X축방향이동수단(650)를 작동시켜, 상기 Y축지지대(610) 상에 위치하는 상기 아버베이스(200)를 Y축방향으로 슬라이딩 이동되게 함과 동시에, 상기 X축지지대(640)상에 위치하는 상기 작업대(400)를 즉 X축방향으로 슬라이딩 이동되게 한다. 그러면, 상기 연삭휠(110)이 상기 테이블(410) 상에 고정된 상기 연삭대상물과 선접촉하면서 원주방향으로 연삭가공하게 된다. 이때, 도 3 및 도 4와 같이, 상기 연삭휠(110)이 상기 제1차휠(111) 및 상기 제2차휠(112)로 설치될 경우에는, 한번의 공정을 통해 상기 연삭대상물에 대한 황삭 및 정삭이 동시에 이루어지면서 가공시간이 단축된다.

더불어, 상기 연삭대상물의 연삭깊이 조절이 필요할 경우에는, 상기 종축이동부(700)의 Z축방향이동수단(720)를 작동시켜 상기 작업대(400)를 종방향, 즉 Z축 방향으로 이동시킨 후, 다시 상기 X축방향이동수단(650)를 작동시키면 상기 연삭대상물의 연삭 가공깊이를 달리하여 가공할 수 있게 된다.

이와 같이, 일실시예의 상기 웨이퍼용 평면연삭장치는, 상기 연삭휠(110)과 상기 작업대(400) 상에 고정 설치되는 상기 연삭대상물이 상호 수직상태로 배치된 상태에서, 상기 아버베이스(200) 및 상기 작업대(400)가 상기 횡축이동부(600)에 의해 상호 수직되는 횡방향으로 이동하며 연삭 작업이 이루어지게 된다. 따라서, 상기 연삭휠(110)이 상기 연삭대상물과 선접촉하며 원주방향으로 연삭되면서 가공부하가 적게되며 가공속도는 빨라지게 된다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

도 1은 종래의 웨이퍼용 연삭장치의 개략 작동상태도이다.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼용 평면연삭장치의 전체 단면도이다.

도 3은 도 2의 측단면도이다.

도 4 및 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼용 평면연삭장치의 전체 단면도이다.

도 6은 도 2에 나타낸 테이블의 평면도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 간단한 설명>

100, 101, 102: 아버 110: 연삭휠

111: 제1차휠 112: 제2차휠

200: 아버베이스 300: 아버회전모터

400: 작업대 410: 테이블

500: 테이블회전모터 600: 횡축이동부

700: 종축이동부

Claims (6)

1. 외주면에 수직되게 복수의 연삭휠이 이격된 상태로 고정된 아버와;

   상기 아버의 단부가 회전가능하게 고정 설치되는 아버베이스와;

   상기 아버와 연결 설치되어, 상기 아버를 회전시키는 아버회전모터와;

   상기 아버베이스의 하부에 설치하며, 상면부에는 회전가능하게 구비된 상태로 연삭대상물이 상기 연삭휠에 대해 수직되게 고정시키는 테이블이 마련된 작업대와;

   상기 테이블과 연결 설치되어, 상기 테이블을 회전시키는 테이블회전모터와;

   상기 아버베이스 및 상기 테이블에 각각 연결 설치되어, 상기 아버베이스 및 상기 작업대를 상호 수직되는 횡방향으로 이동시키면서, 상기 연삭휠이 상기 테이블 상의 상기 연삭대상물과 수직상태로 선접촉하면서 원주방향으로 연삭되게 하는 횡축이동부; 및,

   상기 작업대의 내부에 설치되어, 상기 작업대를 종방향으로 이동시키면서, 상기 연삭휠에 의한 상기 연삭대상물의 연삭깊이를 조절하는 종축이동부를 포함하는 웨이퍼용 평면연삭장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 연삭휠은 상호 인접되게 배치되는 제1차휠 및 제2차휠을 포함하는 웨이퍼용 평면연삭장치.
3. 청구항 2에 있어서,

   상기 제1차휠 및 상기 제2차휠의 표면은 서로 다른 크기의 입자가 형성되어, 상기 제1차휠은 상기 연삭대상물을 황삭시키며, 상기 제2차휠은 상기 연삭대상물을 정삭시키는 웨이퍼용 평면연삭장치.
4. 청구항 1에 있어서,

   상기 횡축이동부는,

   상기 아버베이스의 측부가 Y축 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되는 Y축지지대와,

   상기 아버베이스에 연결되어 상기 Y축지지대를 Y축방향으로 슬라이딩 이동되게 하는 Y축방향이동수단과,

   상기 작업대가 거치되는 지지베이스와,

   상기 지지베이스가 X축 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되는 X축지지대와,

   상기 X축지지대에 설치된 상태로 상기 지지베이스와 연결되어, 상기 X축지지대를 X축 방향으로 슬라이딩 이동되게 하는 X축방향이동수단을 포함하는 웨이퍼용 평면연삭장치.
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6. 청구항 1에 있어서,

   상기 종축이동부는,

   고정베이스와, 상단부가 상기 작업대에 고정 결합된 상태로 상기 고정베이스 상부에 상하방향에 대해 대각되게 슬라이딩 설치되는 승강베이스를 구비하는 Z축지지대와,

   상기 Z축지지대의 승강베이스에 연결되어, 상기 승강베이스를 상기 고정베이스 상에서 이동시키면서, 상기 작업대가 Z축 방향으로 승강되게 하는 Z축방향이동수단을 포함하는 웨이퍼용 평면연삭장치.

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