KR20150034484A - 가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검시스템 및 이를 이용한 냉매 누출 점검방법 - Google Patents

가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검시스템 및 이를 이용한 냉매 누출 점검방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검시스템 및 점검방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 가스 냉매가 순환되는 공정설비와, 제1전자제어밸브와 제1압력센서를 구비한 제1이송라인을 통해 공정설비에서 유출되는 가스 냉매의 압력을 높이는 압축기(compressor)와, 제2전자제어밸브와 제2압력센서를 구비한 제2이송라인을 통해 압축기로부터 유입되는 가스 냉매를 응축하는 응축기(condenser)와, 제3이송라인을 통해 응축기로부터 유입되는 가스 냉매가 일시 저장되는 수액기(liquid receiver)를 구비한 본체부와, 제3전자제어밸브와 제3압력센서를 구비한 제4이송라인을 통해 수액기로부터 유입되는 가스 냉매의 양을 제어하여 제4전자제어밸브와 제4압력센서를 구비한 제5이송라인을 통해 공정설비에 가스 냉매를 공급하는 제1전자팽창밸브와, 제2이송라인을 통해 이송되는 가스 냉매가 분기 되어 제5전자제어밸브와 제5압력센서를 구비한 제6이송라인을 통해 압축기로부터 유입되는 가스 냉매의 양을 제어하여 제6전자제어밸브를 구비한 제7이송라인을 통해 제5이송라인에 가스 냉매를 공급하는 제2전자팽창밸브를 구비한 온도제어부를 포함하며, 공정설비와 제1전자제어밸브 사이에서 분기 되어 제7전자제어밸브를 구비한 배출라인과, 제5이송라인에 가스 냉매를 레벨센서가 장착된 공급탱크로부터 공급하되 제8전자제어밸브를 구비한 공급라인을 포함하며, 각각의 압력센서를 통해 감지되는 압력 값과 레벨센서 감지 값이 수신되는 수신부와, 각각의 압력센서를 통해 감지되는 압력의 제1압력 값 또는 제2압력 값이 설정되는 설정부와, 설정부에 의해 기 설정된 압력 값 미만일 때 알람이 발생하는 알람부와, 각각의 전자제어밸브를 통합 제어하는 제어부를 구비하는 메인 컨트롤러부를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검시스템에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 반도체 제조공정설비에 가스를 냉매로 사용하는 온도 제어시스템의 운행을 중단하지 않으면서 유로에 충전되어 있는 냉매의 누출 여부를 점검할 수 있기에 제조공정효율이 상승 되고, 아울러 안정적으로 반도체 제조공정설비의 온도를 제어하는 효과가 있다.
또한, 반도체 제조공정설비에 가스를 냉매로 사용하는 온도 제어시스템의 유지보수가 용이하고, 냉매의 누출을 최소화하는 효과가 있다.
또한, 온도 제어시스템의 유로에 충전되어 있는 냉매가 기설정 값 이상 누출 시 온도 제어시스템을 강제로 멈출 수 있기에 반도체 제조공정설비 가해지는 리스크를 미연에 예방하는 효과가 있다.

Description

가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검시스템 및 이를 이용한 냉매 누출 점검방법{System and method for checking refrigerant leakage of temperature control system for semiconductor manufacturing process facilities using an intermediation of gas}
본 발명은 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검시스템에 관한 것으로, 특히 액상의 냉각 유체를 사용하지 않고, 가스를 사용하여 반도체 제조공정설비의 온도를 제어하는 온도 제어시스템의 유로에 충전되어 있는 냉매의 누출 여부를 점검할 수 있는 가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검시스템 및 점검방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 및 LCD 등을 제조하는 과정에서 반도체 및 LCD 등의 공정용 설비는 정전척(Electrostatic Chuck), 히터(Heater) 및 챔버(Chamber) 등의 내부온도를 항시 일정하게 유지시켜야 하며, 이러한 온도 유지의 역할을 하는 장비를 칠러(Chiller)라 한다.
이러한 반도체 및 LCD 등의 공정용 설비는 반도체의 제조과정에서 열적 부하를 받아 온도가 상승하게 되는데, 반도체 및 LCD용 칠러는 펌프를 사용하여 정전척, 히터 및 챔버 등의 내부에 냉각 유체를 순환시키는 방법으로 열적 부하를 칠러로 회수하여 열을 제거한다.
이때, 반도체 및 LCD용 칠러는 본체로 회수된 냉각 유체의 냉각 목표 온도에 따라 저온용 칠러와 고온용 칠러로 구분할 수 있으며, 저온용 칠러는 통상적으로 프레온 가스를 이용한 냉각사이클을 이용하여 냉각 유체를 냉각하는 방식이며, 고온용 칠러(또는, 열교환기식 칠러)는 소정의 냉매를 이용하여 냉각 유체를 냉각하는 방식이다.
종래의 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템에서의 냉매 누출 점검방법은 전체 시스템을 정지시킨 상태에서 냉매가 이동하는 유로에 상기 냉매를 가압 또는 감압시켜 냉매의 누출 여부를 점검하였다.
즉, 기존에는 온도 제어시스템을 운영중에 이러한 냉매 누출 여부를 점검할 수 없었기에 부득이하게 전체 공정설비가 중단되어 제조공정상의 효율이 저하되는 문제가 있었다.
또한, 온도 제어시스템의 운영중에 냉매가 누출되더라도 이를 미리 감지하지 못하기 때문에 반도체 제조공정설비의 온도제어가 불능에 빠지게 되어 반도체 제조공정의 심각한 리스크가 발생하는 문제가 있었다.
대한민국 공개실용신안공보 제20-2008-0004784호(2008년 10월 22일 공개) 대한민국 등록특허공보 제10-1109728호(2012년 01월 18일 공고) 대한민국 등록특허공보 제10-1109730호(2012년 02월 24일 공고) 대한민국 등록특허공보 제10-0927391호(2009년 11월 19일 공고)
상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명의 과제는, 반도체 제조공정설비에 가스를 냉매로 사용하는 온도 제어시스템의 유로에 충전되어 있는 냉매 누출 시 이를 감지할 수 있는 가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검시스템 및 점검방법을 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명의 부수적인 과제는, 반도체 제조공정설비에 가스를 냉매로 사용하는 온도 제어시스템의 유지보수가 용이하고, 냉매의 누출을 최소화할 수 있는 가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검시스템 및 점검방법을 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명의 부수적인 과제는, 온도 제어시스템의 유로에 충전되어 있는 냉매가 기설정 값 이상 누출 시 온도 제어시스템을 강제로 멈출 수 있는 가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검시스템 및 점검방법을 제공하는 데 있다.
상기 과제를 달성하기 위해 안출된 본 발명은, 가스 냉매가 순환되는 공정설비, 제1전자제어밸브와 제1압력센서를 구비한 제1이송라인을 통해 상기 공정설비에서 유출되는 상기 가스 냉매의 압력을 높이는 압축기(compressor)와, 제2전자제어밸브와 제2압력센서를 구비한 제2이송라인을 통해 상기 압축기로부터 유입되는 상기 가스 냉매를 응축하는 응축기(condenser)와, 제3이송라인을 통해 상기 응축기로부터 유입되는 상기 가스 냉매가 일시 저장되는 수액기(liquid receiver)를 구비한 본체부, 제3전자제어밸브와 제3압력센서를 구비한 제4이송라인을 통해 상기 수액기로부터 유입되는 상기 가스 냉매의 양을 제어하여 제4전자제어밸브와 제4압력센서를 구비한 제5이송라인을 통해 상기 공정설비에 상기 가스 냉매를 공급하는 제1전자팽창밸브와, 상기 제2이송라인을 통해 이송되는 상기 가스 냉매가 분기 되어 제5전자제어밸브와 제5압력센서를 구비한 제6이송라인을 통해 상기 압축기로부터 유입되는 상기 가스 냉매의 양을 제어하여 제6전자제어밸브를 구비한 제7이송라인을 통해 상기 제5이송라인에 상기 가스 냉매를 공급하는 제2전자팽창밸브를 구비한 온도제어부를 포함하며, 상기 공정설비와 상기 제1전자제어밸브 사이에서 분기 되어 제7전자제어밸브를 구비한 배출라인과, 상기 제5이송라인에 가스 냉매를 레벨센서가 장착된 공급탱크로부터 공급하되 제8전자제어밸브를 구비한 공급라인을 포함하며, 상기 각각의 압력센서를 통해 감지되는 압력 값과 상기 레벨센서 감지 값이 수신되는 수신부와, 상기 각각의 압력센서를 통해 감지되는 압력의 제1압력 값 또는 제2압력 값이 설정되는 설정부와, 상기 설정부에 의해 기 설정된 압력 값 미만일 때 알람이 발생하는 알람부와, 상기 각각의 전자제어밸브를 통합 제어하는 제어부를 구비하는 메인 컨트롤러부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 본체부는 제9전자제어밸브를 구비한 제8이송라인을 통해 상기 압축기로부터 유입되는 상기 가스 냉매가 저장되는 리저버 탱크와, 상기 제1이송라인에서 분기 되어 제10전자제어밸브를 구비한 제9이송라인에 설치된 진공펌프를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 온도제어부는 상기 본체부 보다 상기 공정설비에 더 근접하여 배치된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 과제를 달성하기 위해 안출된 본 발명은, 메인 컨트롤러부의 설정부에 의해 제1압력센서와 제2압력센서의 감지 값이 제1압력 값과 제2압력 값으로 각각 설정되는 제1단계, 상기 제1압력센서와 상기 제2압력센서의 감지 값이 제1압력 값에 다다르면, 수신부에 수신되고, 알람부를 통해 1차 알람이 발생 되는 제2단계, 상기 제1압력센서와 상기 제2압력센서의 감지 값이 제2압력 값에 다다르면, 상기 수신부에 수신되고, 상기 알람부를 통해 2차 알람이 발생 되는 제3단계 및 상기 알람부를 통해 2차 알람이 발생 되면, 제어부에 의해 제1 내지 제7전자제어밸브가 차단되는 단계를 포함한다.
본 발명은 반도체 제조공정설비에 가스를 냉매로 사용하는 온도 제어시스템의 운행을 중단하지 않으면서 유로에 충전되어 있는 냉매의 누출 여부를 점검할 수 있기에 제조공정효율이 상승 되고, 아울러 안정적으로 반도체 제조공정설비의 온도를 제어하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 반도체 제조공정설비에 가스를 냉매로 사용하는 온도 제어시스템의 유지보수가 용이하고, 냉매의 누출을 최소화하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 온도 제어시스템의 유로에 충전되어 있는 냉매가 기설정 값 이상 누출 시 온도 제어시스템을 강제로 멈출 수 있기에 반도체 제조공정설비 가해지는 리스크를 미연에 예방하는 효과가 있다.
본 명세서에서 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어서 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검시스템을 나타낸 예시도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검방법을 나타낸 순서도 이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검시스템 및 점검방법의 바람직한 실시예에 대해 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검시스템을 나타낸 예시도 이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검방법을 나타낸 순서도 이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검시스템은 공정설비(100), 본체부(200), 온도제어부(300) 및 메인 컨트롤러부(400)를 포함하는 구성요소로 이루어지며, 이를 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상기 공정설비(100)는 정전척(electrostatic chuck), 히터 및 챔버 등과 같이 반도체 등의 제조공정에 사용되는 공정설비를 지칭한다.
그리고, 상기 공정설비(100)는 기체로 이루어진 가스 냉매가 순환되면서 상기 공정설비(100)의 온도를 제어한다.
상기 본체부(200)는 상기 가스 냉매를 고온고압으로 압축하는 압축기(210)와, 상기 가스 냉매를 응축하는 응축기(220) 및 상기 가스 냉매를 일시 저장하는 수액기(230)를 구비한다.
그리고, 상기 온도제어부(300)는 제1전자팽창밸브(310) 및 제2전자팽창밸브(320)를 구비한다.
이때, 상기 온도제어부(300)는 상기 본체부(200) 보다 상기 공정설비(100)에 더 가까운 곳에 위치하는 것이 바람직한데, 즉 상기 제1전자팽창밸브(310)와 상기 제2전자팽창밸브(320)가 상기 공정설비(100) 인근에 위치하게 되면, 상기 공정설비(100)에 유입되어 온도를 제어하는 가스 냉매의 온도제어의 정밀도를 높이는 이점이 있다.
즉, 공간을 많이 차지하는 상기 본체부(200)와, 비교적 부피가 작아 공간을 덜 차지하는 상기 온도제어부(300)로 각각 분리함으로써, 공간을 효율적으로 활용하는 동시에 더욱 정밀하게 온도를 제어할 수 있는 것이다.
여기서, 상기 제1전자팽창밸브(310)와 상기 제2전자팽창밸브(320)는 상기 공정설비(100) 또는 이송라인 상에 설치될 수 있는 메인 온도센서(미도시)에 의해 감지된 온도에 기초하여 각각 개도가 조절된다.
즉, 상기 제1전자팽창밸브(310)의 경우 비교적 저온의 가스 냉매를 통해 상기 공정설비(100)의 온도가 제어되고, 상기 제2전자팽창밸브(320)는 비교적 상온의 가스 냉매를 통해 상기 공정설비(100)의 온도가 제어되는 것이다.
즉, 예를 들어 저온을 제어하는 냉매는 고압 저온에서 제1전자팽창밸브(310)를 지나며 약 영하 20도 이하로 변온 되어 저온을 제어하고, 고온을 제어하는 냉매는 고압 고온(약 95도 이상)에서 제2전자팽창밸브(320)를 지나며 약 70 내지 80도 정도의 온도로 변온 되어 고온을 제어하는 것이다.
여기서, 상기 수액기(230)는 상기 압축기(210)에서 공급한 고온고압의 가스 냉매를 상기 응축기(220)에서 PCW(Process Cooling Water)로 응축한 후, 상기 가스 냉매를 상기 제1전자팽창밸브(310)로 보내기 전 잠시 저장하는 고압용기로서, 하나의 압축기(210)를 이용하여 적어도 하나 이상의 공정설비의 운전 시, 다른 공정설비의 설정온도 변환이나 냉각부하의 변화와 같은 외란이 인가되어 발생하는 응축압력의 변화폭을 줄여 전반적인 냉동사이클 시스템의 안정화를 이룰 수 있다.
상기 본체부(200)는 상기 압축기(210)로부터 유입되는 상기 가스 냉매가 저장되는 리저버 탱크(240)와, 각각의 이송라인 내에 잔류하고 있는 공기 또는 기타 이물질 등의 불순물들을 제거하기 위해 이송라인 내부를 진공으로 만들어 불순물을 제거하기 위한 진공펌프(290)를 더 구비할 수 있다.
그리고, 배출라인(350)과 가스 냉매를 레벨센서(371)가 장착된 공급탱크(370)로부터 공급하는 공급라인(360)이 더 구비될 수 있다.
상기 메인 컨트롤러부(400)는 수신부(410), 설정부(420), 알람부(430) 및 제어부(440)를 구비한다.
상기 수신부(410)는 상기 각각의 압력센서를 통해 감지되는 압력 값과 상기 레벨센서(371) 감지 값이 수신된다.
상기 설정부(420)는 상기 각각의 압력센서를 통해 감지되는 압력의 제1압력 값 또는 제2압력 값이 설정된다.
상기 알람부(430)는 상기 설정부(420)에 의해 기 설정된 압력 값이 초과 될 때 알람이 발생한다.
상기 제어부(440)는 상기 각각의 전자제어밸브를 통합 제어한다.
이하, 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검시스템 및 점검방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상술한 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검시스템 및 점검방법은, 저온의 온도제어를 위한 제1순환경로와, 비교적 고온의 온도제어를 위한 제2순환경로를 구비한다.
여기서, 상기 제1순환경로에 대해 설명하면, 상기 공정설비(100)에서 배출된 가스 냉매가 제1이송라인(110)을 통해 상기 압축기(210)로 유입된다.
이때, 상기 제1이송라인(110)에는 제1전자제어밸브(111)와 제1압력센서(112)가 각각 설치되어 상기 제1이송라인(110)을 통해 상기 공정설비(100)에서 배출되는 가스 냉매가 상기 제1전자제어밸브(111)에 의해 차단될 수 있고, 상기 제1압력센서(112)에 의해 상기 제1이송라인(110) 내부의 가스 냉매 압력이 감지된다.
그 다음, 상기 압축기(210)에 유입되어 고온고압으로 가압 된 가스 냉매가 배출되어 제2이송라인(250)을 통해 상기 응축기(220)로 유입된다.
이때, 상기 제2이송라인(250)에는 제2전자제어밸브(251)와 제2압력센서(252)가 각각 설치되어 상기 제2이송라인(250)을 통해 상기 압축기(210)에서 배출되는 가스 냉매가 상기 제2전자제어밸브(251)에 의해 차단될 수 있고, 상기 제2압력센서(252)에 의해 상기 제2이송라인(250) 내부의 가스 냉매 압력이 감지된다.
여기서, 제10전자제어밸브(241)를 구비한 제8이송라인(242)을 통해 상기 압축기(210)로부터 유입되는 가스 냉매가 저장되는 리저버 탱크(240)가 마련된다.
즉, 상기 제2전자제어밸브(251)에 의해 상기 제2이송라인(250)을 통해 흐르는 가스 냉매가 차단되면, 상기 제9전자제어밸브(241)가 개방되어 상기 제8이송라인(242)을 통해 상기 리저버 탱크(240)로 가스 냉매가 유입되는 것이다.
그 다음, 상기 응축기(220)에 유입되어 응축된 가스 냉매가 배출되어 제3이송라인(260)을 통해 상기 수액기(230)에 유입되어 일시 저장된다.
그 다음, 상기 수액기(230)에 유입되어 일시 저장되는 가스 냉매가 제4이송라인(270)을 통해 상기 제1전자팽창밸브(310)로 유입된다.
이때, 상기 제4이송라인(270)에는 제3전자제어밸브(271)와 제3압력센서(272)가 각각 설치되어 상기 제4이송라인(270)을 통해 상기 수액기(230)에서 배출되는 가스 냉매가 상기 제3전자제어밸브(271)에 의해 차단될 수 있고, 상기 제3압력센서(272)에 의해 상기 제4이송라인(270) 내부의 가스 냉매 압력이 감지된다.
그 다음, 상기 제1전자팽창밸브(310)에 유입되어 단열팽창된 가스 냉매가 제5이송라인(330)을 통해 상기 공정설비(100)로 유입된다.
이때, 상기 제5이송라인(330)에는 제4전자제어밸브(331)와 제4압력센서(332)가 각각 설치되어 상기 제5이송라인(330)을 통해 상기 제1전자팽창밸브(310)에서 배출되는 가스 냉매가 상기 제4전자제어밸브(331)에 의해 차단될 수 있고, 상기 제4압력센서(332)에 의해 상기 제5이송라인(330) 내부의 가스 냉매 압력이 감지된다.
그리고, 상기 제2순환경로에 대해 설명하면, 상기 제2이송라인(250)을 통해 이송되는 상기 고온고압으로 가압 된 가스 냉매가 분기 되어 제6이송라인(280)을 통해 상기 제2전자팽창밸브(320)로 유입된다.
이때, 상기 제6이송라인(280)에는 제5전자제어밸브(281)와 제5압력센서(282)가 각각 설치되어 상기 제6이송라인(280)을 통해 분기 되는 가스 냉매가 상기 제5전자제어밸브(281)에 의해 차단될 수 있고, 상기 제5압력센서(282)에 의해 상기 제6이송라인(280) 내부의 가스 냉매의 압력이 감지된다.
그 다음, 상기 제2전자팽창밸브(320)로 유입된 가스 냉매가 제7이송라인(340)을 통해 이송되어 상기 제5이송라인(330)으로 유입된다.
이때, 상기 제7이송라인(340) 상에 제6전자제어밸브(341)가 설치되어 상기 제7이송라인(340)을 통해 상기 제2전자팽창밸브(320)에서 배출되는 가스 냉매가 상기 제6전자제어밸브(341)에 의해 차단될 수 있다.
상기 제1순환경로의 경우에는 비교적 저온의 온도제어를 위해, 상기 제2순환경로의 경우에는 비교적 고온의 온도제어를 위한 냉매가 순환된다.
한편, 상기 공정설비(100)와 상기 제1전자제어밸브(111) 사이에서 분기 되어 제7전자제어밸브(351)를 구비한 배출라인(350)과, 상기 제5이송라인(330)에 가스 냉매를 레벨센서(371)가 장착된 공급탱크(370)로부터 공급하되 제8전자제어밸브(361)를 구비한 공급라인(360)을 포함한다.
그리고, 상기 각각의 압력센서를 통해 감지되는 압력 값과 상기 레벨센서(371) 감지 값이 수신되는 수신부(410)와, 상기 각각의 압력센서를 통해 감지되는 압력의 제1압력 값 또는 제2압력 값이 설정되는 설정부(420)와, 상기 설정부(420)에 의해 기 설정된 압력 값이 초과 될 때 알람이 발생하는 알람부(430)와, 상기 각각의 전자제어밸브를 통합 제어하는 제어부(440)를 구비하는 메인 컨트롤러부(400)를 포함한다.
즉, 상기 제1압력센서(112)와 상기 제2압력센서(252) 값을 상기 설정부(420)를 통해 제1압력 값 또는 제2압력 값을 설정한 후, 가스 냉매의 누출이 발생 되면, 누출 정도에 따라 상기 제1압력센서(112)와 상기 제2압력센서(252) 값이 제1압력 값에 다다르면 상기 수신부(410)에 의해 수신되어 상기 알람부(430)를 통해 1차 알람이 발생하고, 상기 제1압력센서(112)와 상기 제2압력센서(252) 값이 제2압력 값에 다다르면, 상기 수신부(410)에 의해 수신되어 상기 알람부(430)를 통해 2차 알람이 발생함과 동시에 상기 제어부(440)에 의해 제1 내지 제6전자제어밸브가 차단됨으로써 온도 제어시스템의 가동이 중단된다.
이로 인해 제1 내지 제6압력센서(282) 값의 변화에 따라 누출의 구간이 판단되고, 상기 공급탱크(370)의 레벨센서(371)의 측정값이 상기 수신부(410)에 수신되어 이를 확인할 수 있기 때문에 누출 양을 판단할 수 있는 것이다.
이하, 도 2를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상기 메인 컨트롤러부(400)의 설정부(420)에 의해 상기 제1압력센서(112)와 상기 제2압력센서(252)의 감지 값을 제1압력 값과 제2압력 값으로 각각 설정(단계S100)한다.
그 다음, 상기 제1압력센서(112)와 상기 제2압력센서(252)의 감지 값이 제1압력 값에 다다르면, 상기 수신부(410)가 이를 수신하게 되고, 상기 알람부(430)를 통해 1차 알람(위험)이 발생(단계200)한다.
그 다음, 상기 제1압력센서(112)와 상기 제2압력센서(252)의 감지 값이 제2압력 값에 다다르면, 상기 수신부(410)가 이를 수신하게 되고, 상기 알람부(430)를 통해 2차 알람(경고)이 발생(단계300)한다.
마지막으로, 상기 제1압력센서(112)와 상기 제2압력센서(252)의 감지 값이 제2압력 값에 다다르면 상기 제어부(440)에 의해 상기 제1 내지 제6전자제어밸브가 차단됨으로써 온도 제어시스템의 가동이 중단(단계400)된다.
상술한 바와 같이 온도 제어시스템의 구동시 유로 내 냉매 가스의 압력의 변화를 구간별로 감지하여 설정된 위험 값과 경고 값의 범위를 벗어나면 알람이 발생함과 동시에 제1 내지 제6전자제어밸브를 차단하여 온도 제어시스템의 진행을 멈춰 냉매가스의 누수를 최소화하고, 온도 제어시스템의 복원시에도 누출이 감지된 구간만 누출 위치를 정확하게 판단하여 처리하고 누출 양만큼의 냉매가스를 충전하여 재구동할 수 있는 것이다.
이상에서는 본 발명을 바람직한 실시예에 의거하여 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정되지 아니하고 청구항에 기재된 범위 내에서 변형이나 변경 실시가 가능함은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백한 것이며, 그러한 변형이나 변경은 첨부된 특허청구범위에 속한다 할 것이다.
100: 공정설비
110: 제1이송라인
111: 제1전자제어밸브
112: 제1압력센서
200: 본체부
210: 압축기
220: 응축기
230: 수액기
240: 리저버 탱크
241: 제9전자제어밸브
242: 제8이송라인
250: 제2이송라인
251: 제2전자제어밸브
252: 제2압력센서
260: 제3이송라인
270: 제4이송라인
271: 제3전자제어밸브
272: 제3압력센서
280: 제6이송라인
281: 제5전자제어밸브
282: 제5압력센서
290: 진공펌프
291: 제10전자제어밸브
292: 제9이송라인
300: 온도제어부
310: 제1전자팽창밸브
320: 제2전자팽창밸브
330: 제5이송라인
331: 제4전자제어밸브
332: 제4압력센서
340: 제7이송라인
341: 제6전자제어밸브
350: 배출라인
351: 제7전자제어밸브
360: 공급라인
361: 제8전자제어밸브
370: 공급탱크
371: 레벨센서
400: 메인 컨트롤러부
410: 수신부
420: 설정부
430: 알람부
440: 제어부

Claims (4)

  1. 가스 냉매가 순환되는 공정설비(100);
    제1전자제어밸브(111)와 제1압력센서(112)를 구비한 제1이송라인(110)을 통해 상기 공정설비(100)에서 유출되는 상기 가스 냉매의 압력을 높이는 압축기(compressor)(210)와,
    제2전자제어밸브(251)와 제2압력센서(252)를 구비한 제2이송라인(250)을 통해 상기 압축기(210)로부터 유입되는 상기 가스 냉매를 응축하는 응축기(condenser)(220)와,
    제3이송라인(260)을 통해 상기 응축기(220)로부터 유입되는 상기 가스 냉매가 일시 저장되는 수액기(liquid receiver)(230)를 구비한 본체부(200);
    제3전자제어밸브(271)와 제3압력센서(272)를 구비한 제4이송라인(270)을 통해 상기 수액기(230)로부터 유입되는 상기 가스 냉매의 양을 제어하여 제4전자제어밸브(331)와 제4압력센서(332)를 구비한 제5이송라인(330)을 통해 상기 공정설비(100)에 상기 가스 냉매를 공급하는 제1전자팽창밸브(310)와, 상기 제2이송라인(250)을 통해 이송되는 상기 가스 냉매가 분기 되어 제5전자제어밸브(281)와 제5압력센서(282)를 구비한 제6이송라인(280)을 통해 상기 압축기(210)로부터 유입되는 상기 가스 냉매의 양을 제어하여 제6전자제어밸브(341)를 구비한 제7이송라인(340)을 통해 상기 제5이송라인(330)에 상기 가스 냉매를 공급하는 제2전자팽창밸브(320)를 구비한 온도제어부(300)를 포함하며,
    상기 공정설비(100)와 상기 제1전자제어밸브(111) 사이에서 분기 되어 제7전자제어밸브(351)를 구비한 배출라인(350)과, 상기 제5이송라인(330)에 가스 냉매를 레벨센서(371)가 장착된 공급탱크(370)로부터 공급하되 제8전자제어밸브(361)를 구비한 공급라인(360)을 포함하며,
    상기 각각의 압력센서를 통해 감지되는 압력 값과 상기 레벨센서(371) 감지 값이 수신되는 수신부(410)와, 상기 각각의 압력센서를 통해 감지되는 압력의 제1압력 값 또는 제2압력 값이 설정되는 설정부(420)와, 상기 설정부(420)에 의해 기 설정된 압력 값 미만일 때 알람이 발생하는 알람부(430)와, 상기 각각의 전자제어밸브를 통합 제어하는 제어부(440)를 구비하는 메인 컨트롤러부(400)를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 본체부(200)는 제9전자제어밸브(241)를 구비한 제8이송라인(242)을 통해 상기 압축기(210)로부터 유입되는 상기 가스 냉매가 저장되는 리저버 탱크(240)와, 상기 제1이송라인(110)에서 분기 되어 제10전자제어밸브(291)를 구비한 제9이송라인(292)에 설치된 진공펌프(290)를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 온도제어부(300)는 상기 본체부(200) 보다 상기 공정설비(100)에 더 근접하여 배치된 것을 특징으로 하는 가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검시스템.
  4. 상기 청구항 1의 가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검시스템을 이용한 냉매 누출 점검방법으로서,
    a) 메인 컨트롤러부(400)의 설정부(420)에 의해 제1압력센서(112)와 제2압력센서(252)의 감지 값이 제1압력 값과 제2압력 값으로 각각 설정되는 제1단계;
    상기 제1압력센서(112)와 상기 제2압력센서(252)의 감지 값이 제1압력 값에 다다르면, 수신부(410)에 수신되고, 알람부(430)를 통해 1차 알람이 발생 되는 제2단계;
    b) 상기 제1압력센서(112)와 상기 제2압력센서(252)의 감지 값이 제2압력 값에 다다르면, 상기 수신부(410)에 수신되고, 상기 알람부(430)를 통해 2차 알람이 발생 되는 제3단계; 및
    c) 상기 알람부(430)를 통해 2차 알람이 발생 되면, 제어부(440)에 의해 제1 내지 제6전자제어밸브가 차단되는 단계를 포함하는 가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 누출 점검방법.
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