KR101068083B1 - Sensor floating unit - Google Patents

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KR101068083B1
KR101068083B1 KR1020110044834A KR20110044834A KR101068083B1 KR 101068083 B1 KR101068083 B1 KR 101068083B1 KR 1020110044834 A KR1020110044834 A KR 1020110044834A KR 20110044834 A KR20110044834 A KR 20110044834A KR 101068083 B1 KR101068083 B1 KR 101068083B1
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박호식
박찬선
김영민
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주식회사 엠오티
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Abstract

본 발명은 디스플레이 패널의 상면과 이 패널의 패터닝을 검사하는 센서 플레이트의 미리 설정된 이격거리를 일정하게 유지시킴으로써 패널의 양호한 검사결과를 얻을 수 있는 것인 바, 본 발명은 테이블에 안착된 패널의 상면에 부상된 상태로 이 패널의 길이방향을 따라 이동하면서 패널에 형성된 패터닝을 검사하는 센서 플로팅 유닛에 관한 것으로, 외부의 테스트 헤드부에 연결되며, 외부로부터 에어를 받아들이는 억셉터와, 이 억셉터로부터 인입된 에어를 외부로 분사하는 인젝터가 구비된 상부 플레이트(10); 상부 플레이트의 하부에 일정거리 떨어져 배치되며, 상부 플레이트의 인젝터와 연결되어 에어를 받아들이는 억셉터와, 이 억셉터로부터 인입된 에어를 하방으로 분사하는 복수 개의 통공이 구비되어 패널의 상면으로부터 일정거리 부상되는 하부 플레이트(20); 하부 플레이트의 통공과 연통되어 하방으로 통하는 연통공이 형성되고 하부 플레이트의 하면에 적층되어 하부 플레이트와 일체로 패널의 상면으로부터 일정거리 부상된 상태로 패널의 길이방향을 따라 이동하면서 패널에 형성된 패터닝을 검사하는 센서 플레이트(30);를 포함하여 구성된다.The present invention is to obtain a good inspection result of the panel by maintaining a predetermined distance between the upper surface of the display panel and the sensor plate for inspecting the patterning of the panel, the present invention is the upper surface of the panel seated on the table A sensor floating unit for inspecting patterning formed in a panel while moving along the longitudinal direction of the panel while being injured on the panel, the acceptor being connected to an external test head and receiving air from the outside; An upper plate (10) having an injector for injecting air drawn in from the outside; It is arranged at a lower distance from the lower part of the upper plate, and is connected to the injector of the upper plate and has an acceptor for receiving air, and a plurality of through holes for injecting the air drawn in from the acceptor downwards, so that the predetermined distance from the upper surface of the panel is provided. A floating lower plate 20; A communication hole is formed which communicates with the through hole of the lower plate and passes downward. The patterning formed on the panel is inspected while being stacked on the lower surface of the lower plate and moving along the longitudinal direction of the panel in a state of being injured a certain distance from the upper surface of the panel integrally with the lower plate. It is configured to include a; sensor plate 30.

Description

센서 플로팅 유닛{sensor floating unit}Sensor floating unit

본 발명은 센서 플로팅 유닛에 관한 것으로, 상세하게 테이블에 디스플레이 패널을 안착시킨 상태에서 이 패널의 상면에 이 패널의 패터닝을 검사하는 센서 플레이트를 배치하고, 패널과 센서 플레이트의 미리 설정된 일정한 간격을 유지할 수 있도록 센서 플레이트의 하방으로, 즉 패널의 상면에 에어를 분사하면서 패널의 길이방향을 따라 부상하여 이동하는 센서 플로팅 유닛에 관한 것이다The present invention relates to a sensor floating unit, in which a sensor plate for inspecting the patterning of the panel is disposed on the upper surface of the panel while the display panel is seated on the table, and the panel and the sensor plate maintain a predetermined constant distance. And a sensor floating unit which floats and floats along the longitudinal direction of the panel while injecting air to the lower side of the sensor plate, ie, the upper surface of the panel.

일반적으로 컴퓨터 모니터나 TV, 이동 통신 단말기 등의 외표면에 장착되는 디스플레이 패널은 내부에 주입된 액정의 전기적, 광학적 성질을 이용하여 디스플레이 기능을 수행하게 된다.In general, a display panel mounted on an outer surface of a computer monitor, a TV, a mobile communication terminal, or the like performs a display function by using the electrical and optical properties of the liquid crystal injected therein.

이 디스플레이 패널은 소형, 경량 및 저소비 전력 등의 장점으로 으로 인해 보 다양한 분야에서 폭넓게 응용되고 있는 추세이다.The display panel is widely applied in various fields because of its small size, light weight and low power consumption.

이와 같은 디스플레이 패널은 영상 데이터를 생성하는 LCD 패널, 액정표시패널과 액정표시패널에 광(光)을 인가하는 백 라이트 유닛 등으로 크게 구분될 수 있다.Such display panels may be classified into LCD panels for generating image data, liquid crystal display panels, and backlight units for applying light to the liquid crystal display panels.

이들은 별도의 제조 공정에 의해 각각 제조된 후 조립 공정 등을 통해 조립됨으로써 완성된 디스플레이 패널을 구성하게 된다.These are each manufactured by a separate manufacturing process and then assembled through an assembly process to form a completed display panel.

이때, 디스플레이 패널은 제조 공정의 단계별로 일정한 검사 공정을 거치게 되며, 특히 모든 제조 공정이 완료된 후 조립을 수행하기에 앞서서는 각각의 완제품에 대한 육안 검사 등을 통해 제품의 이상 유무를 확인하게 된다.In this case, the display panel undergoes a certain inspection process for each step of the manufacturing process, and in particular, before all the manufacturing processes are completed, before the assembly is performed, the display panel checks whether or not the product is abnormal by visual inspection of each finished product.

디스플레이 패널의 최종 검사는 패널의 구동회로에 테스트 신호를 인가시킨 후 디스플레이되는 영상 정보의 이상 유무를 확인하는 등의 방법에 의해 수행되는 것이 일반적이다.Final inspection of the display panel is generally performed by applying a test signal to the driving circuit of the panel and then checking whether there is an abnormality of the displayed image information.

따라서, 이러한 디스플레이 패널의 최종 검사를 위해서는 구동회로와 테스트 신호 인가부 사이를 압착시켜 테스트 신호의 안정적인 공급이 이루어질 수 있도록 하기 위한 정밀검사 장치가 요구된다. 이때의 정밀검사는 패널에 패터닝된 구동회로의 오픈/쇼트 여부를 포함하여 수행된다Accordingly, for the final inspection of the display panel, a precise inspection apparatus is required to compress the driving circuit and the test signal applying unit so that a stable supply of the test signal can be achieved. At this time, the inspection is performed including whether the driving circuit patterned on the panel is open or shorted.

종래의 이와 같은 검사 장치는 레버 방식, 클램프 방식 또는 실린더 방식 등에 의해 구동회로와 테스트 신호 인가부(센서) 사이가 압착되도록 구성되었다.Such a conventional inspection apparatus is configured to compress between a driving circuit and a test signal applying unit (sensor) by a lever method, a clamp method or a cylinder method.

그런데 상기의 방식들 가운데 레버 방식이나 클램프 방식은 사용자가 수동작에 의해 레버나 클램프를 직접 제어하도록 함으로써, 작업 속도가 느리고 사용이 불편하며 구동회로에 손상이 갈 수 있다는 등의 문제점이 있고, 실린더 방식의 경우에는 검사 장치의 구성에 많은 비용이 소요되며 소형으로 제작하기 곤란하다는 등의 문제점이 있다.However, among the above methods, the lever method or the clamp method allows the user to directly control the lever or the clamp by manual operation, which causes problems such as slow working speed, inconvenience in use, and damage to the driving circuit. In the case of the method, there is a problem in that a large cost is required for the configuration of the inspection apparatus, and it is difficult to manufacture a small size.

이러한 문제점을 극복하기 위해 패널을 넓은 테이블 상면에 안착시킨 상태에서 패널의 상면으로부터 미리 설정된 높이(대략 100 미크론)에 센서(테스트 헤드 인가부)를 배치한 후, 이 센서를 이동시키면서 패널의 전기적 패터닝을 검사하게 된다.To overcome this problem, with the panel seated on the wide table top, the sensor (test head application) is placed at a preset height (approximately 100 microns) from the top of the panel, then the panel is patterned by moving the sensor. Will be examined.

그러나, 테이블의 상면은 육안으로 볼 때 평평해 보여도 기구적 측면에서 테이블의 설치 후, 시간의 경과나 환경의 변화에 따라 100 미크론 이상의 편차가 생기는 경우가 빈번히 발생한다는 또 다른 문제점을 야기한다.However, even if the top surface of the table looks flat to the naked eye, it causes another problem that, after installation of the table from a mechanical point of view, a deviation of 100 microns or more frequently occurs depending on the change of time or the environment.

이러한 이유로 디스플레이 패널과 센서 사이의 거리가 일정하지 않게 되고, 검사결과에 불리한 영향을 주게 된다.
For this reason, the distance between the display panel and the sensor becomes inconsistent and adversely affects the inspection result.

상기의 문제점을 해결하기 위하여 디스플레이 패널의 상면과 이 패널의 패터닝을 검사하는 센서의 미리 설정된 이격거리를 일정하게 유지시킴으로써 패널의 양호한 검사결과를 얻을 수 있는 센서 플로팅 유닛의 구현이 요구되고 있다.In order to solve the above problems, it is required to implement a sensor floating unit capable of obtaining a good inspection result of the panel by maintaining a predetermined distance between the upper surface of the display panel and the sensor for inspecting the patterning of the panel.

본 발명은 상기한 점을 감안하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 디스플레이 패널의 상면과 이 패널의 패터닝을 검사하는 센서 플레이트의 미리 설정된 이격거리를 일정하게 유지시킴으로써 패널의 양호한 검사결과를 얻을 수 있는 센서 플로팅 유닛을 제공함에 있다.The present invention has been proposed in view of the above, and an object of the present invention is to obtain a good inspection result of a panel by keeping a predetermined distance between the upper surface of the display panel and the sensor plate for inspecting the patterning of the panel. The present invention provides a sensor floating unit.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 테이블에 안착된 패널의 상면에 부상된 상태로 이 패널의 길이방향을 따라 이동하면서 패널에 형성된 패터닝을 검사하는 센서 플로팅 유닛에 관한 것으로, 외부의 테스트 헤드부에 연결되며, 외부로부터 에어를 받아들이는 억셉터와, 이 억셉터로부터 인입된 에어를 외부로 분사하는 인젝터가 구비된 상부 플레이트; 상부 플레이트의 하부에 일정거리 떨어져 배치되며, 상부 플레이트의 인젝터와 연결되어 에어를 받아들이는 억셉터와, 이 억셉터로부터 인입된 에어를 하방으로 분사하는 복수 개의 통공이 구비되어 패널의 상면으로부터 일정거리 부상되는 하부 플레이트; 하부 플레이트의 통공과 연통되어 하방으로 통하는 연통공이 형성되고 하부 플레이트의 하면에 적층되어 하부 플레이트와 일체로 패널의 상면으로부터 일정거리 부상된 상태로 패널의 길이방향을 따라 이동하면서 패널에 형성된 패터닝을 검사하는 센서 플레이트;를 포함하여 구성된다.In order to achieve the above object, the present invention relates to a sensor floating unit for inspecting the patterning formed on the panel while moving along the longitudinal direction of the panel while floating on the upper surface of the panel seated on the table, the external test head portion An upper plate connected to the upper side and having an acceptor for receiving air from the outside, and an injector for injecting the air drawn in from the acceptor to the outside; It is arranged at a lower distance from the lower part of the upper plate, and is connected to the injector of the upper plate and has an acceptor for receiving air, and a plurality of through holes for injecting the air drawn in from the acceptor downwards, so that the predetermined distance from the upper surface of the panel is provided. Floating bottom plate; A communication hole is formed which communicates with the through hole of the lower plate and passes downward. The patterning formed on the panel is inspected while being stacked on the lower surface of the lower plate and moving along the longitudinal direction of the panel in a state of being injured a certain distance from the upper surface of the panel integrally with the lower plate. It is configured to include; a sensor plate.

본 발명은 상부 플레이트와 하부 플레이트를 상호 지지하며, 하부 플레이트가 패널의 상면으로부터 부상되는 거리에 따라 이 하부 플레이트의 상하방 스트로크를 가이드하는 프레임; 하부 플레이트의 상부에 복수 개 배치되어 하부 플레이트의 상방 스트로크 거리와 스트로크되는 하부 플레이트의 수평을 측정하는 센서부;를 더 포함하여 구성된다.The present invention comprises a frame for supporting the upper plate and the lower plate mutually, and guides the upper and lower strokes of the lower plate according to the distance that the lower plate is floated from the upper surface of the panel; And a plurality of sensor units disposed on an upper portion of the lower plate to measure an upward stroke distance of the lower plate and a horizontal level of the lower plate to be stroked.

센서부와 하부 플레이트의 사이에 대응하는 하부 플레이트의 상면에는 센서부로부터 위치가 센싱되는 자성체 플레이트가 적층되어 하부 플레이트와 일체로 연결됨이 바람직하다.On the upper surface of the lower plate corresponding to between the sensor portion and the lower plate, it is preferable that a magnetic plate whose position is sensed from the sensor portion is stacked and connected integrally with the lower plate.

센서부를 탈착 가능하게 그립하는 그립부가 형성되며 이 그립부에 센서부를 그립한 상태로 프레임의 측벽에 탈착 가능하게 연결되는 그립블록이 구비됨이 바람직하다.
A grip part for detachably gripping the sensor part is formed, and the grip block is detachably connected to the side wall of the frame in a state in which the sensor part is gripped.

본 발명에 따른 센서 플로팅 유닛은,The sensor floating unit according to the present invention,

먼저, 패널의 상면에 이 패널의 패터닝을 검사하는 센서 플레이트를 배치하고, 센서 플레이트의 하방으로, 즉 패널의 상면에 에어를 분사하면서 패널의 길이방향을 따라 부상하여 이동함으로써 패널과 센서 플레이트의 미리 설정된 일정한 간격을 유지할 수 있게 되며, 이로 인해 패널의 양호한 검사결과를 얻을 수 있게 된다.First, the sensor plate for inspecting the patterning of the panel is placed on the upper surface of the panel, and the surface of the panel and the sensor plate are moved in advance by floating down the sensor plate, that is, floating along the longitudinal direction of the panel while injecting air to the upper surface of the panel. It is possible to maintain a predetermined interval, which allows to obtain a good inspection result of the panel.

또한, 패널의 상부에 배치된 센서 플레이트로부터 에어가 분사됨으로써 설령 패널이 안착되는 테이블이 기구적으로 미세한 편차가 생기는 경우에도 패널의 상면과 센서 플레이트 사이를 일정한 거리로 유지시킬 수 있게 된다.
In addition, when the air is injected from the sensor plate disposed on the upper part of the panel, even if the table on which the panel is seated has a slight deviation mechanically, the upper surface of the panel and the sensor plate can be maintained at a constant distance.

[도 1]은 본 발명에 따른 센서 플로팅 유닛이 장착되는 패널 검사시스템의 개략적인 전체구성도,
[도 2]는 본 발명에 따른 센서 플로팅 유닛의 상면사시도,
[도 3]은 본 발명에 따른 센서 플로팅 유닛의 측면사시도,
[도 4]는 본 발명에 따른 센서 플로팅 유닛의 저면사시도,
[도 5]는 본 발명에 따른 센서 플로팅 유닛의 분리사시도이다.1 is a schematic overall configuration diagram of a panel inspection system equipped with a sensor floating unit according to the present invention;
2 is a top perspective view of a sensor floating unit according to the present invention;
3 is a side perspective view of a sensor floating unit according to the present invention;
4 is a bottom perspective view of the sensor floating unit according to the present invention;
5 is an exploded perspective view of the sensor floating unit according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명은 한정하지 않는 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

[도 1]은 본 발명에 따른 센서 플로팅 유닛이 장착되는 패널 검사시스템의 개략적인 전체구성도로서, 패널 검사시스템의 작동과정을 간략히 설명하면 다음과 같다.1 is a schematic overall configuration diagram of a panel inspection system equipped with a sensor floating unit according to the present invention, briefly explaining the operation of the panel inspection system as follows.

테이블(6)의 상면에는 패널(P)이 안착되며, 테이블의 양측부에는 LM 가이드(linear motion guide;5)가 배치된다. 또한, 패널은 외부의 로봇암(미도시)을 통해 테이블(6)에 리프팅 시킬 수 있고 또는 패널과 맞닿는 테이블의 상면에 패널을 이송시키기 위한 컨베이어부(미도시)가 구비될 수 있다.The panel P is seated on the upper surface of the table 6, and LM guides (linear motion guides) 5 are disposed on both sides of the table. In addition, the panel may be lifted to the table 6 through an external robot arm (not shown), or a conveyor unit (not shown) may be provided on the upper surface of the table in contact with the panel.

LM 가이드(5)는 테이블의 양측부를 가로 질러 배치되는 갠트리 브릿지(4)가 전, 후방 이동할 수 있도록 가이드하며, LM 가이드(5)에 구동력을 전달하는 리니어 모터(미도시)가 각각의 LM 가이드에 장착됨이 바람직하다.The LM guide (5) guides the gantry bridge (4) disposed across both sides of the table to move forward and backward, and a linear motor (not shown) for transmitting a driving force to the LM guide (5), each LM guide It is preferred to be mounted on.

갠트리 브릿지(4)는 바(bar) 형태로 구성되고, 갠트리 브릿지(4)의 양단부는 하방으로 절곡된 후, 절곡된 하부가 LM 가이드(5)에 연결되어 이 LM 가이드(5)의 제어로 테이블(6)의 길이 방향을 따라 이동하게 된다.The gantry bridge 4 has a bar shape, and both ends of the gantry bridge 4 are bent downward, and then the bent lower portion is connected to the LM guide 5 to control the LM guide 5. It moves along the longitudinal direction of the table 6.

또한, 이 갠트리 브릿지(4)에는 길이 방향으로 따라 복수 개의 헤드부 이송수단(3a,3b)에 배치되는데, 이 헤드부 이송수단(3a,3b)은 갠트리 브릿지(4)의 길이 방향을 따라 슬라이드 되면서 이동이 가능하게 배치된다.In addition, the gantry bridge 4 is disposed in a plurality of head portion transfer means 3a, 3b along the longitudinal direction, and the head portion transfer means 3a, 3b slides along the longitudinal direction of the gantry bridge 4. It is arranged to be movable.

패널에 대한 패터닝 검사 작업을 하는 경우 갠트리 브릿지(4)에 장착된 헤드부 이송수단(3a,3b)은 갠트리 브릿지(4)의 길이 방향을 따라 상호 일정거리 이격되게 펼쳐진 상태로 배치되어 테이블(6) 상면에 안착된 패널(P) 폭의 양단부에 대응하는 부분까지 위치시킬 수 있다.When the panel is inspected for patterning, the head conveying means 3a, 3b mounted on the gantry bridge 4 are arranged to be spaced apart from each other along the longitudinal direction of the gantry bridge 4 so that the table 6 ) It can be positioned up to portions corresponding to both ends of the width of the panel (P) seated on the upper surface.

이로 인해, 갠트리 브릿지(4)가 테이블(6)의 길이 방향을 따라 이동하는 경우 헤드부 이송수단(3a,3b)은 패널(P)의 길이 방향을 따라 패널(P)의 상면을 고르게 지나칠 수 있게 된다.As a result, when the gantry bridge 4 moves along the longitudinal direction of the table 6, the head transfer means 3a and 3b may evenly pass the upper surface of the panel P along the longitudinal direction of the panel P. Will be.

헤드부 이송수단(3a,3b)의 하부에는 하기의 본 발명인 센서 플로팅 유닛(1)이 장착되기 때문에 결국 센서 플로팅 유닛(1)이 패널(P)의 상면을 고르게 지나가면서 패널(P)에 형성된 패터닝을 효율적으로 검사할 수 있게 된다.Since the sensor floating unit 1 according to the present invention is mounted below the head transfer means 3a and 3b, the sensor floating unit 1 is formed on the panel P while passing through the upper surface of the panel P evenly. Patterning can be checked efficiently.

한편, 헤드부 이송수단(3a,3b)은 갠트리 브릿지(4)에 걸쳐진 상태로 슬라이드 되는 상부 헤드부 이송수단(3a)과, 상부 헤드부 이송수단(3a)의 하단부에 연결되는 하부 헤드부 이송수단(3b)으로 구분될 수 있다.On the other hand, the head conveying means (3a, 3b) is the upper head portion conveying means (3a) and the lower head portion conveying portion connected to the lower end of the upper head portion conveying means (3a) slides across the gantry bridge (4) Means 3b.

그리고 이 하부 헤드부 이송수단(3b)에는 테스트 헤드부(2)가 장착되고, 테스트 헤드부(2)와 인접하여 하부 헤드부 이송수단(3b)의 하단부에는 본 발명인 센서 플로팅 유닛(1)이 일체로 연결된다.The lower head portion conveying means 3b is equipped with a test head portion 2, and the sensor floating unit 1 of the present invention is provided at the lower end of the lower head portion conveying means 3b adjacent to the test head portion 2. It is connected in one piece.

하부 헤드부 이송수단(3b)은 상부 헤드부 이송수단(3a)에 대해 하방으로 일정거리 연장되거나 다시 상방으로 폴딩될 수 있도록 구성됨이 바람직하다.The lower head portion conveying means 3b is preferably configured to extend downwardly or to be folded upwardly with respect to the upper head portion conveying means 3a.

상부 헤드부 이송수단(3a)과 하부 헤드부 이송수단(3b)가 상호 연장되는 경우 하부 헤드부 이송수단(3b)의 하단부에 장착된 센서 플로팅 유닛(1)은 테이블에 안착된 패널의 상면에 밀착된다.When the upper head portion feeding means 3a and the lower head portion feeding means 3b extend to each other, the sensor floating unit 1 mounted on the lower end of the lower head portion feeding means 3b is placed on the upper surface of the panel seated on the table. Close contact.

센서 플로팅 유닛(1)이 패널의 상면에 밀착된 상태에서 센서 플로팅 유닛의 하방으로 에어가 분사되면 센서 플로팅 유닛(1)은 에어 분사압에 따라 그에 대응하여 패널로부터 일정한 거리(대략 100 미크론 정도) 상방으로 부상하게 된다.When air is injected downward of the sensor floating unit while the sensor floating unit 1 is in close contact with the upper surface of the panel, the sensor floating unit 1 corresponds to a certain distance (approximately 100 microns) from the panel according to the air injection pressure. You will rise upward.

패널(P)에 형성된 패터닝을 정밀하고 정확하게 검사할 수 있도록 부상되어 센서 플로팅 유닛(1)과 패널(P)이 일정한 간격을 유지하는 것이 본 발명의 핵심기술이다.The core technology of the present invention is to maintain the constant distance between the sensor floating unit 1 and the panel P so that the patterning formed on the panel P can be accurately and accurately inspected.

이렇게 패널에 대해 센서 플로팅 유닛(1)이 부상된 상태에서 갠트리 브릿지(4)가 패널의 길이 방향을 따라 전방으로 이동하면 센서 플로팅 유닛(1)은 패널의 상면을 따라 이동하면서 패널에 형성된 패터닝을 검사하게 된다. 이 패터닝 검사에는 패널에 형성된 패터닝 중 구동회로의 오픈/쇼트 여부를 포함한다.When the gantry bridge 4 moves forward along the longitudinal direction of the panel while the sensor floating unit 1 is floating on the panel, the sensor floating unit 1 moves along the upper surface of the panel and performs patterning formed on the panel. Will be examined. This patterning test includes whether the driving circuit is open / shorted during patterning formed in the panel.

이하에서는 본 발명인 센서 플로팅 유닛에 대해 보다 구체적으로 설명한다.
Hereinafter, the sensor floating unit of the present invention will be described in more detail.

[도 2]는 본 발명에 따른 센서 플로팅 유닛의 상면사시도이고, [도 3]은 본 발명에 따른 센서 플로팅 유닛의 측면사시도이고, [도 4]는 본 발명에 따른 센서 플로팅 유닛의 저면사시도이고, [도 5]는 본 발명에 따른 센서 플로팅 유닛의 분리사시도를 나타낸다.
2 is a top perspective view of the sensor floating unit according to the present invention, FIG. 3 is a side perspective view of the sensor floating unit according to the present invention, and FIG. 4 is a bottom perspective view of the sensor floating unit according to the present invention. 5 shows an exploded perspective view of the sensor floating unit according to the present invention.

[도 2] 내지 [도 5]를 참조하면, 본 발명은 테이블에 안착된 패널(P)의 상면에 부상된 상태로 이 패널의 길이방향을 따라 이동하면서 패널에 형성된 패터닝을 검사하는 센서 플로팅 유닛(1)에 관한 것으로, 외부의 테스트 헤드부에 연결되며, 외부로부터 에어를 받아들이는 억셉터(11)와, 이 억셉터로부터 인입된 에어를 외부로 분사하는 인젝터(12)가 구비된 상부 플레이트(10); 상부 플레이트의 하부에 일정거리 떨어져 배치되며, 상부 플레이트의 인젝터와 연결되어 에어를 받아들이는 억셉터(21)와, 이 억셉터로부터 인입된 에어를 하방으로 분사하는 복수 개의 통공이 구비되어 패널의 상면으로부터 일정거리 부상되는 하부 플레이트(20); 하부 플레이트의 통공과 연통되어 하방으로 통하는 연통공이 형성되고 하부 플레이트의 하면에 적층되어 하부 플레이트와 일체로 패널의 상면으로부터 일정거리 부상된 상태로 패널의 길이방향을 따라 이동하면서 패널에 형성된 패터닝을 검사하는 센서 플레이트(30);를 포함하여 구성된다.2 to 5, the present invention is a sensor floating unit for inspecting the patterning formed on the panel while moving along the longitudinal direction of the panel while floating on the upper surface of the panel (P) seated on the table (1), the upper plate is connected to an external test head portion, and includes an acceptor (11) for receiving air from the outside, and an injector (12) for injecting air drawn in from the acceptor to the outside. 10; It is arranged at a lower distance from the lower part of the upper plate, is connected to the injector of the upper plate acceptor 21 for receiving air, and a plurality of through-holes for injecting the air drawn from the acceptor downward is provided with an upper surface of the panel A lower plate 20 which is floated from a predetermined distance; A communication hole is formed which communicates with the through hole of the lower plate and passes downward. The patterning formed on the panel is inspected while being stacked on the lower surface of the lower plate and moving along the longitudinal direction of the panel in a state of being injured a certain distance from the upper surface of the panel integrally with the lower plate. It is configured to include a; sensor plate 30.

상부 플레이트(10)는 바람직하게 내측의 일정 부분이 빈 공간으로 구성되며, 이 빈 공간은 외부로부터 공급되는 에어가 다시 외부로 배출되는 통로가 된다.The upper plate 10 is preferably composed of a portion of the inner empty space, the empty space is a passage for the air supplied from the outside is discharged to the outside again.

본 발명의 실시예에서는 상부 플레이트(10)는 육면체의 플레이트로 구성되었으며, 원반형 또는 다양한 형태로 구성될 수 있음은 물론이다.In the embodiment of the present invention, the upper plate 10 is composed of a plate of hexahedron, and may be configured in a disc shape or various forms.

아래에서 설명하는 하부 플레이트(20), 센서 플레이트(30), 자성체 플레이트(60) 또한 다양한 형태로 구성될 수 있다.The lower plate 20, the sensor plate 30, and the magnetic plate 60 described below may also be configured in various forms.

상부 플레이트(10)에는 외부로부터 에어를 받아들이는 억셉터(11)가 복수 개 형성되며, 에어는 고압의 압축공기를 사용하는 것이 바람직하다. 또한 억셉터(11)는 외부의 에어 공급원과 호스로 연결될 수 있다. [도 2] 내지 [도 5]에서는 호스의 구성을 생략하였다.The upper plate 10 is provided with a plurality of acceptors 11 for receiving air from the outside, it is preferable to use the compressed air of high pressure. In addition, the acceptor 11 may be connected to an external air source and a hose. 2 to 5, the configuration of the hose is omitted.

억셉터(11)를 통해 상부 플레이트(10)에 인입된 공기는 억셉터(11)와 연통되는 인젝터(12)를 통해 다시 외부의 하부 플레이트(20)로 분사된다.Air introduced into the upper plate 10 through the acceptor 11 is injected back to the outer lower plate 20 through the injector 12 communicating with the acceptor 11.

하부 플레이트(20)는 상부 플레이트(10)의 하부에 일정거리 떨어져 배치되며, 상부 플레이트(10)의 인젝터(12)와 연결되어 에어를 받아들이는 억셉터(21)와, 이 억셉터(21)로부터 인입된 에어를 하방으로 분사하는 복수 개의 통공(미도시)이 구비된다.The lower plate 20 is disposed below the upper plate 10 by a predetermined distance, and is connected to the injector 12 of the upper plate 10 to accept the air and the acceptor 21, and the acceptor 21. A plurality of through holes (not shown) are provided for spraying the air drawn in from below.

하부 플레이트(20)의 하방으로 분사되는 에어는 패널의 상면에 부딪쳐 하부 플레이트를 상방으로 일정거리 부상하게 한다.Air injected downward of the lower plate 20 strikes the upper surface of the panel to cause the lower plate to rise upwards for a certain distance.

상부 플레이트(10)의 인젝터(12)와 하부 플레이트(20)의 억셉터(21)의 연결부(H)는 바람직하게 플렉시블한 호스로 구성될 수 있다. 플렉시블한 호스를 채택함으로써 얻어지는 장점은 아래의 상부 플레이트(10)와 하부 플레이트(20)의 상호 동작과정에서 보다 상세히 설명한다.The connecting portion H of the injector 12 of the upper plate 10 and the acceptor 21 of the lower plate 20 may preferably consist of a flexible hose. The advantages obtained by adopting a flexible hose are described in more detail in the course of the interaction between the upper plate 10 and the lower plate 20 below.

센서 플레이트(30)는 패널에 형성된 패터닝을 검사하며, 하부 플레이트(20)의 통공과 연통되어 하방으로 통하는 연통공이 형성되고 하부 플레이트(20)의 하면에 적층되어 하부 플레이트(20)와 일체로 패널의 상면으로부터 일정거리 부상된 상태로 패널의 길이방향을 따라 이동한다.The sensor plate 30 inspects the patterning formed in the panel. The sensor plate 30 communicates with the through hole of the lower plate 20 to form a communication hole downward. The sensor plate 30 is stacked on the lower surface of the lower plate 20 to be integrated with the lower plate 20. Move along the length of the panel with a certain distance from the top of the

즉, 하부 플레이트(20)의 하부에 센서 플레이트(30)가 적층되어 일체로 연결되기 때문에 센서 플로팅 유닛(1)과 패널 사이의 이격거리는 보다 구체적으로 센서 플레이트(30)와 패널 사이의 이격거리(대략 100 미크론 정도) 라고 할 수 있다.That is, since the sensor plate 30 is stacked and integrally connected to the lower part of the lower plate 20, the separation distance between the sensor floating unit 1 and the panel is more specifically the separation distance between the sensor plate 30 and the panel ( Approximately 100 microns).

하부 플레이트(20)의 통공과 센서 플레이트(30)의 연통공은 각각 다수의 미세공으로 구성됨이 바람직하며, 센서 플레이트(30)의 연통공은 전 범위에 걸쳐 고르게 분포됨이 바람직하다.The through hole of the lower plate 20 and the communication hole of the sensor plate 30 are preferably composed of a plurality of micropores, and the communication hole of the sensor plate 30 is preferably evenly distributed over the entire range.

센서 플레이트(30)의 하방으로 분사되는 에어가 패널의 상면에 고르게 분사되고 이 패널로부터 반사되는 에어의 힘이 센서 플레이트(30)의 하면에 고르게 전달되어 센서 플레이트(30)의 수평이 보다 정밀하게 유지될 수 있게 된다.
Air injected downward of the sensor plate 30 is evenly sprayed on the upper surface of the panel and the force of air reflected from the panel is evenly transmitted to the lower surface of the sensor plate 30 so that the horizontality of the sensor plate 30 is more precise. Can be maintained.

[도 3],[도 5]를 참조하면, 상부 플레이트(10)와 하부 플레이트(20) 사이에는 프레임(40)이 배치되어 상부 플레이트(10)와 하부 플레이트(20)를 상호 지지하게 된다.3 and 5, the frame 40 is disposed between the upper plate 10 and the lower plate 20 to support the upper plate 10 and the lower plate 20.

또한, 이 프레임(40)은 하부 플레이트(20)가 패널의 상면으로부터 부상되는 거리에 따라 이 하부 플레이트(20)의 상하방 스트로크를 가이드하게 된다.In addition, the frame 40 guides the upper and lower strokes of the lower plate 20 according to the distance from which the lower plate 20 rises from the upper surface of the panel.

하부 플레이트(20)와 센서 플레이트(30)를 연통하여 하방으로 분사되는 에어가 패널에 부딪친 후, 부상하는 에어의 힘에 의해 센서 플로팅 유닛(1)과 패널의 이격거리를 결정하게 되는데, 패널에 부딪친 후, 부상하는 에어는 하부 플레이트(20)와 센서 플레이트(30) 만을 상방으로 부상시키게 된다.After the air injected downward through the lower plate 20 and the sensor plate 30 hit the panel, the separation distance between the sensor floating unit 1 and the panel is determined by the force of the rising air. After colliding, the floating air will float only the lower plate 20 and the sensor plate 30 upward.

이 경우 하부 플레이트(20)와 센서 플레이트(30)는 일체로 프레임(40)의 하단부 주벽을 따라 상방으로 이동하게 되며, 에어의 공급이 종료되면 다시 프레임(40)의 주벽을 따라 하방으로 이동하는 스트로크를 하게 된다.In this case, the lower plate 20 and the sensor plate 30 are integrally moved upwardly along the lower wall of the lower end of the frame 40. When the air supply is completed, the lower plate 20 and the sensor plate 30 are downwardly moved along the peripheral wall of the frame 40 again. Make a stroke.

이처럼, 상부 플레이트(10)와 하부 플레이트(20)는 상호 간 이격거리가 좁아지고 다시 커짐을 반복하게 되므로 상기에서 설명한 상부 플레이트(10)의 인젝터(12)와 하부 플레이트(20)의 억셉터(21)의 연결부(H)는 플렉시블한 호스로 구성됨이 바람직하다.As such, since the separation distance between the upper plate 10 and the lower plate 20 becomes narrower and larger again, the acceptor of the injector 12 and the lower plate 20 of the upper plate 10 described above ( The connecting portion H of the 21 is preferably composed of a flexible hose.

또한, 프레임(40)의 주벽 하단부에는 단차부가 형성되어 하부 플레이트(20)와 센서 플레이트(30)가 프레임(40)의 주벽을 따라 상방으로 이동하는 상한선을 제한하게 된다.In addition, a stepped portion is formed at the lower end of the main wall of the frame 40 to limit the upper limit of the lower plate 20 and the sensor plate 30 to move upward along the main wall of the frame 40.

하부 플레이트(20)의 상방 스트로크 거리와 스트로크되는 하부 플레이트(20)의 수평을 측정하는 센서부(50)가 하부 플레이트(20)의 상부에 복수 개 배치된다.A plurality of sensor units 50 for measuring the upper stroke distance of the lower plate 20 and the horizontality of the lower plate 20 to be stroked are disposed on the upper portion of the lower plate 20.

바람직하게 센서부(50)는 프레임(40)의 측벽에 부착되며, 보다 상세하게 센서부(50)가 배치되는 상하방 위치를 조정할 수 있도록 그립블록(70)이 센서부(50)를 탈착 가능하게 그립한 후, 그립블록(70) 자체가 프레임(40)의 측벽에 장착된다.Preferably, the sensor unit 50 is attached to the side wall of the frame 40, and the grip block 70 can detach the sensor unit 50 to adjust the up and down position where the sensor unit 50 is disposed in more detail. After the grip, the grip block 70 itself is mounted on the side wall of the frame 40.

그립블록(70)에는 센서부(50)를 탈착 가능하게 그립하는 그립부가 형성될 수 있다.The grip block 70 may be provided with a grip unit for detachably gripping the sensor unit 50.

센서부(50)와 하부 플레이트(20)의 사이에 대응하는 하부 플레이트(20)의 상면에는 센서부(50)로부터 위치가 센싱되는 자성체 플레이트(60)가 적층되어 하부 플레이트(20)와 일체로 연결되는데, 센서부(50)가 보다 정밀한 센싱을 하기 위해 자성체 플레이트(60)를 하부 플레이트(20)의 상면에 적층하게 된다.On the upper surface of the lower plate 20 corresponding to the space between the sensor unit 50 and the lower plate 20, a magnetic plate 60 whose position is sensed from the sensor unit 50 is stacked to be integral with the lower plate 20. Is connected, the sensor unit 50 is to stack the magnetic plate 60 on the upper surface of the lower plate 20 for more precise sensing.

이로 인해, 프레임(40)의 주벽을 따라 상하방으로 스트로크되는 구성을 보다 구체적으로 설명하면, 자성 플레이트(60)와, 자성 플레이트(60)의 하면에 배치된 하부 플레이트(20)와, 하부 플레이트(20)의 하면에 배치된 센서 플레이트(30)가 일체로 프레임(40)의 주벽을 따라 상하방으로 이동하도록 배치될 수도 있다.For this reason, when the structure which is stroked up and down along the main wall of the frame 40 is demonstrated more concretely, the magnetic plate 60, the lower plate 20 arrange | positioned at the lower surface of the magnetic plate 60, and the lower plate The sensor plate 30 disposed on the lower surface of the 20 may be disposed to move up and down along the main wall of the frame 40 integrally.

센서부(50)는 센싱에 의해 자성 플레이트(60)와의 이격거리를 측정함으로써 패널과 센서 플레이트(30)의 이격거리를 감지할 수 있고, 이렇게 감지된 데이터는 외부의 제어부에 전송되어 패널과 센서 플레이트(30)의 이격거리를 감시하며, 편차가 발생할 경우 그에 대응하여 에어의 분사압을 조정할 수 있게 된다.The sensor unit 50 may detect the separation distance between the panel and the sensor plate 30 by measuring the separation distance from the magnetic plate 60 by sensing, and the detected data is transmitted to an external control unit to detect the panel and the sensor. The separation distance of the plate 30 is monitored, and if a deviation occurs, it is possible to adjust the injection pressure of air correspondingly.

센서부(50)는 외부의 제어부와 유선/무선으로 선택적으로 구성될 수 있다.The sensor unit 50 may be selectively configured as an external control unit and wired / wireless.

[도 2] 내지 [도 5]의 도면부호 80은 고정블록으로서, 자성 플레이트와 하부 플레이트의 양측벽을 상호 대향하는 방향에서 동시에 클램핑함으로써 자성 플레이트와 하부 플레이트의 적층 구조를 보다 견고하게 유지할 수 있다.
Reference numeral 80 of FIGS. 2 to 5 denotes a fixed block, which simultaneously maintains the laminated structure of the magnetic plate and the lower plate by clamping both side walls of the magnetic plate and the lower plate in opposite directions. .

[도 2] 내지 [도 5]의 도면부호 C는 센서 플레이트, 프레임에 대한 스트로크 검사 신호를 외부의 제어부와 송수신하는 게이트 PCB를 나타내고, 도면부호 T는 PCB를 장착하기 위한 브라켓을 나타낸다.
2 to 5 denotes a gate PCB for transmitting and receiving a stroke test signal for a sensor plate and a frame to an external controller, and a reference numeral T denotes a bracket for mounting the PCB.

[도 1],[도 5]를 참조하여, 본 발명인 센서 플로팅 유닛이 작동되는 과정을 설명하면 다음과 같다.Referring to FIG. 1 and FIG. 5, the process of operating the present invention, the sensor floating unit is as follows.

먼저, 테이블(6)에 패널(P)이 안착된 후, 갠트리 브릿지(4)에 대응하는 부분에 패널(P)의 일단부가 정렬되고, 이어 테이블(6)의 길이 방향을 따라 패널(P)이 똑바로 이동할 수 있도록 센터링 과정을 거친다.First, after the panel P is seated on the table 6, one end of the panel P is aligned with the portion corresponding to the gantry bridge 4, and then the panel P is along the longitudinal direction of the table 6. The centering process is performed to move this straight.

그리고, 갠트리 브릿지(4)에 장착된 헤드부 이송수단(3a,3b)이 갠트리 브릿지(4)의 길이 방향을 따라 패널(P)의 폭에 대응되게 이동하여 펼쳐진다.Then, the head transfer means (3a, 3b) mounted on the gantry bridge (4) is moved and spread corresponding to the width of the panel (P) along the longitudinal direction of the gantry bridge (4).

이어서 상부 헤드부 이송수단(3a)으로부터 하부 헤드부 이송수단(3b)에 하방으로 일정거리 이동하여 하부 헤드부 이송수단(3b)의 하부에 장착된 센서 플로팅 유닛(1)이 테이블(6)에 안착된 패널(P)의 상면에 밀착된다.Subsequently, the sensor floating unit 1 mounted on the lower portion of the lower head portion transfer means 3b is moved to the table 6 by moving a predetermined distance downward from the upper head portion transfer means 3a to the lower head portion transfer means 3b. It is in close contact with the upper surface of the panel P seated.

이 경우 보다 상세하게는 센서 플레이트(30)의 하면이 패널(P)의 상면에 밀착된다.In this case, in detail, the lower surface of the sensor plate 30 is in close contact with the upper surface of the panel P.

센서 플레이트(30)와 패널(P)의 상면이 밀착된 상태에서 센서 플레이트(30)의 하면으로부터 기설정된 분사압에 따른 에어가 분사된다.In the state where the sensor plate 30 and the upper surface of the panel P are in close contact with each other, air is injected from the lower surface of the sensor plate 30 according to a predetermined injection pressure.

이렇게 분사된 에어는 패널(P)의 상면에 부딪치고, 패널(P)의 상면으로부터 상방으로 반사되는 에어는 센서 플레이트(30)의 하면을 상방으로 밀어 내게 된다.The injected air hits the upper surface of the panel P, and the air reflected upward from the upper surface of the panel P pushes the lower surface of the sensor plate 30 upward.

센서 플레이트(30)가 에어의 반사에 따라 하방으로부터 받는 힘은 센서 플레이트(30), 하부 플레이트(20), 자성체 플레이트(60)는 일체로 연결되어 구성되므로 센서 플레이트(30), 하부 플레이트(20), 자성체 플레이트(60)를 동시에 상방으로 일정거리 부상시킨다.The force that the sensor plate 30 receives from the lower side according to the reflection of the air is configured as the sensor plate 30, the lower plate 20, and the magnetic plate 60 are integrally connected, so that the sensor plate 30 and the lower plate 20 ), The magnetic plate 60 is simultaneously floated upwards a certain distance.

센서 플레이트(30), 하부 플레이트(20), 자성체 플레이트(60)가 상방으로 부상되는 경우 프레임(40)의 주벽을 따라 일정 거리 이동하게 된다.When the sensor plate 30, the lower plate 20, and the magnetic plate 60 are lifted upwards, the sensor plate 30, the lower plate 20, and the magnetic plate 60 are moved a predetermined distance along the circumferential wall of the frame 40.

센서 플레이트(30), 하부 플레이트(20), 자성체 플레이트(60)가 프레임(40)의 주벽을 따라 이동되면, 센서부(50)는 자성체 플레이트(60)의 상면에 대한 현재 위치를 감지함으로써, 센서 플레이트(30)의 하면과 패널(P)의 상면이 이격된 거리를 센싱할 수 있게 된다.When the sensor plate 30, the lower plate 20, and the magnetic plate 60 move along the circumferential wall of the frame 40, the sensor unit 50 senses a current position of the upper surface of the magnetic plate 60, The distance between the bottom surface of the sensor plate 30 and the top surface of the panel P may be sensed.

이렇게 센싱된 데이터는 외부의 제어부에 전송되어 패널(P)과 센서 플레이트(30)의 이격거리를 감시하게 되고, 편차가 발생할 경우 그에 대응하여 에어의 분사압을 조정할 수 있게 된다.The sensed data is transmitted to an external control unit to monitor the separation distance between the panel P and the sensor plate 30, and when the deviation occurs, the injection pressure of the air can be adjusted accordingly.

패널(P)과 센서 플레이트(30)의 이격거리는 매우 작은 대략 100 미크론 정도이기 때문에 위와 같이 감시하고, 그에 따라 주기적으로 에어 분사압을 조정하여 보정할 수 있으므로 패널(P)에 형성된 패터닝의 테스트 수율을 현저히 높일 수 있게 된다.
Since the separation distance between the panel P and the sensor plate 30 is about 100 microns, which is very small, it can be monitored as described above, and the test yield of patterning formed in the panel P can be corrected by adjusting the air injection pressure periodically accordingly. Can be increased significantly.

1 : 본 발명인 센서 플로팅 유닛 2 : 테스트 헤드부
3a,3b : 헤드부 이송수단 4 : 갠트리 브릿지
5 : LM 가이드 6 : 테이블
10 : 상부 플레이트 11 : 억셉터
12 : 인젝터 20 : 하부 플레이트
21 : 억셉터 30 : 센서 플레이트
40 : 프레임 50 : 센서부
60 : 자성 플레이트 70 : 그립블록
80 : 고정블록 T : 브라켓
C : PCB P : 패널
H : 연결부DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inventor's sensor floating unit 2: Test head part
3a, 3b: head portion transfer means 4: gantry bridge
5: LM Guide 6: Table
10: upper plate 11: acceptor
12: injector 20: lower plate
21: acceptor 30: sensor plate
40: frame 50: sensor
60: magnetic plate 70: grip block
80: fixed block T: bracket
C: PCB P: Panel
H: Connection part

Claims (5)

테이블에 안착된 패널의 상면에 부상된 상태로 이 패널의 길이방향으로 이동하면서 상기 패널에 형성된 패터닝을 검사하는 센서 플로팅 유닛으로,
외부의 테스트 헤드부에 연결되며, 외부로부터 에어를 받아들이는 억셉터와, 이 억셉터로부터 인입된 에어를 외부로 분사하는 인젝터를 구비한 상부 플레이트(10);
상기 상부 플레이트의 하부에 일정거리 떨어져 배치되며, 상기 상부 플레이트의 인젝터와 연결되어 에어를 받아들이는 억셉터와, 이 억셉터로부터 인입된 에어를 하방으로 분사하는 복수 개의 통공이 구비되어 상기 패널의 상면으로부터 일정거리 부상되는 하부 플레이트(20);
상기 하부 플레이트의 통공과 연통되어 하방으로 통하는 연통공이 형성되고 상기 하부 플레이트의 하면에 적층되어 상기 하부 플레이트와 일체로 상기 패널의 상면으로부터 일정거리 부상된 상태로 상기 패널의 길이방향을 따라 이동하면서 상기 패널에 형성된 패터닝을 검사하는 센서 플레이트(30);
상기 상부 플레이트와 상기 하부 플레이트를 상호 지지하며, 상기 하부 플레이트가 상기 패널의 상면으로부터 부상되는 거리에 따라 이 하부 플레이트의 상하방 스트로크를 가이드하는 프레임(40);
을 포함하여 구성되는 센서 플로팅 유닛.
A sensor floating unit that inspects the patterning formed on the panel while moving in the longitudinal direction of the panel while floating on the upper surface of the panel seated on the table.
An upper plate 10 connected to an external test head and having an acceptor for receiving air from the outside and an injector for injecting air drawn from the acceptor to the outside;
The panel is disposed below the upper plate at a predetermined distance, and includes an acceptor connected to the injector of the upper plate to receive air, and a plurality of through holes for injecting air drawn in from the acceptor downward. A lower plate 20 which is floated from a predetermined distance;
Communication holes communicating with the through-holes of the lower plate are formed downwardly and are laminated on the lower surface of the lower plate and move along the longitudinal direction of the panel in a state of being injured for a predetermined distance from the upper surface of the panel integrally with the lower plate. A sensor plate 30 for inspecting patterning formed on the panel;
A frame 40 which mutually supports the upper plate and the lower plate and guides the upper and lower strokes of the lower plate according to a distance from which the lower plate rises from the upper surface of the panel;
Sensor floating unit configured to include.
삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 하부 플레이트의 상부에 복수 개 배치되어 상기 하부 플레이트의 상방 스트로크 거리와 스트로크되는 상기 하부 플레이트의 수평을 측정하는 센서부(50);
를 더 포함하여 구성되는 센서 플로팅 유닛.
The method according to claim 1,
A plurality of sensor units 50 disposed on an upper portion of the lower plate to measure an upper stroke distance of the lower plate and a horizontal level of the lower plate to be stroked;
The sensor floating unit is configured to further include.
청구항 3에 있어서,
상기 센서부와 상기 하부 플레이트의 사이에 대응하는 상기 하부 플레이트의 상면에는 상기 센서부로부터 위치가 센싱되는 자성체 플레이트(60)가 적층되어 상기 하부 플레이트와 일체로 연결된 것을 특징으로 하는 센서 플로팅 유닛.
The method according to claim 3,
And a magnetic plate (60) whose position is sensed from the sensor unit is stacked on the upper surface of the lower plate corresponding to the space between the sensor unit and the lower plate and integrally connected to the lower plate.
청구항 4에 있어서,
상기 센서부를 탈착 가능하게 그립하는 그립부가 형성되며 이 그립부에 상기 센서부를 그립한 상태로 상기 프레임의 측벽에 탈착 가능하게 연결되는 그립블록(70)이 구비된 것을 특징으로 하는 센서 플로팅 유닛.The method of claim 4,
And a grip part for detachably gripping the sensor part, and a grip block (70) detachably connected to a side wall of the frame in a state in which the grip part is gripped.
KR1020110044834A 2011-05-12 2011-05-12 Sensor floating unit KR101068083B1 (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH10160630A (en) 1996-11-29 1998-06-19 Micronics Japan Co Ltd Tray stocking unit for liquid crystal panel inspection system
KR100662239B1 (en) 2005-09-21 2006-12-28 주식회사 파이컴 Inspecting stage of apparatus for inspecting liquid crystal display panel

Patent Citations (2)

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