KR101728532B1 - Led 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치 - Google Patents

Led 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치 Download PDF

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지에스옵틱스 주식회사
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Abstract

스캔 노광에서 낭비되는 광을 최대한으로 줄이고, 렌즈 구조물을 단단하게 체결하며, 점광원을 구현하여 광효율을 높이는 LED 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치를 제시한다. 그 장치는 복수개의 LED 광원 각각이 중심에 대응하여 공간적으로 이격되어 위치하는 광학격벽을 포함하고, 광학격벽은 평면적으로 보아 정육각형을 이루고 광학격벽의 변이 접하는 부분은 서로 벗어나지 않고 일치하며, 다수개의 광학격벽이 서로 결합되어 하나의 LED 광원을 단위로 하는 광학계의 경통을 구성하고, 광학격벽의 선축방향은 LED 광원으로 스캔하는 방향과 일치하지 않고 어긋나 있거나, 광학격벽이 2n(n은 양의 정수)개의 열을 이루는 광학격벽 구조를 이루거나, LED 광원으로부터 방출되는 광을 초점에 집속하여 점광원을 형성하는 집속렌즈를 포함한다.

Description

LED 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치{Apparatus of exposure for scan type using LED light source}
본 발명은 스캔 방식의 노광장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 스캔 방식의 노광에 적용되는 LED 광원의 광효율을 개선하는 장치에 관한 것이다.
LED 광원을 이용한 스캔방식의 노광장치는 LED 광원과 노광의 목적에 맞도록 평행광을 만들기 위한 구조 및 렌즈를 포함한 광학계로 구성된 광원모듈(optical module)로 부터 전사되는 평행광원을 2차원적 평면 이동이 가능한 평판 스테이지 위의 상단에 위치한 마스크의 상부에서 평행광을 마스크에 조사하여 마스크의 패턴을 그대로 기판에 전사시키는 것이다. 스캔 노광은 광원모듈 (Optical Module) 또는 마스크와 피노광판이 놓인 스테이지가 상대적으로 반대방향으로 움직이면서 노광을 수행하여 시간의 증가에 따라 기판위의 피노광판의 면적을 증대시키는 방식이다. 스캔 노광의 광원은 할로겐 램프가 주로 적용되고 있으나 그 수명이 짧고 소비전력이 높아서 최근에는 수명이 반영구적이고 친 환경적이며 에너지 효율이 높은 LED를 광원으로 채용하고 있는 추세이다.
LED 광원은 종래의 할로겐 램프를 광원으로 하는 노광장치에 비하여 광원의 중심으로부터 조사거리가 멀어짐에 따라 광강도(optical intensity)가 급격하게 감소한다. LED를 광원으로 하는 노광장치는 LED로부터 나오는 광을 평행한 광으로 만들어 마스크를 통하여 스테이지에 조사하기 위하여 렌즈를 포함한 광학계의 설계 방식에 따라 LED의 광각을 30도~120도 사이에서 효율적 선택을 할 수 있으나 광강도를 효율적으로 활용하기 위해서는 가능한 광원으로부터 스테이지간의 거리를 최대한 근접하게 설계하며 광원의 광각을 최대한 넓은 각을 사용할 수 있도록 설계하는 것이 타당하다고 할 수 있다.
또한, 각각의 LED 광원(102)으로부터 발생하는 광이 다른 LED 광원(102)에 의해 간섭을 받는 것을 피하기 위하여, 도 1에서와 같이, 광학격벽(104)을 형성한다. 이때, 상기 광강도와 광의 균질성을 고려하여, 광학격벽(104)은 평면적으로 보아 정삼각형 구조가 지그재그로 정합되어 배치된 배열로 이루어진다. 각각의 LED 광원(102)은 해당하는 광학격벽(104)의 중심에 위치한다. 광학격벽(104)이 없으면 실제 스캔 노광에 사용할 수 있는 광의 최대면적은 원(C)의 면적이 된다. 그런데, 광학격벽(104)이 존재하면, 스캔 노광에 사용되는 광은 광학격벽(104) 내부영역(a)에 한정되고, 광학격벽(104) 외부영역(b)로의 진행하는 광은 이웃한 LED 광원과의 간섭 방지를 위해 차단된다. 이에 따라, 외부영역(b)은 실제 사용되지 않고 낭비되는 광이다. 정삼각형 구조로 이루어진 광학격벽(104)이 적용되면, 내부영역(a)에 활용되는 광량은 광원이 조사하는 원형의 최대면적 광량의 약 41%이다. 이렇게 되면, LED 광원(102)에서, 실제 스캔 노광에 사용되지 않고 버려지는 광량이 많아서, 광효율이 떨어진다.
또한, 종래의 정삼각형 구조의 광학격벽(104)이 채용된 노광장치는 렌즈 구조물 고정부(100)가 각각의 광학격벽(104)에서, 정삼각형의 한 변으로 한정된다. 렌즈 구조물을 정삼각형의 한 변에만 고정하면, 시간에 지남에 따라, 광학격벽(104)이 틀어지거나 벌어지는 현상을 방지하기 어렵다. 나아가, LED 광원(102)은 점광원(point light source)일 때, 최대의 광효율을 나타낸다. 하지만, 실제 스캔 노광에서의 LED 광원(102)은 점광원이 아닌 면광원으로 취급되어 진다. 예컨대, 시판되는 LED 광원(102)은 가로 및 세로가 각각 2㎜정도의 면을 이룬다. 이러한 면광원은 점광원에 비해 광 집속도가 떨어지며 이상적인 평행광을 만들기 위한 광학계 설계에 방해요소로 작용하여, 광효율을 저하시키는 가장 큰 요인이 된다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 스캔 노광에서 낭비되는 광을 최대한으로 줄이고, 렌즈 구조물을 단단하게 체결하며, 점광원을 구현하여 광효율을 높이는 LED 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 과제를 해결하기 위한 LED 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치의 하나의 사례는 복수개의 LED 광원과, 상기 복수개의 LED 광원의 각각이 중심에 대응하여 공간적으로 이격되어 위치하는 광학격벽을 포함한다. 이때, 상기 광학격벽은 평면적으로 보아 정육각형을 이루고, 상기 광학격벽의 변이 접하는 부분은 서로 벗어나지 않고 일치하며, 상기 광학격벽의 선축방향은 상기 LED 광원으로 스캔하는 방향과 일치하지 않고, 어긋나 있다.
본 발명의 하나의 사례에 있어서, 상기 LED 광원의 광각은 30도 내지 120도일 수 있다. 상기 광학격벽은 상기 LED 광원의 반대편에 렌즈 구조물이 부착되며, 상기 광학격벽은 상기 렌즈 구조물이 부착되는 2개의 렌즈 구조물 고정부를 포함할 수 있다. 상기 렌즈 구조물에는 프레넬 렌즈가 장착될 수 있다.
본 발명의 과제를 해결하기 위한 LED 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치의 다른 사례는 복수개의 LED 광원 및 상기 복수개의 LED 광원의 각각이 중심에 대응하여 공간적으로 이격되어 위치하는 광학격벽이 2n(n은 양의 정수)개의 열을 이루는 광학격벽 구조를 포함한다. 이때, 상기 광학격벽 구조는 각각 2개의 열로 이루어진 n개의 An 세트로 구성되고, 상기 An 세트 각각은 상기 LED 광원으로 스캔할 때, 상기 LED 광원이 지나는 부분과 상기 LED 광원 사이를 지나는 부분이 서로 정렬된다.
본 발명의 다른 사례에 있어서, 상기 광학격벽은 정육각형 형태가 바람직하다. 상기 광학격벽은 상기 LED 광원의 반대편에 렌즈 구조물이 부착되며, 상기 광학격벽은 상기 렌즈 구조물이 부착되는 2개의 렌즈 구조물 고정부를 포함할 수 있다. 상기 렌즈 구조물에는 프레넬 렌즈가 장착될 수 있다.
본 발명의 상기 하나의 사례 또는 상기 다른 사례에 있어서, 상기 복수개의 LED 광원 및 상기 광학격벽 사이에는 상기 LED 광원으로부터 방출되는 광을 초점에 집속하여 점광원을 형성하는 집속렌즈를 포함할 수 있다.
본 발명의 LED 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치에 의하면, 정육각형 구조로 이루어진 광학격벽, 광학격벽의 배열 또는 집속렌즈를 활용함으로써, 스캔 노광에서 낭비되는 광을 최대한으로 줄이고 렌즈 구조물을 견고하게 체결할 수 있다. 특히, 2개의 광원모듈을 하나의 세트로 하여, 상보적인 광파워를 구현하여 광파워의 균질도를 높일 수 있다. 또한, 집속렌즈로 점광원을 형성하여 광파워의 균질도를 개선하고 모아레 현상을 차단할 수 있다.
도 1은 종래의 스캔 노광장치에 적용된 광학격벽을 개략적으로 표현한 도면이다.
도 2는 본 발명에 의한 LED 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치의 제1 광학격벽 구조를 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 본 발명에 의한 LED 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치의 제1 광학격벽 구조의 다른 예시를 나타내는 평면도이다.
도 4는 본 발명에 의한 LED 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치의 제2 광학격벽 구조를 설명하기 위한 평면도이다.
도 5는 본 발명에 의한 LED 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치에 적용하는 점광원(PLS)을 구현하는 과정을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다음에서 설명되는 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예는 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다.
본 발명의 실시예는 정육각형 구조물로 이루어진 광학격벽, 광학격벽의 배열 또는 집속렌즈를 활용함으로써, 스캔 노광에서 낭비되는 광을 최대한으로 줄이고, 렌즈 구조물을 견고하게 체결하며, 점광원을 구현하여 광효율을 높이는 LED 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치를 제시한다. 이를 위해, 광효율을 높이기 위한 광학격벽의 구조를 자세하게 설명하고, 집속렌즈를 이용하여 광효율을 높이는 방법을 구체적으로 알아보기로 한다. 또한, 본 발명의 노광장치에 렌즈 구조물을 장착하는 방식을 종래와 비교하여 상세하게 살펴보기로 한다. 본 발명의 노광장치는 대면적의 노광이 가능하고, 균질한(uniform) 노광이 가능하며, LED 광원을 효율적으로 이용할 수 있다. 본 발명의 광효율을 높이는 방법은 광학격벽(11)의 기하학적인 구조, 광학격벽의 배열 및 점광원인 LED 광원으로 구분된다.
<광학격벽의 기하학적인 구조>
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 LED 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치의 제1 광학격벽 구조(10a)를 설명하기 위한 평면도이다. 도 3은 제1 광학격벽 구조(10a)의 조건을 설명하기 위한 도면이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 제1 광학격벽 구조(10a)는 각각의 LED 광원(20)의 광을 수용하며, 평면적으로 보아 정육각형 구조인 복수개의 광학격벽(11)을 가진다. LED 광원(20)은 제1 광학격벽 구조(10a)의 중심에 대응하여 위치한다. 제1 광학격벽 구조(10a)는 스캔 방식을 고려하여 일정한 광파워가 형성되도록 설계되고, LED 광원(20)을 최대한 활용할 수 있다. 이를 위해, 도시된 바와 같이, 서로 접하는 광학격벽(11)의 변은 벗어나는 마진(margin)이 없이 일치된다. 또한, 도 3에서 제시된 것과는 달리, 광학격벽(11)의 적어도 하나의 변(선축방향이라고도 함)이 스캔방향과 일치하지 않는다. 상기 선축방향이 스캔방향과 일치하면, 노광이 일어나는 피사체(예컨대, 포토마스크)에 음영을 남긴다. 본 발명의 실시예에 의한 광학격벽(11)의 변들은 상기 선축방향과 일치하는 부분이 없으므로, 피사체에 음영을 남기지 않는다.
LED 광원(20)은 자외선(UV)을 방출하며, 용도에 광각(optical angle)을 달리할 수 있다. 광각 및 광강도의 분포를 참조하여 광각을 설정할 수 있고, 통상적으로 최대광각을 사용한다. 만약 광각이 120도이면, -60도~60도의 광강도의 분포를 나타낸다. 이때, 광파워는 광강도 및 광량이 고려된 것으로, 광효율과 직접 연관된다. 구체적으로, 상기 광강도는 LED 광원(20)의 광각에 따른 강도(intensity)이고, 상기 광량은 스캔 노광에 실제 사용되는 광의 양이며, 상기 광파워는 상기 광강도 및 광량이 조합된 것이다. 상기 광효율은 상기 광파워의 균질도를 함께 감안한 것이다.
본 발명의 실시예에서는 도시되지는 않았지만, 프레넬(Fresnel) 렌즈가 장착된 렌즈 구조물을 적용한다. 프레넬 렌즈는 렌즈 블록에 삽입되고, 렌즈 지지대에 의해 지지된다. 프레넬 렌즈를 사용하면, LED 광원(20)으로부터 방출되는 광은 프레넬 렌즈를 통과한 후에는 평행광을 이룬다. 또한, 각각의 LED 광원(20)은 광파워가 약하기 때문에 LED 광원(20)과 프레넬 렌즈 사이의 거리를 최대한 가깝게 설계할 수 있다. 나아가, 프레넬 렌즈와 피사체인 포토마스크(도시되지 않음)간의 거리는 최소한으로 유지할 수 있다. 프레넬 렌즈는 위의 조건을 만족하는 2차원적 렌즈이다. LED 광원(20) 및 프레넬 렌즈, 프레넬 렌즈 및 포토마스크 사이의 거리를 최대한으로 줄여, LED 광원(20)의 약한 광파워를 보완할 수 있다.
다수의 광학격벽(11)은 서로 결합되어 하나의 LED 광원을 단위로 하는 광학계의 경통을 구성한다. 각각의 LED 광원(20)으로부터 발생하는 광이 다른 LED 광원(20)에 의해 간섭을 받는 것을 피하기 위한 것이다. 광학격벽(11)은 광원과 피사체의 거리와의 관계를 적절하게 조절하여, LED 광원(20)과 공간적으로 이격되어 있다. 즉, LED 광원(20) 및 광학격벽(11) 사이의 간격은 광학적인 관계가 고려된다. 이에 대해서는, 이하에서 본 발명의 목적인 LED 광원(20)을 사용하는 스캔 노광장치의 광효율을 높이는 방안과 함께 상세하기로 설명하기로 한다. 본 발명의 광효율을 높이는 방법은 광학격벽(11)의 기하학적인 구조, 광학격벽의 배열 및 점광원인 LED 광원으로 구분된다.
광학격벽(11)이 없는 경우, 120도의 광각에서, 실제 스캔 노광에 사용할 수 있는 광의 최대면적은 원(C)의 면적과 같다. 그런데, 상기 최대면적은 광학격벽(11)에 의해, 내부영역(d) 및 외부영역(e)로 분할된다. 스캔 노광에 사용되는 광은 내부영역(d)에 한정되고, 외부영역(e)로의 진행하는 광은 간섭을 피하기 위해 차단된다. 이에 따라, 외부영역(e)은 실제 사용되지 않고 낭비되는 광이다. 정육각형 구조의 광학격벽(11)이 적용되면, 내부영역(e)에 활용되는 광량은 최대면적 광량의 약 83%이다. 이에 반해, 정삼각형 구조의 광량은 최대면적의 약 41%이고, 정사각형(또는 마름모)의 광량은 최대면적의 약 64%이다. 이와 같이, 본 발명의 제1 광학격벽 구조(10a)는 스캔 노광에 활용되는 광량은 획기적으로 증대시킨다.
한편, 본 발명의 노광장치는 앞에서 설명한 바와 같이, 프레넬 렌즈를 포함한 렌즈 구조물을 적용한다. 렌즈 구조물은 제1 광학격벽 구조(10a)에 고정된다. 광학격벽(11)은 정육각형 구조를 가지므로, 상기 렌즈 구조물을 광학격벽(11)의 두 개의 변의 렌즈 구조물 고정부(12)에 고정할 수 있다. 이에 반해, 정삼각형 구조 또는 정사각형(또는 마름모) 구조의 광학격벽은 하나의 변에 렌즈 구조물이 고정된다. 렌즈 구조물이 하나의 변에만 고정하면, 시간에 지남에 따라, 상기 광학격벽(정삼각형 또는 정사각형)이 틀어지거나 벌어지는 것과 같은 현상이 일어난다. 본 발명의 실시예에 의한 제1 광학격벽 구조(10a)는 상기 현상을 방지할 수 있다.
<광학격벽의 배열>
이하에서는, 광효율을 높이기 위해, 광학격벽의 배열을 최적화하는 방법을 설명하기로 한다. 도 4는 본 발명의 실시예에 의한 LED 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치에 적용된 제2 광학격벽 구조(10b)를 설명하기 위한 평면도들이다. 여기서, 제2 광학격벽 구조(10b)는 각각 정육각형 형태의 광학격벽을 사용한 예이며, 상기 광학격벽들은 기하학적인 구조가 다른 것을 제외하고, 도 2의 제1 광학격벽 구조(10a)와 동일하다. 즉, 제2 광학격 벽 구조(10b)는 각각 내부영역 및 외부영역을 가지고, 렌즈 구조물 고정부(12)를 포함한다. 또한 제2 광학격벽 구조(10b)의 다수개의 광학격벽은 서로 결합되어 하나의 LED 광원을 단위로 하는 광학계의 경통을 구성한다. 이에 따라, 중복되는 표현에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 4를 참조하면, 제2 광학격벽 구조(10b)는 복수개의 열을 이루는 것을 말하고, 여기서 복수개의 열은 An의 세트로 이루어진 2n열(n은 양의 정수)을 가진다. 이때, An의 세트는 각각 2개의 열을 가진다. 제2 광학격벽 구조(10b)는 정육각형 구조의 광학격벽(11)으로 이루어진다. 광효율의 개선방법은 제2 광학격벽 구조(10b)의 A1 세트를 예로 들어 설명하기로 한다. A1 세트는 2개의 열로 이루어지고, 각 열은 LED 광원(20)이 중심부에 대응하여 위치하고, 서로 접하는 변이 벗어나는 마진(margin)이 없이 일치된 복수개의 정육각형 광학격벽(11)으로 구성된다. 여기서, 스캔방향으로 스캔을 진행하면, LED 광원(20)을 지나는 부분의 광파워는 상대적으로 강하다(S; strong). 이에 반해, LED 광원(20) 사이의 공간을 지나는 부분의 광파워는 상대적으로 약하다(W; weak). 이때, 제1 열 및 제2 열은 상기 광파워를 상호 보강한다. 즉, 스캔방향에 대하여, 제1 열의 강한 부분은 제2 열의 약한 부분과 정렬되고, 제1 열의 약한 부분은 제2열의 강한 부분과 정렬된다. 이와 같이, 광파워를 서로 보완하는 관계를 상보관계라고 한다.
본 발명의 실시예에 의한 제2 광학격벽 구조(10b)는 상보관계에 있기 때문에, 스캔 노광의 광파워는 피사체 전체에 걸쳐 균질하다. 하나의 열을 가진 종래의 광학격벽은 강한 부분(S)과 약한 부분(W)이 고정되어서 상기 광파워는 불균질하지만, 본 발명의 실시예는 상기 상보관계를 이용하여 이를 해결하였다. 또한, An 세트의 개수를 늘리면, 상기 상보관계를 보다 효율적으로 활용할 수 있으므로, 피사체에 전달되는 상기 광파워의 균질도를 보다 높일 수 있다. 한편, 여기서는 정육각형 형태의 광학격벽 구조를 제시하였으나, 정사각형(마름모) 또는 정삼각형 형태의 광학격벽 구조에 적용할 수 있다.
<LED 점광원>
도 5는 본 발명의 실시예에 의한 LED 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치에 적용하는 점광원(PLS)을 구현하는 과정을 설명하기 위한 개략적인 도면이다. 이때, 점 광원(PLS)은 도 2 및 도 4를 참조한 노광장치에 적용된다.
도 5에 의하면, 실제 스캔 노광에서의 LED 광원(20)은 점광원이 아닌 면광원이다. 예컨대, 시판되는 LED 광원(20)은 가로 및 세로가 각각 2㎜정도의 면을 이룬다. 이러한 면광원은 점광원에 비해 광 집속도가 떨어져서, 광효율을 저하시키는 요인이 된다. 특히, LED 광원(20)의 양 끝단에서 방출되는 광은 광학격벽(11)에 비스듬하게 조사되어, 광파워가 저하되는 요인이 된다. 또한, LED 광원(20)의 각 부분에서 발생하는 광이 서로 다른 광경로를 형성하면, 모아레(moire) 현상을 일으키기도 한다.
본 발명의 실시예에서는 LED 광원(20) 및 광학격벽(11) 사이에 볼록렌즈와 같은 집속렌즈(30)를 포함한다. 집속렌즈(30)는 비구면 렌즈가 바람직하며, LED 광원(20)으로부터 방출된 광은 집속렌즈(30)의 초점에 집속시켜 점광원(PLS; Point Light Source)을 구현한다. 점광원(PLS)은 광학격벽 구조(10)에 일정한 각도로 조사되어 광의 균질도를 일정하게 할 수 있다. 광의 균질도가 일정하면, 상술한 것처럼, 광효율을 높일 수 있다. 또한, 점광원(PLS)은 광경로가 일정하므로, 무아레 현상을 차단할 수 있다. 이때, 광학격벽(11)은 정육각형이 바람직하다.
이상, 본 발명은 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다. 예를 들면, 도 4에서 광학격벽의 열들은 각각 스캔 방향과 수직이 아닌 둔각 또는 예각을 이룰 수 있다.
10a, 10b; 제1 또는 제2 광학격벽
11; 정육각형 광학격벽 12; 렌즈 구조물 고정부
20; LED 광원 30; 집속렌즈

Claims (9)

  1. 복수개의 LED 광원;
    상기 복수개의 LED 광원의 각각이 중심에 대응하여 공간적으로 이격되어 위치하는 광학격벽을 포함하고,
    상기 광학격벽은 평면적으로 보아 정육각형을 이루고,
    상기 광학격벽 구조는 다수개의 상기 광학격벽이 서로 결합되어 하나의 LED 광원을 단위로 하는 광학계의 경통을 구성하며,
    상기 광학격벽의 변이 접하는 부분은 서로 벗어나지 않고 일치하고,
    상기 광학격벽의 선축방향은 상기 LED 광원으로 스캔하는 방향과 일치하지 않으며, 어긋나 있으며,
    상기 광학격벽의 연결은 상기 광학격벽 내의 상기 LED 광원이 지그재그로 배치되도록 상기 광학격벽의 2개의 변만이 이웃하는 광학격벽과 일치하여 이루어지고, 상기 광학격벽이 연장되는 방향은 상기 스캔하는 방향과 일치하지 않는 것을 특징으로 하는 LED 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 LED 광원의 광각은 30도 내지 120도인 것을 특징으로 하는 LED 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 광학격벽은 상기 LED 광원의 반대편에 렌즈 구조물이 부착되며, 상기 광학격벽은 상기 렌즈 구조물이 부착되는 2개의 렌즈 구조물 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 렌즈 구조물에는 프레넬 렌즈가 장착되는 것을 특징으로 하는 LED 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치.
  5. 복수개의 LED 광원;
    상기 복수개의 LED 광원의 각각이 중심에 대응하여 공간적으로 이격되어 위치하는 광학격벽이 2n(n은 양의 정수)개의 열을 이루는 광학격벽 구조를 포함하고,
    상기 광학격벽 구조는,
    각각 2개의 열로 이루어진 n개의 An 세트로 구성되고, 상기 An 세트 각각은 상기 LED 광원으로 스캔할 때, 상기 LED 광원이 지나는 부분과 상기 LED 광원 사이를 지나는 부분이 서로 정렬되고,
    상기 열들은 공간적으로 서로 이격되어 있으며,
    상기 2개의 열을 이루는 각각의 열에서의 상기 광학격벽 구조의 연결은 상기 열 내의 상기 LED 광원이 지그재그로 배치되도록 상기 광학격벽의 2개의 변만이 이웃하는 광학격벽과 일치하여 이루어지고, 상기 광학격벽이 연장되는 방향은 상기 스캔하는 방향과 일치하지 않으며,
    상기 2개의 열은 상기 스캔하는 방향에 대하여 광파워를 서로 보완하는 상보관계를 이루는 것을 특징으로 하는 LED 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 광학격벽은 정육각형 형태인 것을 특징으로 하는 LED 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 광학격벽은 상기 LED 광원의 반대편에 렌즈 구조물이 부착되며, 상기 광학격벽은 상기 렌즈 구조물이 부착되는 2개의 렌즈 구조물 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 렌즈 구조물에는 프레넬 렌즈가 장착되는 것을 특징으로 하는 LED 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치.
  9. 제1항 또는 제5항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수개의 LED 광원 및 상기 광학격벽 사이에는 상기 LED 광원으로부터 방출되는 광을 초점에 집속하여 점광원을 형성하는 집속렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치.
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KR102154687B1 (ko) 2019-04-29 2020-09-10 ㈜ 엘에이티 고해상도 파인 메탈 마스크 제조를 위한 전주도금 모판의 제조방법

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