KR101057929B1 - Photosensitive resin composition and its hardened | cured material - Google Patents

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Abstract

본 발명은 연성 기판을 제조하는 공정 및 그 후공정이나, 부품 실장 공정에서의 가열에 의한 휘어짐의 발생을 억제할 수 있고, 나아가서는 광중합 개시제가 소량 첨가되어도 고감도이고, 레이저 다이렉트 노광도 가능한 감광성 수지 조성물, 그의 경화물, 및 상기 경화물에 의해 솔더 레지스트 등의 경화 피막이 형성되어 이루어지는 인쇄 배선판을 제공한다. INDUSTRIAL APPLICATION This invention can suppress the generation | occurrence | production of the curvature by the heating in a process of manufacturing a flexible board | substrate, a subsequent process, and a component mounting process, Furthermore, even if a small amount of photoinitiators are added, it is highly sensitive, and also the photosensitive resin which can also laser direct exposure Provided are a printed wiring board on which a cured film such as a solder resist is formed by the composition, the cured product thereof, and the cured product.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 (A) 카르복실기 함유 수지, (B) 하기 화학식 I로 표시되는 기를 갖는 옥심에스테르계 광중합 개시제, 및 (C) 분자 중에 2개 이상의 에틸렌성 불포화기를 갖는 화합물을 함유하는 묽은 알칼리 수용액에 의해 현상 가능한 조성물로서, 상기 카르복실기 함유 수지 (A) 100 질량부에 대하여 상기 옥심에스테르계 광중합 개시제 (B)가 0.1 내지 1.5 질량부의 비율로 함유되어 있다. The photosensitive resin composition of this invention is thin which contains (A) carboxyl group-containing resin, (B) the oxime ester type photoinitiator which has group represented by following formula (I), and (C) the compound which has 2 or more ethylenically unsaturated groups in a molecule | numerator. As a composition which can be developed by aqueous alkali solution, the said oxime ester system photoinitiator (B) is contained in the ratio of 0.1-1.5 mass parts with respect to 100 mass parts of said carboxyl group-containing resin (A).

<화학식 I><Formula I>

Figure 112008068647698-pat00001
Figure 112008068647698-pat00001

(식 중, R1은 수소 원자, 페닐기(탄소수 1 내지 6의 알킬기, 페닐기 또는 할로겐 원자로 치환될 수도 있음), 탄소수 1 내지 20의 알킬기(1개 이상의 수산기로 치환될 수도 있고, 알킬쇄의 중간에 1개 이상의 산소 원자를 가질 수도 있음), 탄 소수 5 내지 8의 시클로알킬기, 탄소수 2 내지 20의 알카노일기 또는 벤조일기(탄소수가 1 내지 6인 알킬기 또는 페닐기로 치환될 수도 있음)를 나타내고, R2는 페닐기(탄소수 1 내지 6의 알킬기, 페닐기 또는 할로겐 원자로 치환될 수도 있음), 탄소수 1 내지 20의 알킬기(1개 이상의 수산기로 치환될 수도 있고, 알킬쇄의 중간에 1개 이상의 산소 원자를 가질 수도 있음), 탄소수 5 내지 8의 시클로알킬기, 탄소수 2 내지 20의 알카노일기 또는 벤조일기(탄소수가 1 내지 6인 알킬기 또는 페닐기로 치환될 수도 있음)를 나타냄)(Wherein R 1 is a hydrogen atom, a phenyl group (may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a halogen atom), an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (may be substituted with one or more hydroxyl groups, the middle of the alkyl chain) May have one or more oxygen atoms), a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms, or a benzoyl group (which may be substituted with an alkyl or phenyl group having 1 to 6 carbon atoms). , R 2 is a phenyl group (may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a halogen atom), an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (may be substituted with one or more hydroxyl groups, at least one oxygen atom in the middle of the alkyl chain ), A cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms or a benzoyl group (may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group)

카르복실기 함유 수지, 옥심에스테르계 광중합 개시제, 에틸렌성 불포화기, 묽은 알칼리 수용액, 감광성 수지 조성물, 감광성 드라이 필름, 레이저 발진 광원, 인쇄 배선판 Carboxyl group-containing resin, oxime ester system photoinitiator, ethylenically unsaturated group, dilute alkali aqueous solution, photosensitive resin composition, photosensitive dry film, laser oscillation light source, printed wiring board

Description

감광성 수지 조성물 및 그의 경화물{PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND CURED PRODUCTS THEREOF}Photosensitive resin composition and its hardened | cured material {PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND CURED PRODUCTS THEREOF}

본 발명은 저휘어짐성이 요구되는 얇은 인쇄 배선판, 특히 연성 배선판의 솔더 레지스트나 수지 절연층 등의 가요성의 경화 피막 형성에 적합한 감광성 수지 조성물, 그의 경화물 및 그의 경화 피막을 갖는 인쇄 배선판에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a thin printed wiring board requiring low warpage, particularly a photosensitive resin composition suitable for forming a flexible cured film such as a solder resist or a resin insulating layer of a flexible wiring board, a cured product thereof, and a printed wiring board having the cured film. .

종래, 연성 배선판은 커버레이라고 불리는 폴리이미드 필름에 접착제를 도포한 절연 필름을 이용하고, 이것을 펀칭 가공하여 라미네이트하고, 또한 프레스로 가압 조건 하에서 열경화함으로써, 회로 형성된 연성 기판의 표면의 커버층으로 하고 있었다. 이 커버레이는 베이스로서의 폴리이미드 필름과, 접착제층으로서의 저수축 열경화성 수지로 구성되어 있기 때문에, 라미네이트 후 및 프레스 경화 후의 휘어짐은 매우 작고, 게다가 그 후의 보강판의 접착과 열경화 후나 부품 실장의 리플로우 땜납 시의 휘어짐도 매우 적게 할 수 있어, 연성 기판 용도로 대량으로 사용되고 있다. Conventionally, the flexible wiring board uses an insulating film obtained by applying an adhesive to a polyimide film called a coverlay, which is punched, laminated, and thermally cured under pressure under a press condition, thereby providing a cover layer on the surface of the flexible substrate. Was doing. Since this coverlay is composed of a polyimide film as a base and a low-shrinkable thermosetting resin as an adhesive layer, the warpage after lamination and after press hardening is very small, and furthermore, after the adhesion of the reinforcing plate and the thermal cure, and the ripple of the component mounting thereafter. Curvature during low soldering can also be very small, and is used in large quantities for flexible substrate applications.

그러나, 프레스로 펀칭 가공하기 때문에 미세한 가공이 곤란하고, 또한 회로 형성된 배선판과의 라미네이트 시에 위치 정렬 정밀도가 좋지 않다는 결점이 있다.However, since the punching process is performed with a press, fine processing is difficult, and there is a disadvantage that the alignment accuracy is not good at the time of lamination with the circuit board formed thereon.

그에 비하여, 감광성 커버레이로서 알칼리 현상성 감광성 수지 조성물이나 그의 드라이 필름이 제안되어 있고, 예를 들면 하기 특허 문헌 1(일본 특허 공개 제2000-131836호 공보)에는, (a) 2개 이상의 히드록실기와 1개 이상의 카르복실기를 갖는 화합물, (b) 6원환 구조를 갖는 2관능 이상의 폴리이소시아네이트 및 (c) 히드록실기를 갖는 (메트)아크릴레이트를 반응시켜 얻어지는 카르복실기를 갖는 우레탄아크릴레이트, 광중합 개시제, 희석제 및 2관능 이상의 에폭시 수지를 함유하는 감광성 수지 조성물이 제안되어 있다.On the other hand, alkali developable photosensitive resin composition and its dry film are proposed as a photosensitive coverlay, For example, following patent document 1 (Unexamined-Japanese-Patent No. 2000-131836) (a) two or more hydroxides Urethane acrylate which has a carboxyl group obtained by making the compound which has a functional group and 1 or more carboxyl groups, (b) the bifunctional or more polyisocyanate which has a 6-membered ring structure, and (c) the (meth) acrylate which has a hydroxyl group react, and a photoinitiator A photosensitive resin composition containing a diluent and a bifunctional or higher epoxy resin is proposed.

그러나, 광경화성이고 열경화성의 조성물이기 때문에 가교에 의한 경화 수축이 있어, 광경화 후 및 열경화 후에 휘어짐을 발생시킨다는 문제가 있다. However, since it is a photocurable and thermosetting composition, there exists a problem of hardening shrinkage by crosslinking, and causing curvature after photocuring and after thermosetting.

또한 저휘어짐성의 조성물로서, 하기 특허 문헌 2(일본 특허 공개 제2005-10318호 공보)에는, 카르복실기 함유 우레탄 변성 에폭시(메트)아크릴레이트를 포함하는 활성 에너지선 경화성 수지, 1 분자 중에 1개 내지 2개의 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 활성 에너지선 경화성 불포화 화합물, 광중합 개시제, 희석제 및 열경화성 에폭시 화합물을 함유하는 회로 기판의 솔더 레지스트에 이용하는 감광성 수지 조성물이 제안되고, 하기 특허 문헌 3(WO 2004/079452호 공보)에는, 알칼리 수용액 가용성 우레탄 수지, 광중합 개시제 및 반응성 가교제를 함유하는 감광성 수지 조성물이 제안되어 있다. 또한, 하기 특허 문헌 4(일본 특허 공개 제2002-229201호 공보)에는, 카르복실기를 갖는 우레탄(메트)아크릴레이트 화합물과 이것 이외의 에틸렌성 불포화기를 갖는 화합물을 포함하는 광경화 성분과, 열경화성 수지와, 광중합 개시제와, 열 중합 촉매를 함유하는 감광성 조성물이 제안되어 있다.In addition, as a low-curing composition, Patent Document 2 (Japanese Patent Laid-Open No. 2005-10318) discloses an active energy ray-curable resin containing a carboxyl group-containing urethane-modified epoxy (meth) acrylate, and one to two in one molecule. A photosensitive resin composition for use in solder resist of a circuit board containing an active energy ray-curable unsaturated compound having two ethylenically unsaturated bonds, a photopolymerization initiator, a diluent and a thermosetting epoxy compound is proposed, and Patent Document 3 (WO 2004/079452) ), A photosensitive resin composition containing alkali aqueous solution-soluble urethane resin, a photoinitiator, and a reactive crosslinking agent is proposed. Further, Patent Document 4 (Japanese Patent Laid-Open No. 2002-229201) discloses a photocurable component comprising a urethane (meth) acrylate compound having a carboxyl group and a compound having an ethylenically unsaturated group other than this, a thermosetting resin, The photosensitive composition containing the photoinitiator and a thermal polymerization catalyst is proposed.

이들 조성물은 경화 후의 휘어짐은 충분히 작은 값이지만, 실제로 연성 배선판에 적용한 경우, 보강판 접착 공정에 의한 후가열 및 부품 실장 시의 가열에 의해 휘어짐이 발생한다는 결점을 갖고 있었다.Although the curvature after hardening is a value small enough, actually, when it is applied to a flexible wiring board, it has a drawback that curvature generate | occur | produces by post-heating by the reinforcement board bonding process, and heating at the time of component mounting.

또한, 최근, 위치 정렬 정밀도의 향상을 목적으로 하여 레이저 다이렉트 노광이 주목받고 있지만, 상기한 바와 같은 종래의 감광성 수지 조성물을 이용한 경우, 노광량이 많이 필요하여, 노광에 시간이 걸린다는 문제가 있다.Moreover, although laser direct exposure is attracting attention recently for the purpose of the improvement of alignment accuracy, when using the conventional photosensitive resin composition as mentioned above, there exists a problem that exposure amount requires a lot and exposure takes time.

[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 제2000-131836호 공보(특허청구범위)[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-131836 (claims)

[특허 문헌 2] 일본 특허 공개 제2005-10318호 공보(특허청구범위)[Patent Document 2] Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-10318 (Patent Claims)

[특허 문헌 3] WO 2004/079452호 공보(특허청구범위)[Patent Document 3] WO 2004/079452 Publication (claim)

[특허 문헌 4] 일본 특허 공개 제2002-229201호 공보(특허청구범위)[Patent Document 4] Japanese Unexamined Patent Publication No. 2002-229201 (Patent Claims)

본 발명은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해소하기 위해서 이루어진 것으로, 그 주된 목적은 연성 기판을 제조하는 공정 및 그 후공정이나, 부품 실장 공정에서의 가열에 의한 휘어짐의 발생을 억제할 수 있고, 나아가서는 광중합 개시제가 소량 첨가되어도 고감도이고, 레이저 다이렉트 노광도 가능하고, 더구나 종래의 솔더 레지스트 조성물과 동일한 각종 기재에 대한 밀착성, 땜납 내열성, 내습성, 내약품성, 전기 절연성 등의 다양한 특성이 우수한 경화 피막의 패턴을 형성할 수 있는 감광성 수지 조성물을 제공하는 데에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the problems of the prior art as described above, and its main object is to suppress the occurrence of warping due to heating in a step of manufacturing a flexible substrate, a subsequent step, and a part mounting step. Furthermore, even if a small amount of photopolymerization initiator is added, it is highly sensitive, and laser direct exposure is also possible. Furthermore, it is excellent in various properties such as adhesion to various substrates, solder heat resistance, moisture resistance, chemical resistance, electrical insulation, and the like, which are the same as conventional solder resist compositions. It is providing the photosensitive resin composition which can form the pattern of a cured film.

또한 본 발명의 목적은 이러한 감광성 수지 조성물을 이용함으로써 얻어지는 상기한 바와 같은 다양한 특성이 우수한 경화물, 및 상기 경화물에 의해 솔더 레지스트 등의 경화 피막이 형성되어 이루어지는 인쇄 배선판, 특히 연성 인쇄 배선판을 제공하는 데에 있다.Moreover, the objective of this invention is providing the hardened | cured material excellent in the various characteristics as mentioned above obtained by using such a photosensitive resin composition, and the printed wiring board in which the hardened film, such as a soldering resist, is formed by the said hardened | cured material, especially a flexible printed wiring board. There is.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 따르면, (A) 카르복실기 함유 수지, (B) 하기 화학식 I로 표시되는 기를 갖는 옥심에스테르계 광중합 개시제, 및 (C) 분자 중에 2개 이상의 에틸렌성 불포화기를 갖는 화합물을 함유하는 묽은 알칼리 수용액에 의해 현상 가능한 조성물이며, 상기 카르복실기 함유 수지 (A) 100 질량부에 대하여 상기 옥심에스테르계 광중합 개시제 (B)가 0.1 내지 1.5 질량부의 비율로 함유되어 있는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물이 제공된다.In order to achieve the above object, according to the present invention, (A) a carboxyl group-containing resin, (B) an oxime ester photopolymerization initiator having a group represented by the following formula (I), and (C) having two or more ethylenically unsaturated groups in the molecule It is a composition which can be developed by the diluted alkali aqueous solution containing a compound, Comprising: The said oxime ester system photoinitiator (B) is contained in the ratio of 0.1-1.5 mass parts with respect to 100 mass parts of said carboxyl group-containing resin (A). A photosensitive resin composition is provided.

<화학식 I><Formula I>

Figure 112008068647698-pat00002
Figure 112008068647698-pat00002

(식 중, R1은 수소 원자, 페닐기(탄소수 1 내지 6의 알킬기, 페닐기 또는 할로겐 원자로 치환될 수도 있음), 탄소수 1 내지 20의 알킬기(1개 이상의 수산기로 치환될 수도 있고, 알킬쇄의 중간에 1개 이상의 산소 원자를 가질 수도 있음), 탄소수 5 내지 8의 시클로알킬기, 탄소수 2 내지 20의 알카노일기 또는 벤조일기(탄소수가 1 내지 6인 알킬기 또는 페닐기로 치환될 수도 있음)를 나타내고, R2는 페닐기(탄소수 1 내지 6의 알킬기, 페닐기 또는 할로겐 원자로 치환될 수도 있음), 탄소수 1 내지 20의 알킬기(1개 이상의 수산기로 치환될 수도 있고, 알킬쇄의 중간에 1개 이상의 산소 원자를 가질 수도 있음), 탄소수 5 내지 8의 시클로알킬기, 탄소수 2 내지 20의 알카노일기 또는 벤조일기(탄소수가 1 내지 6인 알킬기 또는 페닐기로 치환될 수도 있음)를 나타냄)(Wherein R 1 is a hydrogen atom, a phenyl group (may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a halogen atom), an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (may be substituted with one or more hydroxyl groups, the middle of the alkyl chain) May have one or more oxygen atoms), a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms or a benzoyl group (which may be substituted with an alkyl or phenyl group having 1 to 6 carbon atoms), R 2 may be substituted with a phenyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a halogen atom), an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (which may be substituted with one or more hydroxyl groups, and at least one oxygen atom in the middle of the alkyl chain; Or a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms, or a benzoyl group (may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group)

바람직한 양태에 있어서는, 상기 카르복실기 함유 수지 (A)는 저휘어짐성 면에서, 비스페놀 A, 비스페놀 F, 비페닐, 비크실레놀 골격 또는 그의 수소 첨가 골격인 구조를 갖는 수지 또는 우레탄 구조를 갖는 수지이다. 또한, 상기 카르복실기 함유 수지 (A)는 광경화성 면에서, 2개 이상의 라디칼 중합성 불포화 이중 결합을 갖는 감광성의 수지인 것이 바람직하다. 또한, 상기 감광성 수지 조성물은 그 건조 도막의 355 nm에서의 흡광도가 건조 막두께 25 ㎛에서 0.3 내지 1.2의 범위 내에 있는 것이 바람직하다. 또한, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 경화 피막의 내열성 등의 특성 향상 측면에서, 열경화성 성분 (D)를 함유하는 것이 바람직하다.In a preferred embodiment, the carboxyl group-containing resin (A) is a resin having a structure which is bisphenol A, bisphenol F, biphenyl, bixylenol skeleton, or a hydrogenated skeleton thereof in view of low smoothness, or a resin having a urethane structure. Moreover, it is preferable that the said carboxyl group-containing resin (A) is photosensitive resin which has a 2 or more radically polymerizable unsaturated double bond from a photocurable viewpoint. Moreover, it is preferable that the said photosensitive resin composition has the absorbance at 355 nm of the dry coating film in the range of 0.3-1.2 at 25 micrometers of dry film thickness. Moreover, it is preferable that the photosensitive resin composition of this invention contains a thermosetting component (D) from a viewpoint of the characteristics improvement, such as heat resistance of a cured film.

상기 감광성 수지 조성물은 액상 형태 및 드라이 필름의 형태 중의 어느 것일 수도 있다.The said photosensitive resin composition may be any of a liquid form and a form of a dry film.

또한 본 발명에 따르면, 상기 감광성 수지 조성물 또는 그의 드라이 필름을 구리 상에서 광경화시켜 얻어지는 경화물, 특히 레이저 발진 광원으로 광경화시켜 얻어지는 경화물, 및 최대 파장이 350 내지 410 nm인 레이저광에 의해서 광경화시킨 후, 열경화시켜 얻어진 경화 피막을 갖는 인쇄 배선판이 제공된다.Moreover, according to this invention, the hardened | cured material obtained by photocuring the said photosensitive resin composition or its dry film on copper, especially the hardened | cured material obtained by photocuring with a laser oscillation light source, and the laser beam whose maximum wavelength is 350-410 nm After hardening, the printed wiring board which has a hardened film obtained by thermosetting is provided.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 카르복실기 함유 수지 (A) 및 분자 중에 2개 이상의 에틸렌성 불포화기를 갖는 화합물 (C)와 함께 배합하는 광중합 개시제로서, 상기 화학식 I로 표시되는 기를 갖는 옥심에스테르계 광중합 개시제 (B)를 함유하기 때문에, 연성 기판을 제조하는 공정 및 그 후공정이나, 부품 실장 공정에서의 가열에 의한 휘어짐의 발생을 억제할 수 있고, 또한 상기 카르복실기 함유 수지 (A) 100 질량부에 대하여 상기 옥심에스테르계 광중합 개시제 (B)가 0.1 내지 1.5 질량부의 비율의 소량으로 함유되어 있더라도, 고감도이고, 레이저 다이렉트 노광도 가능하다. 또한, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 묽은 알칼리 수용액에 의해 현상 가능한 조성물이고, 더구나 저휘어짐성임에도 불구하고, 종래의 솔더 레지스트 조성물과 동일한 각종 기재에 대한 밀착성, 땜납 내열성, 내습성, 내약품성, 무전해 금도금 내성, 전기 절연성 등의 다양한 특성이 우수한 경화 피막의 패턴을 형 성할 수 있다. 따라서, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 인쇄 배선판, 특히 연성 인쇄 배선판의 솔더 레지스트나 수지 절연층 등의 경화 피막의 형성에 유리하게 적용할 수 있다.The photosensitive resin composition of this invention is a photoinitiator mix | blended with a carboxyl group-containing resin (A) and the compound (C) which has 2 or more ethylenically unsaturated groups in a molecule | numerator, An oxime ester system photoinitiator which has a group represented by said Formula (I) Since B) is contained, it is possible to suppress the occurrence of warpage due to heating in the step of producing the flexible substrate, the subsequent step, and the part mounting step, and the amount of 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin (A) Even if the oxime ester photopolymerization initiator (B) is contained in a small amount in a proportion of 0.1 to 1.5 parts by mass, it is highly sensitive and laser direct exposure is also possible. In addition, the photosensitive resin composition of the present invention is a composition which can be developed by a dilute aqueous alkali solution, and in addition, even though it has low warpage, adhesion to various substrates similar to the conventional solder resist composition, solder heat resistance, moisture resistance, chemical resistance, and electrical conduction. It is possible to form a pattern of a cured coating having excellent characteristics such as plating plating resistance and electrical insulation. Therefore, the photosensitive resin composition of this invention can be advantageously applied to formation of the cured film, such as the soldering resist of a printed wiring board, especially a flexible printed wiring board, and a resin insulating layer.

본 발명자들은, 후가열 공정 및 부품 실장 시의 휘어짐이 광중합성 개시제의 휘발에 의한 것, 또한 조성물의 흡광도가 휘어짐에 크게 영향을 미치는 것을 발견하였다. 본 발명자들은 이들 현상에 관해서 더욱 연구한 결과, 카르복실기 함유 수지 (A) 및 분자 중에 2개 이상의 에틸렌성 불포화기를 갖는 화합물 (C)와 함께 배합하는 광중합 개시제로서, 상기 화학식 I로 표시되는 기를 갖는 옥심에스테르계 광중합 개시제 (B)를 이용한 경우, 소량 첨가되어도 충분한 광 특성을 갖고, 레이저 다이렉트 노광도 가능한 감광성 수지 조성물이 얻어지는 것을 발견하여, 본 발명을 완성하기에 이른 것이다.The present inventors have found that the warpage during the post-heating process and the component mounting greatly influences the warpage of the composition due to the volatilization of the photopolymerizable initiator and also the warpage of the composition. The present inventors further studied these phenomena, and as a result, an oxime having a group represented by the formula (I) as a photopolymerization initiator blended together with a carboxyl group-containing resin (A) and a compound (C) having two or more ethylenically unsaturated groups in the molecule When the ester type photoinitiator (B) is used, it discovers that the photosensitive resin composition which has sufficient optical characteristics even if a small amount is added, and also enables laser direct exposure is obtained, and has completed this invention.

이하, 본 발명의 감광성 수지 조성물의 각 성분에 관해서 설명한다.Hereinafter, each component of the photosensitive resin composition of this invention is demonstrated.

우선, 카르복실기 함유 수지 (A)로서는, 그것 자체가 에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖지 않는 카르복실기 함유 수지나, 에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖는 감광성의 카르복실기 함유 수지 모두 사용할 수 있고, 특정한 것에 한정되지 않지만, 특히 이하에 열거하는 화합물(올리고머 및 중합체 중의 어느 것이어도 됨)을 바람직하게 사용할 수 있다.First, as carboxyl group-containing resin (A), both the carboxyl group-containing resin which does not have an ethylenically unsaturated double bond, and the photosensitive carboxyl group-containing resin which has ethylenically unsaturated double bond can be used, It is not limited to a specific thing, Especially The compounds listed below (which may be any of oligomers and polymers) may be preferably used.

(1) (메트)아크릴산 등의 불포화 카르복실산과, 스티렌, α-메틸스티렌, 저급알킬(메트)아크릴레이트, 이소부틸렌 등의 불포화 이중 결합을 갖는 화합물을 공 중합시킴으로써 얻어지는 카르복실기 함유 수지.(1) Carboxyl group-containing resin obtained by copolymerizing unsaturated carboxylic acids, such as (meth) acrylic acid, and compounds which have unsaturated double bonds, such as styrene, (alpha) -methylstyrene, lower alkyl (meth) acrylate, and isobutylene.

(2) 지방족 디이소시아네이트, 분지 지방족 디이소시아네이트, 지환식 디이소시아네이트, 방향족 디이소시아네이트 등의 디이소시아네이트와, 디메틸올프로피온산, 디메틸올부탄산 등의 카르복실기 함유 디알코올 화합물, 및 폴리카보네이트계 폴리올, 폴리에테르계 폴리올, 폴리에스테르계 폴리올, 폴리올레핀계 폴리올, 아크릴계 폴리올, 비스페놀 A계 알킬렌옥사이드 부가체 디올, 페놀성 히드록실기 및 알코올성 히드록실기를 갖는 화합물 등의 디올 화합물의 중부가 반응에 의해 얻어지는 카르복실기 함유 우레탄 수지.(2) diisocyanates such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates and aromatic diisocyanates; carboxyl group-containing dialcohol compounds such as dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid; and polycarbonate polyols and polyethers Carboxyl group content obtained by polyaddition reaction of diol compounds, such as a polyol, polyester polyol, polyolefin polyol, acrylic polyol, bisphenol A alkylene oxide adduct diol, a compound which has phenolic hydroxyl group and alcoholic hydroxyl group, etc. Urethane resin.

(3) 디이소시아네이트와, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 수소 첨가 비스페놀 A형 에폭시 수지, 브롬화 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비스페놀 S형 에폭시 수지, 비크실레놀형 에폭시 수지, 비페놀형 에폭시 수지 등의 2관능 에폭시 수지의 (메트)아크릴레이트 또는 그의 부분 산무수물 변성물, 카르복실기 함유 디알코올 화합물, 및 디올 화합물의 중부가 반응에 의해 얻어지는 감광성의 카르복실기 함유 우레탄 수지. (3) diisocyanate, bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, brominated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy Photosensitive carboxyl group-containing urethane resin obtained by the polyaddition reaction of the (meth) acrylate of bifunctional epoxy resins, such as resin, or its partial acid anhydride modified substance, a carboxyl group-containing dialcohol compound, and a diol compound.

(4) 상기 (2) 또는 (3)의 수지의 합성 중에, 히드록시알킬(메트)아크릴레이트 등의 분자 내에 1개의 수산기와 1개 이상의 (메트)아크릴기를 갖는 화합물을 가하여, 말단 (메트)아크릴화한 카르복실기 함유 우레탄 수지. (4) In the synthesis | combination of resin of said (2) or (3), the compound which has one hydroxyl group and one or more (meth) acryl groups in molecule | numerators, such as hydroxyalkyl (meth) acrylate, is added, and a terminal (meth) Acrylated carboxyl group-containing urethane resin.

(5) 상기 (2) 또는 (3)의 수지의 합성 중에, 이소포론디이소시아네이트와 펜타에리트리톨트리아크릴레이트의 등몰 반응물 등의 분자 내에 1개의 이소시아네이트기와 1개 이상의 (메트)아크릴기를 갖는 화합물을 가하여, 말단 (메트)아크릴화 한 카르복실기 함유 우레탄 수지. (5) A compound having one isocyanate group and one or more (meth) acryl groups in a molecule such as an equimolar reactant of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate during synthesis of the resin of the above (2) or (3). The carboxyl group-containing urethane resin which added and terminated (meth) acrylates.

(6) 후술하는 다관능(고형) 에폭시 수지에 (메트)아크릴산을 반응시키고, 생성된 수산기에 2염기산 무수물을 부가시켜 얻어지는 감광성의 카르복실기 함유 수지.(6) Photosensitive carboxyl group-containing resin obtained by making (meth) acrylic acid react with the polyfunctional (solid) epoxy resin mentioned later, and adding dibasic acid anhydride to the produced hydroxyl group.

(7) 2관능(고형) 에폭시 수지의 수산기를 추가로 에피클로로히드린으로 에폭시화한 다관능 에폭시 수지에 (메트)아크릴산을 반응시키고, 생성된 수산기에 2염기산 무수물을 부가시켜 얻어지는 감광성의 카르복실기 함유 수지. (7) Photosensitive property obtained by reacting (meth) acrylic acid to the polyfunctional epoxy resin which epoxidized the hydroxyl group of bifunctional (solid) epoxy resin further with epichlorohydrin, and adding dibasic acid anhydride to the produced hydroxyl group. Carboxyl group-containing resin.

(8) 후술하는 2관능 옥세탄 수지에 디카르복실산을 반응시키고, 생성된 1급의 수산기에 2염기산 무수물을 부가시켜 얻어지는 카르복실기 함유 폴리에스테르 수지.(8) The carboxyl group-containing polyester resin obtained by making dicarboxylic acid react with the bifunctional oxetane resin mentioned later and adding dibasic acid anhydride to the produced | generated primary hydroxyl group.

(9) 상기 수지 (1) 내지 (8)에 추가로 1분자 내에 1개의 에폭시기와 1개 이상의 (메트)아크릴기를 갖는 화합물을 부가하여 이루어지는 감광성의 카르복실기 함유 수지.(9) Photosensitive carboxyl group-containing resin formed by adding the compound which has one epoxy group and one or more (meth) acryl groups in 1 molecule further to said resin (1)-(8).

이들 카르복실기 함유 수지 중에서도 바람직한 것은, 상기 (2) 내지 (5)의 수지의 합성에 이용되는 이소시아네이트기를 갖는 화합물(디이소시아네이트도 포함함)이 벤젠환을 갖고 있지 않은 디이소시아네이트의 경우, 및 상기 (6), (7)의 수지의 합성에 이용되는 다관능 및 2관능 에폭시 수지가 비스페놀 A 골격, 비스페놀 F 골격, 비페닐 골격, 비크실레놀 골격을 갖는 선상 구조의 화합물 및 그의 수소 첨가 화합물의 경우가 가요성 등 면에서 바람직하다. 또한, 별도의 측면에서는, 상기 (2) 내지 (5)의 수지 및 이들의 상기 (9)와 같은 변성물은 주쇄에 우레탄 결 합을 갖고 있어, 휘어짐에 대하여 바람직하다. 또한, 상기 (1), (2), (8) 이외의 수지는 분자 내에 감광성기(라디칼 중합성 불포화 이중 결합)를 갖고 있기 때문에, 광경화성 면에서 바람직하다.Among these carboxyl group-containing resins, preferable is the case of the diisocyanate in which the compound (including diisocyanate) which has an isocyanate group used for the synthesis | combination of the resin of said (2)-(5) does not have a benzene ring, and said (6 In the case of the polyfunctional and bifunctional epoxy resins used for the synthesis of the resins of (7) and (7), the compounds having a linear structure having a bisphenol A skeleton, a bisphenol F skeleton, a biphenyl skeleton, a bixylenol skeleton, and hydrogenated compounds thereof It is preferable at the point of flexibility. In addition, in another aspect, the resins of the above (2) to (5) and modified substances such as the above (9) have a urethane bond in the main chain and are preferable against warpage. Moreover, since resin other than said (1), (2), (8) has photosensitive group (radical polymerizable unsaturated double bond) in a molecule | numerator, it is preferable at the point of photocurability.

한편, 본 명세서에 있어서, (메트)아크릴레이트란 아크릴레이트, 메타크릴레이트 및 이들의 혼합물을 총칭하는 용어로서, 다른 유사한 표현에 관해서도 동일하다.In addition, in this specification, (meth) acrylate is a term which generically mentions acrylate, methacrylate, and a mixture thereof, and is the same also about other similar expression.

상기한 바와 같은 카르복실기 함유 수지 (A)는 백본·중합체의 측쇄에 다수의 유리된 카르복실기를 갖기 때문에, 묽은 알칼리 수용액에 의한 현상이 가능하게 된다.Since the carboxyl group-containing resin (A) mentioned above has many free carboxyl groups in the side chain of a backbone polymer, image development by dilute alkali aqueous solution is attained.

또한, 상기 카르복실기 함유 수지 (A)의 산가는, 40 내지 200 mgKOH/g의 범위에 있는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 45 내지 120 mgKOH/g의 범위이다. 카르복실기 함유 수지 (A)의 산가가 40 mgKOH/g 미만이면 알칼리 현상이 곤란해지고, 한편 200 mgKOH/g을 초과하면 현상액에 의한 노광부의 용해가 진행되기 때문에, 필요 이상으로 라인이 가늘어지거나, 경우에 따라서는, 노광부와 미노광부의 구별없이 현상액으로 용해 박리되게 되어, 정상적인 레지스트 패턴의 형성이 곤란해지기 때문에 바람직하지 않다.Moreover, it is preferable that the acid value of the said carboxyl group-containing resin (A) exists in the range of 40-200 mgKOH / g, More preferably, it is the range of 45-120 mgKOH / g. When the acid value of the carboxyl group-containing resin (A) is less than 40 mgKOH / g, alkali development becomes difficult. On the other hand, when the acid value exceeds 200 mgKOH / g, dissolution of the exposed portion by the developer proceeds, so that the line becomes thinner or more than necessary. Therefore, it is not preferable because it is possible to dissolve and peel off the developer without distinction between the exposed portion and the unexposed portion, which makes it difficult to form a normal resist pattern.

또한, 상기 카르복실기 함유 수지 (A)의 중량 평균 분자량은, 수지 골격에 따라 다르지만, 일반적으로 2,000 내지 150,000의 범위가 바람직하고, 보다 바람직하게는 5,000 내지 100,000의 범위이다. 중량 평균 분자량이 2,000 미만이면 도막의 태크프리 성능이 떨어지는 경우가 있어, 노광 후의 도막의 내습성이 나빠서 현 상 시에 막 감소가 생겨, 해상도가 크게 떨어지는 경우가 있다. 한편, 중량 평균 분자량이 150,000을 초과하면 현상성이 현저하게 나빠지는 경우가 있어, 저장 안정성이 떨어지는 경우가 있다.Moreover, although the weight average molecular weight of the said carboxyl group-containing resin (A) changes with resin skeleton, generally the range of 2,000-150,000 is preferable, More preferably, it is the range of 5,000-100,000. If the weight average molecular weight is less than 2,000, the tack free performance of the coating film may be inferior, the moisture resistance of the coating film after exposure is poor, and a film reduction may occur at the time of development, and the resolution may be greatly reduced. On the other hand, when a weight average molecular weight exceeds 150,000, developability may remarkably worsen and storage stability may fall.

이러한 카르복실기 함유 수지 (A)의 배합량은 전체 조성물의 20 내지 60 질량%의 범위에 있는 것이 바람직하고, 바람직하게는 30 내지 50 질량%의 범위이다. 상기 범위보다 적은 경우, 도막 강도가 저하되기도 하기 때문에 바람직하지 않다. 한편, 상기 범위보다 많은 경우, 조성물의 점성이 높아지거나, 도포성 등이 저하되기 때문에 바람직하지 않다.It is preferable that the compounding quantity of such carboxyl group-containing resin (A) exists in the range of 20-60 mass% of the whole composition, Preferably it is the range of 30-50 mass%. When it is less than the said range, since coating film strength may fall, it is not preferable. On the other hand, when more than the said range, since the viscosity of a composition becomes high, applicability | paintability, etc. fall, it is not preferable.

다음으로, 본 발명에 이용하는 상기 화학식 I로 표시되는 기를 갖는 옥심에스테르계 광중합 개시제 (B)는, 소량이라도 감도가 충분하고, 후가열 및 부품 실장 시의 개시제 휘발에 의한 휘어짐의 방지에 효과가 있다. 통상, 감광성 커버레이 및 솔더 레지스트에 이용되는 감광성 조성물에는, 광중합 개시제가 카르복실기 함유 수지 100 질량부에 대하여 5 내지 20 질량부 포함되어 있다. 그러나, 상기 화학식 I로 표시되는 기를 갖는 옥심에스테르계 광중합 개시제 (B)는, 카르복실기 함유 수지 (A) 100 질량부에 대하여 0.1 내지 1.5 질량부로 충분하고, 또한 부품 실장 후의 휘어짐이 적은 경화물을 제공한다. 이것은, 광중합 개시제가 많이 포함되는 조성물의 경우, 아마 후가열 또는 부품 실장의 리플로우 땜납 시에 광중합 개시제가 휘발하여, 부피 수축하기 때문에 휘어짐이 발생한 것이라고 생각된다. 이것은, 다른 측면에서 보면, 조성물의 열경화 시에 거의 휘발하여 버리는 광중합 개시제의 경우, 비교적 많이 가하더라도 문제가 없다는 의미가 된다. 즉, 연성 기판의 제조 공정은, 광경화→ 열경화→ 후가열→ 부품 실장(리플로우 땜납)이 되는데, 일반적인 예를 들면, 그 온도 이력은 광경화(20 내지 30℃에서 수초)→ 열경화(140 내지 160℃에서 30 내지 60분)→ 후가열(150 내지 170℃에서 2시간)→ 부품 실장(240 내지 260℃에서 수초 내지 수십초)이다. 여기서, 열경화 시에 대부분이 휘발하여 버리는 광중합 개시제는 본 경화 이후에는 이미 휘발할 성분은 거의 남아있지 않아서, 후가열 및 부품 실장 시에 부피 수축의 원인이 되지 않는 것으로 생각된다. 그와 같은 광중합 개시제로서는, 150℃의 가열로 50% 이상 감소하는 화합물을 들 수 있고, 후술하는 (B1a)가 바람직하다.Next, the oxime ester photoinitiator (B) which has group represented by the said general formula (I) used for this invention has sufficient sensitivity, and it is effective in the prevention of the curvature by the initiator volatilization at the time of post-heating and component mounting. . Usually, 5-20 mass parts of photoinitiators are contained in the photosensitive composition used for the photosensitive coverlay and soldering resist with respect to 100 mass parts of carboxyl group-containing resin. However, the oxime ester photopolymerization initiator (B) having a group represented by the above formula (I) is sufficient to 0.1 to 1.5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin (A), and further provides a cured product having less warpage after component mounting. do. In the case of a composition containing a large number of photopolymerization initiators, it is presumed that warpage has occurred because the photopolymerization initiator volatilizes and volume shrinkage during post-heating or reflow soldering of component mounting. In other respects, this means that, in the case of the photopolymerization initiator which almost volatilizes upon thermal curing of the composition, there is no problem even if a relatively large amount is added. That is, the manufacturing process of a flexible substrate becomes photocuring → thermosetting → post-heating → component mounting (reflow solder). For example, the temperature history is photocuring (a few seconds at 20-30 degreeC) → thermosetting. (30 to 60 minutes at 140 to 160 ° C) → post-heating (2 hours at 150 to 170 ° C) → component mounting (several seconds to several tens of seconds at 240 to 260 ° C). Here, the photopolymerization initiator which most volatilizes at the time of thermosetting hardly remains the component which volatilizes after this hardening, and it is thought that it does not cause a volume shrinkage at the time of post-heating and component mounting. As such a photoinitiator, the compound reduced by 50% or more by the heating of 150 degreeC is mentioned, (B1a) mentioned later is preferable.

상기 화학식 I로 표시되는 기를 갖는 옥심에스테르계 광중합 개시제 (B)로서는, 바람직하게는 하기 화학식 V로 표시되는 2-(아세틸옥시이미노메틸)티오크산텐-9-온이나, 하기 화학식 VI 및 VII로 표시되는 화합물을 들 수 있다. As an oxime ester type photoinitiator (B) which has group represented by the said Formula (I), Preferably, it is 2- (acetyloxyiminomethyl) thioxanthene-9-one represented by following formula (V), and following formula (VI) and (VII) The compound shown is mentioned.

<화학식 V>(V)

Figure 112008068647698-pat00003
Figure 112008068647698-pat00003

<화학식 VI><Formula VI>

Figure 112008068647698-pat00004
Figure 112008068647698-pat00004

(식 중, R10은 수소 원자, 할로겐 원자, 탄소수 1 내지 12의 알킬기, 시클로펜틸기, 시클로헥실기, 페닐기, 벤질기, 벤조일기, 탄소수 2 내지 12의 알카노일기, 탄소수 2 내지 12의 알콕시카르보닐기(알콕실기를 구성하는 알킬기의 탄소수가 2 이상인 경우, 알킬기는 1개 이상의 수산기로 치환될 수도 있고, 알킬쇄의 중간에 1개 이상의 산소 원자를 가질 수도 있음) 또는 페녹시카르보닐기를 나타내고,(In formula, R <10> is a hydrogen atom, a halogen atom, a C1-C12 alkyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a phenyl group, a benzyl group, a benzoyl group, a C2-C12 alkanoyl group, a C2-C12 thing. An alkoxycarbonyl group (when the alkyl group constituting the alkoxyl group has 2 or more carbon atoms, the alkyl group may be substituted with one or more hydroxyl groups and may have one or more oxygen atoms in the middle of the alkyl chain) or a phenoxycarbonyl group,

R11, R13은 각각 독립적으로 페닐기(탄소수 1 내지 6의 알킬기, 페닐기 또는 할로겐 원자로 치환될 수도 있음) 탄소수 1 내지 20의 알킬기(1개 이상의 수산기로 치환될 수도 있고, 알킬쇄의 중간에 1개 이상의 산소 원자를 가질 수도 있음), 탄소수 5 내지 8의 시클로알킬기, 탄소수 2 내지 20의 알카노일기 또는 벤조일기(탄소수가 1 내지 6인 알킬기 또는 페닐기로 치환될 수도 있음)를 나타내고,R 11 and R 13 each independently represent a phenyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a halogen atom) and an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (which may be substituted with one or more hydroxyl groups, and 1 in the middle of the alkyl chain). May have one or more oxygen atoms), a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms or a benzoyl group (may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group),

R12는 수소 원자, 페닐기(탄소수 1 내지 6의 알킬기, 페닐기 또는 할로겐 원자로 치환될 수도 있음), 탄소수 1 내지 20의 알킬기(1개 이상의 수산기로 치환될 수도 있고, 알킬쇄의 중간에 1개 이상의 산소 원자를 가질 수도 있음), 탄소수 5 내지 8의 시클로알킬기, 탄소수 2 내지 20의 알카노일기 또는 벤조일기(탄소수가 1 내지 6인 알킬기 또는 페닐기로 치환될 수도 있음)를 나타냄)R 12 is a hydrogen atom, a phenyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a halogen atom), an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (which may be substituted with one or more hydroxyl groups, and at least one in the middle of the alkyl chain) May have an oxygen atom), a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms, or a benzoyl group (which may be substituted with an alkyl or phenyl group having 1 to 6 carbon atoms)

<화학식 VII><Formula VII>

Figure 112008068647698-pat00005
Figure 112008068647698-pat00005

(식 중, R14 및 R15는 각각 독립적으로 탄소수 1 내지 12의 알킬기를 나타내고, M은 S, O 또는 NH를 나타내고, R16, R17, R18, R19 및 R20은 각각 독립적으로 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 6의 알킬기를 나타내고, m 및 n은 0 내지 5의 정수를 나타냄) (Wherein, R 14 and R 15 each independently represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, M represents S, O, or NH, and R 16 , R 17 , R 18 , R 19, and R 20 each independently Hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, m and n represent an integer of 0 to 5)

상기 옥심에스테르계 광중합 개시제 (B) 중에서도, 상기 화학식 V로 표시되는 2-(아세틸옥시이미노메틸)티오크산텐-9-온, 및 화학식 VI으로 표시되는 화합물이 보다 바람직하다. 시판품으로서는, 시바 스페셜티 케미컬즈사 제조의 CGI-325, 이르가큐어-OXE01, 이르가큐어-OXE02 등을 들 수 있다.Among the oxime ester photopolymerization initiators (B), 2- (acetyloxyiminomethyl) thioxanthene-9-one represented by the general formula (V) and the compound represented by the general formula (VI) are more preferable. As a commercial item, CGI-325, Irgacure-OXE01, Irgacure-OXE02, etc. made by Ciba Specialty Chemicals, etc. are mentioned.

상기한 바와 같은 옥심에스테르계 광중합 개시제는 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.The oxime ester type photoinitiator as mentioned above can be used individually or in combination of 2 or more types.

전술한 바와 같이, 상기한 옥심에스테르계 광중합 개시제 (B)의 최적량은, 상기 카르복실기 함유 수지 (A) 100 질량부에 대하여 0.1 내지 1.5 질량부로 충분 하지만, 보다 광반응을 확실하게 하기 위해서 상기 옥심에스테르계 이외의 광중합 개시제 (B1) 또는 광중합 보조제 (B2)를 가할 수 있다. 후가열에 의한 휘어짐을 감소시킬 목적으로, 가하는 다른 개시제의 배합량은 상기 카르복실기 함유 수지 (A) 100 질량부에 대하여, 합계량으로 6 질량부 이하인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 5 질량부 이하이다. 또한 예외로서, 열경화하는 공정(150℃ 정도의 가열)에서 휘발하는 광중합 개시제 (B1a)는, 상기 범위보다도 많이 가하더라도, 후가열 공정 시에는 휘발의 영향이 없고, 목적하는 대로 저휘어짐을 실현할 수 있는 것이 분명해졌다. 이러한 가열 휘발성의 광중합 개시제 (B1a)는 열중량 분석 및 헤드스페이스 GC-MS 등으로 간단히 분석하여 선정할 수가 있어, 150℃의 열경화의 전과 후에, 휘발하여 오는 광중합 개시제의 양이 극단적으로(50% 이상) 변화하는 화합물이 바람직하다. 구체적인 예로서는, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로파논-1, 시판품으로서는, 시바 스페셜티 케미컬즈사 제조의 이르가큐어-907 등이 있다.As described above, the optimum amount of the oxime ester photopolymerization initiator (B) is sufficient to be 0.1 to 1.5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin (A), but the oxime in order to ensure more photoreaction. Photoinitiator (B1) or photoinitiator (B2) other than ester type can be added. It is preferable that the compounding quantity of the other initiator to add is 6 mass parts or less in total amount with respect to 100 mass parts of said carboxyl group-containing resin (A) for the purpose of reducing curvature by post-heating, More preferably, it is 5 mass parts or less. In addition, as an exception, the photopolymerization initiator (B1a) volatilized in the thermosetting step (heating at about 150 ° C.) has no effect of volatilization during the post-heating step even if more than the above range is applied. It became clear that it could. Such a heat-volatile photopolymerization initiator (B1a) can be selected by simple analysis by thermogravimetric analysis, headspace GC-MS, etc., and the amount of photopolymerization initiator which volatilizes before and after 150 ° C. is extremely extreme (50 % Or more) The compound which changes is preferable. As a specific example, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2- morpholino propanone- 1, a commercial item, Irgacure-907 by Ciba Specialty Chemicals Corporation, etc. are mentioned.

기타, 150℃에서 휘발하지 않지만 소량 가할 수 있는 광중합 개시제로서는, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄-1-온, 2-(디메틸아미노)-2-[(4-메틸페닐)메틸]-1-[4-(4-모르폴리닐)페닐]-1-부타논, N,N-디메틸아미노아세토페논 등을 들 수 있다. 시판품으로서는, 시바 스페셜티 케미컬즈사 제조의 이르가큐어-369, 이르가큐어-379 등을 들 수 있다.In addition, as a photoinitiator which does not volatilize at 150 degreeC but can add a small amount, 2-benzyl-2- dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2- (dimethylamino) -2 -[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone, N, N-dimethylaminoacetophenone, etc. are mentioned. Examples of commercially available products include Irgacure-369 and Irgacure-379 manufactured by Ciba Specialty Chemicals.

또한, 아실포스핀옥사이드계 개시제로서, 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드, 비스(2,4,6-트리메틸벤조일)-페닐포스핀옥사이드, 비스(2,6-디메톡시벤 조일)-2,4,4-트리메틸-펜틸포스핀옥사이드 등을 들 수 있다. 시판품으로서는, 바스프(BASF)사 제조의 루시린 TPO, 시바 스페셜티 케미컬즈사 제조의 이르가큐어-819 등을 들 수 있다.Moreover, as an acyl phosphine oxide type initiator, 2,4,6- trimethyl benzoyl diphenyl phosphine oxide, bis (2, 4, 6- trimethyl benzoyl)-phenyl phosphine oxide, bis (2, 6- dimethoxybene And crude) -2,4,4-trimethyl-pentylphosphine oxide. As a commercial item, Lucirin TPO by BASF Corporation, Irgacure-819 by Ciba Specialty Chemicals Corporation, etc. are mentioned.

그 외에 본 발명의 감광성 수지 조성물에 사용할 수 있는 광개시 보조제 및 증감제로서는, 벤조인 화합물, 아세토페논 화합물, 안트라퀴논 화합물, 티오크산톤 화합물, 케탈 화합물, 벤조페논 화합물, 크산톤 화합물 및 3급 아민 화합물 등을 들 수 있다.In addition, as a photoinitiation adjuvant and a sensitizer which can be used for the photosensitive resin composition of this invention, a benzoin compound, an acetophenone compound, an anthraquinone compound, a thioxanthone compound, a ketal compound, a benzophenone compound, a xanthone compound, and a tertiary An amine compound etc. are mentioned.

벤조인 화합물의 구체예를 들면, 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인이소프로필에테르이다.Specific examples of the benzoin compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, and benzoin isopropyl ether.

아세토페논 화합물의 구체예를 들면, 아세토페논, 2,2-디메톡시-2-페닐아세토페논, 2,2-디에톡시-2-페닐아세토페논, 1,1-디클로로아세토페논이다.Specific examples of the acetophenone compound include acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, and 1,1-dichloroacetophenone.

안트라퀴논 화합물의 구체예를 들면, 2-메틸안트라퀴논, 2-에틸안트라퀴논, 2-t-부틸안트라퀴논, 1-클로로안트라퀴논이다.Specific examples of the anthraquinone compound include 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, and 1-chloroanthraquinone.

티오크산톤 화합물의 구체예를 들면, 2,4-디메틸티오크산톤, 2,4-디에틸티오크산톤, 2-클로로티오크산톤, 2,4-디이소프로필티오크산톤이다.Specific examples of the thioxanthone compound include 2,4-dimethyl thioxanthone, 2,4-diethyl thioxanthone, 2-chloro thioxanthone, and 2,4-diisopropyl thioxanthone.

케탈 화합물의 구체예를 들면, 아세토페논디메틸케탈, 벤질디메틸케탈이다.Specific examples of the ketal compound include acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal.

벤조페논 화합물의 구체예를 들면, 벤조페논, 4-벤조일디페닐술피드, 4-벤조일-4'-메틸디페닐술피드, 4-벤조일-4'-에틸디페닐술피드, 4-벤조일-4'-프로필디페닐술피드이다.Specific examples of the benzophenone compound include benzophenone, 4-benzoyldiphenyl sulfide, 4-benzoyl-4'-methyldiphenyl sulfide, 4-benzoyl-4'-ethyldiphenyl sulfide, 4-benzoyl- 4'-propyldiphenylsulfide.

3급 아민 화합물의 구체예를 들면, 에탄올아민 화합물, 디알킬아미노벤젠 구 조를 갖는 화합물, 예를 들면 4,4'-디메틸아미노벤조페논(니혼소다사 제조 닛소 큐어 MABP), 4,4'-디에틸아미노벤조페논(호도가야 가가꾸사 제조 EAB) 등의 디알킬아미노벤조페논, 7-(디에틸아미노)-4-메틸-2H-1-벤조피란-2-온(7-(디에틸아미노)-4-메틸쿠마린) 등의 디알킬아미노기 함유 쿠마린 화합물, 4-디메틸아미노벤조산에틸(닛본 가야꾸사 제조 카야큐어 EPA), 2-디메틸아미노벤조산에틸(인터내셔날바이오-신세틱스사 제조 퀀타큐어(Quantacure) DMB), 4-디메틸아미노벤조산(n-부톡시)에틸(인터내셔날바이오-신세틱스사 제조 퀀타큐어 BEA), p-디메틸아미노벤조산이소아밀에틸에스테르(닛본 가야꾸사 제조 카야큐어 DMBI), 4-디메틸아미노벤조산2-에틸헥실(반 다이크(Van Dyk)사 제조 에솔올(Esolol)507), 4,4'-디에틸아미노벤조페논(호도가야 가가꾸사 제조 EAB)이다.Specific examples of the tertiary amine compound include ethanolamine compounds and compounds having a dialkylaminobenzene structure, for example, 4,4'-dimethylaminobenzophenone (Nisso Cure MABP manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.), 4,4 ' -Dialkylaminobenzophenones such as diethylaminobenzophenone (EAB manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.), 7- (diethylamino) -4-methyl-2H-1-benzopyran-2-one (7- (di Dialkylamino group-containing coumarin compounds, such as ethylamino) -4-methylcoumarin), 4-dimethylaminobenzoate ethyl (Kayakyue EPA by Nippon Kayaku Co., Ltd.), ethyl 2-dimethylaminobenzoate (Quantacure by International Bio-Synthetics Co., Ltd.) (Quantacure) DMB), 4-dimethylaminobenzoic acid (n-butoxy) ethyl (Quantacure BEA, manufactured by International Bio-Synthetics Co., Ltd.) , 4-dimethylaminobenzoic acid 2-ethylhexyl (Esolol manufactured by Van Dyk) ol) 507) and 4,4'-diethylaminobenzophenone (EAB by Hodogaya Chemical Co., Ltd.).

상기한 광중합 개시제 중에서도, 티오크산톤 화합물 및 3급 아민 화합물이 바람직하다. 본 발명의 감광성 수지 조성물에는 티오크산톤 화합물이 포함되는 것이 심부 경화성의 면에서 바람직하고, 그중에서도, 2,4-디메틸티오크산톤, 2,4-디에틸티오크산톤, 2-클로로티오크산톤, 2,4-디이소프로필티오크산톤 등의 티오크산톤 화합물이 바람직하다.Among the photoinitiators described above, thioxanthone compounds and tertiary amine compounds are preferred. It is preferable that a thioxanthone compound is contained in the photosensitive resin composition of this invention from the point of deep-curing property, Especially, 2, 4- dimethyl thioxanthone, 2, 4- diethyl thioxanthone, 2-chloro thioxanthone Thioxanthone compounds, such as 2, 4- diisopropyl thioxanthone, are preferable.

이러한 티오크산톤 화합물의 배합량으로서는, 상기 카르복실기 함유 수지 (A) 100 질량부에 대하여, 바람직하게는 2 질량부 이하, 보다 바람직하게는 1 질량부 이하의 비율이다. 티오크산톤 화합물의 배합량이 너무 많으면, 후가열 시의 휘어짐의 원인이 되고, 제품의 비용 상승으로 이어지기 때문에 바람직하지 않다.As a compounding quantity of such a thioxanthone compound, Preferably it is 2 mass parts or less, More preferably, it is the ratio of 1 mass part or less with respect to 100 mass parts of said carboxyl group-containing resin (A). If the compounding quantity of a thioxanthone compound is too large, it will cause curvature at the time of post-heating, and since it leads to the cost increase of a product, it is unpreferable.

3급 아민 화합물로서는 디알킬아미노벤젠 구조를 갖는 화합물이 바람직하고, 그중에서도, 디알킬아미노벤조페논 화합물, 최대 흡수 파장이 350 내지 410 nm에 있는 디알킬아미노기 함유 쿠마린 화합물이 특히 바람직하다. 디알킬아미노벤조페논 화합물로서는, 4,4'-디에틸아미노벤조페논이 독성도 낮고 바람직하다. 최대 흡수 파장이 350 내지 410 nm에 있는 디알킬아미노기 함유 쿠마린 화합물은, 최대 흡수 파장이 자외선 영역에 있기 때문에, 착색이 적고, 무색 투명인 감광성 수지 조성물은 물론, 착색 안료를 이용하여 착색 안료 자체의 색을 반영한 착색 솔더 레지스트막을 제공하는 것이 가능해진다. 특히, 7-(디에틸아미노)-4-메틸-2H-1-벤조피란-2-온이 파장 400 내지 410 nm의 레이저광에 대하여 우수한 증감 효과를 나타내는 것부터 바람직하다.As the tertiary amine compound, a compound having a dialkylaminobenzene structure is preferable, and a dialkylaminobenzophenone compound and a dialkylamino group-containing coumarin compound having a maximum absorption wavelength of 350 to 410 nm are particularly preferable. As the dialkylaminobenzophenone compound, 4,4'-diethylaminobenzophenone is also low in toxicity and preferable. The dialkylamino group-containing coumarin compound having a maximum absorption wavelength of 350 to 410 nm has little coloration because the maximum absorption wavelength is in the ultraviolet region, and of course, the colorless transparent photosensitive resin composition can be used as a color pigment for the color pigment itself. It becomes possible to provide the coloring soldering resist film which reflected the color. In particular, 7- (diethylamino) -4-methyl-2H-1-benzopyran-2-one is preferable since it shows the outstanding sensitizing effect with respect to the laser beam of wavelength 400-410 nm.

이러한 3급 아민 화합물의 배합량으로서는, 상기 카르복실기 함유 수지 (A) 100 질량부에 대하여, 바람직하게는 0.1 내지 2 질량부, 보다 바람직하게는 0.1 내지 1 질량부의 비율이다. 3급 아민 화합물의 배합량이 0.1 질량부 이하이면 충분한 증감 효과를 얻을 수 없는 경향이 있다. 2 질량부를 초과하면, 후가열 시의 휘어짐의 원인이 되고, 제품의 비용 상승으로 이어지기 때문에 바람직하지 않다.As a compounding quantity of such a tertiary amine compound, Preferably it is 0.1-2 mass parts with respect to 100 mass parts of said carboxyl group-containing resin (A), More preferably, it is the ratio of 0.1-1 mass part. When the compounding quantity of a tertiary amine compound is 0.1 mass part or less, there exists a tendency for sufficient sensitization effect not to be acquired. When it exceeds 2 mass parts, since it causes curvature at the time of post-heating, and leads to the cost increase of a product, it is unpreferable.

상기한 바와 같은 광중합 개시제, 광개시 보조제 및 증감제는 단독으로 또는 2종 이상의 혼합물로서 사용할 수 있다.Photoinitiator, photoinitiation adjuvant, and sensitizer as mentioned above can be used individually or as a mixture of 2 or more types.

이들 광중합 개시제 및 개시 보조제의 배합 비율은, 상기 카르복실기 함유 수지 (A) 100 질량부에 대하여 상기 화학식 I로 표시되는 기를 갖는 옥심에스테르계 광중합 개시제 (B)가 0.1 내지 1.5 질량부라는 배합 비율의 규정 외에, 후에 진술하는 착색제 및 증감제도 포함시킨 조성물의 건조 도막의 355 nm에서의 흡광도가 건조 막두께 25 ㎛에서 0.3 내지 1.2의 범위가 된 비율로 가하는 것이 바람직하다. 이 흡광도의 범위는, 본 발명에서 목적으로 하고 있는 후가열 및 부품 실장의 리플로우 땜납 시의 휘어짐을 감소시키는 것에 효과가 있는 것을 알았다. 상세는 분명하지 않지만, 조성물의 광반응을 표층과 심부에서 비교적 균일하게 광경화할 수가 있는 범위인 것에 의한 것이라고 생각된다. 흡광도가 1.2보다 높으면 심부까지 광이 투과하지 않아, 미반응 광경화 성분이 많이 잔존하여, 후가열이나 부품 실장의 리플로우 땜납으로 급격히 반응하여 기판의 휘어짐이나 주름을 생기는 현상이 보였다. 한편, 흡광도가 0.3보다도 낮은 경우, 광을 유효하게 이용할 수 없고, 고감도화나 본 발명의 목적의 하나인 레이저 다이렉트 노광에 대응할 수 없기 때문에 적당하지 않다. 기타, 흡광도를 상기 바람직한 범위로 조정함으로써, 경화 피막의 내약품성 및 무전해 금도금성도 향상되는 것이 분명해졌다. 이들 현상은 종래 명확하게 되어 있지 않던 것으로서, 본 발명자들에 의해 처음으로 발견된 효과이다.The compounding ratio of these photoinitiators and an initiator is prescribed | regulated that the compounding ratio of 0.1-1.5 mass parts of oxime ester system photoinitiators (B) which has group represented by the said Formula (I) with respect to 100 mass parts of said carboxyl group-containing resin (A). In addition, it is preferable to add the absorbance at 355 nm of the dry coating film of the composition which contains the coloring agent and sensitizer mentioned later in the ratio which became the range of 0.3-1.2 at 25 micrometers of dry film thickness. This range of absorbance was found to be effective in reducing warping during reheating of the post-heating and component mounting aimed at the present invention. Although the detail is not clear, it is thought that it is because the photoreaction of a composition is the range which can photocure at the surface layer and deep part relatively uniformly. When the absorbance was higher than 1.2, light did not penetrate to the deep portion, and many unreacted photocurable components remained, and the phenomenon was caused by the rapid heating or reflow soldering of the component mounting, causing the substrate to bend or wrinkle. On the other hand, when the absorbance is lower than 0.3, it is not suitable because light cannot be used effectively and cannot cope with high sensitivity and laser direct exposure, which is one of the objects of the present invention. In addition, it became clear that chemical resistance and electroless gold plating property of a hardened film improve also by adjusting absorbance to the said preferable range. These phenomena have not been clarified in the past, and are the first effects discovered by the present inventors.

상기 분자 중에 2개 이상의 에틸렌성 불포화기를 갖는 화합물 (C)로서는, 종래 공지된 각종 (메트)아크릴레이트 단량체를 사용할 수 있고, 특정한 것에 한정되지 않는다. 구체예로서는, 예를 들면 에틸렌글리콜, 메톡시테트라에틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜 등의 글리콜의 디아크릴레이트류; 헥산디올, 트리메틸올프로판, 펜타에리트리톨, 디펜타에리트리톨, 트리스-히드록시에틸이소시아누레이트 등의 다가 알코올 또는 이들 에틸렌옥사이드 부가물, 프로필렌옥사이드 부가물 또는 카프로락톤 부가물 등의 다가 아크릴레이트류; 페녹시아크릴레이트, 비스페놀 A디아크릴레이트, 및 이들 페놀류의 에틸렌옥사이드 부가물 또는 프로필 렌옥사이드 부가물 등의 다가 아크릴레이트류; 상기 폴리알코올류의 우레탄아크릴레이트류; 글리세린디글리시딜에테르, 글리세린트리글리시딜에테르, 트리메틸올프로판트리글리시딜에테르, 트리글리시딜이소시아누레이트 등의 글리시딜에테르의 다가 아크릴레이트류; 멜라민아크릴레이트; 및 상기 아크릴레이트에 대응하는 각 메타크릴레이트류 등을 들 수 있다.As a compound (C) which has two or more ethylenically unsaturated groups in the said molecule, various conventionally well-known (meth) acrylate monomers can be used, It is not limited to a specific thing. As a specific example, For example, Diacrylates of glycol, such as ethylene glycol, methoxy tetraethylene glycol, polyethylene glycol, propylene glycol; Polyhydric alcohols such as hexanediol, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, tris-hydroxyethyl isocyanurate, or polyhydric acrylates such as ethylene oxide adducts, propylene oxide adducts or caprolactone adducts Ryu; Polyhydric acrylates, such as phenoxy acrylate, bisphenol A diacrylate, and ethylene oxide adducts or propylene oxide adducts of these phenols; Urethane acrylates of the polyalcohols; Polyhydric acrylates of glycidyl ethers such as glycerin diglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether and triglycidyl isocyanurate; Melamine acrylate; And each methacrylate corresponding to the said acrylate etc. are mentioned.

또한, 크레졸노볼락형 에폭시 수지 등의 다관능 에폭시 수지에, (메트)아크릴산을 반응시킨 에폭시아크릴레이트 수지나, 또한 그 에폭시아크릴레이트 수지의 수산기에, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트 등의 히드록시(메트)아크릴레이트와 이소포론디이소시아네이트 등의 디이소시아네이트의 하프우레탄 화합물을 반응시킨 에폭시우레탄아크릴레이트 화합물 등을 들 수 있다. 이러한 에폭시아크릴레이트계 수지는 지촉(指觸) 건조성을 저하시키지 않고, 광경화성을 향상시킬 수 있다.Moreover, hydroxy, such as pentaerythritol triacrylate, in the epoxy acrylate resin which made (meth) acrylic acid react with polyfunctional epoxy resins, such as a cresol novolak-type epoxy resin, and the hydroxyl group of this epoxy acrylate resin ( Epoxyurethane acrylate compounds etc. which made the half-urethane compound of diisocyanate, such as meth) acrylate and isophorone diisocyanate react, are mentioned. Such epoxy acrylate-based resin can improve photocurability without deteriorating the touch dryness.

상기 에틸렌성 불포화기 함유 화합물 중에서도, 바람직하게는 2개의 에틸렌성 불포화기를 함유하고 있는 것, 다관능으로서도 폴리올에틸렌옥사이드, 프로필렌옥사이드, 카프로락톤을 부가하여 변성한 것의 (메트)아크릴레이트류가 바람직하다.Among the above ethylenically unsaturated group-containing compounds, preferably (meth) acrylates containing two ethylenically unsaturated groups and those modified by addition of polyolethylene oxide, propylene oxide and caprolactone as polyfunctionals are also preferred. .

또한, 난연성 측면에서는, 9,10-디히드로-9-옥사-10-포스파페난트렌-10-옥사이드와 관용 공지된 다관능(메트)아크릴레이트와의 마이클 부가 반응에 의한 변성물이 바람직하다.Further, from the viewpoint of flame retardancy, a modified product by Michael addition reaction of 9,10-dihydro-9-oxa-10-phosphafaphenanthrene-10-oxide with a conventionally known polyfunctional (meth) acrylate is preferable. .

상기한 바와 같은 분자 중에 2개 이상의 에틸렌성 불포화기를 갖는 화합물 (C)의 배합량은, 상기 카르복실기 함유 수지 (A) 100 질량부에 대하여 5 내지 100 질량부, 보다 바람직하게는 1 내지 70 질량부의 비율이다. 상기 배합량이 5 질량부 미만인 경우, 광경화성이 저하되어, 활성 에너지선 조사 후의 알칼리 현상에 의해 패턴 형성이 곤란해지기 때문에 바람직하지 않다. 한편, 100 질량부를 초과한 경우, 알칼리 수용액에 대한 용해성이 저하되어, 도막이 취약해지기 때문에 바람직하지 않다.The compounding quantity of the compound (C) which has two or more ethylenically unsaturated groups in a molecule | numerator as mentioned above is 5-100 mass parts with respect to 100 mass parts of said carboxyl group-containing resin (A), More preferably, it is the ratio of 1-70 mass parts. to be. When the said compounding quantity is less than 5 mass parts, since photocurability falls and pattern formation becomes difficult by alkali image development after active energy ray irradiation, it is unpreferable. On the other hand, when it exceeds 100 mass parts, since solubility to aqueous alkali solution falls and a coating film becomes weak, it is unpreferable.

본 발명의 감광성 수지 조성물에는, 내열성을 부여하기 위해서 열경화성 성분 (D)를 가할 수 있다. 특히 바람직한 열경화성 성분 (D)는 분자 중에 2개 이상의 환상 에테르기 및/또는 환상 티오에테르기(이하, 환상 (티오)에테르기 라고 함)를 갖는 열경화성 수지이다. 이들 중에서도 2관능성의 에폭시 수지가 바람직하고, 그 외에는 디이소시아네이트나 그 2관능성 블록 이소시아네이트도 사용할 수 있다.A thermosetting component (D) can be added to the photosensitive resin composition of this invention in order to provide heat resistance. Particularly preferred thermosetting component (D) is a thermosetting resin having two or more cyclic ether groups and / or cyclic thioether groups (hereinafter referred to as cyclic (thio) ether groups) in the molecule. Among these, a bifunctional epoxy resin is preferable and a diisocyanate and its bifunctional block isocyanate can also be used.

이러한 분자 중에 2개 이상의 환상 (티오)에테르기를 갖는 열경화성 성분 (D)는, 분자 중에 3, 4 또는 5원환의 환상 에테르기, 또는 환상 티오에테르기 중 어느 하나 또는 2종의 기를 2개 이상 갖는 화합물이고, 예를 들면 분자 중에 적어도 2개 이상의 에폭시기를 갖는 화합물, 즉 다관능 에폭시 화합물 (D-1), 분자 중에 적어도 2개 이상의 옥세타닐기를 갖는 화합물, 즉 다관능 옥세탄 화합물 (D-2), 분자 중에 2개 이상의 티오에테르기를 갖는 화합물, 즉 에피술피드 수지 (D-3) 등을 들 수 있다.The thermosetting component (D) having two or more cyclic (thio) ether groups in such a molecule has two or more of any one or two of three, four or five member cyclic cyclic ether groups, or cyclic thioether groups in the molecule. Compound, for example, a compound having at least two or more epoxy groups in a molecule, that is, a polyfunctional epoxy compound (D-1), a compound having at least two or more oxetanyl groups in a molecule, that is, a polyfunctional oxetane compound (D- 2) and the compound which has 2 or more thioether group in a molecule | numerator, ie, episulfide resin (D-3), etc. are mentioned.

상기 다관능 에폭시 화합물 (D-1)로서는, 예를 들면 재팬 에폭시 레진사 제조의 JER828, JER834, JER1001, JER1004, 다이닛본 잉크 가가꾸 고교사 제조의 에피클론840, 에피클론850, 에피클론1050, 에피클론2055, 도토 가세이사 제조의 에포 토토 YD-011, YD-013, YD-127, YD-128, 다우 케미컬사 제조의 D.E.R.317, D.E.R.331, D.E.R.661, D.E.R.664, 시바 스페셜티 케미컬즈사의 아랄다이드6071, 아랄다이드6084, 아랄다이드GY250, 아랄다이드GY260, 스미토모 가가꾸 고교사 제조의 스미에폭시 ESA-011, ESA-014, ELA-115, ELA-128, 아사히 가세이 고교사 제조의 A.E.R.330, A.E.R.331, A.E.R.661, A.E.R.664 등(모두 상품명)의 비스페놀 A형 에폭시 수지; 재팬 에폭시 레진사 제조의 YL903, 다이닛본 잉크 가가꾸 고교사 제조의 에피클론152, 에피클론165, 도토 가세이사 제조의 에포토토 YDB-400, YDB-500, 다우 케미컬사 제조의 D.E.R.542, 시바 스페셜티 케미컬즈사 제조의 아랄다이드8011, 스미토모 가가꾸 고교사 제조의 스미에폭시 ESB-400, ESB-700, 아사히 가세이 고교사 제조의 A.E.R.711, A.E.R.714 등(모두 상품명)의 브롬화 에폭시 수지; 재팬 에폭시 레진사 제조의 JER152, JER154, 다우 케미컬사 제조의 D.E.N.431, D.E.N.438, 다이닛본 잉크 가가꾸 고교사 제조의 에피클론 N-730, 에피클론 N-770, 에피클론 N-865, 도토 가세이사 제조의 에포토토 YDCN-701, YDCN-704, 시바 스페셜티 케미컬즈사 제조의 아랄다이드 ECN1235, 아랄다이드 ECN1273, 아랄다이드 ECN1299, 아랄다이드 XPY307, 닛본 가야꾸사 제조의 EPPN-201, EOCN-1025, EOCN-1020, EOCN-104S, RE-306, 스미토모 가가꾸 고교사 제조의 스미에폭시 ESCN-195X, ESCN-220, 아사히 가세이 고교사 제조의 A.E.R.ECN-235, ECN-299 등(모두 상품명)의 노볼락형 에폭시 수지; 다이닛본 잉크 가가꾸 고교사 제조의 에피클론830, 재팬 에폭시 레진사 제조 JER807, 도토 가세이사 제조의 에포토토 YDF-170, YDF-175, YDF-2001, YDF-2004, 시바 스페셜티 케미컬즈사 제조의 아랄다이드 XPY306 등(모두 상품명)의 비스페놀 F형 에폭시 수지; 도토 가세이사 제조의 에포토토 ST-2004, ST-2007, ST-3000(상품명) 등의 수소 첨가 비스페놀 A형 에폭시 수지; 재팬 에폭시 레진사 제조의 JER604, 도토 가세이사 제조의 에포토토 YH-434, 시바 스페셜티 케미컬즈사 제조의 아랄다이드 MY720, 스미토모 가가꾸 고교사 제조의 스미에폭시 ELM-120 등(모두 상품명)의 글리시딜아민형 에폭시 수지; 시바 스페셜티 케미컬즈사 제조의 아랄다이드 CY-350(상품명) 등의 히단토인형 에폭시 수지; 다이셀 가가꾸 고교사 제조의 셀록사이드2021, 시바 스페셜티 케미컬즈사 제조의 아랄다이드 CY175, CY179 등(모두 상품명)의 지환식 에폭시 수지; 재팬 에폭시 레진사 제조의 YL-933, 다우 케미컬사 제조의 T.E.N., EPPN-501, EPPN-502 등(모두 상품명)의 트리히드록시페닐메탄형 에폭시 수지; 재팬 에폭시 레진사 제조의 YL-6056, YX-4000, YL-6121(모두 상품명) 등의 비크실레놀형 또는 비페놀형 에폭시 수지 또는 이들의 혼합물; 닛본 가야꾸사 제조 EBPS-200, 아사히덴카 고교사 제조 EPX-30, 다이닛본 잉크 가가꾸 고교사 제조의 EXA-1514(상품명) 등의 비스페놀 S형 에폭시 수지; 재팬 에폭시 레진사 제조의 JER157S(상품명) 등의 비스페놀 A 노볼락형 에폭시 수지; 재팬 에폭시 레진사 제조의 YL-931, 시바 스페셜티 케미컬즈사 제조의 아랄다이드163 등(모두 상품명)의 테트라페닐올에탄형 에폭시 수지; 시바 스페셜티 케미컬즈사 제조의 아랄다이드 PT810, 닛산 가가꾸 고교사 제조의 TEPIC 등(모두 상품명)의 복소환식 에폭시 수지; 닛본 유시사 제조 브렘머 DGT 등의 디글리시딜프탈레이트 수지; 도토 가세이사 제조 ZX-1063 등의 테트라글리시딜크실레노일에탄 수지; 신닛테쯔 가가꾸사 제조 ESN-190, ESN-360, 다이닛본 잉크 가가꾸 고교사 제조 HP- 4032, EXA-4750, EXA-4700 등의 나프탈렌기 함유 에폭시 수지; 다이닛본 잉크 가가꾸 고교사 제조 HP-7200, HP-7200H 등의 디시클로펜타디엔 골격을 갖는 에폭시 수지; 닛본 유시사 제조 CP-50S, CP-50M 등의 글리시딜메타아크릴레이트 공중합계 에폭시 수지; 시클로헥실말레이미드와 글리시딜메타아크릴레이트의 공중합 에폭시 수지; 에폭시 변성의 폴리부타디엔고무 유도체(예를 들면, 다이셀 가가꾸 고교 제조 PB-3600 등), CTBN 변성 에폭시 수지(예를 들면, 도토 가세이사 제조의 YR-102, YR-450 등) 등을 들 수 있지만, 이들에 한정되는 것은 아니다. 이들 에폭시 수지는 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. 이들 중에서도 특히 노볼락형 에폭시 수지, 복소환식 에폭시 수지, 비스페놀 A형 에폭시 수지 또는 이들의 혼합물이 바람직하다.Examples of the polyfunctional epoxy compound (D-1) include JER828, JER834, JER1001 and JER1004 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., Epiclone 840, Epiclone 850, Epiclone 1050, manufactured by Dainippon Ink Industries, Ltd. Epiclone 2055, Eto Toto YD-011, YD-013, YD-127, YD-128 manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., DER317, DER331, DER661, DER664, manufactured by Dow Chemical Co., Ltd. Of die 6071, Araldide 6804, Araldide GY250, Araldide GY260, Sumitomo Kagaku Kogyo Co., Ltd. Sumiepoxy ESA-011, ESA-014, ELA-115, ELA-128, Asahi Kasei Kogyo Co., Ltd. Bisphenol A type epoxy resins such as AER330, AER331, AER661, and AER664 (both trade names); YL903 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., Epiclone 152, Epiclone 165, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals Co., Ltd., Efototo YDB-400, YDB-500, manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., DER542, Shiva, manufactured by Dow Chemical Co., Ltd. Brominated epoxy resins such as Araldide 8011 manufactured by Specialty Chemicals, Sumitomo Chemical Co., Ltd., Semiepoxy ESB-400, ESB-700, ASA711 manufactured by Asahi Kasei Kogyo Co., Ltd., and all (trade names); JER152, JER154 made in Japan epoxy resin company, DEN431, DEN438 made by Dow Chemical Co., Ltd., Epiclone N-730, Epiclone N-770, Epiclone N-865, Dotogase Co., Ltd. Efototo YDCN-701, YDCN-704, Araldide ECN1235, Araldide ECN1273, Araldide ECN1299, Araldide XPY307, Nippon Kayaku Co., Ltd. EPPN-201, EOCN -1025, EOCN-1020, EOCN-104S, RE-306, AERECN-235, ECN-299 by Sumiepoxy ESCN-195X, ESCN-220, Asahi Kasei Kogyo Co., Ltd., all manufactured by Sumitomo Chemical Industries, Ltd. Novolak type epoxy resins); Of epiclon 830 made by Dainippon ink Kagaku Kogyo Co., Ltd., JER807 manufactured by Japan epoxy resin company, Etoto YDF-170, YDF-175, YDF-2001, YDF-2004, product made by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd. Bisphenol F-type epoxy resins, such as Araldide XPY306 (all are brand names); Hydrogenated bisphenol A type epoxy resins such as Efototo ST-2004, ST-2007, ST-3000 (trade name) manufactured by Toto Kasei Co., Ltd .; Glee of JER604 made in Japan epoxy resin company, Etoto YH-434 made by Toto Kasei Co., Ltd., Araldide MY720 made by Ciba Specialty Chemicals, Sumiepoxy ELM-120 made by Sumitomo Chemical Co., Ltd. (all brand names) Cydylamine type epoxy resins; Hydantoin type epoxy resins, such as Araldide CY-350 (brand name) by the Ciba Specialty Chemicals company; Alicyclic epoxy resins such as Celoxide 2021 manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd., Araldide CY175 manufactured by Ciba Specialty Chemicals, and CY179 (both trade names); Trihydroxyphenylmethane type epoxy resins such as YL-933 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., T.E.N., EPPN-501, EPPN-502 manufactured by Dow Chemical Co., Ltd. (both trade names); Bixylenol type or biphenol type epoxy resins, such as YL-6056, YX-4000, and YL-6121 (all are brand names) by the Japan epoxy resin company, or mixtures thereof; Bisphenol S type epoxy resins, such as Nippon Kayaku Co., Ltd. EBPS-200, Asahi Denka Kogyo Co., Ltd. EPX-30, and Dai Nippon Ink Chemical Co., Ltd. EXA-1514 (brand name); Bisphenol A novolak-type epoxy resins, such as JER157S (brand name) by the Japan epoxy resin company; Tetraphenylolethane type epoxy resins such as YL-931 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd. and Araldide 163 manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd. (both trade names); Heterocyclic epoxy resins, such as Araldide PT810 by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd. and TEPIC by Nissan Chemical Industries, Ltd. (all are brand names); Diglycidyl phthalate resins such as Bremmer DGT manufactured by Nippon Yushi Corporation; Tetraglycidyl xylenoylethane resins such as ZX-1063 manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd .; Naphthalene group-containing epoxy resins such as ESN-190, ESN-360 manufactured by Shinnitetsu Chemical Industries, Ltd., HP-4032, EXA-4750, and EXA-4700 manufactured by Dainippon Ink & Chemicals Co., Ltd .; Epoxy resin which has dicyclopentadiene frame | skeleton, such as the Dai Nippon Ink Industries Co., Ltd. product HP-7200 and HP-7200H; Glycidyl methacrylate copolymer type epoxy resins such as CP-50S and CP-50M manufactured by Nippon Yushi Corporation; Copolymerized epoxy resins of cyclohexyl maleimide and glycidyl methacrylate; Epoxy-modified polybutadiene rubber derivatives (e.g., PB-3600 manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), CTBN-modified epoxy resins (e.g., YR-102, YR-450, manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.), and the like. Although it is possible, it is not limited to these. These epoxy resins can be used individually or in combination of 2 or more types. Especially among these, a novolak-type epoxy resin, a heterocyclic epoxy resin, a bisphenol-A epoxy resin, or a mixture thereof is preferable.

상기 다관능 옥세탄 화합물 (D-2)로서는, 비스[(3-메틸-3-옥세타닐메톡시)메틸]에테르, 비스[(3-에틸-3-옥세타닐메톡시)메틸]에테르, 1,4-비스[(3-메틸-3-옥세타닐메톡시)메틸]벤젠, 1,4-비스[(3-에틸-3-옥세타닐메톡시)메틸]벤젠, (3-메틸-3-옥세타닐)메틸아크릴레이트, (3-에틸-3-옥세타닐)메틸아크릴레이트, (3-메틸-3-옥세타닐)메틸메타크릴레이트, (3-에틸-3-옥세타닐)메틸메타크릴레이트나 이들의 올리고머 또는 공중합체 등의 다관능 옥세탄류 외에, 옥세탄알코올과 노볼락 수지, 폴리(p-히드록시스티렌), 카르도형 비스페놀류, 칼릭스아렌류, 칼릭스레조르신아렌류, 또는 실세스퀴옥산 등의 수산기를 갖는 수지와의 에테르화물 등을 들 수 있다. 기타, 옥세탄환을 갖는 불포화 단량체와 알킬(메트)아크릴레이트와의 공중합체 등도 들 수 있다.Examples of the polyfunctional oxetane compound (D-2) include bis [(3-methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, 1 , 4-bis [(3-methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, (3-methyl-3- Oxetanyl) methylacrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) methylacrylate, (3-methyl-3-oxetanyl) methylmethacrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) In addition to polyfunctional oxetanes such as methyl methacrylate and oligomers or copolymers thereof, oxetane alcohols and novolac resins, poly (p-hydroxystyrene), cardo-type bisphenols, calix arenes and calyx rezos The etherified substance with resin which has hydroxyl groups, such as lecinarene or silsesquioxane, etc. are mentioned. In addition, the copolymer of the unsaturated monomer which has an oxetane ring, and an alkyl (meth) acrylate etc. are mentioned.

상기 분자 중에 2개 이상의 환상 티오에테르기를 갖는 화합물 (D-3)로서는, 예를 들면 재팬 에폭시 레진사 제조의 비스페놀 A형 에피술피드 수지 YL7000 등을 들 수 있다. 또한, 노볼락형 에폭시 수지의 에폭시기의 산소 원자를 황 원자로 대체한 에피술피드 수지 등도 사용할 수 있다.As a compound (D-3) which has two or more cyclic thioether group in the said molecule | numerator, bisphenol-A episulfide resin YL7000 by the Japan epoxy resin company, etc. are mentioned, for example. Moreover, episulfide resin etc. which substituted the oxygen atom of the epoxy group of the novolak-type epoxy resin with the sulfur atom can also be used.

상기 분자 중에 2개 이상의 환상 (티오)에테르기를 갖는 열경화성 성분 (D)의 배합량은, 상기 카르복실기 함유 수지 (A)의 카르복실기 1 당량에 대하여, 환상 (티오)에테르기가 바람직하게는 0.6 내지 2.5 당량, 보다 바람직하게는, 0.8 내지 2.0 당량이 되는 범위에 있는 것이 바람직하다. 분자 중에 2개 이상의 환상 (티오)에테르기를 갖는 열경화성 성분 (D)의 배합량이 0.6 당량 미만인 경우, 경화 피막에 카르복실기가 남아, 내열성, 내알칼리성, 전기 절연성 등이 저하되기 때문에 바람직하지 않다. 한편, 2.5 당량을 초과하는 경우, 저분자량의 환상 (티오)에테르기가 건조 도막에 잔존함으로써, 도막의 강도 등이 저하되기 때문에 바람직하지 않다.The amount of the thermosetting component (D) having two or more cyclic (thio) ether groups in the molecule is preferably 0.6 to 2.5 equivalents, with respect to 1 equivalent of the carboxyl group of the carboxyl group-containing resin (A), More preferably, it exists in the range which becomes 0.8-2.0 equivalent. When the compounding quantity of the thermosetting component (D) which has a 2 or more cyclic (thio) ether group in a molecule | numerator is less than 0.6 equivalent, since a carboxyl group remains in a hardened film and heat resistance, alkali resistance, electrical insulation, etc. fall, it is unpreferable. On the other hand, when it exceeds 2.5 equivalent, since low-molecular-weight cyclic (thio) ether group remains in a dry coating film, since the intensity | strength of a coating film, etc. fall, it is unpreferable.

상기 분자 중에 2개 이상의 환상 (티오)에테르기를 갖는 열경화성 성분 (D)를 사용하는 경우, 열경화 촉매를 함유하는 것이 바람직하다. 그와 같은 열경화 촉매로서는, 예를 들면 이미다졸, 2-메틸이미다졸, 2-에틸이미다졸, 2-에틸-4-메틸이미다졸, 2-페닐이미다졸, 4-페닐이미다졸, 1-시아노에틸-2-페닐이미다졸, 1-(2-시아노에틸)-2-에틸-4-메틸이미다졸 등의 이미다졸 유도체; 디시안디아미드, 벤질디메틸아민, 4-(디메틸아미노)-N,N-디메틸벤질아민, 4-메톡시-N,N-디메틸벤질아민, 4-메틸-N,N-디메틸벤질아민 등의 아민 화합물, 아디프산 디히드라지드, 세박산 디 히드라지드 등의 히드라진 화합물; 트리페닐포스핀 등의 인 화합물 등을 들 수 있다. 또한, 시판되고 있는 것으로서는, 예를 들면 시코쿠 가세이 고교사 제조의 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4BHZ, 2P4MHZ(모두 이미다졸계 화합물의 상품명), 산 아프로사 제조의 U-CAT3503N, U-CAT3502T(모두 디메틸아민의 블록이소시아네이트 화합물의 상품명), DBU, DBN, U-CATSA102, U-CAT5002(모두 이환식 아미딘 화합물 및 그의 염) 등을 들 수 있다. 특히 이들에 한정되는 것이 아니고, 에폭시 수지나 옥세탄 화합물의 열경화 촉매, 또는 에폭시기 및/또는 옥세타닐기와 카르복실기의 반응을 촉진하는 것이면 되고, 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용해도 상관없다. 또한, 구아나민, 아세토구아나민, 벤조구아나민, 멜라민, 2,4-디아미노-6-메타크릴로일옥시에틸-S-트리아진, 2-비닐-4,6-디아미노-S-트리아진, 2-비닐-4,6-디아미노-S-트리아진·이소시아누르산 부가물, 2,4-디아미노-6-메타크릴로일옥시에틸-S-트리아진·이소시아누르산 부가물 등의 S-트리아진 유도체를 이용하는 것도 가능하고, 바람직하게는 이들 밀착성 부여제로서도 기능하는 화합물을 상기 열경화 촉매와 병용한다.When using the thermosetting component (D) which has a 2 or more cyclic (thio) ether group in the said molecule, it is preferable to contain a thermosetting catalyst. As such a thermosetting catalyst, for example, imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenyl are Imidazole derivatives such as midazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, and 1- (2-cyanoethyl) -2-ethyl-4-methylimidazole; Amines such as dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4- (dimethylamino) -N, N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N, N-dimethylbenzylamine, 4-methyl-N, N-dimethylbenzylamine Hydrazine compounds such as compounds, adipic dihydrazide, and sebacic acid dihydrazide; Phosphorus compounds, such as a triphenylphosphine, etc. are mentioned. Moreover, as what is marketed, for example, 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4BHZ, 2P4MHZ (all of brand names of imidazole type compounds) by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., U-CAT3503N from U. Aprosa, U -CAT3502T (all are brand names of block isocyanate compounds of dimethylamine), DBU, DBN, U-CATSA102, U-CAT5002 (both bicyclic amidine compounds and salts thereof) and the like. It is not limited to these in particular, What is necessary is just to accelerate the reaction of the thermosetting catalyst of an epoxy resin or an oxetane compound, or an epoxy group and / or an oxetanyl group, and a carboxyl group, and you may use individually or in mixture of 2 or more types. . Also, guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, melamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino-S-tri Azine, 2-vinyl-4,6-diamino-S-triazine isocyanuric acid adduct, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine isocyanuric acid It is also possible to use S-triazine derivatives such as adducts. Preferably, compounds which also function as these adhesion imparting agents are used in combination with the thermosetting catalyst.

이들 열경화 촉매의 배합량은 통상적인 양적 비율로 충분하고, 예를 들면 카르복실기 함유 수지 (A) 또는 분자 중에 2개 이상의 환상 (티오)에테르기를 갖는 열경화성 성분 (D) 100 질량부에 대하여, 바람직하게는 0.1 내지 20 질량부, 보다 바람직하게는 0.5 내지 15.0 질량부이다.The compounding quantity of these thermosetting catalysts is sufficient in a normal quantity ratio, For example, with respect to 100 mass parts of thermosetting components (D) which have two or more cyclic (thio) ether groups in a carboxyl group-containing resin (A) or a molecule | numerator, Preferably Is 0.1-20 mass parts, More preferably, it is 0.5-15.0 mass parts.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 착색제를 배합할 수 있다. 착색제로서는, 적색, 청색, 녹색, 황색 등의 관용 공지된 착색제를 사용할 수가 있고, 안료, 염 료, 색소 중의 어느 것이어도 된다. 단, 환경 부하 감소 및 인체에 대한 영향 측면에서 할로겐을 함유하지 않는 것이 바람직하다.The photosensitive resin composition of this invention can mix | blend a coloring agent. As the colorant, conventionally known colorants such as red, blue, green and yellow can be used, and any of pigments, dyes and dyes may be used. However, from the viewpoint of reducing the environmental load and the effect on the human body, it is preferable not to contain halogen.

청색 착색제: Blue colorant:

청색 착색제로서는 프탈로시아닌계, 안트라퀴논계가 있고, 안료계는 피그먼트(Pigment)로 분류되어 있는 화합물, 구체적으로는 하기와 같은 컬러 인덱스(C.I.; 더 소사이어티 오브 다이어스 앤드 컬러리스츠(The Society of Dyers and Colourists) 발행) 번호가 부여되어 있는 것을 들 수 있다: 피그먼트 블루(Pigment Blue) 15, 피그먼트 블루 15:1, 피그먼트 블루 15:2, 피그먼트 블루 15:3, 피그먼트 블루 15:4, 피그먼트 블루 15:6, 피그먼트 블루 16, 피그먼트 블루 60.As the blue colorant, there are phthalocyanine-based and anthraquinone-based compounds, and the pigment-based compound is classified as Pigment, specifically, the following color index (CI; The Society of Dices & Colors (The Society of Dyers and Colourists) numbered: Pigment Blue 15, Pigment Blue 15: 1, Pigment Blue 15: 2, Pigment Blue 15: 3, Pigment Blue 15 : 4, pigment blue 15: 6, pigment blue 16, pigment blue 60.

염료계로서는, 솔벤트 블루(Solvent Blue) 35, 솔벤트 블루 63, 솔벤트 블루 68, 솔벤트 블루 70, 솔벤트 블루 83, 솔벤트 블루 87, 솔벤트 블루 94, 솔벤트 블루 97, 솔벤트 블루 122, 솔벤트 블루 136, 솔벤트 블루 67, 솔벤트 블루 70 등을 사용할 수 있다. 상기 이외에도, 금속 치환 또는 비치환된 프탈로시아닌 화합물도 사용할 수 있다.As a dye system, solvent blue 35, solvent blue 63, solvent blue 68, solvent blue 70, solvent blue 83, solvent blue 87, solvent blue 94, solvent blue 97, solvent blue 122, solvent blue 136, solvent blue 67, solvent blue 70 and the like can be used. In addition to the above, a metal substituted or unsubstituted phthalocyanine compound can also be used.

녹색 착색제: Green colorant:

녹색 착색제로서는, 마찬가지로 프탈로시아닌계, 안트라퀴논계가 있고, 구체적으로는 피그먼트 그린(Pigment Green) 7, 피그먼트 그린 36, 솔벤트 그린(Solvent Green) 3, 솔벤트 그린 5, 솔벤트 그린 20, 솔벤트 그린 28 등을 사용할 수 있다. 상기 이외에도, 금속 치환 또는 비치환된 프탈로시아닌 화합물도 사용할 수 있다.Examples of the green colorant include phthalocyanine series and anthraquinone series, and specifically, Pigment Green 7, Pigment Green 36, Solvent Green 3, Solvent Green 5, Solvent Green 20, and Solvent Green 28 Etc. can be used. In addition to the above, a metal substituted or unsubstituted phthalocyanine compound can also be used.

황색 착색제: Yellow colorant:

황색 착색제로서는 모노아조계, 디스아조계, 축합아조계, 벤즈이미다졸론계, 이소인돌리논계, 안트라퀴논계 등이 있고, 구체적으로는 이하의 것을 들 수 있다.Examples of the yellow colorant include monoazo, disazo, condensed azo, benzimidazolone, isoindolinone, and anthraquinone. Specific examples include the following.

안트라퀴논계: 솔벤트 옐로우(Solvent Yellow) 163, 피그먼트 옐로우(Pigment Yellow) 24, 피그먼트 옐로우 108, 피그먼트 옐로우 193, 피그먼트 옐로우 147, 피그먼트 옐로우 199, 피그먼트 옐로우 202.Anthraquinone series: Solvent Yellow 163, Pigment Yellow 24, Pigment Yellow 108, Pigment Yellow 193, Pigment Yellow 147, Pigment Yellow 199, Pigment Yellow 202.

이소인돌리논계: 피그먼트 옐로우 110, 피그먼트 옐로우 109, 피그먼트 옐로우 139, 피그먼트 옐로우 179, 피그먼트 옐로우 185. Isoindolinone series: Pigment Yellow 110, Pigment Yellow 109, Pigment Yellow 139, Pigment Yellow 179, Pigment Yellow 185.

축합아조계: 피그먼트 옐로우 93, 피그먼트 옐로우 94, 피그먼트 옐로우 95, 피그먼트 옐로우 128, 피그먼트 옐로우 155, 피그먼트 옐로우 166, 피그먼트 옐로우 180.Condensed tones series: Pigment Yellow 93, Pigment Yellow 94, Pigment Yellow 95, Pigment Yellow 128, Pigment Yellow 155, Pigment Yellow 166, Pigment Yellow 180.

벤즈이미다졸론계: 피그먼트 옐로우 120, 피그먼트 옐로우 151, 피그먼트 옐로우 154, 피그먼트 옐로우 156, 피그먼트 옐로우 175, 피그먼트 옐로우 181.Benzimidazolone series: Pigment Yellow 120, Pigment Yellow 151, Pigment Yellow 154, Pigment Yellow 156, Pigment Yellow 175, Pigment Yellow 181.

모노아조계: 피그먼트 옐로우 1, 2, 3, 4, 5, 6, 9, 10, 12, 61, 62, 62:1, 65, 73, 74, 75, 97, 100, 104, 105, 111, 116, 167, 168, 169, 182, 183. Monoazo series: Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 9, 10, 12, 61, 62, 62: 1, 65, 73, 74, 75, 97, 100, 104, 105, 111 , 116, 167, 168, 169, 182, 183.

디스아조계: 피그먼트 옐로우 12, 13, 14, 16, 17, 55, 63, 81, 83, 87, 126, 127, 152, 170, 172, 174, 176, 188, 198. Disazo system: Pigment Yellow 12, 13, 14, 16, 17, 55, 63, 81, 83, 87, 126, 127, 152, 170, 172, 174, 176, 188, 198.

적색 착색제: Red colorant:

적색 착색제로서는 모노아조계, 디스아조계, 아조레이크계, 벤즈이미다졸론계, 페릴렌계, 디케토피롤로피롤계, 축합아조계, 안트라퀴논계, 퀴나크리돈계 등이 있고, 구체적으로는 이하의 것을 들 수 있다.Examples of the red colorant include monoazo, disazo, azolake, benzimidazolone, perylene, diketopyrrolopyrrole, condensed azo, anthraquinone and quinacridone. It can be mentioned.

모노아조계: 피그먼트 레드(Pigment Red) 1, 2, 3, 4, 5, 6, 8, 9, 12, 14, 15, 16, 17, 21, 22, 23, 31, 32, 112, 114, 146, 147, 151, 170, 184, 187, 188, 193, 210, 245, 253, 258, 266, 267, 268, 269. Monoazo series: Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 8, 9, 12, 14, 15, 16, 17, 21, 22, 23, 31, 32, 112, 114 , 146, 147, 151, 170, 184, 187, 188, 193, 210, 245, 253, 258, 266, 267, 268, 269.

디스아조계: 피그먼트 레드 37, 38, 41.Disazo meter: Pigment Red 37, 38, 41.

모노아조레이크계: 피그먼트 레드 48:1, 48:2, 48:3, 48:4, 49:1, 49:2, 50:1, 52:1, 52:2, 53:1, 53:2, 57:1, 58:4, 63:1, 63:2, 64:1, 68. Monoazo Lake system: Pigment Red 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 49: 1, 49: 2, 50: 1, 52: 1, 52: 2, 53: 1, 53: 2, 57: 1, 58: 4, 63: 1, 63: 2, 64: 1, 68.

벤즈이미다졸론계: 피그먼트 레드 171, 피그먼트 레드 175, 피그먼트 레드 176, 피그먼트 레드 185, 피그먼트 레드 208. Benzimidazolone series: Pigment Red 171, Pigment Red 175, Pigment Red 176, Pigment Red 185, Pigment Red 208.

페릴렌계: 솔벤트 레드(Solvent Red) 135, 솔벤트 레드 179, 피그먼트 레드 123, 피그먼트 레드 149, 피그먼트 레드 166, 피그먼트 레드 178, 피그먼트 레드 179, 피그먼트 레드 190, 피그먼트 레드 194, 피그먼트 레드 224. Perylene series: Solvent Red 135, Solvent Red 179, Pigment Red 123, Pigment Red 149, Pigment Red 166, Pigment Red 178, Pigment Red 179, Pigment Red 190, Pigment Red 194, Pigment Red 224.

디케토피롤로피롤계: 피그먼트 레드 254, 피그먼트 레드 255, 피그먼트 레드 264, 피그먼트 레드 270, 피그먼트 레드 272. Diketopyrrolopyrrole series: Pigment Red 254, Pigment Red 255, Pigment Red 264, Pigment Red 270, Pigment Red 272.

축합아조계: 피그먼트 레드 220, 피그먼트 레드 144, 피그먼트 레드 166, 피그먼트 레드 214, 피그먼트 레드 220, 피그먼트 레드 221, 피그먼트 레드 242. Condensed tones series: Pigment Red 220, Pigment Red 144, Pigment Red 166, Pigment Red 214, Pigment Red 220, Pigment Red 221, Pigment Red 242.

안트라퀴논계: 피그먼트 레드 168, 피그먼트 레드 177, 피그먼트 레드 216, 솔벤트 레드 149, 솔벤트 레드 150, 솔벤트 레드 52, 솔벤트 레드 207. Anthraquinone series: Pigment Red 168, Pigment Red 177, Pigment Red 216, Solvent Red 149, Solvent Red 150, Solvent Red 52, Solvent Red 207.

퀴나크리돈계: 피그먼트 레드 122, 피그먼트 레드 202, 피그먼트 레드 206, 피그먼트 레드 207, 피그먼트 레드 209. Quinacridone series: Pigment Red 122, Pigment Red 202, Pigment Red 206, Pigment Red 207, Pigment Red 209.

기타, 색조를 조정할 목적으로 자색, 오렌지색, 차색, 흑색 등의 착색제를 가할 수도 있다.In addition, for the purpose of adjusting the color tone, a coloring agent such as purple, orange, light blue and black may be added.

구체적으로 예시하면, 피그먼트 바이올렛(Pigment Violet) 19, 23, 29, 32, 36, 38, 42, 솔벤트 바이올렛(Solvent Violet) 13, 36, C.I.피그먼트 오렌지 1, C.I.피그먼트 오렌지 5, C.I.피그먼트 오렌지 13, C.I.피그먼트 오렌지 14, C.I.피그먼트 오렌지 16, C.I.피그먼트 오렌지 17, C.I.피그먼트 오렌지 24, C.I.피그먼트 오렌지 34, C.I.피그먼트 오렌지 36, C.I.피그먼트 오렌지 38, C.I.피그먼트 오렌지 40, C.I.피그먼트 오렌지 43, C.I.피그먼트 오렌지 46, C.I.피그먼트 오렌지 49, C.I.피그먼트 오렌지 51, C.I.피그먼트 오렌지 61, C.I.피그먼트 오렌지 63, C.I.피그먼트 오렌지 64, C.I.피그먼트 오렌지 71, C.I.피그먼트 오렌지 73, C.I.피그먼트 브라운 23, C.I.피그먼트 브라운 25, C.I.피그먼트 블랙 1, C.I.피그먼트 블랙 7 등이 있다.Specifically, Pigment Violet 19, 23, 29, 32, 36, 38, 42, Solvent Violet 13, 36, CI Pigment Orange 1, CI Pigment Orange 5, CI Pigment CI Orange 13, CI Pigment Orange 14, CI Pigment Orange 16, CI Pigment Orange 17, CI Pigment Orange 24, CI Pigment Orange 34, CI Pigment Orange 36, CI Pigment Orange 38, CI Pigment Orange 40, CI Pigment Orange 43, CI Pigment Orange 46, CI Pigment Orange 49, CI Pigment Orange 51, CI Pigment Orange 61, CI Pigment Orange 63, CI Pigment Orange 64, CI Pigment Orange 71, CI Pigment Orange 73, CI Pigment Brown 23, CI Pigment Brown 25, CI Pigment Black 1, and CI Pigment Black 7.

착색제의 구체적인 배합 비율은, 이용하는 착색제의 종류나 다른 첨가제 등의 종류에도 영향을 받기기 때문에 일률적으로는 말할 수 없지만, 본 발명의 감광성 수지 조성물에 있어서, 355 nm에서의 흡광도가 건조 막두께 25 ㎛에서 0.3 내지 1.2가 되는 비율로 배합하는 것이 바람직하다. 특히 바람직한 착색제는, 청색과 녹색은 프탈로시아닌계, 안트라퀴논계, 황색은 안트라퀴논계, 적색은 디케토피롤로피롤계, 안트라퀴논계이고, 또한 할로겐 원자를 포함하지 않는 것이다. 이들 중에서도, 적색 착색제 및 황색 착색제는 감도 및 해상성 측면에서 특히 바람직하다.Although the specific compounding ratio of a coloring agent is influenced also by the kind of coloring agent used, the kind of other additives, etc., it cannot say uniformly, but in the photosensitive resin composition of this invention, the light absorbency in 355 nm is 25 micrometers in dry film thickness. It is preferable to mix | blend in the ratio which becomes 0.3 to 1.2 at. Particularly preferred colorants are phthalocyanine-based, anthraquinone-based, yellow anthraquinone-based, red diketopyrrolopyrrole-based and anthraquinone-based, and no halogen atom. Among these, the red colorant and the yellow colorant are particularly preferable in view of sensitivity and resolution.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 그의 도막의 물리적 강도 등을 높이기 위해 서 필요에 따라서 충전재를 배합할 수 있다. 이러한 충전재로서는 공지 관용의 무기 또는 유기 충전재를 사용할 수 있는데, 특히 황산바륨, 구형 실리카 및 탈크가 바람직하게 이용된다. 또한, 백색의 외관이나 난연성을 얻기 위해서 산화티탄이나 금속 산화물, 수산화 알루미늄 등의 금속 수산화물을 체질 안료 충전재로서도 사용할 수 있다. 충전재의 배합량은, 바람직하게는 조성물 전체량의 75 중량% 이하, 보다 바람직하게는 0.1 내지 60 중량%의 비율이다. 충전재의 배합량이 조성물 전체량의 75 중량%를 초과한 경우, 절연 조성물의 점도가 높아져서 도포 및 성형성이 저하되거나, 경화물이 취약해지기 때문에 바람직하지 않다.The photosensitive resin composition of this invention can mix | blend a filler as needed in order to raise the physical strength of the coating film, etc. As such a filler, well-known conventional inorganic or organic filler can be used, Especially barium sulfate, spherical silica, and talc are used preferably. Moreover, in order to obtain a white appearance and flame retardance, metal hydroxides, such as titanium oxide, a metal oxide, and aluminum hydroxide, can also be used as a extender pigment filler. The compounding quantity of a filler becomes like this. Preferably it is 75 weight% or less of a composition whole quantity, More preferably, it is the ratio of 0.1-60 weight%. When the compounding quantity of a filler exceeds 75 weight% of the total amount of a composition, since the viscosity of an insulating composition becomes high and application | coating and moldability fall, or hardened | cured material becomes weak, it is unpreferable.

이들 충전재의 배합량은, 상기 카르복실기 함유 수지 (A) 100 질량부에 대하여, 바람직하게는 300 질량부 이하, 보다 바람직하게는 0.1 내지 300 질량부, 특히 바람직하게는 0.1 내지 150 질량부이다. 충전재의 배합량이 300 질량부를 초과한 경우, 감광성 수지 조성물의 점도가 높아져서 인쇄성이 저하되거나, 경화물이 취약해지기 때문에 바람직하지 않다.The compounding quantity of these fillers becomes like this. Preferably it is 300 mass parts or less, More preferably, it is 0.1-300 mass parts, Especially preferably, it is 0.1-150 mass parts with respect to 100 mass parts of said carboxyl group-containing resin (A). When the compounding quantity of a filler exceeds 300 mass parts, since the viscosity of the photosensitive resin composition becomes high and printability falls or hardened | cured material becomes weak, it is unpreferable.

또한, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 상기 카르복실기 함유 수지 (A)의 합성이나 조성물의 제조를 위해, 또는 기판이나 캐리어 필름에 도포하기 위한 점도 조정을 위해, 유기 용제를 사용할 수 있다.Moreover, the organic solvent can be used for the photosensitive resin composition of this invention for the synthesis | combination of the said carboxyl group-containing resin (A), manufacture of a composition, or viscosity adjustment for apply | coating to a board | substrate or a carrier film.

이러한 유기 용제로서는, 케톤류, 방향족 탄화수소류, 글리콜에테르류, 글리콜에테르아세테이트류, 에스테르류, 알코올류, 지방족 탄화수소, 석유계 용제 등을 들 수 있다. 보다 구체적으로는, 메틸에틸케톤, 시클로헥사논 등의 케톤류; 톨루엔, 크실렌, 테트라메틸벤젠 등의 방향족 탄화수소류; 셀로솔브, 메틸셀로솔브, 부 틸셀로솔브, 카르비톨, 메틸카르비톨, 부틸카르비톨, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜디에틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노에틸에테르 등의 글리콜에테르류; 아세트산에틸, 아세트산부틸, 디프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜부틸에테르아세테이트 등의 에스테르류; 에탄올, 프로판올, 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜 등의 알코올류; 옥탄, 데칸 등의 지방족 탄화수소; 석유 에테르, 석유 나프타, 수소 첨가 석유 나프타, 용매 나프타 등의 석유계 용제 등이다. 이러한 유기 용제는 단독으로 또는 2종 이상의 혼합물로서 이용된다.Examples of such organic solvents include ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, and petroleum solvents. More specifically, Ketones, such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; Aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; Cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether Glycol ethers such as these; Esters such as ethyl acetate, butyl acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, and propylene glycol butyl ether acetate; Alcohols such as ethanol, propanol, ethylene glycol and propylene glycol; Aliphatic hydrocarbons such as octane and decane; Petroleum solvents such as petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha and solvent naphtha. These organic solvents are used alone or as a mixture of two or more thereof.

본 발명의 감광성 수지 조성물은, 추가로 필요에 따라서, 히드로퀴논, 히드로퀴논모노메틸에테르, t-부틸카테콜, 피로갈롤, 페노티아진 등의 공지 관용의 열중합 금지제, 미분 실리카, 유기 벤토나이트, 몬모릴로나이트 등의 공지 관용의 증점제, 실리콘계, 불소계, 고분자계 등의 소포제 및/또는 레벨링제, 이미다졸계, 티아졸계, 트리아졸계 등의 실란 커플링제, 산화 방지제, 방청제 등과 같은 공지 관용의 첨가제류를 배합할 수 있다.As needed, the photosensitive resin composition of this invention further contains well-known conventional thermal polymerization inhibitors, such as hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, t-butylcatechol, pyrogallol, and phenothiazine, fine-grained silica, organic bentonite, and montmorillonite. Known conventional thickeners, silicone-based, fluorine-based, antifoaming agents such as polymers and / or leveling agents, silane coupling agents such as imidazole-based, thiazole-based, triazole-based, known conventional additives such as antioxidants and rust inhibitors can do.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 캐리어 필름(지지체)과, 상기 캐리어 필름 상에 형성된 상기 감광성 수지 조성물을 포함하는 층을 구비한 드라이 필름의 형태로 할 수도 있다.The photosensitive resin composition of this invention can also be set as the form of the dry film provided with the carrier film (support) and the layer containing the said photosensitive resin composition formed on the said carrier film.

드라이 필름화에 있어서는, 본 발명의 감광성 수지 조성물을 상기 유기 용제로 희석하여 적절한 점도로 조정하고, 코머 코터, 블레이드 코터, 립 코터, 로드 코터, 스퀴즈 코터, 리버스 코터, 트랜스퍼롤 코터, 그라비아 코터, 분무 코터 등으로 캐리어 필름 상에 균일한 두께로 도포하고, 통상, 50 내지 130℃의 온도로 1 내지 30분간 건조시켜서 막을 얻을 수 있다. 도포막 두께에 관해서는 특별히 제한은 없지만, 일반적으로 건조 후의 막두께로, 10 내지 150 ㎛, 바람직하게는 20 내지 60 ㎛의 범위에서 적절하게 선택된다.In dry film formation, the photosensitive resin composition of this invention is diluted with the said organic solvent, it adjusts to an appropriate viscosity, a coater coater, a blade coater, a lip coater, a rod coater, a squeeze coater, a reverse coater, a transfer roll coater, a gravure coater, A film can be obtained by apply | coating in a uniform thickness on a carrier film with a spray coater, etc., and drying for 1 to 30 minutes normally at the temperature of 50-130 degreeC. There is no restriction | limiting in particular regarding a coating film thickness, Generally, it is a film thickness after drying, and is suitably selected in 10-150 micrometers, Preferably it is 20-60 micrometers.

캐리어 필름으로서는 플라스틱 필름이 이용되고, 폴리에틸렌테레프탈레이트 등의 폴리에스테르 필름, 폴리이미드 필름, 폴리아미드이미드 필름, 폴리프로필렌 필름, 폴리스티렌 필름 등의 플라스틱 필름을 이용하는 것이 바람직하다. 캐리어 필름의 두께에 관해서는 특별히 제한은 없지만, 일반적으로 10 내지 150 ㎛의 범위에서 적절하게 선택된다.As a carrier film, a plastic film is used and it is preferable to use plastic films, such as polyester films, such as a polyethylene terephthalate, a polyimide film, a polyamideimide film, a polypropylene film, and a polystyrene film. Although there is no restriction | limiting in particular about the thickness of a carrier film, Usually, it selects suitably in the range of 10-150 micrometers.

캐리어 필름 상에 성막한 후, 추가로, 막의 표면에 먼지가 부착되는 것을 막는 등의 목적으로, 막의 표면에 박리 가능한 커버 필름을 적층하는 것이 바람직하다.After film-forming on a carrier film, it is preferable to further laminate a peelable cover film on the surface of the film for the purpose of preventing dust from adhering to the surface of the film.

박리 가능한 커버 필름으로서는, 예를 들면 폴리에틸렌 필름, 폴리테트라플루오로에틸렌 필름, 폴리프로필렌 필름, 표면 처리한 종이 등을 사용할 수 있고, 커버 필름을 박리할 때에 막과 캐리어 필름의 접착력보다도 막과 커버 필름의 접착력이 보다 작은 것이면 된다.As a cover film which can be peeled off, a polyethylene film, a polytetrafluoroethylene film, a polypropylene film, the surface-treated paper, etc. can be used, for example, When peeling a cover film, it is a film and a cover film rather than the adhesive force of a film and a carrier film. The adhesive force of may be smaller.

이상과 같은 조성을 갖는 본 발명의 액상의 감광성 수지 조성물은 필요에 따라서 상기 유기 용제로 도포 방법에 적합한 점도로 조정하고, 기재 상에 침지 코팅법, 플로우 코팅법, 롤 코팅법, 바 코터법, 스크린 인쇄법, 커튼 코팅법 등의 방법 에 의해 도포하고, 약 60 내지 100℃의 온도로 조성물 중에 포함되는 유기 용제를 휘발 건조(가건조)시킴으로써 태크프리의 도막을 형성할 수 있다. 또한, 상기 드라이 필름의 형태의 경우, 기재 상에 핫롤 라미네이터 등을 이용하여 접합시킨다(상기 감광성 수지 조성물층과 기재가 접촉하도록 접합시킴). 상기 필름의 감광성 수지 조성물층 상에, 추가로 박리 가능한 커버 필름을 구비한 드라이 필름의 경우, 커버 필름을 박리한 후, 상기 감광성 수지 조성물층과 기재가 접촉하도록 핫롤 라미네이터 등을 이용하여 접합시킨다.The liquid photosensitive resin composition of this invention which has a composition as mentioned above is adjusted to the viscosity suitable for the application | coating method with the said organic solvent as needed, and is immersion coating method, flow coating method, roll coating method, bar coater method, screen on a base material. It is apply | coated by methods, such as a printing method and a curtain coating method, and a tack-free coating film can be formed by volatilizing (temporarily drying) the organic solvent contained in a composition at the temperature of about 60-100 degreeC. In addition, in the case of the form of the said dry film, it bonds on a base material using a hot roll laminator etc. (bonding so that the said photosensitive resin composition layer and a base material may contact). In the case of the dry film provided with the cover film which can be peeled further on the photosensitive resin composition layer of the said film, after peeling a cover film, it bonds using a hot roll laminator etc. so that the said photosensitive resin composition layer and a base material may contact.

그 후, 얻어진 도막(감광성 수지 조성물층)에 대하여(상기 드라이 필름을 이용한 경우에는, 기재 상에 라미네이트한 후, 캐리어 필름을 박리하지 않고), 노광(활성 에너지선의 조사)을 행한다. 노광은 접촉식(또는 비접촉 방식)에 의해, 패턴을 형성한 포토마스크를 통해서 선택적으로 활성 에너지선에 의해 노광하는 방법, 또는 레이저 다이렉트 노광기에 의해 직접 패턴 노광하는 방법 중의 어느 것이어도 된다. 이 노광에 의해 도막은 노광부(활성 에너지선에 의해 조사된 부분)가 경화된다. 이어서, 미노광부를 묽은 알칼리 수용액(예를 들면, 0.3 내지 3% 탄산소다 수용액)에 의해 현상하여 레지스트 패턴이 형성된다(상기 드라이 필름을 이용한 경우, 노광 후, 캐리어 필름을 박리하고, 현상함). 그 후 추가로, 가열 경화만, 또는 활성 에너지선의 조사 후에 가열 경화 또는 가열 경화 후에 활성 에너지선의 조사로 최종 경화(본 경화)시킴으로써, 전기 절연성, 밀착성, 땜납 내열성, 내약품성, 무전해 금도금 내성 등이 우수한 경화 피막(경화물)이 형성된다. 열경화성 성분 (D)를 함유하는 감광성 수지 조성물의 경우, 예를 들면 약 140 내지 180 ℃의 온도로 가열하여 열경화시킴으로써, 상기 카르복실기 함유 수지 (A)의 카르복실기와, 분자 중에 2개 이상의 환상 에테르기 및/또는 환상 티오에테르기를 갖는 열경화성 성분 (D)가 반응하여, 내열성, 내약품성, 내흡습성, 밀착성, 전기 특성 등의 여러가지 특성이 우수한 경화 피막을 형성할 수 있다.Then, exposure (irradiation of an active energy ray) is performed about the obtained coating film (photosensitive resin composition layer) (when using the said dry film, after laminating on a base material, without peeling a carrier film). The exposure may be either a contact type (or a non-contact method), a method of selectively exposing the active energy ray through a photomask on which a pattern is formed, or a method of directly exposing the pattern by a laser direct exposure machine. This exposure hardens the exposure part (portion irradiated with the active energy ray) by this exposure. Subsequently, the unexposed part is developed with a dilute aqueous alkali solution (for example, 0.3-3% aqueous solution of sodium carbonate) to form a resist pattern (when using the dry film, the carrier film is peeled off and developed after exposure). . After that, by further curing only by heat curing or by irradiation of active energy rays and finally curing by heat irradiation or irradiation of active energy rays after heat curing (main curing), electrical insulation, adhesion, solder heat resistance, chemical resistance, electroless gold plating resistance, etc. This excellent cured film (cured product) is formed. In the case of the photosensitive resin composition containing a thermosetting component (D), it heats and heats, for example at the temperature of about 140-180 degreeC, and the carboxyl group of the said carboxyl group-containing resin (A), and 2 or more cyclic ether groups in a molecule | numerator And / or a thermosetting component (D) having a cyclic thioether group reacts to form a cured film excellent in various properties such as heat resistance, chemical resistance, hygroscopicity, adhesiveness, and electrical properties.

상기 기재로서는, 미리 회로 형성된 인쇄 배선판, 특히 연성 인쇄 배선판 외에, 종이-페놀 수지, 종이-에폭시 수지, 유리천-에폭시 수지, 유리-폴리이미드, 유리천/부직포-에폭시 수지, 유리천/종이-에폭시 수지, 합성 섬유-에폭시 수지, 불소 수지·폴리에틸렌·PPO·시아네이트에스테르 등의 복합재를 이용한 모든 등급(FR-4 등)의 구리를 바른 적층판이나, 폴리이미드 필름, PET 필름, 유리 기판, 세라믹 기판, 웨이퍼판 등을 사용할 수 있다.As said base material, in addition to the printed wiring board previously formed in circuit, especially the flexible printed wiring board, paper-phenol resin, paper-epoxy resin, glass cloth-epoxy resin, glass-polyimide, glass cloth / nonwoven fabric-epoxy resin, glass cloth / paper- Laminated plates coated with copper of all grades (FR-4, etc.) using composite materials such as epoxy resins, synthetic fiber-epoxy resins, fluorine resins, polyethylene, PPO, and cyanate esters, polyimide films, PET films, glass substrates, ceramics A substrate, a wafer board, etc. can be used.

본 발명의 감광성 수지 조성물을 도포한 후에 행하는 휘발 건조는, 열풍 순환식 건조로, IR로, 핫 플레이트, 컨벡션 오븐 등(증기에 의한 공기 가열 방식의 열원을 구비한 것을 이용하여, 건조기 내의 열풍을 향류 접촉시키는 방법이나, 노즐로부터 지지체에 분무하는 방식)을 이용하여 행할 수 있다.Volatilization drying after applying the photosensitive resin composition of this invention is a hot-air circulation type drying furnace, IR, hot-plate, a convection oven, etc. (The thing provided with the heat source of the air heating system by steam uses the hot air in a dryer. Or a method of spraying a support from a nozzle onto the support body).

상기 활성 에너지선 조사에 이용되는 노광기로서는, 고압 수은등 램프, 초고압 수은등 램프, 메탈할라이드 램프, 수은 쇼트 아크 램프 등을 탑재하고, 350 내지 450 nm의 범위에서 자외선을 조사하는 장치이면 되고, 또한 직접 묘화 장치(예를 들면, 컴퓨터로부터의 CAD 데이터에 의해 직접 레이저로 화상을 그리는 레이저 다이렉트 이미징 장치)도 사용할 수 있다. 직묘기의 레이저 광원으로서는, 최대 파장이 350 내지 410 nm의 범위에 있는 레이저광을 이용하고 있으면, 가스 레이저, 고체 레이저 중의 어느 것이어도 된다. 화상 형성을 위한 노광량은 막두께 등에 따라서 다르지만, 일반적으로는 20 내지 800 mJ/㎠, 바람직하게는 20 내지 600 mJ/㎠의 범위 내로 할 수 있다.As an exposure machine used for the said active energy ray irradiation, the apparatus which mounts a high pressure mercury lamp lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp lamp, a metal halide lamp, a mercury short arc lamp, etc., may irradiate an ultraviolet-ray in the range of 350-450 nm, and may also draw directly. An apparatus (for example, a laser direct imaging apparatus which draws an image directly with a laser by CAD data from a computer) can also be used. As the laser light source of the weaving machine, any one of a gas laser and a solid laser may be used as long as the laser light having a maximum wavelength in the range of 350 to 410 nm is used. Although the exposure amount for image formation changes with film thickness etc., it can be generally in the range of 20-800 mJ / cm <2>, Preferably it is 20-600 mJ / cm <2>.

상기 현상 방법으로서는 디핑법, 샤워법, 분무법, 브러시법 등에 의한 것일 수 있고, 현상액으로서는 수산화칼륨, 수산화나트륨, 탄산나트륨, 탄산칼륨, 인산나트륨, 규산나트륨, 암모니아, 아민류 등의 알칼리 수용액을 사용할 수 있다.The developing method may be a dipping method, a showering method, a spraying method, a brush method, or the like. As the developing solution, alkaline aqueous solutions such as potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, ammonia, and amines may be used. .

이하에 실시예 및 비교예를 기술하여 본 발명에 관해서 구체적으로 설명하지만, 본 발명이 하기 실시예에 한정되는 것이 아닌 것은 물론이다. 한편, 이하에 있어서 「부」 및 「%」라는 것은, 특별한 언급이 없는 한 전부 질량 기준이다.Although an Example and a comparative example are described below and this invention is concretely demonstrated, it is a matter of course that this invention is not limited to the following Example. In addition, in the following, "part" and "%" are a mass reference | standard unless there is particular notice.

합성예 1Synthesis Example 1

(A-1) 전술한 카르복실기 함유 수지 (3)에 해당하고, 지환식 디이소시아네이트를 사용한 비스페놀 A 구조를 갖는 감광성 카르복실기 함유 우레탄 수지의 합성: 세퍼러블 플라스크 중에, 비스페놀 A형 에폭시 화합물로서, 닛본 가야꾸(주) 제조 RE310S(2관능 비스페놀 A형 에폭시 수지, 에폭시당량: 184 g/당량)을 368.0 g, 아크릴산(분자량: 72.06)을 142.7 g, 열중합 금지제로서 2,6-디-tert-부틸-p-크레졸을 2.94 g 및 반응 촉매로서 트리페닐포스핀을 1.53 g 투입하고, 98℃의 온도에서 반응액의 산가가 0.5 mgKOH/g 이하가 될 때까지 반응시켜서, 에폭시카르복실레이트 화합물 (a)(이론 분자량: 510.7)를 얻었다. 이어서, 이 반응액에 반응용 용매로서 카르비톨아세테이트를 588.2 g, 디메틸올프로피온산 (b)(분자량: 134.16) 105.5 g 을 가하고, 45℃로 승온시켰다. 이 용액에 이소포론디이소시아네이트 (c)(분자량: 222.28) 264.7 g을 반응 온도가 65℃를 초과하지 않도록 서서히 적하하였다. 적하 종료 후, 온도를 80℃로 상승시키고, 적외 흡수 스펙트럼 측정법에 의해, 2250 cm- 1부근의 흡수가 없어질 때까지 6시간 반응시키고, 또한 98℃의 온도에서 2시간 반응시켜, 알칼리 수용액 가용성 우레탄 수지를 60 중량% 포함하는 수지 용액을 얻었다. 산가를 측정한 바, 28.9 mgKOH/g(고형분산가: 48.1 mgKOH/g)였다. 이하, 이 반응 생성물을 수지 용액 (A-1)으로 한다.(A-1) Synthesis | combination of the photosensitive carboxyl group-containing urethane resin which corresponds to carboxyl group-containing resin (3) mentioned above and which has bisphenol A structure using alicyclic diisocyanate: As a bisphenol-A epoxy compound in a separable flask, Nippon Kaya 368.0 g of RE310S (bifunctional bisphenol-A epoxy resin, epoxy equivalent: 184 g / equivalent) manufactured by KK Co., Ltd., 142.7 g of acrylic acid (molecular weight: 72.06), and 2,6-di-tert- as a thermal polymerization inhibitor 2.94 g of butyl-p-cresol and 1.53 g of triphenylphosphine were added as a reaction catalyst, and reacted at a temperature of 98 ° C. until the acid value of the reaction solution became 0.5 mgKOH / g or less, resulting in an epoxy carboxylate compound ( a) (theoretical molecular weight: 510.7) was obtained. Next, 588.2 g of carbitol acetate and 105.5 g of dimethylol propionic acid (b) (molecular weight: 134.16) were added to this reaction liquid as a solvent for reaction, and it heated up at 45 degreeC. 264.7 g of isophorone diisocyanate (c) (molecular weight: 222.28) was slowly added dropwise to the solution so that the reaction temperature did not exceed 65 ° C. After completion of the addition, the temperature was raised to 80 ℃, by the infrared absorption spectroscopic method, 2250 cm - was 6 hours until the absorption of near 1 disappears, and to 2 hours at a temperature of 98 ℃, alkaline aqueous solution-soluble The resin solution containing 60 weight% of urethane resins was obtained. The acid value was measured, resulting in 28.9 mgKOH / g (solid dispersion value: 48.1 mgKOH / g). Hereinafter, this reaction product is referred to as resin solution (A-1).

합성예 2Synthesis Example 2

(A-2) 전술한 카르복실기 함유 수지 (3)에 해당하고, 지환식 디이소시아네이트를 사용한 비스페놀 F 구조를 갖는 감광성 카르복실기 함유 우레탄 수지의 합성: 비스페놀 F형 에폭시 수지(R110, 미쓰이 가가꾸(주) 제조, 에폭시당량 169 g/당량) 169부(0.5몰), 아크릴산 36부(0.5몰), 디메틸올부탄산 74부(0.5몰), 메틸히드로퀴논 0.10부, 카르비톨아세테이트 185부를 투입하고, 100℃로 가열하고, 상기 혼합물이 균일하게 용해된 것을 확인한 후, 트리에틸아민 3.0부를 투입하고, 110℃로 가열하여, 약 25시간 반응시켰다. 그 후, 반응물을 실온까지 냉각하고, 테트라히드로무수프탈산 152부(1.0몰)을 투입하고, 100℃로 가열하여 약 5시간 반응시켜, 산 무수물 변성 에폭시아크릴레이트 (d)를 얻었다. 다음으로, 질소기류 분위기하에서 이소포론디이소시아네이트 832.5부(3.75몰), 폴리카보네이트폴리올(PMHC-1050, (주)쿠라레 제조) 747부(0.75몰), 디메틸올부탄산 222부(1.5몰), 카르비톨아세테이 트 1662부, 디부틸틴디라우릴레이트 6.5부를 투입하고, 70℃로 가열하여, 약 8시간 반응시켰다. 질소기류를 멈춘 후에, 반응 혼합물을 실온까지 냉각하고, 건조 공기기류 분위기하에서 상기 산 무수물 변성 에폭시아크릴레이트(d) 2463부(2.0몰)을 투입하고, 80℃로 가열하여, 약 6시간 반응시켰다. 그 후, 반응물을 실온까지 냉각하고, 테트라히드로무수프탈산 76부(0.5몰)을 투입하고, 110℃로 가열하여 약 4시간 반응시켜서, 고형분산가 93.5 mgKOH/g, 고형분 농도60%의 감광성 카르복실기 함유 우레탄 수지를 얻었다. 이하, 이 반응 생성물을 수지 용액 (A-2)로 한다.(A-2) Synthesis | combination of the photosensitive carboxyl group-containing urethane resin which corresponds to carboxyl group-containing resin (3) mentioned above and which has bisphenol F structure using alicyclic diisocyanate: Bisphenol F-type epoxy resin (R110, Mitsui Chemical Industries, Ltd.) Preparation, epoxy equivalent 169 g / equivalent) 169 parts (0.5 mol), 36 parts (0.5 mol) of acrylic acid, 74 parts (0.5 mol) of dimethylol butanoic acid, 0.10 parts of methylhydroquinone, 185 parts of carbitol acetate, were put into 100 degreeC. After heating and confirming that the mixture was dissolved uniformly, 3.0 parts of triethylamine was added thereto, heated to 110 ° C, and reacted for about 25 hours. Thereafter, the reaction was cooled to room temperature, 152 parts (1.0 mole) of tetrahydrophthalic anhydride was added, heated to 100 ° C, and reacted for about 5 hours to obtain an acid anhydride-modified epoxy acrylate (d). Next, 832.5 parts (3.75 mol) of isophorone diisocyanate, 747 parts (0.75 mol) of polycarbonate polyols (PMHC-1050, Kuraray Co., Ltd.), 222 parts (1.5 mol) of dimethylol butanoic acid, under a nitrogen stream atmosphere, 1662 parts of carbitol acetate and 6.5 parts of dibutyl tin dilaurylate were added, it heated at 70 degreeC and made it react for about 8 hours. After the nitrogen stream was stopped, the reaction mixture was cooled to room temperature, 2463 parts (2.0 mol) of the acid anhydride-modified epoxy acrylate (d) was added under a dry air stream atmosphere, heated to 80 ° C, and reacted for about 6 hours. . Thereafter, the reaction product was cooled to room temperature, 76 parts (0.5 mol) of tetrahydrophthalic anhydride was added, heated to 110 ° C, and reacted for about 4 hours to contain a photosensitive carboxyl group having a solid dispersion value of 93.5 mgKOH / g and a solid content concentration of 60%. Urethane resin was obtained. Hereinafter, this reaction product is referred to as resin solution (A-2).

합성예 3Synthesis Example 3

(A-3) 전술한 카르복실기 함유 수지 (4)에 해당하고, 지환식 디이소시아네이트를 사용한 감광성 카르복실기 함유 우레탄 수지의 합성: 교반 장치, 온도계, 컨덴서를 구비한 반응 용기에, 1,5-펜탄디올과 1,6-헥산디올로부터 유도되는 폴리카보네이트디올(아사히 가세이 케이칼즈(주) 제조, 수평균 분자량 800) 2400 g(3 mol), 디메틸올프로피온산 603 g(4.5 mol), 및 모노히드록실 화합물로서 2-히드록시에틸아크릴레이트 238 g(2.6 mol)을 투입하였다. 이어서, 폴리이소시아네이트로서 이소포론디이소시아네이트 1887 g(8.5 mol) 투입하고, 교반하면서 60℃까지 가열한 후 정지시키고, 반응 용기 내의 온도가 저하하기 시작한 시점에 재차 가열하여 80℃에서 교반을 계속하고, 적외선 흡수 스펙트럼에서 이소시아네이트기의 흡수 스펙트럼(2280 cm-1)이 소실된 것을 확인하고 반응을 종료하였다. 고형분이 50 질량%가 되도록 카르비톨아세테이트를 첨가하였다. 얻어진 감광성 카르복실기 함유 우레탄 수지의 고형분의 산가는 50 mgKOH/g이었다. 이하, 이 반응 생성물을 수지 용액 (A-3)으로 한다.(A-3) Synthesis of photosensitive carboxyl group-containing urethane resin corresponding to carboxyl group-containing resin (4) described above using alicyclic diisocyanate: 1,5-pentanediol in a reaction vessel equipped with a stirring device, a thermometer, and a capacitor And polycarbonate diols derived from 1,6-hexanediol (manufactured by Asahi Kasei Kakalz Co., Ltd., number average molecular weight 800) 2400 g (3 mol), 603 g (4.5 mol) dimethylolpropionic acid, and monohydroxyl compounds 238 g (2.6 mol) of 2-hydroxyethyl acrylate was added thereto. Subsequently, 1887 g (8.5 mol) of isophorone diisocyanates were added as a polyisocyanate, heated to 60 DEG C while stirring, and stopped, and heated again at the time when the temperature in the reaction vessel began to decrease, followed by stirring at 80 DEG C, It was confirmed that the absorption spectrum of the isocyanate group (2280 cm -1 ) was lost in the infrared absorption spectrum, and the reaction was terminated. Carbitol acetate was added so that solid content might be 50 mass%. The acid value of solid content of the obtained photosensitive carboxyl group-containing urethane resin was 50 mgKOH / g. Hereinafter, this reaction product is referred to as resin solution (A-3).

(A-4) 전술한 카르복실기 함유 수지 (6)에 해당하고, 비페닐 골격을 갖는 비페닐노볼락에폭시 수지를 사용한 감광성 카르복실기 함유 수지: 닛본 가야꾸(주) 제조 ZCR-1601H(고형분 65% 수지로서의 산가는 98 mgKOH/g)의 수지 용액을 A-4로 한다.(A-4) Photosensitive carboxyl group-containing resin using biphenyl novolak epoxy resin which corresponds to carboxyl group-containing resin (6) mentioned above and which has a biphenyl skeleton: Nippon Kayaku Co., Ltd. product ZCR-1601H (65% of solid content resin) As an acid value, the resin solution of 98 mgKOH / g) is set to A-4.

(A-5) 전술한 카르복실기 함유 수지 (7)에 해당하고, 비스페놀 F 구조의 다관능 에폭시 수지를 사용한 감광성 카르복실기 함유 수지: 닛본 가야꾸(주) 제조 ZFR-1124(고형분 63% 수지로서의 산가는 102 mgKOH/g)의 수지 용액을 A-5로 한다.(A-5) Photosensitive carboxyl group-containing resin using the polyfunctional epoxy resin of bisphenol F structure corresponding to carboxyl group-containing resin (7) mentioned above: Nippon Kayaku Co., Ltd. product ZFR-1124 (solid content as 63% of solid content resin is The resin solution of 102 mgKOH / g) is set to A-5.

실시예 1 내지 7 및 비교예 1 내지 3Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 3

상기 각 수지 용액 (A-1) 내지 (A-5)를 이용하여, 하기 표 1에 나타내는 여러가지 성분과 동시에 표 1에 나타내는 비율(질량부)로 배합하고, 교반기로 예비 혼합한 후, 3축 롤밀로 혼련하여, 솔더 레지스트용 감광성 수지 조성물을 제조하였다. 여기서, 얻어진 감광성 수지 조성물의 분산도를 에릭센사 제조 그라인드미터에 의한 입도 측정으로 평가한 바, 어느 조성물도 15 ㎛ 이하였다.Using each of the resin solutions (A-1) to (A-5), after mixing with various components shown in Table 1 below in the ratio (mass part) shown in Table 1, premixing with a stirrer, triaxial It knead | mixed with the roll mill and manufactured the photosensitive resin composition for soldering resists. Here, when the dispersion degree of the obtained photosensitive resin composition was evaluated by the particle size measurement by the Eriksen company grinder, all compositions were 15 micrometers or less.

Figure 112008068647698-pat00006
Figure 112008068647698-pat00006

성능 평가: Performance rating:

〈최적 노광량/감도〉 <Optimal exposure amount / sensitivity>

상기 각 실시예 및 각 비교예의 감광성 수지 조성물을, 구리 두께 35 ㎛의 회로 패턴 기판을 산으로 세정한 후, 수세하고, 건조시키고 나서 스크린 인쇄법에 의해 전체면에 도포하고, 80℃의 열풍 순환식 건조로에서 60분간 건조시켰다. 건조 후, 최대 파장 355 nm의 반도체 레이저를 탑재한 직접 묘화 장치, 수은 쇼트 아크 램프 탑재된 노광 장치, 고압 수은등을 탑재한 직묘기를 이용하여 스텝타블렛(코닥(Kodak) No.2)를 통해 노광하고, 30℃의 1중량% 탄산나트륨 수용액에 의해 분무압 0.2 MPa에서 60초간 현상을 행했을 때에 잔존하는 스텝타블렛의 패턴이 6단인 때를 최적 노광량으로 하였다.The photosensitive resin composition of each said Example and each comparative example wash | cleans the circuit pattern board | substrate of 35 micrometers in thickness of copper, washes with water, and after drying, apply | coats to the whole surface by the screen printing method, and hot-air circulation of 80 degreeC It was dried for 60 minutes in a food dryer. After drying, exposure through a step tablet (Kodak No. 2) using a direct drawing device equipped with a semiconductor laser with a maximum wavelength of 355 nm, an exposure device equipped with a mercury short arc lamp, and a looming machine equipped with a high pressure mercury lamp. When the development was performed for 60 seconds at a spray pressure of 0.2 MPa with a 30% 1 wt% sodium carbonate aqueous solution, the optimum exposure dose was defined as the remaining six steps of the pattern of the step tablet.

<해상성> <Resolution>

라인/스페이스가 300/300 ㎛, 구리 두께 35 ㎛의 회로 패턴 기판을 버프 롤 연마한 후, 수세하고, 건조한 후, 상기 각 실시예 및 각 비교예의 감광성 수지 조성물을 스크린 인쇄법에 의해 도포하고, 80℃의 열풍 순환식 건조로에서 30분간 건조시켰다. 건조 후, 최대 파장 355 nm의 반도체 레이저를 탑재한 직접 묘화 장치를 이용하여 노광하였다. 노광 패턴은 스페이스부에 20/30/40/50/60/70/80/90/100 ㎛의 라인을 묘화시키는 직묘용 데이터를 사용하였다. 노광량은 감광성 수지 조성물의 최적 노광량이 되도록 활성 에너지선을 조사하였다. 노광 후, 30℃의 1중량% 탄산나트륨 수용액에 의해서 현상을 행하여 패턴을 그리고, 150℃×60분의 열경화를 함으로써 경화 도막을 얻었다.After buff roll polishing a circuit pattern substrate having a line / space of 300/300 µm and a copper thickness of 35 µm, washed with water and dried, the photosensitive resin compositions of the above Examples and Comparative Examples were applied by screen printing, It dried for 30 minutes in 80 degreeC hot-air circulation type drying furnace. After drying, it exposed using the direct drawing apparatus in which the semiconductor laser of the maximum wavelength of 355 nm was mounted. The exposure pattern used the data for straight drawing which draws the line of 20/30/40/50/60/70/80/90/100 micrometers in a space part. The exposure amount was irradiated with active energy rays so as to be the optimum exposure amount of the photosensitive resin composition. After exposure, image development was performed by the 30 degreeC 1 weight% sodium carbonate aqueous solution, the pattern was drawn, and the cured coating film was obtained by thermosetting 150 degreeC * 60 minutes.

얻어진 솔더 레지스트용 감광성 수지 조성물의 경화 도막의 최소 잔존 라인을 200배로 조정한 광학현미경을 이용하여 구하였다. The minimum residual line of the cured coating film of the obtained photosensitive resin composition for soldering resists was calculated | required using the optical microscope which adjusted 200 times.

<흡광도><Absorbance>

흡광도의 측정에는, 자외 가시 분광 광도계(닛본 분꼬(주) 제조 유베스트(Ubest)-V-570 DS) 및 적분구 장치(닛본 분꼬(주) 제조 ISN-470)를 사용하였다. 상기 각 실시예 및 각 비교예의 감광성 수지 조성물을 유리판에 어플리케이터를 이용하여 도포한 후, 열풍 순환식 건조로를 이용하여 80℃에서 30분 건조시켜서, 감광성 수지 조성물의 건조 도막을 유리판 상에 제조하였다. 자외 가시 분광 광도계 및 적분구 장치를 이용하여, 감광성 수지 조성물을 도포한 유리판과 동일한 유리판으로, 500 내지 300 nm에서의 흡광도 베이스라인을 측정하였다. 제조된 건조 도막부 유리판의 흡광도를 측정하고, 베이스라인으로부터 건조 도막의 흡광도를 산출하여, 목적으로 하는 광의 파장 355 nm에서의 흡광도를 얻었다. 도포막 두께의 어긋남에 의한 흡광도의 어긋남을 막기 위해서, 이 작업을 어플리케이터에 의한 도포 두께를 4 단계로 바꿔 행하고, 도포 두께와 355 nm에서의 흡광도의 그래프를 작성하고, 그 근사식으로부터 막두께 25 ㎛의 건조 도막의 흡광도를 산출하여, 각각의 흡광도로 하였다.An ultraviolet visible spectrophotometer (Ubest-V-570 DS manufactured by Nippon Bunker Co., Ltd.) and an integrating apparatus (ISN-470 manufactured by Nippon Bunker Co., Ltd.) were used for the measurement of absorbance. After the photosensitive resin composition of each said Example and each comparative example was apply | coated to the glass plate using an applicator, it dried at 80 degreeC for 30 minutes using the hot air circulation type drying furnace, and the dry coating film of the photosensitive resin composition was produced on the glass plate. Using an ultraviolet visible spectrophotometer and an integrating sphere apparatus, the absorbance baseline at 500 to 300 nm was measured with the same glass plate as the glass plate coated with the photosensitive resin composition. The absorbance of the manufactured dry coating part glass plate was measured, and the absorbance of the dry coating film was computed from the baseline, and the absorbance in the wavelength of 355 nm of the target light was obtained. In order to prevent the deviation of absorbance due to the deviation of the coating film thickness, this operation is carried out by changing the coating thickness by the applicator into four stages, a graph of the coating thickness and the absorbance at 355 nm is prepared, and from the approximation formula, the film thickness 25 The absorbance of the dry coating film of µm was calculated and taken as the respective absorbances.

특성 시험 Characteristic test

평가 기판 제조법: 상기 각 실시예 및 각 비교예의 감광성 수지 조성물을, 구리 회로가 형성된 폴리이미드 기판 상에 스크린 인쇄로 전체면 도포하고, 80℃에서 20분 건조시키고, 실온까지 방냉하였다. 이 기판에 수은 쇼트 아크 램프 탑재의 노광 장치를 이용하여 최적 노광량으로 솔더레지스트 패턴을 노광하고, 30℃의 1중량% Na2CO3 수용액에 의해 분무압 0.2 MPa의 조건으로 60초간 현상을 행하여 레지스트 패턴을 얻었다. 이 기판을, 150℃에서 60분 가열하여 경화시켰다. 얻어진 연성 배선판(평가 기판)에 대하여 이하와 같이 특성을 평가하였다.Evaluation board | substrate manufacturing method: The photosensitive resin composition of each said Example and each comparative example was apply | coated whole surface by the screen printing on the polyimide board | substrate with a copper circuit, dried at 80 degreeC for 20 minutes, and cooled to room temperature. The substrate was exposed to a solder resist pattern at an optimum exposure dose using an exposure apparatus equipped with a mercury short arc lamp, and developed for 30 seconds under conditions of a spray pressure of 0.2 MPa using a 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. to resist A pattern was obtained. This board | substrate was heated and hardened | cured at 150 degreeC for 60 minutes. The characteristic was evaluated as follows with respect to the obtained flexible wiring board (evaluation board | substrate).

<도막의 색> <Color of coating>

상기 각 실시예 및 각 비교예의 레지스트 패턴에 관해서, 경화물의 색을 육안으로 판단하였다.About the resist pattern of each said Example and each comparative example, the color of hardened | cured material was visually judged.

<땜납 내열성> Solder Heat Resistance

로진계 플럭스를 도포한 평가 기판을, 미리 260℃로 설정한 땜납 조에 침지하고, 변성 알코올로 플럭스를 세정한 후, 육안에 의한 레지스트층의 부풀어오름 ·박리에 대하여 평가하였다. 판정 기준은 이하와 같다.The evaluation board | substrate which apply | coated rosin-type flux was immersed in the solder bath previously set to 260 degreeC, and after wash | cleaning the flux with denatured alcohol, it evaluated about swelling and peeling of the resist layer by visual observation. The criteria are as follows.

○: 10초간 침지를 행하고 셀로판 점착 테이프로 필 시험을 행하여도, 박리가 보이지 않는다.(Circle): Even if it immerses for 10 second and performs a peel test with a cellophane adhesive tape, peeling is not seen.

△: 10초간 침지를 행하고 셀로판 점착 테이프로 필 시험을 행하면, 약간 박리된다. (Triangle | delta): When it immerses for 10 second and performs a peel test with a cellophane adhesive tape, it peels slightly.

×: 10초간 침지를 행하면, 레지스트층에 부풀어오름 및 박리가 있다.X: When immersion for 10 second, there exists swelling and peeling in a resist layer.

<무전해 금도금 내성> Electroless Gold Plating Resistant

평가 기판에, 시판품의 무전해 니켈 도금 욕 및 무전해 금도금욕을 이용하고, 니켈 0.5 ㎛, 금 0.03 ㎛의 조건으로 도금을 행하고, 테이프 필링에 의해, 레지스트층의 박리의 유무나 도금의 스며듦의 유무를 평가한 후, 테이프 필링에 의해 레지스트층의 박리의 유무를 평가하였다. 판정 기준은 이하와 같다. The evaluation board | substrate is plated on the conditions of 0.5 micrometer of nickel and 0.03 micrometer of gold using the electroless nickel plating bath and electroless gold plating bath of a commercial item, and the peeling of a resist layer or the immersion of plating by tape peeling After evaluating the presence or absence, the peeling of the resist layer was evaluated by tape peeling. The criteria are as follows.

○: 도금의 스며듦, 레지스트층의 박리가 보이지 않는다. (Circle): Penetration of plating and peeling of a resist layer are not seen.

△: 도금 후에 아주 약간 스며듦이 보이고, 테이프필 후에 레지스트층의 박리가 보인다. (Triangle | delta): A very slight soaking is seen after plating, and peeling of a resist layer is seen after tape filling.

×: 도금 후에 레지스트층의 박리가 있다. X: There exists peeling of a resist layer after plating.

<내 전기 부식성> <Electric corrosion resistance>

동박 기판 대신에 IPC B-25의 빗형 전극 B 쿠폰을 이용하여, 상기한 조건으로 평가 기판을 제조하고, 이 빗형 전극에 DC100V의 바이어스 전압을 인가하고, 85℃, 85% R.H.의 항온항습조에서 1,000 시간 후의 마이그레이션의 유무를 확인하였다. 판정 기준은 이하와 같다.The evaluation board | substrate was manufactured on the conditions mentioned above using the comb-shaped electrode B coupon of IPC B-25 instead of the copper foil board | substrate, the bias voltage of DC100V was applied to this comb-shaped electrode, and it was made in the constant temperature and humidity chamber of 85 degreeC, 85% RH. The presence or absence of the migration after 1,000 hours was confirmed. The criteria are as follows.

○: 거의 변화가 보이지 않는 것○: almost no change

△: 변색된 것△: discolored

×: 마이그레이션이 발생되어 있는 것×: The migration has occurred

<내산성> <Acid resistance>

평가 기판을 10 vol% H2SO4 수용액에 실온에서 30분간 침지하고, 황산 수용액의 스며듦이나 도막의 용출, 또한 테이프필에 의한 레지스트층의 박리를 확인하였다. 판정 기준은 이하와 같다.Immersing the evaluation substrate vol% H 2 SO 4 aqueous solution of 10 to 30 minutes at room temperature, and the elution of the coating film seumyeodeulm or sulfuric acid solution, and also confirmed that the peeling of the resist layer by a tape peel. Judgment criteria are as follows.

○: 황산 수용액의 스며듦, 도막의 용출, 레지스트층의 박리가 없다.(Circle): There is no infiltration of sulfuric acid aqueous solution, elution of a coating film, and peeling of a resist layer.

△: 황산 수용액의 스며듦, 도막의 용출, 또는 레지스트층의 박리가 약간 확인된다.(Triangle | delta): The seepage of the sulfuric acid aqueous solution, the elution of a coating film, or peeling of a resist layer is confirmed slightly.

×: 황산 수용액의 스며듦, 도막의 용출, 또는 레지스트층의 큰 박리가 확인된다.X: Infiltration of sulfuric acid aqueous solution, elution of a coating film, or large peeling of a resist layer are confirmed.

<휘어짐> <Curve>

50 ㎛ 두께의 폴리이미드 필름(캡톤 300H) 상에 스크린 인쇄로 감광성 수지 조성물을 전체면 도포하고, 80℃에서 20분 건조시키고, 실온까지 방냉하였다. 이 기판에 수은 쇼트 아크 램프 탑재의 노광 장치를 이용하여 최적 노광량으로 솔더레지스트 패턴을 노광하고, 30℃의 1중량% Na2CO3 수용액에 의해 분무압 0.2 MPa의 조건으로 60초간 현상을 행하여 레지스트 패턴을 얻었다. 이 기판을, 150℃에서 60분 가열하여 경화시켰다. 얻어진 필름을 10 cm×10 cm로 잘라내어 휘어짐 양을 측정하였다.The whole surface of the photosensitive resin composition was apply | coated by screen printing on the 50-micrometer-thick polyimide film (Kapton 300H), it dried at 80 degreeC for 20 minutes, and cooled to room temperature. The substrate was exposed to a solder resist pattern at an optimum exposure dose using an exposure apparatus equipped with a mercury short arc lamp, and developed for 30 seconds under conditions of a spray pressure of 0.2 MPa using a 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. to resist A pattern was obtained. This board | substrate was heated and hardened | cured at 150 degreeC for 60 minutes. The obtained film was cut out to 10 cm x 10 cm, and the amount of warpage was measured.

또한, 상기 필름을 다시 열풍 건조로에서 170℃에서 2시간 가열했을 때의 필름의 휘어짐 양도 마찬가지로 측정하였다. (후가열 후의 휘어짐 양) Moreover, the curvature amount of the film when the said film was heated again at 170 degreeC for 2 hours in the hot air drying furnace was also measured similarly. (Amount of warpage after post-heating)

평가 결과를 하기 표 2 및 표 3에 나타내었다.The evaluation results are shown in Tables 2 and 3 below.

Figure 112008068647698-pat00007
Figure 112008068647698-pat00007

Figure 112008068647698-pat00008
Figure 112008068647698-pat00008

실시예 8Example 8

<드라이 필름 평가> <Dry Film Evaluation>

실시예 3에서 사용된 조성물을 메틸에틸케톤으로 희석하고, PET 필름 상에 도포하고 80℃에서 30분 건조하여 두께 25 ㎛의 감광성 수지 조성물층을 형성하였다. 또한 그 위에 커버 필름을 접합시켜 드라이 필름을 얻었다. 그 후, 커버 필름을 박리하고, 회로 두께 35 ㎛에서 패턴 형성된 동박 기판에, 필름을 열라미네이트하고, 이어서 최대 파장 355 nm의 반도체 레이저를 탑재한 직접 묘화 장치를 이용하여 150 mj/㎠의 조건으로 노광하였다. 노광 후 캐리어 필름을 박리하고, 150℃의 열풍 건조기로 60분 가열 경화를 행하여, 시험 기판을 제조하였다. 얻어진 경화 피막을 갖는 시험 기판에 관해서, 전술한 시험 방법 및 평가 방법으로 각 특성의 평가 시험을 행하였다.The composition used in Example 3 was diluted with methyl ethyl ketone, coated on PET film and dried at 80 ° C. for 30 minutes to form a photosensitive resin composition layer having a thickness of 25 μm. Furthermore, the cover film was bonded together on it and the dry film was obtained. Thereafter, the cover film was peeled off, and the film was thermally laminated on a copper foil substrate having a pattern formed at a circuit thickness of 35 μm, and then, on condition of 150 mj / cm 2 using a direct drawing apparatus equipped with a semiconductor laser having a maximum wavelength of 355 nm. It exposed. The carrier film was peeled off after exposure, heat-hardened for 60 minutes with the 150 degreeC hot air dryer, and the test board | substrate was manufactured. About the test board | substrate which has the obtained hardened film, the evaluation test of each characteristic was done by the above-mentioned test method and evaluation method.

결과는 표 3에 나타낸 실시예 3의 결과와 거의 동등한 결과가 얻어졌다.As a result, a result almost identical to that of Example 3 shown in Table 3 was obtained.

상기 표 2 및 표 3에 나타낸 바와 같이, 옥심에스테르계 광중합 개시제를 이용한 본 발명의 실시예 1 내지 7 및 8에 있어서는, 열경화 후 및 후가열 후의 휘어짐의 발생을 억제할 수 있었다. 이것에 대하여, 옥심에스테르계 이외의 광중합 개시제를 이용한 비교예 1 내지 3에서는, 열경화 후 및 후가열 후의 휘어짐의 발생을 억제할 수 없고, 특히, 옥심에스테르계 이외의 휘발성이 없는 광중합 개시제를 이용한 비교예 2에서는, 흡광도가 높고, 후가열 후의 휘어짐의 발생이 현저하였다. 또한, 옥심에스테르계 이외의 광중합 개시제를 비교적 소량 이용한 비교예 3에서는, 경화 불충분 때문에 땜납 내열성이 떨어졌다.As shown in Table 2 and Table 3, in Examples 1 to 7 and 8 of the present invention using an oxime ester photopolymerization initiator, it was possible to suppress the occurrence of warpage after heat curing and after post-heating. In contrast, in Comparative Examples 1 to 3 using photopolymerization initiators other than oxime esters, the occurrence of warpage after thermosetting and after heating cannot be suppressed, and in particular, photopolymerization initiators having no volatility other than oxime esters are used. In Comparative Example 2, the absorbance was high and the occurrence of warpage after post-heating was remarkable. Moreover, in Comparative Example 3 using a relatively small amount of photopolymerization initiator other than the oxime ester system, the solder heat resistance was inferior due to insufficient curing.

Claims (13)

(A) (A-1) 지방족 디이소시아네이트, 분지 지방족 디이소시아네이트, 지환식 디이소시아네이트 및 방향족 디이소시아네이트로부터 선택되는 1종 이상의 디이소시아네이트와, 디메틸올프로피온산 및 디메틸올부탄산으로부터 선택되는 1종 이상의 카르복실기 함유 디알코올 화합물, 및 폴리카보네이트계 폴리올, 폴리에테르계 폴리올, 폴리에스테르계 폴리올, 폴리올레핀계 폴리올, 아크릴계 폴리올, 비스페놀 A계 알킬렌옥사이드 부가체 디올 및 페놀성 히드록실기와 알코올성 히드록실기를 갖는 화합물로부터 선택되는 1종 이상의 디올 화합물의 중부가 반응에 의해 얻어지는 카르복실기 함유 우레탄 수지,(A) (A-1) containing at least one diisocyanate selected from aliphatic diisocyanate, branched aliphatic diisocyanate, alicyclic diisocyanate and aromatic diisocyanate, and at least one carboxyl group selected from dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid Dialcohol compound, and compound having polycarbonate polyol, polyether polyol, polyester polyol, polyolefin polyol, acrylic polyol, bisphenol A alkylene oxide adduct diol and phenolic hydroxyl group and alcoholic hydroxyl group Carboxyl group-containing urethane resin obtained by polyaddition reaction of 1 or more types of diol compounds chosen from, (A-2) 디이소시아네이트와, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 수소 첨가 비스페놀 A형 에폭시 수지, 브롬화 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비스페놀 S형 에폭시 수지, 비크실레놀형 에폭시 수지 및 비페놀형 에폭시 수지로부터 선택되는 1종 이상의 2관능 에폭시 수지의 (메트)아크릴레이트 또는 그의 부분 산무수물 변성물, 카르복실기 함유 디알코올 화합물, 및 디올 화합물의 중부가 반응에 의해 얻어지는 감광성의 카르복실기 함유 우레탄 수지,(A-2) diisocyanate, bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, brominated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, and biphenol Photosensitive carboxyl group-containing urethane resin obtained by the polyaddition reaction of the (meth) acrylate of the 1 or more bifunctional epoxy resin chosen from a type | mold epoxy resin, or its partial acid anhydride modification, a carboxyl group-containing dialcohol compound, and a diol compound, (A-3) 상기 (A-1) 또는 (A-2)의 수지의 합성 중에, 히드록시알킬(메트)아크릴레이트인 분자 내에 1개의 수산기와 1개 이상의 (메트)아크릴기를 갖는 화합물을 가하여, 말단 (메트)아크릴화한 카르복실기 함유 우레탄 수지, (A-3) During the synthesis of the resin of the above (A-1) or (A-2), a compound having one hydroxyl group and one or more (meth) acryl groups in a molecule which is hydroxyalkyl (meth) acrylate is added Carboxyl group-containing urethane resin which terminalized (meth) acrylication, (A-4) 상기 (A-1) 또는 (A-2)의 수지의 합성 중에, 이소포론디이소시아네이트와 펜타에리트리톨트리아크릴레이트의 등몰 반응물인 분자 내에 1개의 이소시아네이트기와 1개 이상의 (메트)아크릴기를 갖는 화합물을 가하여, 말단 (메트)아크릴화한 카르복실기 함유 우레탄 수지, (A-4) One isocyanate group and one or more (meth) in a molecule which is an equimolar reactant of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate during the synthesis of the resin of the above (A-1) or (A-2). The carboxyl group-containing urethane resin which added the compound which has an acryl group, and was terminal (meth) acrylated, (A-5) 다관능(고형) 에폭시 수지에 (메트)아크릴산을 반응시키고, 생성된 수산기에 2염기산 무수물을 부가시켜 얻어지는 감광성의 카르복실기 함유 수지,(A-5) Photosensitive carboxyl group-containing resin obtained by making (meth) acrylic acid react with a polyfunctional (solid) epoxy resin, and adding a dibasic acid anhydride to the produced hydroxyl group, (A-6) 2관능(고형) 에폭시 수지의 수산기를 추가로 에피클로로히드린으로 에폭시화한 다관능 에폭시 수지에 (메트)아크릴산을 반응시키고, 생성된 수산기에 2염기산 무수물을 부가시켜 얻어지는 감광성의 카르복실기 함유 수지 (A-6) The hydroxyl group of a bifunctional (solid) epoxy resin is further obtained by reacting (meth) acrylic acid with the polyfunctional epoxy resin epoxidized with epichlorohydrin, and adding a dibasic acid anhydride to the produced hydroxyl group. Photosensitive carboxyl group-containing resin 중 1종 이상을 함유하는 카르복실기 함유 수지, Carboxyl group-containing resin containing at least 1 type, (B) 하기 화학식 I로 표시되는 기를 갖는 옥심에스테르계 광중합 개시제, 및 (B) an oxime ester photoinitiator having a group represented by the following formula (I), and (C) 분자 중에 2개 이상의 에틸렌성 불포화기를 갖는 화합물을 함유하는 묽은 알칼리 수용액에 의해 현상 가능한 조성물이며, (C) It is a composition which can be developed by the diluted alkali aqueous solution containing the compound which has a 2 or more ethylenically unsaturated group in a molecule | numerator, 상기 (A-1) 내지 (A-4)의 수지의 합성에 이용되는 이소시아네이트기를 갖는 화합물(디이소시아네이트도 포함함)이 벤젠환을 갖고 있지 않은 디이소시아네이트이고, 상기 (A-5) 및 (A-6)의 수지의 합성에 이용되는 다관능 및 2관능 에폭시 수지가 비스페놀 A 골격, 비스페놀 F 골격, 비페닐 골격, 비크실레놀 골격을 갖는 선상 구조의 화합물 및 그의 수소 첨가 화합물이며, The compound (including diisocyanate) which has an isocyanate group used for the synthesis | combination of resin of said (A-1)-(A-4) is a diisocyanate which does not have a benzene ring, said (A-5) and (A The polyfunctional and bifunctional epoxy resins used for the synthesis of the resin of -6) are compounds having a linear structure having a bisphenol A skeleton, a bisphenol F skeleton, a biphenyl skeleton, a bixylenol skeleton, and a hydrogenated compound thereof, 상기 카르복실기 함유 수지 (A) 100 질량부에 대하여 상기 옥심에스테르계 광중합 개시제 (B)가 0.1 내지 1.5 질량부의 비율로 함유되어 있는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.The said oxime ester type photoinitiator (B) is contained in the ratio of 0.1-1.5 mass parts with respect to 100 mass parts of said carboxyl group-containing resin (A), The photosensitive resin composition characterized by the above-mentioned. <화학식 I><Formula I>
Figure 112011005567010-pat00009
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(식 중, R1은 수소 원자, 페닐기(탄소수 1 내지 6의 알킬기, 페닐기 또는 할로겐 원자로 치환될 수도 있음), 탄소수 1 내지 20의 알킬기(1개 이상의 수산기로 치환될 수도 있고, 알킬쇄의 중간에 1개 이상의 산소 원자를 가질 수도 있음), 탄소수 5 내지 8의 시클로알킬기, 탄소수 2 내지 20의 알카노일기 또는 벤조일기(탄소수가 1 내지 6인 알킬기 또는 페닐기로 치환될 수도 있음)를 나타내고, R2는 페닐기(탄소수 1 내지 6의 알킬기, 페닐기 또는 할로겐 원자로 치환될 수도 있음), 탄소수 1 내지 20의 알킬기(1개 이상의 수산기로 치환될 수도 있고, 알킬쇄의 중간에 1개 이상의 산소 원자를 가질 수도 있음), 탄소수 5 내지 8의 시클로알킬기, 탄소수 2 내지 20의 알카노일기 또는 벤조일기(탄소수가 1 내지 6인 알킬기 또는 페닐기로 치환될 수도 있음)를 나타냄)(Wherein R 1 is a hydrogen atom, a phenyl group (may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a halogen atom), an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (may be substituted with one or more hydroxyl groups, the middle of the alkyl chain) May have one or more oxygen atoms), a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms or a benzoyl group (which may be substituted with an alkyl or phenyl group having 1 to 6 carbon atoms), R 2 may be substituted with a phenyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a halogen atom), an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (which may be substituted with one or more hydroxyl groups, and at least one oxygen atom in the middle of the alkyl chain; Or a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms, or a benzoyl group (may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group)
제1항에 있어서, 상기 옥심에스테르계 광중합 개시제 (B)가 하기 화학식 V로 표시되는 옥심에스테르계 광중합 개시제인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the oxime ester photopolymerization initiator (B) is an oxime ester photopolymerization initiator represented by the following general formula (V). <화학식 V>(V)
Figure 112011005567010-pat00010
Figure 112011005567010-pat00010
제1항에 있어서, 상기 옥심에스테르계 광중합 개시제 (B)가 하기 화학식 VI으로 표시되는 옥심에스테르계 광중합 개시제인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the oxime ester photopolymerization initiator (B) is an oxime ester photopolymerization initiator represented by the following general formula (VI). <화학식 VI><Formula VI>
Figure 112011005567010-pat00011
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(식 중, R10은 수소 원자, 할로겐 원자, 탄소수 1 내지 12의 알킬기, 시클로펜틸기, 시클로헥실기, 페닐기, 벤질기, 벤조일기, 탄소수 2 내지 12의 알카노일기, 탄소수 2 내지 12의 알콕시카르보닐기(알콕실기를 구성하는 알킬기의 탄소수가 2 이상인 경우, 알킬기는 1개 이상의 수산기로 치환될 수도 있고, 알킬쇄의 중간에 1개 이상의 산소 원자를 가질 수도 있음) 또는 페녹시카르보닐기를 나타내고, (In formula, R <10> is a hydrogen atom, a halogen atom, a C1-C12 alkyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a phenyl group, a benzyl group, a benzoyl group, a C2-C12 alkanoyl group, a C2-C12 thing. An alkoxycarbonyl group (when the alkyl group constituting the alkoxyl group has 2 or more carbon atoms, the alkyl group may be substituted with one or more hydroxyl groups and may have one or more oxygen atoms in the middle of the alkyl chain) or a phenoxycarbonyl group, R11, R13은 각각 독립적으로 페닐기(탄소수 1 내지 6의 알킬기, 페닐기 또는 할로겐 원자로 치환될 수도 있음), 탄소수 1 내지 20의 알킬기(1개 이상의 수산기로 치환될 수도 있고, 알킬쇄의 중간에 1개 이상의 산소 원자를 가질 수도 있음), 탄소수 5 내지 8의 시클로알킬기, 탄소수 2 내지 20의 알카노일기 또는 벤조일기(탄소수가 1 내지 6인 알킬기 또는 페닐기로 치환될 수도 있음)를 나타내고, R 11 and R 13 are each independently a phenyl group (may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a halogen atom), an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (may be substituted with one or more hydroxyl groups, and in the middle of the alkyl chain May have one or more oxygen atoms), a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms or a benzoyl group (which may be substituted with an alkyl or phenyl group having 1 to 6 carbon atoms), R12는 수소 원자, 페닐기(탄소수 1 내지 6의 알킬기, 페닐기 또는 할로겐 원자로 치환될 수도 있음), 탄소수 1 내지 20의 알킬기(1개 이상의 수산기로 치환될 수도 있고, 알킬쇄의 중간에 1개 이상의 산소 원자를 가질 수도 있음), 탄소수 5 내지 8의 시클로알킬기, 탄소수 2 내지 20의 알카노일기 또는 벤조일기(탄소수가 1 내지 6인 알킬기 또는 페닐기로 치환될 수도 있음)를 나타냄)R 12 is a hydrogen atom, a phenyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a halogen atom), an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (which may be substituted with one or more hydroxyl groups, and at least one in the middle of the alkyl chain) May have an oxygen atom), a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms, or a benzoyl group (which may be substituted with an alkyl or phenyl group having 1 to 6 carbon atoms)
제1항에 있어서, 광중합 개시제로서, 상기 옥심에스테르계 광중합 개시제 (B) 이외에, 150℃에서 50% 이상이 휘발하는 광중합 개시제 (B1a)를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물. The photosensitive resin composition of Claim 1 which contains a photoinitiator (B1a) which volatilizes 50% or more in 150 degreeC other than the said oxime ester system photoinitiator (B) as a photoinitiator. 제1항에 있어서, 추가로 열경화성 성분 (D)를 함유하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물. The photosensitive resin composition of Claim 1 which further contains a thermosetting component (D). 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 건조 도막의 355 nm에서의 흡광도가 건조 막두께 25 ㎛에서 0.3 내지 1.2의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물. The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 5, wherein the absorbance at 355 nm of the dry coating film is within a range of 0.3 to 1.2 at a dry film thickness of 25 µm. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 조성물을 캐리어 필름에 도포·건조시켜서 얻어지는 감광성의 드라이 필름.The photosensitive dry film obtained by apply | coating and drying the photosensitive resin composition of any one of Claims 1-5 to a carrier film. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 조성물 또는 상기 조성물을 캐리어 필름에 도포·건조시켜서 얻어지는 감광성의 드라이 필름을 구리 상에서 광경화시켜 얻어지는 경화물.Hardened | cured material obtained by photocuring the photosensitive dry film obtained by apply | coating and drying the photosensitive resin composition or said composition to a carrier film in any one of Claims 1-5 on copper. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 조성물 또는 상기 조성물을 캐리어 필름에 도포·건조시켜서 얻어지는 감광성의 드라이 필름을 레이저 발진 광원으로 광경화시켜 얻어지는 경화물.Hardened | cured material obtained by photocuring the photosensitive resin composition of any one of Claims 1-5 or the said photosensitive dry film obtained by apply | coating and drying the said composition to a carrier film with a laser oscillation light source. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 조성물 또는 상기 조성물을 캐리어 필름에 도포·건조시켜서 얻어지는 감광성의 드라이 필름을 최대 파장이 350 내지 410 nm인 레이저광에 의해서 광경화시킨 후, 열경화시켜 얻어진 경화 피막을 갖는 인쇄 배선판.After photocuring the photosensitive resin composition of any one of Claims 1-5 or the photosensitive dry film obtained by apply | coating and drying the said composition to a carrier film with the laser beam whose maximum wavelength is 350-410 nm, The printed wiring board which has a hardened film obtained by thermosetting. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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