KR101097387B1 - 반도체 표면처리용 자외선 조사장치 - Google Patents

반도체 표면처리용 자외선 조사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반사률을 증대시킬 수 있고, 시간 경과에 따른 광감소가 발생되지 않도록 함과 아울러 자외선의 집광력을 증대시킬 수 있도록 한 반도체 표면처리용 자외선 조사장치에 관한 것으로, 이러한 자외선 조사장치는 반도체의 제조장치에 고정되되, 양단 및 저면은 개구되어 구비되는 하우징과, 상기 하우징의 양내측면에 단일체로 고정 설치가능하도록 양단은 막음판에 고정되는 것에 의해 일단은 이격 공간부가 형성되고, 배면은 열방출이 신속하게 이루어질 수 있도록 곡면 형상의 단면으로 구비되는 방열부재와, 상기 방열부재의 양단을 막음하기 위해 구비된 막음판에 고정되는 램프홀더에 전원이 인가되는 것에 의해 반도체 표면에 자외선을 조사하기 위해 점등가능하게 구비되는 자외선램프와, 상기 방열부재의 전면에 각각 대응되는 단면 형상의 곡면으로 형성되고, 일면에는 상기 자외선램프로부터 발광되는 빛을 난반사됨 없이 반사가능하도록 코팅처리되어 장,탈착가능하게 구비되는 반사판과, 상기 방열부재에 일단이 삽입 걸림되게 구비되는 반사판의 타단을 각각 방열부재에 고정시키도록 상기 방열부재에 고정가능하게 구비되는 고정브라켓을 포함하여 이루어진다.
반도체, 표면처리, 자외선, 반사

Description

반도체 표면처리용 자외선 조사장치{Semiconductor surface preparation ultraviolet investigation system}
본 발명은 반도체 표면처리용 자외선 조사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 자외선을 반사가능하도록 일면에 코팅처리된 곡면 형상의 반사판을 한 쌍으로 구비하고, 자외선 램프를 반사판의 내측 사이에 점등가능하게 구성함으로써, 반사률을 증대시킬 수 있고, 시간 경과에 따른 광감소가 발생되지 않도록 함과 아울러 자외선의 집광력을 증대시킬 수 있도록 한 반도체 표면처리용 자외선 조사장치에 관한 것이다.
주지하는 바와 같이 반도체 제조용 설비는 산화, 확산, 식각, 사진, 이온주입 및 증착공정과 같은 공정에 따라 다양한 종류가 이용되고 있다.
이러한 다양한 중류의 반도체 제조 설비에는 반도체 제조공정 중의 하나로 반도체의 표면을 경화시키면서 매끄럽게 처리하기 위해 자외선 조사장치가 구비된다.
첨부된 도면 도 1 내지 도 3은 종래의 일반적인 반도체 표면처리용 자외선 조사장치를 도시한 도면이다.
도시된 바와 같이 종래의 일반적인 반도체 표면처리용 자외선 조사장치(10)는, 외주면에 나사부가 형성된 체결용바(11)가 소정 거리 이격되어 한 쌍으로 구비되는 것에 의해 반도체 제조장치(미도시함)에 고정가능하게 구비됨과 아울러 저면과 양측면이 개구된 하우징(12)과, 상기 하우징(12)에 내설되어 스크류(도면부호 생략)를 매개로 고정되되, 내측면은 발광되는 빛을 난반사시키도록 다각도록 굴절된 반사면(13)을 형성하여 구비되는 반사갓(14)과, 상기 반사갓(14)의 양측단에 스크류(도면부호 생략)를 매개로 고정되는 램프홀터(15)를 통하여 설치되어 전원 인가에 대응되게 점등됨에 따른 반사갓(14)의 반사면(13)을 통하여 빛이 난반사되는 것에 의해 반도체 표면에 자외선을 조사가능하도록 구비되는 자외선 램프(16)를 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기한 반사갓(14)은 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 알루미늄을 압출방식으로 성형하여 제조되며, 상기 하우징(12)에 고정 설치되는 것에 의해 자외선 램프(16)로부터 발광되는 자외선 빛을 난반사시키도록 다각도록 굴절되어 곡면으로 구비된다.
그러나, 이와 같이 이루어진 종래의 일반적인 반도체 표면처리용 자외선 조사장치는, 자외선 램프로부터 발광되는 빛을 반사시키기 위한 반사률이 떨어지는 문제점이 있었다.
즉, 상기한 종래의 자외선 조사 장치는, 도 2에 도시된 바와 같이 자외선 램 프가 반사갓의 전면에 이격되어 점등가능하게 구비되므로, 점등시 발광되는 빛은 자외선 램프에 의해 간섭되면서 난반사되므로 반사률이 떨어짐과 아울러, 난반사되는 빛들간에서도 간섭이 발생되므로 인해 반사률이 떨어지는 문제점이 있었다.
또한, 종래의 일반적인 반도체 표면처리용 자외선 조사장치는, 시간 경과에 따른 광감소가 증가하게 되는 문제점이 있었다.
즉, 상기한 반사갓은 알루미늄을 압출방식으로 제조하게 되므로 그 표면이 매끄럽지 못하여 이물질이 쉽게 적층되므로 시간 경과에 따른 자외선 램프의 빛이 감소 즉, 광감소가 증가되는 문제점이 있었다.
그리고, 종래의 반사갓은 자외선 램프로부터 발광되는 빛을 반도체 표면에 집광시기 위한 집광력이 떨어지는 단점이 있었다.
즉, 도 3에 도시된 바와 같이 종래의 반사갓은, 지외선 램프와 선단부가 거의 동일하게 형성되므로 자외선 램프로부터 발산되는 일부의 빛이 반사판을 벗어나게 되므로 집광력이 떨어질 수 밖에 없는 문제점이 있었다,
이에, 본 발명은 상술한 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로서, 일면에는 발광하는 빛을 반사가능하도록 코팅되어 하우징의 양내측면에 일단이 서로 이격되는 것에 의해 이격 공간을 갖도록 반사판을 구비하고, 상기 이격된 공간 사이에 점등가능하게 구비되는 자외선 램프로 구성함으로써, 자외선 램프와 자외선 램프로부터 발광하는 빛들간의 간섭이 거의 발생하지 않으므로 자외선 램프로부터 발광되는 빛의 반사률을 증대시킬 수 있도록 한 반도체 표면처리용 자외선 조사장치를 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 상술한 문제점을 해소하기 위해 안출된 본 발명의 다른 목적은, 일면에는 발광하는 빛을 반사가능하도록 코팅되어 하우징의 양내측면에 일단이 서로 이격되는 것에 의해 이격 공간을 갖도록 반사판을 구비하고, 상기 이격된 공간 사이에 점등가능하게 구비되는 자외선 램프로 구성함으로써, 반사판에 이물질의 쉽게 적층되지 않아 시간 경과에 따른 광감소가 발생되지 않도록 한 반도체 표면처리용 자외선 조사장치를 제공함에 있다.
그리고, 상술한 문제점을 해소하기 위해 안출된 본 발명의 또 다른 목적은, 일면에는 발광하는 빛을 반사가능하도록 코팅되어 하우징의 양내측면에 일단이 서로 이격되는 것에 의해 이격 공간을 갖도록 반사판을 구비하고, 상기 이격된 공간 사이에 점등가능하게 구비되는 자외선 램프로 구성함으로써, 자외선 램프로부터 발광하는 빛은 반사판을 벗어나지 않고 모두 반사가능하게 되므로 바도체에 빛의 집 광력을 향상시킬 수 있도록 한 반도체 표면처리용 자외선 조사장치를 제공함에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 반도체의 표면에 자외선을 조사시키기 위해 구비되는 자외선 조사장치에 있어서, 반도체의 제조장치에 고정되되, 양단 및 저면은 개구되어 구비되는 하우징과, 상기 하우징의 양내측면에 단일체로 고정 설치가능하도록 양단은 막음판에 고정되는 것에 의해 일단은 이격 공간부가 형성되고, 배면은 열방출이 신속하게 이루어질 수 있도록 곡면 형상의 단면으로 구비되는 방열부재와, 상기 방열부재의 양단을 막음하기 위해 구비된 막음판에 고정되는 램프홀더에 전원이 인가되는 것에 의해 반도체 표면에 자외선을 조사하기 위해 점등가능하게 구비되는 자외선램프와, 상기 방열부재의 전면에 각각 대응되는 단면 형상의 곡면으로 형성되고, 일면에는 상기 자외선램프로부터 발광되는 빛을 난반사됨 없이 반사가능하도록 코팅처리되어 장,탈착가능하게 구비되는 반사판과, 상기 방열부재에 일단이 삽입 걸림되게 구비되는 반사판의 타단을 각각 방열부재에 고정시키도록 상기 방열부재에 고정가능하게 구비되는 고정브라켓을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 방열부재는, 내측면에 상기 반사판을 밀착 취부시킬 수 있도록 곡면으로 형성되고, 배면은 자외선 램프가 점등되어 발광하는 것에 의해 발생되는 열을 신속하게 방열시키도록 형성된 다수개의 방열핀과, 상기 방열핀 사이에 공기 유동홀이 길이방향으로 형성되어 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 막음판은, 외측면에 각각 고정되는 램프홀더에 자외선 램프가 하우징의 내측 상부에 길이 방향으로 설치되어 점등되는 것에 의해 발광하는 빛이 간섭되지 않도록 일단 중앙부에는 절취홈이 형성되고, 하부 양단과 상부 중앙부에는 스크류를 매개로 방열부재를 연결시키도록 고정홀이 각각 형성되어 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 반사판은, 방열부재의 걸림홈에 일단이 각각 삽입 걸림되고, 타단은 고정브라켓에 의해 각각 고정되며, 일면에는 자외선 램프가 점등되는 것에 의해 발광되는 빛을 집광되게 반사시키도록 코팅처리된 곡면 형상의 단면으로 형성되어 구비되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 고정브라켓은, 방열부재의 하단면에 각각 고정가능하도록 일정간격으로 스크류 홀과, 고정브라켓이 고정된 방열부재를 하우징에 고정가능하도록 고정용홀이 다수개 형성되며, 상면 일측에는 상기 반사판의 타단을 걸림시키도록 걸림돌기가 돌출 형성되어 구비되는 것을 특징으로 한다.
상기한 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 표면처리용 자외선 조사장치에 따르면, 일면에는 발광하는 빛을 반사가능하도록 코팅되어 하우징의 양내측면에 일단이 서로 이격되는 것에 의해 이격 공간을 갖도록 반사판을 구비하고, 상기 이격된 공간 사이에 점등가능하게 구비되는 자외선 램프로 구성함으로써, 자외선 램프와 자외선 램프로부터 발광하는 빛들간의 간섭이 거의 발생하지 않으므로 자외선 램프로부터 발광되는 빛의 반사률을 증대시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 상기한 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 표면처리용 자외선 조사장치에 따르면, 일면에는 발광하는 빛을 반사가능하도록 코팅되어 하우징의 양내측면에 일단이 서로 이격되는 것에 의해 이격 공간을 갖도록 반사판을 구비하고, 상기 이격된 공간 사이에 점등가능하게 구비되는 자외선 램프로 구성함으로써, 반사판에 이물질의 쉽게 적층되지 않아 시간 경과에 따른 광감소가 발생되지 않는 효과가 있다.
나아가, 상기한 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 표면처리용 자외선 조사장치에 따르면, 일면에는 발광하는 빛을 반사가능하도록 코팅되어 하우징의 양내측면에 일단이 서로 이격되는 것에 의해 이격 공간을 갖도록 반사판을 구비하고, 상기 이격된 공간 사이에 점등가능하게 구비되는 자외선 램프로 구성함으로써, 자외선 램프로부터 발광하는 빛은 반사판을 벗어나지 않고 모두 반사가능하게 되므로 바도체에 빛의 집광력을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
이하에서는, 본 발명에 따른 반도체 표면처리용 자외선 조사장치의 일실시예를 들어 상세하게 설명한다.
우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호를 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지기 능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.
첨부된 도면 도 4는 본 발명에 따른 반도체 표면처리용 자외선 조사장치를 도시한 사시도이고, 도 5는 본 발명에 따른 반도체 표면처리용 자외선 조사장치를 도시한 단면도이며, 도 6은 본 발명에 따른 반도체 표면처리용 자외선 조사장치의 자외선 램프의 발광된 빛이 반사되는 상태를 도시한 도면이다.
도시된 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 표면처리용 자외선 조사장치(100)는, 반도체 제조장치에 고정 설치가능하도록 상면 양단에는 외주면에 나사부가 형성된 고정바(도면부호 생략)가 형성되고 양단 및 저면은 개구된 하우징(110)과, 상기 하우징(110)의 양내측면에 단일체로 고정 설치가능하도록 양단은 막음판(120)에 스크류(도면부호 생략)를 매개로 고정되는 것에 의해 일단은 이격 공간부가 형성되고, 배면은 면적을 보다 넓게하여 열의 방출이 신속하게 이루어질 수 있도록 방열핀(131)이 길이방향 일정 간격 다수개 각각 형성되어 구비되는 곡면 형상의 단면을 갖는 방열부재(130)와, 상기 방열부재(130)의 양단을 막음하기 위해 구비된 막음판(120)에 스크류(도면부호 생략)를 매개로 고정되는 램프홀더(140)에 전원이 인가되는 것에 의해 반도체 표면을 처리하기 위해 점등가능하게 구비되는 자외선램프(150)와, 상기 방열부재(130)의 전면에 각각 대응되는 단면 형상의 곡면으로 형성되고 일면에는 상기 자외선램프(150)로부터 발광되는 빛을 난반사됨 없이 반사가능하도록 산화알루미늄(Al2O3)으로 코팅처리되어 장,탈착가능하게 구비되는 반사 판(160)과, 상기 방열부재(130)에 일단이 삽입 걸림되게 구비되는 반사판(150)의 타단을 각각 방열부재(130)에 고정시키도록 스크류(도면부호 생략)를 매개로 상기 방열부재(130)에 고정가능하게 구비되는 고정브라켓(170)을 포함하여 이루어진다.
이하에서, 상기한 본 발명에 따른 반도체 표면처리용 자외선 조사장치에 대하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상기한 본 발명에 따른 반도체 표면처리용 자외선 조사장치(100)의 하우징(110)은, 방열부재(130)를 양내측으로 수용하여 스크류를 매개로 고정시키도록 양측면과 저면은 개구된 대략 "n"자 형상의 단면으로 형성되되, 하단 끝단의 자유단은 내측방향으로 각각 절곡된 절곡편(111)이 형성되어 구비된다.
상기 방열부재(130)는, 하우징(110)의 양내측에 내설되어 스크류를 매개로 상기 절곡편에 각각 고정되고, 양단은 각각 스크류를 매개로 고정된 막음판(120)에 의해 서로 연결되어 자외선램프(150)가 발광시 발생되는 열을 신속하게 방열시키도록 구비된다.
즉, 상기한 방열부재(130)는, 내측면은 반사판(160)을 밀착 취부시킬 수 있도록 곡면으로 형성되고, 배면은 자외선 램프(150)가 점등되어 발광하는 것에 의해 발생되는 열을 신속하게 방열시키도록 형성된 다수개의 방열핀(131)과, 상기 방열핀(131) 사이에 공기유동홀(132)이 길이방향으로 형성되어 구비된다.
또한, 상기한 방열부재(130)는 전면 일측 끝단부에는 반사판(160)의 일단을 걸림시키도록 걸림(133)홈이 길이방향으로 형성되어 구비된다.
또한, 상기 방열부재(130)의 타단 선단면에는 상기 고정브라켓(170)과, 상기 고정브라켓(170)이 고정된 방열부재(130)를 하우징(110)에 스크류를 매개로 고정시키도록 일정 간격 다수개의 브라켓 나사홈(도면부호 생략)과 방열부재고정용 나사홈(미도시함)이 각각 형성되어 구비된다.
그리고, 상기 방열부재(130)의 배면 상,하부 양단에는 막음판(120)을 스크류를 매개로 하여 고정시키도록 일측이 개구된 고정홈(134)이 각각 형성되어 구비된다.
여기서, 상기한 막음판(120)은, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 일단 중앙부에는 외측면에 스크류를 매개로 각각 고정되는 램프홀더(140)에 자외선 램프(150)가 하우징(110)의 내측 상부에 길이 방향으로 설치되어 점등되는 것에 의해 발광하는 빛이 간섭되지 않도록 절취홈(141)이 형성되고, 하부 양단과 상부 중앙부에는 스크류를 매개로 한 쌍의 방열부재(130)를 연결시키도록 고정홀(미도시함)이 각각 형성되어 구비된다.
상기한 반사판(160)은, 도 4 내지 도 5에 도시된 바와 같이 일단은 방열부재(130)의 걸림홈(133)에 각각 삽입 걸림되고, 타단은 고정브라켓(170)에 의해 각각 고정되며, 일면에는 자외선 램프(150)가 점등되는 것에 의해 발광되는 빛을 집광되게 반사시키도록 산화알루미늄(Al2O3)으로 코팅처리된 곡면 형상의 단면을 갖는 박판으로 형성되어 구비된다.
상기한 고정브라켓(170)은, 방열부재(130)의 하단면에 각각 스크류(도면부호 생략)를 매개로 고정하는 것에 의해 상기 반사판(160)의 타단을 길림 고정시키도록 구비된다.
즉, 상기한 고정브라켓(170)은, 첨부된 도면 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이 스크류를 매개로 방열부재(130)의 하단면에 각각 스크류를 매개로 고정가능하도록 일정간격으로 스크류 홀(도면부호 생략)과, 고정브라켓(170)이 고정된 방열부재(130)를 하우징(110)에 스크류를 통하여 고정가능하도록 미도시된 고정용홀이 다수개 형성되며, 상면 일측에는 상기 반사판(160)의 타단을 걸림시키도록 걸림돌기(171)가 돌출 형성되어 구비된다.
이와 같이 이루어진 본 발명에 따른 반도체 표면처리용 자외선 조사장치를 이용하여 반도체의 표면처리를 위해 자외선을 조사시키고자 할 경우에는, 첨부된 도면 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이 먼저 전원을 인가되는 것에 의해 램프홀더(140)에 의해 고정된 자외선 램프(160)가 점등된다.
상기 자외선 램프(150)가 점등되는 것에 의해 발광된 자외선 빛은 일면에 코팅처리된 반사판(160)을 통하여 반사되면서 도 6에 도시된 바와 같이 난반사되거나 빛들간 간섭되는 것 없이 반도체의 표면에 집광하게 된다.
또한, 하우징(110)에 내설된 방열부재(130)의 방열핀(131)과 공기유동홀(132)에 의해 열을 신속하게 방출시킬 수 있게 된다.
그리고, 방열부재(130)와 고정브라켓(170)에 각 일단이 각각 걸림되고 일면이 코팅처리된 반사판(160)에 의해 장시간 사용됨에 따른 이물질이 반사판(160)에 증착되지 않으므로 인하여 광감소가 발생하지 않게 된다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 명백할 것이다.
도 1은 종래의 일반적인 반도체 표면처리용 자외선 조사장치를 도시한 사시도
도 2는 도 1에 도시된 종래의 일반적인 반도체 표면처리용 자외선 조사장치를 도시한 단면도
도 3은 종래의 일반적인 반도체 표면처리용 자외선 조사장치의 반사갓에 의해 자외선이 반사된 상태를 도시한 도면
도 4는 본 발명에 따른 반도체 표면처리용 자외선 조사장치를 도시한 사시도
도 5는 본 발명에 따른 반도체 표면처리용 자외선 조사장치를 도시한 단면도
도 6은 본 발명에 따른 반도체 표면처리용 자외선 조사장치의 자외선 램프의 발광된 빛이 반사되는 상태를 도시한 도면
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
100 ; 자외선 조사장치 110 ; 하우징
120 ; 막음판 130 ; 방열부재
140 ; 램프홀더 150 ; 자외선 램프
160 ; 반사판 170 ; 고정브라켓

Claims (7)

  1. 반도체의 표면에 자외선을 조사시키기 위해 구비되는 자외선 조사장치에 있어서,
    반도체의 제조장치에 고정되되, 양단 및 저면은 개구되어 구비되는 하우징(110)과;
    상기 하우징(110)의 양내측면에 단일체로 고정 설치가능하도록 양단은 막음판(120)에 고정되는 것에 의해 일단은 이격 공간부가 형성되고, 배면은 열방출이 신속하게 이루어질 수 있도록 곡면 형상의 단면으로 구비되는 방열부재(130)와;
    상기 방열부재(130)의 양단을 막음하기 위해 구비된 막음판(120)에 고정되는 램프홀더(140)에 전원이 인가되는 것에 의해 반도체 표면에 자외선을 조사하기 위해 점등가능하게 구비되는 자외선램프(150)와;
    상기 방열부재(130)의 전면에 각각 대응되는 단면 형상의 곡면으로 형성되고, 일면에는 상기 자외선램프(150)로부터 발광되는 빛을 난반사됨 없이 반사가능하도록 코팅처리되어 장,탈착가능하게 구비되는 반사판(160)과;
    상기 방열부재(130)에 일단이 삽입 걸림되게 구비되는 반사판(150)의 타단을 각각 방열부재(130)에 고정시키도록 상기 방열부재(130)에 고정가능하게 구비되는 고정브라켓(170)을 포함하되,
    상기 막음판(120)은, 외측면에 각각 고정되는 램프홀더(140)에 자외선 램프(150)가 하우징(110)의 내측 상부에 길이 방향으로 설치되어 점등되는 것에 의해 발광하는 빛이 간섭되지 않도록 일단 중앙부에는 절취홈(141)이 형성되고, 하부 양단과 상부 중앙부에는 방열부재(130)를 연결시키도록 고정홀이 각각 형성되어 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 표면처리용 자외선 조사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 방열부재(130)는, 내측면에 상기 반사판(160)을 밀착 취부시킬 수 있도록 곡면으로 형성되고, 배면은 자외선 램프(150)가 점등되어 발광하는 것에 의해 발생되는 열을 신속하게 방열시키도록 형성된 다수개의 방열핀(131)과, 상기 방열핀(131) 사이에 공기유동홀(132)이 길이방향으로 형성되어 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 표면처리용 자외선 조사장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 방열부재(130)는, 전면 일측 끝단부에는 반사판(160)의 일단을 걸림시키도록 걸림(133)홈이 길이방향으로 더 형성되어 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 표면처리용 자외선 조사장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 방열부재(130)의 타단 선단면에는, 고정브라켓(170)과, 상기 고정브라켓(170)이 고정된 방열부재(130)를 하우징(110)에 고정시키도록 일정 간격 다수개의 브라켓 나사홈과 방열부재고정용 나사홈이 각각 형성되고, 배면 상,하부 양단에는 막음판(120)을 고정시키도록 일측이 개구된 고정홈(134)이 각각 더 형성되어 구 비된 것을 특징으로 하는 반도체 표면처리용 자외선 조사장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 반사판(160)은, 방열부재(130)의 걸림홈(133)에 일단이 각각 삽입 걸림되고, 타단은 고정브라켓(170)에 의해 각각 고정되며, 일면에는 자외선 램프(150)가 점등되는 것에 의해 발광되는 빛을 집광되게 반사시키도록 코팅처리된 곡면 형상의 단면으로 형성되어 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 표면처리용 자외선 조사장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 고정브라켓(170)은, 방열부재(130)의 하단면에 각각 고정가능하도록 일정간격으로 스크류 홀과, 고정브라켓(170)이 고정된 방열부재(130)를 하우징(110)에 고정가능하도록 고정용홀이 다수개 형성되며, 상면 일측에는 상기 반사판(160)의 타단을 걸림시키도록 걸림돌기(171)가 돌출 형성되어 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 표면처리용 자외선 조사장치.
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