KR101062045B1 - 수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템 및 그 제어방법 - Google Patents

수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템 및 그 제어방법 Download PDF

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Abstract

수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템 및 그 제어방법에 대한 발명이 개시된다. 개시된 수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템은: 생산장비를 냉각하는 공정용 냉각수가 회수되는 베이스탱크와, 공정용 냉각수가 흐르도록 베이스탱크와 생산장비를 연결하는 관로부재와, 관로부재를 따라 흐르는 공정용 냉각수를 냉각시키는 메인열교환기 및 메인열교환기의 정지시 작동하여 관로부재에 냉각된 예비냉각수를 공급하는 수축열저장부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
Figure R1020080125119
수축열저장부, 예비냉각수, 공정용 냉각수, 수축열탱크, 냉각장치

Description

수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템 및 그 제어방법{TEMPERATURE CONSERVING SYSTEM FOR PROCESS COOLING WATER USING CHILLED WATER AND CONTROL METHOD THEREOF}
본 발명은 수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템 및 그 제어방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 순간 정전에 의한 공정용 냉각수의 온도 상승시 수축열탱크에 저장된 예비냉각수를 관로부재에 공급하여 생산장비의 손상을 방지하는 수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템 및 그 제어방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체의 생산장비에는 산화공정에 사용되는 장비를 포함하여 고온의 열이 발열되는 장비들이 다수 구비된다.
정상적인 반도체 공정의 진행을 위하여 생산장비는 일정 온도 이하로 냉각이 이루어져야 하며, 이를 위하여 공정용 냉각수를 이용하여 생산장비를 냉각하게 된다.
공정용 냉각수는 칠러(CHILLER)라고 불리우는 냉각장치에 의하여 설정된 온도로 냉각되어 생산장비로 공급된다.
전술한 발명은 본 발명이 속하는 기술분야의 배경기술을 의미하며, 종래 기술을 의미하는 것은 아니다.
종래의 냉각장치는 순간 정전시에 다운되어 냉각기능을 수행하지 못한다. 따라서 공정용 냉각수는 온도가 상승한 상태로 생산장비에 공급되므로 생산장비는 고온에 의해 손상이 발생한다. 따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.
본 발명은 상기와 같은 필요성에 의해 창출된 것으로서, 순간정전 등에 의하여 냉각장치의 작동이 중지되어 공정용 냉각수의 온도가 상승하므로 생산장비가 손상되는 것을 방지할 수 있는 수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템 및 그 제어방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명에 따른 수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템은: 생산장비를 냉각하는 공정용 냉각수가 회수되는 베이스탱크와, 서로 다른 온도의 상기 공정용 냉각수가 흐르도록 상기 베이스탱크와 상기 생산장비를 연결하는 복수개의 관로부재와, 상기 복수개의 관로부재를 따라 흐르는 상기 공정용 냉각수를 냉각시키는 복수개의 메인열교환기 및 냉각된 예비냉각수를 공급하는 수축열저장부를 포함하되, 상기 복수개의 관로부재 중 하나의 관로부재는 일단부가 상기 수축열저장부에 연결되며, 타단부는 상기 복수개의 관로부재 중 하나의 관로부재에 공통연결된 관로부재이고, 상기 공통연결된 관로부재를 흐르는 예비냉각수의 온도는 공정용 냉각수의 온도보다 낮고, 상기 복수개의 관로부재를 흐르는 공정용 냉각수의 온도는 서로 다른 것을 특징으로 한다.
또한 베이스탱크에서 상기 공통연결된 관로부재로 흐르는 유량을 제어하는 제1밸브부재와, 수축열저장부에서 공통연결된 관로부재로 흐르는 유량을 제어하는 제2밸브부재 및 제1밸브부재와 제2밸브부재를 제어하는 컨트롤부재를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 복수개의 관로부재에 각각 설치되어 공정용 냉각수의 온도를 측정하는 온도센서부재를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 복수개의 관로부재 각각에는 공정용 냉각수의 흐름을 강제하는 펌프부재와, 공정용 냉각수에 함유된 이물질을 제거하는 필터부재 및 관로부재를 따라 흐르는 공정용 냉각수의 온도를 가변시키는 상기 메인열교환기가 설치되며, 상기 메인열교환기는 메인냉각기와 연결되어 저온의 냉매를 공급받고, 복수개의 관로부재 각각에는 다른 온도의 냉매가 공급되어 서로 다른 온도의 공정용 냉각수가 흐르는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 복수개의 관로부재 중 상기 수축열저장부에 연결된 공통 관로부재에는 제일 낮은 온도의 공정용 냉각수가 흐르는 것을 특징으로 한다.
또한 수축열저장부는, 예비냉각수가 저장되는 수축열탱크 및 수축열탱크와 연결되어 예비냉각수를 냉각하는 냉각장치를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 수축열탱크와 연결된 냉각장치의 입구노즐과 출구노즐은 대각선 방향으로 설치되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템의 제어방법은: 수축열탱크에 저온의 예비냉각수가 저장되는 단계와, 베이스탱크에 공정용 냉각수가 저장되는 단계와, 생산장비를 냉각하는 공정용 냉각수를 복수개의 관로부재를 통해 공급하는 단계와, 생산장비를 냉각하는 공정용 냉각수의 온도가 설정값 이상으로 상승되었는지 비교하는 단계와, 상기 공정용 냉각수의 온도가 설정값 이상이면 상기 예비냉각수를 상기 공정용 냉각수가 흐르는 복수개의 관로부재 중 상기 수축열 탱크에 공통연결된 하나의 관로부재에 공급하는 단계를 포함하되, 상기 공통연결된 하나의 관로부재를 따라 흐르는 예비냉각수의 온도는 상기 공정용 냉각수의 온도보다 낮고, 상기 복수개의 관로부재를 흐르는 공정용 냉각수의 온도는 서로 다른 것을 특징으로 한다.
또한 예비냉각수의 온도는 공정용 냉각수의 온도보다 2도 내지 5도가 낮은 것이 바람직하다.
또한 복수개의 관로부재 각각에는 공정용 냉각수의 흐름을 강제하는 펌프부재와, 공정용 냉각수에 함유된 이물질을 제거하는 필터부재 및 관로부재를 따라 흐르는 공정용 냉각수의 온도를 가변시키는 상기 메인열교환기가 설치되며, 상기 메인열교환기는 메인냉각기와 연결되어 저온의 냉매를 공급받고, 복수개의 관로부재 각각에는 다른 온도의 냉매가 공급되어 서로 다른 온도의 공정용 냉각수가 흐르는 것을 특징으로 한다.
또한 예비냉각수를 공급하는 단계에서 예비냉각수가 상기 공통연결된 관로부재에 도달하는 것과 동시에 공정용 냉각수의 차단이 이루어지는 것이 바람직하다.
또한 예비냉각수를 공급한 후에 메인열교환기가 정상 작동하여 공정용 냉각수의 온도가 정상화되면 예비냉각수의 공급을 차단하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한 공정용 냉각수를 공급하는 단계에서 공정용 냉각수가 상기 공통연결된 관로부재에 도달하는 것과 동시에 예비냉각수의 차단이 이루어지는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 공정용 냉각수의 온도유지 시스템 및 그 제어방법은 순간정전 등에 의하여 메인냉각기가 정지될 때, 수축열저장부에 저장된 예비냉각수를 관로부재에 공급하여 생산장비의 손상을 방지하여 유지보수 비용을 절감하는 것이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템 및 그 제어방법의 일 실시예를 설명한다. 설명의 편의를 위해 반도체 생산라인에 설치되는 수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템 및 그 제어방법을 예로 들어 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템을 개략적으로 도시한 블럭도이며, 도 2는 도 1에 도시된 수축열저장부가 동작되는 상태를 도시한 블럭도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템의 제어방법을 도시한 순서도이다.
도 1과 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 수축열을 이용한 공정용 냉각수(22)의 온도유지 시스템은, 생산장비(24)를 냉각하는 공정용 냉각수(22)가 회수되는 베이스탱크(20)와, 공정용 냉각수(22)가 흐르도록 베이스탱크(20)와 생산장비(24)를 연결하는 관로부재(30)와, 관로부재(30)를 따라 흐르는 공정용 냉각수(22)를 냉각시키는 메인열교환기(50) 및 메인열교환기(50)의 정지시 작동하여 관로부재(30)에 냉각된 예비냉각수(9)를 공급하는 수축열저장부(1)를 포함한다.
수축열저장부(1)는, 예비냉각수(9)가 저장되는 수축열탱크(3) 및 수축열탱크(3)와 연결되어 예비냉각수(9)를 냉각하는 냉각장치(5)를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 의한 냉각장치(5)는 반도체 생산라인에서 안정적인 공정제어를 하기 위한 온도장치인 칠러(Chiller)가 사용된다.
수축열탱크(3)와 연결된 냉각장치(5)의 입구노즐(8)과 출구노즐(7)은 대각선 방향으로 설치된다.
냉각장치(5)는 수축열탱크(3) 내측에 저장된 실온 상태의 예비냉각수(9)를 7도 내지 8도로 냉각한다. 이때, 입구노즐(8)과 출구노즐(7)이 대각선 방향으로 이 격되어 최대한 멀리 설치되므로, 수축열탱크(3) 내측의 예비냉각수(9)는 최대한 빠르고 균일하게 냉각된다.
바람직하게, 입구노즐(8)은 수축열탱크(3)의 일측 상부에 설치되어 비교적 온도가 높은 예비냉각수(9)를 흡입하여 냉각장치(5)로 이송하며, 냉각장치(5)에서 토출되는 냉각된 예비냉각수(9)는 수축열탱크(3)의 타측 하부에 설치되는 출구노즐(7)을 통해 수축열탱크(3) 내측으로 토출된다.
베이스탱크(20)에 회수된 공정용 냉각수(22)를 생산장비(24)로 이송하는 관로부재(30)는 복수개를 관로부재(32,34,36)을 포함하며, 각각의 관로부재(32,34,36)에는 서로 다른 온도의 공정용 냉각수(22)가 흐른다.
생산장비(24)에는 냉각이 필요한 다수의 장치가 설치되며, 각 장치별로 방열을 위하여 공급되는 공정용 냉각수(22)의 온도가 상이하다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 생산장비(24)에 공급되는 공정용 냉각수(22)의 온도는 10도와 13도와 15도가 요구되며, 이를 위하여 관로부재(30)는 3개의 관로부재(32,34,36)를 포함한다.
각각의 관로부재(32,34,36)에는 공정용 냉각수(22)의 온도를 측정하는 온도센서부재(16)가 설치되어 공정용 냉각수(22)의 온도 상승을 체크한다.
또한 각각의 관로부재(32,34,36)에는 공정용 냉각수(22)의 흐름을 강제하는 펌프부재(40)와, 공정용 냉각수(22)에 함유된 이물질을 제거하는 필터부재(42) 및 관로부재(30)를 따라 흐르는 공정용 냉각수(22)의 온도를 가변시키는 메인열교환기(50)가 설치된다.
메인열교환기(50)는 메인냉각기(52)와 연결되어 저온의 냉매를 공급받으며, 각각의 관로부재(32,34,36) 별로 다른 온도의 냉매가 공급된다.
복수개의 관로부재(32,34,36) 중에서 제일 낮은 온도의 공정용 냉각수(22)가 흐르는 관로부재(32), 즉 10도의 공정용 냉각수(22)가 공급되는 관로부재(32)에는 수축열저장부(1)가 연결된다.
베이스탱크(20)에서 상기 관로부재(32)로 흐르는 유량을 제어하는 제1밸브부재(12)와, 수축열저장부(1)에서 상기 관로부재(32)로 흐르는 유량을 제어하는 제2밸브부재(14)가 구비된다.
온도센서부재(16)와 연결되어 측정값을 전달받는 컨트롤부재(10)는 제1밸브부재(12)와 제2밸브부재(14)의 동작을 제어한다.
정전시에 메인냉각기(52)가 정지되는 것에 의하여 수축열탱크(3)에 저장된 예비냉각수(9)가 상기 관로부재(32)로 공급될 때, 상기 관로부재(32)에 의해 예비냉각수(9)의 온도가 상승하는 것을 고려하여 예비냉각수(9)의 온도는 공정용 냉각수(22)의 온도보다 2도 내지 5도가 낮은 것이 바람직하다.
즉, 공정용 냉각수(22)의 온도가 10도로 공급되는 것이 요구될 때, 예비냉각수(9)는 7도 또는 8도의 온도로 저장되며, 이는 수축열탱크(3)와 관로부재(32)를 연결하는 관로의 길이나 재질 등에 의하여 변화된다.
또한, 공정용 냉각수(22)의 공급온도 및 예비냉각수(9)의 저장온도의 수치는 본 발명의 일 실시예에 의한 것일 뿐, 본 발명의 기술사상 안에서 다양한 변화가 가능할 것이다.
이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템의 제어방법을 상세히 설명한다.
도 1과 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 수축열을 이용한 공정용 냉각수(22)의 온도유지 시스템의 제어방법은, 수축열탱크(3)에 저온의 예비냉각수(9)가 저장되는 단계를 갖게 된다.(S10)
수축열저장부(1)에 구비된 냉각장치(5)는 예비냉각수(9)가 인입되는 평균 온도인 25도를 설정온도까지 낮추는데 약 24시간이 소요되도록 하여, 냉각장치(5)를 소형화하였다.
예비냉각수(9)는 수축열탱크(3)에서 나와서 관로부재(32)에 도달하기 전에 관로를 따라 흐르면서 발생되는 1차 열손실과, 온도가 상승된 공정용 냉각수(22)와 혼합되면서 발생되는 2차 열손실을 고려하여, 수축열탱크(3)에 저장시 공급되기 위한 공정용 냉각수(22)의 온도보다 낮은 온도로 저장된다.
예를 들면, 공정용 냉각수(22)의 온도는 10도가 요구되는 경우, 순간정전 등에 의하여 공정용 냉각수(22)의 온도는 13도로 상승하기에 예비냉각수(9)는 공정용 냉각수(22)의 온도보다 2도 내지 5도가 낮은 온도인 7도 또는 8도로 저장된다.
컨트롤부재(10)의 제어에 의해 제1밸브부재(12)는 개방되어 베이스탱크(20)의 공정용 냉각수(22)가 관로부재(30)를 따라 생산장비(24)로 공급되며, 생산장비(24)를 냉각시킨 공정용 냉각수(22)는 회수관로(26)를 따라 베이스탱크(20)로 회수된다.
온도센서부재(16)와 연결된 컨트롤부재(10)에서는 생산장비(24)를 냉각하는 공정용 냉각수(22)의 온도가 설정값 이상으로 상승되었는지 비교하는 단계를 갖게 된다.(S20)
예를 들어 공정용 냉각수(22)에 요구되는 온도는 10도이며, 온도센서부재(16)에서 감지된 온도는 14도일 경우, 컨트롤부재(10)는 공정용 냉각수(22)의 온도가 13도로 설정된 설정값 보다 높은지 낮은지 비교 판단한다.
공정용 냉각수(22)의 온도가 설정값 이상이면 예비냉각수(9)를 공정용 냉각수(22)가 흐르는 관로부재(32)에 공급하는 단계를 갖게 된다.(S30)
공정용 냉각수(22)의 온도가 13도로 설정된 설정값 보다 높다고 판단하면, 제1밸브부재(12)를 닫고 제2밸브부재(14)를 열어서 예비냉각수(9)가 관로부재(32)로 공급되도록 한다.
예비냉각수(9)를 공급하는 단계에서 예비냉각수(9)가 관로부재(32)에 도달하는 것과 동시에 공정용 냉각수(22)의 차단이 이루어지는 것이 바람직하다.
제2밸브부재(14)를 열어 예비냉각수(9)를 공급한다 하여도, 수축열탱크(3)에서 관로부재(32)로 공급되는 시간이 필요하기에, 제2밸브부재(14)가 개방된 직후의 몇초간의 대기시간 동안에는 제1밸브부재(12)를 개방한다.
또한 관로부재(30)는 복수개의 관로부재(32,34,36)를 포함하며, 각각의 관로부재(32,34,36)에는 서로 다른 온도의 공정용 냉각수(22)가 흐르며, 제일 낮은 온도의 공정용 냉각수(22)가 흐르는 관로에 예비냉각수(9)가 공급되는 것이 바람직하다.
도 2에 도시된 바와 같이, 예비냉각수(9)는 제일 낮은 온도의 공정용 냉각수(22)가 공급되기 위한 관로부재(32)로 공급된 후에 생산장비(24)와 회수관로(26)를 통해 베이스탱크(20)로 회수된다.
베이스탱크(20)로 회수된 예비냉각수(9)는 기존에 저장된 공정용 냉각수(22)와 혼합되어 공정용 냉각수(22)의 온도가 상승하는 것을 저지하며, 13도와 15도의 공정용 냉각수(22)가 공급되는 관로부재(34,36)에는 베이스탱크(20)의 공정용 냉각수(22)가 그대로 공급된다.
공정용 냉각수(22)의 온도가 설정값 이상으로 올라가는 경우는, 정전 등에 의하여 메인냉각기(52)가 다운되어 메인열교환기(50)의 동작이 제대로 이루어지지 않을 경우에 해당한다.
메인냉각기(52)에 전기가 다시 들어와도 메인열교환기(50)로 냉매를 보내기 위해서는 20 내지 30분의 시간이 소요되며, 메인열교환기(50)의 정상 작동 이전까지 예비냉각수(9)의 공급이 지속적으로 이루어진다.
예비냉각수(9)를 공급한 후에 메인열교환기(50)가 정상 작동하여 공정용 냉각수(22)의 온도가 정상화되었는지 비교판단 하는 단계를 갖게 된다.(S40)
이를 위하여 모든 관로부재(32,34,36)에는 온도를 측정하기 위한 센서부재가 추가로 설치되는 등 다양한 계측장비를 통해 공정용 냉각수(22)의 온도가 정상화되었는지 여부를 판단하게 된다.
공정용 냉각수(22)의 온도가 정상화되면 예비냉각수(9)의 공급을 차단하는 단계를 갖게 된다.(S50)
공정용 냉각수(22)를 공급하는 단계에서도 공정용 냉각수(22)가 관로부재(32)에 도달하는 것과 동시에 예비냉각수(9)의 차단이 이루어진다.
제1밸브부재(12)를 열어 예비냉각수(9)를 공급한다 하여도, 베이스탱크(20)에서 관로부재(32)로 공급되는 시간이 필요하기에, 제1밸브부재(12)가 개방된 직후의 몇초 간의 대기시간 동안에는 제2밸브부재(14)를 개방한다.
반도체 생산라인에 공급되는 공정용 냉각수(22)는 일정한 온도와 압력을 유지하는 것이 핵심기술로, 공정용 냉각수(22)의 온도는 일정하다 하여도 압력이 상승하면 생산장비(24)가 다운되는 요인이 된다. 때문에 관로부재(32)의 내측에는 항상 일정한 압력으로 공정용 냉각수(22) 또는 예비냉각수(9)가 공급되어야 하며, 이를 위하여 제1밸브부재(12)와 제2밸브부재(14)가 시간차를 가지며 작동되는 것은 본 발명의 일 실시예에 있어서 주요한 기술사상이다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
또한, 반도체 생산라인을 예로 들어 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 반도체 생산라인 외에도 공정용 냉각수(22)가 공급되기 위한 다른 장치에도 본 발명의 수축열을 이용한 공정용 냉각수(22)의 온도유지 시스템 및 그 제어방법이 사용될 수 있다.
그리고, 관로부재(32)를 따라 흐르는 공정용 냉각수(22)의 온도 및 예비냉각수(9)의 온도에 사용된 수치는 실시예에 의한 것이며, 본 발명의 기술사상 안에서 온도의 수치는 가감될 수 있다.
따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템을 개략적으로 도시한 블럭도이다.
도 2는 도 1에 도시된 수축열저장부가 동작되는 상태를 도시한 블럭도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템의 제어방법을 도시한 순서도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
1: 수축열저장부 3: 수축열탱크
5: 냉각장치 7: 출구노즐
8: 입구노즐 9: 예비냉각수
10: 컨트롤부재 12: 제1밸브부재
14: 제2밸브부재 16: 온도센서부재
20: 베이스탱크 22: 공정용 냉각수
24: 생산장비 26: 회수관로
30: 관로부재 32,34,36: 관로부재
40: 펌프부재
42: 필터부재 50: 메인열교환기
52: 메인냉각기

Claims (13)

  1. 생산장비를 냉각하는 공정용 냉각수가 회수되는 베이스탱크;
    서로 다른 온도의 상기 공정용 냉각수가 흐르도록 상기 베이스탱크와 상기 생산장비를 연결하는 복수개의 관로부재;
    상기 복수개의 관로부재를 따라 흐르는 상기 공정용 냉각수를 냉각시키는 복수개의 메인열교환기; 및
    냉각된 예비냉각수를 공급하는 수축열저장부를 포함하되;
    상기 복수개의 관로부재 중 하나의 관로부재는 일단부가 상기 수축열저장부에 연결되며, 타단부는 상기 복수개의 관로부재 중 하나의 관로부재에 공통연결된 관로부재이고,
    상기 공통연결된 관로부재를 흐르는 예비냉각수의 온도는 공정용 냉각수의 온도보다 낮고, 상기 복수개의 관로부재를 흐르는 공정용 냉각수의 온도는 서로 다른 것을 특징으로 하는 수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 베이스탱크에서 상기 공통연결된 관로부재로 흐르는 유량을 제어하는 제1밸브부재;
    상기 수축열저장부에서 상기 공통연결된 관로부재로 흐르는 유량을 제어하는 제2밸브부재; 및
    상기 제1밸브부재와 상기 제2밸브부재를 제어하는 컨트롤부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 복수개의 관로부재에 각각 설치되어 상기 공정용 냉각수의 온도를 측정하는 온도센서부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수개의 관로부재 각각에는 공정용 냉각수의 흐름을 강제하는 펌프부재와, 공정용 냉각수에 함유된 이물질을 제거하는 필터부재 및 관로부재를 따라 흐르는 공정용 냉각수의 온도를 가변시키는 상기 메인열교환기가 설치되며, 상기 메인열교환기는 메인냉각기와 연결되어 저온의 냉매를 공급받고, 복수개의 관로부재 각각에는 다른 온도의 냉매가 공급되어 서로 다른 온도의 공정용 냉각수가 흐르는 것을 특징으로 하는 수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 복수개의 관로부재 중 상기 수축열저장부에 연결된 공통 관로부재에는 제일 낮은 온도의 공정용 냉각수가 흐르는 것을 특징으로 하는 수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 수축열저장부는,
    상기 예비냉각수가 저장되는 수축열탱크; 및
    상기 수축열탱크와 연결되어 상기 예비냉각수를 냉각하는 냉각장치를 포함하 는 것을 특징으로 하는 수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 수축열탱크와 연결된 상기 냉각장치의 입구노즐과 출구노즐은 대각선 방향으로 설치되는 것을 특징으로 하는 수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템.
  8. 수축열탱크에 저온의 예비냉각수가 저장되는 단계;
    베이스탱크에 공정용 냉각수가 저장되는 단계;
    생산장비를 냉각하는 공정용 냉각수를 복수개의 관로부재를 통해 공급하는 단계;
    생산장비를 냉각하는 공정용 냉각수의 온도가 설정값 이상으로 상승되었는지 비교하는 단계;
    상기 공정용 냉각수의 온도가 설정값 이상이면 상기 예비냉각수를 상기 공정용 냉각수가 흐르는 복수개의 관로부재 중 상기 수축열 탱크에 공통연결된 하나의 관로부재에 공급하는 단계를 포함하되,
    상기 공통연결된 하나의 관로부재를 따라 흐르는 예비냉각수의 온도는 상기 공정용 냉각수의 온도보다 낮고, 상기 복수개의 관로부재를 흐르는 공정용 냉각수의 온도는 서로 다른 것을 특징으로 하는 수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템의 제어방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 예비냉각수의 온도는 상기 공정용 냉각수의 온도보다 2도 내지 5도가 낮은 것을 특징으로 하는 공정용 냉각수의 온도유지 시스템의 제어방법.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 복수개의 관로부재 각각에는 공정용 냉각수의 흐름을 강제하는 펌프부재와, 공정용 냉각수에 함유된 이물질을 제거하는 필터부재 및 관로부재를 따라 흐르는 공정용 냉각수의 온도를 가변시키는 메인열교환기가 설치되며, 상기 메인열교환기는 메인냉각기와 연결되어 저온의 냉매를 공급받고, 복수개의 관로부재 각각에는 다른 온도의 냉매가 공급되어 서로 다른 온도의 공정용 냉각수가 흐르는 것을 특징으로 하는 수축열을 이용한 공정용 냉각수의 온도유지 시스템의 제어방법.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 예비냉각수를 공급하는 단계에서 상기 예비냉각수가 상기 공통연결된 하나의 관로부재에 도달하는 것과 동시에 상기 공정용 냉각수의 차단이 이루어지는 것을 특징으로 하는 공정용 냉각수의 온도유지 시스템의 제어방법.
  12. 제 8 항에 있어서,
    상기 예비냉각수를 공급한 후에 메인열교환기가 정상 작동하여 상기 공정용 냉각수의 온도가 정상화되면 상기 예비냉각수의 공급을 차단하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공정용 냉각수의 온도유지 시스템의 제어방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 공정용 냉각수를 공급하는 단계에서 상기 공정용 냉각수가 상기 공통연결된 하나의 관로부재에 도달하는 것과 동시에 상기 예비냉각수의 차단이 이루어지는 것을 특징으로 하는 공정용 냉각수의 온도유지 시스템의 제어방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2004122038A (ja) * 2002-10-04 2004-04-22 Orion Mach Co Ltd 水質制御装置を有する水冷装置
KR100704015B1 (ko) * 2006-11-03 2007-04-04 (주)남양씨엔에스 워터쿨링방식 냉각시스템

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